JPH06215513A - 磁気ヘッド支持機構 - Google Patents

磁気ヘッド支持機構

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JPH06215513A
JPH06215513A JP5082110A JP8211093A JPH06215513A JP H06215513 A JPH06215513 A JP H06215513A JP 5082110 A JP5082110 A JP 5082110A JP 8211093 A JP8211093 A JP 8211093A JP H06215513 A JPH06215513 A JP H06215513A
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load beam
gimbal
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健 大江
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  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は磁気ヘッド支持機構に関し、磁気ヘ
ッドスライダの浮上安定性を実現することを目的とす
る。 【構成】 ロードビーム２１自体に形成されたジンバル
部２５は、磁気ヘッドスライダ３５が固定される固定部
３０の両側に、第１の梁部３１，３２と第２の梁部３
３，３４を有してなる。梁部３１〜３４はＴ字状をな
し、第２の梁部３３，３４の夫々の両端がロードビーム
２１と連結している。梁部３１〜３４は、ジンバル部２
５の共振点を下げずに、ジンバル部２５の回転剛性を低
くする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置に用い
られる磁気ヘッド支持機構に関する。
【０００２】磁気ヘッドを搭載した磁気ヘッドスライダ
はロードビームの先端に取り付けられ、記録再生時には
磁気ディスクに対して浮上した状態とされる。
【０００３】近年、磁気ディスク装置の信頼性の一種で
あるＨＤＩ（Ｈｅａｄ ＤｉｓｃＩｎｔｅｒｆａｃｅ）
特性の向上が求められている。
【０００４】このためには、磁気ヘッドスライダを小型
化することや、該スライダを磁気ディスクの方向に付勢
するためのバネ荷重を軽減することが有効である。
【０００５】磁気ヘッドスライダを小型化すると、以下
の事柄が発生する。
【０００６】スライダの小型化に伴い、それを保持す
る支持バネのサイズも小さくしなくてはならない。これ
は、ディスクのうねりに対するヘッドの追従特性を維持
し、ひいてはヘッドの浮上安定性を維持するためであ
る。
【０００７】バネ荷重を軽減すると、以下の事項が発生
する。
【０００８】バネ荷重の軽減によりヘッドの浮上剛性
が低下する。
【０００９】また、スライダや支持バネ等の部品が小さ
くなることにより、組立誤差が大きくなる。
【００１０】このため、磁気ヘッドスライダを支持する
装置は、磁気ヘッドスライダの浮上の安定性を十分に保
証しうる構成であることが必要とされる。
【００１１】
【従来の技術】一般には、磁気ヘッド支持機構は、ロー
ドビーム、ロードビームに固定したジンバル、このジン
バルに固定された磁気ヘッドスライダからなる構成であ
る。
【００１２】この構成では、部品サイズの縮小化に伴
い、組立（位置合せ）が困難となる。組立誤差がある
と、磁気ヘッドスライダがアンバランス浮上（斜めに傾
いて浮上すること）してしまう。これにより、浮上ヘッ
ドの信頼性が損なわれるだけでなくＲ／Ｗ特性にも悪影
響を与え、ひいては磁気ディスク装置の信頼性の低下を
きたしてしまう。
【００１３】そこで、ヘッド支持機構の組立（位置合わ
せ）精度不良によるスライダのアンバランス浮上の要因
をなくすため、支持バネ（従来のロードビームとジンバ
ル）を一体化し、組立を不要にした構成が、特開平３−
１８９９７６号公報に示されている。
【００１４】図３３は上記公報に示されている磁気ヘッ
ド支持機構１を示す。
【００１５】２は磁気ディスク、３はアクチュエータ
部、４はロードビーム（フレクシャともいう）である。
【００１６】５はジンバル部であり、ロードビーム４に
略コ字状の開口（貫通孔）６，７を形成することによ
り、ロードビーム４自体に残置形成してある。
【００１７】ジンバル部５は、ロードビーム４を横切る
方向に延出する両持ち状の梁８と、この梁８の中央より
両側に舌状に張り出している舌部９，１０とよりなる。
【００１８】磁気ヘッドスライダ１１の背面はロードビ
ームの幅方向に溝加工されており、舌部９，１０にまた
がって固定してある。
【００１９】磁気ヘッドスライダ１１は、梁８のねじれ
を伴って、矢印１２で示すようにピッチング方向に回動
し、梁８の曲がりを伴って、矢印１３で示すようにロー
リング方向に回動する。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】小型の磁気ヘッドスラ
イダの浮上の安定性を確保するには、ジンバル部の回転
剛性を低くする必要がある。
【００２１】また、ロードビーム４は剛性を必要とする
ため、ロードビーム４の厚さｔを薄くすることはできな
い。
【００２２】ロードビーム４の厚さｔを薄くせずに、上
記構造のジンバル部５の回転剛性を低くするには、梁８
の長さｌを長くせざるを得ない。
【００２３】梁８の長さｌを長くすると、以下の問題点
が生ずる。
【００２４】 梁８の曲げ及び捩じれの振動の共振点
が大幅に下がってしまう。これにより、磁気ヘッドスラ
イダ１１の浮上量が変動し易くなる。
【００２５】 ロードビーム４の幅Ｗが広くなり、ロ
ードビーム４自体の振動の共振点が下がってしまう。こ
れにより、磁気ヘッドスライダ１１の浮上が不安定とな
り易くなる。
【００２６】即ち、従来のロードビーム、ジンバルを一
体化した支持バネ構造の場合、ジンバル部の共振点を落
とさず、回転剛性だけを小さくする構造を実現するのは
非常に困難であった。
【００２７】また、スライダの小型化やバネ荷重の軽減
に伴う浮上剛性の低下により、ヘッドにつながっている
リード線の剛性の影響が無視できなくなってくる。つま
り、リード線の剛性がスライダに及ぼす影響により、剛
性のかかり方次第ではスライダが傾いて浮上する。特に
再生用ヘッドに磁気抵抗効果型ヘッド（ＭＲヘッド）を
用いた場合、記録用のインダクティブ型ヘッドと組合わ
されるために記録／再生兼用のヘッドの２倍の４本のリ
ード線が必要となり、余計にリード線の剛性の影響を受
けやすくなる。これにより、浮上ヘッドの信頼性が損な
われるだけでなくＲ／Ｗ特性にも悪影響を与え、磁気デ
ィスク装置の信頼性の低下をきたす。
【００２８】そこで、本発明は、磁気ヘッドスライダの
浮上の安定性の向上を実現した磁気ヘッド支持機構を提
供することを目的とする。
【００２９】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、アー
ムに取付けられたロードビームの先端部に開口を設ける
ことによって該ロードビーム自体にジンバル部を設け、
該ジンバル部に磁気ヘッドスライダを固定してなる磁気
ヘッド支持機構において、上記ジンバル部を、上記磁気
ヘッドスライダが固定される磁気ヘッドスライダ固定部
と、該磁気ヘッドスライダ固定部の中心を通って該磁気
ヘッドスライダ固定部を横切る線に沿って、該磁気ヘッ
ドスライダ固定部の両側より延出した一対の第１の梁部
と、該第１の梁部の先端より、該第１の梁部と実質上ほ
ぼ直交して両側に延出し、前記ロードビームの一部と連
結してある両持ち状の第２の梁部とよりなる構成とした
ものである。
【００３０】請求項２の発明は、上記磁気ヘッドスライ
ダ固定部は、磁気ヘッドスライダが嵌合する開口と、該
開口の回りの枠部とよりなり、上記磁気ヘッドスライダ
は、鍔部を有し、該磁気ヘッドスライダが、上記鍔部を
上記枠部に接着されて、上記開口に嵌合した状態で固定
された構成としたものである。
【００３１】請求項３の発明は、一端を、上記磁気ヘッ
ドスライダ上の磁気ヘッドの端子部に接続されたリード
線を更に有し、上記端子部から引き出されたリード線
を、最初に上記ジンバル部の磁気ヘッドスライダ固定部
に固定し、その先を、ロードビームの一部に固定したも
のである。
【００３２】請求項４の発明は、上記ロードビームは、
一端が第２，第１の梁部に沿って上記磁気ヘッドスライ
ダ固定部にまで延出する導体膜からなる配線パターンを
有し、上記磁気ヘッドスライダ上の磁気ヘッドの端子部
と上記配線パターンの端の上記磁気ヘッドスライダ固定
部上の端子部とが直接接続されている構成としたもので
ある。
【００３３】請求項５の発明は、上記ロードビームは、
そのジンバル部に、上記配線パターンと対称にダミーパ
ターンを有する構成としたものである。
【００３４】請求項６の発明は、アームに取付けられた
リードビームの先端部に開口を設けることによって該ロ
ードビーム自体にジンバル部を設け、該ジンバル部に磁
気ヘッドスライダを固定してなる磁気ヘッド支持機構に
おいて、上記ジンバル部を、上記磁気ヘッドスライダが
固定される磁気ヘッドスライダ固定部と、上記磁気ヘッ
ドスライダ固定部より上記ロードビームの長手方向に沿
って延出する第１の梁部と、上記第１の梁部の先端より
両側に別れて延在して該磁気ヘッドスライダ固定部の両
側を通り上記ロードビームの一部とそれぞれ連結する第
２，第３の梁部とよりなる構成としたものである。
【００３５】請求項７の発明は、上記ロードビームは、
一端が梁部に沿って磁気ヘッドスライダ固定部にまで延
在する導体膜からなる配線パターンを有し、上記磁気ヘ
ッドスライダ上の磁気ヘッドの端子部と上記配線パター
ンの端の上記磁気ヘッドスライダ固定部上の端子部とが
接続されている構成としたものである。
【００３６】請求項８の発明は、上記ロードビームは全
体がフラットなバネ性を持つ薄板からなり、かつ上記ア
ームは先端に磁気ディスクに近づく方向に傾斜している
傾斜部を有し、上記ロードビームの基部が該アームの傾
斜部に取付けられている構成としたものである。
【００３７】
【作用】請求項１の第１の梁部及び第２の梁部を設けた
構成は、Ｔ字状の梁を形成して、ジンバル部の共振点は
下げずに、ジンバル部の回転剛性を下げるように作用す
る。
【００３８】請求項２の磁気ヘッドスライダが、開口に
嵌合した状態で固定された構成は、磁気ヘッドスライダ
の重心の位置をロードビームに近づけるように作用す
る。
【００３９】請求項３の端子部から引き出されたリード
線を、最初にジンバル部の記録ヘッドスライダ固定部に
固定した構成は、端子部から引き出された最初に固定さ
れる位置までのリード線に、余長部を設けることを実質
上不要とすると共に、端子部から引き出されたリード線
がジンバル部の回転剛性に影響を与えないように作用す
る。
【００４０】請求項４の配線パターンをロードビームに
設けた構成は、ロードビームの機械的特性が損なわれな
いように作用する。
【００４１】また、配線パターンが磁気ヘッドスライダ
固定部まで延在する構成は、磁気ヘッドスライダ固定部
に固定された磁気ヘッドスライダの端子部と、配線パタ
ーンの端の端子部との接続をし易くするように作用する
と共に、リード線の剛性の影響をなくするように作用す
る。
【００４２】請求項５のダミーパターンは、配線パター
ンによるジンバル部の回転剛性のアンバランスを補正す
るように作用する。
【００４３】請求項６において、第１，第２の梁部及び
第３の梁部が共にロードビームの長手方向に延在する構
成は、ロードビームの幅が狭いにも拘らずロードビーム
自体にジンバル部を形成することを可能とするように作
用する。
【００４４】上記ロードビームが、曲げ加工を施された
部分を有しない構成は、ロードビーム自体が変形しうる
ように作用すると共に、曲げ加工による加工誤差によっ
てロードビームの剛性の程度がロードビームの幅方向上
アンバランスとなることを確実に回避するように作用す
る。
【００４５】上記ロードビームの幅が狭い構成は、磁気
ヘッドスライダが固定されたロードビームの共振点を高
く保つように作用する。
【００４６】請求項７の配線パターンをロードビームに
設けた構成は、ロードビームの機械的特性が損なわれな
いように作用する。
【００４７】また、配線パターンが磁気ヘッドスライダ
固定部まで延在する構成は、磁気ヘッドスライダ固定部
に固定された磁気ヘッドスライダの端子部と、配線パタ
ーンの端の端子部との接続をし易くするように作用する
と共に、リード線の剛性の影響をなくするように作用す
る。
【００４８】請求項８のロードビーム本体の基部側を可
動部の傾斜部に固定した構成は、自由な状態でロードビ
ームを傾斜した姿勢とし、磁気ヘッドスライダが磁気デ
ィスに当接した状態で、ロードアーム本体部を撓ませる
ように作用する。
【００４９】
【実施例】
〔第１実施例〕図１は、磁気ヘッド支持機構２０を表裏
反転した状態で示す。
【００５０】この磁気ヘッド支持機構２０を、３．５イ
ンチタイプの磁気ディスク装置２２０に適用した例を図
２に示す。
【００５１】磁気ディスク装置２２０は、エンクロージ
ャ２２１内に、径が３．５インチの磁気ディスク２２
２、及びヘッド位置決め用アクチュエータ２２３等が組
込まれた構造を有する。
【００５２】２１はステンレス製のロードビームであ
り、アクチュエータのアーム部２２に固定してある。
【００５３】ロードビーム２１の基部側はＲ曲げされて
いる弾性部２３であり、弾性部２３より先端側が剛性部
２４である。弾性部２３が後述する磁気ヘッドスライダ
３５に、磁気ディスク２２１に当接する方向の荷重を付
与する。このロードビームの厚みは、全体が均一でかつ
汎用の３３８０タイプ（ＩＢＭ）のヘッド支持機構のロ
ードビームの約１／３、例えば２５μｍ程度である。
【００５４】ここで、ロードビーム２１の幅Ｗ1 は、出
来るだけ小としてある（４ｍｍ以下が望ましい）。その
理由は、ロードビーム２１の振動の共振点を不要に低下
させないためである。
【００５５】２５はジンバル部であり、ロードビーム２
１自体に形成してある。
【００５６】ジンバル部２５は、ロードビーム２１に、
一対のコ字形状開口２６，２７を、ロードビーム２１の
長手方向上向き合う配置で形成し、且つ、ロードビーム
２１の両側に沿ってスリット状の開口２８，２９を形成
することにより残置形成してある。
【００５７】ジンバル部２５は、磁気ヘッドスライダ固
定部３０と、一対の第１の梁部３１，３２と、一対の第
２の梁部３３，３４とを有する。
【００５８】磁気ヘッドスライダ固定部３０は、磁気ヘ
ッドスライダ３５を固定するのに十分な程度の大きさ、
例えば、磁気ヘッドスライダ３５の平面外形寸法（ａ＝
２ｍｍ、ｂ＝１．６ｍｍ）と対応する寸法ａ×ｂを有す
る。但し、接着強度があれば、これ以下の寸法でも何ら
差し支えない。
【００５９】磁気ヘッドスライダ３５は、軽荷重構造の
スライダ、例えば本出願人による特開平４−２２８１５
７号に示されたスライダを使用するのが望ましい。この
スライダの浮上面と反対側の背面は平坦面となってお
り、その背面を前記固定部３０に接着剤により接着固定
する。この場合、スライダと固定部の各中心を一致させ
る。
【００６０】第１の梁部３１，３２は、上記固定部３０
の中心（スライダの中心でもある）３６を通り、ロード
ビーム長手方向中心線３７に直交して固定部３０を横切
る線３８（ロードビーム幅方向線）に沿って、固定部３
０の両側より外方に延出している。
【００６１】第１の梁部３１，３２の長さは、ｌ1 であ
る。
【００６２】第２の梁部３３，３４は夫々上記第１の梁
部３１，３２の先端より、第１の梁部３１，３２と直交
して両側に、上記線３７と平行に延出しており、先端側
は、点４０，４１，４２，４３で、ロードビーム２１の
うちジンバル部２５の周囲の部分と連結してある。な
お、見方を変えれば、第２の梁部３３，３４は、ロード
ビーム２１のうちジンバル部２５の周囲の部分４０〜４
３より延出している。
【００６３】この第２の梁部３３，３４は、両持ち梁状
であり、第１の梁部３１，３２の先端がつながっている
中央部から両端までの長さは、ｌ2 である。
【００６４】第２の梁部３３と第１の梁部３１とが、Ｔ
字状梁３９Ａを構成する。同じく、第２の梁部３４と第
１の梁部３２とが、Ｔ字状梁３９Ｂを構成する。そして
全体ではＨ字状梁を構成する。
【００６５】固定部３０、第１の梁部３１，３２及び第
２の梁部３３，３４は、共にロードビーム２１の一部に
よって形成してある。
【００６６】ここで、上記第１の梁部３１，３２の長さ
ｌ1 はロードビーム２１の幅Ｗ1 により制約を受ける。
ここで、幅Ｗ1 を大きくすると、ロードビーム２１の曲
げやねじり共振点が下がり、スライダの浮上特性を悪化
させてしまうため、幅Ｗ1 を大きくすることはできな
い。しかし、本実施例では、第２の梁部３３，３４の長
さ２×ｌ2 は、ロードビーム２１の幅Ｗ1 による制約を
受けず、長くできる。
【００６７】そこで、第２の梁部３３，３４は長く形成
してあり、寸法ｌ2 とｌ1 との関係は、ｌ2 ＞ｌ1 とな
っている。
【００６８】上記Ｔ字は、脚部の長さに比べて、腕部の
長さの長い偏平な形状となっている。
【００６９】回転中の磁気ディスクにうねりが発生した
り、ゴミが付着した場合を考えると、磁気ヘッドスライ
ダ３５は、Ｔ字状をなす第１の梁部３１，３２及び第２
の梁部３３，３４の撓みを伴って矢印４４で示すように
ピッチング方向に回動する。この時、ジンバルの第１の
梁部３１，３２はねじりの変形を伴い、さらに第２の梁
部３３，３４は曲の変形を伴う。
【００７０】又矢印４５で示すようにローリング方向に
も回動する。この時ジンバルの第１の梁部３１，３２は
お互いに逆向きに曲げの変形を伴い、さらに第２の梁部
３３，３４はこれも又、逆向きに曲げの変形を伴う。
【００７１】一次曲げの共振モードを図３に示す。ロー
ドビーム根元部の弾性部での変形が見られると同時にジ
ンバル部の第１の梁部３１，３２、第２の梁部３３，３
４が共に同じ方向の曲げの変形を伴って変形しているの
がわかる。
【００７２】一次ねじりの共振モードを図４に示す。ロ
ードビーム根元部の弾性部では左右の高さが異なってね
じられて変形している。ジンバル部は、図の右側の梁は
上側に凸になるように変形しており、その反対側の梁
は、下側に凸になるように変形し、ねじりモードを示し
ている。ここで例えば上記寸法ｌ2 とｌ1 との関係をｌ
2 ／ｌ1 が３〜４倍に設計すると、スライダのピッチン
グ、ローリングの両方向の回転剛性は同じ程度に十分軟
くなる。
【００７３】磁気ヘッドスライダ３５には、磁気ディス
ク２２１に対する相対的走査方向４６上、後側の端面４
７に、再生用のＭＲヘッドと記録用のインダクティブ型
ヘッドとを一体化した複合型の磁気ヘッド４８、及び４
つの端子部１００Ａ〜１００Ｄが形成してある。
【００７４】図５及び図６に示すように、直径が３０μ
ｍのリード線１５Ａ〜１５Ｄの一端が上記端子部１００
Ａ〜１００Ｄに接続してある。
【００７５】端子部１００Ａ〜１００Ｄに接続された４
本のリード線１５Ａ〜１５Ｄは、磁気ヘッドスライダ３
５が固定されている側とは反対側に引き回され、最初
に、上記固定部３０の中心３６の個所で、接着剤１６に
より固定されている。
【００７６】その後、リード線１５Ａ〜１５Ｄは、ロー
ドビーム２１の長手方向中心線３７に沿ってロードビー
ム２１の基部側に向かって延在し、ロードビーム２１上
二個所で接着剤１６により固定されている。
【００７７】１７-1は第１の固定点、１７-2は第２の固
定点、１７-3は第３の固定点である。
【００７８】第１の固定点１７-1は磁気ヘッドスライダ
３５と一体に動くため、端子部１００Ａ〜１００Ｄから
引き出されて第１の固定点１７-1に到る間のリード線の
剛性は考慮する必要がなく、リード線に余長は実質上不
要であり、特別に余長は設けていない。
【００７９】また、第１の固定点１７-1から第２の固定
点１７-2までの距離は長く、この部分のリード線の剛性
がジンバルの回転剛性に影響を与えることは殆ど無い。
【００８０】上記構成の磁気ヘッド支持機構２０は、以
下に挙げる特長を有する。
【００８１】 特に、Ｔ字形状の梁部を有し、その梁
形状の特性により、ジンバル部２５の回転剛性は相当に
小さい。
【００８２】 ジンバル部２５は４個所４０〜４３で
支持されているため、第２の梁部３３，３４が長くて
も、ジンバル部２５の振動の共振点は高い。
【００８３】 ロードビーム２１の先端の幅Ｗ1 を小
さくすることができるため、ロードビーム２１の振動の
共振点は高い。
【００８４】 上記，，により、磁気ヘッドス
ライダ３５の浮上安定性が良い。
【００８５】 第１の梁部３１，３２の長さｌ1 が短
く、同一平面内に形成されているため、コンタクトスタ
ートストップ時に受ける力に対する強度が強く、第１の
梁部３１，３２は剪断破壊しにくい。
【００８６】 リード線１５Ａ〜１５Ｄの剛性が、ジ
ンバル部２５の回転剛性に影響を及ぼさない。
【００８７】上記のように、ジンバル部２５がスライダ
固定部の中心に対して対称に１対のＴ字型の梁（全体Ｈ
字型の梁）を有する一体型ジンバル構造であることによ
り、低回転剛性及び高共振点を実現する。具体的には回
転剛性は例えば前述した３３８０タイプのヘッド支持機
構の約１／３以下になるが、共振点は同ヘッド支持機構
と同程度となる。
【００８８】このことにより、小型で浮上剛性の低いス
ライダを搭載する場合でも、このスライダを安定に浮上
させることを可能にする。
【００８９】
【表１】
【００９０】
【表２】
【００９１】表１，表２は２ｍｍの長さのスライダを搭
載した本実施例のヘッド支持機構と、従来から用いられ
ている３３８０タイプのヘッド支持機構（３．２ｍｍの
長さのスライダを搭載）との特性比較を示す。
【００９２】等価質量比（支持バネ等価質量／スライダ
質量）を合わせるため、本実施例の支持機構の全長は短
く（１０ｍｍ）されており、３３８０タイプのほぼ１／
２以下となっている。また、ロードビームの厚み（２５
μｍ）は３３８０タイプのほぼ１／３である。
【００９３】表１は本実施例におけるジンバル部のピッ
チとロール剛性、ロードビームの上下剛性と、３３８０
タイプのジンバルのピッチ剛性とロール剛性、ロードビ
ームの上下剛性をコンピュータによりシミュレーション
した比較データを示す。
【００９４】この表からジンバル部の溝の幅、長さを最
適に設計することにより、従来の３３８０タイプのジン
バルの１／３以下の回転剛性が得られることがわかる。
【００９５】又、表２は両者の共振周波数の比較をコン
ピュータでシミュレーション化したもので、類似したデ
ータが得られている。
【００９６】このように本実施例の磁気ヘッド支持機構
は低剛性でかつ高共振周波数を持つ特性が得られている
ことがわかる。
【００９７】次に、他の実施例について説明するに、各
図中、図１に示す構成部分と対応する部分には同一符号
を付す。 〔第２実施例〕図７の磁気ヘッド支持機構５０は、ジン
バル部５１を有する。
【００９８】ジンバル部５１は、図１のジンバル部２５
を、中心３６に関して９０度回転した向きとしたもので
ある。
【００９９】Ｔ字状梁５２，５３が、ロードビーム２１
の長手方向に並んでいる。 〔第３実施例〕図８の磁気ヘッド支持機構６０は、ジン
バル部６１を有する。
【０１００】第２の梁部３３Ａ，３４Ａの第１の梁部３
１，３２に対する角度αを鋭角としてある。
【０１０１】これにより、ロードビーム２１の幅Ｗ1 を
大きくせずに、第２の梁部３３Ａ，３４Ａの長さ２×ｌ
2aは、図１の第２の梁部３３，３４の長さ２×ｌ2 より
長い。
【０１０２】また、ロードビーム部の先端の幅が狭くで
きる。
【０１０３】これにより、ジンバル部６１の回転剛性
は、図１のジンバル部２５に比べて低い。
【０１０４】従って、磁気ヘッドスライダ３５は、図１
の装置に比べて、より安定に浮上する。 〔第４実施例〕図９の磁気ヘッド支持機構７０は、ジン
バル部７１を有する。
【０１０５】磁気ヘッドスライダ３５Ａは、両側に鍔部
７２，７３を有する。
【０１０６】ジンバル部７１の磁気ヘッドスライダ固定
部３０Ａは、磁気ヘッドスライダ３５Ａに対応する大き
さの開口７４を有し、枠形状である。７６は枠部であ
る。
【０１０７】磁気ヘッドスライダ３５Ａは、図９に示す
ように、開口７４に嵌合されて、且つ鍔部７２，７３を
枠部７６に接着されて（７５は接着部を示す）、固定部
３０Ａに固定してある。
【０１０８】磁気ヘッドスライダ３５Ａの重心Ｇは、図
１０に示すように高さ方向上、大略ロードビーム２１の
面上に位置している。
【０１０９】このため、シーク時に、磁気ヘッドスライ
ダ３５Ａは重心Ｇの位置に力を加えられて動かされる。
このため、磁気ヘッドスライダ３５Ａに重心Ｇ回りの不
要な回動力は発生せず、即ち、磁気ヘッドスライダ３５
Ａのマスアンバランスが小さくなり、シーク動作時など
において磁気ヘッドスライダ３５Ａの安定な浮上を保
つ。
【０１１０】また、磁気ヘッド組立体の高さ寸法が小さ
くなる。これにより、磁気ディスクの積層間隔が小さく
でき、単位高さあたりにより多くのディスクを実装でき
るため、装置の体積記憶密度ひいては記憶容量を増大で
きる。 〔第５実施例〕図１１の磁気ヘッド支持機構８０におい
て、磁気ヘッドスライダ３５Ｂは、全周に亘って鍔部８
１を有する。
【０１１１】この磁気ヘッドスライダ３５Ｂは、開口７
４に嵌合させて、且つ鍔部８１を磁気ヘッドスライダ固
定部３０Ａに接着されて固定してある。
【０１１２】即ち、前記の第４実施例と異なり、磁気ヘ
ッドスライダ３５Ｂは、全周を固定部３０Ａに接着固定
してある。このため、接着力が増し、信頼性が向上す
る。 〔第６実施例〕図１２は磁気ヘッド支持機構９０を示
す。
【０１１３】図１３に併せて示すように、この機構９０
は、低浮上剛性のスライダの浮上に影響を与えるリード
線の剛性の影響を無くするようにしたものである。例え
ば、４本のリード線がスライダとロードビームとの間に
接続されている場合（図５参照）で、各リード線の直径
が３０μｍ、リード線余長部（自由長）が１ｍｍとする
と、ジンバル部の回転剛性はリード線が配線されていな
い場合に比べ約５倍となり、これはスライダの浮上安定
性を損なうものである。
【０１１４】９１，９２，９３，９４は、例えばメッキ
で形成された銅薄膜をフォトリソグラフィーによりパタ
ーニングした銅製の配線パターンであり、ロードビーム
２１の下面の中央をロードビーム２１の長手方向に延在
しており、厚さは約５μｍ、幅は約５０μｍである。こ
の厚み及び幅は導体パターンの抵抗値及びロードビーム
の容量により決定される。
【０１１５】９５Ａ〜９５Ｄは銅製の端子部であり、ロ
ードビーム２１の基部側に設けてある。
【０１１６】９６Ａ〜９６Ｄは銅製の端子部であり、ジ
ンバル部２５の磁気ヘッドスライダ固定部３０の端部３
０ａに設けてある。
【０１１７】端子部９５Ａ〜９５Ｄ，９６Ａ〜９６Ｄに
は、例えばＡｕメッキが施されており、Ｃｕの露出を防
ぐと共に、ボンディング特性を上げている。
【０１１８】配線パターン９１，９２，９３，９４の一
端は、夫々端子部９５Ａ，９５Ｂ，９５Ｃ，９５Ｄにま
で延在している。
【０１１９】４本の配線パターン９１〜９４のうちの半
分の２本の配線パターン９１，９２の他端側は、第２の
梁部３３Ａ、第１の梁部３１に沿って延在しており、端
子９６Ａ，９６Ｂに到っている。
【０１２０】残りの２本の配線パターン９３，９４の他
端側は、第２の梁部３４Ａ、第１の梁部３２に沿って延
在しており、端子９６Ｃ，９６Ｄに到っている。
【０１２１】配線パターン９１，９２，９３，９４は、
図１４に示すように、ロードビーム２１に対しては、絶
縁膜９７により絶縁されており、且つ表面を保護膜９８
で覆われている。
【０１２２】絶縁膜９７及び保護膜９８は、共に、感光
性ポリイミド製であり、コーティングにより成膜され厚
さは約５μｍ程度で十分である。この絶縁膜９７及び保
護膜９８はフォトリソグラフィー技術によってパターニ
ングされている。この絶縁膜の厚みは導体パターン（Ｃ
ｕ製）とロードビーム（Ａｌ製）間の容量によって決定
される。
【０１２３】ポリイミドは後述する焼鈍に耐えうる耐熱
性を有する。また、ポリイミドは、感光性を有するもの
である故、パターニングが容易である。更に、ポリイミ
ド膜９７，９８は耐食性を有するため非常に信頼性が高
い。
【０１２４】各端子部９５Ａ〜９５Ｄ，９６Ａ〜９６Ｄ
は、保護膜９８で覆われていず腐食し易い。そこで、腐
食を防止するため、各端子９５Ａ〜９５Ｄ，９６Ａ〜９
６Ｄの表面は、メッキまたは蒸着により成膜された約１
μｍの厚さのＡｕ製の膜（図示せず）により覆われてい
る。
【０１２５】図１５に示すように、磁気ヘッドスライダ
３５は、固定部３０に接着剤により接着固定してあり、
上記端子部９６Ａ〜９６Ｄと磁気ヘッドスライダ３５の
端面４７上に形成された磁気ヘッド４８の端子部１００
Ａ〜１００Ｄとが、９０°の角度をもって配設されてお
り、夫々Ａｕボール１０１Ａ〜１０１Ｄによって接続さ
れている。
【０１２６】Ａｕボール１０１Ａ〜１０１Ｄは、例えば
金ボールボンダ装置により形成される。
【０１２７】また端子部９６Ａ〜９６Ｄと端子部１００
Ａ〜１００ＤとはＡｕボール１０１Ａ〜１０１Ｄで接続
され易いように、図１５に示すように位置している。
【０１２８】Ａｕボール１０１Ａ〜１０１Ｄが圧接し易
いように、端子部１００Ａ〜１００Ｄは、ヘッドスライ
ダ３５の高さ方向に細長の形状を有し、且つ、ヘッドス
ライダ３５と固定部３０に固定した状態で、端子部９６
Ａ〜９６Ｄに対向するように配置してある。
【０１２９】なお、配線パターン９１〜９４についてみ
ると、ロードビームをアーム部２２に螺子止めする時に
使用する固定用孔１０２Ｃと治具取付け用孔１０２Ｂ，
１０２Ｂとをそれぞれ迂回しながらヘッドスライダ３５
のきわまで延在している。
【０１３０】図１２及び図１３中、１０３Ａ〜１０３
Ｄ，１０４Ａ〜１０４Ｄは、ダミーパターンであり、配
線パターン９１〜９４のうち、治具取付け用孔１０２
Ａ，１０２Ｂの外周に形成されている迂回部分と対称に
形成してある。
【０１３１】このダミーパターン１０３Ａ〜１０３Ｄ，
１０４Ａ〜１０４Ｄの部分にも配線パターン９１〜９４
の部分と同じく、絶縁膜９７及び保護膜９８が設けてあ
る。このダミーパターン１０３Ａ〜１０３Ｄ，１０４Ａ
〜１０４Ｄは、ロードビーム２１の幅方向上の機械的強
度のバランスをとるために設けてある。
【０１３２】１０６，１０７は補助膜であり、ロードビ
ーム２１の左右端に沿って帯状に形成してある。
【０１３３】この補助膜１０６，１０７は、後述する曲
げ加工時に、ロードビーム２１をクランプするときに、
クランプ力をこの部分と配線パターン９１〜９４の部分
とで受けるようにするために設けてある。即ち、クラン
プ力が配線パターン９１〜９４の部分にだけかかって、
配線パターン９１〜９４を傷めてしまうことのないよう
に設けてある。
【０１３４】図１２及び図１３中、108 は凸状パターン
であり、スライダを接着するときの接着剤が固定部外に
流出しないようにする機能と、その接着の際にスライダ
が配線パターンの厚みによって傾かないようにする、つ
まり上記ダミーパターンと同様な機能をもたすために設
けてあり、該配線パターンと同じメッキ銅薄膜により構
成される。この凸状パターン108 上にも保護膜９８が設
けられている。なお、接着剤は配線パターンと凸状パタ
ーンとの間の段差部上に塗布される。
【０１３５】上記のロードビーム２１は、図１６に示す
工程によって製造される。
【０１３６】まず、パターン形成工程110 を行う。
【０１３７】ここでは、ステンレス板上に、感光性ポリ
イミドを塗布し、フォトリソグラフィ技術によって絶縁
膜９７を形成し、その上にメッキ等により銅薄膜を形成
し、この銅薄膜をフォトリソグラフィ技術によって例え
ば銅製の配線パターン９１〜９４を形成し、更には、再
び感光性ポリイミドを塗布し、フォトリソグラフィ技術
によって保護膜９８及び補助膜１０６，１０７を形成す
る。Ｃｕ膜は、メッキ法のほかに蒸着によって形成する
ことも可能である。ポリイミドは、塗布によるスピンコ
ートで形成した後、パターニングし、エッチングする。
絶縁膜とＣｕ膜、Ｃｕ膜と保護膜との間には密着性、信
頼性を向上させるためにＣｒ膜等の薄膜を介在させるこ
とも可能である。
【０１３８】次に、エッチング工程111 を行い、ステン
レス板に開口２６〜２９及び孔１０２Ａ〜１０２Ｃをあ
け、ジンバル部２５とロードビーム２１の外形を形成す
る。以上の結果、図１７に示すように、ステンレス板20
1 上に、打ち抜き前のロードビーム202 がマトリクス状
に並んだ状態となる。
【０１３９】次に曲げ工程112 を行い、ステンレス板の
両側を曲げて、リブ２１ａを形成する。この作業はプレ
スで行い、ステンレス板ごとにまとめて行うこともでき
る。最後に、焼鈍工程113 を行い、約400 ℃に加熱し
て、内部応力を除く。
【０１４０】更に、スライダ接着と、Ａｕボンディング
もこの状態で行うことにより、完全自動化が可能で、工
程、コストとも大幅に低減できる。
【０１４１】ロードビーム２１は焼鈍工程がなくても製
造しうる。
【０１４２】この場合には、図１８に示すように、パタ
ーン形成工程１１０及びエッチング工程１１１を行った
後、この状態でスライダ接着と、Ａｕボンディングを行
い、その後に曲げ工程１１２を行ってリブ２１ａを形成
する。
【０１４３】なお、図１９に示すように磁気ヘッドとし
て記録／再生兼用のインダクティブ型ヘッド４８Ａ，４
８Ｂを使用した場合、磁気ヘッドスライダ３５は二つの
端子部１００Ａ，１００Ｂを有する。ジンバル部２５に
ついてみると、２本の配線パターン９１Ａ，９２Ａはジ
ンバル部の片側の梁部３２，３４Ａにだけ延在するよう
に設けられ、反対側のもう一方の梁部３１，３３Ａには
２本のダミーパターン２１０，２１１が形成されて、ジ
ンバル部の左右の機械的強度のバランスをとるように構
成される。
【０１４４】上記構成の磁気ヘッド支持機構９０は以下
に挙げる特長を有する。
【０１４５】 ロードビーム２１上に直接配設パター
ン９１〜９４が形成してあるため、リード線の引き廻し
が無く、ロードビーム２１にリード線を通すためのチュ
ーブが固着されていず、リード線及びチューブの剛性に
よるアンバランス力がスライダに働くことが完全に無く
なっている。従って、磁気ヘッドスライダ３５の浮上は
安定する。
【０１４６】 ダミーパターン１０３Ａ〜１０３Ｄ，
１０４Ａ〜１０４Ｄを設けたことにより、ロードビーム
２１の回転剛性は方向性を有しない。これにより、磁気
ヘッドスライダ３５の浮上は安定する。
【０１４７】 Ａｕボール１０１Ａ〜１０１Ｄを使用
した圧着接続は、組立の自動化を可能とする。
【０１４８】なお、前記各実施例において、梁部は曲線
状でもよい。
【０１４９】さて次に、より小型の磁気ディスク装置に
適用して有効なヘッド支持機構の実施例について述べ
る。 〔第７実施例〕図２０は磁気ヘッド支持機構２３０を表
裏反転した状態を示す。この磁気ヘッド支持機構２３０
を、１．８インチタイプの磁気ディスク装置２３１に適
用した例を図２１に示す。
【０１５０】磁気ディスク装置２３１は、ＩＣメモリカ
ードと外形寸法同一のエンクロージャ２３２内に、１枚
の径が１．８インチの磁気ディスク２３３、及び２組の
磁気ヘッド支持機構を取付けたヘッド位置決め用アクチ
ュエータ２３４等が組込まれた構造を有し、図２の磁気
ディスク装置２２０に比べて相当に小型である。
【０１５１】磁気ディスク装置２３１の小型化に伴っ
て、磁気ヘッドスライダ３５Ｃは、小型となっており、
その平面外形寸法ａ×ｂが１．０ｍｍ×０．８ｍｍと、
図１の磁気ヘッドスライダ３５の体積で約１／４と小さ
い。
【０１５２】このように、磁気ヘッドスライダ３５Ｃが
小サイズとなると、これを安定に浮上させるには、磁気
ヘッド支持機構は、図１の磁気ヘッド支持機構３０に比
べて、共振周波数は低下せずに、剛性が相当に小さい特
性を有することが必要とされる。
【０１５３】図２０中、ロードビーム２３５は、ステン
レス製であり、基部側をアクチュエータ２３４のアーム
部２３６に固定してある（図２１参照）。
【０１５４】ロードビーム２３５は、幅Ｗ2 が約２ｍ
ｍ、長さＬが約９ｍｍ、厚さｔが約２５μｍであり、図
１中のロードビーム２１に比べて、体積で約１／２と小
さい。ロードビーム２３５のサイズが小さいため、後述
する曲げ等の共振周波数は高い。
【０１５５】ロードビーム２３５は、シート状片であ
り、曲げ加工を全く施していないフラットな薄板片から
なる。このため、磁気ヘッドスライダの浮上の安定性を
害する曲げ加工誤差の問題もない。
【０１５６】ロードビーム２３５は、ロードビーム本体
部２３７と、先端側のジンバル部２３８とよりなる。
【０１５７】ジンバル部２３８は、ロードビーム２３５
に、略Ｕ字状の開口部（貫通孔）２３９を設けることに
よって、ロードビーム２３５自体に残置形成されてい
る。
【０１５８】このジンバル部２３８は、磁気ヘッドスラ
イダ固定部２４０と、第２の梁部２４１と、第３の梁部
２４２と、つなぎ部２４３と、第１の梁部２４４とを有
する。
【０１５９】磁気ヘッドスライダ固定部２４０は、磁気
ヘッドスライダ３５Ｃに対応する大きさを有する。
【０１６０】第２及び第３の梁部２４１，２４２は、ロ
ードビーム本体部２３７の先端の幅方向上両端から延出
しており、磁気ヘッドスライダ固定部２４０の両側を、
ロードビームの先端方向に延在している。
【０１６１】つなぎ部２４３は、ロードビーム２３５の
幅方向に延在しており、上記第１の梁部２４１の先端側
と上記第１の梁部２４２の先端側とをつないでいる。
【０１６２】第１の梁部２４４は、つなぎ部２４３の中
央からより上記ロードビーム本体部２３７の方向に延在
しており、先端に磁気ヘッドスライダ固定部２４０を有
する。このように、磁気ヘッドスライダ固定部は第１の
梁部、つなぎ部、第２，第３の梁部を介してロードビー
ム本体部に連結されるため、それら梁部の撓みによって
回転剛性が小さい。
【０１６３】ロードビーム本体部２３７には、治具取付
用の孔２４５，２４６，２４７及び一対のスリット２４
８，２４９が形成してある。
【０１６４】上記開孔２３９、孔２４５，２４６，２４
７及びスリット２４８，２４９は、エッチングにより形
成される。
【０１６５】ロードビーム２３５には、図１２に示すと
略同様に、端子部９５Ａ〜９５Ｄ、９６Ａ〜９６Ｄ、及
び配線パターン９１〜９４が、ロードビーム２３５の長
手方向中心に対して左右対称に形成してある。
【０１６６】磁気ヘッドスライダ３５Ｃは、固定部２４
０に接着固定され、端子部９６Ａ〜９６Ｄと端子部１０
０Ａ〜１００Ｄとが、図１５に示すと同様に、Ａｕボー
ルによって接続される。
【０１６７】図２２（Ａ），（Ｂ）に示すように、アー
ム部２３６の先端側は、一度上がって下がるように、逆
Ｖ字状に折り曲げてあり、斜上向き部分２３６ａと斜下
向き部分２３６ｂとを有する。
【０１６８】ロードビーム２３５は、アーム部２３６の
斜下向き部分２３６ｂの下面に固定してあり、斜下方向
に延在しており、水平に対して角度θ傾斜している。
【０１６９】磁気ディスク装置２３１においては、２組
の磁気ヘッド支持機構２３０が１枚の磁気ディスク２３
３を挟むように配置されており、磁気ヘッド支持機構２
３５は磁気ディスク２３３の非回転時には図２３に示す
ように、磁気ヘッドスライダ３５Ｃを磁気ディスク２３
３に接触させており、このときロードビーム本体部２３
７が強制的に湾曲して弾性変形せしめられており、ロー
ドビーム本体部２３７に蓄積された弾性力によって磁気
ヘッドスライダを、磁気ディスク２３３側に付勢する荷
重Ｆ1 を得ている。
【０１７０】アーム部２３６は逆Ｖ字状に折り曲げられ
てあるため、図２３中、二点鎖線で示すように単に斜め
下方に折曲した場合に比べて、アーム部２３６の先端２
３６ｃ、磁気ディスク２３３との間に広い隙間２５０を
確保することが出来る。
【０１７１】次に、ロードビーム２３５が磁気ヘッドス
ライダ３５Ｃに作用するモーメントについて考察する。
【０１７２】図２４に示すように、ロードビーム本体部
２３７及び第３の梁部２４４が撓むため、磁気ヘッドス
ライダ３５Ｃには、浮上力が作用する中心２５１に関し
て、モーメントが作用する。
【０１７３】ロードビーム本体部２３７及び第２，第３
の梁部２４１，２４２は、反時計方向のモーメントＭ1
を作用する。
【０１７４】第１の梁部２４４は、時計方向のモーメン
トＭ2 を作用する。
【０１７５】ロードビーム２３５の各部の寸法は適宜定
めてあり（例えば全長９ｍｍ、ジンバル部の長さ２．５
ｍｍ、ロードビーム本体部５．７ｍｍ、幅２ｍｍであ
る）、上記のモーメントＭ1 ，Ｍ2 とは釣り合ってい
る。
【０１７６】このことによっても、磁気ヘッドスライダ
３５Ｃは、安定に浮上する。
【０１７７】次に、磁気ヘッドスライダ３５Ｃのピッチ
ング及びローリングについて、図２０を参照して説明す
る。
【０１７８】ピッチング 磁気ヘッドスライダ３５Ｃは、第１の梁部２４４及び第
２，第３の梁部２４１，２４２、更にはロードビーム本
体部２３７の撓みを伴って、矢印４４で示すピッチング
方向に回動する。このとき全ての梁は円弧状にそり、ジ
ンバル部２３８の撓みに加えて、ロードビーム本体部２
３７が撓む。
【０１７９】このため、ピッチ剛性は十分に小さくな
る。
【０１８０】ローリング 磁気ヘッドスライダ３５Ｃは、主に第２，第３の梁部２
４１，２４２が上下方向に互いに逆方向の撓み、及びロ
ードビーム本体部２３７のねじれを伴って、矢印４５で
示すローリング方向に回動する。
【０１８１】このときにも、ジンバル部２３８の撓みに
加えて、ロードビーム本体部２３７がねじれる。
【０１８２】このため、ロール剛性も十分に小さい。
【０１８３】次に、回転中の磁気ディスクにうねりが発
生したり、ゴミが付着した際における磁気ヘッド支持機
構２３０のロードビーム２３５の一次曲げ及び一次ねじ
りについて説明する。
【０１８４】一次曲げ ロードビーム２３５は、図２５に示すように、曲がり変
形する。
【０１８５】即ち、ロードビーム本体部２３７と、ジン
バル部２３８の第３，第１，第２の梁部２４１，２４
２，２４４が撓んで、図２３に示す状態となる。
【０１８６】ロードビーム２３５は、このように全体が
フレキシブルに造られているが一次曲げの共振周波数は
その剛性の低さに反して高い。
【０１８７】一次ねじり ロードビーム２３５は、図２６に示すようにねじり変形
する。
【０１８８】即ち、ジンバル部２３８に加えて、ロード
ビーム本体部２３７が変形する。
【０１８９】従って、ロードビーム２３５は、このよう
に全体がフレキシブルに造られているが一次ねじりの共
振周波数はその剛性の低さに反して高い。
【０１９０】
【表３】
【０１９１】
【表４】
【０１９２】表３，表４は、本実施例の磁気ヘッド支持
機構２３０と、図１の第１実施例の磁気ヘッド支持機構
３０との特性比較を示す。
【０１９３】表３は、コンピュータによるシミュレーシ
ョンによって得た、本実施例におけるロードビーム２３
５のピッチ剛性、ロール剛性及び上下剛性を、第１実施
例のものと比較して示す。
【０１９４】この表３から、ピッチ剛性及びロール剛性
が第１実施例のものの１／４程度と低いことが分かる。
【０１９５】表４は、コンピュータによるシミュレーシ
ョンによって得た、本実施例における共振周波数を、第
１実施例のものと比較して示す。
【０１９６】この表４から、一次曲げ共振周波数、一次
ねじり共振周波数、面内共振周波数が依然として十分に
高いことが分かる。
【０１９７】表３及び表４から、本実施例の磁気ヘッド
支持機構２３０は、第１実施例の磁気ヘッド支持機構３
０と同じく高い共振周波数を有し、且つ機構３０と比べ
て、格段に低い剛性を有する特性が得られていることが
わかる。
【０１９８】従って、小サイズの磁気ヘッドスライダ３
５Ｃは、浮上状態を十分に安定に保たれる。
【０１９９】なお、ロードビームの変形例としてロード
ビーム本体２３７の基部側を曲げることによって、ロー
ドビームを図１と同様に支持して、図２３中の荷重Ｆ1
を付与することもできる。
【０２００】この場合、スリット２４８，２４９の外側
の部分２５５，２５６だけを曲げる。このため、スリッ
ト２４８，２４９の間に位置する配線パターン９１〜９
４に不要な応力が作用しない。
【０２０１】次に、ロードビーム２３５のジンバル部２
３８の変形例について説明する。
【０２０２】図２７のジンバル部２３８-1は、幅Ａの広
い第１の梁部２４４-1を有し、且つ寸法Ｂの広い開口２
３９-1を有する。
【０２０３】第２，第３の梁部２４１-1，２４２-1の長
さは長い。
【０２０４】図２８のジンバル部２３８-2は、幅寸法Ｃ
の小さい第２，第３の梁部２４１-2，２４２-2を有す
る。
【０２０５】図２９のジンバル部２３８-3は、幅寸法Ｄ
の大きい第２，第３の梁部２４１-3，２４２-3を有す
る。
【０２０６】図３０のジンバル部２３８-4は、磁気ヘッ
ドスライダ固定部２４０の先端の中央と、ロードビーム
本体部２３７の先端との間を、第４の梁部２６０で連結
した構成である。
【０２０７】第４の梁によって磁気ヘッドスライダ固定
部の変屈を防止できるが、回転剛性も大きくなるので、
この第４の梁は幅を小さくすると、長さを長くすること
が望ましい。
【０２０８】図３１のジンバル部２３８-5は、円弧状の
第２，第３の梁部２４１-5，２４２ -5を有する。
【０２０９】また、図３２に示すように、曲げ加工した
コネクティングプレート２６１を用意し、これをアーム
部２３６Ａに固定し、ロードビーム２３５をコネクティ
ングプレート２６１に固定した構成としてもよい。
【０２１０】この構成によれば、アーム部２３６Ａに曲
げ加工を不要とし得る。
【０２１１】なお、第１〜第６実施例では、ロードビー
ムのバネ部にＲ曲げを設けて磁気ヘッドスライダの荷重
を得たが、第７実施例のようにこのバネ部を平坦なまま
にしてアーム部の取付け構造を採用しても良い。
【０２１２】
【発明の効果】以上説明した様に、請求項１の発明によ
れば、ロードビーム自体に設けたジンバル部が、従来の
ものに比べて、共振点は下がらずに、回転剛性が低いも
のとなり、高共振点及び低回転剛性を実現出来、然し
て、磁気ヘッドスライダの浮上の安定性を向上させるこ
とが出来る。
【０２１３】このため、小型で浮上剛性の低いスライダ
を搭載した場合にも、そのスライダを安定に浮上させる
ことが出来る。
【０２１４】請求項２の発明によれば、磁気ヘッドスラ
イダのマスアンバランスを小さくし得、これにより、シ
ーク時の磁気ヘッドスライダの浮上安定性を良く出来
る。
【０２１５】請求項３の発明によれば、リード線を使用
しているけれども、リード線によってジンバル部の回転
剛性が影響を受けないようにすることが出来、然して、
磁気ヘッドスライダの浮上安定性を良好とし得る。
【０２１６】請求項４の発明によれば、リード線及びチ
ューブが無いため、リード線及びチューブの剛性による
アンバランス力がスライダに働くことを完全に無くする
ことが出来、これによって磁気ヘッドスライダの浮上剛
性が低い場合であっても、その磁気ヘッドスライダの浮
上安定性を良好とし得る。また、組立をし易くし得る。
【０２１７】請求項５の発明によれば、ジンバル部の回
転剛性に方向性が無くなり、磁気ヘッドスライダの浮上
安定性を更に良好とし得る。
【０２１８】請求項６の発明によれば、曲げ、ねじりの
共振点を高く保って、剛性を低くすることが出来、磁気
ヘッドスライダが幅が１ｍｍ程度と従来に比べて小さく
なって、浮上が不安定となり易くなっているにも拘ら
ず、従来と同様の浮上安定性を確保出来る。
【０２１９】請求項７の発明によれば、リード線及びチ
ューブが無いため、リード線及びチューブの剛性による
アンバランス力がスライダに働くことを完全に無くする
ことが出来、これによって磁気ヘッドスライダの浮上剛
性が低い場合であっても、その磁気ヘッドスライダの浮
上安定性を良好とし得る。また、組立をし易くし得る請
求項８の発明によれば、磁気ヘッドスライダを磁気ディ
スクへ当接させる荷重を精度良く得ることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例になる磁気ヘッド支持機構
を下面側からみた図である。
【図２】図１の磁気ヘッド支持機構を適用してなる３．
５インチ磁気ディスク装置の平面図である。
【図３】ロードビームの一次曲げ状態を示す図である。
【図４】ロードビームの一次ねじり状態を示す図であ
る。
【図５】図１の磁気ヘッド支持機構を上面側からみた斜
視図である。
【図６】図２の磁気ヘッド支持機構の側面図である。
【図７】本発明の第２実施例になる磁気ヘッド支持機構
を示す図である。
【図８】本発明の第３実施例になる磁気ヘッド支持機構
を示す図である。
【図９】本発明の第４実施例になる磁気ヘッド支持機構
を示す図である。
【図１０】図９の機構の側面図である。
【図１１】本発明の第５実施例になる磁気ヘッド支持機
構を示す図である。
【図１２】本発明の第６実施例になる磁気ヘッド支持機
構を示す図である。
【図１３】図１２中、ロードビームの先端側の部分を拡
大して示す図である。
【図１４】図１２中、XIV-XIV 線に沿う断面図である。
【図１５】磁気ヘッドスライダの端子部と固定部上の端
子部との接続状態を示す図である。
【図１６】図１２中のロードビームの製造工程を示す図
である。
【図１７】図１６中、エッチング工程が完了したときの
状態を示す図である。
【図１８】ロードビームの別の製造工程を示す図であ
る。
【図１９】本発明の変形例を示す図である。
【図２０】本発明の第７実施例になる磁気ヘッド支持機
構を示す図である。
【図２１】図２０の磁気ヘッド支持機構を適用してなる
１．８インチ磁気ディスク装置の平面図である。
【図２２】図２０の磁気ヘッド支持機構を示す図であ
る。
【図２３】磁気ヘッド支持機構が磁気ディスク装置に組
込まれたときの状態を示す図である。
【図２４】図２３の状態を誇張して示す図である。
【図２５】ロードビームの一次曲げの状態を示す図であ
る。
【図２６】ロードゲームの一次ねじりの状態を示す図で
ある。
【図２７】ロードビームのジンバル部の第１の変形例を
示す図である。
【図２８】ロードビームのジンバル部の第２の変形例を
示す図である。
【図２９】ロードビームのジンバル部の第３の変形例を
示す図である。
【図３０】ロードビームのジンバル部の第４の変形例を
示す図である。
【図３１】ロードビームのジンバル部の第５の変形例を
示す図である。
【図３２】本発明の第７実施例の変形例を示す図であ
る。
【図３３】従来の磁気ヘッド支持機構の１例を示す図で
ある。
【符号の説明】
１５Ａ〜１５Ｄ リード線 １６ 接着剤 １７Ａ 第１の固定点 １７Ｂ 第２の固定点 １７Ｃ 第３の固定点 ２０，５０，６０，８０，９０ 磁気ヘッド支持装置 ２１ ロードビーム ２２ アクチュエータのアーム部 ２３ 弾性部 ２４ 剛性部 ２５，５１，６１，７１ ジンバル部 ２６，２７ コ字形開口 ２８，２９ スリット状開口 ３０，３０Ａ 磁気ヘッドスライダ固定部 ３１，３２ 第１の梁部 ３３，３４ 第２の梁部 ３５，３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃ 磁気ヘッドスライダ ３６ 磁気ヘッドスライダ固定部の中心 ３７ ロードビーム長手方向中心線 ３８ 横切る線 ３９Ａ，３９Ｂ，５２，５３ Ｔ字状梁 ４０〜４３ 連結点 ４４，４５ 矢印 ４７ 端面 ４８ 磁気ヘッド ７２，７３，８１ 鍔部 ７４ 開口 ７５ 接着部 ７６ 枠部 ９１，９２，９３，９４ 配線パターン ９５Ａ〜９５Ｄ，９６Ａ〜９６Ｄ，１００Ａ〜１００Ｄ
端子部 ９７ 絶縁膜 ９８ 保護膜 １０１Ａ〜１０１Ｄ Ａｕボール １０２Ａ，１０２Ｂ，１０２Ｃ 孔 １０３Ａ〜１０３Ｄ，１０４Ａ〜１０４Ｄ ダミーパタ
ーン １０６，１０７ 補助膜 １０８ 凸状パターン ２０１ ステンレス板 ２０２ 打ち抜き前のアーム ２１０，２１１ ダミーパターン ２２０ ３．５インチ磁気ディスク装置 ２２１ ３．５インチ磁気ディスク ２２３ ヘッド位置決め用アクチュエータ ２３０ 磁気ヘッド支持機構 ２３１ 磁気ディスク装置 ２３２ エンクロージャ ２３３ １．８インチの磁気ディスク ２３４ ヘッド位置決め用アクチュエータ ２３５ ロードビーム ２３６ アーム部 ２３６ａ 斜上向き部分 ２３６ｂ 斜下向き部分 ２３６ｃ 先端部 ２３７ ロードビーム本体部 ２３８ ジンバル部 ２３９ Ｕ字状開口 ２４０ 磁気ヘッドスライダ固定部 ２４１ 第２の梁部 ２４２ 第３の梁部 ２４３ つなぎ部 ２４４ 第１の梁部 ２４５，２４６，２４７ 孔 ２４８，２４９ スリット ２５０ 隙間 ２５１ 浮上力作用中心 ２５５，２５６ スリット２４８，２４９の外側の部分 ２６０ 第４の梁部 ２６１ コネクティングプレート

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 アームに取付けられたロードビームの先
    端部に開口を設けることによって該ロードビーム自体に
    ジンバル部を設け、該ジンバル部に磁気ヘッドスライダ
    を固定してなる磁気ヘッド支持機構において、 上記ジンバル部を、 上記磁気ヘッドスライダ（３５）が固定される磁気ヘッ
    ドスライダ固定部（３０）と、 該磁気ヘッドスライダ固定部の中心を通って該磁気ヘッ
    ドスライダ固定部を横切る線（３８）に沿って、該磁気
    ヘッドスライダ固定部の両側より延出した一対の第１の
    梁部（３１，３２）と、 該第１の梁部の先端より、該第１の梁部と実質上ほぼ直
    交して両側に延出し、前記ロードビームの一部と連結し
    てある両持ち状の第２の梁部（３３，３４）とよりなる
    構成としたことを特徴とする磁気ヘッド支持機構。
  2. 【請求項２】 上記磁気ヘッドスライダ固定部は、磁気
    ヘッドスライダが嵌合する開口（７４）と、該開口の回
    りの枠部（７６）とよりなり、 上記磁気ヘッドスライダは、鍔部（７２）を有し、 該磁気ヘッドスライダが、上記鍔部を上記枠部に接着さ
    れて、上記開口に嵌合した状態で固定された構成とした
    ことを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド支持機構。
  3. 【請求項３】 一端を、上記磁気ヘッドスライダ上の磁
    気ヘッドの端子部（１００Ａ〜１００Ｄ）に接続された
    リード線（１５Ａ〜１５Ｄ）を更に有し、 上記端子部（１００Ａ〜１００Ｄ）から引き出されたリ
    ード線（１５Ａ〜１５Ｄ）を、最初に上記ジンバル部の
    磁気ヘッドスライダ固定部（３０）に固定し、その先
    を、ロードビームの一部に固定した構成としたことを特
    徴とする請求項１記載の磁気ヘッド支持機構。
  4. 【請求項４】 上記ロードビームは、一端が第２，第１
    の梁部に沿って上記磁気ヘッドスライダ固定部にまで延
    出する導体膜からなる配線パターン（９１〜９４）を有
    し、 上記磁気ヘッドスライダ上の磁気ヘッドの端子部（１０
    ０Ａ〜１００Ｄ）と上記配線パターンの端の上記磁気ヘ
    ッドスライダ固定部上の端子部（９５Ａ〜９５Ｄ）とが
    接続されている構成としたことを特徴とする請求項１記
    載の磁気ヘッド支持機構。
  5. 【請求項５】 上記ロードビームは、そのジンバル部
    に、上記配線パターン（９１〜９４）と対称にダミーパ
    ターン（１０８，２１０，２１１）を有する構成とした
    ことを特徴とする請求項４記載の磁気ヘッド支持機構。
  6. 【請求項６】 アームに取付けられたリードビームの先
    端部に開口を設けることによって該ロードビーム自体に
    ジンバル部を設け、該ジンバル部に磁気ヘッドスライダ
    を固定してなる磁気ヘッド支持機構において、 上記ジンバル部を、 上記磁気ヘッドスライダ（３５Ｃ）が固定される磁気ヘ
    ッドスライダ固定部（２４０）と、 上記磁気ヘッドスライダ固定部より上記ロードビームの
    長手方向に沿って延出する第１の梁部（２４４）と、 上記第１の梁部の先端より両側に別れて延在して該磁気
    ヘッドスライダ固定部の両側を通り上記ロードビームの
    一部とそれぞれ連結する第２，第３の梁部（２４１，２
    ４２）とよりなる構成としたことを特徴とする磁気ヘッ
    ド支持機構。
  7. 【請求項７】 上記ロードビームは、一端が梁部に沿っ
    て磁気ヘッドスライダ固定部にまで延在する導体膜から
    なる配線パターン（９１〜９４）を有し、上記磁気ヘッ
    ドスライダ上の磁気ヘッドの端子部（１００Ａ〜１００
    Ｄ）と上記配線パターンの端の上記磁気ヘッドスライダ
    固定部上の端子部（９６Ａ〜９６Ｄ）とが接続されてい
    る構成としたことを特徴とする請求項６記載の磁気ヘッ
    ド支持機構。
  8. 【請求項８】 上記ロードビームは全体がフラットなバ
    ネ性を持つ薄板からなり、かつ上記アームは先端に磁気
    ディスクに近づく方向に傾斜している傾斜部を有し、上
    記ロードビームの基部が該アームの傾斜部に取付けられ
    ている構成としたことを特徴とする請求項６または７記
    載の磁気ヘッド支持機構。
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