JPH06118015A - 磁気ディスク表面検査システム - Google Patents
磁気ディスク表面検査システムInfo
- Publication number
- JPH06118015A JPH06118015A JP29640992A JP29640992A JPH06118015A JP H06118015 A JPH06118015 A JP H06118015A JP 29640992 A JP29640992 A JP 29640992A JP 29640992 A JP29640992 A JP 29640992A JP H06118015 A JPH06118015 A JP H06118015A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- spindle
- disk
- surface inspection
- magnetic disk
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 磁気ディスク表面検査システムのスループッ
トを向上する。 【構成】 表面検査システムの表面検査部６Ａと裏面検
査部６Ｂのそれぞれを、駆動モータ613 により１８０°
反転する反転円板611 と、反転円板の回転中心に対して
対称的に配設された、４個スピンドルモータ612 よりな
るスピンドル機構61Ａ，61Ｂと、２個の光学系621,622
よりなる検査光学部62Ａ，62とにより構成する。反転円
板611 の反転により、上側および下側に停止した各２個
のスピンドルモータを、ハンドリング機構３と各検査光
学部62Ａ，62Ｂにそれぞれ対応させる。上側に停止した
各スピンドルモータにディスク２-1, ３-2を装着し、所
定の回数数に立ち上げて待機する。下側に停止した各ス
ピンドルモータに装着されたディスク２-3, ２-4の検査
終了後、反転円板を反転して、待機中のディスク２-1,
２-2を各検査光学部に対応させ、表面および裏面の検査
を行う。
トを向上する。 【構成】 表面検査システムの表面検査部６Ａと裏面検
査部６Ｂのそれぞれを、駆動モータ613 により１８０°
反転する反転円板611 と、反転円板の回転中心に対して
対称的に配設された、４個スピンドルモータ612 よりな
るスピンドル機構61Ａ，61Ｂと、２個の光学系621,622
よりなる検査光学部62Ａ，62とにより構成する。反転円
板611 の反転により、上側および下側に停止した各２個
のスピンドルモータを、ハンドリング機構３と各検査光
学部62Ａ，62Ｂにそれぞれ対応させる。上側に停止した
各スピンドルモータにディスク２-1, ３-2を装着し、所
定の回数数に立ち上げて待機する。下側に停止した各ス
ピンドルモータに装着されたディスク２-3, ２-4の検査
終了後、反転円板を反転して、待機中のディスク２-1,
２-2を各検査光学部に対応させ、表面および裏面の検査
を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、磁気ディスクの表面
検査システムに関する。
検査システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】情報処理装置に使用されるハード磁気デ
ィスクは、アルミニュームディスクのサブストレートに
対して磁気膜を塗布して製作され、製造過程の各段階で
検査されている。サブストレートは表面が平滑である
が、もしキズなどの欠陥があると品質が劣化するので表
面検査装置により検査される。
ィスクは、アルミニュームディスクのサブストレートに
対して磁気膜を塗布して製作され、製造過程の各段階で
検査されている。サブストレートは表面が平滑である
が、もしキズなどの欠陥があると品質が劣化するので表
面検査装置により検査される。
【０００３】最近における需要の増加に対応して、多量
の磁気ディスクを効率的に検査するために、表面検査装
置はシステム化されている。図３は従来の表面検査シス
テムの基本構成例を示し、(a) は平面図、(b) は正面よ
り見た部分図である。なお、表面検査システムには磁気
ディスクを水平として検査する方式と、垂直とする方式
があるが、この場合は水平方式について説明する。図３
(a),(b) において、カセット１a に収容された未検査の
磁気ディスク（以下単にディスクという）２は、ハンド
リング機構３のハンド31によりチャックされ、表面検査
部４Ａに搬送されてスピンドルモータ41に装着される。
装着後、スピンドルモータ41によりディスク２を回転
し、これに対して検査光学系42が移動してその表面２a
が検査される。これが終了すると、スピンドルモータ41
の回転を停止し、ハンド31によりディスク２を表裏反転
部５に搬送して矢印Ｃのように表面と裏面を反転し、つ
いで裏面検査部４Ｂに搬送してスピンドルモータ41に装
着し、これを回転して裏面２b が検査される。これが終
了すると回転が停止されて次のディスク２が装着され
る。以上により両面検査が終了したディスク２は、良品
２′と不良品２″に選別され、ハンド31によりカセット
１b またはカセット１c に収容される。
の磁気ディスクを効率的に検査するために、表面検査装
置はシステム化されている。図３は従来の表面検査シス
テムの基本構成例を示し、(a) は平面図、(b) は正面よ
り見た部分図である。なお、表面検査システムには磁気
ディスクを水平として検査する方式と、垂直とする方式
があるが、この場合は水平方式について説明する。図３
(a),(b) において、カセット１a に収容された未検査の
磁気ディスク（以下単にディスクという）２は、ハンド
リング機構３のハンド31によりチャックされ、表面検査
部４Ａに搬送されてスピンドルモータ41に装着される。
装着後、スピンドルモータ41によりディスク２を回転
し、これに対して検査光学系42が移動してその表面２a
が検査される。これが終了すると、スピンドルモータ41
の回転を停止し、ハンド31によりディスク２を表裏反転
部５に搬送して矢印Ｃのように表面と裏面を反転し、つ
いで裏面検査部４Ｂに搬送してスピンドルモータ41に装
着し、これを回転して裏面２b が検査される。これが終
了すると回転が停止されて次のディスク２が装着され
る。以上により両面検査が終了したディスク２は、良品
２′と不良品２″に選別され、ハンド31によりカセット
１b またはカセット１c に収容される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】さて最近においては、
ディスクのサイズはますます小型化されるとともに、生
産量も増加しており、上記の表面検査システムをさらに
効率化することが要望されている。上記の表面検査シス
テムにおける、ディスク２のスループット時間をみる
と、表面および裏面検査部４Ａ，４Ｂにおいては、ディ
スク２は各スピンドルモータ41に装着された後、はじめ
て回転がスタートし、所定の回転数に立ち上げてから検
査されるので、この立ち上げ時間がスループットに影響
する。特にサイズが小さくて検査そのものの時間が短い
ディスクの場合は、その影響が非常に大きい。そこで、
スピンドルモータ41を２個またはそれ以上設け、その半
数に予めディスク２を装着し、これを所定の回転数に立
ち上げて待機する。一方、他の半数のスピンドルモータ
41に装着されたディスク２を検査し、検査が終了後、待
機中のディスク２と交替することとすれば、立ち上げ時
間が省略されてスループット時間の短縮化に有効であ
る。この発明は以上の考えによりなされたもので、スル
ープット効率が向上した表面検査システムを提供するこ
とを目的とする。
ディスクのサイズはますます小型化されるとともに、生
産量も増加しており、上記の表面検査システムをさらに
効率化することが要望されている。上記の表面検査シス
テムにおける、ディスク２のスループット時間をみる
と、表面および裏面検査部４Ａ，４Ｂにおいては、ディ
スク２は各スピンドルモータ41に装着された後、はじめ
て回転がスタートし、所定の回転数に立ち上げてから検
査されるので、この立ち上げ時間がスループットに影響
する。特にサイズが小さくて検査そのものの時間が短い
ディスクの場合は、その影響が非常に大きい。そこで、
スピンドルモータ41を２個またはそれ以上設け、その半
数に予めディスク２を装着し、これを所定の回転数に立
ち上げて待機する。一方、他の半数のスピンドルモータ
41に装着されたディスク２を検査し、検査が終了後、待
機中のディスク２と交替することとすれば、立ち上げ時
間が省略されてスループット時間の短縮化に有効であ
る。この発明は以上の考えによりなされたもので、スル
ープット効率が向上した表面検査システムを提供するこ
とを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、磁気ディス
ク表面検査システムであって、表面検査部と裏面検査部
のそれぞれを、駆動モータにより１８０°反転する反転
円板と、反転円板の回転中心に対して対称的に配設され
た、２個の整数倍の複数個のスピンドルモータよりなる
スピンドル機構と、検査光学部とにより構成する。複数
個のスピンドルモータのうちの、スピンドル機構の反転
円板の反転により、上側および下側に停止した各半数
を、ハンドリング機構と各検査光学部にそれぞれ対応さ
せる。上側に停止した各スピンドルモータに各磁気ディ
スクを装着し、所定の回転数に立ち上げて待機し、下側
に停止した各スピンドルモータに装着された各磁気ディ
スクの検査終了後、反転円板を１８０°反転し、待機中
の各磁気ディスクを各検査光学部に対応させ、表面およ
び裏面の検査を行う。
ク表面検査システムであって、表面検査部と裏面検査部
のそれぞれを、駆動モータにより１８０°反転する反転
円板と、反転円板の回転中心に対して対称的に配設され
た、２個の整数倍の複数個のスピンドルモータよりなる
スピンドル機構と、検査光学部とにより構成する。複数
個のスピンドルモータのうちの、スピンドル機構の反転
円板の反転により、上側および下側に停止した各半数
を、ハンドリング機構と各検査光学部にそれぞれ対応さ
せる。上側に停止した各スピンドルモータに各磁気ディ
スクを装着し、所定の回転数に立ち上げて待機し、下側
に停止した各スピンドルモータに装着された各磁気ディ
スクの検査終了後、反転円板を１８０°反転し、待機中
の各磁気ディスクを各検査光学部に対応させ、表面およ
び裏面の検査を行う。
【０００６】
【作用】この発明の表面検査システムにおいては、表面
検査部と裏面検査部にそれぞれ設けられた、２個の整数
倍の複数個のスピンドルモータは、反転円板の反転によ
り上側と下側に交替して停止し、上側に停止したその半
数がハンドリング機構に対応し、下側に停止した他の半
数が各検査光学部に対応する。上側の各スピンドルモー
タにディスクを装着し、所定の回転数に立ち上げて待機
する。一方、下側の各スピンドルモータに装着された各
ディスクは、各検査光学部により表面および裏面が検査
される。これらが終了すると、反転円板を１８０°反転
し、待機中の各ディスクを下側として各検査光学部によ
り同様に検査される。上記において、各ディスクは待機
中に、予め所定の回転数に立ち上げられているので、下
側に回ったとき直ちに検査が可能となり、立ち上げ時間
だけスループット時間が短縮される。また、複数個のス
ピンドルモータの半数に装着された各ディスクが並列に
検査されるので、スループット効率が倍増する。
検査部と裏面検査部にそれぞれ設けられた、２個の整数
倍の複数個のスピンドルモータは、反転円板の反転によ
り上側と下側に交替して停止し、上側に停止したその半
数がハンドリング機構に対応し、下側に停止した他の半
数が各検査光学部に対応する。上側の各スピンドルモー
タにディスクを装着し、所定の回転数に立ち上げて待機
する。一方、下側の各スピンドルモータに装着された各
ディスクは、各検査光学部により表面および裏面が検査
される。これらが終了すると、反転円板を１８０°反転
し、待機中の各ディスクを下側として各検査光学部によ
り同様に検査される。上記において、各ディスクは待機
中に、予め所定の回転数に立ち上げられているので、下
側に回ったとき直ちに検査が可能となり、立ち上げ時間
だけスループット時間が短縮される。また、複数個のス
ピンドルモータの半数に装着された各ディスクが並列に
検査されるので、スループット効率が倍増する。
【０００７】
【実施例】図１はこの発明の表面検査システムの一実施
例を示し、図２は図１のスピンドル機構61の一例の外観
を示す。図１に示す表面検査システムは、ディスクを垂
直として検査する垂直方式とし、前記した図３(a) の従
来の検査システムと同様に、未検査のディスク２を収容
したカセット１a と、良品２′に対するカセット１b 、
および不良品２″に対するカセット１c が配設され、ま
た、表裏反転部５を有し、これらの間にハンドリング機
構３が設けられる。これに対して、カセット１a と表裏
反転部５の間、および表裏反転部５とカセット１b,１c
の間に、それぞれスピンドル機構61Ａ，61Ｂと検査光学
部62Ａ，62Ｂとにより構成される表面検査部６Ａと裏面
検査部６Ｂを設ける。各スピンドル機構61Ａ，61Ｂは、
図２に例示するように、４個のスピンドルモータ612a,6
12b,612cおよび612dを有し、これらが反転円板611 の回
転中心に対して対称的に配設され、反転円板611 は駆動
モータ613 により１８０°反転する。ただし必要によ
り、スピンドルモータ612 は個数を２の整数倍に増減し
てもよい。次に、各検査光学部62Ａ，62Ｂは、反転円板
611 の反転により、下側となった２個のスピンドルモー
タ612 に対応して２個の光学系621,622 を有する。ま
た、ハンドリング機構３は、ハンドリングの待ち時間を
短縮するために、カセット１a と表面検査部６Ａの間は
ハンド31Ａ、両検査部６Ａと６Ｂの間はハンド31Ｂ、裏
面検査部６Ｂとカセット１b,１c の間はハンド31Ｃによ
り、分担してディスク２を搬送するように構成される。
例を示し、図２は図１のスピンドル機構61の一例の外観
を示す。図１に示す表面検査システムは、ディスクを垂
直として検査する垂直方式とし、前記した図３(a) の従
来の検査システムと同様に、未検査のディスク２を収容
したカセット１a と、良品２′に対するカセット１b 、
および不良品２″に対するカセット１c が配設され、ま
た、表裏反転部５を有し、これらの間にハンドリング機
構３が設けられる。これに対して、カセット１a と表裏
反転部５の間、および表裏反転部５とカセット１b,１c
の間に、それぞれスピンドル機構61Ａ，61Ｂと検査光学
部62Ａ，62Ｂとにより構成される表面検査部６Ａと裏面
検査部６Ｂを設ける。各スピンドル機構61Ａ，61Ｂは、
図２に例示するように、４個のスピンドルモータ612a,6
12b,612cおよび612dを有し、これらが反転円板611 の回
転中心に対して対称的に配設され、反転円板611 は駆動
モータ613 により１８０°反転する。ただし必要によ
り、スピンドルモータ612 は個数を２の整数倍に増減し
てもよい。次に、各検査光学部62Ａ，62Ｂは、反転円板
611 の反転により、下側となった２個のスピンドルモー
タ612 に対応して２個の光学系621,622 を有する。ま
た、ハンドリング機構３は、ハンドリングの待ち時間を
短縮するために、カセット１a と表面検査部６Ａの間は
ハンド31Ａ、両検査部６Ａと６Ｂの間はハンド31Ｂ、裏
面検査部６Ｂとカセット１b,１c の間はハンド31Ｃによ
り、分担してディスク２を搬送するように構成される。
【０００８】図１および図２により、上記の表面検査シ
ステムの動作を説明する。カセット１a に収容された未
検査のディスク２-1は、ハンドリング機構３のハンド31
Ａによりチャックされて表面検査部６Ａまで搬送され、
スピンドル機構61の上側のスピンドルモータ612aに装着
され、ついで次位のディスク２-2が同様にスピンドルモ
ータ612bに装着され、両ディスクは所定の回転数に立ち
上げられて待機する。一方、下側のスピンドルモータ61
2c,612d に装着されたディスク２-3, ２-4は、待機中に
すでに所定の回転数とされ、光学系621,622 によりそれ
ぞれの表面が検査されている。この検査が終了すると反
転円板611 が反転されて各ディスクは上下が入れ替わ
り、ディスク２-1, ２-2は下側に回ってそれぞれの表面
が検査される。この検査中に、上側のディスク２-3, ２
-4はハンド31Ｂにより順次に搬送されて、表裏反転部５
において表裏が矢印Ｃのように反転され、さらに裏面検
査部６Ｂにおいて、上記と同様に上側で待機し、下側で
裏面がそれぞれ検査される。また、表面検査部６Ａにお
いては、空となっているスピンドルモータ612c,612dに
対して、つぎの未検査ディスク２が装着され、上記と同
様に回転して待機する。一方、裏面検査部６Ｂで裏面検
査が終了した各ディスクは、上側に反転され、ハンド31
Ｃにより良品２′はカセット１b に、不良品２″はカセ
ット１c にそれぞれ収容される。以下同様に、カセット
１a の未検査ディスク２は、表面検査部６Ａと裏面検査
部６Ｂに搬送されて待機と検査が逐次になされて、それ
ぞれのカセット１b または１c に収容される。上記の表
面検査システムのスループット時間の実績の一例を述べ
ると、３．５インチのディスクの場合、約１３秒であ
り、２枚のディスクが並列に同時に検査されるので１枚
当たりは約６．５秒である。従って８時間稼働では４０
００枚以上を検査できるものである。
ステムの動作を説明する。カセット１a に収容された未
検査のディスク２-1は、ハンドリング機構３のハンド31
Ａによりチャックされて表面検査部６Ａまで搬送され、
スピンドル機構61の上側のスピンドルモータ612aに装着
され、ついで次位のディスク２-2が同様にスピンドルモ
ータ612bに装着され、両ディスクは所定の回転数に立ち
上げられて待機する。一方、下側のスピンドルモータ61
2c,612d に装着されたディスク２-3, ２-4は、待機中に
すでに所定の回転数とされ、光学系621,622 によりそれ
ぞれの表面が検査されている。この検査が終了すると反
転円板611 が反転されて各ディスクは上下が入れ替わ
り、ディスク２-1, ２-2は下側に回ってそれぞれの表面
が検査される。この検査中に、上側のディスク２-3, ２
-4はハンド31Ｂにより順次に搬送されて、表裏反転部５
において表裏が矢印Ｃのように反転され、さらに裏面検
査部６Ｂにおいて、上記と同様に上側で待機し、下側で
裏面がそれぞれ検査される。また、表面検査部６Ａにお
いては、空となっているスピンドルモータ612c,612dに
対して、つぎの未検査ディスク２が装着され、上記と同
様に回転して待機する。一方、裏面検査部６Ｂで裏面検
査が終了した各ディスクは、上側に反転され、ハンド31
Ｃにより良品２′はカセット１b に、不良品２″はカセ
ット１c にそれぞれ収容される。以下同様に、カセット
１a の未検査ディスク２は、表面検査部６Ａと裏面検査
部６Ｂに搬送されて待機と検査が逐次になされて、それ
ぞれのカセット１b または１c に収容される。上記の表
面検査システムのスループット時間の実績の一例を述べ
ると、３．５インチのディスクの場合、約１３秒であ
り、２枚のディスクが並列に同時に検査されるので１枚
当たりは約６．５秒である。従って８時間稼働では４０
００枚以上を検査できるものである。
【０００９】上記の実施例においては、スピンドルモー
タ612 を４個としたが、これを２個または６個以上とす
ることができ、その個数に従って上記のスループット時
間は当然増加または短縮する。ディスクの生産量を勘案
して適切な個数を定めればよい。ただしその場合は、検
査光学部62の光学系の個数を減少または増加することが
当然必要である。また、上記ではディスク２を垂直とし
て検査する垂直方式としたが、水平方式に対しても勿論
適用できる。
タ612 を４個としたが、これを２個または６個以上とす
ることができ、その個数に従って上記のスループット時
間は当然増加または短縮する。ディスクの生産量を勘案
して適切な個数を定めればよい。ただしその場合は、検
査光学部62の光学系の個数を減少または増加することが
当然必要である。また、上記ではディスク２を垂直とし
て検査する垂直方式としたが、水平方式に対しても勿論
適用できる。
【００１０】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明による側
面検査システムにおいては、反転円板に配設された複数
個のスピンドルモータのうち、上側にある半数に装着さ
れた各ディスクは、予め所定の回転数に立ち上げられて
待機し、反転円板の反転により下側に回ると直ちに検査
されるので、立ち上げ時間だけスループット時間が短縮
され、さらに、複数個のスピンドルモータの半数に装着
された各ディスクが並列に検査されて、スループットの
効率が倍増するもので、表面検査システムの検査効率の
向上に寄与するところには大きいものがある。
面検査システムにおいては、反転円板に配設された複数
個のスピンドルモータのうち、上側にある半数に装着さ
れた各ディスクは、予め所定の回転数に立ち上げられて
待機し、反転円板の反転により下側に回ると直ちに検査
されるので、立ち上げ時間だけスループット時間が短縮
され、さらに、複数個のスピンドルモータの半数に装着
された各ディスクが並列に検査されて、スループットの
効率が倍増するもので、表面検査システムの検査効率の
向上に寄与するところには大きいものがある。
【図１】 この発明の表面検査システムの一実施例を示
す。
す。
【図２】 図１のスピンドル機構の一例の外観を示す。
【図３】 従来の表面検査システムの基本構成の一例を
示し、(a) は平面図、(b) は正面より見た部分図であ
る。
示し、(a) は平面図、(b) は正面より見た部分図であ
る。
１a,１b,１c …カセット、２…磁気ディスク、２a …表
面、２b …裏面、２′…良品、２″…不良品、３…ハン
ドリング機構、31, 31Ａ, 31Ｂ，31Ｃ…ハンド、４Ａ…
従来の表面検査部、４Ｂ…従来の裏面検査部、41…スピ
ンドルモータ、42…検査光学系、５…表裏反転部、６Ａ
…この発明の表面検査部、６Ｂ…この発明の裏面検査
部、61Ａ，61Ｂ…スピンドル機構、611 …反転円板、61
2a,612b,612c,612d …スピンドルモータ、613 …駆動モ
ータ、62Ａ，62Ｂ…検査光学部、621,622 …光学系。
面、２b …裏面、２′…良品、２″…不良品、３…ハン
ドリング機構、31, 31Ａ, 31Ｂ，31Ｃ…ハンド、４Ａ…
従来の表面検査部、４Ｂ…従来の裏面検査部、41…スピ
ンドルモータ、42…検査光学系、５…表裏反転部、６Ａ
…この発明の表面検査部、６Ｂ…この発明の裏面検査
部、61Ａ，61Ｂ…スピンドル機構、611 …反転円板、61
2a,612b,612c,612d …スピンドルモータ、613 …駆動モ
ータ、62Ａ，62Ｂ…検査光学部、621,622 …光学系。
Claims (1)
- 【請求項１】 ハンドリング機構により、磁気ディスク
を表面検査部に搬送して表面を検査した後、表面と裏面
を反転し、裏面検査部に搬送して裏面を検査する磁気デ
ィスクの表面検査システムにおいて、前記表面検査部と
裏面検査部のそれぞれを、駆動モータにより１８０°反
転する反転円板と、該反転円板の回転中心に対して対称
的に配設された、２個の整数倍の複数個のスピンドルモ
ータよりなるスピンドル機構と、検査光学部とにより構
成し、該複数個のスピンドルモータのうちの、該スピン
ドル機構の反転円板の反転により、上側および下側に停
止した各半数を、前記ハンドリング機構と前記各検査光
学部にそれぞれ対応させ、該上側に停止した各スピンド
ルモータに各磁気ディスクを装着し、所定の回転数に立
ち上げて待機し、該下側に停止した各スピンドルモータ
に装着された各磁気ディスクの検査終了後、前記反転円
板を１８０°反転し、前記待機中の各磁気ディスクを前
記各検査光学部に対応させ、表面および裏面の検査を行
うことを特徴とする、磁気ディスク表面検査システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29640992A JP2767349B2 (ja) | 1992-10-08 | 1992-10-08 | 磁気ディスク表面検査システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29640992A JP2767349B2 (ja) | 1992-10-08 | 1992-10-08 | 磁気ディスク表面検査システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06118015A true JPH06118015A (ja) | 1994-04-28 |
| JP2767349B2 JP2767349B2 (ja) | 1998-06-18 |
Family
ID=17833176
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29640992A Expired - Lifetime JP2767349B2 (ja) | 1992-10-08 | 1992-10-08 | 磁気ディスク表面検査システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2767349B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1186282A (ja) * | 1997-06-25 | 1999-03-30 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 磁気ディスク欠陥検査方法および磁気ディスク欠陥検査装置 |
| JP2008032415A (ja) * | 2006-07-26 | 2008-02-14 | Hitachi High-Technologies Corp | ディスク搬送機構、これを利用したディスク検査装置およびディスク検査方法 |
| JP2012132773A (ja) * | 2010-12-21 | 2012-07-12 | Hitachi High-Technologies Corp | パターンドメディアディスク表面検査装置及び検査方法 |
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-
1992
- 1992-10-08 JP JP29640992A patent/JP2767349B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH1186282A (ja) * | 1997-06-25 | 1999-03-30 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 磁気ディスク欠陥検査方法および磁気ディスク欠陥検査装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2767349B2 (ja) | 1998-06-18 |
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