JP2008183681A - ディスクチャック機構およびディスクハンドリングロボット - Google Patents
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Abstract
【課題】
複数枚のチャックされたディスクを1枚ごとに効率的に受け渡しができ、ディスク検査処理のスループットを向上させることができるディスクチャック機構およびディスクハンドリングロボットを提供することにある。
【解決手段】
この発明は、中心に開口を有するディスクの内周と外周の2点でディスクをチャックする場合において、チャック部材(フィンガ)の1つにはディスクの内周に対応して所定間隔で谷溝が複数設け、他のチャック部材(フィンガ)には前記のチャック部材(フィンガ)に対して奥に向かって距離が開く傾斜(例えば階段状の切込み段差)もって谷溝を形成して、チャックの開閉(部材の接近、離間)により複数枚のディスクのうちの先頭の1枚のディスクのみの内周と外周とをチャックするようにしている。
【選択図】 図1
複数枚のチャックされたディスクを1枚ごとに効率的に受け渡しができ、ディスク検査処理のスループットを向上させることができるディスクチャック機構およびディスクハンドリングロボットを提供することにある。
【解決手段】
この発明は、中心に開口を有するディスクの内周と外周の2点でディスクをチャックする場合において、チャック部材(フィンガ)の1つにはディスクの内周に対応して所定間隔で谷溝が複数設け、他のチャック部材(フィンガ)には前記のチャック部材(フィンガ)に対して奥に向かって距離が開く傾斜(例えば階段状の切込み段差)もって谷溝を形成して、チャックの開閉(部材の接近、離間)により複数枚のディスクのうちの先頭の1枚のディスクのみの内周と外周とをチャックするようにしている。
【選択図】 図1
Description
この発明は、ディスクチャック機構およびディスクハンドリングロボットに関し、詳しくは、磁気ディスクあるいはそのサブストレートを起立させて水平一列に複数枚同時に搬送する場合において、異物の付着、外周欠け、チャック痕などを抑えて複数枚チャックされたディスクを1枚ごと効率的にディスクハンドリングロボットとカセットとの間あるいはディスクキャリア等との間で受け渡しができるようなディスクチャック機構に関する。
コンピュータ等の情報記録媒体として用いられる磁気ディスクは、近年益々高記憶密度化が要求され、かつ、ガラスディスクを基板として小型化されてきている。
ガラスディスク基板等を用いる磁気ディスクの製造工程の―例としては、まず、ラッピング加工工程、次にポリッシング加工工程、その後、第1洗浄工程、第1表面検査工程、第2洗浄工程、金属下地層形成工程、続いて磁性層形成工程、さらに保護膜形成工程などがある。
このような製造工程で保護膜を形成した後、成膜工程で発生した小突起の除去及び表面の清浄化のため、研磨装置により磁気ディスクの表面のテープクリーニング等がバーニッシュとワイピング工程で行われ、最後に第2表面検査工程で再び表面検査が行われる。
ガラスディスク基板等を用いる磁気ディスクの製造工程の―例としては、まず、ラッピング加工工程、次にポリッシング加工工程、その後、第1洗浄工程、第1表面検査工程、第2洗浄工程、金属下地層形成工程、続いて磁性層形成工程、さらに保護膜形成工程などがある。
このような製造工程で保護膜を形成した後、成膜工程で発生した小突起の除去及び表面の清浄化のため、研磨装置により磁気ディスクの表面のテープクリーニング等がバーニッシュとワイピング工程で行われ、最後に第2表面検査工程で再び表面検査が行われる。
このような工程が設けられている磁気ディスクの製造装置は、複数の工程がライン上に配置されるインライン形の製造装置が多く用いられ、基板搬送装置(ディスクキャリア)により磁気ディスクやその基板(以下これらをディスクという)を起立させて水平に一列に複数枚のディスクが一度に保持される。複数のディスクを保持するディスクキャリアは、各工程、そして工程間をコンベア搬送やリニア搬送で搬送される(特許文献1)。
特開2002−288888号公報
ところで、ハードディスクは、現在では自動車製品や家電製品、音響製品の分野にまで浸透し、2.5インチから1.8インチに、さらには0.85インチと、1.0インチ以下のハードディスク駆動装置(HDD)が使用されてきており、HDD自体が小さくなってきている。
HDDの家電製品への搭載や自動車などへの搭載が急速に進むにつれて、HDDの生産が急増してきている。その関係で、ディスクの検査がその急増に追いつかなくなっている。しかも、高記録密度の要求から、ディスクの表面の突起検査あるいは凹凸欠陥検査では、ますます低い突起や凹欠陥の検出が要求されるために検査時間がかかるようになってきている。
HDDの家電製品への搭載や自動車などへの搭載が急速に進むにつれて、HDDの生産が急増してきている。その関係で、ディスクの検査がその急増に追いつかなくなっている。しかも、高記録密度の要求から、ディスクの表面の突起検査あるいは凹凸欠陥検査では、ますます低い突起や凹欠陥の検出が要求されるために検査時間がかかるようになってきている。
検査効率を上げるために、特許文献1のようにディスクを起立させて水平一列に複数枚同時に搬送してディスクを検査することが考えられるが、特許文献1の場合も含めてディスクは、通常、1枚、1枚ハンドリングされて、ディスクカセットに収納されあるいはディスクカセットから取り出されてディスクキャリアにセットされることになる。このようなディスク1枚、1枚のハンドリングは、ディスクに異物が付きやすく、かつ、ハンドリング効率が悪い。
そこで、ディスクを起立させて水平一列に複数枚同時に搬送する場合には複数枚同時にチャックしてチャックした複数枚から1枚、1枚ディスクを受け渡すハンドリングによりディスク1枚のハンドリング時間を短縮することが考えられる。
そこで、ディスクを起立させて水平一列に複数枚同時に搬送する場合には複数枚同時にチャックしてチャックした複数枚から1枚、1枚ディスクを受け渡すハンドリングによりディスク1枚のハンドリング時間を短縮することが考えられる。
しかし、ディスクカセットから取り出すときには同時に複数枚のディスクをチャックすることが可能であるが、複数枚チャックしたハンドリングロボットから1枚、1枚ディスクを取り出す際には複数枚の全部のディスクを同時に開放し、1枚取り出した残りの複数枚のディスクをまたチャックしなければならず、残ったディスクが複数回のチャックとされることになるので、やはり、ディスクに疵や異物が付きやすい問題が生じる。
しかも、複数枚のディスクの外周を均等に保持するには、大きな力を発生させてその力を分散させてそれぞれのディスクの外周に均一に力を加える必要がある。しかし、ディスクの外径のばらつきや収納時のディスクの傾きなどにより複数枚のディスクの外周を均一にチャックすることは比較的難しいことになる。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、異物の付着、外周欠け、チャック痕などを抑えて複数枚チャックされたディスクを1枚ごと効率的にディスクハンドリングロボットとカセットとの間あるいはディスクキャリア等との間で受け渡しができるディスクチャック機構およびディスクハンドリングロボットを提供することにある。
しかも、複数枚のディスクの外周を均等に保持するには、大きな力を発生させてその力を分散させてそれぞれのディスクの外周に均一に力を加える必要がある。しかし、ディスクの外径のばらつきや収納時のディスクの傾きなどにより複数枚のディスクの外周を均一にチャックすることは比較的難しいことになる。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、異物の付着、外周欠け、チャック痕などを抑えて複数枚チャックされたディスクを1枚ごと効率的にディスクハンドリングロボットとカセットとの間あるいはディスクキャリア等との間で受け渡しができるディスクチャック機構およびディスクハンドリングロボットを提供することにある。
この目的を達成するためのこの発明のディスクチャック機構およびディスクハンドリングロボットの特徴は、内周と外周において中心に開口を有するディスクをチャックするディスクのチャック機構において、
内周に係合する谷溝が所定間隔で複数設けられた第1のチャック部材と、外周に係合する谷溝が所定間隔に対応する間隔で複数設けられた第2のチャック部材とを有し、
第1のチャック部材および第2のチャック部材のいずれか一方が自己の各谷溝で複数枚のディスクをそれぞれ保持して、いずれか他方が、いずれか一方に対して進退し、いずれか一方に保持された複数枚のディスクのうち先頭のディスクの外周だけに係合するためにいずれか他方の自己の谷溝が前側から奥に向かっていずれか一方の谷溝に対して距離が開く傾斜をもって設けられているものである。
内周に係合する谷溝が所定間隔で複数設けられた第1のチャック部材と、外周に係合する谷溝が所定間隔に対応する間隔で複数設けられた第2のチャック部材とを有し、
第1のチャック部材および第2のチャック部材のいずれか一方が自己の各谷溝で複数枚のディスクをそれぞれ保持して、いずれか他方が、いずれか一方に対して進退し、いずれか一方に保持された複数枚のディスクのうち先頭のディスクの外周だけに係合するためにいずれか他方の自己の谷溝が前側から奥に向かっていずれか一方の谷溝に対して距離が開く傾斜をもって設けられているものである。
この発明にあっては、中心に開口を有するディスクの内周と外周の2点でディスクをチャックする場合において、チャック部材(フィンガ)の1つにはディスクの内周に対応して所定間隔で谷溝を複数設け、他のチャック部材(フィンガ)には前記のチャック部材(フィンガ)に対して奥に向かって距離が開く傾斜(例えば階段状の切込み段差)もって谷溝を形成して、チャックの開閉(部材の接近、離間)により複数枚のディスクのうちの先頭の1枚のディスクのみの内周と外周とをチャックするようにしている。
先頭より後ろとなるチャックされないディスクは、一方のチャック部材(フィンガ)の谷溝に支持され、ディスクの重心がこの谷溝の支持点よりも下側になるので安定して複数枚のディスクを支持することができる。
ディスクを移動する際には進退する他方のチャック部材(フィンガ)との間で先頭のディスクがチャックされているので、風圧や振動等を受けても先頭のディスクが固定状態になっているので、これがバッファとなって、チャックされていない後ろのディスクの前後振動などが防止される。
さらに、ディスクキャリア等へのディスクの受け渡しの際の複数枚のディスクの位置決めは、先頭の一枚を位置決めすれば残りのディスクの位置決めも実質的に完了する。すなわち、残りのディスクは、単に一方のチャック部材(フィンガ)の谷溝のピッチ分だけシフトして保持されているので、そのピッチ分の移動でハンドリング位置への位置決めが済む。これにより、ディスクの受け渡し動作が簡単となり、しかも、繰り返し複数枚のディスクをチャックする必要がないのでディスクに疵や異物が付き難い。
その結果、この発明のディスクチャック機構およびディスクハンドリングロボットは、外周欠けやチャック痕、異物の付着を抑えて複数枚チャックされたディスクを1枚ごとに効率的にカセットあるいはディスクキャリア等との間で受け渡しができ、ディスク検査装置の検査処理のスループットを向上させることができる。
先頭より後ろとなるチャックされないディスクは、一方のチャック部材(フィンガ)の谷溝に支持され、ディスクの重心がこの谷溝の支持点よりも下側になるので安定して複数枚のディスクを支持することができる。
ディスクを移動する際には進退する他方のチャック部材(フィンガ)との間で先頭のディスクがチャックされているので、風圧や振動等を受けても先頭のディスクが固定状態になっているので、これがバッファとなって、チャックされていない後ろのディスクの前後振動などが防止される。
さらに、ディスクキャリア等へのディスクの受け渡しの際の複数枚のディスクの位置決めは、先頭の一枚を位置決めすれば残りのディスクの位置決めも実質的に完了する。すなわち、残りのディスクは、単に一方のチャック部材(フィンガ)の谷溝のピッチ分だけシフトして保持されているので、そのピッチ分の移動でハンドリング位置への位置決めが済む。これにより、ディスクの受け渡し動作が簡単となり、しかも、繰り返し複数枚のディスクをチャックする必要がないのでディスクに疵や異物が付き難い。
その結果、この発明のディスクチャック機構およびディスクハンドリングロボットは、外周欠けやチャック痕、異物の付着を抑えて複数枚チャックされたディスクを1枚ごとに効率的にカセットあるいはディスクキャリア等との間で受け渡しができ、ディスク検査装置の検査処理のスループットを向上させることができる。
図1は、この発明のディスクチャック機構を適用した一実施例の説明図、図2は、ディスクカセットとハンドリングロボットの関係の説明図、そして図3は、その複数枚のディスクのチャックについての説明図である。
なお、各図において同一の構成要素は同一の符号で示し、その説明を割愛する。
図1において、9は、ハンドリングロボットであって、そのハンド2がXYZ方向に移動する。
ハンドリングロボット9は、中心に開口を有するディスク1の内周と外周の2点でディスク1をチャックするハンド2を有している。
ハンド2は、ディスクチャック機構3を構成していて、アーム4から吊り下げられている。昇降機構5は、Z軸方向にアーム4を昇降し、レール6に固定されている。レール6は、その内部には昇降機構5に対するY軸移動機構が内蔵され、X軸移動機構7によりX方向に移動される。8は、ディスクカセットである。
ハンド2は、垂直方向に設けられた開閉ガイドフレーム31とこの開閉ガイドフレーム31の下側先端に取付けられ、Y方向に突き出した固定側のフィンガ32、そして開閉ガイドフレーム31に沿って上下移動する可動側のフィンガ33とを有している。これらフィンガ32とフィンガ33とがディスクチャック機構3のチャックアームになっている。
なお、各図において同一の構成要素は同一の符号で示し、その説明を割愛する。
図1において、9は、ハンドリングロボットであって、そのハンド2がXYZ方向に移動する。
ハンドリングロボット9は、中心に開口を有するディスク1の内周と外周の2点でディスク1をチャックするハンド2を有している。
ハンド2は、ディスクチャック機構3を構成していて、アーム4から吊り下げられている。昇降機構5は、Z軸方向にアーム4を昇降し、レール6に固定されている。レール6は、その内部には昇降機構5に対するY軸移動機構が内蔵され、X軸移動機構7によりX方向に移動される。8は、ディスクカセットである。
ハンド2は、垂直方向に設けられた開閉ガイドフレーム31とこの開閉ガイドフレーム31の下側先端に取付けられ、Y方向に突き出した固定側のフィンガ32、そして開閉ガイドフレーム31に沿って上下移動する可動側のフィンガ33とを有している。これらフィンガ32とフィンガ33とがディスクチャック機構3のチャックアームになっている。
開閉ガイドフレーム31には、このフレームに沿ってレール31aがZ方向に沿って取付けられ、スライドベアリング33aを介してフィンガ33が昇降機構5の駆動でレール31aに沿って上下移動する。フィンガ32とフィンガ33の接近,離間(開閉)は、エアシリンダ34の駆動によるフィンガ33の昇降により行われる。
フィンガ33は、スライドベアリング33aに逆L字ブラケット33bを介して固定され、逆L字ブラケット33bの頭部がエアシリンダ34のロッド34aにボルトにより固定されている。
エアシリンダ34は、昇降機構5の筐体に沿って曲折したクランク形のブラケット35を介して開閉ガイドフレーム31にレール31aの上側において固定されている。
フィンガ33は、スライドベアリング33aに逆L字ブラケット33bを介して固定され、逆L字ブラケット33bの頭部がエアシリンダ34のロッド34aにボルトにより固定されている。
エアシリンダ34は、昇降機構5の筐体に沿って曲折したクランク形のブラケット35を介して開閉ガイドフレーム31にレール31aの上側において固定されている。
フィンガ32は、丸棒の表面に谷溝32aを所定間隔dで複数個(図の例では5個)形成したロッドであって、その根本が開閉ガイドフレーム31にボルト32bにより固定されている。点線で示すように、複数枚のディスク1は、谷溝32aの谷の部分に係合してフィンガ32に保持される。
谷溝32aは、図面右上の谷溝32aの縦断面図に示すようにその谷底に中央付近が山となる円弧32cが形成されていて、これによりディスク1の内周との接触部を点接触状態にしている。
フィンガ33は、板材の下側面に谷溝33aを谷溝32aに対応するように所定間隔dで複数個(図の例では5個)形成したブレードであり、5個の谷溝33aはこのブレードに下向きに形成されている。ブレードの根本は、逆L字ブラケット33bにボルト33cにより固定されている。
谷溝32aは、図面右上の谷溝32aの縦断面図に示すようにその谷底に中央付近が山となる円弧32cが形成されていて、これによりディスク1の内周との接触部を点接触状態にしている。
フィンガ33は、板材の下側面に谷溝33aを谷溝32aに対応するように所定間隔dで複数個(図の例では5個)形成したブレードであり、5個の谷溝33aはこのブレードに下向きに形成されている。ブレードの根本は、逆L字ブラケット33bにボルト33cにより固定されている。
谷溝33aは、傾斜して設けられるように、フィンガ32に対して奥に向かって距離が開く昇るひな壇の切込み段差33dが設けられ、この切込み段差33dの各段の幅の中央部に谷溝33aが切り込まれて設けられている。
そこで、フィンガ33がフィンガ32の方向へ降下したときには、フィンガ33は、開口幅が最も狭くなる谷溝33aで先頭のディスク1の外周のみに係合して先頭のディスク1のみがフィンガ32とフィンガ33との間でチャックされる。そのチャックの状態は、フィンガ32とフィンガ33を点線で示すBの状態である。このチャックの状態は、ハンド2がXYZのいずれかの方向へ移動する手前で行われる。
その結果、Aの状態の実線で示すハンド2がそのままY方向に所定量移動した場合にはハンド2は点線Bで示すような状態になる。なお、点線で示すフィンガ33の降下状態は、先頭の1枚のディスク1をチャックした状態である。
そこで、フィンガ33がフィンガ32の方向へ降下したときには、フィンガ33は、開口幅が最も狭くなる谷溝33aで先頭のディスク1の外周のみに係合して先頭のディスク1のみがフィンガ32とフィンガ33との間でチャックされる。そのチャックの状態は、フィンガ32とフィンガ33を点線で示すBの状態である。このチャックの状態は、ハンド2がXYZのいずれかの方向へ移動する手前で行われる。
その結果、Aの状態の実線で示すハンド2がそのままY方向に所定量移動した場合にはハンド2は点線Bで示すような状態になる。なお、点線で示すフィンガ33の降下状態は、先頭の1枚のディスク1をチャックした状態である。
この状態で昇降機構5によりアーム4が降下すると、点線Cで示すように、ディスクカセット7に同時に複数枚のディスク1を収納することが可能になる。逆に図1の実線の状態Aからそのまま昇降機構5によりアーム4が降下してY方向に前進してディスクカセット7の5枚のディスク1の中心開口にフィンガ32を挿入して少し上昇して谷溝32aで5枚のディスク1を保持して5枚のディスク1をチャックすると、点線Cで示すような状態となり、昇降機構5によりアーム4を所定量上昇させて点線Bで示すような状態にしてから所定量後退すると図1の実線で示すような状態Aになる。これにより、ディスクカセット8から5枚のディスクを同時に取り出すことができる。
なお、ディスクカセット8は、図2に示すように、通常のものは、ハンドリングチャックが降下できるようにその側面には開口部8aが前後に形成されている。前記のハンドリングの際にはこの開口部8aにフィンガ32が挿入される。
なお、ディスクカセット8は、図2に示すように、通常のものは、ハンドリングチャックが降下できるようにその側面には開口部8aが前後に形成されている。前記のハンドリングの際にはこの開口部8aにフィンガ32が挿入される。
ところで、フィンガ32とフィンガ33とに設けられる谷溝は、所定間隔で傾斜して設けられればよい。そこで、次に説明する図2(a)および図3(a)〜(e)では、図1のハンド2とフィンガ32とフィンガ33の谷溝とを簡略化した単純な形状でハンドリングロボット9のハンド2として示してある。
図2(a)において、10は、欠陥検査装置であり、11は、欠陥検査装置10の欠陥検出光学系である。
ディスク1は、ディスクカセット8から内周・外周チャックのハンドリングロボット9により取り上げられてリニア移動ベース12上の5連プラテン(ディスクキャリア)13に順次セットされて起立した状態でX軸方向に一列にセットされる。5連プラテン13は、リニア移動ベース12上に載置されて、X軸に沿って所定の速度で移動する。
そこで、ディスク1は、X軸上を移動して検査位置14に順次連続的に位置決めされて、ここでレーザビームLによりZ走査がなされる。
リニア移動ベース12は、水平方向に移動するリニアモータと同様な移動機構であって、5連プラテン13を受ける表面には滑り止めのためにセレーションが形成されている。なお、セレーションに換えて5連プラテン13をリニア移動ベース12上に吸着固定するような構成であってもよい。
図2(a)において、10は、欠陥検査装置であり、11は、欠陥検査装置10の欠陥検出光学系である。
ディスク1は、ディスクカセット8から内周・外周チャックのハンドリングロボット9により取り上げられてリニア移動ベース12上の5連プラテン(ディスクキャリア)13に順次セットされて起立した状態でX軸方向に一列にセットされる。5連プラテン13は、リニア移動ベース12上に載置されて、X軸に沿って所定の速度で移動する。
そこで、ディスク1は、X軸上を移動して検査位置14に順次連続的に位置決めされて、ここでレーザビームLによりZ走査がなされる。
リニア移動ベース12は、水平方向に移動するリニアモータと同様な移動機構であって、5連プラテン13を受ける表面には滑り止めのためにセレーションが形成されている。なお、セレーションに換えて5連プラテン13をリニア移動ベース12上に吸着固定するような構成であってもよい。
欠陥検出光学系11は、ディスク1の検査領域にレーザビームを照射する投光系15と、検査領域からの反射光を受光する受光系16とを備えている。
投光系15は、レーザビームを受けるポリゴンミラー15aの回転の制御により、ディスク1にレーザビームLが照射される。レーザビームLは、Z方向にディスク1の外径の幅をカバーする範囲で一方向(上から下)に振られてディスク1の表面を上下に走査する。すなわち、ディスクの移動方向に直交する方向にディスク1の表面がレーザビームLにより走査される。
レーザビームLの、ディスク1からの反射光は、受光系16で受光される。受光系16は、ディスク1の検査領域からの反射光をレンズを経て受光器16aで受ける。受光器16aとしては、PMT(フォトマルチプライヤ)やAPD(アバランシェ・ホト・ダイオード)等の光電変換素子が使用される。
その結果、検査位置14に入った先頭のディスク1は、ポリゴンミラー15aの回転によりレーザビームLによりZ軸方向に走査され、レーザビームLの上から下への1走査に応じてリニア移動ベース12が5連プラテン13上のディスク1をX方向に所定のピッチで移動させる。これにより、XZ平面でディスク1の全面走査が行われる。
投光系15は、レーザビームを受けるポリゴンミラー15aの回転の制御により、ディスク1にレーザビームLが照射される。レーザビームLは、Z方向にディスク1の外径の幅をカバーする範囲で一方向(上から下)に振られてディスク1の表面を上下に走査する。すなわち、ディスクの移動方向に直交する方向にディスク1の表面がレーザビームLにより走査される。
レーザビームLの、ディスク1からの反射光は、受光系16で受光される。受光系16は、ディスク1の検査領域からの反射光をレンズを経て受光器16aで受ける。受光器16aとしては、PMT(フォトマルチプライヤ)やAPD(アバランシェ・ホト・ダイオード)等の光電変換素子が使用される。
その結果、検査位置14に入った先頭のディスク1は、ポリゴンミラー15aの回転によりレーザビームLによりZ軸方向に走査され、レーザビームLの上から下への1走査に応じてリニア移動ベース12が5連プラテン13上のディスク1をX方向に所定のピッチで移動させる。これにより、XZ平面でディスク1の全面走査が行われる。
5連プラテン13には、ディスク1の直径D(図2(b)参照)に対応して起立して設けられた一対の浅い谷溝付きのアーム130a,130bが5対、X軸に沿って所定間隔で一列に配列されて設けられている。その谷溝131は、図2(b)のA−A断面図に示されるように、一対のアーム130a,130bの内側に対向するようにディスク1の表裏のチャンファ(面取部)に係合する深さで設けられている。
リニア移動ベース12は、空の5連プラテン13をX軸方向に移動し、この移動において、一対のアーム130a,130bの間にハンドリングロボット9が降下して、降下されたディスク1が谷溝131に沿って上から挿入されてディスク1が図示するようにそれぞれのアーム130a,130bの間に保持される。
なお、一対のアーム130a,130bは、下側より数mm程度上部が開いていて、ハンドリングロボット9によるディスクの挿入がし易くなっている。アーム130a,130bのそれぞれの谷溝131は、アーム130a,130bの中間位置まで形成され、図2(b)に示すように、各谷溝131の間の距離がディスク1の直径Dに対応している。そこで、ディスク1は、谷溝131の端で止まって図示するようにアーム130a,130bの途中で保持される。
リニア移動ベース12は、空の5連プラテン13をX軸方向に移動し、この移動において、一対のアーム130a,130bの間にハンドリングロボット9が降下して、降下されたディスク1が谷溝131に沿って上から挿入されてディスク1が図示するようにそれぞれのアーム130a,130bの間に保持される。
なお、一対のアーム130a,130bは、下側より数mm程度上部が開いていて、ハンドリングロボット9によるディスクの挿入がし易くなっている。アーム130a,130bのそれぞれの谷溝131は、アーム130a,130bの中間位置まで形成され、図2(b)に示すように、各谷溝131の間の距離がディスク1の直径Dに対応している。そこで、ディスク1は、谷溝131の端で止まって図示するようにアーム130a,130bの途中で保持される。
図3は、空の5連プラテン13にディスク1を装着する場合のハンド2からのディスクの抜き取り動作の説明図である。
図3(a)は、ハンド2がディスクカセット8から5枚のディスク1をピックアップした状態である。この状態でハンド2を空の5連プラテン13の先頭の一対のアーム130a,130bの上部の所定の位置に位置決めした状態が図3(b)である。なお、図3(b)〜図3(e)は、ディスク1の中央で断面した断面図として示してある。
図3(b)の状態で、ハンド2が一対のアーム130a,130bの上部からアームに沿って降下してアーム130a,130bの谷溝131へ先頭のディスク1を挿入してハンド2がアーム130a,130bの途中まで降下して先頭のディスク1がアーム130a,130bに保持される。
ここで、アーム130a,130bに保持された先頭のディスク1をエアシリンダ34を駆動してフィンガ33側を上昇させて開放する(図3(c)参照)。
図3(c)の状態でハンド2がその位置から少し下がり、ハンド2をY方向へ後退させてフィンガ32,33をアーム130a,130bに保持された先頭のディスク1から抜き、エアシリンダ34を駆動してフィンガ33を降下させてフィンガ32,33を閉じると2枚目のディスク1が先頭となるのでこのディスク1がチャックされて図3(d)の状態になる。
図3(a)は、ハンド2がディスクカセット8から5枚のディスク1をピックアップした状態である。この状態でハンド2を空の5連プラテン13の先頭の一対のアーム130a,130bの上部の所定の位置に位置決めした状態が図3(b)である。なお、図3(b)〜図3(e)は、ディスク1の中央で断面した断面図として示してある。
図3(b)の状態で、ハンド2が一対のアーム130a,130bの上部からアームに沿って降下してアーム130a,130bの谷溝131へ先頭のディスク1を挿入してハンド2がアーム130a,130bの途中まで降下して先頭のディスク1がアーム130a,130bに保持される。
ここで、アーム130a,130bに保持された先頭のディスク1をエアシリンダ34を駆動してフィンガ33側を上昇させて開放する(図3(c)参照)。
図3(c)の状態でハンド2がその位置から少し下がり、ハンド2をY方向へ後退させてフィンガ32,33をアーム130a,130bに保持された先頭のディスク1から抜き、エアシリンダ34を駆動してフィンガ33を降下させてフィンガ32,33を閉じると2枚目のディスク1が先頭となるのでこのディスク1がチャックされて図3(d)の状態になる。
この図3(d)の状態でハンド2を上昇させて元の図3(b)の高さまで上昇して元の位置決めした状態に戻った後、フィンガ32の谷溝32aの1ピッチ分だけハンド2を前進させると、2枚目となる先頭のディスク1が最初の位置決め位置に位置決めされる。
一方、このとき、リニア移動ベース12は、5連プラテン13を次の空のアーム130a,130bが位置決め位置にくるように、空のアーム130a,130bの1ピッチ分X方向に移動させている。
そこで、前記と同様に次の一対のアーム130a,130bにディスク1を装着してフィンガ32,33を開放して少し下がり、Y方向へハンド2が後退してフィンガ33を降下させて3枚目の先頭のディスクをチャックすると、図3(e)の状態になる。
以下、同様にして順次5枚のディスクを5連プラテン13に装着していく。
以上の場合、図3(b)の状態でハンド2が一対のアーム130a,130bの上部に先頭の一枚のディスク1が位置決めされる位置に最初に位置決めすれば、後のディスク1は、フィンガ32の谷溝32aのピッチ分の位置修正で位置決めが済むので5連プラテン13へのディスクの受け渡し動作が簡単になる。
この受け渡しにおいては、繰り返しチャックをする必要がなくなり、ディスクキャリア等へのディスクの受け渡しの際の5枚の位置決めが先頭の一枚を位置決めすれば残りのディスクの位置決めも完了していることになる。しかも、先頭のディスク1枚に対してチャックの開閉が行われるだけであるので、ディスクに疵や異物が付き難い。
このようにして、1枚、1枚のディスクを5連プラテン13に連続的に効率よく装着していくことができる。
一方、このとき、リニア移動ベース12は、5連プラテン13を次の空のアーム130a,130bが位置決め位置にくるように、空のアーム130a,130bの1ピッチ分X方向に移動させている。
そこで、前記と同様に次の一対のアーム130a,130bにディスク1を装着してフィンガ32,33を開放して少し下がり、Y方向へハンド2が後退してフィンガ33を降下させて3枚目の先頭のディスクをチャックすると、図3(e)の状態になる。
以下、同様にして順次5枚のディスクを5連プラテン13に装着していく。
以上の場合、図3(b)の状態でハンド2が一対のアーム130a,130bの上部に先頭の一枚のディスク1が位置決めされる位置に最初に位置決めすれば、後のディスク1は、フィンガ32の谷溝32aのピッチ分の位置修正で位置決めが済むので5連プラテン13へのディスクの受け渡し動作が簡単になる。
この受け渡しにおいては、繰り返しチャックをする必要がなくなり、ディスクキャリア等へのディスクの受け渡しの際の5枚の位置決めが先頭の一枚を位置決めすれば残りのディスクの位置決めも完了していることになる。しかも、先頭のディスク1枚に対してチャックの開閉が行われるだけであるので、ディスクに疵や異物が付き難い。
このようにして、1枚、1枚のディスクを5連プラテン13に連続的に効率よく装着していくことができる。
以上説明してきたが、実施例では、図3(a)〜(e)で示したように、先頭のディスクの外周に傾斜するようにフィンガ33に設けられる谷溝を傾斜して設ければよい。必ずしも階段状の切込み段差を設けて、その段の幅の中央部に谷溝を設ける必要はないが、そのようにすれば、その分、前のディスクと次のディスクとの間隔を大きく採ることができる。
また、実施例では、ディスクチャック機構3のチャックアームとなるフィンガ32とフィンガ33は、上側のフィンガ33が可動側となり、固定側の下側のフィンガ32に対してフィンガに形成された一方の谷溝が他方の谷溝に対して距離が開く奥に向かって昇る階段状の切込み段差が設けられている。これは先頭のディスクの外周が高くなるようにすればよいので、下側のフィンガ32を下る階段状の切込み段差を設けたブレードとし、上側のフィンガ33を丸棒としてもよい。ただし、この場合には、ブレードは、ディスク1の中心開口に入る幅であることが必要である。
さらに、実施例では、5連プラテン(ディスクキャリア)の例を挙げているが、ディスクを保持する枚数は、複数個であれば、ディスクキャリアのディスクの数は、5枚に限定されるものではない。
また、実施例では、ディスクチャック機構3のチャックアームとなるフィンガ32とフィンガ33は、上側のフィンガ33が可動側となり、固定側の下側のフィンガ32に対してフィンガに形成された一方の谷溝が他方の谷溝に対して距離が開く奥に向かって昇る階段状の切込み段差が設けられている。これは先頭のディスクの外周が高くなるようにすればよいので、下側のフィンガ32を下る階段状の切込み段差を設けたブレードとし、上側のフィンガ33を丸棒としてもよい。ただし、この場合には、ブレードは、ディスク1の中心開口に入る幅であることが必要である。
さらに、実施例では、5連プラテン(ディスクキャリア)の例を挙げているが、ディスクを保持する枚数は、複数個であれば、ディスクキャリアのディスクの数は、5枚に限定されるものではない。
1…ディスク、2…ハンド、
3…ディスクチャック機構、
4…アーム、5…昇降機構、
6…レール、7…X軸移動機構、8…ディスクカセット、
9…ハンドリングロボット、
10…欠陥検査装置、11…欠陥検出光学系、
12…リニア移動ベース、13…5連プラテン、
14…検査位置、15…投光系、16…受光系、
31…開閉ガイドフレーム、32,33…フィンガ、
34…エアシリンダ。
3…ディスクチャック機構、
4…アーム、5…昇降機構、
6…レール、7…X軸移動機構、8…ディスクカセット、
9…ハンドリングロボット、
10…欠陥検査装置、11…欠陥検出光学系、
12…リニア移動ベース、13…5連プラテン、
14…検査位置、15…投光系、16…受光系、
31…開閉ガイドフレーム、32,33…フィンガ、
34…エアシリンダ。
Claims (4)
- 内周と外周において中心に開口を有するディスクをチャックするディスクチャック機構において、
前記内周に係合する谷溝が所定間隔で複数設けられた第1のチャック部材と、
前記外周に係合する谷溝が前記所定間隔に対応する間隔で複数設けられた第2のチャック部材とを有し、
前記第1のチャック部材および第2のチャック部材のいずれか一方は自己の各前記谷溝で複数枚のディスクをそれぞれ保持して、いずれか他方は、前記いずれか一方に対して進退し、前記いずれか一方に保持された複数枚の前記ディスクのうち先頭のディスクの外周だけに係合するために自己の前記谷溝が前側から奥に向かっていずれか一方の前記谷溝に対して距離が開く傾斜をもって設けられているディスクのチャック機構。 - 前記第1のチャック部材と第2のチャック部材は、それぞれハンドに設けられた第1および第2のフィンガであって、前記第1のフィンガが固定側とされ、前記第2のフィンガが前記第1のフィンガに対して進退可能に設けられ、前記第1のフィンガに対して奥に向かって距離が開く昇る階段状の切込み段差を有し、前記第2のフィンガの前記谷溝が前記切込み段差の段の幅の中央部に設けられている請求項1記載のディスクのチャック機構。
- 前記第1のチャック部材と第2のチャック部材は、それぞれハンドに設けられた第1および第2のフィンガであって、前記第2のフィンガが固定側とされ、前記第1のフィンガが前記第2のフィンガに対して進退可能に設けられ、前記第1のフィンガに対して奥に向かって距離が開く下る階段状の切込み段差を有し、前記第2のフィンガの前記谷溝が前記切込み段差の段の幅の中央部に設けられている請求項1記載のディスクのチャック機構。
- 請求項1〜3のうちのいずれか1項記載のディスクチャック機構を有するディスクハンドリングロボット
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007020886A JP2008183681A (ja) | 2007-01-31 | 2007-01-31 | ディスクチャック機構およびディスクハンドリングロボット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007020886A JP2008183681A (ja) | 2007-01-31 | 2007-01-31 | ディスクチャック機構およびディスクハンドリングロボット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008183681A true JP2008183681A (ja) | 2008-08-14 |
Family
ID=39727040
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007020886A Pending JP2008183681A (ja) | 2007-01-31 | 2007-01-31 | ディスクチャック機構およびディスクハンドリングロボット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008183681A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014209404A (ja) * | 2008-10-22 | 2014-11-06 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 高エネルギーイオンを使用する磁気薄膜のパターン化 |
US9263078B2 (en) | 2008-02-12 | 2016-02-16 | Applied Materials, Inc. | Patterning of magnetic thin film using energized ions |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05220686A (ja) * | 1992-02-06 | 1993-08-31 | Nec Corp | 内径チャック機構 |
JPH08153329A (ja) * | 1994-11-28 | 1996-06-11 | Kao Corp | ディスク保持装置の過負荷防止装置 |
JP2002288888A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-10-04 | Anelva Corp | 基板搬送装置及びそれを用いた基板処理装置 |
JP2003047925A (ja) * | 2001-08-01 | 2003-02-18 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 処理装置 |
-
2007
- 2007-01-31 JP JP2007020886A patent/JP2008183681A/ja active Pending
Patent Citations (4)
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