JPH0615957U - 回転割出式ウエーハ面取部研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエーハ供給側から空カセットを取り除き、
ウエーハ排出側に空カセットを設置する作業を省略する
ことができ、作業工数を削減して加工能率を高めること
ができる回転割出式ウエーハ面取部研磨装置を提供する
こと。 【構成】 回転割出式ウエーハ面取部研磨装置におい
て、ウエーハ供給側にセットされたカセット２０が空に
なると、該カセット２０をそのままウエーハ排出側に移
動させてこれをセットする。本考案によれば、ウエーハ
供給側のカセット２０が空になると、該カセット２０が
そのままウエーハ排出側に自動的に移動して、その中に
加工済みのウエーハＷが順次収納されるため、ウエーハ
供給側から空カセットを取り除き、ウエーハ排出側に別
の空カセットを設置する作業を省略することができ、作
業工数を削減して加工能率を高めることができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ウエーハ保持部にウエーハを保持せしめてこれを所定角度ずつ割り 出して回転させることによって、ウエーハ面取部に対する一連の研磨工程を順次 行なうようにした回転割出式ウエーハ面取部研磨装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

ウエーハ面取部の研磨においては、生産性の向上、ウエーハの汚染や傷の発生 防止等を考慮すると、ウエーハを一旦吸着した後は、全工程が終了するまで該ウ エーハをそのまま同一保持部にて吸着保持しておくことが望ましい。

【０００３】 そこで、図３及び図４に示すようなウエーハ面取部研磨装置が提案される。

【０００４】 即ち、図３はウエーハ面取部研磨装置の平面図、図４は同装置の正断面図であ り、該ウエーハ面取部研磨装置においては、２つのウエーハ保持部１５Ａ，１５ Ｂがウエーハ吸着部ａにてウエーハＷを吸着すると、ウエーハＷを吸着したまま リニアガイド１６Ａ，１６Ｂに沿ってウエーハ研磨部ｂ、ウエーハ排出部ｃへと それぞれ移動し、ウエーハＷに対する吸着から研磨を経て排出に至る一連の工程 が順次連続して実行される。

【０００５】 例えば、図示状態においては、一方のウエーハ保持部１５Ａに保持されたウエ ーハＷは円筒バフ１７の外周部でそのオリエンテーション・フラット部（以下、 ＯＦ部と略称す）を研磨されており、他方のウエーハ保持部１５Ｂに保持された ウエーハＷは円筒バフ１７の内周部でその外周面取部を研磨されている。

【０００６】 そして、両ウエーハＷに対してそれぞれの面取部研磨が終了すると、一方のウ エーハ保持部１５Ｂはリニアガイド１６Ｂに沿ってウエーハ排出部ｃに移動し、 他方のウエーハ保持部１５Ａはこれに保持されたウエーハＷが円筒バフ１７の内 周部に当接する位置までリニアガイド１６Ａに沿って移動する。

【０００７】 ウエーハ排出部ｃに移動したウエーハ保持部１５Ｂは、研磨の終了したウエー ハＷを排出した後、図４に破線にて示す経路を経てウエーハ吸着部ａに戻り、ウ エーハ吸着部ａにおいてカセット１４から供給される次の新たなウエーハＷを吸 着してウエーハ研磨部ｂに移動し、該ウエーハ保持部１５Ｂに保持されたウエー ハＷは円筒バフ１７の外周部でそのＯＦ部が研磨される。尚、ウエーハ排出部ｃ に排出された前記ウエーハＷは洗浄された後、カセット１８内に収納される。

【０００８】 他方、ウエーハ保持部１５Ａに保持されて円筒バフ１７の内周部に当接せしめ られたウエーハＷは、その外周面取部が円筒バフ１７によって研磨される。

【０００９】 以後、上記動作を繰り返せば、ウエーハＷの面取部に対する研磨加工が連続的 になされる。

【００１０】 しかしながら、上記ウエーハ面取部研磨装置においては、研磨の終了したウエ ーハ保持部１５Ａ，１５Ｂは空の状態（ウエーハＷを保持していない状態）でウ エーハ吸着部ａまで戻るという無駄な動作を行なうため、加工のサイクルタイム が長くなり、加工能率が低いという問題がある。

【００１１】 そこで、回転割出式のウエーハ面取部研磨装置が提案されるが、該装置は、所 定の角度ずつ割り出されて回転する回転体と、該回転体の外周部に所定の角度ピ ッチで回転自在に支承された複数のウエーハ保持部と、該ウエーハ保持部の回転 駆動手段と、同ウエーハ保持部が回転体の回転と共に移動する経路に配されたウ エーハ面取部研磨手段を含んで構成される。

【００１２】 而して、上記回転割出式ウエーハ面取部研磨装置によれば、回転体が１回転す れば、ウエーハの吸着から面取部研磨を経て洗浄、排出に至る一連の工程が終了 し、この工程中において同ウエーハ保持部は空の状態（ウエーハを保持していな い状態）での戻り動作を行なうことがないため、無駄な動作が省かれ、サイクル タイムが短縮されて加工能率の向上が図られる。

【００１３】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、従来の回転割出式ウエーハ面取部研磨装置における実際の加工に際 しては、ウエーハ吸着部に未加工のウエーハで満たされた充カセットをセットし 、ウエーハ排出側に空カセットをセットして自動運転に入るため、１カセット分 の枚数のウエーハの面取部研磨が終了する度にウエーハ供給側から空のカセット を取り出し、ウエーハ排出側に別の空のカセットをセットする作業が必要であり 、その作業が面倒であるとともに、装置の連続運転が不可能であるという問題が あった。

【００１４】 本考案は上記問題に鑑みてなされたもので、その目的とする処は、ウエーハ供 給側から空カセットを取り除き、ウエーハ排出側に空カセットを設置する作業を 省略することができ、作業工数を削減して加工能率を高めることができる回転割 出式ウエーハ面取部研磨装置を提供することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成すべく本考案は、所定の角度ずつ割り出されて回転する回転体 と、該回転体の外周部に所定の角度ピッチで回転自在に支承された複数のウエー ハ保持部と、該ウエーハ保持部の回転駆動手段と、同ウエーハ保持部が回転体の 回転と共に移動する経路に配されたウエーハ面取部研磨手段を含んで構成される 回転割出式ウエーハ面取部研磨装置において、ウエーハ供給側にセットされたカ セットが空になると、該カセットをそのままウエーハ排出側に移動させてこれを セットすることを特徴とする。

【００１６】

【作用】

本考案によれば、ウエーハ供給側のカセットが空になると、該カセットがその ままウエーハ排出側に自動的に移動してその中に加工済みのウエーハが順次収納 されるため、ウエーハ供給側から空カセットを取り除き、ウエーハ排出側に空カ セットを設置する作業を省略することができ、作業工数を削減して加工能率を高 めることができる。

【００１７】

【実施例】

以下に本考案の一実施例を添付図面に基づいて説明する。

【００１８】 図１は本考案に係る回転割出式ウエーハ面取部研磨装置の縦断面図、図２は図 １のＸ−Ｘ線断面図である。

【００１９】 図において、１は円板状の回転体であって、該回転体１は上下の軸受２，３に よって回転自在に支承された垂直の回転軸４の上端に水平に固定されている。尚 、回転軸４及び回転体１は不図示の駆動手段によって所定角度ずつ（本実施例で は、６０°ずつ）割り出されて回転駆動される。

【００２０】 ところで、上記回転体１の外周部には６つのウエーハ吸着盤５Ａ，５Ｂ，５Ｃ ，５Ｄ，５Ｅ，５Ｆが等角度ピッチ（６０°ピッチ）で回転自在に支承されて配 されており、各ウエーハ吸着盤５Ａ〜５Ｆと回転体１上に固設されたウエーハ駆 動モータ６との間には無端状のベルト７が巻装されている。尚、各ウエーハ吸着 盤５Ａ〜５Ｆは不図示の真空源に接続されている。

【００２１】 而して、図１に示すように、ウエーハ吸着盤５Ａ〜５Ｆの回転軌跡上の６箇所 には、ウエーハ吸着部Ａ、１段ウエーハ研磨部Ｂ、２段ウエーハ研磨部Ｃ、ウエ ーハ洗浄部Ｄ、ウエーハ排出部Ｅ、ウエーハ吸着盤洗浄部Ｆの各ステーションが 等角度ピッチ（６０°ピッチ）で配設されている。

【００２２】 上記１段ウエーハ研磨部Ｂは、ウエーハＷのＯＦ部以外の外周面取部を研磨す るステーションであって、その構成は図２に示される。即ち、図２において、１ ０は上方が開口する円筒バフであって、該円筒バフ１０はバフ駆動部１１によっ て所定速度で回転駆動されるとともに、昇降動せしめられ、更にはウエーハＷに 所定圧で押圧される。

【００２３】 又、前記２段ウエーハ研磨部Ｃは、ウエーハＷのＯＦ部を研磨するステーショ ンであって、これは図１に示す円柱状の外筒バフ１２を含んで構成されている。

【００２４】 次に、本回転割出式ウエーハ面取部研磨装置の作用を説明する。

【００２５】 ウエーハ吸着盤５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，５Ｄ，５Ｅ，５Ｆが図１に示すようにウエ ーハ吸着部Ａ、１段ウエーハ研磨部Ｂ、２段ウエーハ研磨部Ｃ、ウエーハ洗浄部 Ｄ、ウエーハ排出部Ｅ、ウエーハ吸着盤洗浄部Ｆの各ステーションにそれぞれ位 置しているとき、ウエーハ吸着部Ａにおいては、カセット２０に収納されたウエ ーハＷが１枚ずつ取り出されてウエーハ吸着盤５Ａに吸着される。尚、ウエーハ Ｗの吸着は、ウエーハ吸着盤５Ａが不図示の真空源によって真空引きされること によってなされる。

【００２６】 又、１段ウエーハ研磨部Ｂにおいても、ウエーハ吸着盤５Ｂには別のウエーハ （ウエーハ吸着部Ａにて既に吸着されたウエーハ）Ｗが吸着されており、ここで はウエーハ駆動モータ６が駆動されてウエーハ吸着盤５Ｂ及びウエーハＷが所定 速度で回転駆動され、ウエーハＷはその外周面取部が同じく回転駆動される円筒 バフ１０によって研磨（１段研磨）される。

【００２７】 更に、２段ウエーハ研磨部Ｃにおいては、ウエーハ吸着盤５Ｃには更に別のウ エーハ（ウエーハ吸着部Ａにて吸着され、１段ウエーハ研磨部Ｂにて研磨された ウエーハ）Ｗが吸着されており、ここではウエーハ駆動モータ６が駆動されてウ エーハＷは所定の角度範囲で回動せしめられ、そのＯＦ部が回転駆動される外筒 バフ１２によって研磨（２段研磨）される。

【００２８】 又、ウエーハ洗浄部Ｄにおいては、別のウエーハ（ウエーハ吸着部Ａにて吸着 され、１段及び２段研磨部Ｂ，Ｃによる研磨が終了したウエーハ）Ｗがウエーハ 吸着盤５Ｄに吸着されており、ここでは該ウエーハＷはその非吸着面が洗浄され る。

【００２９】 更に又、ウエーハ排出部Ｅにおいては、別のウエーハ（ウエーハ吸着部Ａによ る吸着からウエーハ洗浄部Ｄでの洗浄までの工程が終了したゥエーハ）Ｗがウエ ーハ吸着盤５Ｅから離脱せしめられ、離脱したウエーハＷは不図示の搬送手段に よってカセット内２１に収納される。

【００３０】 又、ウエーハ吸着盤洗浄部Ｆにおいては、ウエーハＷを吸着していない空のウ エーハ吸着盤５Ｆのウエーハ吸着面が洗浄される。

【００３１】 而して、ウエーハ吸着部Ａ〜ウエーハ吸着盤洗浄部Ｆの各ステーションにおけ る前記各動作が終了すると、不図示の駆動手段によって回転体１が所定角度（６ ０°）だけ割り出されて回転せしめられ、ウエーハ吸着部Ａにて吸着されたウエ ーハＷは１段ウエーハ研磨部Ｂに移動し、同様に１段ウエーハ研磨部Ｂにて研磨 されたウエーハＷは２段ウエーハ研磨部Ｃに、２段ウエーハ研磨部Ｃで研磨され たウエーハＷはウエーハ洗浄部Ｄに、ウエーハ洗浄部Ｄにて洗浄されたウエーハ Ｗはウエーハ排出部Ｅにそれぞれ移動し、それぞれのウエーハＷは１段ウエーハ 研磨部Ｂ、２段ウエーハ研磨部Ｃ、ウエーハ洗浄部Ｄ、ウエーハ排出部Ｅで各々 前述と同じ処理を受ける。

【００３２】 又、ウエーハ吸着盤洗浄部Ｆでそのウエーハ吸着面が洗浄されたウエーハ吸着 盤５Ｆは、ウエーハ吸着部Ａに移動してカセット２０から供給される新たなウエ ーハＷを吸着する。

【００３３】 以上の動作を繰り返せば、１つのウエーハ吸着盤（例えば、５Ａ）が１回転す ると、これに吸着されたウエーハＷに対する吸着から研磨及び洗浄を経て排出に 至る一連の工程が終了し、全体としては、回転体１が１／６回転する毎に加工が 終了したウエーハＷが次々と排出されてカセット２１内に収納される。

【００３４】 而して、本実施例によれば、ウエーハ吸着盤５Ａ〜５Ｆは一連の工程中におい て空の状態（ウエーハＷを保持していない状態）での戻り動作を行なうことがな いため、無駄な動作が省かれ、サイクルタイムが短縮されて加工能率の向上が図 られる。

【００３５】 ところで、本実施例においては、ウエーハ供給側のカセット２０が空になると 、該カセット２０が図１に矢印にて示すようにそのままウエーハ排出側に自動的 に移動してセットされ、ウエーハ排出側においては加工済みのウエーハＷで満た されたカセット２１が取り除かれる。そして、ウエーハ供給側には未加工ウエー ハＷが収納されたカセット１９が補給され、該カセット１９内のウエーハＷが前 記一連の工程を経て加工されると、加工済みのウエーハＷはウエーハ排出側に移 動した空カセット２０内に順次収納される。従って、本実施例によれば、ウエー ハ供給側から空カセットを取り除き、ウエーハ排出側に空カセットを設置する作 業を省略することができ、その分だけ作業工数を削減して加工能率を高めること ができる。

【００３６】

【考案の効果】

以上の説明で明らかな如く、本考案によれば、所定の角度ずつ割り出されて回 転する回転体と、該回転体の外周部に所定の角度ピッチで回転自在に支承された 複数のウエーハ保持部と、該ウエーハ保持部の回転駆動手段と、同ウエーハ保持 部が回転体の回転と共に移動する経路に配されたウエーハ面取部研磨手段を含ん で回転割出式ウエーハ面取部研磨装置において、ウエーハ供給側のカセットが空 になると、該カセットがそのままウエーハ排出側に自動的に移動してその中に加 工済みのウエーハが順次収納されるため、ウエーハ供給側から空カセットを取り 除き、ウエーハ排出側に空カセットを設置する作業を省略することができ、作業 工数を削減して加工能率を高めることができるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る回転割出式ウエーハ面取部研磨装
置の縦断面図である。

【図２】図１のＸ−Ｘ線断面図である。

【図３】従来のウエーハ面取部研磨装置の平面図であ
る。

【図４】従来のウエーハ面取部研磨装置の正断面図であ
る。

【符号の説明】

１ 回転体 ５Ａ〜５Ｆ ウエーハ吸着盤（ウエーハ保持部） ６ ウエーハ駆動モータ（回転駆動手段） １９〜２１ カセット Ａ ウエーハ吸着部 Ｂ １段ウエーハ研磨部（ウエーハ面取部の
研磨手段） Ｃ ２段ウエーハ研磨部（ウエーハ面取部の
研磨手段） Ｄ ウエーハ洗浄部 Ｅ ウエーハ排出部 Ｆ ウエーハ吸着盤洗浄部

フロントページの続き (72)考案者 黒田 泰嘉 福島県西白河郡西郷村大字小田倉字大平 150番地信越半導体株式会社半導体白河研 究所内

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の角度ずつ割り出されて回転する回
   転体と、該回転体の外周部に所定の角度ピッチで回転自
   在に支承された複数のウエーハ保持部と、該ウエーハ保
   持部の回転駆動手段と、同ウエーハ保持部が回転体の回
   転と共に移動する経路に配されたウエーハ面取部研磨手
   段を含んで構成される回転割出式ウエーハ面取部研磨装
   置において、ウエーハ供給側にセットされたカセットが
   空になると、該カセットをそのままウエーハ排出側に移
   動させてこれをセットすることを特徴とする回転割出式
   ウエーハ面取部研磨装置。