JP3630144B2 - 抵抗器 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は印刷型厚膜抵抗器に関し、電極、抵抗体及び抵抗体の保護を目的とした保護ガラス膜等全てを鉛フリービスマス系ガラス材料で構成し、且つ、抵抗器の電極形成、抵抗体形成及び保護ガラス膜形成の各焼成工程が同時焼成可能な抵抗器に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の印刷型厚膜抵抗器は耐熱性絶縁基板上に電極、抵抗体及び抵抗体保護ガラス膜で構成されていた。それらの各々の材料として、高純度アルミナ基板、電極用ペースト、抵抗用ペースト及び保護ガラスペーストが用いられており、それら何れのペーストにも鉛系ガラスフリットが使用されていた。また、抵抗器の抵抗材料には主として酸化ルテニウム(RuO2)及びルテニウム酸鉛(Pb2Ru2O6)が使用されていた。また、抵抗のガラス成分としてCaO−Al 2 O 3 −SiO 2 −B 2 O 3 、Na 2 O−SiO 2 −B 2 O 3 、さらにはこれらの混合ガラスでPbを含まないものを用いることも知られている。(例えば、特開平11−251105号公報参照)、さらに、上記特開平11−251105号公報に記載されたガラス成分の他Bi 2 O 3 を1.5重量%ガラス成分とする抵抗素子も知られている。(例えば、特開昭60−262401号公報参照)
しかしながら、鉛フリーとするため、抵抗器の抵抗材料としてルテニウム酸鉛(Pb 2 Ru 2 O 6 )に替えルテニウム酸ビスマス(Bi 2 Ru 2 O 7 )を用いるとBi 2 O 3 を1.5重量%と少量しか含有しないガラスフリットでは、ルテニウム酸ビスマス(Bi 2 Ru 2 O 7 )との界面において十分な相互拡散層が形成されず、抵抗体の電気伝導を安定化させる効果が得られなかった。
また、従来の印刷型厚膜抵抗器の構成では、電極形成、抵抗形成及び保護ガラス膜形成の各々の形成に対し印刷、乾燥及び焼成をおこなうため、工程数が多く省エネと低コスト化の観点からも課題を有していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
現在、地球環境保全が叫ばれ、省エネで、持続可能な経済発展が掲げられる中、エレクトロニクス分野にも着実に改善対策が要求される段階に入ってきた。
電子部品である印刷型厚膜抵抗器は電子機器の使用部品の中で、量的には大きな比重を占めている。その印刷型厚膜抵抗器の電極、抵抗体及び被覆ガラス膜の材料にそれぞれ電極用ペースト、抵抗用ペースト及び保護ガラスペーストが用いられており、それらのいずれのペーストにも鉛系ガラスフリットが使用されている。また、抵抗器の抵抗材料には主として酸化ルテニウム(RuO2)及びルテニウム酸鉛(Pb2Ru2O6)が使用されている。
一方、地球環境保全の面より鉛フリーの材料や電子部品が望まれており、印刷型厚膜抵抗器に使用するペーストの鉛フリー化に問題点を有していた。
また、他方では印刷型厚膜抵抗器の構成で、電極形成、抵抗形成及び保護ガラス膜形成のそれぞれに対し印刷、乾燥及び焼成をおこなうため、工程数が多く省エネと低コスト化の観点からも問題点を有していた。
本発明は上記従来の問題点を解決するもので、電極用ペースト、抵抗用ペースト及び保護ガラスペーストの各々に鉛フリーペーストを用い、しかも焼成工程を単純化でき、地球環境にも貢献できる抵抗器を提供することを目的とするものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有する。すなわち、本発明は、(1)耐熱性絶縁基板の表面に鉛フリービスマス系ガラスをバインダーとした電極と前記電極に一部が重なる抵抗体を有し、前記抵抗体は酸化ルテニウム及び/またはルテニウム酸ビスマスと鉛フリービスマス系バインダーガラスで構成されてなる抵抗器において、前記鉛フリービスマス系ガラスの主成分がBi 2 O 3 、SiO 2 、BaO、ZnO及びAl 2 O 3 であり、前記ガラス中のBi 2 O 3 が重量比率で13〜30%であることを特徴とする抵抗器、
(2)鉛フリービスマス系ガラスの主成分がBi 2 O 3 、SiO 2 、BaO、ZnO及びAl 2 O 3 であり、前記ガラス中のBi 2 O 3 が重量比率で13〜30%であるガラスをバインダーとした電極の導電剤が金、銀、白金、パラジウム、又は前記金属の合金または混合物であることを特徴とする請求項1に記載の抵抗器、
(3)鉛フリービスマス系ガラスの主成分がBi 2 O 3 、SiO 2 、BaO、ZnO及びAl 2 O 3 であり、前記ガラス中のBi 2 O 3 が重量比率で13〜30%である鉛フリービスマス系ガラス膜で抵抗体を被覆したことを特徴とする請求項1乃至2記載の抵抗器に関するものである。
【0005】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態について説明する。 図1(a)は本発明の実施の形態における抵抗器の平面図、図1(b)はA−Aでの断面図である。図2は本発明の抵抗器の製造工程図で従来工程との比較図である。
図1において、1は高純度アルミナ基板(以下、アルミナ基板と記述する)、2は鉛フリービスマス系バインダーガラスの銀電極(以下、新電極と記述する)、3は鉛フリービスマス系バインダーガラスの抵抗体(以下、新抵抗体と記述する)、4は抵抗体を保護する為に被覆した鉛フリーのビスマス系ガラス膜(以下、新ガラス膜と記述する)である。
【0006】
以上のような構成において、本発明の抵抗器の製造工程を図2に従って、順を追って説明する。
まず、従来の工程の第1工程はアルミナ基板1を準備する。第2工程は前記アルミナ基板1上に鉛フリービスマス系バインダーガラスの銀電極ペーストにより電極用スクリーンマスクを使って電極印刷を行う。第3工程は前記印刷済電極を100℃〜150℃で指触乾燥を行う。第4工程は前記指触乾燥済電極を850℃で電極焼成を行い、新電極2が形成される。第5工程は前記新電極2に一部が重なるように、鉛フリービスマス系バインダーガラスの抵抗ペーストを抵抗体用スクリーンマスクを使って抵抗体印刷を行う。第6工程は前記印刷済抵抗体を前記印刷済電極と同様の方法で指触乾燥を行う。第7工程は前記指触乾燥済抵抗体を800℃で焼成を行い、新抵抗体3が形成される。第8工程は前記新抵抗体3の全面を覆うように鉛フリービスマス系ガラスペーストをガラス用スクリーンマスクにより保護ガラス膜印刷を行う。第9工程は前記印刷済保護ガラス膜を前記印刷済電極と同様の方法で指触乾燥を行う。第10工程は前記指触済保護ガラス膜を650℃で焼成を行い、新ガラス膜4が形成され、本発明の抵抗器を得ることができる。
【0007】
次に、新工程の説明を同じく図2に従って順に行う。但し、従来の工程と同条件の場合は説明を省略する。第1工程の基板の準備、第2工程の電極印刷及び第3工程の指触乾燥は従来の工程と同じ材料を使用し、かつ、同じ方法でおこなう。しかし、従来工程で第4工程の電極焼成を削除し、新工程で第4工程の抵抗印刷をおこなう、当該工程は前記指触乾燥済電極に一部が重なるように、鉛フリービスマス系バインダーガラスの抵抗ペーストを抵抗体用スクリーンマスクを使って抵抗体印刷をおこなう。第5工程の指触乾燥は第3工程の指触乾燥と同じ方法でおこなう。しかし、また、従来工程で第7工程の抵抗焼成を削除し、新工程の第6工程に流れて行く、当該工程は前記指触乾燥済抵抗体の全面を覆うように鉛フリービスマス系ガラスペーストをガラス用スクリーンマスクを使って保護ガラス膜印刷を行う。第7工程の指触乾燥は第3工程の指触乾燥と同じ方法で行う。第8工程の電極・抵抗・保護ガラス膜同時焼成は、新工程の第1工程〜第7工程では一度も焼成を行っておらず、当該工程で初めて電極、抵抗体及び保護ガラス膜を同時に850℃で焼成を行い、本発明の抵抗器を得ることができる。
【0008】
以上で説明してきたように本発明の抵抗器は、従来の工程及び新工程の双方で生産することができる。しかし、新工程は焼成工程が最後の工程で同時に一度で焼成ができるため、従来の工程で必要としていた中間工程での電極焼成及び抵抗焼成の2工程が削減できる。特に、焼成工程は高温を必要としているため、省エネ効果は大なるものである。
【0009】
次に、実際に鉛フリービスマス系ガラスバインダーを使用して、前記図2の従来工程と新工程で製造した本開発の抵抗体の特性値を以下に示す。
(1)以下、新電極材料として、主成分は重量比率でSiO2 28%、BaO 31%、ZnO 6%、Al2O3 6%、Bi2O3 24%、その他 5%の鉛フリーガラスバインダーで、導電材料として銀微粉末が重量%で60%〜90%含有の電極ペーストで図2の従来の工程で電極を形成した場合、面積抵抗値は50mΩ以下になる。また、焼成後の表面状態も良好であり、アルミナ基板との密着強度も充分であった。印刷用厚膜抵抗器の電極として満足できるものである。なお、前記導電材料はここでは銀微粉末を用いているが、貴金属である金、白金、パラジウム又は前記金属の合金又は混合物でも前記同様の使用法であれば問題ないことを別途確認済である。
【0010】
(2)以下、前記(1)の電極を用い、新抵抗材料中の鉛フリービスマス系ガラスバインダーのBi2O3含有量を変化させて本発明の抵抗器を作成した。前記鉛フリービスマス系ガラスバインダーの主成分は重量比率で以下に示すものである。
なお、保護ガラス膜のガラス材料は前記鉛フリービスマス系ガラスバインダーのBi2O3含有率が25%のものを用いた。導電材料はRuO2のみでRuO2/ビスマス系バインダーガラス=20/80一定とした。
【0011】
以上の材料を使用して作成した本発明の抵抗器の抵抗特性は表1(a)に示す。
この結果より抵抗値はBi2O3含有率が増加すれば抵抗値は低くなる。これは焼成時にRuO2とBi2O3が反応し、低比率であるがBi2Ru2O7を形成するためと考えられる。また、新工程の方が抵抗値は高くなる。この理由は従来工程と新工程の熱履歴が異なる為と考えられる。しかし、Bi2O3含有率が13%〜30%の範囲であれば抵抗値の安定性、抵抗体の表面状態は良好で鉛フリー印刷型厚膜抵抗器としては充分満足できるものであることが確認できた。
【0012】
(3)以下、前記(1)の電極を用い、新抵抗材料中のビスマス系ガラスバインダーは前記(2)のBi2O3含有率が25%のもので、導電材料はBi2Ru2O7のみを用い、Bi2Ru2O7/ビスマス系ガラスバインダー比率を変化させ、図2の新工程を使って本発明の抵抗器を作成した。以上のようにして作成した本発明の抵抗器の抵抗特性を表1(b)に示す。
この結果より抵抗値は上記ビスマス系ガラスバインダー中のBi2Ru2O7含有率が減少すれば抵抗値は高くなり、Bi2Ru2O7/ビスマス系ガラスバインダー比率を変化することにより、抵抗値範囲を広く確保することが可能になる。また、Bi2Ru2O7の含有率が20%〜50%の範囲であれば抵抗値の安定性、抵抗体の表面状態は良好で鉛フリー印刷型厚膜抵抗器としては充分満足できるものであることが確認できた。
【0013】
(4)以下、前記(1)の電極を用い、新抵抗材料中のガラスバインダーは前記(2)のBi2O3含有率が25%のもので、導電材料はRuO2とBi2Ru2O7を混合した材料を用い、RuO2/Bi2Ru2O7の比率を変化させ、図2の新工程を使って本発明の抵抗器を作成した。但し、RuO2/Bi2Ru2O7=Rとしたとき、R/ビスマス系ガラスバインダー=30/70と一定にした。以上のようにして作成した本発明の抵抗器の抵抗特性を表1(c)に示す。
この結果より抵抗値はRuO2比率を減少させれば抵抗値は高くなる。また、本発明の抵抗器は、上記導電材料中のRu金属含有率を計算すると、RuO2/Bi2Ru2O7=100/0(Ru金属含有量率=23%)で19Ω、RuO2/Bi2Ru2O7=20/80(Ru金属含有量率=11%)で58Ωであり、Ru金属含有量率が約1/2に減少しても抵抗値は19Ωから58Ωと抵抗値が極少高くなるのみで、同一抵抗値の抵抗器を作成する時には貴金属であるRu金属が少なくて済み、材料費が安価になり、環境保護にも対応できるものである。また、RuO2/Bi2RuO7中のRuO2含有率が20%以上であれば抵抗値の安定性、抵抗体の表面状態は良好で鉛フリー印刷型厚膜抵抗器としては充分満足できるものであることが確認できた。
【0014】
(5)以下、前記(1)の電極を用い、新抵抗材料中のビスマス系ガラスバインダーは前記(2)のBi2O3含有率が25%のもので、導電材料はRuO2とBi2Ru2O7を混合させた材料を用い、RuO2/Bi2Ru2O7の=50/50(=R50とする)比率を一定とし、R50/Bi系ガラス比率を変化させ、図2の新工程を使って本発明の抵抗器を作成した。以上のようにして作成した本発明の抵抗器の抵抗特性を表1(d)に示す。
この結果より抵抗値は上記Bi系ガラスバインダー中のBi2Ru2O7含有率が減少すれば抵抗値は高くなり、R/Bi系ガラス比率を変化することにより、抵抗値範囲を広く確保することが可能になる。また、抵抗値の安定性、抵抗体の表面状態は良好で鉛フリー印刷型厚膜抵抗器としては充分満足できるものであることが確認できた。
【0015】
(6)以下、前記(1)の電極を用い、新抵抗材料中のビスマス系ガラスバインダーは前記(2)のBi2O3含有率が25%のもので、導電材料はRuO2のみを用い、RuO2/ビスマス系バインダーガラス=20/80とした。新ガラス膜材料は前記(2)のビスマス系ガラスバインダーの組成と同じBi2O3含有率で13%〜30%の範囲で4種類の変化をさせた。前記各々の材料を使用し、図2の新工程で本発明の抵抗器を作成した。以上のようにして作成した本発明の抵抗器の抵抗特性、耐酸テスト及び外観判定結果を表1(e)に示す。
この結果より新ガラス膜中のBi2O3含有率が増加すると抵抗値は低くなる。これはバインダーガラス中のBi2O3と導電材料のRuO2が接触界面で熱反応が起こり相互拡散層を作り、Bi2Ru2O7が微量生成することにより抵抗値に影響を与えていると考えられる。耐酸テストは前記抵抗器を50℃ 5%硫酸溶液中に5時間放置し、抵抗値変化を調べる方法である。前記抵抗値変化が±5%以内であれば抵抗器の性能として問題はないとされているが、特にBi2O3含有率が25%〜34%で抵抗値変化率が低い。これは当該新ガラス膜のビスマス系ガラスの耐酸性が優れていることを表しているものである。また、耐酸テスト後のガラス表面の外観判定(目視)はどれも問題になるような状態ではないが、特に25%〜34%で優れている。このように耐酸性の優れた鉛レスビスマス系ガラスで新抵抗体の表面を被覆することにより、本発明の抵抗器の信頼性を向上させることができ、鉛フリー印刷型厚膜抵抗器としては充分満足できるものであることが確認できた。
【0016】
【表1】
【0017】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、本発明の抵抗器は基板に高純度アルミナを用い、新電極、新抵抗体および新ガラス膜は全て鉛フリービスマス系ガラスバインダーを使用しており、完全鉛排除型抵抗器として構成し、電極、抵抗体及びガラス膜を同時に一度で焼成をおこなうことができる環境保護に対応した効果を奏するものである。
【0018】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の抵抗器の平面図(a)およびA−Aの断面図(b)ある。
【図2】本発明の抵抗器の製造工程図で従来の工程と新工程の比較図である。
【符号の説明】
1 高純度アルミナ基板
2 鉛フリービスマス系バインダーガラスの銀電極
3 鉛フリービスマス系バインダーガラスの抵抗体
4 抵抗体を保護する為に被覆した鉛フリービスマスガラス膜
Claims (3)
- 耐熱性絶縁基板の表面に鉛フリービスマス系ガラスをバインダーとした電極と前記電極に一部が重なる抵抗体を有し、前記抵抗体は酸化ルテニウム及び/またはルテニウム酸ビスマスと鉛フリービスマス系バインダーガラスで構成されてなる抵抗器において、前記鉛フリービスマス系ガラスの主成分がBi 2 O 3 、SiO 2 、BaO、ZnO及びAl 2 O 3 であり、前記ガラス中のBi 2 O 3 が重量比率で13〜30%であることを特徴とする抵抗器。
- 鉛フリービスマス系ガラスの主成分がBi 2 O 3 、SiO 2 、BaO、ZnO及びAl 2 O 3 であり、前記ガラス中のBi 2 O 3 が重量比率で13〜30%であるガラスをバインダーとした電極の導電剤が金、銀、白金、パラジウム、又は前記金属の合金または混合物であることを特徴とする請求項1に記載の抵抗器。
- 鉛フリービスマス系ガラスの主成分がBi 2 O 3 、SiO 2 、BaO、ZnO及びAl 2 O 3 であり、前記ガラス中のBi 2 O 3 が重量比率で13〜30%である鉛フリービスマス系ガラス膜で抵抗体を被覆したことを特徴とする請求項1乃至2記載の抵抗器。
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