JPH06230080A - 検査装置 - Google Patents
検査装置Info
- Publication number
- JPH06230080A JPH06230080A JP5034231A JP3423193A JPH06230080A JP H06230080 A JPH06230080 A JP H06230080A JP 5034231 A JP5034231 A JP 5034231A JP 3423193 A JP3423193 A JP 3423193A JP H06230080 A JPH06230080 A JP H06230080A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＧＰＩＢ装置とデータの伝送中にもＩＣテス
タが占有されず、制御処理と試験処理とが並列して実行
できる検査装置を提供する。 【構成】 ＧＰＩＢ装置３１・３２に接続され、ＧＰＩ
Ｂ装置３１・３２に対する制御処理と被試験対象物に対
する試験処理とを実行する検査装置１において、前記制
御処理を行うべき旨の指令に応答して当該処理に必要な
データを検査装置１から読込むデータ読込手段２１と、
データをＧＰＩＢ装置３１・３２に伝送するデータ伝送
手段２２と、ＧＰＩＢ装置３１・３２からの当該処理の
終了を示す信号に応答して検査装置１に当該処理の終了
に必要なデータを送出するデータ書込手段２３とを備え
るマイクロコンピュータ２を設け、制御処理と試験処理
とを並列して実行する。
タが占有されず、制御処理と試験処理とが並列して実行
できる検査装置を提供する。 【構成】 ＧＰＩＢ装置３１・３２に接続され、ＧＰＩ
Ｂ装置３１・３２に対する制御処理と被試験対象物に対
する試験処理とを実行する検査装置１において、前記制
御処理を行うべき旨の指令に応答して当該処理に必要な
データを検査装置１から読込むデータ読込手段２１と、
データをＧＰＩＢ装置３１・３２に伝送するデータ伝送
手段２２と、ＧＰＩＢ装置３１・３２からの当該処理の
終了を示す信号に応答して検査装置１に当該処理の終了
に必要なデータを送出するデータ書込手段２３とを備え
るマイクロコンピュータ２を設け、制御処理と試験処理
とを並列して実行する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は検査装置についてのも
のであり、被試験対象物として半導体装置を試験するＩ
ＣテスタにＧＰＩＢ装置を接続する場合に、ＩＣテスタ
とは別ＣＰＵでＩＣテスタとＧＰＩＢ装置とを並列処理
する検査装置についてのものである。
のであり、被試験対象物として半導体装置を試験するＩ
ＣテスタにＧＰＩＢ装置を接続する場合に、ＩＣテスタ
とは別ＣＰＵでＩＣテスタとＧＰＩＢ装置とを並列処理
する検査装置についてのものである。
【０００２】
【従来の技術】つぎに、従来の検査装置としてＩＣテス
タを例として、このＩＣテスタにＧＰＩＢインターフェ
ースを介して各種装置（以下ＧＰＩＢ装置という）が接
続され、これらのＧＰＩＢ装置の制御処理をＩＣテスタ
が行う場合を説明する。
タを例として、このＩＣテスタにＧＰＩＢインターフェ
ースを介して各種装置（以下ＧＰＩＢ装置という）が接
続され、これらのＧＰＩＢ装置の制御処理をＩＣテスタ
が行う場合を説明する。
【０００３】図３は、ＩＣテスタ５０にＧＰＩＢコント
ローラ３０とバス４０とを介して図示を省略したＧＰＩ
Ｂ装置が接続された場合のシステム構成図を示したもの
である。なお、以下の説明においては、ＧＰＩＢコント
ローラもＧＰＩＢ装置に含めて呼ぶものとする。
ローラ３０とバス４０とを介して図示を省略したＧＰＩ
Ｂ装置が接続された場合のシステム構成図を示したもの
である。なお、以下の説明においては、ＧＰＩＢコント
ローラもＧＰＩＢ装置に含めて呼ぶものとする。
【０００４】５１はＩＣテスタ５０のハードウェアを動
かすシステム・プログラムであり、この中にＧＰＩＢ装
置へのデータ伝送手段５２が組み込まれている。半導体
装置に対する試験用プログラム及びＧＰＩＢ装置に対す
る制御プログラムはデバイスプログラム６５として、Ｉ
Ｃテスタに読込まれる。
かすシステム・プログラムであり、この中にＧＰＩＢ装
置へのデータ伝送手段５２が組み込まれている。半導体
装置に対する試験用プログラム及びＧＰＩＢ装置に対す
る制御プログラムはデバイスプログラム６５として、Ｉ
Ｃテスタに読込まれる。
【０００５】次にこの制御方法を図４の流れ図により説
明する。まずステップ１０１で、ＩＣテスタのハードウ
ェアに種々のデータをおくり試験準備をする。ついでス
テップ１０２では、指定されたＧＰＩＢ装置のバスを結
び付け、ステップ１０３でＧＰＩＢ装置との間でバスを
介し、データの送受信を行い、ステップ１０４でＧＰＩ
Ｂ装置を切り離す。ステップ１０５では、ＩＣテスタの
ハードウェアにデータを送り、試験完了とする。
明する。まずステップ１０１で、ＩＣテスタのハードウ
ェアに種々のデータをおくり試験準備をする。ついでス
テップ１０２では、指定されたＧＰＩＢ装置のバスを結
び付け、ステップ１０３でＧＰＩＢ装置との間でバスを
介し、データの送受信を行い、ステップ１０４でＧＰＩ
Ｂ装置を切り離す。ステップ１０５では、ＩＣテスタの
ハードウェアにデータを送り、試験完了とする。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の構成では、ＩＣ
テスタがＧＰＩＢ装置へデータ伝送中は、ＩＣテスタは
ＧＰＩＢ装置への制御処理に占有され、別の処理を行う
ことができなかった。この発明は、ＧＰＩＢ装置とデー
タの伝送中にもＩＣテスタが占有されず、制御処理と試
験処理とが並列して実行できる検査装置を提供すること
を目的とする。
テスタがＧＰＩＢ装置へデータ伝送中は、ＩＣテスタは
ＧＰＩＢ装置への制御処理に占有され、別の処理を行う
ことができなかった。この発明は、ＧＰＩＢ装置とデー
タの伝送中にもＩＣテスタが占有されず、制御処理と試
験処理とが並列して実行できる検査装置を提供すること
を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、この発明では、ＧＰＩＢ装置３１・３２に接続さ
れ、ＧＰＩＢ装置３１・３２に対する制御処理と被試験
対象物に対する試験処理とを実行する検査装置１におい
て、前記制御処理を行うべき旨の指令に応答して当該処
理に必要なデータを検査装置１から読込むデータ読込手
段２１と、前記データをＧＰＩＢ装置３１・３２に伝送
するデータ伝送手段２２と、ＧＰＩＢ装置３１・３２か
らの当該処理の終了を示す信号に応答して検査装置１に
当該処理の終了に必要なデータを送出するデータ書込手
段２３とを備えるマイクロコンピュータ２を設け、前記
制御処理と前記試験処理とを並列して実行するようにし
たものである。
に、この発明では、ＧＰＩＢ装置３１・３２に接続さ
れ、ＧＰＩＢ装置３１・３２に対する制御処理と被試験
対象物に対する試験処理とを実行する検査装置１におい
て、前記制御処理を行うべき旨の指令に応答して当該処
理に必要なデータを検査装置１から読込むデータ読込手
段２１と、前記データをＧＰＩＢ装置３１・３２に伝送
するデータ伝送手段２２と、ＧＰＩＢ装置３１・３２か
らの当該処理の終了を示す信号に応答して検査装置１に
当該処理の終了に必要なデータを送出するデータ書込手
段２３とを備えるマイクロコンピュータ２を設け、前記
制御処理と前記試験処理とを並列して実行するようにし
たものである。
【０００８】
【作用】この発明では試験用の検査装置とは別に、マイ
クロ・コンピュータを設け、ＧＰＩＢ装置の制御はこの
マイクロ・コンピュータにまかせ、ＧＰＩＢ装置とのデ
ータ伝送中に検査装置を解放することにより、検査装置
が他の処理に移れるようにしている。
クロ・コンピュータを設け、ＧＰＩＢ装置の制御はこの
マイクロ・コンピュータにまかせ、ＧＰＩＢ装置とのデ
ータ伝送中に検査装置を解放することにより、検査装置
が他の処理に移れるようにしている。
【０００９】
【実施例】次に、この発明による検査装置の実施例の構
成を図１に示す。図１で、ＩＣテスタ１には半導体装置
の試験とＧＰＩＢ装置の制御のためのデバイスプログラ
ム６０が読み込まれる。
成を図１に示す。図１で、ＩＣテスタ１には半導体装置
の試験とＧＰＩＢ装置の制御のためのデバイスプログラ
ム６０が読み込まれる。
【００１０】また、ＩＣテスタ１の試験実行のためのシ
ステムプログラム１０が格納されている。システムプロ
グラム１０内にはＧＰＩＢ装置の制御のためのプログラ
ムが含まれており、ＧＰＩＢデータ伝送手段１１からＳ
ＲＡＭ１２を介して別途設けたマイクロコンピュータ２
に伝送されるように構成されている。
ステムプログラム１０が格納されている。システムプロ
グラム１０内にはＧＰＩＢ装置の制御のためのプログラ
ムが含まれており、ＧＰＩＢデータ伝送手段１１からＳ
ＲＡＭ１２を介して別途設けたマイクロコンピュータ２
に伝送されるように構成されている。
【００１１】マイクロコンピュータ２は、ＧＰＩＢ装置
の制御処理をつかさどるために設けられたもので、ＩＣ
テスタ１からの制御用データを読取る読込手段２１と、
ＧＰＩＢ装置へデータを伝送するためのデータ伝送手段
２２と、ＧＰＩＢ装置からのデータをＩＣテスタ１に書
込むためのデータ書込手段２３とから構成されている。
の制御処理をつかさどるために設けられたもので、ＩＣ
テスタ１からの制御用データを読取る読込手段２１と、
ＧＰＩＢ装置へデータを伝送するためのデータ伝送手段
２２と、ＧＰＩＢ装置からのデータをＩＣテスタ１に書
込むためのデータ書込手段２３とから構成されている。
【００１２】マイクロコンピュータ２は各ＧＰＩＢコン
トローラ３１・３２及びバス４１・４２を介して、図示
を省略したＧＰＩＢ装置に接続されている。
トローラ３１・３２及びバス４１・４２を介して、図示
を省略したＧＰＩＢ装置に接続されている。
【００１３】次に図２に示す流れ図を用いて図１のシス
テムの動作を説明する。図２のステップでは、ＩＣテ
スタ１の試験準備をしている。ステップでマイクロ・
コンピュータ２にＳＲＡＭ１２を通してＧＰＩＢ装置と
のデータ伝送を依頼し、ステップでマイクロ・コンピ
ュータ２からのデータ伝送完了信号待ちとなる。
テムの動作を説明する。図２のステップでは、ＩＣテ
スタ１の試験準備をしている。ステップでマイクロ・
コンピュータ２にＳＲＡＭ１２を通してＧＰＩＢ装置と
のデータ伝送を依頼し、ステップでマイクロ・コンピ
ュータ２からのデータ伝送完了信号待ちとなる。
【００１３】この時、ＩＣテスタ１は、ＧＰＩＢ処理か
ら離れ、別の処理に移ることができる。図２のステップ
のマイクロ・コンピュータ２のシステム・プログラム
では、ＧＰＩＢ装置とデータ送受信を行い、終了後、Ｉ
Ｃテスタにデータ伝送の完了信号を送った後、ＩＣテス
タからＧＰＩＢ装置に対してのデータ伝送依頼を調べ、
依頼があればステップの処理を繰り返す。ＩＣテスタ
１は、完了信号を受信し、元の処理に戻りステップで
試験完了となる。
ら離れ、別の処理に移ることができる。図２のステップ
のマイクロ・コンピュータ２のシステム・プログラム
では、ＧＰＩＢ装置とデータ送受信を行い、終了後、Ｉ
Ｃテスタにデータ伝送の完了信号を送った後、ＩＣテス
タからＧＰＩＢ装置に対してのデータ伝送依頼を調べ、
依頼があればステップの処理を繰り返す。ＩＣテスタ
１は、完了信号を受信し、元の処理に戻りステップで
試験完了となる。
【００１４】
【発明の効果】この発明によれば、検査装置のＧＰＩＢ
装置とのデータ伝送待ち時間に別処理が行え、検査装置
のＣＰＵを有効利用できる。また、検査装置とマイクロ
・コンピュータで制御するＧＰＩＢ装置は並列処理とな
り検査装置の処理効率を高めている。
装置とのデータ伝送待ち時間に別処理が行え、検査装置
のＣＰＵを有効利用できる。また、検査装置とマイクロ
・コンピュータで制御するＧＰＩＢ装置は並列処理とな
り検査装置の処理効率を高めている。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明によるＩＣテスタとＧＰＩＢ装置の接
続を示すシステム構成図である。
続を示すシステム構成図である。
【図２】この発明によるＩＣテスタとマイクロ・コンピ
ュータの動作を示す流れ図である。
ュータの動作を示す流れ図である。
【図３】従来技術によるＩＣテスタとＧＰＩＢ装置の接
続を示すシステム構成図である。
続を示すシステム構成図である。
【図４】従来技術によるＩＣテスタの動作を示す流れ図
である。
である。
１ ＩＣテスタ ２ マイクロコンピュータ ２１ ＩＣテスタのデータ読込手段 ２２ ＧＰＩＢ装置とのデータ伝送手段 ２３ ＩＣテスタへのデータ書込手段 ３１・３２ ＧＰＩＢコントローラ ４１・４２ バス
Claims (1)
- 【請求項１】 ＧＰＩＢ装置(31,32) に接続され、ＧＰ
ＩＢ装置(31,32) に対する制御処理と被試験対象物に対
する試験処理とを実行する検査装置(1) において、 前記制御処理を行うべき旨の指令に応答して当該処理に
必要なデータを前記検査装置(1) から読込むデータ読込
手段(21)と、 前記データをＧＰＩＢ装置(31,32) に伝送するデータ伝
送手段(22)と、 ＧＰＩＢ装置(31,32) からの当該処理の終了を示す信号
に応答して検査装置(1) に当該処理の終了に必要なデー
タを送出するデータ書込手段(23)とを備えるマイクロコ
ンピュータ(2) を設け、 前記制御処理と前記試験処理とを並列して実行する事を
特徴とする検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5034231A JPH06230080A (ja) | 1993-01-29 | 1993-01-29 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5034231A JPH06230080A (ja) | 1993-01-29 | 1993-01-29 | 検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06230080A true JPH06230080A (ja) | 1994-08-19 |
Family
ID=12408379
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5034231A Pending JPH06230080A (ja) | 1993-01-29 | 1993-01-29 | 検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06230080A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7230417B2 (en) | 2004-10-21 | 2007-06-12 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Test system of semiconductor device having a handler remote control and method of operating the same |
| US7408339B2 (en) | 2005-10-17 | 2008-08-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Test system of semiconductor device having a handler remote control and method of operating the same |
-
1993
- 1993-01-29 JP JP5034231A patent/JPH06230080A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7230417B2 (en) | 2004-10-21 | 2007-06-12 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Test system of semiconductor device having a handler remote control and method of operating the same |
| US7408339B2 (en) | 2005-10-17 | 2008-08-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Test system of semiconductor device having a handler remote control and method of operating the same |
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