JPH06119775A - 半導体メモリ装置 - Google Patents

半導体メモリ装置

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JPH06119775A
JPH06119775A JP4268745A JP26874592A JPH06119775A JP H06119775 A JPH06119775 A JP H06119775A JP 4268745 A JP4268745 A JP 4268745A JP 26874592 A JP26874592 A JP 26874592A JP H06119775 A JPH06119775 A JP H06119775A
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timing
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祐子 尾関
Yoshio Fudeyasu
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    • G11C29/18Address generation devices; Devices for accessing memories, e.g. details of addressing circuits
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  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【構成】 ダイナミックランダムアクセスメモリ(DR
AM)であって、改善されたカラム系イネーブル回路1
0を備える。回路10は、外部から与えられるタイミン
グ制御信号Stcに応答して、カラム系イネーブル信号
/CEを出力する。ATD94は信号/CEに応答して
活性化された後、アドレス信号の遷移を検出する。 【効果】 ATD94の活性化タイミングが外部信号に
よって決定され得るので、ATD94の活性化直後のア
ドレス遷移検出動作を容易にテストすることができる。
したがって、テストに要する時間が短縮され得る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、一般に半導体メモリ
装置に関し、特に、アドレス遷移検出器を備えた半導体
メモリ装置における改善に関する。
【0002】
【背景の技術】従来より、ダイナミックランダムアクセ
スメモリ(以下「DRAM」という)およびスタティッ
クランダムアクセスメモリ(以下「SRAM」という)
などの半導体メモリは、様々な電子機器において用いら
れている。一般に半導体メモリは、製造工場において出
荷前に様々なテストが行なわれる。DRAMおよびSR
AMについても、出荷前に様々なテストが行なわれるの
であるが、これらの半導体メモリの集積度が高くなるに
つれ、テストに要する時間が増加される傾向にある。し
たがって、一般にテストに要する時間を短縮するための
工夫が半導体メモリにおいて求められている。
【0003】一方、アドレス遷移検出器(以下「AT
D」という)は、DRAMおよびSRAMなど様々な半
導体メモリまたは半導体装置において用いられている。
ATDは、外部から与えられるアドレス信号の遷移を検
出し、パルス信号(一般に「ATDパルス」と呼ばれ
る)を発生する。半導体メモリは、ATDパルスに応答
して動作を開始する様々な回路を備えている。
【0004】この発明は、一般にATDを備えた半導体
メモリに適用可能であるが、以下の記載では、この発明
がDRAMに適用される例について説明する。
【0005】図5は、この発明の背景を示すDRAMの
ブロック図である。図5を参照して、このDRAM20
0は、多数のメモリセルを備えたメモリセルアレイ85
と、外部から与えられるアドレス信号A0〜Anを受け
るアドレスバッファ81と、受信されたアドレス信号に
応答してメモリセルアレイ85の行および列をそれぞれ
指定するためのロウデコーダ82およびカラムデコーダ
83と、メモリセルから読出されたデータ信号を増幅す
るためのセンスアンプ84とを含む。入力データDiは
データ入力回路86を介して与えられる。出力データD
oはデータ出力回路87を介して出力される。
【0006】ロウアドレスストローブ信号/RASは、
RAS入力バッファ92を介してクロックジェネレータ
88に与えられる。カラムアドレスストローブ信号/C
ASは、CAS入力バッファ91を介してクロックジェ
ネレータ88に与えられる。クロックジェネレータ88
は、DRAM200中に設けられた様々な回路を制御す
るためのクロック信号を発生する。
【0007】DRAM200は、さらに、DRAM20
0におけるカラム系回路をイネーブルするためのカラム
系イネーブル回路20と、カラム系イネーブル信号/C
Eに応答してアドレス遷移検出信号Satを発生するA
TD94とを含む。カラム系回路として、カラムデコー
ダ83,データ入力回路86およびデータ出力回路87
などが含まれる。データ出力回路87には、図9におい
て示されたプリアンプ31,メインアンプ32および出
力バッファ33が含まれる。
【0008】カラム系イネーブル回路20は、クロック
ジェネレータ88から与えられるクロック信号/RAS
A,/REFおよびSODを受ける。内部ロウアドレス
ストローブ信号/RASAは、外部から与えられる信号
/RASに同期している。内部リフレッシュ信号/RE
Fは、クロックジェネレータ88内に設けられたリフレ
ッシュモード判定回路(図示せず)から発生される。信
号/REFが低レベルであるとき、DRAM200はC
ASビフォアRASリフレッシュサイクルにおいて動作
する。信号SODは、センスアンプ84によるセンス動
作の終了を示している。信号SODは、メモリセルアレ
イ85内に設けられているワード線(図示せず)のため
のワード線活性化信号の活性化タイミングを遅延させる
ことにより、クロックジェネレータ88において発生さ
れる。
【0009】カラム系イネーブル回路20は、低レベル
の信号/RASAならびに高レベルの信号/REFおよ
びSODに応答して低レベルのカラム系イネーブル信号
/CEを出力し、他の場合には高レベルの信号/CEを
出力する。低レベルの信号/CEに応答して、ATD9
4が活性化される。ATD94が活性化された後、AT
D94はアドレスバッファ81を介して与えられるアド
レス信号A0ないしAnの遷移を検出し、アドレス遷移
検出信号Satを発生する。すなわち、ATD94は、
ロウアドレス信号からカラムアドレス信号への遷移を検
出し、ATDパルスを含む信号Satを発生する。
【0010】カラムデコーダ83,データ入力回路86
およびデータ出力回路87は、アドレス遷移検出信号S
atに応答して活性化される。特に、データ出力回路8
7は、プリアンプ,メインアンプおよび出力バッファを
備えており、これらの回路が信号Satに応答して活性
化される。
【0011】図9は、図5に示したデータ出力回路87
の回路図である。図9を参照して、データ出力回路87
は、センスアンプ84により増幅されたデータ信号Sd
を受けるプリアンプ31と、プリアンプ31の出力に接
続されたメインアンプ32と、メインアンプ32の出力
に接続された出力バッファ33とを含む。出力バッファ
33を介して、出力データDoが出力される。プリアン
プ31,メインアンプ32および出力バッファ33は、
図5に示したATD94からの出力信号Satに含まれ
るATDパルスAPに応答して活性化される。
【0012】図6は、従来のビット線周辺回路の一部を
示す回路図である。図6に示した回路は、図5に示した
センスアンプ84およびメモリセルアレイ85内に設け
られている。図7は、図6に示した回路の動作を説明す
るためのタイミングチャートである。図6に示したビッ
ト線周辺回路に関する記載は、1985年に開催された
国際固体回路会議(ISSCC85)のダイジェスト・
オブ・テクニカルペーパーズの252頁ないし253頁
に記載されている。
【0013】図6および図7を参照して、読出動作にお
いて、ワード線WLiが活性化されたとき(すなわちワ
ード線WLiの電位が高レベルになったとき)、メモリ
セルMCのスイッチングトランジスタQsがオンする。
したがって、メモリセルMC内のキャパシタCsにスト
アされていたデータ信号が、ビット線BLj上に現われ
る。トランジスタQ1ないしQ4によって構成されたセ
ンスアンプ5が、活性化制御信号SP およびSN に応答
して活性化されるので、ビット線BLjと/BLjとの
間に現われた微小な電位差がセンスアンプ84によって
増幅される。カラムデコーダ83から高レベルのカラム
選択信号YjがトランジスタQ8およびQ9のゲートに
与えられるので、トランジスタQ8およびQ9がオンす
る。したがって、センスアンプ84により増幅されたデ
ータ信号がIO線対6a,6bに与えられる。IO線対
6a,6b上のデータ信号は、データ出力回路87に伝
送される。図7において、センス終了信号SODが示さ
れている。
【0014】図3は、図5に示したカラム系イネーブル
回路20の回路図である。図3を参照して、カラム系イ
ネーブル回路20は、インバータ11ないし15と、N
ANDゲート16と、NORゲート17とを含む。信号
/RASAは、インバータ11を介してNANDゲート
16に与えられる。信号/REFは、インバータ12お
よび13を介してNANDゲート16に与えられる。信
号SODは、インバータ14を介してNORゲート17
に与えられる。NORゲート17は、NANDゲート1
6の出力信号をも受ける。NORゲート17の出力信号
は、インバータ15によって反転された後、カラム系イ
ネーブル信号/CEとして出力される。
【0015】動作において、低レベルの信号/RASA
ならびに高レベルの信号/REFおよびSODが与えら
れたとき、カラム系イネーブル回路20は低レベルの信
号/CEを出力し、他の場合には、高レベルの信号/C
Eを出力する。
【0016】図8は、図3に示したカラム系イネーブル
回路20の動作を説明するためのタイミングチャートで
ある。図3および図8を参照して、次にカラム系イネー
ブル回路20の動作について説明する。
【0017】外部から与えられる信号/RASの立下が
りに応答して、内部信号/RASAが立下がる。信号/
RASの立下がりに応答して、外部から与えられるアド
レス信号A0ないしAnがロウアドレス信号RAとして
アドレスバッファ81により保持される。ロウアドレス
信号RAはロウデコーダ82に与えられる。このとき、
カラム系イネーブル回路20は、高レベルの信号/CE
を出力する。
【0018】時刻tseにおいて、センス終了信号SO
Dが立上がる。信号SODの立上がりは、センスアンプ
84によるセンス動作が終了したことを示している。す
なわち、図7に示されるように、センス終了信号SOD
は、ワード線信号WLiが立上がりかつセンスアンプ8
4が活性化された後(図7を参照)、予め定められた時
間が経過した後立上がる。たとえば、センス終了信号S
ODは、ワード線信号WLiを遅延させることにより生
成される。
【0019】図3に示したカラム系イネーブル回路20
において、NANDゲート16は、低レベルの信号/R
ASAおよび高レベルの信号/REFに応答して、低レ
ベルの出力信号をNORゲート17に与える。センス終
了信号SODが立上がる前、高レベルの信号がNORゲ
ート17に与えられるので、NORゲート17は低レベ
ルの信号を出力する。したがって、高レベルのカラム系
イネーブル信号/CEがインバータ15を介して出力さ
れる。
【0020】センス終了信号SODが立上がった後、低
レベルの信号がNORゲート17に与えられるので、N
ORゲート17は高レベルの信号を出力する。したがっ
て、低レベルのカラム系イネーブル信号/CEがインバ
ータ15を介して出力される。
【0021】図8を参照して、時刻tseにおいてセン
ス終了信号SODが立上がる。信号SODの立上がりに
応答して、カラム系イネーブル回路94が低レベルのカ
ラム系イネーブル信号/CEを出力する。ATD94の
出力信号Satは、ATD94が活性化された後低レベ
ルに変化する。ATD94の活性化の後、ATD94
は、アドレス信号A0ないしAnの遷移、すなわちロウ
アドレス信号RAからカラムアドレス信号CAへの遷移
に応答して、ATDパルスAP(図8において破線によ
り示される)を発生する。図5に示したカラムデコーダ
83,データ入力回路86およびデータ出力回路87
は、信号Satに含まれるATDパルスAPに応答して
活性化される。
【0022】図10は、図5に示したATD回路94の
回路図である。図10を参照して、ATD回路94は、
PMOSトランジスタ41ないし44と、NMOSトラ
ンジスタ45,46,50ないし5nと、インバータ4
7,48と、EXORゲート60ないし6nと、遅延素
子70ないし7nとを含む。動作において、まず、低レ
ベルの内部ロウアドレスストローブ信号/RASAが与
えられるので、トランジスタ41がオンする。これに加
えて、低レベルのカラム系イネーブル信号/CEが与え
られるので、トランジスタ42,43がオンする。トラ
ンジスタ41,42および43の導通によりATD回路
94が活性化され、インバータ47は低レベルの出力信
号Satを出力する。
【0023】アドレス信号A0ないしAnが変化したと
き、EXORゲート60ないし6nのうちの対応するも
のが短いパルスを発生する。したがって、トランジスタ
50ないし5nのうちの対応するものが導通するので、
出力信号Satは与えられたパルス幅の間高レベルにな
る。その結果ATDパルスAPが出力信号Satとして
出力される。
【0024】高レベルのカラム系イネーブル信号/CE
が与えられたとき、トランジスタ45が導通するので、
ATD回路94は高レベルの出力信号Satを出力す
る。したがって、ATD回路94は、非活性化期間にお
いて、アドレス信号A0ないしAnの変化に応答して動
作せず、高レベルの出力信号Satを出力し続ける。
【0025】
【発明が解決しようとする課題】前述のように、センス
終了信号SODは、ワード線信号が活性化された後予め
定められた時間長さが経過した後立上げられる。しかし
ながら、センス終了信号SODの半導体基板上での伝送
速度は、個々のデバイス、すなわち個々のDRAMによ
って異なっている。すなわち、半導体基板上にDRAM
に必要な回路が形成されるのであるが、製造工程におけ
る製造パラメータ(たとえば、製造における精度,製造
の周囲温度等)の変動などの理由により、センス終了信
号SODの立上がりタイミングが早められたり遅くなっ
たりする。言い換えると、図8に示した時刻tseがデ
バイスによって変動する。このことは次のような問題を
引き起こす。
【0026】ATD回路94は、理想的には、活性化さ
れた直後からアドレス信号の遷移を検出し、所望のAT
DパルスAPを発生する必要がある。しかしながら、A
TD回路94が活性化された直後では、ATD回路94
が短時間において不安定に動作することがある。したが
って、個々のDRAMの出荷前のテストにおいて、AT
D回路94が活性化された直後に正常な読出および書込
動作が行なわれ得るかどうかを判定する必要がある。も
し、正常な読出および書込動作が行なわれない場合で
は、そのDRAMは不良品として廃棄される。このテス
トは、テストデータをDRAMに書込み、所望のデータ
が読出されるか否かを検出することによって行なわれ
る。
【0027】したがって、上記のテストを実行するため
には、ATD回路94の出力信号Satが立下がった直
後に、アドレス信号A0ないしAnを遷移させる必要が
ある。しかしながら、前述のように、センス終了信号S
ODの立上がりタイミングが変動するため、信号Sat
の立下がりタイミングが変動することとなり、その結
果、所望のタイミングで、言い換えると信号Satが立
下がった直後のタイミングでアドレス信号A0ないしA
nを遷移させるのが難しい。
【0028】その結果、従来のテストでは、図8に示し
た予め定められた期間T2内の様々なタイミングt11
ないしt17でアドレス信号A0ないしAnを遷移さ
せ、各遷移タイミングについてデータ書込およびデータ
読出を繰返すことにより、テストが行なわれてきた。遷
移タイミングt11ないしt17の中には、テストのた
めの所望のタイミング(すなわちATD回路94の活性
化直後のタイミング)t13が含まれているので、すべ
てのタイミングt11ないしt17について所望のデー
タが読出され得ることを確認することにより、テストさ
れたDRAMが出荷に適したものであるか否かが判定さ
れる。もし、タイミングt11ないしt17のいずれか
において、書込まれたデータが読出されない場合では、
テストされたDRAMは不良品として廃棄される。
【0029】このように、従来のDRAMについてテス
トを実行するのに、複数のタイミングt11ないしt1
7についてデータ読出およびデータ書込を行なう必要が
あるので、テストの実行するのに要する時間が増大され
ていた。
【0030】この発明は、上記のような課題を解決する
ためになされたもので、ATD回路を備えた半導体メモ
リ装置をテストするのに要する時間を短縮することを目
的とする。
【0031】
【課題を解決するための手段】この発明に係る半導体メ
モリ装置は、行および列に配設された複数のメモリセル
を備えたメモリセルアレイと、メモリセルにストアされ
ていたデータ信号を増幅するセンスアンプ手段と、セン
スアンプ手段によるセンス動作の終了を示すセンス終了
信号を発生する手段と、外部から与えられるアドレス信
号の遷移を検出するアドレス遷移検出器手段と、センス
終了信号に応答してアドレス遷移検出器手段を活性化さ
せる活性化手段と、外部から与えられるタイミング制御
信号に応答して、活性化手段による活性化タイミングを
制御するタイミング制御手段とを含む。
【0032】
【作用】この発明における半導体メモリ装置では、タイ
ミング制御手段が、外部から与えられるタイミング制御
信号に応答して活性化手段による活性化タイミングを制
御する。したがって、アドレス遷移検出器手段の活性化
タイミングおよびアドレス信号の遷移タイミングを外部
から個々に決定できるので、テストにおいてアドレス信
号を異なったタイミングで繰返し遷移させる必要がな
い。したがって、テストに要する時間が短縮され得る。
【0033】
【実施例】図1は、この発明の一実施例を示すDRAM
のブロック図である。図1を参照して、DRAM100
は、改善されたカラム系イネーブル回路10を含む。カ
ラム系イネーブル回路10は、新たに設けられた外部端
子30を介して、外部から与えられるタイミング制御信
号Stcを受ける。
【0034】図2は、図1に示したカラム系イネーブル
回路10の回路図である。図2を参照して、カラム系イ
ネーブル回路10は、図3に示した回路20と比較する
と、2つの入力ノードを有するNORゲート17に代え
て、3つの入力ノードを有するNORゲート18を備え
る。NORゲート18の第3の入力ノードは、外部端子
30に接続される。端子30を介して、タイミング制御
信号Stcが与えられる。
【0035】図4は、図2に示したカラム系イネーブル
回路10の動作を説明するためのタイミングチャートで
ある。図2および図4を参照して、次にカラム系イネー
ブル回路10の動作について説明する。
【0036】信号/RASの立下がりに応答して、内部
信号/RASAが立下がる。クロックジェネレータ88
から高レベルの信号/REFが与えられる。したがっ
て、NANDゲート16は、低レベルの信号/RASA
および高レベルの信号/REFに応答して、低レベルの
出力信号をNORゲート18に与える。センス終了信号
SODが立上がる前、高レベルの信号がインバータ14
からNORゲート18に与えられるので、NORゲート
18は低レベルの信号を出力する。したがって、高レベ
ルのカラム系イネーブル信号/CEがインバータ15を
介して出力される。
【0037】時刻tseにおいて、センス終了信号SO
Dが立上がる。この立上がりタイミングtseは、前述
のようにデバイスごとの様々な条件により変動され得
る。信号SODが立上がった後、低レベルの信号がイン
バータ14からNORゲート18に与えられる。しかし
ながら、NORゲート18は、外部から指定された時刻
tecまでは高レベルのタイミング制御信号Stcを受
けるので、引き続き低レベルの信号を出力する。したが
って、時刻tecまでは、高レベルのカラム系イネーブ
ル信号/CEがインバータ15を介して出力される。
【0038】時刻tecにおいて、外部から与えられる
タイミング制御信号Stcが立下がる。信号Stcの立
下がりに応答して、NORゲート18の出力信号が立上
がる。したがって、時刻tceの後、低レベルのカラム
系イネーブル信号/CEがインバータ15を介して出力
される。図1に示したATD回路94は、低レベルの信
号/CEに応答して活性化される。
【0039】ATD94が活性化されるとすぐに、AT
D94の出力信号Satが立下がる。したがって、信号
Satの立下がりタイミングが、外部から与えられるタ
イミング制御信号Stcの立下がりタイミングtecに
よりほぼ決定されるので、テストにおいてアドレス信号
A0ないしAnを遷移させるべきタイミングを正確に認
識することができる。すなわち、テストにおいてATD
94が活性化された直後にアドレス信号A0ないしAn
を遷移させる必要があるのであるが、外部タイミング制
御信号Stcの立下がりタイミングtecがわかってい
るので、テストされるべきアドレス遷移タイミングt1
3を容易に決定することができる。したがって、図8に
示した期間T2における場合のように、アドレス信号A
0ないしAnをたくさんの回数繰返し遷移させる必要が
ない。その結果、図4に示した期間T1において、図8
に示した期間T2の場合と比較して、僅かな回数だけア
ドレス信号A0ないしAnの遷移を繰り返すだけで十分
であるので、テストに要する時間が短縮され得る。
【0040】アドレス遷移検出信号Satに含まれるA
TDパルスAPは、図1に示したカラムデコーダ83,
データ入力回路86およびデータ出力回路87に与えら
れる。これらの回路83,86および87は、ATDパ
ルスAPに応答して活性化される。テストにおいて、図
4に示した時刻tecにおいて、外部から与えられるタ
イミング制御信号Stcが立下げられる。これに加え
て、時刻t13において、外部から与えられるアドレス
信号A0ないしAnがロウアドレスRAからカラムアド
レスCAに変化される。したがって、時刻t13の後A
TDパルスAPがATD94から発生され、回路83,
86および87がパルスAPに応答して活性化される。
テストにおいて、データ書込の後所望のデータが読出さ
れることを確認することにより、DRAMの「正常」が
判定される。
【0041】外部タイミング制御信号Stcはテストに
おいて時刻tecにおいて立下げられるが、通常の動
作、すなわちテスト動作を除く動作が行なわれるとき、
信号Stcは少なくとも時刻tseよりも前に低レベル
に変化される(図4において破線により示される)。場
合によっては、外部端子30を接地することにより、低
レベルの信号Stcが与えられ続ける。時刻tseより
前に低レベルの信号Stcを与えることにより、図2に
示したカラム系イネーブル回路10は、図3に示した回
路20と同様に動作する。
【0042】上記の実施例では外部端子30が新たに設
けられ、端子30を介して外部タイミング制御信号St
cが与えられている。その他の好ましい実施例では、外
部から与えられる信号Stcに代えて、図4に示した信
号Stcと同様のタイミングで変化する内部信号が用い
られ得る。場合によっては、信号Stcと同様のタイミ
ングで変化する内部信号を発生する回路が設けられる。
【0043】このように、図1に示したDRAM100
では、外部から与えられるタイミング制御信号Stcの
立下がりタイミングtecにより、ATD94の活性化
タイミングが決定される。したがって、ATD94の活
性化直後に、テストされるべき最も適したタイミングt
13においてアドレス信号A0ないしAnを遷移させる
ことができる。したがって、図4に示した期間T1にお
いてテストされるべきアドレス遷移タイミングの数が減
少され得るので、テストに要する時間を短縮させること
ができる。
【0044】上記の記載では、この発明がDRAMに適
用される例について説明がなされたが、この発明は、一
般にアドレス遷移検出器(ATD)を備えた半導体メモ
リに広く適用され得ることが指摘される。
【0045】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、外部
から与えられるタイミング制御信号に応答して、アドレ
ス遷移検出器手段のための活性化手段の活性化タイミン
グを制御するタイミング制御手段を設けたので、テスト
に要する時間を短縮することができる半導体メモリ装置
が得られた。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例を示すDRAMのブロック
図である。
【図2】図1に示したカラム系イネーブル回路の回路図
である。
【図3】図5に示したカラム系イネーブル回路の回路図
である。
【図4】図2に示した回路の動作を説明するためのタイ
ミングチャートである。
【図5】この発明の背景を示すDRAMのブロック図で
ある。
【図6】従来のビット線周辺回路の回路図である。
【図7】図6に示した回路の動作を説明するためのタイ
ミングチャートである。
【図8】図3に示した回路の動作を説明するためのタイ
ミングチャートである。
【図9】図5に示したデータ出力回路の回路図である。
【図10】図5に示したATD回路の回路図である。
【符号の説明】
10 カラム系イネーブル回路 30 外部端子 94 ATD回路 100 DRAM Stc 外部タイミング制御信号 SOD センス終了信号 /CE カラム系イネーブル信号 Sat アドレス遷移検出信号 AP ATDパルス

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 行および列に配設された複数のメモリセ
    ルを備えたメモリセルアレイと、 前記メモリセルにストアされていたデータ信号を増幅す
    るセンスアンプ手段と、 前記センスアンプ手段によるセンス動作の終了を示すセ
    ンス終了信号を発生する手段と、 外部から与えられるアドレス信号の遷移を検出するアド
    レス遷移検出器手段と、 センス終了信号に応答して、前記アドレス遷移検出器手
    段を活性化させる活性化手段と、 外部から与えられるタイミング制御信号に応答して、前
    記活性化手段による活性化タイミングを制御するタイミ
    ング制御手段とを含む、半導体メモリ装置。
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