JPH06258537A - ドライフィルムレジストおよびそれを用いたプリント配線板 - Google Patents
ドライフィルムレジストおよびそれを用いたプリント配線板Info
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- JPH06258537A JPH06258537A JP4691993A JP4691993A JPH06258537A JP H06258537 A JPH06258537 A JP H06258537A JP 4691993 A JP4691993 A JP 4691993A JP 4691993 A JP4691993 A JP 4691993A JP H06258537 A JPH06258537 A JP H06258537A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 配線板上の光素子間を効率よく接続でき、光
導波路を損傷する恐れもなく、複雑な光導波路パターン
であっても容易に形成することができるドライフィルム
レジストおよびそれを用いて光導波路を形成したプリン
ト配線板を提供する。 【構成】 ベースフィルムと感光性樹脂層とからなり、
感光性樹脂層が硬化後の屈折率が異なる少なくとも２つ
の感光性樹脂層から形成されているドライフィルムレジ
スト、および、このようなドライフィルムレジストを用
いて、基板上に感光性樹脂からなる高屈折率のコア層と
感光性樹脂からなる低屈折率のクラッド層とから構成さ
れた光導波路を有するプリント配線板。
導波路を損傷する恐れもなく、複雑な光導波路パターン
であっても容易に形成することができるドライフィルム
レジストおよびそれを用いて光導波路を形成したプリン
ト配線板を提供する。 【構成】 ベースフィルムと感光性樹脂層とからなり、
感光性樹脂層が硬化後の屈折率が異なる少なくとも２つ
の感光性樹脂層から形成されているドライフィルムレジ
スト、および、このようなドライフィルムレジストを用
いて、基板上に感光性樹脂からなる高屈折率のコア層と
感光性樹脂からなる低屈折率のクラッド層とから構成さ
れた光導波路を有するプリント配線板。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光ＩＣ、光モジュー
ル、ＬＥＤ、ＬＤ等の光デバイスが搭載されたプリント
配線板の光導波路形成用等に用いられるドライフィルム
レジストおよびそれを用いて光導波路を形成したプリン
ト配線板に関するものであり、さらに詳しくはプリント
配線板上に光導波路を容易に形成できるドライフィルム
レジストおよびそれを用いたプリント配線板に関するも
のである。
ル、ＬＥＤ、ＬＤ等の光デバイスが搭載されたプリント
配線板の光導波路形成用等に用いられるドライフィルム
レジストおよびそれを用いて光導波路を形成したプリン
ト配線板に関するものであり、さらに詳しくはプリント
配線板上に光導波路を容易に形成できるドライフィルム
レジストおよびそれを用いたプリント配線板に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】電子部品を搭載するプリント配線板は、
エポキシ樹脂等からなる絶縁基板上に、銅や半田等の金
属導電材料を用いて配線パターンを形成し、電気信号の
伝送、半導体素子等の能動素子に対する電源供給、ベタ
パターンによるシールド遮蔽等の役割を果たしている。
エポキシ樹脂等からなる絶縁基板上に、銅や半田等の金
属導電材料を用いて配線パターンを形成し、電気信号の
伝送、半導体素子等の能動素子に対する電源供給、ベタ
パターンによるシールド遮蔽等の役割を果たしている。
【０００３】近年、このような電子部品に加えて光デー
ダリンクモジュール、光ＩＣ、ＬＥＤ、ＬＤ等の発光素
子、フォトダイオード、フォトトランジスター等の受光
素子が搭載されてきており、同一基板内においても、こ
れら発光素子や受光素子を光導波路で接続することが要
求されている。このような要求に対して、光ファイバー
と光コネクターとを組み合わせて素子間を接続する方法
等が提案されており、例えば、特開平３−２９９０５号
公報等に記載されているように、配線板上に形成された
絶縁膜内に光ファイバーを埋め込む方法等が提案されて
いる。
ダリンクモジュール、光ＩＣ、ＬＥＤ、ＬＤ等の発光素
子、フォトダイオード、フォトトランジスター等の受光
素子が搭載されてきており、同一基板内においても、こ
れら発光素子や受光素子を光導波路で接続することが要
求されている。このような要求に対して、光ファイバー
と光コネクターとを組み合わせて素子間を接続する方法
等が提案されており、例えば、特開平３−２９９０５号
公報等に記載されているように、配線板上に形成された
絶縁膜内に光ファイバーを埋め込む方法等が提案されて
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、光ファ
イバーを使用する場合には、光ファイバーを引っかけた
りして損傷させたり切断させたりする恐れがあり、その
取扱いに注意を要するとともに、光データバスや光アド
レスバス等では多数の光ファイバーを接続する必要があ
り、その配列だけでも非常に手間がかかるものであり、
生産性に劣るという問題点を有していた。また、光ファ
イバーの固定もソルダーレジスト等への埋め込み作業は
非常に煩雑なものとなる。さらに、光コネクタによる配
線では、省スペース化が困難であるという問題点をも有
していた。本発明は、プリント配線板上に光導波路を効
率的に、容易に形成することができるドライフィルムレ
ジスト、および、それを用いて光導波路を形成したプリ
ント配線板を提供することを目的とするものである。
イバーを使用する場合には、光ファイバーを引っかけた
りして損傷させたり切断させたりする恐れがあり、その
取扱いに注意を要するとともに、光データバスや光アド
レスバス等では多数の光ファイバーを接続する必要があ
り、その配列だけでも非常に手間がかかるものであり、
生産性に劣るという問題点を有していた。また、光ファ
イバーの固定もソルダーレジスト等への埋め込み作業は
非常に煩雑なものとなる。さらに、光コネクタによる配
線では、省スペース化が困難であるという問題点をも有
していた。本発明は、プリント配線板上に光導波路を効
率的に、容易に形成することができるドライフィルムレ
ジスト、および、それを用いて光導波路を形成したプリ
ント配線板を提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記のよ
うな従来技術の問題点に鑑み、プリント配線板上に光導
波路を形成方法について鋭意検討することによって本発
明に到達したものである。すなわち、本発明の第１発明
であるドライフィルムレジストは、ベースフィルムと感
光性樹脂層とからなり、感光性樹脂層が硬化後の屈折率
が異なる少なくとも２つの感光性樹脂層から形成されて
いることを特徴とするものである。また、本発明の第２
発明であるプリント配線板は、基板上に、感光性樹脂か
らなる高屈折率のコア層と感光性樹脂からなる低屈折率
のクラッド層とから構成された光導波路を有することを
特徴とするものである。
うな従来技術の問題点に鑑み、プリント配線板上に光導
波路を形成方法について鋭意検討することによって本発
明に到達したものである。すなわち、本発明の第１発明
であるドライフィルムレジストは、ベースフィルムと感
光性樹脂層とからなり、感光性樹脂層が硬化後の屈折率
が異なる少なくとも２つの感光性樹脂層から形成されて
いることを特徴とするものである。また、本発明の第２
発明であるプリント配線板は、基板上に、感光性樹脂か
らなる高屈折率のコア層と感光性樹脂からなる低屈折率
のクラッド層とから構成された光導波路を有することを
特徴とするものである。
【０００６】本発明のドライフィルムレジストは、図１
に示したように、ポリエチレンテレフタレート等のベー
スフィルム１と、ベースフィルム１上に形成された感光
性樹脂層２とからなり、必要に応じて、ベースフィルム
１と反対側にポリエチレンやポリプロピレン等のカバー
フィルム３を保護フィルムとしてラミネートし、感光性
樹脂層２がベースフィルム１とカバーフィルム３との間
に挟まれる構造としてもよい。
に示したように、ポリエチレンテレフタレート等のベー
スフィルム１と、ベースフィルム１上に形成された感光
性樹脂層２とからなり、必要に応じて、ベースフィルム
１と反対側にポリエチレンやポリプロピレン等のカバー
フィルム３を保護フィルムとしてラミネートし、感光性
樹脂層２がベースフィルム１とカバーフィルム３との間
に挟まれる構造としてもよい。
【０００７】感光性樹脂層２は、硬化後の屈折率の異な
る少なくとも２つの感光性樹脂層から構成されており、
光導波路を形成した場合に、硬化後の屈折率が低い第１
の感光性樹脂層４が外層のクラッド層を形成し、硬化後
の屈折率が高い第２の感光性樹脂層５がコア層を形成す
るように構成され、例えば、図１に示したようにベース
フィルム１上に第１の感光性樹脂層４、第２の感光性樹
脂層５の順に形成される。また、第２の感光性樹脂層５
の上に、硬化後の屈折率が第２の感光性樹脂層５よりも
低くなる第３の感光性樹脂層６を形成してもよく、この
ような三層構造とすることにより、形成した光導波路の
伝送中の光の損失を少なくすることができる。なお、光
の伝播モードを同一化するためには、第１の感光性樹脂
層４と第３の感光性樹脂層６の硬化後の屈折率を同一に
することが好ましく、この場合、第３の感光性樹脂層６
と第１の感光性樹脂層４とを同一の感光性樹脂を使用す
ればよい。
る少なくとも２つの感光性樹脂層から構成されており、
光導波路を形成した場合に、硬化後の屈折率が低い第１
の感光性樹脂層４が外層のクラッド層を形成し、硬化後
の屈折率が高い第２の感光性樹脂層５がコア層を形成す
るように構成され、例えば、図１に示したようにベース
フィルム１上に第１の感光性樹脂層４、第２の感光性樹
脂層５の順に形成される。また、第２の感光性樹脂層５
の上に、硬化後の屈折率が第２の感光性樹脂層５よりも
低くなる第３の感光性樹脂層６を形成してもよく、この
ような三層構造とすることにより、形成した光導波路の
伝送中の光の損失を少なくすることができる。なお、光
の伝播モードを同一化するためには、第１の感光性樹脂
層４と第３の感光性樹脂層６の硬化後の屈折率を同一に
することが好ましく、この場合、第３の感光性樹脂層６
と第１の感光性樹脂層４とを同一の感光性樹脂を使用す
ればよい。
【０００８】本発明のドライフィルムレジストを構成す
る感光性樹脂層２は、紫外線、電子線、放射線等の活性
エネルギー線等を照射することによって硬化可能な感光
性樹脂であれば特に限定されるものではなく、例えば、
高粘度モノマー、オリゴマーおよび光重合開始剤からな
る組成物、熱可塑性重合体、モノマーおよび光重合開始
剤からなる組成物等が挙げられるが、一般的には後者の
感光性樹脂組成物を使用することが好ましい。
る感光性樹脂層２は、紫外線、電子線、放射線等の活性
エネルギー線等を照射することによって硬化可能な感光
性樹脂であれば特に限定されるものではなく、例えば、
高粘度モノマー、オリゴマーおよび光重合開始剤からな
る組成物、熱可塑性重合体、モノマーおよび光重合開始
剤からなる組成物等が挙げられるが、一般的には後者の
感光性樹脂組成物を使用することが好ましい。
【０００９】硬化後の屈折率の高い感光性樹脂層（第２
の感光性樹脂層５）に使用される熱可塑性重合体として
は、現像液に可溶であるか、現像液で膨潤するものであ
れば種々のものが使用できる。例えば、１，１，１トリ
クロロエタンを現像液とする場合には、ポリメタクリル
酸メチルまたはメタクリル酸メチルを主成分とする共重
合体を使用することができる。メタクリル酸メチルと共
重合させる単量体としては、例えば、アクリル酸メチ
ル、（メタ）アクリル酸エチル（アクリル酸エチルまた
はメタクリル酸エチルの意、以下同様）、（メタ）アク
リル酸ｎ−プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピ
ル、（メタ）アクリル酸ｎ−ブチル、（メタ）アクリル
酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル、（メ
タ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル
酸ラウリル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチ
ル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル等の
（メタ）アクリル酸エステル、スチレン等が挙げられ
る。また、炭酸ナトリウム水溶液等のアルカリ希薄溶液
を現像剤とする場合には、前記（メタ）アクリル酸エス
テルまたはスチレン等とアクリル酸、メタクリル酸、イ
タコン酸、フマル酸、マレイン酸等のカルボン酸との共
重合体等を使用することができる。
の感光性樹脂層５）に使用される熱可塑性重合体として
は、現像液に可溶であるか、現像液で膨潤するものであ
れば種々のものが使用できる。例えば、１，１，１トリ
クロロエタンを現像液とする場合には、ポリメタクリル
酸メチルまたはメタクリル酸メチルを主成分とする共重
合体を使用することができる。メタクリル酸メチルと共
重合させる単量体としては、例えば、アクリル酸メチ
ル、（メタ）アクリル酸エチル（アクリル酸エチルまた
はメタクリル酸エチルの意、以下同様）、（メタ）アク
リル酸ｎ−プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピ
ル、（メタ）アクリル酸ｎ−ブチル、（メタ）アクリル
酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル、（メ
タ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル
酸ラウリル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチ
ル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル等の
（メタ）アクリル酸エステル、スチレン等が挙げられ
る。また、炭酸ナトリウム水溶液等のアルカリ希薄溶液
を現像剤とする場合には、前記（メタ）アクリル酸エス
テルまたはスチレン等とアクリル酸、メタクリル酸、イ
タコン酸、フマル酸、マレイン酸等のカルボン酸との共
重合体等を使用することができる。
【００１０】硬化後の屈折率が低い感光性樹脂層（第１
および第３の感光性樹脂層４、６）に使用される熱可塑
性重合体としては、前記硬化後の屈折率が低い感光性樹
脂層に使用される熱可塑性重合体と基本的には同一であ
るが、屈折率を低下させるために特開昭６２−７６０１
５号公報に開示されているようなシリコン含有（メタ）
アクリレートや特公昭５６−８３２１号公報に開示され
ているようなフッ化アルキル（メタ）アクリレートを共
重合させたものを使用することができる。このような共
重合成分の具体例としては、メタクリル酸−２，２，２
−トリフルオロエチル、メタクリル酸−２，２，３，
３，３−ペンタフルオロプロピル、メタクリル酸−１，
１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２−プロピル、
メタクリル酸パーフルオロイソプロピル、メタクリル酸
−２，２，３，３−テトラフルオロプロピル、メタクリ
ル酸−２，２，３，４，４−ヘキサフルオロブチル、メ
タクリル酸−１，１−ジハイドロパーフルオロブチル、
メタクリル酸−１，１，５−トリハイドロパーフルオロ
ペンチル、メタクリル酸−１，１，２，２−テトラヒド
ロパーフルオロオクチル、メタクリル酸−１，１，２，
２−テトラヒドロパーフルオロデシル等が挙げられる。
これら共重合成分は、熱可塑性重合体１００重量部に対
して０．０１〜４０重量部の範囲で共重合させることが
好ましい。このような熱可塑性重合体は、いずれの感光
性樹脂層においても感光性樹脂組成物中に４５〜７５重
量％の範囲で使用することが好ましい。
および第３の感光性樹脂層４、６）に使用される熱可塑
性重合体としては、前記硬化後の屈折率が低い感光性樹
脂層に使用される熱可塑性重合体と基本的には同一であ
るが、屈折率を低下させるために特開昭６２−７６０１
５号公報に開示されているようなシリコン含有（メタ）
アクリレートや特公昭５６−８３２１号公報に開示され
ているようなフッ化アルキル（メタ）アクリレートを共
重合させたものを使用することができる。このような共
重合成分の具体例としては、メタクリル酸−２，２，２
−トリフルオロエチル、メタクリル酸−２，２，３，
３，３−ペンタフルオロプロピル、メタクリル酸−１，
１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２−プロピル、
メタクリル酸パーフルオロイソプロピル、メタクリル酸
−２，２，３，３−テトラフルオロプロピル、メタクリ
ル酸−２，２，３，４，４−ヘキサフルオロブチル、メ
タクリル酸−１，１−ジハイドロパーフルオロブチル、
メタクリル酸−１，１，５−トリハイドロパーフルオロ
ペンチル、メタクリル酸−１，１，２，２−テトラヒド
ロパーフルオロオクチル、メタクリル酸−１，１，２，
２−テトラヒドロパーフルオロデシル等が挙げられる。
これら共重合成分は、熱可塑性重合体１００重量部に対
して０．０１〜４０重量部の範囲で共重合させることが
好ましい。このような熱可塑性重合体は、いずれの感光
性樹脂層においても感光性樹脂組成物中に４５〜７５重
量％の範囲で使用することが好ましい。
【００１１】感光性樹脂層２に使用されるモノマーとし
ては、分子中に少なくとも１つのエチレン性不飽和基を
有する架橋性単量体を使用することができ、例えば、ポ
リエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリ
トールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアク
リレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、
トリメチロールプロパントリアクリレート等の多価アル
コールのアクリレートエステルやエポキシアクリレー
ト、ウレタンアクリレート、アクリルアミド等が挙げら
れる。これら架橋性単量体は、１種または２種以上を併
用して使用することができ、感光性樹脂組成物中に２５
〜５０重量％の範囲で使用することが好ましい。また、
硬化後の屈折率を低下させる観点から、上記架橋性単量
体とともにジリコン含有（メタ）アクリレートやフッ化
アルキル（メタ）アクリレートをモノマーとして併用す
ることが好ましい。
ては、分子中に少なくとも１つのエチレン性不飽和基を
有する架橋性単量体を使用することができ、例えば、ポ
リエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリ
トールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアク
リレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、
トリメチロールプロパントリアクリレート等の多価アル
コールのアクリレートエステルやエポキシアクリレー
ト、ウレタンアクリレート、アクリルアミド等が挙げら
れる。これら架橋性単量体は、１種または２種以上を併
用して使用することができ、感光性樹脂組成物中に２５
〜５０重量％の範囲で使用することが好ましい。また、
硬化後の屈折率を低下させる観点から、上記架橋性単量
体とともにジリコン含有（メタ）アクリレートやフッ化
アルキル（メタ）アクリレートをモノマーとして併用す
ることが好ましい。
【００１２】感光性樹脂層２に使用される光重合開始剤
としては、例えば、ベンゾフェノン、ミヒラーズケト
ン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノ
ン、ｔ−ブチルアントラキノン、２−エチルアントラキ
ノン、ベンジインアルキルエーテル類、ベンジルケター
ル類、チオキサントン類等が挙げられ、これらを単独あ
るいは２種以上を組み合わせて使用することができる。
これら光重合開始剤は、感光性樹脂組成物中に０．１〜
１０重量％の範囲で使用することが好ましい。感光性樹
脂層２として使用される感光性樹脂組成物は、上記熱可
塑性重合体、モノマーおよび光重合開始剤の他、必要に
応じて、密着促進剤、難燃剤、可塑剤、熱重合禁止剤等
を添加してもよい。
としては、例えば、ベンゾフェノン、ミヒラーズケト
ン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノ
ン、ｔ−ブチルアントラキノン、２−エチルアントラキ
ノン、ベンジインアルキルエーテル類、ベンジルケター
ル類、チオキサントン類等が挙げられ、これらを単独あ
るいは２種以上を組み合わせて使用することができる。
これら光重合開始剤は、感光性樹脂組成物中に０．１〜
１０重量％の範囲で使用することが好ましい。感光性樹
脂層２として使用される感光性樹脂組成物は、上記熱可
塑性重合体、モノマーおよび光重合開始剤の他、必要に
応じて、密着促進剤、難燃剤、可塑剤、熱重合禁止剤等
を添加してもよい。
【００１３】本発明のドライフィルムレジストは、ベー
スフィルム１上に、順次、上記の第１、第２、第３の感
光性樹脂組成物をそのまま塗布することによっても製造
することができるが、沸点のあまり高くない溶剤、例え
ば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセルソル
ブ、ジクロロメタン、クロロホルム、メチルアルコー
ル、エチルアルコール、イソプロピルアルコール等の溶
剤に溶解、混合して使用することによって、容易に塗布
することができる。これら溶剤は、単独あるいは２種以
上を混合して使用することができ、感光性樹脂組成物１
００重量部に対して２００重量部以下、好ましくは５０
〜１５０重量部の範囲で使用することができる。
スフィルム１上に、順次、上記の第１、第２、第３の感
光性樹脂組成物をそのまま塗布することによっても製造
することができるが、沸点のあまり高くない溶剤、例え
ば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセルソル
ブ、ジクロロメタン、クロロホルム、メチルアルコー
ル、エチルアルコール、イソプロピルアルコール等の溶
剤に溶解、混合して使用することによって、容易に塗布
することができる。これら溶剤は、単独あるいは２種以
上を混合して使用することができ、感光性樹脂組成物１
００重量部に対して２００重量部以下、好ましくは５０
〜１５０重量部の範囲で使用することができる。
【００１４】感光性樹脂組成物の塗布は、ブレードコー
ター、ロッドコーター、ナイフコーター、ロールドクタ
ーコーター、コンマコーター、リバースロールコータ
ー、トランスファロールコーター、グラビアコーター、
キスロールコーター、カーテンコーター等を用いて行う
ことができる。感光性樹脂組成物を溶剤に溶解、混合し
て使用する場合には、塗布した後に乾燥機等を用いて溶
剤を飛散させる必要がある。乾燥機としては、可燃性有
機溶剤を使用する場合には、安全性の点から蒸気による
空気加熱式の熱源を備えたものを使用し、乾燥機内の熱
風を交流接触させる方式やノズルより支持体に吹き付け
る方式等が用いられる。乾燥機の形状としては、アーチ
式、フラット式等を目的に応じて選択できる。
ター、ロッドコーター、ナイフコーター、ロールドクタ
ーコーター、コンマコーター、リバースロールコータ
ー、トランスファロールコーター、グラビアコーター、
キスロールコーター、カーテンコーター等を用いて行う
ことができる。感光性樹脂組成物を溶剤に溶解、混合し
て使用する場合には、塗布した後に乾燥機等を用いて溶
剤を飛散させる必要がある。乾燥機としては、可燃性有
機溶剤を使用する場合には、安全性の点から蒸気による
空気加熱式の熱源を備えたものを使用し、乾燥機内の熱
風を交流接触させる方式やノズルより支持体に吹き付け
る方式等が用いられる。乾燥機の形状としては、アーチ
式、フラット式等を目的に応じて選択できる。
【００１５】上記のような塗布方法を繰り返して、ベー
スフィルム１上に二層あるいは三層構造の感光性樹脂層
２を形成した後、必要に応じて、カバーフィルムをラミ
ネートすることによって、本発明のドライフィルムレジ
ストが得られる。次に、図２〜図５に従って、本発明の
ドライフィルムレジストを用いて、プリント配線板上に
光導波路を形成する方法を説明する。
スフィルム１上に二層あるいは三層構造の感光性樹脂層
２を形成した後、必要に応じて、カバーフィルムをラミ
ネートすることによって、本発明のドライフィルムレジ
ストが得られる。次に、図２〜図５に従って、本発明の
ドライフィルムレジストを用いて、プリント配線板上に
光導波路を形成する方法を説明する。
【００１６】まず、ドライフィルムレジストを、ベース
フィルム１が上になるように基板７にカバーフィルム３
を除去しながら、常圧熱ロール圧着法、真空熱ロール圧
着法、真空熱プレス圧着法等の積層方法を用いて、適当
な熱と圧力を加えながら、図２に示したように積層す
る。次いで、図３に示したように、所望の光導波路のパ
ターンが描かれたフォトツール８をベースフィルム１上
に載置し、紫外線露光法、可視光露光法、レーザー露光
法等を用いて、フォトツール８を通して感光性樹脂層２
に露光する。これによって、感光性樹脂層２の露光部分
では光重合が進み硬化し、フォトツール８のパターンに
よって遮光された部分（未露光部分）は未硬化のままと
なる。
フィルム１が上になるように基板７にカバーフィルム３
を除去しながら、常圧熱ロール圧着法、真空熱ロール圧
着法、真空熱プレス圧着法等の積層方法を用いて、適当
な熱と圧力を加えながら、図２に示したように積層す
る。次いで、図３に示したように、所望の光導波路のパ
ターンが描かれたフォトツール８をベースフィルム１上
に載置し、紫外線露光法、可視光露光法、レーザー露光
法等を用いて、フォトツール８を通して感光性樹脂層２
に露光する。これによって、感光性樹脂層２の露光部分
では光重合が進み硬化し、フォトツール８のパターンに
よって遮光された部分（未露光部分）は未硬化のままと
なる。
【００１７】その後、ベースフィルム１を剥離して、炭
酸ナトリウム水溶液、リン酸ナトリウム水溶液、炭酸カ
リウム水溶液等の現像剤を用いて未硬化部分の除去を行
う。現像剤には、少量の消泡剤や界面活性剤を添加して
もよい。また、未露光部分の除去は、一般的には現像剤
をスプレー法によって吹き付ける方法が使用されるが、
現像剤中に浸漬させる浸漬法で行うこともできる。
酸ナトリウム水溶液、リン酸ナトリウム水溶液、炭酸カ
リウム水溶液等の現像剤を用いて未硬化部分の除去を行
う。現像剤には、少量の消泡剤や界面活性剤を添加して
もよい。また、未露光部分の除去は、一般的には現像剤
をスプレー法によって吹き付ける方法が使用されるが、
現像剤中に浸漬させる浸漬法で行うこともできる。
【００１８】未露光部分の除去を行うことによって、図
４に示したようにフォトツール８のパターンに従った、
コア層９の上下にクラッド層１０，１１が形成された光
導波路１２を形成することができる。なお、図４に示し
た状態では、光導波路のサイドウォールは空気（屈折率
１．０）がクラッド層となるが、上下のクラッド層１
０，１１と屈折率を一致させ光の伝播モードを同一化さ
せるとともに、光導波路１２を保護する目的で、図５に
示したようにソルダーレジストや液状レジスト等によっ
て被覆層１３を形成してもよい。
４に示したようにフォトツール８のパターンに従った、
コア層９の上下にクラッド層１０，１１が形成された光
導波路１２を形成することができる。なお、図４に示し
た状態では、光導波路のサイドウォールは空気（屈折率
１．０）がクラッド層となるが、上下のクラッド層１
０，１１と屈折率を一致させ光の伝播モードを同一化さ
せるとともに、光導波路１２を保護する目的で、図５に
示したようにソルダーレジストや液状レジスト等によっ
て被覆層１３を形成してもよい。
【００１９】
【実施例】以下、本発明を実施例によって具体的に説明
する。厚さ２５μｍのポリエチレンテレフタレートフィ
ルム上に、熱可塑性重合体としてフルオロアルキルメタ
クリレートとメタクリル酸との共重合体、エチレン性不
飽和単量体としてポリエチレングリコールジアクリレー
トとポリプロピレングリコールジアクリレートの混合
物、光重合開始剤としてベンゾフェノン、密着促進剤と
して５−アミノテトラゾールからなる感光性樹脂組成物
をブレードコーターを用いて塗布し、第１の感光性樹脂
層を形成した。次いで、第１の感光性樹脂層上に、熱可
塑性重合体としてメタクリル酸メチルとメタクリル酸と
の共重合体、エチレン性不飽和単量体としてポリエチレ
ングリコールジアクリレートとポリプロピレングリコー
ルジアクリレートの混合物、光重合開始剤としてベンゾ
フェノン、密着促進剤として５−アミノテトラゾールか
らなる感光性樹脂組成物をブレードコーターを用いて塗
布し、第２の感光性樹脂層を形成した。さらに、第２の
感光性樹脂層上に、第１の感光性樹脂層と同一の感光性
樹脂組成物をブレードコーターを用いて塗布し、第３の
感光性樹脂層を形成した。その後、厚さ３５μｍのポリ
エチレンフィルムを第３の感光性樹脂層上にラミネート
して、ドライフィルムレジストを得た。
する。厚さ２５μｍのポリエチレンテレフタレートフィ
ルム上に、熱可塑性重合体としてフルオロアルキルメタ
クリレートとメタクリル酸との共重合体、エチレン性不
飽和単量体としてポリエチレングリコールジアクリレー
トとポリプロピレングリコールジアクリレートの混合
物、光重合開始剤としてベンゾフェノン、密着促進剤と
して５−アミノテトラゾールからなる感光性樹脂組成物
をブレードコーターを用いて塗布し、第１の感光性樹脂
層を形成した。次いで、第１の感光性樹脂層上に、熱可
塑性重合体としてメタクリル酸メチルとメタクリル酸と
の共重合体、エチレン性不飽和単量体としてポリエチレ
ングリコールジアクリレートとポリプロピレングリコー
ルジアクリレートの混合物、光重合開始剤としてベンゾ
フェノン、密着促進剤として５−アミノテトラゾールか
らなる感光性樹脂組成物をブレードコーターを用いて塗
布し、第２の感光性樹脂層を形成した。さらに、第２の
感光性樹脂層上に、第１の感光性樹脂層と同一の感光性
樹脂組成物をブレードコーターを用いて塗布し、第３の
感光性樹脂層を形成した。その後、厚さ３５μｍのポリ
エチレンフィルムを第３の感光性樹脂層上にラミネート
して、ドライフィルムレジストを得た。
【００２０】得られたドライフィルムレジストを、予め
銅や半田等で電気信号用の配線パターンが形成された基
板に、ベースフィルムが上になるようにカバーフィルム
を除去しながら、適当な熱と圧力を加えながら熱ラミネ
ートした。次いで、所望の光導波路のパターンが描かれ
たフォトツールをベースフィルム上に密着して載置し、
高圧水銀灯を用いて紫外線を照射した。その後、ベース
フィルムを剥離して、炭酸ナトリウムの１％水溶液を用
いて、液温を３０℃に保持した状態で現像を行い感光性
樹脂層の未硬化部分を除去し、コア層の上下にクラッド
層が形成された光導波路パターンを形成した。
銅や半田等で電気信号用の配線パターンが形成された基
板に、ベースフィルムが上になるようにカバーフィルム
を除去しながら、適当な熱と圧力を加えながら熱ラミネ
ートした。次いで、所望の光導波路のパターンが描かれ
たフォトツールをベースフィルム上に密着して載置し、
高圧水銀灯を用いて紫外線を照射した。その後、ベース
フィルムを剥離して、炭酸ナトリウムの１％水溶液を用
いて、液温を３０℃に保持した状態で現像を行い感光性
樹脂層の未硬化部分を除去し、コア層の上下にクラッド
層が形成された光導波路パターンを形成した。
【００２１】形成された光導波路のコア層の屈折率は
１．４９２であり、クラッド層の屈折率は１．４１７で
あった。最後に、屈折率が１．４１７程度となる液状レ
ジストを基板上に塗布し、光導波路のサイドクラッドお
よび保護を兼ねる保護層を形成し、光導波路を有するプ
リント配線板を製造した。得られたプリント配線板で
は、光導波路自体が絶縁物であるため、配線板上の電気
配線部、非電気配線部を区別する必要なく効率的な布線
設計を行うことができるとともに、配線板上の光素子間
を効率よく接続することもできた。また、光導波路の形
成の際に、光導波路を損傷する恐れがなく、複雑なパタ
ーンであっても容易に形成することができるものであっ
た。さらに、銅や半田による電気信号の配線パターンの
形成で使用するアルカリ現像装置を、光導波路の形成に
も使用できるため、従来の製造装置をそのまま使用する
ことができた。
１．４９２であり、クラッド層の屈折率は１．４１７で
あった。最後に、屈折率が１．４１７程度となる液状レ
ジストを基板上に塗布し、光導波路のサイドクラッドお
よび保護を兼ねる保護層を形成し、光導波路を有するプ
リント配線板を製造した。得られたプリント配線板で
は、光導波路自体が絶縁物であるため、配線板上の電気
配線部、非電気配線部を区別する必要なく効率的な布線
設計を行うことができるとともに、配線板上の光素子間
を効率よく接続することもできた。また、光導波路の形
成の際に、光導波路を損傷する恐れがなく、複雑なパタ
ーンであっても容易に形成することができるものであっ
た。さらに、銅や半田による電気信号の配線パターンの
形成で使用するアルカリ現像装置を、光導波路の形成に
も使用できるため、従来の製造装置をそのまま使用する
ことができた。
【００２２】
【発明の効果】本発明のドライフィルムレジストおよび
それを用いて光導波路を形成したプリント配線板は、配
線板上の光素子間を効率よく接続でき、光導波路を損傷
する恐れもなく、複雑な光導波路パターンであっても容
易に形成することができるものである。
それを用いて光導波路を形成したプリント配線板は、配
線板上の光素子間を効率よく接続でき、光導波路を損傷
する恐れもなく、複雑な光導波路パターンであっても容
易に形成することができるものである。
【図１】本発明のドライフィルムレジストの構成を示す
断面図である。
断面図である。
【図２】本発明のプリント配線板の製造工程を示す断面
図である。
図である。
【図３】本発明のドライフィルムレジストの構成を示す
断面図である。
断面図である。
【図４】本発明のプリント配線板を示す断面概略図であ
る。
る。
【図５】本発明のプリント配線板を示す断面概略図であ
る。
る。
１ ベースフィルム ２ 感光性樹脂層 ３ カバーフィルム ４ 第１の感光性樹脂層 ５ 第２の感光性樹脂層 ６ 第３の感光性樹脂層 ７ 基板 ８ フォトツール ９ コア層 １０ クラッド層 １１ クラッド層 １２ 光導波路 １３ 保護層
Claims (6)
- 【請求項１】 ベースフィルムと感光性樹脂層とからな
り、感光性樹脂層が硬化後の屈折率が異なる少なくとも
２つの感光性樹脂層から形成されていることを特徴とす
るドライフィルムレジスト。 - 【請求項２】 感光性樹脂層が、ベースフィルム上に形
成された第１の感光性樹脂層と、第１の感光性樹脂層上
に形成された第２の感光性樹脂層からなり、硬化後の屈
折率が第１の感光性樹脂層よりも第２の感光性樹脂層の
ほうが高くなることを特徴とする請求項１記載のドライ
フィルムレジスト。 - 【請求項３】 感光性樹脂層が、ベースフィルム上に形
成された第１の感光性樹脂層と、第１の感光性樹脂層上
に形成された第２の感光性樹脂層と、第２の感光性樹脂
層上に形成された第３の感光性樹脂層からなり、硬化後
の屈折率が第１および第３の感光性樹脂層よりも第２の
感光性樹脂層のほうが高くなることを特徴とする請求項
１記載のドライフィルムレジスト。 - 【請求項４】 感光性樹脂層が、ベースフィルムとカバ
ーフィルムとの間に形成されたことを特徴とする請求項
１記載のドライフィルムレジスト。 - 【請求項５】 基板上に、感光性樹脂からなる高屈折率
のコア層と感光性樹脂からなる低屈折率のクラッド層と
から構成された光導波路を有することを特徴とするプリ
ント配線板。 - 【請求項６】 光導波路が、コア層の両面にクラッド層
が形成されてなることを特徴とする請求項５記載のプリ
ント配線板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4691993A JPH06258537A (ja) | 1993-03-08 | 1993-03-08 | ドライフィルムレジストおよびそれを用いたプリント配線板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4691993A JPH06258537A (ja) | 1993-03-08 | 1993-03-08 | ドライフィルムレジストおよびそれを用いたプリント配線板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06258537A true JPH06258537A (ja) | 1994-09-16 |
Family
ID=12760746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4691993A Pending JPH06258537A (ja) | 1993-03-08 | 1993-03-08 | ドライフィルムレジストおよびそれを用いたプリント配線板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06258537A (ja) |
Cited By (23)
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-
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- 1993-03-08 JP JP4691993A patent/JPH06258537A/ja active Pending
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