JP4886734B2 - ディスク反転搬送機構およびこれを利用したディスク検査装置 - Google Patents
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Description
この種のディスク検査装置は、未検査用と検査済み用の両カセットとスピンドルとの間で、ディスクの搬送、反転を効率的に行うために、ハンドリングロボットを使用した種々のディスク搬送装置を備えている。それらのうちターンテーブル上に複数のスピンドルを配置してターンテーブルの周囲に検査ステージとディスク反転機構とを設けてターンテーブルを所定の角度回転させてディスクを反転させ、連続的にディスクの表裏を検査するディスク検査装置が公知である(特許文献1)。
また、ディスク反転機構としては、スピンドルに装着されたディスクの外周をディスクチャック機構によりチャックして、チャックしたディスクをスピンドルの頭部より上へ移動させ、楕円カムを利用して正確に180゜チャック部分を回転させて反転させた後にディスクを降ろしてスピンドルに再装着するディスク反転機構が公知である(特許文献2)。
ハードディスク駆動装置は、さらに小型化される傾向にあって、しかも、ハードディスク駆動装置自体の製品単価は低下しかつ多量のハードディスク駆動装置をコストダウンして製造することが製造メーカに要求されている。そのため、ディスク検査装置にあっても多量のディスクを効率よく検査でき、しかも検査装置を小型化せよとの要請がある。
ディスクの検査効率を向上し、検査装置を小型化するために、ディスクの表裏を検査するスピンドルをそれぞれに個別に設けて、表面側と裏面側のスピンドルをそれぞれ切換えて検査をするディスク検査システムを出願人は、日本出願特開2006−260675号として出願している(特許文献3)。
この場合、搬送中にディスクが反転できる利点はあるが、特許文献1,2に記載されているようなディスク反転機構を設けると、ディスクチャック機構のほかに、ディスクを反転駆動するための反転駆動機構、反転駆動回路、そして搬送装置とがそれぞれに必要になる欠点がある。
しかも、検査装置を小型化するためには、移動機構上にディスク反転機構を設けることが考えられが、そのようにすると移動機構が大きくなる上に、ディスク反転機構に対する反転動作のための電気的な接続、そしてディスクを反転する際のタイミング制御が移動機構の制御とともに必要になる。
この発明の他の目的は、ディスクの表裏面検査を効率よく行うことができ、かつ小型化が可能なディスク検査装置を提供することにある。
第1の位置から第2の位置まで設けられたレールと、このレール上を移動する移動台と、レールに沿って設けられコロあるいはピンが係合するカム面とそしてこのカム面の途中にコロあるいはピンが落ち込む溝とを有する板カムと、移動台に設けられクランク軸と前記コロあるいはピンをクランクピンとして有しチャック機構が結合されクランク軸の回動に応じてチャック機構を回動させるクランクとを備えていて、
移動台の移動に応じてコロあるいはピンが溝に落ち込こみ、溝から抜け出すことでクランク軸を回動させてチャック機構を回動してディスクを反転させるものである。
そこで、この発明のディスク反転搬送機構は、移動機構の移動台にクランクとチャック機構とを設け、さらにレールに沿って板カムを設けるだけで済む。別途反転のための駆動機構等を設ける必要はないので移動機構を小型化できる。その上に、電気的にチャックを反転させる駆動制御も、ディスク搬送過程での反転のタイミング制御も不要になる。
その結果、この発明は、小型のディスクの検査を効率よく行うことができ、小型のディスク反転送搬送機構およびこれを利用した小型なディスク検査装置を容易に実現できる。
図3において、10はディスク搬送機構であって、中央に表面検査光学系8が設けられ、その周囲にはディスクのハンドリング経路が設けられている。点P2の位置に表面側のディスク検査のスピンドル6(以下表面検査のスピンドル6)が配置されている。また、点P5の位置には裏面側のディスク検査のスピンドル7(以下裏面検査のスピンドル7)が配置されている。
なお、図では、点P5の位置に配置された裏面検査のスピンドル7が表面検査光学系8の下に移動した状態が示されている。この状態は、スピンドル7のディスク9がディスク検査位置に設定され、検査中の状態にある。
なお、スピンドル6,7がレール上を移動する機構は、後述するレール3とリニア移動機構2と同様な構造のものであり、ここでの発明がディスク反転にあるので後述する説明をもってその説明は割愛する。
なお、受光素子8bの前に置かれる受光光学系は図では省略してある。
図中、点P1の位置はディスクロード位置である。この位置でディスク搬送機構10のローダハンドリングロボット(図示せず)が、カセットからディスクを取出すディスクハンドリングロボット(図示せず)からディスク9を受ける。
点P3の位置は、点P2の位置に配置された表面検査のスピンドル6から表面検査済みのディスク9を前記のローダハンドリングロボットが受けてそれをディスク反転搬送機構1(図1参照)に受渡す位置である。また、このローダハンドリングロボットは、点P1の位置でロードされた未検査のディスク9を点P2の位置に移送して点P2の位置に配置された表面検査のスピンドル6にそのディスク9を装着する。
点P6の位置はディスクアンロード位置である。この位置で、アンローダハンドリングロボットが点P5の位置に配置された裏面側検査済みのディスク9を裏面検査のスピンドル7から受けて、カセットへディスクを収納するディスクハンドリングロボット(図示せず)へ受渡す。
このようなディスクハンドリング処理をするハンドリングロボットとこのハンドリングロボットを有するディスク検査装置の詳細については前記した特許文献3に記載されている。ここでの発明は、このディスクのハンドリング処理ではないため、上記の説明で止め、図では省略してある。
なお、図示はしていないが、ローダハンドリングロボットとアンローダハンドリングロボットとはそれぞれディスクを外周でチャックするチャック機構をそのハンドとして有し、それぞれにカセットへのディスク受渡し位置に対してロード位置・アンロード位置に対して前進・後退の動作をする。
このとき、表面検査のスピンドル6に装着されている表面欠陥検査済みのディスク9は、この後退と同時にあるいは別の先行するタイミングでスピンドル6から外されてローダハンドリングロボットの後退(ステップ(1)の移動)により点P3の位置に移動する。これにより検査済みのディスク9は、図1に示すディスク反転搬送機構1が待機している点P3の位置で反転搬送機構1に受渡される。
表面検査のスピンドル6に装着されたディスク9の表面検査が終了するとこのタイミングでスピンドル切換動作(ステップ(3)の移動)が行われ、これにより表面検査のスピンドル6が表面検査光学系8の下の検査位置から初期位置(点P2)に戻る。このとき、ディスクの裏面側を検査するためのスピンドル7に装着されたディスク9は、表面検査光学系8の下に裏面検査のスピンドル7が移動して検査位置に設定されれる(ステップ(3)の移動)。
ディスク検査の時間は、ディスク反転搬送機構1のディスク反転移送の時間よりも長い。しかも、ここでは、2枚のディスクを検査するまでの時間があるので、スピンドルに装着されたディスク9の表面検査が終了するより前にディスク反転搬送機構1により反転されたディスク9は、裏面検査のスピンドル7側の点P4の位置に到達して裏面検査のスピンドル7に受渡される。さらに、スピンドル6に装着されたディスク9の検査中にディスク反転搬送機構1は、元の初期位置P3まで戻ることができる。言い換えれば、反転搬送機構1は検査中に往復移動をすることができる。
一方、点P4の位置においてディスク反転搬送機構1が保持する反転されたディスク9は、この前進(ステップ(5)の移動)と同時にあるいはステップ(5)の移動後のタイミングでアンローダハンドリングロボットの前進によりディスク反転搬送機構1から受渡されて初期位置(点P5)にある裏面検査のスピンドル7に装着される。
ディスク反転搬送機構1は、リニア移動機構2を有し、点P3の位置と点P4の位置との間を往復する。そのために点P3の位置と点P4の位置とに渡って設けられたレール3上を移動し、ディスク9を点P3の位置から点P4の位置へと運ぶ。そして、アンローダハンドリングロボットに反転したディスク9を点P4の位置で受渡した後に点P3の位置へと戻る。
ディスクチャック機構4は、図1、図4に示すように、ハンド44を有し、ハンド44は、内周狭持のチャック41、42とチャック41、42を開閉支持するチャック支持部43とからなる。チャック支持部43にはチャックを上下方向に開閉するための開閉溝45(図4参照)が設けられ、チャック支持部43の内部には開閉駆動機構が設けられている。
なお、図4は、断面でディスク9をディスクチャック機構4がチャックした状態の説明図である。
ディスク9は、狭持円板41a,41bによりディスク9の中央開口内周が狭持されてチャックされる。狭持円板41a,41bは、ディスク9の中央開口より少し径が大きく、外周が斜めに面取りがされている。
図1に戻り、リニア移動機構2は、ディスクチャック機構4を載置する移動台21と、この移動台21の上部に固定されたブラケット22、そして軸23をクランク軸として有するクランク24とからなる。移動台21は、レール3との関係がリニアモータ構造とされて駆動され、点P3と点P4の位置の間を移動する。
なお、チャック支持部43は起立し、これに対してクランクアーム24bは、カム5のカム面5aとコロ24aとが係合することで、図示するように垂直方向に対して時計方向に90゜回転した位置で水平になっている。
また、コロがピンである場合には必ずしも回転可能にクランクアーム24bに取付けられている必要はない。
なお、コロ24aは、カム溝5bに確実に落ち込むように自重以上の力でカム面5aに接触係合するようにばね等によりカム面5aに対して垂直方向に多少の付勢がなされていてもよい。
これにより、クランク24のコロ24aは、リニア移動機構2の移動台21の移動とともに板カム4のカム面4aに係合してカム面4a上を転がり、これに沿って移動し、コロ24aがカム溝5bの位置にくると、コロ24aがカム溝5bに落ちてクランクアーム24bが軸23を中心として回転し、さらに移動台21が移動することでカム溝5bに落ちたコロ24aはカム溝5bから引き出される。このときのコロ24aの上下動によりクランクアーム24bが回動する。このクランクアーム24bの回転に応じて軸23が回転してチャック支持部43を回転させる。それにより、チャックされたディスク9も軸23を中心として半回転することになる。
以下で説明するディスクのチャックは、チャック41、42の上下動の動作だけである。そこで、ディスクチャックについて制御装置による駆動処理のフローチャート等についてはここでは割愛する。
ディスク9は、ローダハンドリングロボットにより外周チャックされて点P3の位置に搬送される。この点P3の位置でディスクチャック機構4の前側(図4参照)からローダハンドリングロボットによりディスクチャック機構4の開いたチャック41、42との間に挿入される(図2(a)参照)。
このチャック41、42によりディスク9が保持される高さは、軸23の中心の高さに一致している。このときのディスク9のチャックは、下側のチャック42の上昇がディスク昇降機構を兼ねるので、特別なディスク昇降機構が不要になる。なお、軸23の中心の高さは、ディスクを反転させる関係でディスク9の半径距離よりも高い位置にある。
ここで、図2(d)においては、コロ24aが移動台21の移動方向の先のカム面5aと係合することで、図示するように、クランクアーム24bは水平に保持されている。これに対して図2(g)では、コロ24aが移動台21の後ろ側のカム面5aと係合してクランクアーム24bは水平になっている。図2(g)では、クランクアーム24bは、図2(d)とは反対側であり、コロ24aの位置が図2(d)と図2(g)では軸23の中心を回転中心として実質的に180°回転している。その結果、移動台21がカム溝5bの位置を通過することでコロ24aが180°回転してチャック41、42により水平にチャックされて保持されたディスク9が反転する。
なお、カム溝5bの底は、コロ24aの落ちる最下点か、これよりさらに低い位置にある。また、コロ24aの位置を前記のように180°回転させなくても、所定の角度だけ回動させて、この回動に応じてギア等を介して軸23を180°回転させることも可能である。この場合には、ディスク9を保持したときにクランクアーム24bが水平になっている必要はない。
ところで、コロ24aをピンに換えたときにはカム面5aをピンは転がらずに摺動して移動していくことになる。
移動台21が逆に点P4の位置から点P3の位置へ戻るときには、ディスクチャック機構4は、図2(g)から図2(d)までの移動過程を経て前記とは逆に反時計方向にコロ24aが180°回転して元の状態に戻り、チャック41、42も点P3の位置では図2(a)に示すような元の状態になる。
移動台21が前記のような往復移動をすることで、ディスク反転機構1は、移動機構と一体化されてディスクの反転動作を繰り返すことが可能となる。しかも、電気的にチャックを反転させる駆動機構も反転するタイミングの制御も不要である。
また、実施例のコロは、カムフォロアとなっていて、これが係合する溝は、垂直溝になっているが、垂直溝に限定されるものではない。この溝は、クランクアームが回転できる深さで移動方向に垂直な軸において左右対称の溝であれば、例えば、V溝等であってもよい。
なお、実施例で示すコロは、溝に係合してチャック機構の軸23を回転させれば済むものであるので、回転体のコロではなく、説明してきたように単なるピンであってもよい。
さらに、実施例では、ディスク反転機構が反転するディスクについて磁気ディスクを中心に説明してきたが、この発明は、磁気ディスクのサブストレートを始めとして、磁気ディスク以外の円板のディスク反転機構に対して適用できることはもちろんである。
また、実施例ではディスクの表裏面を順次検査するディスク検査装置におけるディスク反転搬送機構について説明しているが、この発明のディスク反転搬送機構は、ディスク検査装置に限定されるものではない。
4…ディスクチャック機構、5…板カム、
6…表面側のディスク検査のスピンドル、
7…裏面側のディスク検査のスピンドル、
8…表面検査光学系、
9…ディスク、10…ディスク搬送機構、
21…移動台、22…ブラケット、
23…軸、24…クランク。
Claims (7)
- 第1の位置から第2の位置へディスクを搬送途中に前記ディスクを反転するディスク反転搬送機構において、
前記第1の位置から第2の位置まで設けられたレールと
このレール上を移動する移動台と、
前記レールに沿って設けられコロあるいはピンが係合するカム面とそしてこのカム面の途中に前記コロあるいはピンが落ち込む溝とを有する板カムと、
前記移動台に設けられ前記ディスクをチャックするチャック機構と、
前記移動台に設けられクランク軸と前記コロあるいはピンをクランクピンとして有し前記チャック機構が結合され前記クランク軸の回動に応じて前記チャック機構を回動させるクランクとを備え、
前記移動台の移動に応じて前記コロあるいはピンが前記溝に落ち込こみ、前記溝から抜け出すことで前記クランク軸を回動させて前記チャック機構を回動して前記ディスクを反転させるディスク反転搬送機構。 - 前記コロあるいはピンは、前記移動台が前記溝の位置を通過することで前記コロあるいはピンが上下動して前記クランク軸の中心を回転中心として実質的に180°回転する請求項1記載のディスク反転搬送機構。
- 前記カム面は水平面であり、前記溝は縦溝であって、前記コロあるいはピンは自重で前記縦溝に落ち込むものであり、前記移動台は、前記第1の位置と前記第2の位置との間を往復移動する請求項2記載のディスク反転搬送機構。
- 前記クランクピンはコロであり、前記ディスクは磁気ディスクあるいはそのサブストレートであり、前記チャック機構は、上下方向に開閉するチャックを有し、前記磁気ディスクあるいはそのサブストレートの内周をチャックして前記ディスクを水平に保持する請求項3記載のディスク反転搬送機構。
- 前記ディスクは磁気ディスクであり、前記チャックは、下側に位置する第1のチャックと上側に位置する第2のチャックとからなり、前記第1のチャックがハンドリングロボットから前記磁気ディスクを受けて所定の位置まで持ち上げて前記第2のチャックとの間で持ち上げた前記磁気ディスクをチャックする請求項4記載のディスク反転搬送機構。
- 前記磁気ディスクは、前記第1のチャックと前記第2のチャックにより前記クランク軸の中心の位置に対応する高さに保持される請求項5記載のディスク反転搬送機構。
- 前記請求項1乃至6のうちのいずれか1項記載のディスク反転搬送機構と表面側のディスク検査の第1のスピンドルと裏面側のディスク検査の第2のスピンドルとを有し、前記ディスク反転搬送機構は、前記第1のスピンドルから外された検査が終了した前記ディスクを前記第2のスピンドル側へと移送するディスク検査装置。
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