JP4642714B2 - ディスク搬送機構、これを利用したディスク検査装置およびディスク検査方法 - Google Patents
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Description
そのため、ディスク検査装置にあっても多量のディスクを効率よく検査でき、かつ、検査装置を小型化せよとの要請がある。しかし、前記したようなUSP5,909,117号を代表とする従来のディスク検査装置にあっては、2.5インチ以下の小型のディスクを多数連続的に処理することはできるが、ターンテーブルを使用しているために、円板の周囲に検査ステージや反転機構等の各種の装置を配置しなければならないので、検査対象となるディスクが小さくなった割には検査装置が大型であるという問題がある。
この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決するものであって、ディスクの表裏面の検査効率を向上させることができ、ディスク検査装置の小型化が可能なディスク搬送機構を提供することにある。
この発明の他の目的は、ディスクの表裏面検査を効率よく行うことができ、かつ小型化が可能なディスク検査装置を提供することにある。
この発明のさらに他の目的は、ディスクの表面検査を効率よく行うことができるディスクの検査方法を提供することにある。
前記第2のスピンドルに装着されるディスクは、検査が終了した前記第1のスピンドルに装着されたディスクが取り外されて前記ディスク反転機構により反転されたものである。
これにより、小型のディスクを検査する場合の平面からみたディスク検査装置の長さ(前記の配列ラインの長さ)は、2個のスピンドルの間隔がディスク2枚分+α(αは余裕分)となり、これにさらにディスク検査のためのディスク1枚までの距離で済む。また、ディスク反転機構を配列ラインに対してその前あるいは後に配置する場合には、配列を含む前後方向のディスク検査装置の距離は、検査ステージの前側又は後ろ側でディスク1枚分の距離をディスク反転のための距離として検査ステージの間隔に加える程度のものとなる。さらに、検査ステージが表面欠陥検査光学系である場合には検査位置の上部に検査ステージを設けることができるので、ディスク検査装置の前後方向の距離の増加はほとんどない。
さらに、ディスク反転機構を配列ラインに対してその前あるいは後に配置する場合には、この検査装置は、ディスクハンドリング面をディスク検査位置と実質的に同一平面にできる。これにより、ディスクのハンドリング時間を短縮でき、ディスク搬送機構あるいはディスク検査装置の高さも低くできる。
しかも、この検査装置は、スピンドルが2本で済み、ディスクの検査中に検査済みディスクの反転動作をして第1のスピンドル側の位置から第2のスピンドル側の位置へ移送するようにすれば、ディスク表裏面検査が連続的にできる。特に、検査ステージを表面欠陥検査光学系とすれば、ディスクの表面検査の効率を向上させることができる。
その結果、この発明は、小型のディスクの検査を効率よく行うことができ、小型のディスク搬送機構およびこれを利用した小型な検査装置を容易に実現できる。
図1において、10はディスク搬送機構であって、1は、そのベースであり、両側にローダハンドリングロボット2とアンローダハンドリングロボット3とがベース1上に設けられている。これらハンドリングロボットは、それぞれ独立に前後にあるいは同時に前後に移動する。この検査装置の前後の関係は、検査ステージとなる表面検査光学系4を基準として、前側が図1で下側であり、後ろ側が図1で上側である。
ローダハンドリングロボット2には、中心間の距離として距離D離れてディスクチェンジャ(ハンドリングアーム)2a,2bが前後にかつロボットの中点に対して対称になるように搭載されている。アンローダハンドリングロボット3にも同じ距離D離れてディスクチェンジャ(ハンドリングアーム)3a,3bが前後にかつロボットの中点に対して対称になるように搭載されている。これらローダハンドリングロボット2とアンローダハンドリングロボット3とは、距離Dだけ前後に移動する。図1に図示する位置は、ローダハンドリングロボット2が前進位置(前側)にあり、アンローダハンドリングロボット3が後退位置(後ろ側)にある。
2c,3cは、それぞれローダハンドリングロボット2とアンローダハンドリングロボット3の前後移動をガイドするガイドレールであり、移動駆動機構は、それぞれに内蔵されている。
また、スピンドル5,6には、ディスク9の中心開口を頭部でチャックする内周チャック機構が設けられている。この内周チャック機構も周知であるので図示していない。ディスクチェンジャ2a,3aと検査対象のディスクあるいは検査が終了したディスクを収納するカセットとの間でディスクの受け渡しをするカセット側のハンドリングロボットは、スピンドル5,6と同様にディスク9を内周チャックする。その内周チャック機構は、2点あるいは3点あるいはスピンドル5,6と同様に内周全面あるいは内周側面全面を押圧してチャックするものである。このようなチャックとカセットに対してディスクを出し入れするハンドリングロボットは、例えば、特開2004−165331号等に同様なものが記載されかつその多くが周知であるので図示していはいない。また、スピンドル5,6の内周側面全面のチャック機構については出願人の特許、USP5,781,375号に開示されている。ディスクの内周と外周とをチャックするディスクチャック機構については出願人の特許、USP5,999,366に開示されている。
スピンドル5,6は、直線移動機構7によってその移動ガイドプレート71に沿って直線上を移動し、これにより表面検査光学系4の検査領域にディスク9の表面あるいは裏面を位置付ける。このようにディスクを位置付けるために直線移動機構7によってスピンドル5,6が位置付けられる、一点鎖線の線O2で示す直線上の位置をスピンドルの検査位置とする。そこで、この検査位置と図1のスピンドル5,6の初期位置P2,P5(後述)とは直線状に配置される。
ここで、スピンドル5は、ディスク9の表面側の欠陥検査のためのスピンドルとなり、スピンドル6は、ディスク9の裏面側の欠陥検査のためのスピンドルとなる。
ローダハンドリングロボット2とアンローダハンドリングロボット3との後ろ側には、ベース1上にディスク反転機構8が設けられている。ディスク反転機構8は、ディスク反転チャック機構8aとリニア移動機構8bとで構成されている。
ローダハンドリングロボット2、アンローダハンドリングロボット3が一定量降下することでディスクチェンジャ2bのチャック面とディスクチェンジャ3bのチャック面との高さがディスク反転機構8のチャック面と一致する。ディスクチェンジャ2b,ディスクチェンジャ3bのディスク外周チャックに対してディスク反転機構8がディスクを内周チャックすることで、ディスク9の受け渡し、受け取りが実質的に同一平面(図1のディスクの搬送面S、後述)で行うことができる。
この関係は、ディスク外周をチャックするディスクチェンジャ2aとディスクチェンジャ3aに対する、ディスク内周をチャックするスピンドル5とスピンドル6との関係、そしてディスク内周をチャックするカセット側のハンドリングロボットとの関係と同じである。
なお、ローダハンドリングロボット2、アンローダハンドリングロボット3が降下する一定量は、ディスクの搬送面Sと、ローダハンドリングロボット2とアンローダハンドリングロボット3との前後移動するときの面との差分に相当する。ローダハンドリングロボット2とアンローダハンドリングロボット3反転機構8との間でのディスク受け渡しあるいは受け取りが完了すると前記の一定量分上昇して前進あるいは後退する。この関係は、ローダハンドリングロボット2,3と一点鎖線の線O2に沿ってディスクを搬送するスピンドル5,6との関係も同じである。
なお、図1において、中心を結ぶ一点鎖線の線O1は、カセットからディスクを出し入れするハンドリングロボットのディスクを受け渡す場合のロード位置とアンロード位置の中心を結ぶ線であり、中心を結ぶ一点鎖線の線O2は、スピンドル5とスピンドル6のチャック位置でその中心を結ぶ線である。
これら中心を結ぶ線O1,O2,O3に対して各中心を縦に結ぶ一点鎖線とのクロス点P1,P2,P3,P4,P5,P6は、それぞれディスク9をスピンドル5,6、ディスクチェンジャ2a,2b、ディスクチェンジャ3a,3b,ディスク反転チャック機構8aが内周チャックと外周チャックとでディスク9を受け渡すポイントである。これらのクロス点P1,P2,P3,P4,P5,P6は、前記ディスク搬送面S上にある。
クロス点P1は、カセットからディスクを搬送するカセット側のハンドリングロボットがディスクチェンジャ2aにディスクを供給する位置である。ここで、ローダカセットから取り出された検査対象となるディスク9をディスクチェンジャ2aが外周チャックして内周チャックのカセット側ハンドリングロボットから受け取る。クロス点P6は、逆に排出するディスクをアンローダカセットへ収納するためにカセット側ハンドリングロボットにディスク受け渡す位置である。ここで、ディスクチェンジャ3aが外周チャックしたディスク9を内周チャックをするカセット側のハンドリングロボットに受け渡す。
図2において、20はディスク検査装置であって、ディスク搬送機構10と、制御装置11、そして駆動制御部70等からなる。
移動プレート74,75は、垂直方向に設けられた板であって、それぞれが上下2本のガイドレール76、77をガイドとしてこのレール上を図面において左右の方向に移動する。これらは、複数の軸受け78、79を介してガイドレール76、77上にそれぞれ固定されている。移動プレート74,75の上部は水平方向に90°に図面の垂直方向に折曲げられていて、この折曲部74a,75aにスピンドル5,6が載置されてそれぞれ固定されている。
ボールスクリュウ機構72の移動部のナット部分72aは、移動プレート74にその裏側で固定され、スクリュウ部分72bは、移動ガイドプレート71側に固定されたモータ72cに結合されている。これによりスクリュウ部分72bがモータ72cにより駆動される。
ボールスクリュウ機構73の移動部のナット部分73aは、移動プレート75にその裏側で固定され、スクリュウ部分73bは、移動ガイドプレート71側に固定されたモータ73cに結合されている。これによりスクリュウ部分73bは、モータ73cにより駆動される。
図3(a)では、スピンドル6が自己の初期位置(点P5)にあって、スピンドル5がスピンドル6に対して一定間隔開けて左によっている。この状態は、スピンドル5が表面検査光学系4の検査位置にディスクが位置付けられる一点鎖線の線O2上のスピンドルの検査位置に位置決めされている第1の状態である。
また、図3(b)では、スピンドル5が自己の初期位置(点P2)にあって、スピンドル6がスピンドル5に対して一定間隔開けて右によっている。この状態は、スピンドル6が表面検査光学系4の検査位置にディスクが位置付けられる一点鎖線の線O2上のスピンドルの検査位置に位置決めされている第2の状態である。ここでは、この2つの状態が制御装置11のスピンドル切換処理に応じて駆動制御部70により切換られる。
なお、表面検査光学系4の検査位置がスピンドル6側に少しよっているので、スピンドル5の移動距離は、ここでは、スピンドル6の移動距離よりも少し大きい。表面検査光学系4の検査位置をスピンドル5とスピンドル6の間の中央に設ければこれらスピンドルの移動距離は等しくできる。
また、表面検査光学系4の検査位置に位置決めされたスピンドル5あるいはスピンドル6は、駆動制御部70により回転駆動され、これにより表面検査光学系4の下の検査位置にディスク9が位置決めされてかつ回転してディスク9は検査状態に入る。また、ローダハンドリングロボット2とアンローダハンドリングロボット3の前進、後退駆動も駆動制御部70により行われる(図2参照)。
次にこれについて説明する。図4において、まず、ローダハンドリングロボット2は、前進位置で新しいディスク9をディスク供給位置で受ける。ディスク供給位置のディスク9は、ローダハンドリングロボット2の後退(ステップ(1))によりスピンドル5に装着される。スピンドル5に装着されている表面欠陥検査済みのディスク9は、この後退と同時にあるいは別のタイミングにおけるローダハンドリングロボット2の後退(ステップ(1))によりディスク反転機構8に渡される。
なお、スピンドル5とスピンドル6との図3(a)に示す第1の状態に設定するスピンドルの切換駆動の移動(ステップ(2))は、スピンドル6に装着されたディスク9の検査が完了した後のタイミングである。ここで、スピンドル5が回転駆動されて、スピンドル5に装着されたディスク9は表面の欠陥検査に入る。
スピンドル5に装着されたディスク9の表面検査が終了すると直線移動機構7によるスピンドルをこれの検査位置に設定するスピンドルの切換駆動の移動(ステップ(2))によりスピンドル5,6が図3(b)の第2の状態になる。このときには、スピンドル5が表面検査光学系4から後退してスピンドル5の検査位置から初期位置(点P2)に戻る。このとき、ディスクの裏面側を検査するためのスピンドル6に装着されたディスク9は、表面検査光学系4へ移送される。
まず、アンローダハンドリングロボット3は、後退位置でディスク反転機構8から反転されたディスク9を受ける。スピンドル6に装着されたディスク9の表面検査が終了すると、アンローダハンドリングロボット3の前進(ステップ(5))により、初期位置(点P5)においてスピンドル6に装着されている検査済みのディスク9は、ディスク排出位置である点P6へ移送される。一方、反転されたディスク9は、この前進と同時にあるいは別のタイミングにおけるアンローダハンドリングロボット3の前進(ステップ(5))によりディスク反転機構8から初期位置(点P5)にあるスピンドル6に装着される。
なお、図4の表面検査光学系4において、4aは、レーザ投光光学系であり、4bは、受光素子(APD)である。受光素子4bにより受光された散乱光に応じて検出された欠陥についての電気信号がD/A変換回路等を介して制御装置11に送出される。受光素子4bの前に置かれる受光光学系は図では省略してある。
図7のステップ101のディスク受け渡し初期のハンドリング処理において、ローダハンドリングロボット2とアンローダハンドリングロボット3とのそれぞれ独立に前後移動あるいは同時に前後移動して前記した外周/内周のチャックによるディスク9の受け渡しに従ってローダハンドリングロボット2とアンローダハンドリングロボット3とが後退し、ディスク搬送機構10の各ディスク9の状態が図5(a)の状態にあるとする。
この状態は、制御装置11の制御において、スピンドル6のディスク9がディスク排出位置点P6においてディスクチェンジャ3aを介して排出され、ローダハンドリングロボット2がディスク供給位置点P1においてディスクチェンジャ2aに新しいディスク9cを受けてローダハンドリングロボット2とアンローダハンドリングロボット3とが後退した後の状態である。
なお、図5,図6においてディスクに沿って記載した表面の文字は、ディスクの表面側が上にあることを意味し、裏面の文字は、ディスクの裏面側が上にあることを意味している。
図5(a)に図示するようにこの初期ハンドリング状態では、表面検査光学系4の下にはスピンドル6が移動していない。ローダハンドリングロボット2のディスクチェンジャ2aは後退しているが、ローダハンドリングロボット2が一定量降下していない。ディスクチェンジャ2aの新しいディスク9cは、スピンドル5に装着できる状態にある。このときには、アンローダハンドリングロボット3のディスクチェンジャ3aにはディスクはなく、アンローダハンドリングロボット3のディスクチェンジャ3bはディスク反転機構8から反転済みのディスク9aを受け取っている。この状態は、後述するステップ108eのハンドリングロボットの待機処理のときの状態に対応している。
検査終了待ちのステップ106においてYES判定となり、スピンドル5に装着されたディスク9cに対する検査が終了した時点で検査位置に設定するスピンドルの切換処理をする(ステップ107)。
これによりスピンドル5,6を第2の状態(図3(b))に設定する。すなわち、制御装置11は、直線移動機構7によりスピンドル5を自己の初期位置P2に戻し、同時にスピンドル6に装着されたディスク9aを表面検査光学系4の下の検査位置に送る。そして、ディスク9aの検査開始に入る(ステップ108)。
制御装置11は、検査開始に入ると、ディスク9aの検査中に同時にタスク処理で並行してディスク受け渡し処理(ステップ108a)、ディスク反転機構8の移動完了かの判定処理(ステップ108b)、その後にハンドリングロボットの後退処理(ステップ108c)、ディスク受け渡し処理(ステップ108d)、ローダハンドリングロボットの待機処理(ステップ108e)、そしてディスク反転機構の戻り開始し(ステップ108f)とを順次行う。
そして、ディスク反転機構8の移動が完了した時点(図6(a)参照)では制御装置11は、ステップ108bでYES判定を得て、制御装置11は、続いてステップ108cでローダハンドリングロボット2とアンローダハンドリングロボット3とを共に後退させてステップ108dに入る。
ステップ108dのディスク受け渡し処理では、制御装置11は、ディスク反転機構8により反転されたディスク9aを後退したアンローダハンドリングロボット3のディスクチェンジャ3bが受け取る。後退したローダハンドリングロボット2のディスクチェンジャ2aのディスク9d(検査対象となる新しいディスク)がスピンドル5に装着される。そして、制御装置11は、ローダハンドリングロボットの待機処理(ステップ108e)としてローダハンドリングロボット2を一定量上昇させてディスクチェンジャ2bのディスク9cをディスク反転機構8へ受け渡すための待ち状態にする。
ディスク検査中のステップ108a〜108eの処理とは別にステップ108の次に検査終了か否かの判定に入り、検査終了待ちループとなる(ステップ109)。
ステップ109においてYES判定となると、制御装置11は、スピンドル6に装着されたディスク9aの検査が終了したので検査位置に設定するスピンドルの切換移送処理を行う(ステップ110)。これにりより、各スピンドルが第1の状態(図3(a))に設定される。このときには制御装置11は、直線移動機構7によりスピンドル5に装着されたディスク9dを検査位置に設定する。同時にスピンドル6に装着されたディスク9aを自己の初期位置P5に戻す。
なお、後退したアンローダハンドリングロボット3のディスクチェンジャ3aのディスクは、前記の初期状態ではこのディスクがないが、これがあった場合でもすでに排出されているので、ディスクチェンジャ3aにはディスクはない。そこで、スピンドル6に装着されたディスク9aを装着した状態で戻すことができる。なお、スピンドル6が初期位置P5に戻るときに、ディスクチェンジャ3aの外周チャックが邪魔になるときには、ローダハンドリングロボット2と同様にアンローダハンドリングロボット3は一定量上昇させて待機位置におく。
図6(b)は、図5(a)に対応しているが、図6(a)に示すスピンドル6のディスク9aが初期位置P5にある点、そしてディスク9dが検査中である点とが図5(a)とは異なるところである。
このときには、ローダハンドリングロボット2は一定量上昇した位置にあるので、ディスク反転機構8が初期位置へと戻ったか否かの判定をするステップ102へと戻る。そして、ステップ103で前記したようにディスクチェンジャ2bからディスク反転機構8へディスク9cが受け渡される。このステップ103では、最初のステップ103のときとは異なり、すでにステップ108dでスピンドル5へのディスク9dが装着が済んでいるので、図6(b)に示すようにディスクチェンジャ2bにはディスクが存在していない。そこで、このときにはスピンドル5へのディスクの同時装着はしない。
ところで、初回のときのステップ103では、制御装置11は、反転機構8への検査済みのディスク9bの受け渡しと新しいディスク9cのスピンドル5への装着とを同時に行っている。しかし、2回目以降のステップ103では、新しい検査対象となるディスク9dのスピンドル5への装着がステップ108dにおいてすでに行われるので、ステップ108eでローダハンドリングロボットの待機処理をして反転機構8が初期位置P3へ到達したときに検査済みのディスク9bの、反転機構8への受け渡しだけを行う。これにより検査位置に設定するディスクのハンドリング処理を短縮することができる。
図7の処理と相違する点は、ステップ105bの後にディスク裏面検査側のスピンドル6をこれの検査位置の手前に待機させるスピンドル待機処理(ステップ105c)と、ステップ108dの後にディスク表面検査側のスピンドル5をこれの検査位置の手前に待機させるスピンドル待機処理(ステップ108g)を設けたことである。そしてさらにステップ108eのハンドリングロボットの待機処理に変えてローダハンドリングロボット2の前進(ステップ108h)による待機処理とその後退(ステップ108i)による反転機構8へのディスク受け渡し処理を追加したことである。
ステップ108gのスピンドル待機処理では、図9(b)に示すようにスピンドル6のディスク9aの検査中に、スピンドル5のディスク9dをスピンドル6のディスク9aに隣接させてスピンドル5の検査位置の手前に待機させる。すなわち、制御装置11は、駆動制御部70の駆動して、検査中のディスク9aに接触しない待機位置Pbまでスピンドル5を移動させる。そして、ディスク9aの検査が終了した時点で図3(a)の第1の状態にするスピンドル切換えをする。これにより、スピンドル5の検査位置までの移動時間が初期位置P2からの移動時間よりも短縮される。
このような各スピンドルの待機処理により、各スピンドルの検査位置に各スピンドルを短時間に設定することができ、検査処理のスループットを向上させることができる。
これにより、反転機構8とディスクチェンジャ2bとの衝突を回避する。さらに、ディスクチェンジャ2aのディスクのディスク反転機構8への装着がローダハンドリングロボット2の後退処理でできる。その結果、ステップ108eのローダハンドリングロボット2の待避処理が不要になる。
だだし、ディスクチャックを支持するアーム等が邪魔になるときには、スピンドル5,6のチャックが下側からディスクをチャックすることになるので、ディスクチェンジャ2a,2b,3a,3bのチャック機構は、ディスクと同一平面かあるいはディスクの上側からディスクをチャックすることが好ましい。ディスク反転チャック機構8aのチャック機構もスピンドル5,6のチャックと同様に下側からディスクをチャックすることが好ましい。
もちろん、チャック位置が重ならなければ、ディスクチェンジャ2a,2b,3a,3bとディスク反転チャック機構8aとは、ディスクを内周1点と外周2点とでチャックするようなディスクチャック機構が設けられていてもよい。このようなチャック機構については、先のUSP5,999,366に開示されている。
さらに、ディスク外周をチャックするディスクチェンジャ2a,2b,3a,3bは、ディスクを保持して前後に搬送するだけでよいので、必ずしてもチャック機構を持つ必要はない。そこで、これらは、チャック機構に換えてそれぞれディスク9の外周を3点で受けるピン等の外周支持機構としてもよい。この場合のディスク支持ピンは、先端に内側に向けて段差を設け、この段差でディスクの外周と係合して保持する受け皿のような支持機構にするとよい。
実施例におけるスピンドル5,6を設定するそれぞれのスピンドルの検査位置は、検査ステージにおけるディスクの検査位置が図面左側にずれているので、それぞれに相違しているが、スピンドル5とスピンドル6との検査位置が同じ位置になるように検査ステージにおけるディスクの検査位置を選択できることはもちろんである。
また、実施例において、ローダハンドリングロボット2とアンローダハンドリングロボット3との前進距離と後退距離が相違していてもよい。このような場合には、ローダハンドリングロボット2とアンローダハンドリングロボット3とディスク反転機構8との位置関係はそれぞれに違ってくる。
さらに、実施例では、スピンドル5とスピンドル6との間に設けられている検査ステージが表面検査光学系4となっているが、これ以外の表裏検査の検査ステージ、例えば、電気的な特性を検査するステージが表面検査光学系4の位置に配置されていてもよいことはもちろんである。
また、実施例では、磁気ディスクを中心に説明してきたが、この発明は、磁気ディスクのサブストレートを始めとして、磁気ディスク以外の円板の表裏検査について適用できることはもちろんである。
3…アンローダハンドリングロボット、
2a,2b,3a,3b…ディスクチェンジャ(ハンドリングアーム)、
4…表面検査光学系、
5,6…スピンドル、
7…直線移動機構、
8…ディスク反転機構、8a…ディスク反転チャック機構、
8b…リニア移動機構8b、9…ディスク、
10…ディスク搬送機構、70…駆動制御部、
71…移動ガイドプレート、72,73…ボールスクリュウ機構、
72c,73c…モータ、74,75…移動プレート、
76,77…ガイドレール。
Claims (19)
- ディスクの表裏を反転するディスク反転機構を有し、ディスクの表裏面を順次検査するディスク検査装置のディスク搬送機構において、
第1の初期位置と、ディスク検査のためにスピンドルが設定される検査位置、そして第2の初期位置とが直線状に配列された配列ラインの前記第1の初期位置と第2の初期位置とにそれぞれ設けられそれぞれの前記検査位置に交互に位置付けられる第1のスピンドルと第2のスピンドルと、
前記配列ラインに沿って前記第1のスピンドルと第2のスピンドルをそれぞれの前記検査位置へとそれぞれに移動させるスピンドル移動機構と、
このスピンドル移動機構を制御して前記第1のスピンドルを自己の前記検査位置に移動し、前記第1のスピンドルに装着されたディスクの検査が終了したときに前記第1のスピンドルを自己の前記検査位置から前記第1の初期位置に移動するとともに前記第2のスピンドルを自己の前記検査位置に移動し、かつ、前記第2のスピンドルに装着されたディスクの検査が終了したときに前記第2のスピンドルを自己の前記検査位置から前記第2の初期位置に移動させるとともに前記第1のスピンドルを自己の前記検査位置に移動させる制御部とを備え、
前記第2のスピンドルに装着されるディスクは、検査が終了した前記第1のスピンドルに装着されたディスクが取り外されて前記ディスク反転機構により反転されたものであるディスク搬送機構。 - 配列ラインの方向に沿って前記第1の初期位置に対応する始点位置と前記第2の初期位置に対応する終点位置との間で移動し、前記ディスク反転機構は、前記第1の初期位置にある、検査が終了した前記第1のスピンドルのディスクを前記始点位置で受けて反転して前記終点位置まで移送し、前記第2のスピンドルが前記終点位置にある前記反転されたディスクを前記第2の初期位置で受ける請求項1記載のディスク搬送機構。
- さらに前記第1のスピンドルあるいは第2のスピンドルがそれぞれ自己の前記検査位置に位置付けられたときの前記ディスクに対してこれの表面欠陥を光学的に検査するための表面欠陥検査光学系を有し、前記第1のスピンドルに装着されるディスクは磁気ディスクである請求項1記載のディスク搬送機構。
- さらに前記第1のスピンドルあるいは第2のスピンドルがそれぞれ自己の前記検査位置に位置付けられたときの前記ディスクに対してこれの表面欠陥を光学的に検査するための表面欠陥検査光学系を有し、前記第1のスピンドルに装着されるディスクは磁気ディスクである請求項2記載のディスク搬送機構。
- さらに、第1、第2のディスクハンドリングアームを有し、前記第1のディスクハンドリングアームは、前記第1の初期位置において検査が終了した前記第1のスピンドルのディスクを前記第1のスピンドルから取外して前記始点位置にある前記ディスク反転機構に渡し、
第2のディスクハンドリングアームは、前記反転されたディスクを前記終点位置において前記ディスク反転機構から受けて前記第2の初期位置にある前記第2のスピンドルに装着する請求項4記載のディスク搬送機構。 - 前記ディスク反転機構による第1のディスクの反転が前記第2のスピンドルのディスクあるいは前記第1のスピンドルのディスクの検査中に行われる請求項5記載のディスク搬送機構。
- 前記制御部は、前記第1のスピンドルを自己の前記検査位置に移動するときに前記第1の初期位置から移動し、前記第2のスピンドルを自己の前記検査位置に移動するときに前記第2の初期位置から移動する請求項6記載のディスク搬送機構。
- 前記制御部は、前記第1のスピンドルのディスクの前記検査中のときに前記第2のスピンドルを、前記第2の初期位置から検査中の前記第2のスピンドルのディスクに隣接する第1の待機位置まで移動して前記第1のスピンドルのディスクの検査が終了したときに前記第1の待機位置から自己の前記検査位置に移動し、前記第2のスピンドルのディスクの前記検査中のときに前記第1のスピンドルを、前記第1の初期位置から検査中の前記第1のスピンドルのディスクに隣接する第2の待機位置まで移動して前記第2のスピンドルのディスクの検査が終了したときに前記第2の待機位置から自己の前記検査位置に移動する請求項6記載のディスク搬送機構。
- さらに、第3、第4のディスクハンドリングアームを有し、前記第3のディスクハンドリングアームは、ディスク供給位置に搬入された検査対象となるディスクを前記ディスク供給位置から前記第1の初期位置に移送して前記第1の初期位置において前記第1のスピンドルに装着し、
前記第4のディスクハンドリングアームは、検査終了後の前記第2のスピンドルのディスクを前記第2の初期位置において前記第2のスピンドルから外してディスク排出位置にまで移送する請求項6記載のディスク搬送機構。 - さらに、第1のハンドリングロボットと第2のハンドリングロボットとを有し、前記第1のハンドリングロボットは、前記第1のディスクハンドリングアームと第3のディスクハンドリングアームとを備え、前記第2のハンドリングロボットは、前記第2のディスクハンドリングアームと第4のディスクハンドリングアームとを備え、前記第1のハンドリングロボットと、前記第1のスピンドルおよび前記反転機構とのディスク受け渡し面と、前記第2のハンドリングロボットと、前記第2のスピンドルおよび前記反転機構とのディスク受け渡し面と実質的に同一平面上にある請求項9記載のディスク搬送機構。
- 前記第1の初期位置と前記ディスク供給位置との距離と、前記第1の初期位置と前記始点位置との距離とが実質的に等しく、前記第2の初期位置と前記ディスク排出位置との距離と、前記第2の初期位置と前記終点位置との距離とが実質的に等しい請求項10記載のディスク搬送機構。
- ディスクの表裏を反転するディスク反転機構を有し、ディスクの表裏面を順次検査するディスク検査装置において、
第1の初期位置と、ディスク検査のためにスピンドルが設定される検査位置、そして第2の初期位置とが直線状に配列された配列ラインの前記第1の初期位置と第2の初期位置とにそれぞれ設けられそれぞれの前記検査位置に交互に位置付けられる第1のスピンドルと第2のスピンドルと、
前記配列ラインに沿って前記第1のスピンドルと第2のスピンドルをそれぞれの前記検査位置へとそれぞれに移動させるスピンドル移動機構と、
このスピンドル移動機構を制御して前記第1のスピンドルを検査位置に移動し、前記第1のスピンドルに装着されたディスクの検査が終了したときに前記第1のスピンドルを自己の前記検査位置から前記第1の初期位置に移動するとともに前記第2のスピンドルを自己の前記検査位置に移動し、かつ、前記第2のスピンドルに装着されたディスクの検査が終了したときに前記第2のスピンドルを自己の前記検査位置から前記第2の初期位置に移動させるとともに前記第1のスピンドルを自己の前記検査位置に移動させる制御部とを備え、
前記第2のスピンドルに装着されるディスクは、検査が終了した前記第1のスピンドルに装着されたディスクが取り外されて前記ディスク反転機構により反転されたものであるディスク検査装置。 - 前記反転機構は、前記配列ラインに直交する前あるいは後に設けられ、前記配列ラインの方向に沿って前記第1の初期位置に対応する始点位置と前記第2の初期位置に対応する終点位置との間で移動し、前記ディスク反転機構は、前記第1の初期位置にある検査が終了した前記第1のスピンドルのディスクを前記始点位置で受けて反転して前記終点位置まで移送し、前記第2のスピンドルが前記終点位置にある前記反転されたディスクを前記第2の初期位置で受ける請求項12記載のディスク検査装置。
- さらに前記第1のスピンドルあるいは第2のスピンドルがそれぞれ自己の前記検査位置に位置付けられたときの前記ディスクに対してこれの表面欠陥を光学的に検査するための表面欠陥検査光学系を有し、前記第1のスピンドルに装着されるディスクは磁気ディスクである請求項12記載のディスク検査装置。
- さらに前記第1のスピンドルあるいは第2のスピンドルがそれぞれ自己の前記検査位置に位置付けられたときの前記ディスクに対してこれの表面欠陥を光学的に検査するための表面欠陥検査光学系を有し、前記第1のスピンドルに装着されるディスクは磁気ディスクである請求項13記載のディスク検査装置。
- さらに、第1、第2のディスクハンドリングアームを有し、前記第1のディスクハンドリングアームは、前記第1の初期位置において検査が終了した前記第1のスピンドルのディスクを前記第1のスピンドルから取外して前記始点位置にある前記ディスク反転機構に渡し、
第2のディスクハンドリングアームは、前記反転されたディスクを前記終点位置において前記ディスク反転機構から受けて前記第2の初期位置にある前記第2のスピンドルに装着する請求項15記載のディスク検査装置。 - ディスクの表裏面を順次検査するディスク検査方法において、
第1の初期位置と、ディスク検査のためにスピンドルが設定される検査位置、そして第2の初期位置とが直線状に配列された配列ラインの前記第1の初期位置と第2の初期位置とにそれぞれ第1のスピンドルと第2のスピンドルとを配置してそれぞれの前記検査位置に交互に前記第1のスピンドルおよび前記第2のスピンドルを位置付け、前記第1のスピンドルに装着されたディスクあるいは前記第2のスピンドルに装着されたディスクをスピンドルに装着した状態で検査する方法であって、
前記第1のスピンドルに装着されたディスクの検査が終了したときにこの第1のスピンドルを自己の前記検査位置から前記第1の初期位置に移動させるとともに前記第2のスピンドルを自己の前記検査位置に移動するステップと、
前記第2のスピンドルに装着されたディスクの検査が終了したときにこの第2のスピンドルを自己の前記検査位置から前記第2の初期位置に移動するとともに前記第1のスピンドルを自己の前記検査位置に移動するステップと、
前記第2のスピンドルに装着されて検査が終了した前記ディスクを前記第2のスピンドルから外して排出するステップと、
前記第1のスピンドルに装着されて検査が終了した前記ディスクを反転させて前記第2のスピンドルに装着するステップとを備えるディスクをディスクの検査方法。 - 前記配列ラインに直交する前あるいは後にディスク反転機構を有し、このディスク反転機構を前記配列ラインの方向に沿って前記第1の初期位置に対応する始点位置と前記第2の初期位置に対応する終点位置との間で移動させて、前記第1の初期位置にある検査が終了した後の前記第1のスピンドルのディスクを前記始点位置で前記ディスク反転機構が受けて途中でこのディスクを反転して前記終点位置まで移送し、前記終点位置にある前記反転したディスクを前記第2のスピンドルが前記第2の初期位置で受ける請求項17記載のディスク検査方法。
- さらに前記第1のスピンドルあるいは第2のスピンドルがそれぞれ自己の前記検査位置に位置付けられたときに前記第1のスピンドルあるいは前記第2のスピンドルのディスクを表面欠陥検査光学系で検査するものであって、前記第1のスピンドルに装着されたディスクが磁気ディスクである請求項18記載のディスク検査方法。
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