JPH0620001B2 - 電気抵抗素子製造用組成物及び電気抵抗素子の製法 - Google Patents

電気抵抗素子製造用組成物及び電気抵抗素子の製法

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JPH0620001B2
JPH0620001B2 JP60115540A JP11554085A JPH0620001B2 JP H0620001 B2 JPH0620001 B2 JP H0620001B2 JP 60115540 A JP60115540 A JP 60115540A JP 11554085 A JP11554085 A JP 11554085A JP H0620001 B2 JPH0620001 B2 JP H0620001B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は電気抵抗素子、特に電気抵抗素子を造るための
組成物および該電気抵抗素子の製法に関する。
〔従来の技術〕
ある種の組成物から造つた電気抵抗素子は電子素子（ま
たはペースト）を基材上にスクリーン印刷する電子工業
用の超小型回路を造るのに特に有用である。
米国特許第3,304,199号明細書はRuO2またはIrO2と硼ケ
イ酸鉛ガラスとの混合物からなる電気抵抗素子を記載し
ている。この混合物をベヒクル例えばアセトン／トルエ
ン混合液中に溶解したエチルセルロースのような有機ス
クリーニング剤と混合し、得られた前記ベヒクル含有混
合物を非導電性基材上に施し、空気中で焼付けている。
米国特許第3,324,049号明細書は硼ケイ酸鉛ガラス40〜9
9重量％、Ag，Au，Pd，Pt，Rh，Ir，OsまたはRuのよう
な貴金属0.5〜20重量％およびMnO2またはCuO0.5〜40重
量％からなるサーメツト抵抗体を記載している。
米国特許第3,655,440号はRuO2，IrO2またはPdO、硼ケイ
酸鉛ガラス結合材および例えば１ミクロン未満の粒子寸
法の不活性粒子のアルミナのような非導電性結晶成長抑
制材を含有する抵抗体用組成物に関する。このような抵
抗体用組成物は975℃〜1025℃で４５分〜１時間空気中
で基材に焼付けられる。
米国特許第3,682,840号はルテニウム酸鉛またはルテニ
ウム酸鉛とRuO2との混合物と硼ケイ酸鉛結合材とを含有
するガラス質エナメル抵抗体に関する。
米国特許第4,065,743号はガラスフリツトと導電粒子を
含有するガラス質エナメル抵抗体に関する。このような
導電粒子は酸化チタンおよび酸化タンタルが含まれる。
米国特許第4,101,708号は誘電性基材の接着するフイル
ム抵抗体を製造するための不活性液体ベヒクル中に分散
した微粉状粉末からなる印刷用組成物に関し、この印刷
用組成物はPbO，Nb2O5，CaF2含有ガラス，RuO2および不
活性ベヒクルからなる。
ドイツ特許公報第2,115,814号はセラミツク上に空気焼
付けするための抵抗体ペーストに関し、この抵抗体ペー
ストはBaRuO3，SrRuO3およびCaRuO3を硼ケイ酸鉛ガラス
中に含有する。
Ag−Pdおよび／またはPdO，RuO2，IrO2およびいわゆる
「デユポン」ピロクロール（Pyrochlore）を使用して抵
抗体組成物が製造されている。このピロクロール構造は
一般式A2B2O6-7で表わされる酸化物複合体であり、大き
な陽イオンＡは８重に配位し、小さい方の陽イオンＢは
十面体に配位している。この抵抗体組成物が成功を収め
たのはそれらが種々の雰囲気（還元性）中で安定であ
り、抵抗体素子の電気的性質を変えるために素子を多様
に置換処理できる能力にある。これらの組成物に特に使
用され、米国特許第3,553,109号、同第3,560,410号およ
び同第3,583,931号明細書（これらの特許はすべて硼ケ
イ酸鉛結合材を含む）に説明されているピロクロールは
Bi2Ru2O7およびPb2Ru7-x（０＜ｘ＜１）を含む。
種々の貴金属酸化物（主としてピロクロール類およびペ
ロブスカイト類を含む）の抵抗率はブベ・ケイ（Bube
K.）により1972年10月30日〜11月１日にわたつてワシン
トン・デイー・シーのISHMで開催された「プロシーデイ
ングス・オブ・インターナシヨナル・ミクロエレクロニ
ツクス・シンポジウム（Proceeding of Inter.Microel.
Symp）において下記のように表示された：ル チ ル 酸 化 物 ρ300゜K〔抵抗率（Ω−cm）〕 RuO2 3.5×10-5 IrO2 4.9×10-5 Rh2O3 ＜10-4 ピロクロール 酸 化 物 ρ300゜K（Ω−cm）〕 Bi2Ru2O7 2.3×10-2 Bi2Ru2O68 3.2×10-3 Bi2Ir2O7 1.5×10-3 Pb2Ru2O6 2.0×10-2 Pb2Ru2O65 2.0×10-4 Rb2Rh2O7 6.0×10-1 Pb2Ir2O65 1.5×10-4 Pb2Os2O7 4.0×10-4 Tl2Ru2O7 1.5×10-2 Tl2Ir2O7 1.5×10-3 Tl2Rh2O7 6.0×10-4 Tl2Os2O7 1.8×10-4 ペロブスカイト 酸 化 物 ρ300゜K（Ω−cm） LaRuO3 4.5×10-3 La0.5Sr0.5RuO3 5.6×10-3 CaRuO3 3.7×10-3 SrRuO3 2.0×10-3 BaRuO3 1.8×10-2 ペロブスカイトの結晶構造はユー・エム・ゴールトスミ
ス著「スクリフテル・ノルクス・ビデンスカプス（Skri
fter Norske Videnskaps-Akad）」〔オスロ、Ｉ：Mat.N
aturv.Kl.2:8(1926)〕に記載されている。ペロブスカイ
ト組成物ABO3において、Ａ陽イオンは酸素と１２重に配
位しており、小さい方のＢ陽イオンは１０面体に配位し
ている。このペロブスカイト構造は高結晶格子エネルギ
ーをもつものの一つであり、通常極めて安定な構造であ
る。
抵抗体組成物はスクリーン印刷技法により基材に施こさ
れ、酸化性（空気）雰囲気中で焼付処理を必要とするか
ら、Au，Ag，PtおよびPdのような高価な貴金属を使うこ
とを必要とする。卑金属としてのより低価格の銅は容易
に酸化するから使用できなかつた。従つて非酸化雰囲気
例えば窒素中で焼付けでき且つ銅を安定して使用できる
抵抗体組成物が要求される。
従来使用されている代表的抵抗体組成物では硼ケイ酸鉛
ガラス結合材を使用してきた。硼ケイ酸鉛ガラス結合材
中に例えばレテニウム酸ストロンチウムを含有する抵抗
体組成物は空気中で焼付けによりルテニウム酸ストロン
チウムは分解して焼付後には酸化ストロンチウム（これ
は結合材に溶解する）と酸化ルテニウムとになる。
本発明によれば、硼ケイ酸ストロンチウム結合材中のル
テニウム酸ストロンチウム導電成分は窒素中で焼付け処
理すれば、導電成分は分解しないで、未変化のまま残
る。
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明の目的は非酸化性雰囲気で焼付処理でき銅を安定
に使用できる抵抗体組成物を提供するにある。
本発明の他の目的は再現性があり且つ処時条件に対する
感受性による感度の低い、厚いフイルム抵抗体組成物を
提供するにある。
〔問題を解決するための手段〕
本発明は導電成分と結合材成分とからなる電気抵抗対素
子を造るための組成物に関する。
本発明の組成物の導電成分は一般式 A′1-xＡ″xＢ′1-yＢ″yO3 （式中、Ａ′はSrまたBaで、Ａ′がSrのときはＡ″はB
a，La，Ｙ，Ca及びNaの１種またはそれ以上からなる群
から選ばれ、Ａ′がBaのときはＡ″はSr，La，Ｙ，Ca及
びNaの１種またはそれ以上からなる群から選ばれ、Ｂ′
はRuで、Ｂ″はTi，Cd，Zr，Ｖ及びCoの１種またはそれ
以上からなる群から選ばれ、０≦ｘ≦0.2で、０≦ｙ≦
0.2である） で表わされる貴金属酸化物からなる。
本発明の結合材成分は (i)40〜75重量％のＣ′（ここにＡ′がSrのときはＣ′
はSrOで、Ａ′がBaのときはＣ′はBaOであり、Ａ′がSr
でＡ″がBaであるとき、及びＡ′がBaがＡ″がSrである
ときはＣ′はSrO＋BaOである） (ii)20〜35重量％のB2O3、 (iii)２〜15重量％のSiO2、 (iv)0.5〜6.5重量％のZnO、 (v)０〜2.5重量％のAl2O3、 (vi)Bi2O3，CuO，MgOおよびNb2O5からなる群から選ばれ
た１種または２種以上の酸化物の各々 ０〜1.5重量
％、 (vii)０〜1.5重量％のTiO2、 (viii)０〜1.5重量％のNaF、 (ix)０〜15重量％のCaOを含有する。
本発明はさらに一般式 A′1-xＡ″xＢ′1-yＢ″yO3 （式中、Ａ′はSrまたBaで、Ａ′がSrのときはＡ″はB
a，La，Ｙ，Ca及びNaの１種またはそれ以上からなる群
から選ばれ、Ａ′がBaのときはＡ″はSr，La，Ｙ，Caお
よびNaの１種またはそれ以上からなる群から選ばれ、
Ｂ′はRuで、Ｂ″はTi，Cd，Zr，Ｖ及びCoの１種または
それ以上からなる群から選ばれ、０≦ｘ≦0.2で、０≦
ｙ≦0.2である） で表わされる貴金属酸化物からなる導電成分と、 (i)Ｃ′ 40〜75重量％ （但しＡ′がSrのときはＣ′はSrOで、Ａ′がBaのとき
はＣ′はBaOであり、Ａ′がSrでＡ″がBaのとき、及び
Ａ′がBaでＡ″がSrのときはＣ′はSrO＋BaOである） (ii)B2O3 25〜35重量％ (iii)SiO2 ２〜15重量％ (iv)ZnO 0.5〜6.5重量％ (v)Al2O3 ０〜2.5重量％ (vi)Bi2O3，CuO，MgOおよびNb2O5からなる群から選ばれ
た１種またはそれ以上の酸化物の各々 ０〜1.5重量
％ (vii)TiO2 ０〜1.5重量％ (viii)NaF ０〜1.5重量％ (ix)CaO ０〜15重量％ からなる結合材成分と (c) 有機ベヒクル とを混合してペーストを造り、その後でペーストを基材
上にスクリーン印刷し、焼付けすることからなる電気抵
抗素子の製法にも関する。
結合材成分は0.1〜2.5重量％のAl2O3を含んでいること
ができる。
結合材成分はさらにBi2O3，CuO，MgOまたはNb2O5のうち
の１種または２種以上を各々0.1〜1.5重量％含んでいて
もよい。
結合材成分は0.1〜1.5重量％のそれぞれTiO2またはNaF
を含んでいてもよい。結合材成分はさらに５〜15重量％
のCaOを含んでいてもよい。
〔作用〕
本発明の電気用抵抗素子を造るための組成物は導電酸化
物ペロブスカイト成分とガラス結合成分とを含む。
導電成分は一般式A′1-xＡ″xＢ′1-yＢ″yO3（式中、
Ａ′はSrまたBaで、Ａ′がSrであるときはＡ″はBa，L
a，Ｙ，Ca及びNaから選ばれる１種または２種以上で、
Ａ′がBaであるときはＡ″はSr，La，Ｙ，Ca及びNaか選
ばれる１種または２種以上であり、Ｂ′はRuで、Ｂ″は
Ti，Cd，Zr，ＶおよびCoから選ばれる１種または２種以
上であり、０≦ｘ≦0.2で、０≦ｙ≦0.2である）で表わ
される。好適なB′１−ｙＢ″yの組合わせはRu0.8Ti0.2
およびRu0.9Ti0.1である。好適な導電成分はSrRu0.8Ti
0.2O3，SrRuO3およびSrRu0.9Ti0.1O3である。これらの
成分の組合わせ、例えばSrRuO3+SrRu0.8Ti0.2O3またはS
rRuO3+SrRu0.9Ti0.1O3も使用できる。導電成分の他の非
限定例はSrRu0.95Cd0.05O3， Sr0.90Na0.10RuO3，Sr0.90Y0.10RuO3， Sr0.80Na0.10La0.10RuO3および SrRu0.8Ti0.2O3／SrRuO3,SrRu0.8Zr0.2O3， SrRu0.9Zr0.1O3および SrRu0.8Co0.2O3である。
一般式A′1-xＡ″xＢ′1-yＢ″yO3の化合物はＡまたは
ＢまたはＡおよびＢ（ここにＡはＡ′＋Ａ″、ＢはＢ′
＋Ｂ″である）を一部を上述した他の置換成分で置換す
ることによつて変性できる。Ａ部位またはＢ部位の置換
イオンの非限定例は下記の通りである：A2+部位 B4+部位 Ｋ＋ Sc3+ Cu+ Mn3+ Ag+ Fe3+ Ce3+ Ta5+ Nd3+ Al3+ Sm3+ Gd3+ Mg2+ Bi3+ Nb5+ Sb5+ Mo6+ W6+ 本発明の結合材成分は主要成分Ｃ′、すなわちSrOまた
はBaOまたはSrO+BaO；B2O3；SiO2およびZnOとして下記
の量で含む： さらに、結合材成分は下記の成分の１種またはそれ以上
を含むことができる： 好適な結合材成分組成物の非限定例は下記の通りであ
る： 結合材組成物の多の非限定例は下記のものを含む： 結合材成分／導電成分の重量％配合率は結合材25〜75重
量％／導電成分75〜25重量％の率に変えることができ
る。すなわち結合材の重量％は例えば30重量％、35重量
％、40重量％、50重量％、60重量％、65重量％および70
重量％であることができる。
結合材結合と導電成分とは適当な「有機ベヒクル」を用
いて混合する。ここに「有機ベヒクル」とは適度に低い
温度（約400℃〜500℃）で他のペースト成分を還元しな
いで蒸発する媒体である。有機ベヒクルはスクリーン印
刷の転写媒体として作用する。本発明に使用する有機ベ
ヒクルは樹脂、例えばアクリルエステル樹脂、好適には
イソブチルメタクリレートおよび溶媒例えばアルコール
好適にはトリデシルアルコール(TDA)である。樹脂は窒
素中４００℃またはそれ以下で解重合する任意の重合体
であることができる。使用できる他の溶媒はテルピネオ
ールまたは「テキサノール(TEXANOL)（商品名、イース
トマン・コダツク社製品）」である。本発明で使用する
溶媒は樹脂を溶解でき、次工程の混練粉砕およびスクリ
ーン印刷に適する蒸発圧をもつ溶媒である。好適な実施
例においては有機ベヒクルはイソブチルメタクリレート
１０〜３０重量％とTDA90〜70重量％とからなる。
結合材成分、導電成分および有機ベヒクルを混合し、適
当な基材例えば９６％Al2O3上のCu端子上にスクリーン
印刷し、次いで窒素雰囲気中で高温例えば９００℃で適
当な期間例えば７分間焼付けする。
本発明による電気抵抗素子を製造するため組成物では導
電成分、結合材成分および有機ベヒクルを混合してペー
ストを造り、このペーストを次に混練（粉砕）してスク
リー印刷に要求される微粉にする 銅を安定に使用できる（銅と両立できる）抵抗ペースト
は（例えば酸化アルミニウム基材上の銅導電ペーストの
焼付けにより造られた）銅電電路を備えた基材上に塗布
し、焼付けて抵抗路となすことができる。抵抗ペースト
と銅との両立性（安定可使性）は結合材の種類に極めて
大きく依存するから結合材の選択は大きな意義をもつよ
うになる。本発明者の研究によれば、特許請求の範囲第
１項に記載のＡ′1-xＡ″xＢ′1-yＢ″yＯ３で表わされ
る酸化物と、同じく特許請求の範囲第１項に規定する結
合材とを組合わせるときにだけ良好な結果が得られ、他
の組成の結合材では役に立たないか不良な結果を招くこ
とを見出した。
結合材成分であるガラスフリツトは、導電相粒子を緻密
な均質フイルムに燒結し基材に接着する化学結合を形成
する点で一般に重要である。ガラスフリツトはまた、導
電相を希釈して種々の異なる電気固有抵抗をもつ抵抗体
を生ずるのに役立つ。導電相の完全な溶解を防止するた
めに少なくとも４０重量％のＣ′成分がガラス（結合
材）中に存在すべきことが見出された。ここにＣ′はＳ
ｒＯ及び／又はＢａＯである。好適なＣ′成分料は４２
〜５８重量％である。Ｃ′成分量が７５重量％より多量
であると結合材のガラスは失透し易くなり基材への接着
が劣化する。
動作性について特定の理論に拘束されることを望むもの
ではないが、本発明の結合材成分（ガラスマトリツク
ス）は焼付け中の導電成分の分解を防止すると思われ
る。すなわち、導電成分の結晶構造（物理的）および導
電成分の化学組成を焼付け中安定に残存させ、未変化の
まま保つ。
〔実施例〕
以下に実施例（以下、特記しない限り例という）を掲げ
て本発明を説明する。
例１（結合材の調製）（参考例） ストロンチウム、バリウムおよび銅の化合物として炭酸
塩を使用した以外は酸化物の形態の試薬級鈍度の原料を
使用して結合材組成物を調製した。組成物を造るには個
々の成分を秤量し、それらを１時間Ｖ−ブレンダー（こ
れは乾式混練操作である）中で均質に混練した。混練が
完了した後、均質な粉末をカイヤナイトるつぼに入れ、
粉末を溶融させた。結合材を６００℃で１時間予熱し、
次いで他の炉に移して通常1100℃〜1300℃で１〜1.5時
間溶融した。溶融した材料を溶融温度で炉から取出し脱
イオン水を満したステンレス鋼容器中に注加してフリツ
トを造つた。溶融した材料が水と接触すると固化と砕解
とが行われてガラス塊（大きさは熱圧力によりきまる）
が得られる。脱イオン水をデカンテーシヨンにより除
き、ガラス塊をアルミナ磨砕用円筒状物とイソプロピル
アルコール媒体とを入れた磁器製磨砕器（ミル）中に入
れてガラス塊を２４時間磨砕処理し、次いで２００メル
シユふるいで湿式分級する。室温の対流式防爆式炉中で
乾燥すれば抵抗体素子製造用のペーストに使い得る特性
をもつ状態となる。得られたガラス粉末の粒径は１〜２
μｍの範囲である。上述の操作によつて造つた結合材は
組成物Ｉ、組成物IIおよび組成物IIIとし先に記載した
結合材である。組成物Ｉ、組成物IIおよび組成物IIIの
軟化点はそれぞれ625℃、635℃および６６０℃であつ
た。例１によつて造つた他の結合材は下記の組成をもつ
組成物IV〜VIIIである。
例２（導電性成分の調製）（参考例） それぞれの化合物（例えばSrRuO3）を調製することによ
り造つた。すなわち、例えばSrCO3およびRuO2を等化学
量論比に秤量するためにそれらSrCO3、RuO2の等モル量
を算出し、それら個々の成分を秤量した。Ru金属含有
量、水含有量および６００℃での灼熱時に失われる他の
揮発性成分に対する補正係数をも前記等モル量の算出の
際に計算に入れた。必要に応じ、他の成分についても灼
熱時の重量損失に対する補正係数を算出して秤量時の計
算に入れた。RuO2は70m2／ｇ以上の表面積をもち、他の
成分を表面積は５m2／ｇ以下であつた。秤量した原料を
アルミナ磨砕媒体と脱イオン水とにより磁器製ミル中で
湿式磨砕により２時間間砕処理した。２時間後に均質と
なつたスラリーをステンレス鋼の浅皿に注加し、８０℃
で２４時間乾燥した。乾燥した混合物を８０メツシユふ
るいに通した後で焼成した。
前記ふるいに通した粉末を高純度（９９．８％純度）ア
ルミナるつぼ中で焼成した。この焼成処理サイクルは精
密にマイクロプロセサーで制御した。加熱速度および冷
却速度自体は厳密な制限を要するものではないが、一般
に500℃／時間とした。（化合物に応じて800℃〜1200℃
での）保持時間は１〜２時間である。焼成が完了したら
粉末をスウイーコ（Sweeco）振動式ミル中で２時間粉砕
した。これはアルミナ磨砕媒体およびイソプロピルアル
コールを使用する高エネルギー磨砕操作である。得られ
たペロブスカイトをサイクルの終りにふるい（２００メ
ツシユ）に通し、室温で対流式炉（防爆式）中で乾燥す
れば抵抗体素子用ペーストに配合できる特性をもつ導電
成分粉末が得られた。
上述の操作により造つた導電成分は下記の組成Ｉ〜Ｖの
ものである： 例３（結合材および導電成分の混合） 上述の例１で造つた結合材と上述の例２で造つた導電成
分とを有機ベヒクルと混合した。使用した有機ビヒクル
は「アクリルリド（ACRYLOID）Ｂ６７」（商品名、米
国、ペンシルベニア州、フイラデルフィアのローム・エ
ンド・ハース社製品、イソブチルメタクリレート樹脂）
およびトリデシルアルコール(TDA)の30／70重量％比の
ものである。
結合材、導電成分および有機ベヒクルをそれぞれ秤量し
て所望のペーストを造つた。固体含有量（結合材を導電
成分との含量）は全ペースト重量の７０重量％に保つ
た。ペーストを３本ロールミルで１０μｍ以下の微細度
に磨砕した。得られたペーストの湿潤時29〜32μｍの厚
さ（焼付後10〜13μｍの厚さ）の印刷図柄が得られるよ
うに抵抗体の試験図柄にスクリーン印刷した。すなわ
ち、ペーストを0.015mm（0.6ミル）エマルジヨンを用い
て３２５メツシユスクリーンを通すかまたは0.0125mmエ
マルジヨンを用いて２８０メツシユスクリーンを通して
印刷した。湿潤印刷図柄を１５０℃で５〜１０分間乾燥
後焼付けした。
焼付処理は結合材成分により異なる。例えば結合材組成
物Ｉを含むペーストは８５０℃、結合材組成物IIおよび
IIIを含むペーストは900℃で焼付け処理した。８５０℃
での焼理の経過は100℃から100℃まで、すなわち炉の入
口から炉の出口までの所要時間が５８分であつた。加熱
速度は45℃／分、冷却速度は60℃／分、最高温度での滞
留時間は１０分間であつた。900℃での焼付処理経過は
１００℃から１００℃までが５５分間で、加熱速度５０
℃／分、冷却速度60℃／分で、最高温度での滞留時間は
５分〜１４分に変えた。
前述の結合材組成物と導電成分との種々の組合わせによ
り抵抗体素子を造り、窒素雰囲気中で焼付後の得られた
性質を第１表および第II表に示す。第II表では窒素雰囲
気中の焼付けは８５０℃である。
第Ｉ表および第II表中、ρs＝シート抵抗；HTCR＝抵抗
の高温度係数；CTCR＝抵抗の冷温度係数；TCR＝抵抗の
温度係数；△TCR＝HTCRとCTCRとの差（絶対値）、VCR＝
抵抗の電圧係数；(CV)＝変化係数(%)；結合材＝結合材
組成物；導電成分または成分＝導電成分組成物を示す。
本明細書の記載は説明のためのものであり、これらに限
定するものでなく、本発明の精神および範囲を逸脱する
ことなく種々の改変を行うことができることを理解され
たい。

Claims (35)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ａ．一般式Ａ′1-xＡ″xＢ′1-yＢ″yＯ３ （式中、Ａ′はＳｒまたＢａで、Ａ′がＳｒのときは
    Ａ″はＢａ，Ｌａ，Ｙ，Ｃａ及びＮａの１種またはそれ
    以上からなる群から選ばれ、Ａ′がＢａのときはＡ″は
    Ｓｒ，Ｌａ，Ｙ，Ｃａ及びＮａの１種またはそれ以上か
    ら選ばれ、Ｂ′はＲｕで、Ｂ″はＴｉ，Ｃｄ，Ｚｒ，Ｖ
    及びＣｏの１種またはそれ以上からなる群から選ばれ、
    ０≦ｘ≦０．２で、０≦ｙ≦０．２である） で表わされる貴金属酸化物からなる導電成分と、 ｂ．（ｉ）Ｃ′ ４０〜７０重量％ （但しＣ′は、Ａ′がＳｒのときはＳｒＯで、Ａ′がＢ
    ａのときはＢａＯであり、Ａ′がＳｒでＡ″がＢａのと
    き、及びＡ′がＢａでＡ″がＳｒのときはＣ′はＳｒＯ
    ＋ＢａＯである） （ii）Ｂ２Ｏ３ ２０〜３５重量％ （iii）ＳｉＯ２ ２〜１５重量％ （iv）ＺｎＯ ０．５〜６．５重量％ （ｖ）Ａｌ２Ｏ３ ０〜２．５重量％ （vi）Ｂｉ２Ｏ３，ＣｕＯ，ＭｇＯおよび Ｎｂ２Ｏ５からなる群から選ばれた１種または２種以上
    の酸化物の各々 ０〜１．５重量％ （vii）ＴｉＯ２ ０〜１．５重量％ （viii）ＮａＦ ０〜１．５重量％ （ix）ＣａＯ ０〜１５重量％ からなる結合材成分 とからなる電気抵抗素子製造用組成物。
  2. 【請求項２】Ａ′がＳｒである特許請求の範囲第１項記
    載の組成物。
  3. 【請求項３】Ａ′がＢａである特許請求の範囲第１項記
    載の組成物。
  4. 【請求項４】結合材中のＡｌ２Ｏ３量が０．１〜２．５
    重量％である特許請求の範囲第１項記載の組成物。
  5. 【請求項５】Ｃ′４２〜５８重量％、Ｂ２Ｏ３２７〜３
    １重量％、ＳｉＯ２７〜１１重量％、ＺｎＯ２〜４重量
    ％である特許請求の範囲第１項記載の組成物。
  6. 【請求項６】結合材中のＢｉ２Ｏ３，ＣｕＯ，ＭｇＯ及
    びＮｂ２Ｏ５からなる群から選ばれた１種またはそれ以
    上の酸化物の各々の量が０．１〜１．５重量％である特
    許請求の範囲第１項記載の組成物。
  7. 【請求項７】結合材中のＴｉＯ２の量が０．１〜１．５
    重量％である特許請求の範囲第１項記載の組成物。
  8. 【請求項８】結合材中のＮａＦの量が０．１〜１．５重
    量％である特許請求の範囲第１項記載の組成物。
  9. 【請求項９】結合材中のＣａＯの量が５〜１５重量％で
    ある特許請求の範囲第１項記載の組成物。
  10. 【請求項１０】結合材がＳｒＯ５１．７重量％、Ｂ２Ｏ
    ３３０．０重量％、ＳｉＯ２１０．５重量％、Ａｌ２Ｏ
    ３１．１重量％、ＺｎＯ３．４重量％、Ｂｉ２Ｏ３０．
    ５重量％、ＣｕＯ０．６重量％、ＭｇＯ０．７重量％、
    Ｎｂ２Ｏ５０．５重量％，ＴｉＯ２０．５重量％及びＮ
    ａＦ０．５重量％からなる特許請求の範囲第１項記載の
    組成物。
  11. 【請求項１１】結合材がＳｒＯ５５．２重量％、Ｂ２Ｏ
    ３３０重量％、ＳｉＯ２７．０重量％、Ａｌ２Ｏ３１．
    １重量％、ＺｎＯ３．４重量％、Ｂｉ２Ｏ３０．５重量
    ％、ＣｕＯ０．６重量％、ＭｇＯ０．７重量％、Ｎｂ２
    Ｏ５０．５重量％，ＴｉＯ２０．５重量％及びＮａＦ
    ０．５重量％からなる特許請求の範囲第１項記載の組成
    物。
  12. 【請求項１２】結合材がＳｒＯ５６．６重量％、Ｂ２Ｏ
    ３３０．１重量％、ＳｉＯ２７．１重量％、Ａｌ２Ｏ３
    ０．５重量％、ＺｎＯ３．４重量％、Ｂｉ２Ｏ３０．５
    重量％、ＣｕＯ０．６重量％、ＭｇＯ０．７重量％、Ｎ
    ｂ２Ｏ５０．５重量％からなる特許請求の範囲第１項記
    載の組成物。
  13. 【請求項１３】導電成分がＳｒＲｕＯ3、ＳｒＲｕ0.8Ｔ
    ｉ0.2Ｏ3、ＳｒＲｕ0.9Ｔｉ0.1Ｏ3、ＳｒＲｕ0.95Ｃｄ
    0.05Ｏ3、Ｓｒ0.9Ｂａ0.1ＲｕＯ3、Ｓｒ0.9Ｙ0.1ＲｕＯ
    3、Ｓｒ0.8Ｎａ0.1Ｌａ0.1ＲｕＯ3、ＳｒＲｕ0.8Ｚｒ
    0.2Ｏ3、ＳｒＲｕ0.9Ｚｒ0.1Ｏ3、ＳｒＲｕ0.8Ｃｏ0.2
    Ｏ3、及びＳｒＲｕ0.8Ｔｉ0.1Ｚｒ0.1Ｏ3からなる群か
    ら選ばれる特許請求の範囲第１項記載の組成物。
  14. 【請求項１４】導電成分と結合材とが有機ベヒクルと混
    合されてなる特許請求の範囲第１項記載の組成物。
  15. 【請求項１５】有機ベヒクルがアクリル酸エステル樹脂
    とアルコールとの混合物である特許請求の範囲第１４項
    記載の組成物。
  16. 【請求項１６】アクリル酸エステル樹脂がイソブチルメ
    タクリレートで、アルコールがトリデシルアルコールで
    ある特許請求の範囲第１５項記載の組成物。
  17. 【請求項１７】ａ．一般式Ａ′1-xＡ″xＢ′1-yＢ″yＯ
    ３ （式中、Ａ′はＳｒまたＢａで、Ａ′がＳｒのときは
    Ａ″はＢａ，Ｌａ，Ｙ，Ｃａ及びＮａの１種またはそれ
    以上からなる群から選ばれ、Ａ′がＢａのときはＡ″は
    Ｓｒ，Ｌａ，Ｙ，Ｃａ及びＮａの１種またはそれ以上か
    ら選ばれ、Ｂ′はＲｕで、Ｂ″はＴｉ，Ｃｄ，Ｚｒ，Ｖ
    及びＣｏの１種またはそれ以上からなる群から選ばれ、
    ０≦ｘ≦０．２で、０≦ｙ≦０．２である） で表わされる貴金属酸化物からなる導電成分と、 ｂ．（ｉ）Ｃ′ ４０〜７０重量％ （但しＣ′は、Ａ′がＳｒのときはＳｒＯで、Ａ′がＢ
    ａのときはＢａＯであり、Ａ′がＳｒでＡ″がＢａのと
    き、及びＡ′がＢａでＡ″がＳｒのときはＣ′はＳｒＯ
    ＋ＢａＯである） （ii）Ｂ２Ｏ３ ２０〜３５重量％ （iii）ＳｉＯ２ ２〜１５重量％ （iv）ＺｎＯ ０．５〜６．５重量％ （ｖ）Ａｌ２Ｏ３ ０〜２．５重量％ （vi）Ｂｉ２Ｏ３，ＣｕＯ，ＭｇＯおよび Ｎｂ２Ｏ５からなる群から選ばれた１種または２種以上
    の酸化物の各々 ０〜１．５重量％ （vii）ＴｉＯ２ ０〜１．５重量％ （viii）ＮａＦ ０〜１．５重量％ （ix）ＣａＯ ０〜１５重量％ からなる結合材成分と ｃ．有機ベヒクル とを混合してペーストを造り、その後でペーストを基材
    上にスクリーン印刷し、焼付けすることからなる電気抵
    抗素子の製法。
  18. 【請求項１８】Ａ′がＳｒである特許請求の範囲第１７
    項記載の製法。
  19. 【請求項１９】Ａ′がＢａである特許請求の範囲第１７
    記載の製法。
  20. 【請求項２０】結合材中のＡｌ２Ｏ３量が０．１〜２．
    ５重量％で、ＳｉＯ２が２〜１５重量％であり、ＺｎＯ
    が０．５〜６．５重量％である特許請求の範囲第１７項
    記載の製法。
  21. 【請求項２１】Ｃ′４２〜５８重量％、Ｂ２Ｏ３２７〜
    ３１重量％、ＳｉＯ２ ７〜１１重量％、ＺｎＯ２〜４重
    量％である特許請求の範囲第１７項記載の製法。
  22. 【請求項２２】結合材中のＢｉ２Ｏ３，ＣｕＯ，ＭｇＯ
    及びＮｂ２Ｏ５からなる群から選ばれた１種またはそれ
    以上の酸化物の各々の量が０．１〜１．５重量％である
    特許請求の範囲第１７項記載の製法。
  23. 【請求項２３】結合材中のＴｉＯ２の量が０．１〜１．
    ５重量％である特許請求の範囲第１７項記載の製法。
  24. 【請求項２４】結合材中のＮａＦの量が０．１〜１．５
    重量％である特許請求の範囲第１７項記載の製法。
  25. 【請求項２５】結合材中のＣａＯの量が５〜１５重量％
    である特許請求の範囲第１７項記載の製法。
  26. 【請求項２６】結合材がＳｒＯ５１．７重量％、Ｂ２Ｏ
    ３３０．０重量％、ＳｉＯ２１０．５重量％、Ａｌ２Ｏ
    ３１．１重量％、ＺｎＯ３．４重量％、Ｂｉ２Ｏ３０．
    ５重量％、ＣｕＯ０．６重量％、ＭｇＯ０．７重量％、
    Ｎｂ２Ｏ５０．５重量％、ＴｉＯ２０．５重量％及びＮ
    ａＦ０．５重量％からなる特許請求の範囲第１７項記載
    の製法。
  27. 【請求項２７】結合材がＳｒＯ５５．２重量％、Ｂ２Ｏ
    ３３０重量％、ＳｉＯ２７．０重量％、Ａｌ２Ｏ３１．
    １重量％、ＺｎＯ３．４重量％、Ｂｉ２Ｏ３０．５重量
    ％、ＣｕＯ０．６重量％、ＭｇＯ０．７重量％、Ｎｂ２
    Ｏ５０．５重量％、ＴｉＯ２０．５重量％及びＮａＦ
    ０．５重量％からなる特許請求の範囲第１７項記載の製
    法。
  28. 【請求項２８】結合材がＳｒＯ５６．６重量％、Ｂ２Ｏ
    ３３０．１重量％、ＳｉＯ２７．１重量％、Ａｌ２Ｏ３
    ０．５重量％、ＺｎＯ３．４重量％、Ｂｉ２Ｏ３０．５
    重量％、ＣｕＯ０．６重量％、ＭｇＯ０．７重量％、Ｎ
    ｂ２Ｏ５０．５重量％からなる特許請求の範囲第１７項
    記載の製法。
  29. 【請求項２９】導電性分がＳｒＲｕＯ3、ＳｒＲｕ0.8Ｔ
    ｉ0.2Ｏ3、ＳｒＲｕ0.9Ｔｉ0.1Ｏ3、ＳｒＲｕ0.95Ｃｄ
    0.05Ｏ3、Ｓｒ0.9Ｂａ0.1ＲｕＯ3、Ｓｒ0.9Ｙ0.1ＲｕＯ
    3、Ｓｒ0.8Ｎａ0.1Ｌａ0.1ＲｕＯ3、ＳｒＲｕ0.8Ｚｒ
    0.2Ｏ3、ＳｒＲｕ0.9Ｚｒ0.1Ｏ3、ＳｒＲｕ0.8Ｃｏ0.2
    Ｏ3及びＳｒＲｕ0.8Ｔｉ0.1Ｚｒ0.1Ｏ3からなる群から
    選ばれる特許請求の範囲第１７項記載の製法。
  30. 【請求項３０】有機ベヒクルがアクリル酸エステル樹脂
    とアルコールとの混合物である特許請求の範囲第１７項
    記載の製法。
  31. 【請求項３１】アクリル酸エステル樹脂がイソブチルメ
    タクリレートで、アルコールがトリデシルアルコールで
    ある特許請求の範囲第３０項記載の製法。
  32. 【請求項３２】スクリーン印刷を摩砕処理したペースト
    を用いて行う特許請求の範囲第１７項記載の製法。
  33. 【請求項３３】スクリーン印刷をＣｕ端子上に行う特許
    請求の範囲第１７項記載の製法。
  34. 【請求項３４】基材がＡｌ２Ｏ３からなる特許請求の範
    囲第１７項記載の製法。
  35. 【請求項３５】焼付けを窒素雰囲気中で行う特許請求の
    範囲第１７項記載の製法。
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