JPH06259991A - メモリ用の列冗長回路装置 - Google Patents

メモリ用の列冗長回路装置

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JPH06259991A
JPH06259991A JP6044835A JP4483594A JPH06259991A JP H06259991 A JPH06259991 A JP H06259991A JP 6044835 A JP6044835 A JP 6044835A JP 4483594 A JP4483594 A JP 4483594A JP H06259991 A JPH06259991 A JP H06259991A
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  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Dram (AREA)
  • Techniques For Improving Reliability Of Storages (AREA)
  • Static Random-Access Memory (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 メモリ用の列冗長回路装置において、列冗長
の増大の際に存在するヒューズブロックの改善された利
用および電流消費の減少を可能にする。 【構成】 x行およびy列のなかに配置されているメモ
リセルを有するaのメモリブロックBK1 N と、b行
およびc列のなかに配置されている冗長メモリセルと、
列デコーダCDECと、cの冗長列デコーダRCD1
n とを有し、その際に各列デコーダRCD1 n が各メ
モリブロックBK1 n のcの冗長列の1つに対応付け
られており、またdのコーディング要素CF1,1 P,4
を有するメモリ用の列冗長回路装置において、dのコー
ディング要素CF1,1 P,4 の各々がアドレス復号手段
を含んでおり、それにより各コーディング要素が任意の
メモリブロックBK1,n に対応付けられている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は請求項1の前文によるメ
モリ用の列冗長回路装置に関する。
【0002】
【従来の技術】このような装置はたとえば「IEEEジ
ャーナル・固体回路編」第26巻、第1号、1991年
1月、第12頁以降に記載されている。
【0003】あらゆる新しいメモリ世代におけるラスタ
ー寸法の縮小はセル領域内の欠陥の発生確率を高める。
従って採算の合う製造はこのような欠陥を補修し得る装
置をメモリ上に必要とする。通常、プログラム可能なコ
ーディング要素により欠陥セルの代わりに使用される付
属セルが設けられている。
【0004】より大きい容量のメモリではメモリセルが
多くのブロックに分割されている。メモリセルのマトリ
ックス状の配置のゆえに付属セルは同じく行および列内
に配置されなければならない。これらの冗長な導線は一
般にセル領域の縁に構成されている。それらはそれぞれ
プログラム可能な要素により、与えられるアドレスと関
連して選択される。
【0005】これらのプログラム可能な要素はたとえば
レーザー溶断可能なヒューズブロックであってよい。通
常各ヒューズブロックが1つまたはそれ以上の冗長な導
線に固定的に対応付けられている。補修可能性が高めら
れるべきであれば、冗長な導線の数が高められなければ
ならず、従ってまたヒューズブロックの数が増されなけ
ればならない。このような冗長拡大の占有面積需要は大
きく、またウェーハあたりの個数の減少に通ずる。現在
のメモリ世代ではヒューズブロックに対して必要とされ
る面積はそれらの駆動回路と共にほぼ冗長メモリセルが
必要とする面積と同じ大きさである。一方ではたとえば
4メガ‐メモリにおける冗長利用の統計は、平均的にヒ
ューズブロックの半分しか補修のために使用されないこ
とを示す。他方では欠陥解析の際に、冗長性の倍増が2
0%以上までの収率を可能にすることが判明している。
このことは、たとい原理的に十分にプログラム可能なコ
ーディング要素が利用できるとしても、冗長アーキテク
チュアの従来の設計ではメモリの主要な部分が補修され
得ないことを示す。
【0006】補修可能性が高められるべきであれば、占
有面積の理由から、冗長導線の数のみが大きくされなく
てはならないこと、また適当な回路の利用により存在す
るヒューズブロックの一層良好な利用が達成され得るこ
とが有利であろう。
【0007】列冗長の拡大の際に電流消費の増大は別の
問題を呈する。1つのサイクルの開始時にのみ使用され
るライン冗長と対照的に、列冗長の駆動はすべての能動
化サイクルのなかで作動可能状態になければならない。
この駆動のためにこれまではダイナミックな論理および
横電流成分を有する回路が使用されているので、列冗長
の拡大は同時に電流消費の増大をも意味する。
【0008】従来の技術による列冗長を有するメモリの
簡単化されたブロック回路図が図1に示されている。そ
の際に冗長な列に対するコーディングユニットはブロッ
クに固定的に対応付けられている。図1には、外部から
与えられている制御クロックRAS(列アドレス‐スト
ローブ)、CAS(行アドレス‐ストローブ)、WE
(書込みイネーブル)および場合によってはOE(出力
イネーブル)を処理するコントロールユニットCTRL
が示されている。このコントロールユニットCTRLの
なかで、図面中で制御バスCTBのなかにまとめられて
いる通常の内部制御クロック信号が発生される。さら
に、外部アドレスEXAO…qから内部ライン‐アドレ
スをユニットCTRLからの制御線のコントロールのも
とに導き出すライン‐アドレス‐バッフア‐ユニットR
ABFが示されている。さらに、外部アドレスEXAO
…qからコントロールユニットCTRLからの制御線と
一緒に内部列アドレスCABを発生する列アドレス‐バ
ッフア‐ユニットCABFが示されている。メモリへの
またメモリからのデータ転送の役割をする入力‐出力ユ
ニットIOBが設けられている。それに外部データ線E
XDO…qが接続されている。
【0009】これらのユニットはメモリの標準周辺装置
を形成しており、従ってこれ以上に詳細には説明されな
い。種々の制御線の機能は個々の回路の理解に必要な際
に後で説明される。
【0010】さらに図1にはNのメモリブロックBK1
…Nの群が示されており、その際にNは2の倍数、たと
えばN=2m であり、またそれらのうちの2つ、BK1
およびBKn が図1中に示されている。さらに、すべて
のブロックBKn (n=1…N)に対して共通の列デコ
ーダCDEC、および一般的な制限なしにすべてのブロ
ックBKn (n=1…N)に対して共通の2つの冗長な
列デコーダRCD1 およびRCD2 が示されている。最
後に、後で説明されるアドレスコーディングおよび列冗
長のための各Nのコーディング要素CF1 …n,1 2
2つの群が示されている。
【0011】共通の列デコーダCDECの使用はより高
い容量のメモリでは占有面積を小さくする理由からよく
知られている。ただ一重にメモリ上に存在する4つの最
初の周辺ユニットを除いて、もちろん残りの構成部分は
多重に並列に構成され得る。図1には、図面を見易くす
るために、メモリブロックBK1 n の単一の群が示さ
れている。
【0012】メモリブロックBKn はメモリセル、ワー
ド線WL1,n …WLx,n およびビット線対の公知のマト
リックス状の配置を有するセル領域から成っており、そ
の際にここにはたとえばブロックデコーダBKDECお
よびワードデコーダ/ドライバRDEC1 …n 、さらに
ビット増幅器/スイッチBS1,n BSy,n および最後に
データビット増幅器/スイッチDSW1 …n (1≦n≦
N)から成る“折返しビット線”配置BL,/BLが示
されている。
【0013】図面の例ではそれぞれただ1つの単一のメ
モリブロックがその付属のブロックデコーダBKDEC
n により能動化されている。この目的でラインアドレス
RABの第1の部分がブロックデコーダBKDECn に
供給される。これらのアドレスは、1アウトオブNの選
択が行われ得るように多数である。選択されたブロック
デコーダBKDECn のブロック選択線BKSn は付属
のワードデコーダ/ドライバRDECn およびデータビ
ット増幅器/スイッチDSWn を能動化する。メモリブ
ロックBKn のワード線は能動的なワードデコーダ/ド
ライバRDECn により選択され、これにはこの目的で
ラインアドレスの第2の部分が供給される。冗長なワー
ド線はここには示されていない。
【0014】ビット線対BLGy,n の信号は能動化され
たビット増幅器DSWn により増幅され、また群ごとに
ビットスイッチBSy,n により相応の幅のブロックデー
タバスBKDBn に接続される。これらのビットスイッ
チはそれぞれ1つの能動的なビット群選択線CSL1
Y により共通の列デコーダCDECから作動させられ
る。ビット群選択線CSL1 Y は列デコーダCDEC
により選択され、これにはそのために列アドレスの第1
の部分が供給される。これらのアドレスの他の部分は入
力‐出力バッファIOBにおけるデータ復号のために使
用される。図1に示されている例ではYのビット群選択
線が存在しており、その際に2k =Yが成り立つ。すな
わちKの列アドレスがYの選択線の復号のために存在し
ている。選択線は能動的なブロックのなかにのみ作用を
有する。列デコーダCDECは追加的に制御入力信号C
FRを有する。この信号が非能動的であれば、すなわち
たとえば正論理の際に論理“0”であれば、すべての選
択線は不能動化される。
【0015】ブロックデータバスBKDBn 上のデータ
は読出しサイクルの際に増幅され、またデータビット‐
スイッチを介してDSWn から入力‐出力バスIOBS
に接続される。このバスIOBSはDSWn のデータビ
ット‐スイッチを入力‐出力バッファIOBと接続す
る。逆に書込みサイクルの際にはデータは入力‐出力バ
スIOBSからこのスイッチを介してブロックデータバ
スBKDBn に書かれ、また選択されたビットスイッチ
BSy,n を介してそのつどのセルのなかに記憶される。
【0016】図1の各メモリブロックには追加的に、付
属のビット増幅器/スイッチRBS1,1 2,2 を有する
2つの冗長なビット線群RBLG1,1 2,2 が示されて
いる。これらのビット線群はそれぞれ冗長な選択線RC
SL1 またはRCSL2 によりすべてのメモリブロック
BKn に共通の冗長なドライバRCD1 またはRCD2
から能動化される。冗長なユニットの機能は通常のユニ
ットの機能と同一である。
【0017】最後に図1には各Nのコーディング要素C
1 n,1 2 の2つの群、すなわちメモリブロックB
KnTあたりおよび冗長な選択線RCSL1 またはRCS
2あたり1つの要素も示されている。これらのコーデ
ィング要素DFn ,12 は入力としてブロック復号1ア
ウトオブNを司るラインアドレスRABの第1の部分お
よび列デコーダCDECと同一の列アドレスCABを受
ける。それらの出力端は2つの分離した導線に接続され
ている。すなわちCF1 n,1 はRD1 に、またCF1
n,2 はRD2 に接続されている。これらの導線は冗長
なドライバRCD1 またはRCD2 の入力端およびノア
ゲートに供給されている。ノアゲートの出力端は列デコ
ーダの入力端CFRを形成している。
【0018】各サイクルにおいてメモリブロックBKn
が相応のブロックデコーダBKDECn を介して能動化
される。同一のライン‐アドレス組み合わせにより2つ
の付属のコーディング要素CFn ,1およびCFn,2 も選
択される。通常の場合には導線RD1 およびRD2 は非
能動的、たとえば論理“0”である。それに応じて冗長
な欠陥導線RCSL1 およびRCSL2 も非能動的であ
り、また制御信号CFR、ここでは論理“1”が列デコ
ーダCDECをレリーズする。すなわち列アドレスCA
Bに相応する欠陥導線CSLiが選択され、また正常な
ビット線群BLGy,n を能動的なメモリブロックBKn
のブロックデータバスBKDBn に接続する。
【0019】選ばれたメモリブロックBKn のなかでビ
ット線群BLGy,n の呼ばれたメモリセルに欠陥があれ
ば、2つのコーディング要素の1つCFn,1 またはCF
n,2が相応の列アドレスに対してプログラムされる。こ
のアドレスの生起の際に導線RD1 またはRD2 が能動
化される。ここに示されている例ではこれらは論理
“1”である。その結果、制御信号CFRは非能動的、
すなわち論理“0”であり、また列デコーダCDECを
遮断する。正常な場合に選択される選択線CSLyはそ
れにより非能動状態にとどまり、その代わりに冗長な導
線RCSL1 またはRCSL2 が論理“1”になる。そ
れによりビット線群RBLG1 またはRBLG2 のメモ
リセルが正常なユニットのメモリセルの代わりに呼ばれ
る。すなわち列冗長の示されている構成によりメモリブ
ロックあたり欠陥セルを有する2つの異なるビット線群
が冗長な群により置換され得る。
【0020】図2には、N=4および2つの冗長なビッ
ト線群がブロックあたり存在しており、また6つのエラ
ーが生起する場合について、図1によるブロック固定の
列冗長の際の補修例が示されている。エラーのあるユニ
ットは文字A〜Gにより示されている。第1のブロック
のなかでは3つのエラーがA、B、Cに生起し、第2お
よび第3のブロックのなかでは各1つのエラーDまたは
Fが生起し、また最後のブロックのなかでは2つのエラ
ーFおよびGが生起する。図2の左側にはコーディング
要素CF1,1 …CF4,2 の利用が示されている。メモリ
ブロックBK14 あたりそれぞれ2つのエラーのある
ユニットしか補修され得ないので、この例では、たとい
2つの利用されない復号要素が残っているとしても、メ
モリが補修され得ないことは明らかである。なぜなら
ば、用意されている8つのコーディング要素CF1,1
4,2 のうちの6つしか使用され得ないからである。メモ
リブロックBK1 4 のなかのエラーのある個所は×印
により示されている。冗長なビット線群により置換され
たエラーのあるユニットは○印により示されている。
【0021】コーディング要素としてはたいていいわゆ
るヒューズブロックが使用される。図3には、図1によ
る回路装置においてレーザー分離可能なヒューズブロッ
クがコーディング要素として使用される場合について、
ブロック固定の列冗長の際に列アドレスをコーディング
するための従来技術による通常の回路が示されている。
コーディング要素の2つの上記の群は同一に構成されて
おり、またユニットE1 またはE2 として示されてお
り、その際に1つのみが詳細に示されている。このよう
なユニットE1 はNの同一の回路、E1 におけるCF1
n,1 またはE2におけるCF1 n,2 、とNの入力端
RDN1 n および出力端、E1 におけるRD1 または
2 におけるRD2 を有するナンドゲートNGNとから
成っている。2つの出力信号RD1 およびRD2 は出力
端RCSL1 またはRCSL2 を有する各1つの冗長な
ドライバRCD1 またはRCD2 と図2に既に示された
ゲートNORとに供給される。このゲートNORの出力
端はドライバCFRDに接続されており、その出力は信
号CFRである。これらの3つのドライバはナンドゲー
トと後続されているインバータとから成っている。この
ナンドゲートの第2の入力端は、論理“0”の状態の際
に正常な選択線も冗長な選択線も低電位、論理“0”に
保つレリーズ信号FRに接続されている。このレリーズ
信号FRは通常のように同期化目的に使用される。
【0022】各回路CFi,j はさらにブロックコーディ
ングのためのMの入力端(その際にN=2M が成り立
つ)と、列コーディングのための2×Kの入力端(その
際にY=2K が成り立つ)と、ナンドゲートNGNの入
力端と接続されている出力端RDNi とを有する。この
ような回路CFi,j はMの入力端を有するナンドゲート
NGMと、後続されているインバータP1、N1と、イ
ンバータP1、N1の出力端Aに接続されている各1つ
のヒューズ要素と直列の2×KのNチャネルトランジス
タと、出力インバータIVとから成っている。ブロック
選択は、たとえばMのブロックアドレス線X1 M およ
びそれらの相補性の導線/X1 M から成るMの導線の
すべての可能な組み合わせの1つを供給される入力ナン
ドゲートNGMを介して行われる。1つの回路CFi,j
は、このナンドゲートのすべての入力端が論理“1”で
あるときに能動化される。その出力はそのとき論理
“0”であり、その結果インバータP1、N1の出力A
は論理“1”である。すべての他の回路CFでは少なく
とも入力XM または/XM は論理“0”である。従って
インバータ出力Aも論理“0”であり、また導線RDN
1 は論理“1”である。
【0023】Y=2k の選択線CSL1 Y が存在して
いるならば、2×Kの列アドレス線、一般的な制限なし
にたとえばY1 Kまたは/Y1 K が列アドレスのコ
ーディングのために必要とされる。なぜならば、nチャ
ネルトランジスタおよびレーザー遮断可能なヒューズ要
素の直列回路が論理“1”状態を有する入力信号の際に
のみ作用を示すからである。
【0024】能動化された回路CFi,j において、相応
の列アドレス線が論理“1”状態を有する少なくとも1
つのヒューズ要素が遮断されていないならば、節点Aが
このスイッチオンされたnチャネルトランジスタを介し
て、出力インバータIVが論理“1”に切換わるような
低い電位に接続される。従ってこの場合、すべての導線
RDN1 n は論理“1”状態を有し、またNGNの出
力線RD1 は論理“0”状態を有する。こうして対応付
けられている冗長な選択線RCSL1 は信号FRに無関
係に非能動的、すなわち論理“0”である。このことが
両導線RD1 およびRD2 に対して該当すると、両冗長
線RCSL1 およびRCSL2 は非能動的であり、また
ゲートNORの出力は論理“1”である。レリーズ信号
FRが能動的“1”になると、信号CFRは同じく論理
“1”状態となり、また列デコーダをロック解除する。
この場合、正常なビット線群が選択される。
【0025】逆に、能動的な回路CFi,1 またはCFi,
2 において、相応の列アドレス線が論理“1”であるす
べてのヒューズ要素が遮断されているならば、節点Aは
高い電位に充電された状態にとどまり、また出力インバ
ータIVは論理“0”状態にとどまる。その結果、導線
RD1 およびRD2 は論理“1”状態をとる。すなわち
ゲートNORの出力は論理“0”である。このことは同
じく信号CFRに対してもレリーズ信号FRに無関係に
当てはまり、従って列デコーダはロックされる。それに
対して冗長な選択線RCSL1 またはRCSL2 は能動
化され、また能動的なメモリブロックBKi のなかの相
応の冗長なビット線群が選択される。
【0026】説明された解決策の欠点は、プログラムさ
れない列アドレスを与えられた際に、すなわちYのうち
のY−1の場合に、すべての能動的サイクルのなかで横
流電流が選択された回路CFi,j のトランジスタP1を
経て低電位に向かって流れることである。この横流電流
は場合によっては各メモリブロック群E1 、E2 におい
て2回生じ、またより多くのこのような群を有する実際
的な解決策において許容できなき高い値をとる。別の欠
点は、同じく実際的な解決策において、導線RDN1
n の数が過大となり,またそれに伴って望ましくない大
きな出力ゲートNGNが必要とされることである。
【0027】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、列冗
長の増大の際に存在するヒューズブロックの改善された
利用および電流消費の減少を可能にすることである。
【0028】
【課題を解決するための手段】この課題は、請求項1の
特徴部分にあげられている構成により解決される。実施
態様は請求項2以下にあげられている。
【0029】
【実施例】以下、図面により本発明を一層詳細に説明す
る。図4にはブロックに固定されない列冗長の本発明に
よる実現例として、図1の場合と同一の基本組織を有す
るメモリの簡単化されたブロック回路図が示されてい
る。先の解決策と異なり、各メモリブロックBKn はた
とえば2倍の数の冗長なビット線群RBLG1,n 4, n
およびビット増幅器/スイッチRBS1,n 4,n を有す
る。それに応じて4つの冗長な選択線RCSL1 4
すべてのメモリブロックに対して共通の4つの冗長なド
ライバRCD1 4 により駆動される。さらに先と同一
の数、すなわち2×Nの、ただしP=N:2の4つの群
に分割されており、追加的にメモリブロックアドレスが
プログラムされ得るコーディング要素CF1,1 P,4
使用される。コーディング要素は入力としてブロック復
号1アウトオブNを司るラインアドレスRABの最初の
部分および列デコーダCDECと同一の列アドレスを受
ける。それらの出力端は4つの分離した導線RD1 4
に接続されている;RDj、j=1…4にCF
1 P,j 。これらの導線は冗長なドライバRCD1 4
の入力端および4重のノアゲートNORに導かれる。ノ
アゲートNORの出力端は列デコーダCDECの入力端
CFRを形成する。各サイクルにおいて特定のラインア
ドレス組み合わせによりメモリブロックBKn が能動化
される。正常な場合には導線RD1 4 は非能動的であ
り、それに応じて冗長な欠陥導線RCSL1 4 も非能
動的である。すなわち制御信号CFRは論理“1”であ
り、また列デコーダCDECを能動化する。メモリブロ
ックBKn のなかでビット線群BLGy,n の呼ばれたメ
モリセルに欠陥があれば、コーディング要素CFi,j が
相応のブロックおよび列アドレスに対してプログラムさ
れる。これらのブロックアドレスの生起の際にこれに対
してプログラムされたコーディング要素CFi,j が選択
され、また相応の列アドレスを与えられる際にドレイン
端子RDj が能動化される。これにより非能動的な制御
信号CFRが列デコーダCDECを遮断し、また冗長な
導線RCSLj が選択線CSLy の代わりに作動させら
れる。
【0030】可能な補修の全数は最初の解決策の場合の
ように2×Nにとどまる。しかし2つの固定的な定めら
れたコーディング要素CFi,j の代わりにこの新しい解
決策ではメモリブロックあたり4つまでのこのような要
素CFi,1 4 が補修目的に利用される。最初に既に述
べたように、それにより一層良好な利用が達成される。
冗長なビット線群BLGy,n に対する占有面積需要は最
初の解決策の列冗長の倍増の場合と同じ大きさである。
しかしメモリブロックBKn の数は一般に選択線CSL
y の数よりもはるかに小さいので、変更されたコーディ
ング要素CFi,j ではごくわずかな追加アドレスがプロ
グラム可能であればよい。従ってその占有面積需要は最
初の解決策に対するコーディング要素CFi,j の必要な
倍増の際よりもはるかに小さい。説明されたブロックに
固定されない列冗長の使用は、占有面積の理由から従来
の冗長の倍増がもはや可能でないすべての場合に有利で
ある。図5には、図2の場合と同一の配置に対してブロ
ックに固定されない列冗長の際の補修例が示されてい
る。この場合、メモリは明らかに補修され得る。図2お
よび図5の等しい要素は等しい参照符号を付されてい
る。図5による概要図中では図2と異なり本発明により
ブロックに無関係なコーディングCF1,1 …CF2,4
よびここでは4つの冗長なドライバRCD1 …RCD4
が設けられている。欠陥メモリセルは再び×印により、
また成功裡に補修されたメモリセルは○印により示され
ている。
【0031】図1および図4には、各能動的メモリブロ
ックBKn にコーディング要素CFi,j が対応付けられ
得るそれぞれ1つの冗長配置が示されている。これらの
コーディング要素CFi,j に、メモリブロック復号を司
る同一のブロックアドレスバスCAB、RAB、CTB
が導かれる。しかし、本発明の基本思想の変更なしに、
コーディング要素CFi,j がより多くのメモリブロック
に同時に対応付けられるような配置も可能である。その
場合,これらのコーディング要素にはブロックアドレス
のただ1つの部分群が導かれる。その際に欠陥ビット線
群の置換はすべてのこれらのメモリブロックのなかで同
時に、またどのメモリブロックのなかで欠陥が実際に存
在しているかに無関係に行われる。この形式の冗長アー
キテクチュアでは本発明の意味で制限なしにメモリブロ
ックBKn がQの個々のメモリブロックBKn,1 Q
群として解釈され得る。
【0032】図6には、コーディング要素としてヒュー
ズブロックを有するブロックに固定されない列冗長の際
に列アドレスをコーディングするための本発明による回
路が示されている。この解決策では全体で2×Nのコー
ディング要素が4つの同一のユニットEj、j=1…
4、に分割されている。このようなユニットはP=N/
2のコーディング回路CFi,j (E1 4 の際にCF1
P,1 4 、ここでNは2により割り切れなければなら
ない)と、インバータIEおよび2つのPチャネルトラ
ンジスタPE1およびPE2とから成っている。インバ
ータIEの入力端はすべてのPの回路に対して共通の導
線RDNj である。トランジスタPE1およびPE2は
高い電位(VDD)とこの導線との間に接続されてい
る。PE1はゲート信号ATDNを有するセット‐トラ
ンジスタであり、その機能は後で説明される。またPE
2は保持トランジスタであり、そのゲートはIEのイン
バータ出力端RDj(j=1…4)に接続されている。
4つの出力信号RD1 4 は出力端RCSL1 4 を有
する各1つの冗長ドライバRCD1 4 およびダイナミ
ックなノアゲートDNORに供給される。このゲートD
NORの出力端はドライバCFRDに接続されており、
その出力は信号CFRである。このドライバの構成およ
び機能は図3中のそれらと同一である。
【0033】回路DNORは、高電位VDDと節点Dと
の間に並列に接続されている2つのPチャネルトランジ
スタPD1およびPD2と、節点Dと低電位VSSとの
間に並列に接続されている4つのNチャネルトランジス
タND1 …4 と、入力信号Dを有するインバータIDと
から成っている。PD1のゲートは信号ATDNに接続
されている。IDの出力端は保持構成でPD2のゲート
端子と接続されている。トランジスタND1 …4 のゲー
トは導線RD1 4 に接続されている。
【0034】各回路はさらにブロックコーディング(N
=2M )のための2×Mの入力端、列コーディング(L
=2K )のための2×Kの入力端、2つの制御入力端E
NおよびSPならびに前記の共通の出力端RDNj を有
する。このような回路は、直列に接続されている2つの
pチャネルトランジスタP1およびP2と1つのnチャ
ネルトランジスタN1とから成っている。P1およびN
1のゲートにはイネーブル信号ENが、またP2のゲー
トにはセット信号SPが接続されている。P2とN1と
の間の共通の端子Aは、保持構成でpチャネルトランジ
スタP3を有するインバータIVの入力端である。節点
Aにはさらに2×MのnチャネルトランジスタTX1
M 、TNX1 M が各1つのヒューズ要素FX1 n
FNX1M と直列に並列に接続されている。これらの
トランジスタのゲートはラインアドレスX1 M または
/X1 M と接続されている。インバータIVの出力端
はpチャネルトランジスタP4およびnチャネルトラン
ジスタN2のゲートと接続されている。これらのトラン
ジスタの間にゲート信号ATDNを有する別のpチャネ
ルトランジスタP5が位置している。N2とP5との間
の共通の端子Cは“プルダウン”nチャネルトランジス
タN3の入力端であり、そのドレイン出力端は共通の導
線RDNj と接続されている。最後のpチャネルトラン
ジスタP6がP4とP5との間の共通の端子と端子Cと
に接続されている。そのゲートは保持構成で出力線RD
Nj に接続されている。最後に端子Cには2×Kのnチ
ャネルトランジスタTY1 K 、TNY1 K が各1つ
のヒューズ要素FY1 K 、FNY1 K と直列に並列
に接続されている。これらのトランジスタのゲートは列
アドレスY1 K または/Y1 K と接続されている。
【0035】この点で強調すべきこととして、相補性の
アドレス線を有する復号のここに示されている形式のブ
ロックアドレスの使用も列アドレスの使用も制限を意味
しない。その代わりに、たとえば4つの導線のうちのそ
れぞれ1つの導線が能動的であるいわゆる前復号された
アドレス線も利用され得る。
【0036】説明される回路の機能は図7により説明さ
れ、その際に必要なメモリ信号のみが示されている。第
1の部分は列冗長の使用なしのサイクルを示し、他方第
2の部分はこの冗長の能動化を示す。
【0037】休止相(/RAS=“1”、/CAS=
“1”)ではブロックアドレスX1 M および/X1
M 、レリーズ信号FRおよび制御信号ATDNは論理
“0”状態にあり、他方においてイネーブル信号ENお
よびセット信号SPは論理“1”状態にある。高電位の
信号ENによりすべての回路CFi,j において信号Aは
論理“0”、Bは論理“1”、またCは論理“0”であ
る。その結果、すべてのnチャネルトランジスタN3は
遮断している。低電位の制御信号ATDNによりすべて
のpチャネルトランジスタPE1は導通状態にあり、そ
の結果として導線RDNj は論理“1”、RDj は論理
“0”、またRCSLj は論理“0”である。ゲートD
NORのすべてのnチャネルとが遮断状態にあるので、
節点DはATDN=“0”により高電位にある。しかし
レリーズ信号FRは論理“0”であり、従って同じくC
FRは低電位にある。すなわちビットデコーダはロック
されている。
【0038】書込みまたは読出しサイクルが信号/RA
Sの下降するエッジにより開始され、その際に外部から
与えられているラインアドレスが記憶される。その直後
に2×Mのブロックアドレス線Xi および/Xi からの
Mの導線の特定の組み合わせが能動的な論理“1”にな
る。別の仕方でもメモリ上で応用されるイネーブル信号
ENは論理“0”になる。すべての回路CFi,j のなか
でトランジスタP1がそれにより導通状態になる。それ
に対してトランジスタN1は遮断状態になる。小さい遅
延T1により(その後はすべての能動的なブロックアド
レス線が安定な論理状態を占めている)セット信号SP
が継続時間T2(数ナノ秒)にわたり論理“0”にな
る。この時間T2の間、両トランジスタP1およびP2
は導通状態にある。それにより充電電流が高電位VDD
から節点Aへ流れ得る。回路CFi,j に対して(図7の
タイムダイアグラムの第1の部分)少なくとも遮断され
ていないヒューズ要素を有するnチャネルトランジスタ
においてブロックアドレスが論理“1”であれば、節点
Aはこの導通接続により、インバータIVの出力Bが論
理“1”にとどまるような低い電位に保たれる。それに
よりCは論理“0”であり、またnチャネルトランジス
タN3は遮断されている。pチャネルトランジスタP4
もB=“1”により遮断されているので、トランジスタ
P5およびP6は役割を演じない。すなわちこの状態で
は回路CFi,j は非能動的である。
【0039】小さい横流電流が継続時間T2の間に高電
位VDDからトランジスタP1およびP2を通って、ま
た最悪の場合には遮断されていないヒューズ要素を有す
るすべてのnチャネルトランジスタの半分を通って低電
位VSSへ流れる。しかし、完全なエラーのないメモリ
においてすべての回路CFi,j において生ずるこの電流
はトランジスタP1およびP2の設定により、また最小
の継続時間T2により非常にわずかに保たれ得る。その
際になかんずく、DRAMメモリに対して比較的長い時
間スパンが列冗長のブロック復号のために利用され得る
という事情が利用される。従って、このブロック復号を
司る回路CFi,j の入力部分は高い速度を有していなく
てよい。ユニットEj のすべての回路CFi,j が非能動
的である場合には、すべてのトランジスタN3は遮断し
ている。その場合、導線RDNjはスイッチオンされた
pチャネルトランジスタPE1(ATDN=“0”)に
より論理“1”であり、また出力線RDj ならびに冗長
選択線RCSLj はその結果として論理“0”である。
後で説明されるように制御従ってATDNが高い電位に
上昇すると、導線RDNj の論理“1”状態はゲートに
論理“0”を与えられているスイッチオンされた保持ト
ランジスタPE2により保たれる。すべての導線RDj
が、図7の第1の部分で仮定されているように、論理
“0”状態を有すると、すべての冗長選択線RCSL1
4 は非能動的な論理“0”であり、またゲートDNO
Rのすべての4つのnチャネルトランジスタND1 4
は遮断している。節点Dは論理“1”状態のATDNに
よってもスイッチオンされたPチャネル保持トランジス
タPD2により論理“1”にとどまる。
【0040】レリーズ信号FRの上昇エッジによりCF
Rが論理“1”になり、また列デコーダCDECがレリ
ーズされる。下降する/CASエッジにより、外部から
与えられている列アドレスが先にこのアドレスに対して
透過性であったユニットCABFのなかに記憶される。
正常な選択線CSLが能動的になり、またまさに能動的
なメモリブロックの相応のビット線群が選択される。
【0041】図7の第1の書込みまたは読出しサイクル
は、信号ENを高電位に、また信号FRを低電位にリセ
ットする上昇する/RASエッジにより終了される。後
続の休止相では、既に説明したように、すべての回路C
Fi,j および冗長な選択線RCSL1 4 はENまたは
FRにより非能動的である。ビットデコーダは論理
“0”に等しいCFRによりロックされている。図7の
タイムダイアグラムの第2の部分には冗長な場合が示さ
れている。書込みまたは読出しサイクルの開始は第1の
部分のように進行する。任意のユニットEj のなかの回
路CFi,j に対して、付属のブロックアドレスが論理
“1”値をとるすべてのヒューズ要素が遮断されている
ならば、pチャネルトランジスタP1およびP2がスイ
ッチオンされているので、節点Aは高電位に上昇する。
インバータIVの出力Bは論理“0”になり、また保持
トランジスタP3をスイッチオンする。従ってAの論理
“1”状態はT2の経過後に持続する(SPは再び論理
“1”)。この状態では回路CFi,j が選択されてい
る。もちろん各ユニットEj のなかでそれぞれただ1つ
のこのような回路が能動的であってよい。トランジスタ
P4またはP5はBまたはATDN(共に論理“0”)
によりスイッチオンされており、それに対してトランジ
スタN2はスイッチオフされている。それにより充電電
流が高電位VDDから節点Cへ流れ得る。この回路CF
i,j に対して、付属の列アドレスが論理“1”であるす
べてのヒューズ要素が遮断されているならば、節点Cは
高電位に上昇する。それによりnチャネルトランジスタ
N3がスイッチオンされる。このトランジスタは、たと
いpチャネルトランジスタPE1およびPE2が最初に
導通しているとしても、当該のユニットEj の導線RD
Nj がVSSに近い低電位に放電されるように設定され
ている。この導線上の低電位により回路CFi,j のトラ
ンジスタP6がスイッチオンされ、またインバータIE
の出力が論理“1”に切換えられる。保持トランジスタ
PE2はそれにより不導通となる。RDNj の電位はさ
らに低下し得る。ある程度の遅延をもって、列アドレス
が安定になった後に、またはレリーズ信号FRが高電位
に上昇した後に、制御信号ATDNは論理“1”にな
る。いまトランジスタPE1もスイッチオフされてお
り、また導線RDNj は低電位VSS(論理“0”)に
低下する。たといいまP5もスイッチオフされていて
も、節点CはスイッチオンされているトランジスタP4
およびP5により論理“1”である。この状態では、図
5の解決策と異なり、横流電流が回路CFi,j に流れな
い。
【0042】インバータIEの出力RDj が論理“1”
状態をとると直ちに、さらにゲートDNORの相応のn
チャネルトランジスタNdj が導通状態になる。節点D
の電位が同じく、レリーズ信号FRに無関係に信号CF
Rが論理“0”になるまで低下する。列デコーダがそれ
によってロックされる。それに対してFRの上昇するエ
ッジにより相応の冗長選択線RCSLj は能動的にな
る。もちろんユニットEj のそれぞれ能動的な回路CF
i,j に対して、導線RCSLj のただ1つが一度に選択
されるように、種々の列アドレスがプログラムされる。
説明された状態は、上昇する/CASエッジによりAT
DNが新たに論理“0”になり、また新しい列アドレス
が受け入れられるまで、または上昇する/RASエッジ
により休止相が開始されるまで持続する。
【0043】最後に、ユニットEj の能動的な回路CF
i,j において与えられている列アドレスがプログラムさ
れていない(図7には示されていない)場合に対する機
能を説明する。少なくとも遮断されていないヒューズ要
素を有するnチャネルトランジスタにおいて列アドレス
が論理“1”であれば、節点Cはこの導通接続により、
nチャネルトランジスタN3が遮断するような低い電位
に保たれる。ユニットEj のすべての他の回路は非能動
的である(Cは論理“0”に等しく、またN3は遮断さ
れている)相応の導線RDNj はスイッチオンされてい
るトランジスタPE1およびPE2により(ATDNは
論理“0”に等しい)論理“1”にとどまり、またアド
レス切換の際に高電位に充電される。インバータIEの
出力RDj はそれにより論理“0”であり、またDNO
Rの相応のnチャネルトランジスタはスイッチオフされ
ている。冗長な選択線RCSLj (論理“0”)はFR
に無関係である。この状態は上昇するATDNエッジの
後も列アドレス自体により保たれている。その場合、回
路CFi,j に横流電流が流れない。プログラムされた列
アドレスが能動的ユニットEj のどれでも与えられてい
る列アドレスと合致しない場合には、すべての導線RD
1 4 は論理“0”であり、またすべてのトランジスタ
ND1 4 はスイッチオフされている。先に既に説明し
たように、その場合に列デコーダはCFR=“1”によ
りFRによりレリーズされる。
【0044】図4および図6に示されている解決策の主
要な利点は、わずかな占有面積需要におけるコーディン
グ要素の一層良好な利用である。図6に示されている回
路の利点は、クロックATDNの使用による従来の解決
策にくらべて約70%の電流消費の減少である。しか
し、レリーズ信号FRと結合されており、またいわゆる
“ファストページモード”で列アドレスの切換の際に1
つの役割を演ずるこの信号の発生には詳細には立ち入ら
ない。なぜならば、それは本発明の構成部分ではないか
らである。実際的な実現の際のこの回路の利点は、ユニ
ットEj のなかのプルダウントランジスタN3を有する
ただ1つの導線RDNj の使用である。
【0045】図8には回路CFに対するブロックコーデ
ィングの変形例が示されている。このコーディング回路
は、選択の間に横流電流が流れないという利点を有す
る。そのために1つの追加的なナンドゲートが必要とさ
れる。その回路は2つのpチャネルトランジスタP1お
よびP2と、インバータINと、ナンドゲートNGと、
図6の場合と同一のヒューズ要素FX1 …FNXM を有
するnチャネルトランジスタTX1 …TNXM とから成
っている。トランジスタP1およびP2は高電位VDD
と節点Aとの間に接続されている。信号PRCHおよび
インバータINの出力はトランジスタP1またはP2の
ゲートに導かれている。インバータINの入力端、ナン
ドゲートNGの第1の入力端および並列に接続されてい
るコーディング要素は節点Aに接続されている。信号X
VLDはナンドゲートNGの第2の入力端に導かれてお
り、その出力は先に述べた信号Bである。
【0046】図9にはこの回路の機能を説明するために
使用される信号のタイムダイアグラムが示されている。
休止相(/RAS=“1”)の間は信号PRCH、XV
LDおよびブロックアドレスXi 、/Xi は論理“0”
である。この状態ではすべてのnチャネルトランジスタ
は遮断しており、またpチャネルトランジスタP1は導
通している。その結果節点Aは論理“1”であり、また
インバータ出力は論理“0”である。それによりトラン
ジスタP2は同じく導通している。ナンドゲートNGの
出力Bは、XVLDが論理“0”状態を有するので、論
理“1”である。既に説明したように、それによって列
コーディング部分は不能動化される。
【0047】書込みまたは読出しサイクルの際に信号P
RCHは下降する/RASエッジの後に論理“1”にな
る。節点Aの論理“1”状態はスイッチオンされている
トランジスタP2により持続する。列アドレスが記憶さ
れた後に、節点Aはブロック選択の場合に論理“1”に
とどまる。なぜならば、ヒューズ要素が論理“1”状態
のブロックアドレスにより遮断されているからである。
他の場合にはそれは導通接続によりVSSに向けて放電
され、またインバータがpチャネルトランジスタP2を
スイッチオフする。ブロックアドレスが安定になってい
る遅延T1の後に始めて、信号XVLDのレベルが上昇
する。それによりブロック選択の際に出力Bが論理
“0”になり、また後続の回路が図6の場合のようにス
イッチオンされる。与えられているブロックアドレスが
プログラムされていないならば、信号Bは論理“1”に
とどまる。
【0048】1つのサイクルの終了時にXVLDは上昇
する/RASエッジにより低電位に下降する。信号Bは
論理“1”になり、また回路CFの列コーディングがス
イッチオフされる。ブロックアドレスは次いで、信号P
RCHにより続かれて、リセットされる(論理
“0”)。節点Aはそれにより再び高電位に上昇する。
この回路の利点は、与えられているブロックアドレスが
プログラムされていないときに、横流電流がトランジス
タP1を通って流れないことである。
【0049】図10には、図6のセットパルスを発生す
るための回路および図8の信号XVLDを形成するため
の追加回路が示されている。第1の回路は2つのPチャ
ネルトランジスタP1およびP2、インバータI1、反
転遅延要素VG、ナンドゲートNG1およびこの例では
nチャネルトランジスタ1…6の3つの対から成ってい
る。トランジスタP1およびP2は電位VDDと節点A
との間に並列に接続されている。信号PRCHはトラン
ジスタP1のゲートに接続されている。ゲート信号Xi
または/Xi 、i=1…3を有する対として並列に接続
されているnチャネルトランジスタ1…6は節点Aと低
電位VSSとの間に直列に配置されている。節点Aはイ
ンバータI1の入力端である。このインバータI1の出
力端BはP2のゲート、ナンドゲートNG1の第1の入
力端および遅延要素VGの入力端に接続されている。こ
の要素の出力端Cは出力信号SPを有するNG1の第2
の入力端である。遅延要素VGは公知の回路形態で遅延
キャパシタンスC1およびC2を有する奇数の直列に接
続されているインバータI2、I3、I4から成ってい
る。この例では3つのインバータおよび2つのキャパシ
タンスが示されている。
【0050】信号XVLDを発生するための図11に示
されている回路ではNG1およびVGがナンドゲートN
G2と、出力信号XVLDを有する後段に接続されてい
るインバータ15とにより置換される。ナンドゲートN
G2の入力は信号RINTおよびBである。
【0051】上記の信号のタイムダイアグラムは図12
に示されている。メモリ内で別途に使用される信号RI
NTは外部の/RAS信号に関して反転されたクロック
である。休止相(/RAS=“1”)ではRINT、P
RCHおよびすべてのブロックアドレスXi または/X
i は論理“0”である。節点AとVSSとの間のnチャ
ネルトランジスタはこの例ではすべて遮断しており、そ
れに対してトランジスタP1は導通している。それによ
りAは高電位にあり、またBは低電位にある。トランジ
スタP2はスイッチオンされている。論理“0”状態の
信号BによりNG1およびVGの出力SPおよびCは論
理“1”である。それに対して信号XVLDは論理
“0”である。下降する/RASエッジによりPRCH
は高電位に上昇する。Aの論理“1”状態は先ず、たと
いP1がいま遮断しても、スイッチオンされているトラ
ンジスタP2により保たれている。外部のラインアドレ
スが記憶された後に、信号Xi または/Xi の各対にお
いてアドレス組み合わせに応じて一方または他方の信号
が能動的な論理“1”になる。この論理状態を有するす
べてのブロックアドレスが与えられると直ちに、節点A
はそれから生ずる経路を経てVSSに向かって低電位に
低下する。それによりインバータIVの出力Bは論理
“1”になり、またトランジスタP2はスイッチオフさ
れる。いまP1およびP2が遮断されているので、横流
電流がVSSに向かって流れない。この状態はブロック
アドレスXi および/Xi 自体により保たれる。最も遅
いブロックアドレスXi または/Xi が論理“1”にな
っている一定の遅延T1の後に、信号BおよびCが共に
高電位にあるので、信号SPは論理“0”になる。しか
し、Bの上昇するエッジは遅延T2の後に遅延要素VG
により反転される。すなわち信号Cはこの時間の後に論
理“0”になり、またナンドゲートNG1の出力SPは
それにより再び論理“1”になる。信号XVLDを発生
するための追加回路では、この信号は、すべてのブロッ
クアドレスが安定になっている遅延T1´の後に、Bの
上昇するエッジにより論理“1”になる。なぜならば、
信号RINTがこの時間範囲内では論理“1”であるか
らである。
【0052】能動的なサイクルの終了時に、上昇する/
RASエッジにより信号RINT、Xi 、/Xi および
PRCHは次々と論理“0”になる。節点AとVSSと
の間の導通接続が解消される。節点AはPRCH=
“0”によりP1を介して論理“1”になり、また信号
Bは論理“0”になる。VGの出力Cは遅延して論理
“1”になる。セットパルスSPの後にはCもBも論理
“0”であるので、SPも論理“1”にとどまる。信号
XVLDは上昇する/RASエッジの直後にRINT=
“0”によりスイッチオフされる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の技術による列冗長を有するメモリの簡単
化されたブロック回路図。
【図2】ブロック固定の列冗長の際の簡単化された補修
例を示すブロック回路図。
【図3】従来の技術によるブロック固定の列冗長の際の
ヒューズブロックおよびそれらの駆動のための回路装
置。
【図4】列冗長のブロックに固定されない実現を有する
本発明によるメモリの簡単化されたブロック回路図。
【図5】本発明によるブロックに固定されない列冗長の
際の簡単化された補修例を示すブロック回路図。
【図6】本発明によるブロックに固定されない列冗長の
際のヒューズブロックおよびそれらの駆動のための回路
装置のブロック回路図。
【図7】図6の信号のタイムダイアグラム。
【図8】ブロックに固定されない列冗長の際のヒューズ
ブロックおよびそれらの駆動のための回路の別の実施例
のブロック回路図。
【図9】図8の信号のタイムダイアグラム。
【図10】図6によるセット信号を発生するための回路
装置のブロック回路図。
【図11】図8による信号XVLDを発生するための回
路装置のブロック回路図。
【図12】図10による回路の機能を説明するためのタ
イムダイアグラム。
【符号の説明】
BK メモリブロック CDEC 列デコーダ CF コーディング要素 FX、FNX、FY、FNY ヒューズ要素 NG 論理ゲート NOR ノアゲート RCD 冗長な列デコーダ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 デイーター ゾンマー ドイツ連邦共和国 80469 ミユンヘン ウエスターミユールシユトラーセ 23

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 x行およびy列のなかに配置されている
    メモリセルを有するaのメモリブロック(BK1 N
    と、b行およびc列のなかに配置されている冗長メモリ
    セルと、列デコーダ(CDEC)と、cの冗長列デコー
    ダ(RCD1N )とを有し、その際に各列デコーダ
    (RCD1 4 )が各メモリブロック(BK1 N )の
    cの冗長列の1つに対応付けられており、またdのコー
    ディング要素(CF1,1 …CFP,4 )を有するメモリ用
    の列冗長回路装置において、dのコーディング要素(C
    1,1 …CFP,4 )の各々がアドレス復号手段を含んで
    おり、それにより各コーディング要素が任意のメモリブ
    ロック(BK1 N )に対応付けられていることを特徴
    とするメモリ用の列冗長回路装置。
  2. 【請求項2】 コーディング要素(CF1,1 …C
    P,4 )の数dがメモリブロック(BK1 N )の数a
    と冗長列デコーダ(RCD1 4 )の数との積よりも小
    さいことを特徴とする請求項1記載の列冗長回路装置。
  3. 【請求項3】 コーディング要素(CF1,1 …C
    P,4 )がcの群に分割されており、cの入力端を有す
    るノアゲート(NOR)が設けられており、ノアゲート
    (NOR)の入力端がコーディング要素(CF1,1 …C
    P,4 )の出力端と接続されており、またノアゲート
    (NOR)の出力端が列デコーダ(CDEC)の能動化
    入力端と接続されていることを特徴とする請求項1また
    は2記載の列冗長回路装置。
  4. 【請求項4】 メモリブロック(BK1 4 )が多数の
    個別メモリブロックを含んでおり、また冗長列線がすべ
    ての個別メモリブロックのなかで同時にそのつどの置換
    すべき列線を置換し得ることを特徴とする請求項1ない
    し3の1つに記載の列冗長回路装置。
  5. 【請求項5】 アドレス復号手段(CF1,1 …C
    P,4 )がメモリブロックアドレスおよび列アドレスを
    復号するための分離された手段を含んでいることを特徴
    とする請求項1ないし4の1つに記載の列冗長回路装
    置。
  6. 【請求項6】 メモリブロックアドレスを復号するため
    の手段が列アドレスを復号するための手段と直列に接続
    されていることを特徴とする請求項5記載の列冗長回路
    装置。
  7. 【請求項7】 メモリブロックアドレスまたは列アドレ
    スを復号するための手段が遮断可能なヒューズ要素(F
    1 …FNXM ;FYy …FNYK )と、節点(A;
    C)と接地点との間に接続されている電界効果トランジ
    スタ(Fx1…TNXM ;TY1 …TNYM )の負荷パス
    との多数の並列に接続されている直列回路を有し、その
    際に電界効果トランジスタの制御入力端にアドレス信号
    が供給され、また保持段(IV、P3;N3、P6)を
    有し、その入力端子が節点(A;C)と接続されてお
    り、またその出力端子から第1の復号信号が取り出し可
    能であり、能動化段(P1、P2、N1;P4、P5、
    N2)を有し、その出力信号が節点(A;C)に与えら
    れることを特徴とする請求項5または6記載の列冗長回
    路装置。
  8. 【請求項8】 能動化段が第1の導電形の電界効果トラ
    ンジスタ(P1、P2;P4、P5)および第2の導電
    形の電界効果トランジスタ(N1;N2)を含み、それ
    らの負荷パスが直列に供給電位(VDD)と接地電位と
    の間に接続されており、その際に接地電位に接続されて
    いる第2の導電形の電界効果トランジスタ(N1;N
    2)の制御端子と供給電位に接続されている第1の導電
    形の電界効果トランジスタ(P1;P4)の制御端子と
    が互いに接続されており、また第1の制御信号(EN;
    B)を供給され、第1の導電形の第2の電界効果トラン
    ジスタ(P2;P5)の制御端子に別の制御信号(S
    P;ATDN)が供給され、また第1の導電形の第2の
    電界効果トランジスタ(P2;P5)および第2の導電
    形の電界効果トランジスタ(N1;N2)の負荷パスの
    直列回路の節点から出力信号が取り出されることを特徴
    とする請求項7記載の列冗長回路装置。
  9. 【請求項9】 アドレス復号手段がダイナミックな回路
    装置により構成されていることを特徴とする請求項5ま
    たは6記載の列冗長回路装置。
  10. 【請求項10】 メモリブロックアドレスまたは列アド
    レスを復号するための手段が遮断可能なヒューズ要素
    (FK1 …FNXM )と、節点(A)と接地点との間に
    接続されている電界効果トランジスタ(TX1 …T
    M )の負荷パスとの多数の並列に接続されている直列
    回路を有し、その際に電界効果トランジスタ(TX1
    TXM )の制御入力端にアドレス信号が供給され、予充
    電トランジスタ(P1)を有し、その負荷パスが供給電
    圧端子(VDD)と節点(A)との間に接続されてお
    り、節点と接続されているダイナミックな保持段(N、
    P2)と論理ゲート(NG)とを有し、その入力端子が
    節点(A)と接続されており、またその出力端子からの
    復号手段の出力信号が取り出し可能であることを特徴と
    する請求項9記載の列冗長回路装置。
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