JPH11183394A - ディスクの表面検査方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ディスクの表面の検査を能率的に行うように
する。 【解決手段】 インデックステーブル１２ａには、ディ
スクＷを保持するためのチャックが所定の角度毎に取り
付けられており、チャックはモータにより回転駆動され
るようになっている。インデックステーブル１２ａを回
転させることにより、ディスクＷはローディング位置Ａ
１，Ａ２、検査位置Ｂ１，Ｂ２およびアンローディング
位置Ｃ１，Ｃ２に割り出し回転される。ローディング位
置Ａ１，Ａ２においてチャックに装填されたディスクＷ
がこの位置から検査位置Ｂ１，Ｂ２に搬送されるまでに
所定の検査回転数にまで立ち上げられる。検査位置Ｂ
１，Ｂ２にあっては、ここに搬送されるまでに検査回転
数となったディスクＷの表面を検査装置により直ちに検
査することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はコンピュータの記憶
媒体として使用される磁気ディスクを製造する際に所定
の表面処理が終了したディスクの表面を検査するディス
クの表面検査技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば、コンピュータの記憶媒体とし
て使用される磁気ディスクは、アルミニウム合金やガラ
スなどの素材を用いて中心部に貫通孔を有するディスク
により形成されており、その表面に磁性膜が形成される
ことになる。

【０００３】アルミニウム合金を用いてディスクを形成
する場合には、アルミニウム合金の板材からプレスによ
り所定の内外径を有するディスクを打ち抜き、そのディ
スクの表面を研削加工、ラッピング加工、ポリッシング
加工などの種々の表面処理工程を施した後に、その表面
が所定の精度となっているか否かを検査している。

【０００４】量産品であるディスクを効率良く連続的に
検査するために、インデックステーブルつまり割り出し
回転テーブルにディスクを回転自在に保持するようにし
ており、インデックステーブルを所定の角度毎に割り出
し回転させることにより、ディスクをインデックステー
ブルに装着させるローディング位置と、ディスクの表面
を検査する検査位置と、検査終了後のディスクを外部に
搬出するアンローディング位置とに順次インデックステ
ーブルを回転させるようにしている。インデックステー
ブルには、所定のピッチ毎にディスクを保持するための
チャックが設けられている。

【０００５】磁気ディスクはディスクの両方の表面に磁
性膜を形成することにより製造されることになるので、
１つのインデッスクテーブルにおいて磁気ディスクを反
転させるようにしたり、２つのインデックステーブルを
隣接して配置し、一方のインデッスクテーブルを用いて
ディスクの一方面を検査した後に、他方のインデックス
テーブルを用いてディスクの他方面を検査するようにし
ている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】いずれのタイプの検査
装置にあっても、検査位置にまでインデックステーブル
の回転により搬送されたディスクに対しては、レーザー
スポット光などのスポット光を照射してその反射光を受
光することによって表面に傷が付いているか、あるいは
表面にゴミなどの異物が付着しているかなどの表面状態
を検査するようにしている。この検査に際しては、ディ
スクを回転させた状態として、スポット光を径方向に移
動つまりスキャニングすることにより、ディスクの表面
全体を検査することができる。

【０００７】能率良く短時間で所定の検査を行うため
に、検査時には、チャックに保持されたディスクを、チ
ャックによりたとえば６０００ｒｐｍ程度に回転させて
いる。この程度の回転数にまで高速回転させると、ディ
スクの表面を７秒程度で測定検査することができる。

【０００８】しかしながら、ディスクの表面を検査する
場合には、ディスクの中心部に形成された貫通孔にチャ
ックを貫通させそのチャックによりディスクを把持する
ようにしているので、貫通孔に傷が付かないように、チ
ャックによりディスクをあまり強く締め付けることはで
きない。そのため、検査位置にまで搬送された後にディ
スクを停止状態から前述した検査回転数にまで回転数を
短時間で立ち上げると、チャックとディスクとの間にず
れが生じてしまうので、停止状態から検査回転数までに
所定の時間をかけて立ち上げるようにしている。検査終
了後に検査回転数から停止状態にまで立ち下げる場合に
も同様の時間をかけている。

【０００９】このように、従来では、インデックステー
ブルを回転させてローディング位置から検査位置までデ
ィスクが搬送された後に、ディスクを回転させ始めて所
定の検査回転数となってから検査しているので、検査に
要する時間に加えて所定の回転数にまで立ち上げるため
の時間が検査の際に必要となっている。

【００１０】本発明の目的は、ディスクの表面を短時間
に迅速に検査することができるようにすることにある。

【００１１】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００１３】すなわち、本発明のディスクの表面検査方
法は、ディスクの中心部に形成された貫通孔に嵌合して
前記ディスクを把持するチャックが所定の間隔毎に取り
付けられたインデックステーブルを回転させることによ
り、前記ディスクをローディング位置、検査位置および
アンローディング位置に割り出し回転し、前記検査位置
において前記ディスクの表面を検査するようにしたディ
スクの表面検査方法であって、前記ローディング位置に
おける前記チャックに前記ディスクを装填するローディ
ング工程と、インデックステーブルを割り出し回転させ
てローディング位置の前記ディスクを前記検査位置にま
で搬送する第１搬送工程と、検査位置まで搬送された前
記ディスクの表面を所定の検査回転数に回転させた状態
のもとで検査する検査工程と、検査終了後の前記ディス
クを前記検査位置から前記アンローディング位置まで搬
送する第２搬送工程と、前記ローディング位置において
前記チャックに前記ディスクが装填されてから前記検査
位置に搬送されるまでの間に前記ディスクを前記検査回
転数まで回転させる立ち上げ工程とを有し、前記検査位
置まで搬送された前記ディスクの表面を直ちに検査し得
るようにしたことを特徴とする。

【００１４】本発明のディスクの表面検査装置は、ディ
スクの中心部に形成された貫通孔に嵌合して前記ディス
クを把持するチャックが所定の間隔毎に取り付けられ、
ローディング位置、検査位置およぴアンローディング位
置に割り出し回転するインデックステーブルと、前記イ
ンデックステーブルに取り付けられ、それぞれの前記チ
ャックを回転させる回転手段と、検査前の前記ディスク
をローディング位置の前記チャックに装填するローディ
ング手段と、前記ローディング位置から前記検査位置ま
で前記インデックステーブルにより搬送された前記ディ
スクの表面を検査する検査手段と、検査終了後に前記検
査位置から前記アンローディング位置に搬送された前記
ディスクを搬出するアンローディング手段と、前記ロー
ディング位置において前記チャックに装填された前記デ
ィスクが前記ローディング位置から前記検査位置に搬送
されるまでに検査回転数にまで回転させる制御手段とを
有し、前記検査位置に搬送されるまでに前記検査回転数
となった前記ディスクの表面を前記検査手段により直ち
に検査し得るようにしたことを特徴とする。

【００１５】インデックステーブルを１つとしてそのイ
ンデックステーブルによりディスクを搬送しながら、反
転させるようにして両面の検査を行うようにしても良
く、インデックステーブルを２つ配置して一方のインデ
ックステーブルでディスクを搬送しながら、一方面を検
査し、他方のインデックステーブルでディスクを搬送し
ながら他方面を検査するようにしても良い。

【００１６】本発明にあっては、検査位置つまり検査ス
テージにおいてディスクの表面を検査する際には、既に
所定の検査回転数となっているので、直ちに検査ステー
ジで検査を開始することができ、検査能率を向上させる
ことができる。

【００１７】ディスクをその中心部に形成された貫通孔
にチャックを嵌合させて、チャックを回転駆動すること
によりディスクを所定の検査回転まで立ち上げる際に
は、ディスクをローディング位置から検査位置に搬送す
る過程で立ち上げることができるので、ゆっくりと所定
の検査回転数にまで立ち上げることができることにな
り、ディスクとチャックとが滑ることを防止できる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。

【００１９】図１は本発明の一実施の形態であるディス
クの表面検査装置を示す正面図であり、装置本体１０内
に垂直方向に設けられた支持板１１には、２つのインデ
ックステーブル１２ａ，１２ｂがそれぞれ回転自在に取
り付けられており、それぞれの回転中心軸は水平となっ
ている。

【００２０】一方のインデックステーブル１２ａを拡大
して示すと図２の通りであり、図３は図２の断面図であ
る。図示するように、インデックステーブル１２ａに
は、回転方向に６０度毎に合計６つのコレット型のチャ
ック１３が取り付けられ、それぞれのチャック１３は、
モータ１４のスピンドル１５に取り付けられている。し
たがって、モータ１４を駆動することによりチャック１
３は回転駆動されるようになっている。図３にあって
は、１つのモータ１４のみが示されているが、図２に示
す６つのチャック１３の全てがそれぞれモータ１４によ
り駆動されるようになっている。それぞれのチャック１
３には磁気ディスクを製造するためのディスクサブスト
レートつまりディスク基板としてのディスクＷがその中
心部に形成された貫通孔の中に嵌合されてその部分で把
持されることになる。図２にあっては、それぞれのディ
スクＷが二点鎖線で示されている。

【００２１】インデックステーブル１２ａは、図３に示
すように、支持板１１に取り付けられたモータ１６によ
り回転駆動されるようになっており、このモータ１６に
よりインデックステーブル１２ａを１２０度毎に割り出
し回転することができる。

【００２２】図２に示されるように、インデックステー
ブル１２ａには６つのチャック１３が取り付けられてお
り、１つのインデックステーブル１２ａに対してはチャ
ック１３を介して６つのディスクＷを保持させることが
できる。図示する場合にはインデックステーブル１２ａ
は矢印で示すように反時計方向に回転されることにな
り、図２における上部左側におけるローディング位置Ａ
１と、ここから１２０度進んだ位置における検査ステー
ジつまり検査位置Ｂ１と、ここからさらに１２０度進ん
だ位置におけるアンローディング位置Ｃ１とにディスク
Ｗは搬送されることになる。それぞれの位置Ａ１〜Ｃ１
に対してそれぞれ６０度進んだ位置は、他のディスクＷ
のローディング位置Ａ２と、検査ステージつまり検査位
置Ｂ２と、アンローディング位置Ｃ２となっており、デ
ィスクＷはインデックステーブル１２ａの割り出し回転
によって順次それぞれの位置に搬送される。

【００２３】したがって、図示する場合には同時に２枚
のディスクＷをローディング位置Ａ１，Ａ２のチャック
１３に装填つまりローディングして、それぞれのディス
クＷをそれぞれの検査位置Ｂ２，Ｂ２において同時に表
面を検査し、さらにアンローディング位置Ｃ１，Ｃ２か
ら同時に２枚のディスクＷをアンローディングつまり取
り出すことができる。

【００２４】他のインデックステーブル１２ｂは前記イ
ンデックステーブル１２ａと同様の構造となっており、
インデックステーブル１２ａに保持して一方面の検査が
終了した後のディスクＷは、インデックステーブル１２
ｂに反転されて保持された状態となって他方面の検査が
行われることになる。

【００２５】図１に示すように、装置本体１０内に２枚
のディスクＷを供給するために、装置本体１０には搬送
ハンド１７ａが設けられており、この搬送ハンド１７ａ
により搬送された２枚のディスクＷを受け取ってインデ
ックステーブル１２ａに受け渡すセットハンド１８ａが
インデックステーブル１２ａのローディング位置に隣接
して支持板１１に取り付けられている。この搬送ハンド
１７ａとセットハンド１８ａにより、検査前のディスク
Ｗをローディング位置Ａ１，Ａ２のチャック１３に装填
するローディング手段を構成している。

【００２６】ローディング位置Ａ１，Ａ２のチャック１
３に保持されたディスクＷは、インデックステーブル１
２ａを１２０度毎に割り出し回転すると、それぞれのデ
ィスクＷは検査位置Ｂ１，Ｂ２にまで搬送されることに
なり、その位置には２枚のディスクＷの一方の表面を検
査する検査手段としての検査装置１９ａが設けられてい
る。

【００２７】検査装置１９ａは、レーザースポット光を
照射してその反射光を受光することによりディスクＷの
表面に傷がついていたり、異物が付いているかを検査す
る構造となっている。レーザースポット光はディスクＷ
を所定の検査回転数で回転させた状態のもとで、径方向
に走査される。

【００２８】検査終了後のディスクＷはインデックステ
ーブル１２ａを１２０度回転させると、アンローディン
グ位置Ｃ１，Ｃ２にまで搬送され、その位置に対応させ
て装置本体１０内には、セットハンド１８ａと同様の構
造のセットハンド１８ｂが設けられている。

【００２９】他方のインデックステーブル１２ｂの周り
には、インデックステーブル１２ａと同様にセットハン
ド１８ｃ、１８ｄおよび検査装置１９ｂが配置されてお
り、両方のインデックステーブル１２ａ，１２ｂの間に
は、ディスクＷを反転させるための反転ハンド２０が配
置されている。したがって、インデックステーブル１２
ａによりアンローディング位置Ｃ１，Ｃ２まで搬送され
たディスクＷは、セットハンド１８ｂを介して反転ハン
ド２０に受け渡された後に、反転ハンド２０からセット
ハンド１８ｃを介してインデックステーブル１２ｂのロ
ーディング位置Ａ１，Ａ２のチャック１３にそれぞれ装
填される。このように、セットハンド１８ｂと反転ハン
ド２０はインデックステーブル１２ａのアンローディン
グ位置のディスクＷをその位置から搬出するアンローデ
ィング手段を構成し、セットハンド１８ｃはインデック
ステーブル１２ｂのローディング位置Ａ１，Ａ２のチャ
ック１３にディスクＷを装填するローディング手段を構
成している。

【００３０】セットハンド１８ｂは、図１にあっては反
転ハンド２０の真後ろとなっており、その一部が図示さ
れているのみである。

【００３１】両面の検査が終了した後のディスクＷは、
インデックステーブル１２ｂのアンローディング位置Ｃ
１，Ｃ２からセットハンド１８ｄおよび搬送ハンド１７
ｂを介して装置本体１０の外部に搬出されることにな
る。したがって、セットハンド１８ｄと搬送ハンド１７
ｂはインデックステーブル１２ｂのアンローディング位
置Ｃ１，Ｃ２のディスクＷをその位置から搬出するため
のアンローディング手段を構成している。

【００３２】図１に示すように、搬送ハンド１７ａは搬
送リフタ２１により上下動自在となっており、さらにガ
イド部材２２ａに沿って水平方向に移動自在となってい
る。図４は搬送ハンド１７ａを拡大して示す図であり、
搬送ハンド１７ａには２枚のディスクＷをその外周部で
把持するための２つのフィンガー２３ａ，２３ｂが設け
られている。それぞれのフィンガー２３ａ，２３ｂは、
２つのローラ２４が設けられた２つの往復動部材２５を
有し、これらの往復動部材２５は矢印で示すようにガイ
ド部材２６に沿って相互に接近離反移動自在に設けられ
ている。それぞれの往復動部材２５を直線方向に往復動
するために、空気圧により作動するアクチュエータ２７
が搬送ハンド１７ａに設けられている。

【００３３】この搬送ハンド１７ａにより保持された２
枚のディスクＷは、ローディング位置に配置されたセッ
トハンド１８ａの位置まで搬送されることになり、その
セットハンド１８ａを拡大して示すと、図５および図６
に示す通りである。

【００３４】図示するように、セットハンド１８ａは支
持板１１に固定された駆動ブロック３１を有し、この駆
動ブロック３１に水平方向に往復動自在に装着されたホ
ルダー３２には、それぞれディスクＷのその外周部で把
持するためのフィンガー３３ａ，３３ｂが設けられてい
る。それぞれのフィンガー３３ａ，３３ｂは、１つのロ
ーラ３４を有する往復動部材３５ａと、２つのローラ３
４を有する往復動部材３５ｂとを有し、それぞれの往復
動部材３５ａ，３５ｂはガイド部材３６に沿って相互に
接近離反移動自在に設けられている。それぞれの往復動
部材３５ａ，３５ｂを直線方向に往復動するために、空
気圧により作動するアクチュエータ３７がセットハンド
１８ａに設けられている。

【００３５】なお、搬送ハンド１７ａのローラ２４とセ
ットハンド１８ａのローラ３４は、ディスクＷの円周方
向の位置が相互にずれており、ディスクＷの受け渡し時
にはローラどうしが干渉しないようになっている。

【００３６】セットハンド１８ａのフィンガー３３ａ，
３３ｂは、駆動ブロック３１内に組み込まれて空気圧に
より作動するアクチュエータ３８によって、図６に示す
ように、搬送ハンド位置Ｈと、インデックステーブル装
填位置Ｌとの間を往復動するようになっている。したが
って、搬送ハンド１７ａによってディスクＷがセットハ
ンド１８ａに重なる位置である搬送ハンド位置Ｈにまで
搬送された後に、セットハンド１８ａのそれぞれの往復
動部材３５ａ，３５ｂを相互に離反させた状態でセット
ハンド１８ａを搬送ハンド位置Ｈに移動させることによ
り、ディスクＷを搬送ハンド１７ａからセットハンド１
８ａに持ち替えることができる。持ち替えた後に、セッ
トハンド１８ａをインデックステーブル装填位置Ｂにま
で移動させることにより、ディスクＷの貫通孔内にイン
デックステーブル１２ａのチャック１３が嵌合され、デ
ィスクＷはチャック１３に把持されることになる。

【００３７】図３に示すように、支持板１１にはインデ
ックステーブル１２ａ，１２ｂのローディング位置Ａ
１，Ａ２に対応させて空気圧により作動するアクチュエ
ータ３９が取り付けられており、このアクチュエータ３
９により前進後退移動するロッド３９ａは、コレット型
のチャック１３を作動させる作動ロッド１３ａに対向し
ており、この作動ロッド１３ａはモータ１４を貫通して
チャック１３にまで伸びている。したがって、ロッド３
９ａを前進させて作動ロッド１３ａを前進移動させる
と、チャック１３の先端部が径方向に収縮してディスク
の貫通孔から外れることになり、後退移動させるとばね
力により作動ロッド１３ａが後退移動してチャック１３
はディスクＷの貫通孔内でディスクを把持する位置とな
る。

【００３８】図７は反転ハンド２０の詳細を示す図であ
り、支持板１１に取り付けられたモータ４１のシャフト
４２にはホルダー４３が取り付けられており、このホル
ダー４３にはそれぞれディスクＷをその外周部で把持す
るための２つのフィンガー４４ａ，４４ｂが設けられて
いる。それぞれのフィンガー４４ａ，４４ｂは、２つの
ローラ４５を有する２つの往復動部材４６を有し、これ
らの往復動部材４６はガイド部材４７によって相互に接
近離反移動自在に設けられている。それぞれの往復動部
材４６を直線方向に往復動するために、空気圧により作
動するアクチュエータ４８がそれぞれのフィンガー４４
ａ，４４ｂに設けられている。

【００３９】図１にあっては、反転ハンド２０のフィン
ガー４４ａ，４４ｂがセットハンド１８ｂのフィンガー
３３ａ，３３ｂに対向する位置となっているが、反転ハ
ンド２０のシャフト４２を１８０度回転させると、反転
ハンド２０のフィンガー４４ａ，４４ｂは、セットハン
ド１８ｃに対向する位置となる。

【００４０】図２および図３は図１に示されたインデッ
クステーブル１２ａの詳細を示すが、他方のインデック
ステーブル１２ｂも同様の構造となっている。図４は搬
入側の搬送ハンド１７ａの詳細を示すが、搬出側の搬送
ハンド１７ｂも同様の構造となっている。さらに、図５
および図６はセットハンド１８ａの詳細を示すが、他の
セットハンド１８ｂ〜１８ｄも同様の構造となってい
る。

【００４１】図８は、前述したディスクの表面検査装置
の作動を制御する制御装置を示すブロック図であり、前
述した表面検査装置を構成する各部材は、中央演算処理
装置ＣＰＵや制御手順が記憶されたＲＯＭなどを有する
制御部５１からの制御信号により作動するようになって
おり、制御部５１には表面検査装置の作動開始などを入
力するための操作ボード５２やディスプレイなどが接続
されている。

【００４２】次に、上述した表面検査装置を用いてディ
スクＷの両表面を検査する手順について図９を参照して
説明する。

【００４３】搬送ハンド１７ａによって２枚のディスク
Ｗがその外周にローラ２４を接触させた状態としてセッ
トハンド１８ａの部分にまで搬送される。この状態にお
けるディスクＷは、図６において符号Ｈで示された位置
となる。この位置にまでディスクＷが搬送されたなら
ば、セットハンド１８ａを作動させてまずディスクＷを
搬送ハンド１７ａからセットハンド１８ａに持ち替え、
セットハンド１８ａを後退移動させることにより、ディ
スクＷの中心部に設けられた貫通孔内にチャック１３を
嵌合させる。このときには、アクチュエータ３９によっ
てロッド３９ａが作動ロッド１３ａを押し込んでおり、
チャック１３はロック解除状態となっている。

【００４４】チャック１３が貫通孔内に嵌合された状態
でアクチュエータ３９によりロッド３９ａを後退移動さ
せると、作動ロッド１３ａがばね力によってモータ１４
の端面から突出するように移動する。これにより、チャ
ック１３のコレット部が径方向に広がって、２枚のディ
スクＷはそれぞれチャック１３に把持されることにな
り、ローディング工程が終了する。これと同時に、セッ
トハンド１８ｃにより保持されていたディスクＷがイン
デックステーブル１２ｂのローディング位置Ａ１，Ａ２
のチャックに嵌合されて支持される。図９にあっては、
ローディング工程のうちセットハンド１８ａ，１８ｃか
らチャック１３にディスクＷが装填される時間を符号Ｔ
₁ で示している。

【００４５】ローディングが終了すると、ローディング
位置Ａ１，Ａ２のそれぞれのチャック１３がモータ１４
により回転し始め、回転停止状態から所定の検査回転
数、たとえば６０００ｒｐｍ程度にまで立ち上げられ
る。所定の検査回転数となるまでの立ち上げ工程の時間
Ｔ₂ は、図示する場合には３秒程度となっている。この
ローディング工程と立ち上げ工程の際には、それぞれの
インデックステーブル１２ａ，１２ｂにおいて既に検査
位置Ｂ１，Ｂ２の位置となったディスクＷは、所定の検
査回転数で回転されて表面の検査が行われている。

【００４６】検査位置におけるそれぞれのディスクＷに
対する表面検査が終了すると、モータ１６によりインデ
ックステーブル１２ａ，１２ｂが割り出し回転し始める
ことになるが、その割り出し時間Ｔ₃ は図示する場合に
は約１秒程度となっている。インデックステーブル１２
ａ，１２ｂが１２０度回転することにより割り出し回転
が終了し、ローディング位置Ａ１，Ａ２の位置にあった
ディスクＷは、検査位置Ｂ１，Ｂ２にまで搬送される。

【００４７】検査位置Ｂ１，Ｂ２まで搬送されたディス
クＷは、既に所定の検査回転数となっており、検査位置
まで搬送されると直ちに検査装置１９ａ，１９ｂにより
表面検査を行うことができる。その検査時間Ｔ₄ は図示
する場合には約７秒程度となっている。７秒で２枚のデ
ィスクの表面を検査することができるので、１枚当たり
の検査時間は3.５秒となる。

【００４８】検査終了後のディスクＷはインデックステ
ーブル１２ａ，１２ｂをそれぞれ１２０度割り出し回転
することにより、アンローディング位置Ｃ１，Ｃ２の位
置にまで搬送される。この搬送過程でモータ１４を減速
することによってディスクＷは検査回転数から停止状態
にまで、時間Ｔ₅ で立ち下げられることになる。インデ
ックステーブル１２ａのアンローディング位置Ｃ１，Ｃ
２となったディスクＷは、停止状態となった後にその位
置のセットハンド１８ｂから反転ハンド２０にＴ₆ のア
ンローディング時間で持ち替えられる。その反転ハンド
２０により検査が終了していない方の面が表面側となる
ように反転されて、インデックステーブル１２ｂのセッ
トハンド１８ｃに持ち替えられてそのインデックステー
ブル１２ｂのローディング位置Ａ１，Ａ２に装填され
る。

【００４９】一方、インデックステーブル１２ｂのアン
ローディング位置Ｃ１，Ｃ２のディスクＷは、セットハ
ンド１８ｄに持ち替えられた後に、搬送ハンド１７ｂに
より検査装置の外部に搬出されることになる。

【００５０】上述した工程を連続的に行うことにより、
短時間でディスクの表面を検査することができる。

【００５１】前述した表面検査装置にあっては、インデ
ックステーブル１２ａ，１２ｂの割り出し回転によって
検査位置Ｂ１，Ｂ２の位置にまで搬送されたディスクＷ
は、既に所定の割り出し回転数となっているので、直ち
に表面検査を行うことができる。したがって、検査位置
に搬送された後にディスクを回転し始める場合と比較し
て、検査位置に留めておく時間が７０％程度まで短縮さ
れることになり、量産品である磁気ディスクを製造する
際におけるディスクの製造能率を向上させることができ
る。

【００５２】しかも、検査前に所定の回転数にまで立ち
上げるようにしたので、急速にディスクＷを立ち上げる
ことなく、ゆっくりと立ち上げることができ、デイスク
Ｗをチャック１３により強く締め付けることなく、ディ
スクＷの貫通孔とチャック１３との滑りを防止すること
ができ、貫通孔の内周面に傷が発生するのを防止でき
る。

【００５３】なお、図示する場合には、ディスクＷを停
止状態から立ち上げ時間Ｔ₂ により所定の検査回転数に
まで立ち上げるようにしているが、検査開始までに所定
の検査回転数に立ち上げるようにすれば、図９において
破線で示すように、比較的長い時間Ｔ₇ をかけて加速す
るようにしても良い。

【００５４】前述した表面検査装置はインデックステー
ブルが２つ設けられており、２枚のディスクの両表面を
同時に検査するようにしているが、１枚ずつ検査するよ
うにしても良い。

【００５５】図１０は１枚ずつ検査するようにした実施
の形態である表面検査装置のインデックステーブル１２
を示す図であり、このインデックステーブル１２には前
述した一方のインデックステーブル１２ａまたは１２ｂ
と同様に、６０度毎にチャック１３が設けられており、
ローディング位置Ａ１のチャック１３に対して１枚ずつ
ディスクＷが装填される。インデックステーブル１２は
１２０度毎に割り出し回転され、ローディング位置Ａ１
のディスクＷは検査位置Ｂ１において一方の表面が検査
される。検査終了後のディスクＷがインデックステーブ
ル１２の割り出し回転により反転位置Ｄにまで搬送され
ると、図示しない反転ハンドによってこの位置に対して
１８０度ずれたローディング位置Ａ２までディスクＷは
反転されて再度インデックステーブル１２に装填され
る。この位置から１２０度インデックステーブル１２が
割り出し回転すると、ディスクＷは検査位置Ｂ２におい
て反対側の面の検査が行われる。検査位置Ｂ２での検査
が終了すると、ディスクＷの両面の検査が終了し、イン
デックステーブル１２を１２０度割り出し回転すること
によって、アンローディング位置ＣにまでディスクＷは
搬送されて、ここから外部に搬出されることになる。

【００５６】このタイプの表面検査装置にあっても、そ
れぞれのローディング位置Ａ１，Ａ２に装填されたとき
から検査位置Ｂ１，Ｂ２に搬送される過程でディスクＷ
はそれぞれ立ち上げ回転されて所定の検査回転数とな
る。

【００５７】以上、本発明者によってなされた発明を実
施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記の
形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない
範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。

【００５８】たとえば、インデックステーブルには６つ
のチャック１３が設けられており、割り出し回転角度は
何れの場合も１２０度となっているが、インデックステ
ーブルの径を大きくして図示する場合よりも多くのチャ
ック１３を取り付けるようにしても良い。また、それぞ
れの実施の形態にあっては、インデックステーブル１
２，１２ａ，１２ｂはそれぞれ垂直方向を向いている
が、水平面内において回転させるようにしても良い。ま
た、図示する場合には磁気ディスクを製造するためのア
ルミニウム製のディスクに所定の表面処理を施した後
に、その表面を検査するようにしているが、ディスクの
表面に磁性膜を形成した後の表面を検査したり、ガラス
製のディスクの表面を検査するためなど、ディスクの種
々の製造工程においてその表面を検査するために本発明
を適用することができる。

【００５９】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００６０】(1).インデックステーブルを割り出し回転
させてディスクをローディング位置から検査位置に搬送
し、検査位置においてディスクの表面を検査する際に
は、検査位置では、既に所定の検査回転数にまでなって
いるので、直ちに検査を開始することができる。

【００６１】(2).これにより、ディスクの表面検査を能
率的に行うことができ、磁気ディスクの製造効率を向上
させることができる。

【００６２】(3).検査位置まで搬送する過程でディスク
を所定の検査回転数にまで立ち上げるようにしたので、
検査位置で検査が行われているときに次のディスクを回
転させることにより、ゆっくりと所定の回転数にまで上
昇させることができる。

【００６３】(4).これにより、ディスクの貫通孔に嵌合
してインデックステーブルにディスクを保持させるため
のチャックを強くディスクに締め付けることが不要とな
り、チャックとディスクとの滑りによってディスクの内
周面に傷が付くということを防止することができ、高品
質のディスクを製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態である表面検査装置を示
す正面図である。

【図２】図１に示されたインデックステーブルを拡大し
て示す正面図である。

【図３】図２における３−３線に沿う断面図である。

【図４】（Ａ）は図１に示された搬送ハンドを示す拡大
正面図であり、（Ｂ）は同図（Ａ）における４Ｂ−４Ｂ
線に沿う矢視図である。

【図５】図１に示されたセットハンドを示す拡大正面図
である。

【図６】図５における６−６線に沿う矢視図である。

【図７】反転ハンドの示す拡大正面図である。

【図８】表面検査装置の制御装置の概略構造を示すブロ
ック図である。

【図９】表面検査装置の作動工程を示すタイムチャート
である。

【図１０】本発明の他の実施の形態である表面検査装置
のインデックステーブルを示す正面図である。

【符号の説明】

１１ 支持板 １２，１２ａ，１２ｂ インデックステーブル １３ チャック １４ モータ １５ スピンドル １６ モータ １７ａ，１７ｂ 搬送ハンド １８ａ〜１８ｄ セットハンド １９ａ，１９ｂ 検査装置 ２０ 反転ハンド ２１ リフタ ２２ａ，２２ｂ ガイド部材 ２３ａ，２３ｂ フィンガー ２４ ローラ ２５ 往復動部材 ２６ ガイド部材 ２７ アクチュエータ ３１ 駆動ブロック ３２ ホルダー ３３ａ，３３ｂ フィンガー ３４ ローラ ３５ 往復動部材 ３６ ガイド部材 ３７〜３９ アクチュエータ ４１ モータ ４２ シャフト ４３ ホルダー ４４ａ，４４ｂ フィンガー ４５ ローラ ４６ 往復動部材 ４７ ガイド部材 ４８ アクチュエータ ５１ 制御部 ５２ 操作ボード

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ディスクの中心部に形成された貫通孔に
   嵌合して前記ディスクを把持するチャックが所定の間隔
   毎に取り付けられたインデックステーブルを回転させる
   ことにより、前記ディスクをローディング位置、検査位
   置およびアンローディング位置に割り出し回転し、前記
   検査位置において前記ディスクの表面を検査するように
   したディスクの表面検査方法であって、 前記ローディング位置における前記チャックに前記ディ
   スクを装填するローディング工程と、 インデックステーブルを割り出し回転させてローディン
   グ位置の前記ディスクを前記検査位置にまで搬送する第
   １搬送工程と、 検査位置まで搬送された前記ディスクの表面を所定の検
   査回転数に回転させた状態のもとで検査する検査工程
   と、 検査終了後の前記ディスクを前記検査位置から前記アン
   ローディング位置まで搬送する第２搬送工程と、 前記ローディング位置において前記チャックに前記ディ
   スクが装填されてから前記検査位置に搬送されるまでの
   間に前記ディスクを前記検査回転数まで回転させる立ち
   上げ工程とを有し、 前記検査位置まで搬送された前記ディスクの表面を直ち
   に検査し得るようにしたことを特徴とするディスクの表
   面検査方法。
2. 【請求項２】 ディスクの中心部に形成された貫通孔に
   嵌合して前記ディスクを把持するチャックが所定の間隔
   毎に取り付けられ、ローディング位置、検査位置および
   アンローディング位置に割り出し回転するインデックス
   テーブルと、 前記インデックステーブルに取り付けられ、それぞれの
   前記チャックを回転させる回転手段と、 検査前の前記ディスクをローディング位置の前記チャッ
   クに装填するローディング手段と、 前記ローディング位置から前記検査位置まで前記インデ
   ックステーブルにより搬送された前記ディスクの表面を
   検査する検査手段と、 検査終了後に前記検査位置から前記アンローディング位
   置に搬送された前記ディスクを搬出するアンローディン
   グ手段と、 前記ローディング位置において前記チャックに装填され
   た前記ディスクが前記ローディング位置から前記検査位
   置に搬送されるまでに検査回転数にまで回転させる制御
   手段とを有し、 前記検査位置に搬送されるまでに前記検査回転数となっ
   た前記ディスクの表面を前記検査手段により直ちに検査
   し得るようにしたことを特徴とするディスクの表面検査
   装置。
3. 【請求項３】 請求項２記載のディスクの表面検査装置
   において、前記インデックステーブルを２つ隣接して配
   置し、２つの前記インデックステーブルの間に前記ディ
   スクを反転させる反転手段を設け、一方の前記インデッ
   クステーブルに保持して前記ディスクの一方面の検査を
   行い、他方の前記インデックステーブルに保持して前記
   ディスクの他方面の検査を行うようにしたことを特徴と
   するディスクの表面検査装置。
4. 【請求項４】 請求項２記載のディスクの表面検査装置
   において、前記チャックに保持された前記ディスクを反
   転させる反転手段を有し、１つの前記インデックステー
   ブルを割り出し回転させることにより、前記ディスクの
   両面の検査を行うようにしたことを特徴とするディスク
   の表面検査装置。