JP3559000B2 - ヘッドスライダ組立体 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
【０００２】
本発明は磁気ディスク装置に用いられるヘッドスライダ組立体に関する。
【０００３】
磁気ヘッドを搭載した磁気ヘッドスライダはロードビームの先端に取り付けられ、記録再生時には磁気ディスクに対して浮上した状態とされる。
【０００４】
近年、磁気ディスク装置の信頼性の一種であるＨＤＩ（Ｈｅａｄ Ｄｉｓｃ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）特性の向上が求められている。
【０００５】
このためには、磁気ヘッドスライダを小型化することや、該スライダを磁気ディスクの方向に付勢するためのバネ荷重を軽減することが有効である。
【０００６】
磁気ヘッドスライダを小型化すると、以下の事柄が発生する。
【０００７】
（１）スライダの小型化に伴い、それを保持する支持バネのサイズも小さくしなくてはならない。これは、ディスクのうねりに対するヘッドの追従特性を維持し、ひいてはヘッドの浮上安定性を維持するためである。
【０００８】
バネ荷重を軽減すると、以下の事項が発生する。
【０００９】
（２）バネ荷重の軽減によりヘッドの浮上剛性が低下する。
【００１０】
また、スライダや支持バネ等の部品が小さくなることにより、組立誤差が大きくなる。
【００１１】
このため、磁気ヘッドスライダを支持する装置は、磁気ヘッドスライダの浮上の安定性を十分に保証しうる構成であることが必要とされる。
【従来の技術】
【００１２】
一般には、磁気ヘッドスライダ組立体は、ロードビーム、ロードビームに固定したジンバル、このジンバルに固定された磁気ヘッドスライダからなる構成である。
【００１３】
この構成では、部品サイズの縮小化に伴い、組立（位置合せ）が困難となる。組立誤差があると、磁気ヘッドスライダがアンバランス浮上（斜めに傾いて浮上すること）してしまう。これにより、浮上ヘッドの信頼性が損なわれるだけでなくＲ／Ｗ特性にも悪影響を与え、ひいては磁気ディスク装置の信頼性の低下をきたしてしまう。
【００１４】
そこで、ヘッド支持機構の組立（位置合わせ）精度不良によるスライダのアンバランス浮上の要因をなくすため、支持バネ（従来のロードビームとジンバル）を一体化し、組立を不要にした構成が、特開平３−１８９９７６号公報に示されている。
【００１５】
図１８は上記公報に示されている磁気ヘッドスライダ組立体１を示す。
【００１６】
２は磁気ディスク、３はアクチュエータ部、４はロードビーム（フレクシャともいう）である。
【００１７】
５はジンバル部であり、ロードビーム４に略コ字状の開口（貫通孔）６，７を形成することにより、ロードビーム４自体に残置形成してある。
【００１８】
ジンバル部５は、ロードビーム４を横切る方向に延出する両持ち状の梁８と、この梁８の中央より両側に舌状に張り出している舌部９，１０とよりなる。
【００１９】
磁気ヘッドスライダ１１の背面はロードビームの幅方向に溝加工されており、舌部９，１０にまたがって固定してある。
【００２０】
磁気ヘッドスライダ１１は、梁８のねじれを伴って、矢印１２で示すようにピッチング方向に回動し、梁８の曲がりを伴って、矢印１３で示すようにローリング方向に回動する。
【発明が解決しようとする課題】
【００２１】
小型の磁気ヘッドスライダの浮上の安定性を確保するには、ジンバル部の回転剛性を低くする必要がある。
【００２２】
また、ロードビーム４は剛性を必要とするため、ロードビーム４の厚さｔを薄くすることはできない。
【００２３】
ロードビーム４の厚さｔを薄くせずに、上記構造のジンバル部５の回転剛性を低くするには、梁８の長さｌを長くせざるを得ない。
【００２４】
梁８の長さｌを長くすると、以下の問題点が生ずる。
【００２５】
（１） 梁８の曲げ及び捩じれの振動の共振点が大幅に下がってしまう。これにより、磁気ヘッドスライダ１１の浮上量が変動し易くなる。
【００２６】
（２） ロードビーム４の幅Ｗが広くなり、ロードビーム４自体の振動の共振点が下がってしまう。これにより、磁気ヘッドスライダ１１の浮上が不安定となり易くなる。
【００２７】
即ち、従来のロードビーム、ジンバルを一体化した支持バネ構造の場合、ジンバル部の共振点を落とさず、回転剛性だけを小さくする構造を実現するのは非常に困難であった。
【００２８】
また、スライダの小型化やバネ荷重の軽減に伴う浮上剛性の低下により、ヘッドにつながっているリード線の剛性の影響が無視できなくなってくる。つまり、リード線の剛性がスライダに及ぼす影響により、剛性のかかり方次第ではスライダが傾いて浮上する。特に再生用ヘッドに磁気抵抗効果型ヘッド（ＭＲヘッド）を用いた場合、記録用のインダクティブ型ヘッドと組合わされるために記録／再生兼用のヘッドの２倍の４本のリード線が必要となり、余計にリード線の剛性の影響を受けやすくなる。これにより、浮上ヘッドの信頼性が損なわれるだけでなくＲ／Ｗ特性にも悪影響を与え、磁気ディスク装置の信頼性の低下をきたす。
【００２９】
また、スライダとロードビームとの電気的接続の信頼性を向上させる必要もある。
【００３０】
そこで、本発明は、上記課題を解決したヘッドスライダ組立体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００３１】
請求項１の発明は、ヘッドスライダと該ヘッドスライダを支持するヘッドスライダ支持体とからなるヘッドスライダ組立体であって、
前記ヘッドスライダは、一列に配置された複数の第１の端子部を有し、
前記ヘッドスライダ支持体は、前記ヘッドスライダを固定するヘッドスライダ固定部と、前記ヘッドスライダ固定部上に一列に配置された複数の第２の端子部と、該複数の第２の端子部からそれぞれ延びる複数の配線パターンとを有し、
前記ヘッドスライダの第１の端子部と前記ヘッドスライダ固定部の第２の端子部は、直角に且つ対向して配設されてなり、第１、第２の端子部間にまたがるように圧接された導体ボールにより第１、第２の端子部間が電気的に接続されてなる構成としたものである。
【００３２】
請求項２の発明は、請求項１記載のヘッドスライダ組立体において、
前記導体ボールは、金ボールであるようにしたものである。
【００３３】
請求項３の発明は、請求項１又は２記載のヘッドスライダ組立体において、
前記配線パターンは、銅で形成され、
前記ヘッドスライダ固定部の端子部の表面は、金で形成した構成としたものである。
【００３４】
請求項４の発明は、請求項１乃至３のうち何れかに記載のヘッドスライダ組立体において、
前記ヘッドスライダは、再生ヘッド及び記録ヘッドを有する複合型ヘッドを搭載し、且つ、一列に配置された４個の第１の端子部を有し、
前記ヘッドスライダ固定部は、一列に配置された４個の第２の端子部を有し、
前記ヘッドスライダの第１の端子部と前記ヘッドスライダ固定部の第２の端子部は、それぞれ第１、第２の端子部間にまたがるように圧接された４個の金ボールにより第１、第２の端子部間が電気的に接続されてなる構成としたものである。
【発明の実施の形態】
【００３５】
先ず、本発明と関連する磁気ヘッドスライダ組立体２０の１つの例について説明する。
〔第１の例〕
図１は、磁気ヘッドスライダ組立体２０を表裏反転した状態で示す。
【００３６】
この磁気ヘッドスライダ組立体２０を、３．５インチタイプの磁気ディスク装置２２０に適用した例を図２に示す。
【００３７】
磁気ディスク装置２２０は、エンクロージャ２２１内に、径が３．５インチの磁気ディスク２２２、及びヘッド位置決め用アクチュエータ２２３等が組込まれた構造を有する。
【００３８】
２１はステンレス製のロードビームであり、アクチュエータのアーム部２２に固定してある。
【００３９】
ロードビーム２１の基部側はＲ曲げされている弾性部２３であり、弾性部２３より先端側が剛性部２４である。弾性部２３が後述する磁気ヘッドスライダ３５に、磁気ディスク２２１に当接する方向の荷重を付与する。このロードビームの厚みは、全体が均一でかつ汎用の３３８０タイプ（ＩＢＭ）のヘッド支持機構のロードビームの約１／３、例えば２５μｍ程度である。
【００４０】
ここで、ロードビーム２１の幅Ｗ1 は、出来るだけ小としてある（４ｍｍ以下が望ましい）。その理由は、ロードビーム２１の振動の共振点を不要に低下させないためである。
【００４１】
２５はジンバル部であり、ロードビーム２１自体に形成してある。
【００４２】
ジンバル部２５は、ロードビーム２１に、一対のコ字形状開口２６，２７を、ロードビーム２１の長手方向上向き合う配置で形成し、且つ、ロードビーム２１の両側に沿ってスリット状の開口２８，２９を形成することにより残置形成してある。
【００４３】
ジンバル部２５は、磁気ヘッドスライダ固定部３０と、一対の第１の梁部３１，３２と、一対の第２の梁部３３，３４とを有する。
【００４４】
磁気ヘッドスライダ固定部３０は、磁気ヘッドスライダ３５を固定するのに十分な程度の大きさ、例えば、磁気ヘッドスライダ３５の平面外形寸法（ａ＝２ｍｍ、ｂ＝１．６ｍｍ）と対応する寸法ａ×ｂを有する。但し、接着強度があれば、これ以下の寸法でも何ら差し支えない。
【００４５】
磁気ヘッドスライダ３５は、軽荷重構造のスライダ、例えば本出願人による特開平４−２２８１５７号に示されたスライダを使用するのが望ましい。このスライダの浮上面と反対側の背面は平坦面となっており、その背面を前記固定部３０に接着剤により接着固定する。この場合、スライダと固定部の各中心を一致させる。
【００４６】
第１の梁部３１，３２は、上記固定部３０の中心（スライダの中心でもある）３６を通り、ロードビーム長手方向中心線３７に直交して固定部３０を横切る線３８（ロードビーム幅方向線）に沿って、固定部３０の両側より外方に延出している。
【００４７】
第１の梁部３１，３２の長さは、ｌ1 である。
【００４８】
第２の梁部３３，３４は夫々上記第１の梁部３１，３２の先端より、第１の梁部３１，３２と直交して両側に、上記線３７と平行に延出しており、先端側は、点４０，４１，４２，４３で、ロードビーム２１のうちジンバル部２５の周囲の部分と連結してある。なお、見方を変えれば、第２の梁部３３，３４は、ロードビーム２１のうちジンバル部２５の周囲の部分４０〜４３より延出している。
【００４９】
この第２の梁部３３，３４は、両持ち梁状であり、第１の梁部３１，３２の先端がつながっている中央部から両端までの長さは、ｌ2 である。
【００５０】
第２の梁部３３と第１の梁部３１とが、Ｔ字状梁３９Ａを構成する。同じく、 第２の梁部３４と第１の梁部３２とが、Ｔ字状梁３９Ｂを構成する。そして全体ではＨ字状梁を構成する。
【００５１】
固定部３０、第１の梁部３１，３２及び第２の梁部３３，３４は、共にロードビーム２１の一部によって形成してある。
【００５２】
ここで、上記第１の梁部３１，３２の長さｌ1 はロードビーム２１の幅Ｗ1 により制約を受ける。ここで、幅Ｗ1 を大きくすると、ロードビーム２１の曲げやねじり共振点が下がり、スライダの浮上特性を悪化させてしまうため、幅Ｗ1 を大きくすることはできない。しかし、本実施例では、第２の梁部３３，３４の長さ２×ｌ2 は、ロードビーム２１の幅Ｗ1 による制約を受けず、長くできる。
【００５３】
そこで、第２の梁部３３，３４は長く形成してあり、寸法ｌ2 とｌ1 との関係は、ｌ2 ＞ｌ1 となっている。
【００５４】
上記Ｔ字は、脚部の長さに比べて、腕部の長さの長い偏平な形状となっている。
【００５５】
回転中の磁気ディスクにうねりが発生したり、ゴミが付着した場合を考えると、磁気ヘッドスライダ３５は、Ｔ字状をなす第１の梁部３１，３２及び第２の梁部３３，３４の撓みを伴って矢印４４で示すようにピッチング方向に回動する。この時、ジンバルの第１の梁部３１，３２はねじりの変形を伴い、さらに第２の梁部３３，３４は曲の変形を伴う。
【００５６】
又矢印４５で示すようにローリング方向にも回動する。この時ジンバルの第１の梁部３１，３２はお互いに逆向きに曲げの変形を伴い、さらに第２の梁部３３，３４はこれも又、逆向きに曲げの変形を伴う。
【００５７】
次に本発明の各実施例について説明する。
〔第１実施例〕
図３は磁気ヘッドスライダ組立体９０を示す。
【００５８】
図４に併せて示すように、この機構９０は、低浮上剛性のスライダの浮上に影響を与えるリード線の剛性の影響を無くするようにしたものである。例えば、４本のリード線がスライダとロードビームとの間に接続されている場合で、各リード線の直径が３０μｍ、リード線余長部（自由長）が１ｍｍとすると、ジンバル部の回転剛性はリード線が配線されていない場合に比べ約５倍となり、これはスライダの浮上安定性を損なうものである。
【００５９】
９１，９２，９３，９４は、例えばメッキで形成された銅薄膜をフォトリソグラフィーによりパターニングした銅製の配線パターンであり、ロードビーム２１の下面の中央をロードビーム２１の長手方向に延在しており、厚さは約５μｍ、幅は約５０μｍである。この厚み及び幅は導体パターンの抵抗値及びロードビームの容量により決定される。
【００６０】
９５Ａ〜９５Ｄは銅製の端子部であり、ロードビーム２１の基部側に設けてある。
【００６１】
９６Ａ〜９６Ｄは銅製の端子部であり、ジンバル部２５の磁気ヘッドスライダ固定部３０の端部３０ａに設けてある。
【００６２】
端子部９５Ａ〜９５Ｄ，９６Ａ〜９６Ｄには、例えばＡｕメッキが施されており、Ｃｕの露出を防ぐと共に、ボンディング特性を上げている。
【００６３】
配線パターン９１，９２，９３，９４の一端は、夫々端子部９５Ａ，９５Ｂ，９５Ｃ，９５Ｄにまで延在している。
【００６４】
４本の配線パターン９１〜９４のうちの半分の２本の配線パターン９１，９２の他端側は、第２の梁部３３Ａ、第１の梁部３１に沿って延在しており、端子９６Ａ，９６Ｂに到っている。
【００６５】
残りの２本の配線パターン９３，９４の他端側は、第２の梁部３４Ａ、第１の梁部３２に沿って延在しており、端子９６Ｃ，９６Ｄに到っている。
【００６６】
配線パターン９１，９２，９３，９４は、図５に示すように、ロードビーム２１に対しては、絶縁膜９７により絶縁されており、且つ表面を保護膜９８で覆われている。
【００６７】
絶縁膜９７及び保護膜９８は、共に、感光性ポリイミド製であり、コーティングにより成膜され厚さは約５μｍ程度で十分である。この絶縁膜９７及び保護膜９８はフォトリソグラフィー技術によってパターニングされている。この絶縁膜の厚みは導体パターン（Ｃｕ製）とロードビーム（Ａｌ製）間の容量によって決定される。
【００６８】
ポリイミドは後述する焼鈍に耐えうる耐熱性を有する。また、ポリイミドは、感光性を有するものである故、パターニングが容易である。更に、ポリイミド膜９７，９８は耐食性を有するため非常に信頼性が高い。
【００６９】
各端子部９５Ａ〜９５Ｄ，９６Ａ〜９６Ｄは、保護膜９８で覆われていず腐食し易い。そこで、腐食を防止するため、各端子９５Ａ〜９５Ｄ，９６Ａ〜９６Ｄの表面は、メッキまたは蒸着により成膜された約１μｍの厚さのＡｕ製の膜（図示せず）により覆われている。
【００７０】
図６に示すように、磁気ヘッドスライダ３５は、固定部３０に接着剤により接着固定してあり、上記端子部９６Ａ〜９６Ｄと磁気ヘッドスライダ３５の端面４７上に形成された磁気ヘッド４８の端子部１００Ａ〜１００Ｄとが、９０°の角度をもって配設されており、夫々Ａｕボール１０１Ａ〜１０１Ｄによって接続されている。
【００７１】
Ａｕボール１０１Ａ〜１０１Ｄは、例えば金ボールボンダ装置により形成される。
【００７２】
また端子部９６Ａ〜９６Ｄと端子部１００Ａ〜１００ＤとはＡｕボール１０１Ａ〜１０１Ｄで接続され易いように、図６に示すように位置している。
【００７３】
Ａｕボール１０１Ａ〜１０１Ｄが圧接し易いように、端子部１００Ａ〜１００Ｄは、ヘッドスライダ３５の高さ方向に細長の形状を有し、且つ、ヘッドスライダ３５と固定部３０に固定した状態で、端子部９６Ａ〜９６Ｄに対向するように配置してある。
【００７４】
なお、配線パターン９１〜９４についてみると、ロードビームをアーム部２２に螺子止めする時に使用する固定用孔１０２Ｃと治具取付け用孔１０２Ｂ，１０２Ｂとをそれぞれ迂回しながらヘッドスライダ３５のきわまで延在している。
【００７５】
図３及び図４中、１０３Ａ〜１０３Ｄ，１０４Ａ〜１０４Ｄは、ダミーパターンであり、配線パターン９１〜９４のうち、治具取付け用孔１０２Ａ，１０２Ｂの外周に形成されている迂回部分と対称に形成してある。
【００７６】
このダミーパターン１０３Ａ〜１０３Ｄ，１０４Ａ〜１０４Ｄの部分にも配線パターン９１〜９４の部分と同じく、絶縁膜９７及び保護膜９８が設けてある。
【００７７】
このダミーパターン１０３Ａ〜１０３Ｄ，１０４Ａ〜１０４Ｄは、ロードビーム２１の幅方向上の機械的強度のバランスをとるために設けてある。
【００７８】
１０６，１０７は補助膜であり、ロードビーム２１の左右端に沿って帯状に形成してある。
【００７９】
この補助膜１０６，１０７は、後述する曲げ加工時に、ロードビーム２１をクランプするときに、クランプ力をこの部分と配線パターン９１〜９４の部分とで受けるようにするために設けてある。即ち、クランプ力が配線パターン９１〜９４の部分にだけかかって、配線パターン９１〜９４を傷めてしまうことのないように設けてある。
【００８０】
図３及び図４中、１０８は凸状パターンであり、スライダを接着するときの接着剤が固定部外に流出しないようにする機能と、その接着の際にスライダが配線パターンの厚みによって傾かないようにする、つまり上記ダミーパターンと同様な機能をもたすために設けてあり、該配線パターンと同じメッキ銅薄膜により構成される。この凸状パターン１０８上にも保護膜９８が設けられている。なお、接着剤は配線パターンと凸状パターンとの間の段差部上に塗布される。
【００８１】
上記のロードビーム２１は、図７に示す工程によって製造される。
【００８２】
まず、パターン形成工程１１０を行う。
【００８３】
ここでは、ステンレス板上に、感光性ポリイミドを塗布し、フォトリソグラフィ技術によって絶縁膜９７を形成し、その上にメッキ等により銅薄膜を形成し、この銅薄膜をフォトリソグラフィ技術によって例えば銅製の配線パターン９１〜９４を形成し、更には、再び感光性ポリイミドを塗布し、フォトリソグラフィ技術によって保護膜９８及び補助膜１０６，１０７を形成する。Ｃｕ膜は、メッキ法のほかに蒸着によって形成することも可能である。ポリイミドは、塗布によるスピンコートで形成した後、パターニングし、エッチングする。絶縁膜とＣｕ膜、Ｃｕ膜と保護膜との間には密着性、信頼性を向上させるためにＣｒ膜等の薄膜を介在させることも可能である。
【００８４】
次に、エッチング工程１１１を行い、ステンレス板に開口２６〜２９及び孔１０２Ａ〜１０２Ｃをあけ、ジンバル部２５とロードビーム２１の外形を形成する。
【００８５】
以上の結果、図８に示すように、ステンレス板２０１上に、打ち抜き前のロードビーム２０２がマトリクス状に並んだ状態となる。
【００８６】
次に曲げ工程１１２を行い、ステンレス板の両側を曲げて、リブ２１ａを形成する。この作業はプレスで行い、ステンレス板ごとにまとめて行うこともできる。
【００８７】
最後に、焼鈍工程１１３を行い、約４００℃に加熱して、内部応力を除く。
【００８８】
更に、スライダ接着と、Ａｕボンディングもこの状態で行うことにより、完全自動化が可能で、工程、コストとも大幅に低減できる。
【００８９】
ロードビーム２１は焼鈍工程がなくても製造しうる。
【００９０】
この場合には、図９に示すように、パターン形成工程１１０及びエッチング工程１１１を行った後、この状態でスライダ接着と、Ａｕボンディングを行い、その後に曲げ工程１１２を行ってリブ２１ａを形成する。
【００９１】
なお、図１０に示すように磁気ヘッドとして記録／再生兼用のインダクティブ型ヘッド４８Ａ，４８Ｂを使用した場合、磁気ヘッドスライダ３５は二つの端子部１００Ａ，１００Ｂを有する。ジンバル部２５についてみると、２本の配線パターン９１Ａ，９２Ａはジンバル部の片側の梁部３２，３４Ａにだけ延在するように設けられ、反対側のもう一方の梁部３１，３３Ａには２本のダミーパターン２１０，２１１が形成されて、ジンバル部の左右の機械的強度のバランスをとるように構成される。
【００９２】
上記構成の磁気ヘッドスライダ組立体９０は以下に挙げる特長を有する。
【００９３】
（１） ロードビーム２１上に直接配設パターン９１〜９４が形成してあるため、リード線の引き廻しが無く、ロードビーム２１にリード線を通すためのチューブが固着されていず、リード線及びチューブの剛性によるアンバランス力がスライダに働くことが完全に無くなっている。従って、磁気ヘッドスライダ３５の浮上は安定する。
【００９４】
（２） ダミーパターン１０３Ａ〜１０３Ｄ，１０４Ａ〜１０４Ｄを設けたことにより、ロードビーム２１の回転剛性は方向性を有しない。これにより、磁気ヘッドスライダ３５の浮上は安定する。
【００９５】
（３） Ａｕボール１０１Ａ〜１０１Ｄを使用した圧着接続は、組立の自動化を可能とする。
【００９６】
なお、前記各実施例において、梁部は曲線状でもよい。
【００９７】
さて次に、より小型の磁気ディスク装置に適用して有効なヘッド支持機構の実施例について述べる。
〔第２実施例〕
図１１は磁気ヘッドスライダ組立体２３０を表裏反転した状態を示す。
この磁気ヘッドスライダ組立体２３０を、１．８インチタイプの磁気ディスク装置２３１に適用した例を図１２に示す。
【００９８】
磁気ディスク装置２３１は、ＩＣメモリカードと外形寸法同一のエンクロージャ２３２内に、１枚の径が１．８インチの磁気ディスク２３３、及び２組の磁気ヘッドスライダ組立体を取付けたヘッド位置決め用アクチュエータ２３４等が組込まれた構造を有し、図２の磁気ディスク装置２２０に比べて相当に小型である。
【００９９】
磁気ディスク装置２３１の小型化に伴って、磁気ヘッドスライダ３５Ｃは、小型となっており、その平面外形寸法ａ×ｂが１．０ｍｍ×０．８ｍｍと、図１の磁気ヘッドスライダ３５の体積で約１／４と小さい。
【０１００】
このように、磁気ヘッドスライダ３５Ｃが小サイズとなると、これを安定に浮上させるには、磁気ヘッドスライダ組立体は、図１の磁気ヘッドスライダ組立体３０に比べて、共振周波数は低下せずに、剛性が相当に小さい特性を有することが必要とされる。
【０１０１】
図１１中、ロードビーム２３５は、ステンレス製であり、基部側をアクチュエータ２３４のアーム部２３６に固定してある（図１２参照）。
【０１０２】
ロードビーム２３５は、幅Ｗ2 が約２ｍｍ、長さＬが約９ｍｍ、厚さｔが約２５μｍであり、図１中のロードビーム２１に比べて、体積で約１／２と小さい。
【０１０３】
ロードビーム２３５のサイズが小さいため、後述する曲げ等の共振周波数は高い。
【０１０４】
ロードビーム２３５は、シート状片であり、曲げ加工を全く施していないフラットな薄板片からなる。このため、磁気ヘッドスライダの浮上の安定性を害する曲げ加工誤差の問題もない。
【０１０５】
ロードビーム２３５は、ロードビーム本体部２３７と、先端側のジンバル部２３８とよりなる。
【０１０６】
ジンバル部２３８は、ロードビーム２３５に、略Ｕ字状の開口部（貫通孔）２３９を設けることによって、ロードビーム２３５自体に残置形成されている。
【０１０７】
このジンバル部２３８は、磁気ヘッドスライダ固定部２４０と、第２の梁部２４１と、第３の梁部２４２と、つなぎ部２４３と、第１の梁部２４４とを有する。
【０１０８】
磁気ヘッドスライダ固定部２４０は、磁気ヘッドスライダ３５Ｃに対応する大きさを有する。
【０１０９】
第２及び第３の梁部２４１，２４２は、ロードビーム本体部２３７の先端の幅方向上両端から延出しており、磁気ヘッドスライダ固定部２４０の両側を、ロードビームの先端方向に延在している。
【０１１０】
つなぎ部２４３は、ロードビーム２３５の幅方向に延在しており、上記第１の梁部２４１の先端側と上記第１の梁部２４２の先端側とをつないでいる。
【０１１１】
第１の梁部２４４は、つなぎ部２４３の中央からより上記ロードビーム本体部２３７の方向に延在しており、先端に磁気ヘッドスライダ固定部２４０を有する。このように、磁気ヘッドスライダ固定部は第１の梁部、つなぎ部、第２，第３の梁部を介してロードビーム本体部に連結されるため、それら梁部の撓みによって回転剛性が小さい。
【０１１２】
ロードビーム本体部２３７には、治具取付用の孔２４５，２４６，２４７及び一対のスリット２４８，２４９が形成してある。
【０１１３】
上記開孔２３９、孔２４５，２４６，２４７及びスリット２４８，２４９は、エッチングにより形成される。
【０１１４】
ロードビーム２３５には、図３に示すと略同様に、端子部９５Ａ〜９５Ｄ、９６Ａ〜９６Ｄ、及び配線パターン９１〜９４が、ロードビーム２３５の長手方向中心に対して左右対称に形成してある。
【０１１５】
磁気ヘッドスライダ３５Ｃは、固定部２４０に接着固定され、端子部９６Ａ〜９６Ｄと端子部１００Ａ〜１００Ｄとが、図６に示すと同様に、Ａｕボールによって接続される。
【０１１６】
図１３（Ａ），（Ｂ）に示すように、アーム部２３６の先端側は、一度上がって下がるように、逆Ｖ字状に折り曲げてあり、斜上向き部分２３６ａと斜下向き部分２３６ｂとを有する。
【０１１７】
ロードビーム２３５は、アーム部２３６の斜下向き部分２３６ｂの下面に固定してあり、斜下方向に延在しており、水平に対して角度θ傾斜している。
【０１１８】
磁気ディスク装置２３１においては、２組の磁気ヘッドスライダ組立体２３０が１枚の磁気ディスク２３３を挟むように配置されており、磁気ヘッドスライダ組立体２３５は磁気ディスク２３３の非回転時には図１４に示すように、磁気ヘッドスライダ３５Ｃを磁気ディスク２３３に接触させており、このときロードビーム本体部２３７が強制的に湾曲して弾性変形せしめられており、ロードビーム本体部２３７に蓄積された弾性力によって磁気ヘッドスライダを、磁気ディスク２３３側に付勢する荷重Ｆ1 を得ている。
【０１１９】
アーム部２３６は逆Ｖ字状に折り曲げられてあるため、図１４中、二点鎖線で示すように単に斜め下方に折曲した場合に比べて、アーム部２３６の先端２３６ｃ、磁気ディスク２３３との間に広い隙間２５０を確保することが出来る。
【０１２０】
次に、ロードビーム２３５が磁気ヘッドスライダ３５Ｃに作用するモーメントについて考察する。
【０１２１】
図１５に示すように、ロードビーム本体部２３７及び第３の梁部２４４が撓むため、磁気ヘッドスライダ３５Ｃには、浮上力が作用する中心２５１に関して、モーメントが作用する。
【０１２２】
ロードビーム本体部２３７及び第２，第３の梁部２４１，２４２は、反時計方向のモーメントＭ１を作用する。
【０１２３】
第１の梁部２４４は、時計方向のモーメントＭ２を作用する。
【０１２４】
ロードビーム２３５の各部の寸法は適宜定めてあり（例えば全長９ｍｍ、ジンバル部の長さ２．５ｍｍ、ロードビーム本体部５．７ｍｍ、幅２ｍｍである）、上記のモーメントＭ１，Ｍ２とは釣り合っている。
【０１２５】
このことによっても、磁気ヘッドスライダ３５Ｃは、安定に浮上する。
【０１２６】
次に、磁気ヘッドスライダ３５Ｃのピッチング及びローリングについて、図１１を参照して説明する。
【０１２７】
（１）ピッチング
磁気ヘッドスライダ３５Ｃは、第１の梁部２４４及び第２，第３の梁部２４１，２４２、更にはロードビーム本体部２３７の撓みを伴って、矢印４４で示すピッチング方向に回動する。このとき全ての梁は円弧状にそり、ジンバル部２３８の撓みに加えて、ロードビーム本体部２３７が撓む。
【０１２８】
このため、ピッチ剛性は十分に小さくなる。
【０１２９】
（２）ローリング
磁気ヘッドスライダ３５Ｃは、主に第２，第３の梁部２４１，２４２が上下方向に互いに逆方向の撓み、及びロードビーム本体部２３７のねじれを伴って、矢印４５で示すローリング方向に回動する。
【０１３０】
このときにも、ジンバル部２３８の撓みに加えて、ロードビーム本体部２３７がねじれる。
【０１３１】
このため、ロール剛性も十分に小さい。
【０１３２】
次に、回転中の磁気ディスクにうねりが発生したり、ゴミが付着した際における磁気ヘッドスライダ組立体２３０のロードビーム２３５の一次曲げ及び一次ねじりについて説明する。
【０１３３】
（１）一次曲げ
ロードビーム２３５は、図１６に示すように、曲がり変形する。
【０１３４】
即ち、ロードビーム本体部２３７と、ジンバル部２３８の第３，第１，第２の梁部２４１，２４２，２４４が撓んで、図１４に示す状態となる。
【０１３５】
ロードビーム２３５は、このように全体がフレキシブルに造られているが一次曲げの共振周波数はその剛性の低さに反して高い。
【０１３６】
（２）一次ねじり
ロードビーム２３５は、図１７に示すようにねじり変形する。
【０１３７】
即ち、ジンバル部２３８に加えて、ロードビーム本体部２３７が変形する。
【０１３８】
従って、ロードビーム２３５は、このように全体がフレキシブルに造られているが一次ねじりの共振周波数はその剛性の低さに反して高い。
【０１３９】
【表１】
【０１４０】
【表２】
表１，表２は、本実施例の磁気ヘッドスライダ組立体２３０と、図１の第１の例の磁気ヘッドスライダ組立体２０との特性比較を示す。
【０１４１】
表１は、コンピュータによるシミュレーションによって得た、本実施例におけるロードビーム２３５のピッチ剛性、ロール剛性及び上下剛性を、第１の例のものと比較して示す。
【０１４２】
この表１から、ピッチ剛性及びロール剛性が第１の例のものの１／４程度と低いことが分かる。
【０１４３】
表２は、コンピュータによるシミュレーションによって得た、本実施例における共振周波数を、第１の例のものと比較して示す。
【０１４４】
この表２から、一次曲げ共振周波数、一次ねじり共振周波数、面内共振周波数が依然として十分に高いことが分かる。
【０１４５】
表１及び表２から、本実施例の磁気ヘッドスライダ組立体２３０は、第１の例の磁気ヘッドスライダ組立体２０と同じく高い共振周波数を有し、且つ磁気ヘッドスライダ組立体２０と比べて、格段に低い剛性を有する特性が得られていることがわかる。
【０１４６】
従って、小サイズの磁気ヘッドスライダ３５Ｃは、浮上状態を十分に安定に保たれる。
【０１４７】
なお、ロードビームの変形例としてロードビーム本体２３７の基部側を曲げることによって、ロードビームを図１と同様に支持して、図１４中の荷重Ｆ1 を付与することもできる。
【０１４８】
この場合、スリット２４８，２４９の外側の部分２５５，２５６だけを曲げる。このため、スリット２４８，２４９の間に位置する配線パターン９１〜９４に不要な応力が作用しない。
【発明の効果】
【０１４９】
以上説明したように、本発明によれば、ヘッドスライダの第１の端子部とヘッドスライダ固定部の第２の端子部が、直角に且つ対向して配設されてなり、導体ボールにより第１、第２の端子間が圧着接続されてなる構成であるため、搭載されたヘッドスライダとヘッドスライダ支持体との電気的接続が確実になされたヘッドスライダ組立体を実現することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の例になる磁気ヘッドスライダ組立体を下面側からみた図である。
【図２】図１の磁気ヘッドスライダ組立体を適用してなる３．５インチ磁気ディスク装置の平面図である。
【図３】本発明の第１実施例になる磁気ヘッドスライダ組立体を示す図である。
【図４】図３中、ロードビームの先端側の部分を拡大して示す図である。
【図５】図３中、XIV-XIV 線に沿う断面図である。
【図６】磁気ヘッドスライダの端子部と固定部上の端子部との接続状態を示す図である。
【図７】図３中のロードビームの製造工程を示す図である。
【図８】図７中、エッチング工程が完了したときの状態を示す図である。
【図９】ロードビームの別の製造工程を示す図である。
【図１０】本発明の変形例を示す図である。
【図１１】本発明の第２実施例になる磁気ヘッドスライダ組立体を示す図である。
【図１２】図１１の磁気ヘッドスライダ組立体を適用してなる１．８インチ磁気ディスク装置の平面図である。
【図１３】図１１の磁気ヘッドスライダ組立体を示す図である。
【図１４】磁気ヘッドスライダ組立体が磁気ディスク装置に組込まれたときの状態を示す図である。
【図１５】図１５の状態を誇張して示す図である。
【図１６】ロードビームの一次曲げの状態を示す図である。
【図１７】ロードビームの一次ねじりの状態を示す図である。
【図１８】従来の磁気ヘッドスライダ組立体の１例を示す図である。
【符号の説明】
２０，９０ 磁気ヘッド支持装置
２１ ロードビーム
２２ アクチュエータのアーム部
２３ 弾性部
２４ 剛性部
２５，５１，６１，７１ ジンバル部
２６，２７ コ字形開口
２８，２９ スリット状開口
３０，３０Ａ 磁気ヘッドスライダ固定部
３１，３２ 第１の梁部
３３，３４ 第２の梁部
３５，３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃ 磁気ヘッドスライダ
３６ 磁気ヘッドスライダ固定部の中心
３７ ロードビーム長手方向中心線
３８ 横切る線
３９Ａ，３９Ｂ，５２，５３ Ｔ字状梁
４０〜４３ 連結点
４４，４５ 矢印
４７ 端面
４８ 磁気ヘッド
７２，７３，８１ 鍔部
７４ 開口
７５ 接着部
７６ 枠部
９１，９２，９３，９４ 配線パターン
９５Ａ〜９５Ｄ，９６Ａ〜９６Ｄ，１００Ａ〜１００Ｄ 端子部
９７ 絶縁膜
９８ 保護膜
１０１Ａ〜１０１Ｄ Ａｕボール
１０２Ａ，１０２Ｂ，１０２Ｃ 孔
１０３Ａ〜１０３Ｄ，１０４Ａ〜１０４Ｄ ダミーパターン
１０６，１０７ 補助膜
１０８ 凸状パターン
２０１ ステンレス板
２０２ 打ち抜き前のアーム
２１０，２１１ ダミーパターン
２２０ ３．５インチ磁気ディスク装置
２２１ ３．５インチ磁気ディスク
２２３ ヘッド位置決め用アクチュエータ
２３０ 磁気ヘッドスライダ組立体
２３１ 磁気ディスク装置
２３２ エンクロージャ
２３３ １．８インチの磁気ディスク
２３４ ヘッド位置決め用アクチュエータ
２３５ ロードビーム
２３６ アーム部
２３６ａ 斜上向き部分
２３６ｂ 斜下向き部分
２３６ｃ 先端部
２３７ ロードビーム本体部
２３８ ジンバル部
２３９ Ｕ字状開口
２４０ 磁気ヘッドスライダ固定部
２４１ 第２の梁部
２４２ 第３の梁部
２４３ つなぎ部
２４４ 第１の梁部
２４５，２４６，２４７ 孔
２４８，２４９ スリット
２５０ 隙間
２５１ 浮上力作用中心
２５５，２５６ スリット２４８，２４９の外側の部分
【発明の属する技術分野】
【０００２】
本発明は磁気ディスク装置に用いられるヘッドスライダ組立体に関する。
【０００３】
磁気ヘッドを搭載した磁気ヘッドスライダはロードビームの先端に取り付けられ、記録再生時には磁気ディスクに対して浮上した状態とされる。
【０００４】
近年、磁気ディスク装置の信頼性の一種であるＨＤＩ（Ｈｅａｄ Ｄｉｓｃ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）特性の向上が求められている。
【０００５】
このためには、磁気ヘッドスライダを小型化することや、該スライダを磁気ディスクの方向に付勢するためのバネ荷重を軽減することが有効である。
【０００６】
磁気ヘッドスライダを小型化すると、以下の事柄が発生する。
【０００７】
（１）スライダの小型化に伴い、それを保持する支持バネのサイズも小さくしなくてはならない。これは、ディスクのうねりに対するヘッドの追従特性を維持し、ひいてはヘッドの浮上安定性を維持するためである。
【０００８】
バネ荷重を軽減すると、以下の事項が発生する。
【０００９】
（２）バネ荷重の軽減によりヘッドの浮上剛性が低下する。
【００１０】
また、スライダや支持バネ等の部品が小さくなることにより、組立誤差が大きくなる。
【００１１】
このため、磁気ヘッドスライダを支持する装置は、磁気ヘッドスライダの浮上の安定性を十分に保証しうる構成であることが必要とされる。
【従来の技術】
【００１２】
一般には、磁気ヘッドスライダ組立体は、ロードビーム、ロードビームに固定したジンバル、このジンバルに固定された磁気ヘッドスライダからなる構成である。
【００１３】
この構成では、部品サイズの縮小化に伴い、組立（位置合せ）が困難となる。組立誤差があると、磁気ヘッドスライダがアンバランス浮上（斜めに傾いて浮上すること）してしまう。これにより、浮上ヘッドの信頼性が損なわれるだけでなくＲ／Ｗ特性にも悪影響を与え、ひいては磁気ディスク装置の信頼性の低下をきたしてしまう。
【００１４】
そこで、ヘッド支持機構の組立（位置合わせ）精度不良によるスライダのアンバランス浮上の要因をなくすため、支持バネ（従来のロードビームとジンバル）を一体化し、組立を不要にした構成が、特開平３−１８９９７６号公報に示されている。
【００１５】
図１８は上記公報に示されている磁気ヘッドスライダ組立体１を示す。
【００１６】
２は磁気ディスク、３はアクチュエータ部、４はロードビーム（フレクシャともいう）である。
【００１７】
５はジンバル部であり、ロードビーム４に略コ字状の開口（貫通孔）６，７を形成することにより、ロードビーム４自体に残置形成してある。
【００１８】
ジンバル部５は、ロードビーム４を横切る方向に延出する両持ち状の梁８と、この梁８の中央より両側に舌状に張り出している舌部９，１０とよりなる。
【００１９】
磁気ヘッドスライダ１１の背面はロードビームの幅方向に溝加工されており、舌部９，１０にまたがって固定してある。
【００２０】
磁気ヘッドスライダ１１は、梁８のねじれを伴って、矢印１２で示すようにピッチング方向に回動し、梁８の曲がりを伴って、矢印１３で示すようにローリング方向に回動する。
【発明が解決しようとする課題】
【００２１】
小型の磁気ヘッドスライダの浮上の安定性を確保するには、ジンバル部の回転剛性を低くする必要がある。
【００２２】
また、ロードビーム４は剛性を必要とするため、ロードビーム４の厚さｔを薄くすることはできない。
【００２３】
ロードビーム４の厚さｔを薄くせずに、上記構造のジンバル部５の回転剛性を低くするには、梁８の長さｌを長くせざるを得ない。
【００２４】
梁８の長さｌを長くすると、以下の問題点が生ずる。
【００２５】
（１） 梁８の曲げ及び捩じれの振動の共振点が大幅に下がってしまう。これにより、磁気ヘッドスライダ１１の浮上量が変動し易くなる。
【００２６】
（２） ロードビーム４の幅Ｗが広くなり、ロードビーム４自体の振動の共振点が下がってしまう。これにより、磁気ヘッドスライダ１１の浮上が不安定となり易くなる。
【００２７】
即ち、従来のロードビーム、ジンバルを一体化した支持バネ構造の場合、ジンバル部の共振点を落とさず、回転剛性だけを小さくする構造を実現するのは非常に困難であった。
【００２８】
また、スライダの小型化やバネ荷重の軽減に伴う浮上剛性の低下により、ヘッドにつながっているリード線の剛性の影響が無視できなくなってくる。つまり、リード線の剛性がスライダに及ぼす影響により、剛性のかかり方次第ではスライダが傾いて浮上する。特に再生用ヘッドに磁気抵抗効果型ヘッド（ＭＲヘッド）を用いた場合、記録用のインダクティブ型ヘッドと組合わされるために記録／再生兼用のヘッドの２倍の４本のリード線が必要となり、余計にリード線の剛性の影響を受けやすくなる。これにより、浮上ヘッドの信頼性が損なわれるだけでなくＲ／Ｗ特性にも悪影響を与え、磁気ディスク装置の信頼性の低下をきたす。
【００２９】
また、スライダとロードビームとの電気的接続の信頼性を向上させる必要もある。
【００３０】
そこで、本発明は、上記課題を解決したヘッドスライダ組立体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００３１】
請求項１の発明は、ヘッドスライダと該ヘッドスライダを支持するヘッドスライダ支持体とからなるヘッドスライダ組立体であって、
前記ヘッドスライダは、一列に配置された複数の第１の端子部を有し、
前記ヘッドスライダ支持体は、前記ヘッドスライダを固定するヘッドスライダ固定部と、前記ヘッドスライダ固定部上に一列に配置された複数の第２の端子部と、該複数の第２の端子部からそれぞれ延びる複数の配線パターンとを有し、
前記ヘッドスライダの第１の端子部と前記ヘッドスライダ固定部の第２の端子部は、直角に且つ対向して配設されてなり、第１、第２の端子部間にまたがるように圧接された導体ボールにより第１、第２の端子部間が電気的に接続されてなる構成としたものである。
【００３２】
請求項２の発明は、請求項１記載のヘッドスライダ組立体において、
前記導体ボールは、金ボールであるようにしたものである。
【００３３】
請求項３の発明は、請求項１又は２記載のヘッドスライダ組立体において、
前記配線パターンは、銅で形成され、
前記ヘッドスライダ固定部の端子部の表面は、金で形成した構成としたものである。
【００３４】
請求項４の発明は、請求項１乃至３のうち何れかに記載のヘッドスライダ組立体において、
前記ヘッドスライダは、再生ヘッド及び記録ヘッドを有する複合型ヘッドを搭載し、且つ、一列に配置された４個の第１の端子部を有し、
前記ヘッドスライダ固定部は、一列に配置された４個の第２の端子部を有し、
前記ヘッドスライダの第１の端子部と前記ヘッドスライダ固定部の第２の端子部は、それぞれ第１、第２の端子部間にまたがるように圧接された４個の金ボールにより第１、第２の端子部間が電気的に接続されてなる構成としたものである。
【発明の実施の形態】
【００３５】
先ず、本発明と関連する磁気ヘッドスライダ組立体２０の１つの例について説明する。
〔第１の例〕
図１は、磁気ヘッドスライダ組立体２０を表裏反転した状態で示す。
【００３６】
この磁気ヘッドスライダ組立体２０を、３．５インチタイプの磁気ディスク装置２２０に適用した例を図２に示す。
【００３７】
磁気ディスク装置２２０は、エンクロージャ２２１内に、径が３．５インチの磁気ディスク２２２、及びヘッド位置決め用アクチュエータ２２３等が組込まれた構造を有する。
【００３８】
２１はステンレス製のロードビームであり、アクチュエータのアーム部２２に固定してある。
【００３９】
ロードビーム２１の基部側はＲ曲げされている弾性部２３であり、弾性部２３より先端側が剛性部２４である。弾性部２３が後述する磁気ヘッドスライダ３５に、磁気ディスク２２１に当接する方向の荷重を付与する。このロードビームの厚みは、全体が均一でかつ汎用の３３８０タイプ（ＩＢＭ）のヘッド支持機構のロードビームの約１／３、例えば２５μｍ程度である。
【００４０】
ここで、ロードビーム２１の幅Ｗ1 は、出来るだけ小としてある（４ｍｍ以下が望ましい）。その理由は、ロードビーム２１の振動の共振点を不要に低下させないためである。
【００４１】
２５はジンバル部であり、ロードビーム２１自体に形成してある。
【００４２】
ジンバル部２５は、ロードビーム２１に、一対のコ字形状開口２６，２７を、ロードビーム２１の長手方向上向き合う配置で形成し、且つ、ロードビーム２１の両側に沿ってスリット状の開口２８，２９を形成することにより残置形成してある。
【００４３】
ジンバル部２５は、磁気ヘッドスライダ固定部３０と、一対の第１の梁部３１，３２と、一対の第２の梁部３３，３４とを有する。
【００４４】
磁気ヘッドスライダ固定部３０は、磁気ヘッドスライダ３５を固定するのに十分な程度の大きさ、例えば、磁気ヘッドスライダ３５の平面外形寸法（ａ＝２ｍｍ、ｂ＝１．６ｍｍ）と対応する寸法ａ×ｂを有する。但し、接着強度があれば、これ以下の寸法でも何ら差し支えない。
【００４５】
磁気ヘッドスライダ３５は、軽荷重構造のスライダ、例えば本出願人による特開平４−２２８１５７号に示されたスライダを使用するのが望ましい。このスライダの浮上面と反対側の背面は平坦面となっており、その背面を前記固定部３０に接着剤により接着固定する。この場合、スライダと固定部の各中心を一致させる。
【００４６】
第１の梁部３１，３２は、上記固定部３０の中心（スライダの中心でもある）３６を通り、ロードビーム長手方向中心線３７に直交して固定部３０を横切る線３８（ロードビーム幅方向線）に沿って、固定部３０の両側より外方に延出している。
【００４７】
第１の梁部３１，３２の長さは、ｌ1 である。
【００４８】
第２の梁部３３，３４は夫々上記第１の梁部３１，３２の先端より、第１の梁部３１，３２と直交して両側に、上記線３７と平行に延出しており、先端側は、点４０，４１，４２，４３で、ロードビーム２１のうちジンバル部２５の周囲の部分と連結してある。なお、見方を変えれば、第２の梁部３３，３４は、ロードビーム２１のうちジンバル部２５の周囲の部分４０〜４３より延出している。
【００４９】
この第２の梁部３３，３４は、両持ち梁状であり、第１の梁部３１，３２の先端がつながっている中央部から両端までの長さは、ｌ2 である。
【００５０】
第２の梁部３３と第１の梁部３１とが、Ｔ字状梁３９Ａを構成する。同じく、 第２の梁部３４と第１の梁部３２とが、Ｔ字状梁３９Ｂを構成する。そして全体ではＨ字状梁を構成する。
【００５１】
固定部３０、第１の梁部３１，３２及び第２の梁部３３，３４は、共にロードビーム２１の一部によって形成してある。
【００５２】
ここで、上記第１の梁部３１，３２の長さｌ1 はロードビーム２１の幅Ｗ1 により制約を受ける。ここで、幅Ｗ1 を大きくすると、ロードビーム２１の曲げやねじり共振点が下がり、スライダの浮上特性を悪化させてしまうため、幅Ｗ1 を大きくすることはできない。しかし、本実施例では、第２の梁部３３，３４の長さ２×ｌ2 は、ロードビーム２１の幅Ｗ1 による制約を受けず、長くできる。
【００５３】
そこで、第２の梁部３３，３４は長く形成してあり、寸法ｌ2 とｌ1 との関係は、ｌ2 ＞ｌ1 となっている。
【００５４】
上記Ｔ字は、脚部の長さに比べて、腕部の長さの長い偏平な形状となっている。
【００５５】
回転中の磁気ディスクにうねりが発生したり、ゴミが付着した場合を考えると、磁気ヘッドスライダ３５は、Ｔ字状をなす第１の梁部３１，３２及び第２の梁部３３，３４の撓みを伴って矢印４４で示すようにピッチング方向に回動する。この時、ジンバルの第１の梁部３１，３２はねじりの変形を伴い、さらに第２の梁部３３，３４は曲の変形を伴う。
【００５６】
又矢印４５で示すようにローリング方向にも回動する。この時ジンバルの第１の梁部３１，３２はお互いに逆向きに曲げの変形を伴い、さらに第２の梁部３３，３４はこれも又、逆向きに曲げの変形を伴う。
【００５７】
次に本発明の各実施例について説明する。
〔第１実施例〕
図３は磁気ヘッドスライダ組立体９０を示す。
【００５８】
図４に併せて示すように、この機構９０は、低浮上剛性のスライダの浮上に影響を与えるリード線の剛性の影響を無くするようにしたものである。例えば、４本のリード線がスライダとロードビームとの間に接続されている場合で、各リード線の直径が３０μｍ、リード線余長部（自由長）が１ｍｍとすると、ジンバル部の回転剛性はリード線が配線されていない場合に比べ約５倍となり、これはスライダの浮上安定性を損なうものである。
【００５９】
９１，９２，９３，９４は、例えばメッキで形成された銅薄膜をフォトリソグラフィーによりパターニングした銅製の配線パターンであり、ロードビーム２１の下面の中央をロードビーム２１の長手方向に延在しており、厚さは約５μｍ、幅は約５０μｍである。この厚み及び幅は導体パターンの抵抗値及びロードビームの容量により決定される。
【００６０】
９５Ａ〜９５Ｄは銅製の端子部であり、ロードビーム２１の基部側に設けてある。
【００６１】
９６Ａ〜９６Ｄは銅製の端子部であり、ジンバル部２５の磁気ヘッドスライダ固定部３０の端部３０ａに設けてある。
【００６２】
端子部９５Ａ〜９５Ｄ，９６Ａ〜９６Ｄには、例えばＡｕメッキが施されており、Ｃｕの露出を防ぐと共に、ボンディング特性を上げている。
【００６３】
配線パターン９１，９２，９３，９４の一端は、夫々端子部９５Ａ，９５Ｂ，９５Ｃ，９５Ｄにまで延在している。
【００６４】
４本の配線パターン９１〜９４のうちの半分の２本の配線パターン９１，９２の他端側は、第２の梁部３３Ａ、第１の梁部３１に沿って延在しており、端子９６Ａ，９６Ｂに到っている。
【００６５】
残りの２本の配線パターン９３，９４の他端側は、第２の梁部３４Ａ、第１の梁部３２に沿って延在しており、端子９６Ｃ，９６Ｄに到っている。
【００６６】
配線パターン９１，９２，９３，９４は、図５に示すように、ロードビーム２１に対しては、絶縁膜９７により絶縁されており、且つ表面を保護膜９８で覆われている。
【００６７】
絶縁膜９７及び保護膜９８は、共に、感光性ポリイミド製であり、コーティングにより成膜され厚さは約５μｍ程度で十分である。この絶縁膜９７及び保護膜９８はフォトリソグラフィー技術によってパターニングされている。この絶縁膜の厚みは導体パターン（Ｃｕ製）とロードビーム（Ａｌ製）間の容量によって決定される。
【００６８】
ポリイミドは後述する焼鈍に耐えうる耐熱性を有する。また、ポリイミドは、感光性を有するものである故、パターニングが容易である。更に、ポリイミド膜９７，９８は耐食性を有するため非常に信頼性が高い。
【００６９】
各端子部９５Ａ〜９５Ｄ，９６Ａ〜９６Ｄは、保護膜９８で覆われていず腐食し易い。そこで、腐食を防止するため、各端子９５Ａ〜９５Ｄ，９６Ａ〜９６Ｄの表面は、メッキまたは蒸着により成膜された約１μｍの厚さのＡｕ製の膜（図示せず）により覆われている。
【００７０】
図６に示すように、磁気ヘッドスライダ３５は、固定部３０に接着剤により接着固定してあり、上記端子部９６Ａ〜９６Ｄと磁気ヘッドスライダ３５の端面４７上に形成された磁気ヘッド４８の端子部１００Ａ〜１００Ｄとが、９０°の角度をもって配設されており、夫々Ａｕボール１０１Ａ〜１０１Ｄによって接続されている。
【００７１】
Ａｕボール１０１Ａ〜１０１Ｄは、例えば金ボールボンダ装置により形成される。
【００７２】
また端子部９６Ａ〜９６Ｄと端子部１００Ａ〜１００ＤとはＡｕボール１０１Ａ〜１０１Ｄで接続され易いように、図６に示すように位置している。
【００７３】
Ａｕボール１０１Ａ〜１０１Ｄが圧接し易いように、端子部１００Ａ〜１００Ｄは、ヘッドスライダ３５の高さ方向に細長の形状を有し、且つ、ヘッドスライダ３５と固定部３０に固定した状態で、端子部９６Ａ〜９６Ｄに対向するように配置してある。
【００７４】
なお、配線パターン９１〜９４についてみると、ロードビームをアーム部２２に螺子止めする時に使用する固定用孔１０２Ｃと治具取付け用孔１０２Ｂ，１０２Ｂとをそれぞれ迂回しながらヘッドスライダ３５のきわまで延在している。
【００７５】
図３及び図４中、１０３Ａ〜１０３Ｄ，１０４Ａ〜１０４Ｄは、ダミーパターンであり、配線パターン９１〜９４のうち、治具取付け用孔１０２Ａ，１０２Ｂの外周に形成されている迂回部分と対称に形成してある。
【００７６】
このダミーパターン１０３Ａ〜１０３Ｄ，１０４Ａ〜１０４Ｄの部分にも配線パターン９１〜９４の部分と同じく、絶縁膜９７及び保護膜９８が設けてある。
【００７７】
このダミーパターン１０３Ａ〜１０３Ｄ，１０４Ａ〜１０４Ｄは、ロードビーム２１の幅方向上の機械的強度のバランスをとるために設けてある。
【００７８】
１０６，１０７は補助膜であり、ロードビーム２１の左右端に沿って帯状に形成してある。
【００７９】
この補助膜１０６，１０７は、後述する曲げ加工時に、ロードビーム２１をクランプするときに、クランプ力をこの部分と配線パターン９１〜９４の部分とで受けるようにするために設けてある。即ち、クランプ力が配線パターン９１〜９４の部分にだけかかって、配線パターン９１〜９４を傷めてしまうことのないように設けてある。
【００８０】
図３及び図４中、１０８は凸状パターンであり、スライダを接着するときの接着剤が固定部外に流出しないようにする機能と、その接着の際にスライダが配線パターンの厚みによって傾かないようにする、つまり上記ダミーパターンと同様な機能をもたすために設けてあり、該配線パターンと同じメッキ銅薄膜により構成される。この凸状パターン１０８上にも保護膜９８が設けられている。なお、接着剤は配線パターンと凸状パターンとの間の段差部上に塗布される。
【００８１】
上記のロードビーム２１は、図７に示す工程によって製造される。
【００８２】
まず、パターン形成工程１１０を行う。
【００８３】
ここでは、ステンレス板上に、感光性ポリイミドを塗布し、フォトリソグラフィ技術によって絶縁膜９７を形成し、その上にメッキ等により銅薄膜を形成し、この銅薄膜をフォトリソグラフィ技術によって例えば銅製の配線パターン９１〜９４を形成し、更には、再び感光性ポリイミドを塗布し、フォトリソグラフィ技術によって保護膜９８及び補助膜１０６，１０７を形成する。Ｃｕ膜は、メッキ法のほかに蒸着によって形成することも可能である。ポリイミドは、塗布によるスピンコートで形成した後、パターニングし、エッチングする。絶縁膜とＣｕ膜、Ｃｕ膜と保護膜との間には密着性、信頼性を向上させるためにＣｒ膜等の薄膜を介在させることも可能である。
【００８４】
次に、エッチング工程１１１を行い、ステンレス板に開口２６〜２９及び孔１０２Ａ〜１０２Ｃをあけ、ジンバル部２５とロードビーム２１の外形を形成する。
【００８５】
以上の結果、図８に示すように、ステンレス板２０１上に、打ち抜き前のロードビーム２０２がマトリクス状に並んだ状態となる。
【００８６】
次に曲げ工程１１２を行い、ステンレス板の両側を曲げて、リブ２１ａを形成する。この作業はプレスで行い、ステンレス板ごとにまとめて行うこともできる。
【００８７】
最後に、焼鈍工程１１３を行い、約４００℃に加熱して、内部応力を除く。
【００８８】
更に、スライダ接着と、Ａｕボンディングもこの状態で行うことにより、完全自動化が可能で、工程、コストとも大幅に低減できる。
【００８９】
ロードビーム２１は焼鈍工程がなくても製造しうる。
【００９０】
この場合には、図９に示すように、パターン形成工程１１０及びエッチング工程１１１を行った後、この状態でスライダ接着と、Ａｕボンディングを行い、その後に曲げ工程１１２を行ってリブ２１ａを形成する。
【００９１】
なお、図１０に示すように磁気ヘッドとして記録／再生兼用のインダクティブ型ヘッド４８Ａ，４８Ｂを使用した場合、磁気ヘッドスライダ３５は二つの端子部１００Ａ，１００Ｂを有する。ジンバル部２５についてみると、２本の配線パターン９１Ａ，９２Ａはジンバル部の片側の梁部３２，３４Ａにだけ延在するように設けられ、反対側のもう一方の梁部３１，３３Ａには２本のダミーパターン２１０，２１１が形成されて、ジンバル部の左右の機械的強度のバランスをとるように構成される。
【００９２】
上記構成の磁気ヘッドスライダ組立体９０は以下に挙げる特長を有する。
【００９３】
（１） ロードビーム２１上に直接配設パターン９１〜９４が形成してあるため、リード線の引き廻しが無く、ロードビーム２１にリード線を通すためのチューブが固着されていず、リード線及びチューブの剛性によるアンバランス力がスライダに働くことが完全に無くなっている。従って、磁気ヘッドスライダ３５の浮上は安定する。
【００９４】
（２） ダミーパターン１０３Ａ〜１０３Ｄ，１０４Ａ〜１０４Ｄを設けたことにより、ロードビーム２１の回転剛性は方向性を有しない。これにより、磁気ヘッドスライダ３５の浮上は安定する。
【００９５】
（３） Ａｕボール１０１Ａ〜１０１Ｄを使用した圧着接続は、組立の自動化を可能とする。
【００９６】
なお、前記各実施例において、梁部は曲線状でもよい。
【００９７】
さて次に、より小型の磁気ディスク装置に適用して有効なヘッド支持機構の実施例について述べる。
〔第２実施例〕
図１１は磁気ヘッドスライダ組立体２３０を表裏反転した状態を示す。
この磁気ヘッドスライダ組立体２３０を、１．８インチタイプの磁気ディスク装置２３１に適用した例を図１２に示す。
【００９８】
磁気ディスク装置２３１は、ＩＣメモリカードと外形寸法同一のエンクロージャ２３２内に、１枚の径が１．８インチの磁気ディスク２３３、及び２組の磁気ヘッドスライダ組立体を取付けたヘッド位置決め用アクチュエータ２３４等が組込まれた構造を有し、図２の磁気ディスク装置２２０に比べて相当に小型である。
【００９９】
磁気ディスク装置２３１の小型化に伴って、磁気ヘッドスライダ３５Ｃは、小型となっており、その平面外形寸法ａ×ｂが１．０ｍｍ×０．８ｍｍと、図１の磁気ヘッドスライダ３５の体積で約１／４と小さい。
【０１００】
このように、磁気ヘッドスライダ３５Ｃが小サイズとなると、これを安定に浮上させるには、磁気ヘッドスライダ組立体は、図１の磁気ヘッドスライダ組立体３０に比べて、共振周波数は低下せずに、剛性が相当に小さい特性を有することが必要とされる。
【０１０１】
図１１中、ロードビーム２３５は、ステンレス製であり、基部側をアクチュエータ２３４のアーム部２３６に固定してある（図１２参照）。
【０１０２】
ロードビーム２３５は、幅Ｗ2 が約２ｍｍ、長さＬが約９ｍｍ、厚さｔが約２５μｍであり、図１中のロードビーム２１に比べて、体積で約１／２と小さい。
【０１０３】
ロードビーム２３５のサイズが小さいため、後述する曲げ等の共振周波数は高い。
【０１０４】
ロードビーム２３５は、シート状片であり、曲げ加工を全く施していないフラットな薄板片からなる。このため、磁気ヘッドスライダの浮上の安定性を害する曲げ加工誤差の問題もない。
【０１０５】
ロードビーム２３５は、ロードビーム本体部２３７と、先端側のジンバル部２３８とよりなる。
【０１０６】
ジンバル部２３８は、ロードビーム２３５に、略Ｕ字状の開口部（貫通孔）２３９を設けることによって、ロードビーム２３５自体に残置形成されている。
【０１０７】
このジンバル部２３８は、磁気ヘッドスライダ固定部２４０と、第２の梁部２４１と、第３の梁部２４２と、つなぎ部２４３と、第１の梁部２４４とを有する。
【０１０８】
磁気ヘッドスライダ固定部２４０は、磁気ヘッドスライダ３５Ｃに対応する大きさを有する。
【０１０９】
第２及び第３の梁部２４１，２４２は、ロードビーム本体部２３７の先端の幅方向上両端から延出しており、磁気ヘッドスライダ固定部２４０の両側を、ロードビームの先端方向に延在している。
【０１１０】
つなぎ部２４３は、ロードビーム２３５の幅方向に延在しており、上記第１の梁部２４１の先端側と上記第１の梁部２４２の先端側とをつないでいる。
【０１１１】
第１の梁部２４４は、つなぎ部２４３の中央からより上記ロードビーム本体部２３７の方向に延在しており、先端に磁気ヘッドスライダ固定部２４０を有する。このように、磁気ヘッドスライダ固定部は第１の梁部、つなぎ部、第２，第３の梁部を介してロードビーム本体部に連結されるため、それら梁部の撓みによって回転剛性が小さい。
【０１１２】
ロードビーム本体部２３７には、治具取付用の孔２４５，２４６，２４７及び一対のスリット２４８，２４９が形成してある。
【０１１３】
上記開孔２３９、孔２４５，２４６，２４７及びスリット２４８，２４９は、エッチングにより形成される。
【０１１４】
ロードビーム２３５には、図３に示すと略同様に、端子部９５Ａ〜９５Ｄ、９６Ａ〜９６Ｄ、及び配線パターン９１〜９４が、ロードビーム２３５の長手方向中心に対して左右対称に形成してある。
【０１１５】
磁気ヘッドスライダ３５Ｃは、固定部２４０に接着固定され、端子部９６Ａ〜９６Ｄと端子部１００Ａ〜１００Ｄとが、図６に示すと同様に、Ａｕボールによって接続される。
【０１１６】
図１３（Ａ），（Ｂ）に示すように、アーム部２３６の先端側は、一度上がって下がるように、逆Ｖ字状に折り曲げてあり、斜上向き部分２３６ａと斜下向き部分２３６ｂとを有する。
【０１１７】
ロードビーム２３５は、アーム部２３６の斜下向き部分２３６ｂの下面に固定してあり、斜下方向に延在しており、水平に対して角度θ傾斜している。
【０１１８】
磁気ディスク装置２３１においては、２組の磁気ヘッドスライダ組立体２３０が１枚の磁気ディスク２３３を挟むように配置されており、磁気ヘッドスライダ組立体２３５は磁気ディスク２３３の非回転時には図１４に示すように、磁気ヘッドスライダ３５Ｃを磁気ディスク２３３に接触させており、このときロードビーム本体部２３７が強制的に湾曲して弾性変形せしめられており、ロードビーム本体部２３７に蓄積された弾性力によって磁気ヘッドスライダを、磁気ディスク２３３側に付勢する荷重Ｆ1 を得ている。
【０１１９】
アーム部２３６は逆Ｖ字状に折り曲げられてあるため、図１４中、二点鎖線で示すように単に斜め下方に折曲した場合に比べて、アーム部２３６の先端２３６ｃ、磁気ディスク２３３との間に広い隙間２５０を確保することが出来る。
【０１２０】
次に、ロードビーム２３５が磁気ヘッドスライダ３５Ｃに作用するモーメントについて考察する。
【０１２１】
図１５に示すように、ロードビーム本体部２３７及び第３の梁部２４４が撓むため、磁気ヘッドスライダ３５Ｃには、浮上力が作用する中心２５１に関して、モーメントが作用する。
【０１２２】
ロードビーム本体部２３７及び第２，第３の梁部２４１，２４２は、反時計方向のモーメントＭ１を作用する。
【０１２３】
第１の梁部２４４は、時計方向のモーメントＭ２を作用する。
【０１２４】
ロードビーム２３５の各部の寸法は適宜定めてあり（例えば全長９ｍｍ、ジンバル部の長さ２．５ｍｍ、ロードビーム本体部５．７ｍｍ、幅２ｍｍである）、上記のモーメントＭ１，Ｍ２とは釣り合っている。
【０１２５】
このことによっても、磁気ヘッドスライダ３５Ｃは、安定に浮上する。
【０１２６】
次に、磁気ヘッドスライダ３５Ｃのピッチング及びローリングについて、図１１を参照して説明する。
【０１２７】
（１）ピッチング
磁気ヘッドスライダ３５Ｃは、第１の梁部２４４及び第２，第３の梁部２４１，２４２、更にはロードビーム本体部２３７の撓みを伴って、矢印４４で示すピッチング方向に回動する。このとき全ての梁は円弧状にそり、ジンバル部２３８の撓みに加えて、ロードビーム本体部２３７が撓む。
【０１２８】
このため、ピッチ剛性は十分に小さくなる。
【０１２９】
（２）ローリング
磁気ヘッドスライダ３５Ｃは、主に第２，第３の梁部２４１，２４２が上下方向に互いに逆方向の撓み、及びロードビーム本体部２３７のねじれを伴って、矢印４５で示すローリング方向に回動する。
【０１３０】
このときにも、ジンバル部２３８の撓みに加えて、ロードビーム本体部２３７がねじれる。
【０１３１】
このため、ロール剛性も十分に小さい。
【０１３２】
次に、回転中の磁気ディスクにうねりが発生したり、ゴミが付着した際における磁気ヘッドスライダ組立体２３０のロードビーム２３５の一次曲げ及び一次ねじりについて説明する。
【０１３３】
（１）一次曲げ
ロードビーム２３５は、図１６に示すように、曲がり変形する。
【０１３４】
即ち、ロードビーム本体部２３７と、ジンバル部２３８の第３，第１，第２の梁部２４１，２４２，２４４が撓んで、図１４に示す状態となる。
【０１３５】
ロードビーム２３５は、このように全体がフレキシブルに造られているが一次曲げの共振周波数はその剛性の低さに反して高い。
【０１３６】
（２）一次ねじり
ロードビーム２３５は、図１７に示すようにねじり変形する。
【０１３７】
即ち、ジンバル部２３８に加えて、ロードビーム本体部２３７が変形する。
【０１３８】
従って、ロードビーム２３５は、このように全体がフレキシブルに造られているが一次ねじりの共振周波数はその剛性の低さに反して高い。
【０１３９】
【表１】
【表２】
【０１４１】
表１は、コンピュータによるシミュレーションによって得た、本実施例におけるロードビーム２３５のピッチ剛性、ロール剛性及び上下剛性を、第１の例のものと比較して示す。
【０１４２】
この表１から、ピッチ剛性及びロール剛性が第１の例のものの１／４程度と低いことが分かる。
【０１４３】
表２は、コンピュータによるシミュレーションによって得た、本実施例における共振周波数を、第１の例のものと比較して示す。
【０１４４】
この表２から、一次曲げ共振周波数、一次ねじり共振周波数、面内共振周波数が依然として十分に高いことが分かる。
【０１４５】
表１及び表２から、本実施例の磁気ヘッドスライダ組立体２３０は、第１の例の磁気ヘッドスライダ組立体２０と同じく高い共振周波数を有し、且つ磁気ヘッドスライダ組立体２０と比べて、格段に低い剛性を有する特性が得られていることがわかる。
【０１４６】
従って、小サイズの磁気ヘッドスライダ３５Ｃは、浮上状態を十分に安定に保たれる。
【０１４７】
なお、ロードビームの変形例としてロードビーム本体２３７の基部側を曲げることによって、ロードビームを図１と同様に支持して、図１４中の荷重Ｆ1 を付与することもできる。
【０１４８】
この場合、スリット２４８，２４９の外側の部分２５５，２５６だけを曲げる。このため、スリット２４８，２４９の間に位置する配線パターン９１〜９４に不要な応力が作用しない。
【発明の効果】
【０１４９】
以上説明したように、本発明によれば、ヘッドスライダの第１の端子部とヘッドスライダ固定部の第２の端子部が、直角に且つ対向して配設されてなり、導体ボールにより第１、第２の端子間が圧着接続されてなる構成であるため、搭載されたヘッドスライダとヘッドスライダ支持体との電気的接続が確実になされたヘッドスライダ組立体を実現することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の例になる磁気ヘッドスライダ組立体を下面側からみた図である。
【図２】図１の磁気ヘッドスライダ組立体を適用してなる３．５インチ磁気ディスク装置の平面図である。
【図３】本発明の第１実施例になる磁気ヘッドスライダ組立体を示す図である。
【図４】図３中、ロードビームの先端側の部分を拡大して示す図である。
【図５】図３中、XIV-XIV 線に沿う断面図である。
【図６】磁気ヘッドスライダの端子部と固定部上の端子部との接続状態を示す図である。
【図７】図３中のロードビームの製造工程を示す図である。
【図８】図７中、エッチング工程が完了したときの状態を示す図である。
【図９】ロードビームの別の製造工程を示す図である。
【図１０】本発明の変形例を示す図である。
【図１１】本発明の第２実施例になる磁気ヘッドスライダ組立体を示す図である。
【図１２】図１１の磁気ヘッドスライダ組立体を適用してなる１．８インチ磁気ディスク装置の平面図である。
【図１３】図１１の磁気ヘッドスライダ組立体を示す図である。
【図１４】磁気ヘッドスライダ組立体が磁気ディスク装置に組込まれたときの状態を示す図である。
【図１５】図１５の状態を誇張して示す図である。
【図１６】ロードビームの一次曲げの状態を示す図である。
【図１７】ロードビームの一次ねじりの状態を示す図である。
【図１８】従来の磁気ヘッドスライダ組立体の１例を示す図である。
【符号の説明】
２０，９０ 磁気ヘッド支持装置
２１ ロードビーム
２２ アクチュエータのアーム部
２３ 弾性部
２４ 剛性部
２５，５１，６１，７１ ジンバル部
２６，２７ コ字形開口
２８，２９ スリット状開口
３０，３０Ａ 磁気ヘッドスライダ固定部
３１，３２ 第１の梁部
３３，３４ 第２の梁部
３５，３５Ａ，３５Ｂ，３５Ｃ 磁気ヘッドスライダ
３６ 磁気ヘッドスライダ固定部の中心
３７ ロードビーム長手方向中心線
３８ 横切る線
３９Ａ，３９Ｂ，５２，５３ Ｔ字状梁
４０〜４３ 連結点
４４，４５ 矢印
４７ 端面
４８ 磁気ヘッド
７２，７３，８１ 鍔部
７４ 開口
７５ 接着部
７６ 枠部
９１，９２，９３，９４ 配線パターン
９５Ａ〜９５Ｄ，９６Ａ〜９６Ｄ，１００Ａ〜１００Ｄ 端子部
９７ 絶縁膜
９８ 保護膜
１０１Ａ〜１０１Ｄ Ａｕボール
１０２Ａ，１０２Ｂ，１０２Ｃ 孔
１０３Ａ〜１０３Ｄ，１０４Ａ〜１０４Ｄ ダミーパターン
１０６，１０７ 補助膜
１０８ 凸状パターン
２０１ ステンレス板
２０２ 打ち抜き前のアーム
２１０，２１１ ダミーパターン
２２０ ３．５インチ磁気ディスク装置
２２１ ３．５インチ磁気ディスク
２２３ ヘッド位置決め用アクチュエータ
２３０ 磁気ヘッドスライダ組立体
２３１ 磁気ディスク装置
２３２ エンクロージャ
２３３ １．８インチの磁気ディスク
２３４ ヘッド位置決め用アクチュエータ
２３５ ロードビーム
２３６ アーム部
２３６ａ 斜上向き部分
２３６ｂ 斜下向き部分
２３６ｃ 先端部
２３７ ロードビーム本体部
２３８ ジンバル部
２３９ Ｕ字状開口
２４０ 磁気ヘッドスライダ固定部
２４１ 第２の梁部
２４２ 第３の梁部
２４３ つなぎ部
２４４ 第１の梁部
２４５，２４６，２４７ 孔
２４８，２４９ スリット
２５０ 隙間
２５１ 浮上力作用中心
２５５，２５６ スリット２４８，２４９の外側の部分
Claims (4)
- ヘッドスライダと該ヘッドスライダを支持するヘッドスライダ支持体とからなるヘッドスライダ組立体であって、
前記ヘッドスライダは、一列に配置された複数の第１の端子部を有し、
前記ヘッドスライダ支持体は、前記ヘッドスライダを固定するヘッドスライダ固定部と、前記ヘッドスライダ固定部上に一列に配置された複数の第２の端子部と、該複数の第２の端子部からそれぞれ延びる複数の配線パターンとを有し、
前記ヘッドスライダの第１の端子部と前記ヘッドスライダ固定部の第２の端子部は、直角に且つ対向して配設されてなり、第１、第２の端子部間にまたがるように圧接された導体ボールにより第１、第２の端子部間が電気的に接続されてなることを特徴とするヘッドスライダ組立体。 - 請求項１記載のヘッドスライダ組立体において、
前記導体ボールは、金ボールであることを特徴とするヘッドスライダ組立体。 - 請求項１又は２記載のヘッドスライダ組立体において、
前記配線パターンは、銅で形成され、
前記ヘッドスライダ固定部の端子部の表面は、金で形成されてなることを特徴とするヘッドスライダ組立体。 - 請求項１乃至３のうち何れかに記載のヘッドスライダ組立体において、
前記ヘッドスライダは、再生ヘッド及び記録ヘッドを有する複合型ヘッドを搭載し、且つ、一列に配置された４個の第１の端子部を有し、
前記ヘッドスライダ固定部は、一列に配置された４個の第２の端子部を有し、
前記ヘッドスライダの第１の端子部と前記ヘッドスライダ固定部の第２の端子部は、それぞれ第１、第２の端子部間にまたがるように圧接された４個の金ボールにより第１、第２の端子部間が電気的に接続されてなることを特徴とするヘッドスライダ組立体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001168880A JP3559000B2 (ja) | 1992-11-27 | 2001-06-04 | ヘッドスライダ組立体 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4-318846 | 1992-11-27 | ||
| JP31884692 | 1992-11-27 | ||
| JP2001168880A JP3559000B2 (ja) | 1992-11-27 | 2001-06-04 | ヘッドスライダ組立体 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08211093A Division JP3667354B2 (ja) | 1992-08-31 | 1993-04-08 | ヘッドスライダ支持体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002015413A JP2002015413A (ja) | 2002-01-18 |
| JP3559000B2 true JP3559000B2 (ja) | 2004-08-25 |
Family
ID=26569533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001168880A Expired - Lifetime JP3559000B2 (ja) | 1992-11-27 | 2001-06-04 | ヘッドスライダ組立体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3559000B2 (ja) |
-
2001
- 2001-06-04 JP JP2001168880A patent/JP3559000B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2002015413A (ja) | 2002-01-18 |
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040518 |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040519 |
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| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080528 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090528 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090528 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100528 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100528 Year of fee payment: 6 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100528 Year of fee payment: 6 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100528 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110528 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110528 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120528 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120528 Year of fee payment: 8 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120528 Year of fee payment: 8 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120528 Year of fee payment: 8 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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