JP2012073155A - 磁気ディスク検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
磁気ディスク検査において、カセットから取り出した磁気ディスクの両面を検査し、検査結果に応じたグレード分けをして再びカセットに戻すまでのトータルをスループットを高い状態を維持しつつ、低発塵環境の中で実施することを可能にする。
【解決手段】
カセットに収納された複数の未検査の基板をカセットから取出し、このカセットから取出した複数の基板を磁気ディスク検査装置の複数の基板取出・供給位置で複数の回転駆動部に載置し複数の検査位置に搬送し、この複数の基板を複数の回転駆動部で回転させながら光を照射して光学的に検査し、光学的な検査を終了した複数の基板を複数の基板取出・供給位置に搬送し、この搬送された複数の基板を取出し、この取出した複数の基板を検査が終了した基板を収納するカセットに光学的な検査の結果に応じて分別して収納するようにした。
【選択図】図1B
Description
Claims (10)
- 基板上の欠陥を光学的に検出する光学検査ユニットと、
前記基板を載置して回転させる基板回転駆動部を複数備えて該基板回転駆動部に載置した前記基板を前記光学検査ユニットで検査する位置と前記基板を取出・供給する位置との間を回転して搬送するテーブルユニットと、
検査前の基板を収納するカセットと検査後の基板を収納するカセットとを収容するカセット部と、
該カセット部の検査前の基板を収納するカセットから未検査の基板を取り出して前記テーブルユニットの前記基板回転駆動部に供給すると共に、前記光学検査ユニットで両面を検査し終えた基板を前記基板回転駆動部から取り出して前記カセット部の検査後の基板を収納するカセットに収納する基板ハンドリングユニットと
を備えた磁気ディスク検査装置であって、
前記光学検査ユニットと前記テーブルユニットとを複数備え、前記基板ハンドリングユニットは該複数の光学検査ユニットで検査を終えた複数の基板を前記複数のテーブルユニットから同時に取出すとともに、未検査の複数の基板を前記複数のテーブルユニットに同時に供給することを特徴とする磁気ディスク検査装置。 - 前記基板ハンドリングユニットは、多関節ロボットと、該多関節ロボットの先端部分に取り付けたチャック部とを備え、該チャック部は、前記基板をテーブルユニットに供給するためのチャックと前記検査を終えた基板を前記テーブルユニットから取出すためのチャックとの組を複数備えていることを特徴とする請求項1記載の磁気ディスク検査装置。
- 前記複数の組備えたチャックのうち、それぞれの組の前記基板を前記テーブルユニットに供給するためのチャックは、前記基板を前記テーブルユニットに対して前後させるための駆動源を共有していることを特徴とする請求項2記載の磁気ディスク検査装置。
- 前記複数の組備えたチャックのうち、それぞれの組の前記検査を終えた基板を前記テーブルユニットから取出すためのチャックは、前記基板を前記テーブルユニットに対して前後させるための駆動源を個別に有していることを特徴とする請求項2記載の磁気ディスク検査装置。
- 前記光学検査ユニットにより片面の検査を終えて前記基板回転駆動部に載置されている基板を反転させる基板反転ユニットを更に備えることを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載の磁気ディスク検査装置。
- 磁気ディスク検査装置を用いて磁気ディスクを検査する方法であって、
カセットに収納された複数の未検査の基板を該カセットから取出し、
該カセットから取出した複数の基板を前記磁気ディスク検査装置の複数の基板取出・供給位置で複数の回転駆動部に載置し、
該複数の回転駆動部に載置した基板を複数の検査位置に搬送し、
該複数の検査位置に搬送された複数の基板を前記複数の回転駆動部で回転させながら光を照射して光学的に検査し、
該光学的に検査した複数の基板を前記複数の回転駆動部に載置した状態で前記複数の基板取出・供給位置に搬送し、
該複数の基板取出・供給位置に搬送された前記光学的な検査を終了した複数の基板を取出し、
該取出した複数の基板を、検査が終了した基板を収納するカセットに前記光学的な検査の結果に応じて分別して収納する
ことを特徴とする磁気ディスクの検査方法。 - 前記複数の未検査の基板を前記カセットから取出して前記複数の回転駆動部に載置することと、前記光学的な検査を終了した複数の基板を取出して検査が終了した基板を収納するカセットに前記光学的な検査の結果に応じて分別して収納することを、前記基板を載置するためのチャックと前記光学的な検査を終了した基板を取出すためのチャックとの組合せを複数備えて多関節ロボットの先端部分に取り付けられたチャック部で行うことを特徴とする請求項6記載の磁気ディスクの検査方法。
- 前記チャック部の複数の組のチャックのうち前記基板を載置するためのチャックを前記複数の回転駆動部に対して前後させるための駆動を、共通の駆動源で駆動することを特徴とする請求項7記載の磁気ディスクの検査方法。
- 前記チャック部の複数の組のチャックのうち、前記光学的な検査を終了した基板を取出すためのチャックを前記複数の回転駆動部に対して前後させるための駆動を、個別の駆動源で行うことを特徴とする請求項7又は8に記載の磁気ディスクの検査方法。
- 前記複数の回転駆動部で回転させながら光を照射して光学的に検査した複数の基板を複数の基板取出・供給位置に搬送し、該複数の基板取出・供給位置で前記基板を同時に反転させ、該反転させた複数の基板を前記検査位置に搬送して該反転させた複数の基板を検査することにより前記複数の基板の光学的な検査を終了することを特徴とする請求項6乃至9の何れかに記載の磁気ディスクの検査方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010218990A JP2012073155A (ja) | 2010-09-29 | 2010-09-29 | 磁気ディスク検査装置及び検査方法 |
US13/210,494 US20120075624A1 (en) | 2010-09-29 | 2011-08-16 | Method and apparatus for inspecting magnetic disk |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010218990A JP2012073155A (ja) | 2010-09-29 | 2010-09-29 | 磁気ディスク検査装置及び検査方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012073155A true JP2012073155A (ja) | 2012-04-12 |
Family
ID=45870345
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010218990A Pending JP2012073155A (ja) | 2010-09-29 | 2010-09-29 | 磁気ディスク検査装置及び検査方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120075624A1 (ja) |
JP (1) | JP2012073155A (ja) |
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US20120075624A1 (en) | 2012-03-29 |
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