JPH071330A - ディスク回転装置 - Google Patents
ディスク回転装置Info
- Publication number
- JPH071330A JPH071330A JP5173611A JP17361193A JPH071330A JP H071330 A JPH071330 A JP H071330A JP 5173611 A JP5173611 A JP 5173611A JP 17361193 A JP17361193 A JP 17361193A JP H071330 A JPH071330 A JP H071330A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disk
- chuck
- chamfer
- disc
- contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Gripping On Spindles (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気ディスク等からなるディスクの表裏全面
を研磨加工することができ、しかも面振れ等を生じさせ
ることなく、安定的に回転させるようにする。 【構成】 回転軸4の先端には、割りチャック14が連
結されており、この割りチャック14は、その円板部1
4aから筒状部14bの途中に至るまでスリットを形成
することによって、中心角が各60°の6個の扇形のチ
ャック部片15に分割されており、これら各チャック部
片15における各当接部15aは、チャンファCのテー
パ角θと正確に一致する角度θとなるように形成され
た、当接面15a,15aと、底面15bとからなり、
チャック部片15を拡開させた時に、これら当接面15
a,15aがディスクDのチャンファCと当接し、底面
15bはディスクDとは非接触状態に保たれるように構
成し、回転時において、ディスクDを単に保持するだけ
でなく、このディスクDの板厚方向に動かないように固
定することができるようになっている。
を研磨加工することができ、しかも面振れ等を生じさせ
ることなく、安定的に回転させるようにする。 【構成】 回転軸4の先端には、割りチャック14が連
結されており、この割りチャック14は、その円板部1
4aから筒状部14bの途中に至るまでスリットを形成
することによって、中心角が各60°の6個の扇形のチ
ャック部片15に分割されており、これら各チャック部
片15における各当接部15aは、チャンファCのテー
パ角θと正確に一致する角度θとなるように形成され
た、当接面15a,15aと、底面15bとからなり、
チャック部片15を拡開させた時に、これら当接面15
a,15aがディスクDのチャンファCと当接し、底面
15bはディスクDとは非接触状態に保たれるように構
成し、回転時において、ディスクDを単に保持するだけ
でなく、このディスクDの板厚方向に動かないように固
定することができるようになっている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、アルミニウム、ガラス
等の基板に磁気記録膜を形成した磁気ディスク,光ディ
スク等の円環状記録媒体としてのディスクの表裏両面を
同時に研磨加工する際に、ディスクを回転させる機構に
関するものである。
等の基板に磁気記録膜を形成した磁気ディスク,光ディ
スク等の円環状記録媒体としてのディスクの表裏両面を
同時に研磨加工する際に、ディスクを回転させる機構に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】例えば、磁気ディスクの製造工程におい
ては、その表面を研摩テープによって研摩する工程があ
る。この研摩加工は、加工すべきディスクを回転装置に
装着して、このディスク回転装置によりディスクを回転
させる間に加圧ローラによって研摩テープをディスクの
表面に押し当てることにより行われる。そして、加工効
率の向上を図るために、通常、ディスクの両面を同時に
加工するようになっており、このために、研摩テープは
ディスクの両面に押し当てられる。
ては、その表面を研摩テープによって研摩する工程があ
る。この研摩加工は、加工すべきディスクを回転装置に
装着して、このディスク回転装置によりディスクを回転
させる間に加圧ローラによって研摩テープをディスクの
表面に押し当てることにより行われる。そして、加工効
率の向上を図るために、通常、ディスクの両面を同時に
加工するようになっており、このために、研摩テープは
ディスクの両面に押し当てられる。
【0003】前述したディスク回転装置としては、ディ
スクの内径をチャックするチャック部材と、チャック部
材に支持されたディスクを回転させるための回転軸を備
えているが、チャック部材としては、ディスクを正確に
位置決めするとともに、安定した状態でチャックするた
めに、一対の挾持部材から構成し、この挾持部材により
ディスクの内周縁側の部位を表裏両面から挟み込むよう
に当接させる構成したものが従来から用いられている。
スクの内径をチャックするチャック部材と、チャック部
材に支持されたディスクを回転させるための回転軸を備
えているが、チャック部材としては、ディスクを正確に
位置決めするとともに、安定した状態でチャックするた
めに、一対の挾持部材から構成し、この挾持部材により
ディスクの内周縁側の部位を表裏両面から挟み込むよう
に当接させる構成したものが従来から用いられている。
【0004】近年においては、磁気ディスク等の記録媒
体における記録容量の増大を図るために、ディスク表面
の内周縁に近い部分まで記録領域として利用可能となら
しめるようにする要請が強くなってきている。そこで、
ディスクの表面研摩を行うに当って、ディスクをチャッ
クするために、回転軸の先端に設けられるチャック部材
を複数に分割した割りチャック部片から形成し、この割
りチャック部片を拡径させることにより、ディスクの内
周側の端面に当接させるようにしてチャックする方式も
知られている。
体における記録容量の増大を図るために、ディスク表面
の内周縁に近い部分まで記録領域として利用可能となら
しめるようにする要請が強くなってきている。そこで、
ディスクの表面研摩を行うに当って、ディスクをチャッ
クするために、回転軸の先端に設けられるチャック部材
を複数に分割した割りチャック部片から形成し、この割
りチャック部片を拡径させることにより、ディスクの内
周側の端面に当接させるようにしてチャックする方式も
知られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ディスクの内周端面を
利用してチャックすれば、ディスクの内端部にまで加工
を行うことができるようになる点で有利であるが、この
方式のものにあっても、なお問題点はない訳ではない。
即ち、割りチャック部片はその根元部分から拡開する方
向に変位するので、このチャック部片はディスクの内周
端面に対して片当り状態で線接触することになり、この
状態からディスクと面接触させるためにはかなり強力な
押し付け力を発揮させなければならない。このために、
ディスクの内周端面に傷を付けるおそれがあり、しかも
たとえ面接触させたとしても、ディスクをその板厚方向
に規制できないため、回転時に面振れすることになっ
て、加圧ローラを当接させる際にこの加圧ローラがバウ
ンドして打痕が発生したり、また加工中に加圧力が変動
して加圧ローラによる加圧力にむらが発生して、ディス
クの加工精度の向上が図れないという欠点がある。
利用してチャックすれば、ディスクの内端部にまで加工
を行うことができるようになる点で有利であるが、この
方式のものにあっても、なお問題点はない訳ではない。
即ち、割りチャック部片はその根元部分から拡開する方
向に変位するので、このチャック部片はディスクの内周
端面に対して片当り状態で線接触することになり、この
状態からディスクと面接触させるためにはかなり強力な
押し付け力を発揮させなければならない。このために、
ディスクの内周端面に傷を付けるおそれがあり、しかも
たとえ面接触させたとしても、ディスクをその板厚方向
に規制できないため、回転時に面振れすることになっ
て、加圧ローラを当接させる際にこの加圧ローラがバウ
ンドして打痕が発生したり、また加工中に加圧力が変動
して加圧ローラによる加圧力にむらが発生して、ディス
クの加工精度の向上が図れないという欠点がある。
【0006】本発明は叙上の点に鑑みてなされたもので
あって、その目的とするところは、極めて簡単な構成に
より、ディスクの内周縁部まで高精度に加工することが
できるディスク回転装置を提供することにある。
あって、その目的とするところは、極めて簡単な構成に
より、ディスクの内周縁部まで高精度に加工することが
できるディスク回転装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明は、ディスクを回転駆動するための回転
軸の先端に装着され、前記ディスクの内周面に接離可能
な扇形のチャック部片からなる割りチャックであって、
前記チャック部片の外周部に前記ディスクの内径におけ
る表裏両面側のチャンファにそれぞれ当接可能な当接面
を形成したことをその特徴とするものである。
ために、本発明は、ディスクを回転駆動するための回転
軸の先端に装着され、前記ディスクの内周面に接離可能
な扇形のチャック部片からなる割りチャックであって、
前記チャック部片の外周部に前記ディスクの内径におけ
る表裏両面側のチャンファにそれぞれ当接可能な当接面
を形成したことをその特徴とするものである。
【0008】
【作用】本発明においては、ディスクをチャックする際
に、このディスクのチャンファを利用してチャックす
る。ここで、ディスクには、ディスクドライブ装置にお
けるスピンドルに対して円滑に挿入するための呼び込み
としての機能を有するチャンファと呼ばれる面取り部が
内周部に形成されている。このチャンファは記録領域と
して利用しない部位である。そこで、表裏両面のチャン
ファの部位にチャック部片を当接させれば、このディス
クの板厚方向への動きを規制でき、しかも記録領域を制
限することはない。従って、複数の扇形チャック部片の
外周部に、このチャンファの角度に等しい当接面をもっ
た溝を形成することによって、ディスクを装着した時
に、ディスクをその板厚方向に規制できるようにした。
この結果、ディスクを極めて安定的に回転軸に支承させ
ることができ、ディスクを回転、研磨する際のディスク
の面振れが防止され、加圧ローラのディスクへの当接時
にバウンドしたり、加工中に押し付け力が変化したりし
て、研磨加工精度が低下するおそれはない。しかも、割
りチャックの分割数を多くすれば、割りチャックを拡開
させるときのばねの抵抗力を小さくし、ディスク当接時
の衝撃を減ずることができる。
に、このディスクのチャンファを利用してチャックす
る。ここで、ディスクには、ディスクドライブ装置にお
けるスピンドルに対して円滑に挿入するための呼び込み
としての機能を有するチャンファと呼ばれる面取り部が
内周部に形成されている。このチャンファは記録領域と
して利用しない部位である。そこで、表裏両面のチャン
ファの部位にチャック部片を当接させれば、このディス
クの板厚方向への動きを規制でき、しかも記録領域を制
限することはない。従って、複数の扇形チャック部片の
外周部に、このチャンファの角度に等しい当接面をもっ
た溝を形成することによって、ディスクを装着した時
に、ディスクをその板厚方向に規制できるようにした。
この結果、ディスクを極めて安定的に回転軸に支承させ
ることができ、ディスクを回転、研磨する際のディスク
の面振れが防止され、加圧ローラのディスクへの当接時
にバウンドしたり、加工中に押し付け力が変化したりし
て、研磨加工精度が低下するおそれはない。しかも、割
りチャックの分割数を多くすれば、割りチャックを拡開
させるときのばねの抵抗力を小さくし、ディスク当接時
の衝撃を減ずることができる。
【0009】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。まず、図1に本発明に係るディスク回転装置の全
体構成を示す。同図において、1は装置の取り付け用ブ
ラケットで、ボルト2により機枠3に固定的に取り付け
られている。4は中空回転軸を示し、該回転軸4とブラ
ケット1との間には軸受5が介装されていて、回転軸4
はブラケット1に対して回転自在となっているが、両者
は軸線方向には相対移動することのできない構成となっ
ている。回転軸4の基端側にはプーリ6が固着されてお
り、該プーリ6には伝達ベルト(図示せず)が巻回して
設けられ、この伝達ベルトを回転させることによって、
回転軸4が回転駆動せしめられるようになっている。
する。まず、図1に本発明に係るディスク回転装置の全
体構成を示す。同図において、1は装置の取り付け用ブ
ラケットで、ボルト2により機枠3に固定的に取り付け
られている。4は中空回転軸を示し、該回転軸4とブラ
ケット1との間には軸受5が介装されていて、回転軸4
はブラケット1に対して回転自在となっているが、両者
は軸線方向には相対移動することのできない構成となっ
ている。回転軸4の基端側にはプーリ6が固着されてお
り、該プーリ6には伝達ベルト(図示せず)が巻回して
設けられ、この伝達ベルトを回転させることによって、
回転軸4が回転駆動せしめられるようになっている。
【0010】回転軸4の中空内部には、軸受7を介して
チャック作動ロッド8が挿通されて、回転自在に支承さ
れており、該作動ロッド8は回転軸4に対して軸線方向
の前後動が可能になっている。作動ロッド8の基端側に
は、プッシャ9との嵌合部材10が固着して設けられ、
シリンダ11のロッド11aを突出させると、プッシャ
9が嵌合部材10を押動して、作動ロッド8がその先端
方向へ移動するが、作動ロッド8はロッド復帰用ばね1
2により、常時基端側に向かって付勢されているため、
シリンダ11が解放状態になると、作動ロッド8はプッ
シャ9と共に定常位置に復帰する。また、嵌合部材10
とプッシャ9との間には軸受13が介装されているの
で、作動ロッドの回転の影響がシリンダ11に伝わらな
いようになっている。
チャック作動ロッド8が挿通されて、回転自在に支承さ
れており、該作動ロッド8は回転軸4に対して軸線方向
の前後動が可能になっている。作動ロッド8の基端側に
は、プッシャ9との嵌合部材10が固着して設けられ、
シリンダ11のロッド11aを突出させると、プッシャ
9が嵌合部材10を押動して、作動ロッド8がその先端
方向へ移動するが、作動ロッド8はロッド復帰用ばね1
2により、常時基端側に向かって付勢されているため、
シリンダ11が解放状態になると、作動ロッド8はプッ
シャ9と共に定常位置に復帰する。また、嵌合部材10
とプッシャ9との間には軸受13が介装されているの
で、作動ロッドの回転の影響がシリンダ11に伝わらな
いようになっている。
【0011】次に、14はディスクDをチャックするた
めの割りチャックであって、この割りチャック14はば
ね性のある金属等の部材からなり、円板部14aと筒状
部14bとから構成されている。そして、この割りチャ
ック14は、図2及び図3からも明らかなように、円板
部14aから筒状部14bに向けて軸線方向に6本のス
リットが形設されており、これによって円板部14a
は、中心角が各60°の6個の扇形のチャック部片15
に分割されている。このチャック部片15は、その外周
部にはディスクDの内周面に当接する当接部となってお
り、また筒状部14bの内面は、前記作動ロッド8の先
端部に形成された円錐部8aと当接するテーパ面16と
なっており、さらに割りチャック14の基端部には、前
記回転軸4の先端部に固着するための突条17が形成さ
れている。
めの割りチャックであって、この割りチャック14はば
ね性のある金属等の部材からなり、円板部14aと筒状
部14bとから構成されている。そして、この割りチャ
ック14は、図2及び図3からも明らかなように、円板
部14aから筒状部14bに向けて軸線方向に6本のス
リットが形設されており、これによって円板部14a
は、中心角が各60°の6個の扇形のチャック部片15
に分割されている。このチャック部片15は、その外周
部にはディスクDの内周面に当接する当接部となってお
り、また筒状部14bの内面は、前記作動ロッド8の先
端部に形成された円錐部8aと当接するテーパ面16と
なっており、さらに割りチャック14の基端部には、前
記回転軸4の先端部に固着するための突条17が形成さ
れている。
【0012】割りチャック14を6個のチャック部片1
5に分割するスリットは筒状部14bにおける突条17
の形成部近傍にまで延在されており、常時には、各チャ
ック部片15は中心部方向に片寄せた位置に保持されて
おり、この筒状部14bの部位を相互に離反する方向に
押動すると、各チャック部片15は拡開するようにな
る。
5に分割するスリットは筒状部14bにおける突条17
の形成部近傍にまで延在されており、常時には、各チャ
ック部片15は中心部方向に片寄せた位置に保持されて
おり、この筒状部14bの部位を相互に離反する方向に
押動すると、各チャック部片15は拡開するようにな
る。
【0013】従って、前記シリンダ11の作動により、
作動ロッド8を突出させると、その円錐面8aが前方に
移動して、テーパ面16が拡径することになって、チャ
ック部片15が拡開して、その当接部16によってディ
スクDの内周面をチャックすることができるようになっ
ている。ここで、各チャック部片15は、それぞれ所定
量拡開した時に、その外周面部が真円状となるように形
成されており、この真円状となった際に、ディスクDを
チャックできるようになっている。
作動ロッド8を突出させると、その円錐面8aが前方に
移動して、テーパ面16が拡径することになって、チャ
ック部片15が拡開して、その当接部16によってディ
スクDの内周面をチャックすることができるようになっ
ている。ここで、各チャック部片15は、それぞれ所定
量拡開した時に、その外周面部が真円状となるように形
成されており、この真円状となった際に、ディスクDを
チャックできるようになっている。
【0014】ところで、磁気ディスク等の円環状記録媒
体には、ディスクドライブ装置のスピンドルにディスク
を円滑に挿通させる等のため、内周部における表裏両面
に面取りが施されている。この面取り部はチャンファC
と呼ばれるものであって、このチャンファCの部位には
記録領域としては利用されない。そこで、このチャック
部片15は、このチャンファCを利用して、ディスクD
をチャックするように構成している。即ち、図4から明
らかなように、割りチャック14における各チャック部
片15の当接部15aは、チャンファCのテーパ角θと
正確に一致する角度θとなるように形成された、当接面
15a,15aと、底面15bとからなり、チャック部
片15を拡開させた時に、これら当接面15a,15a
がディスクDのチャンファCと当接し、底面15bはデ
ィスクDとは非接触状態に保たれる。しかも、この当接
面15aにおけるチャンファCへの当接する部位は、こ
のチャンファCのみで、平面状となった記録領域Rとは
接触しないようになっている。
体には、ディスクドライブ装置のスピンドルにディスク
を円滑に挿通させる等のため、内周部における表裏両面
に面取りが施されている。この面取り部はチャンファC
と呼ばれるものであって、このチャンファCの部位には
記録領域としては利用されない。そこで、このチャック
部片15は、このチャンファCを利用して、ディスクD
をチャックするように構成している。即ち、図4から明
らかなように、割りチャック14における各チャック部
片15の当接部15aは、チャンファCのテーパ角θと
正確に一致する角度θとなるように形成された、当接面
15a,15aと、底面15bとからなり、チャック部
片15を拡開させた時に、これら当接面15a,15a
がディスクDのチャンファCと当接し、底面15bはデ
ィスクDとは非接触状態に保たれる。しかも、この当接
面15aにおけるチャンファCへの当接する部位は、こ
のチャンファCのみで、平面状となった記録領域Rとは
接触しないようになっている。
【0015】本実施例はこのように構成されるものであ
って、チャック作動ロッド8を図1の矢印方向に変位さ
せた状態に保持することによって、割りチャック14を
構成するチャック部片15は中心部方向に変位して、そ
の外径部分が縮径されて、ディスクDの内径より小さい
径となっている。そこで、適宜のハンドリング手段によ
りディスクDの外径をチャックさせて、このハンドリン
グ手段によって、ディスクDを割りチャック14のチャ
ック部片15内に挿通させる位置にまで搬送する。この
状態で、シリンダ11を作動させて、作動ロッド8を前
進させる。これによって、その円錐部8aが割りチャッ
ク14におけるテーパ面16に沿って摺動して、チャッ
ク部片15が半径方向外方に変位することになって、チ
ャック部片15がディスクDのチャンファCに当接す
る。
って、チャック作動ロッド8を図1の矢印方向に変位さ
せた状態に保持することによって、割りチャック14を
構成するチャック部片15は中心部方向に変位して、そ
の外径部分が縮径されて、ディスクDの内径より小さい
径となっている。そこで、適宜のハンドリング手段によ
りディスクDの外径をチャックさせて、このハンドリン
グ手段によって、ディスクDを割りチャック14のチャ
ック部片15内に挿通させる位置にまで搬送する。この
状態で、シリンダ11を作動させて、作動ロッド8を前
進させる。これによって、その円錐部8aが割りチャッ
ク14におけるテーパ面16に沿って摺動して、チャッ
ク部片15が半径方向外方に変位することになって、チ
ャック部片15がディスクDのチャンファCに当接す
る。
【0016】ここで、チャック部片15の当接部15a
は外方に向けて拡開しているので、これが呼び込み部と
しても機能するようになり、チャック部片15の位置と
ディスクDの位置との間に多少の位置ずれがあったとし
ても、確実にディスクDをチャック部片15の当接部1
5a内に導かれる。そして、チャック部片15が所定量
拡開すると、その当接部15aはディスクDのチャンフ
ァCと当接する。そして、このチャック部片15の当接
部15aがチャンファCに圧接される。しかも、この割
りチャック14は6分割されており、しかも各チャック
部片15に分割するためのスリットは突条17の形設部
近傍にまで延在されているので、チャック部片15のば
ね性が大きくなり、このばね力によってディスクDが保
持される。この結果、ディスクDのチャック時に過大な
押し付け力が生じてディスクDが傷付くおそれはない。
は外方に向けて拡開しているので、これが呼び込み部と
しても機能するようになり、チャック部片15の位置と
ディスクDの位置との間に多少の位置ずれがあったとし
ても、確実にディスクDをチャック部片15の当接部1
5a内に導かれる。そして、チャック部片15が所定量
拡開すると、その当接部15aはディスクDのチャンフ
ァCと当接する。そして、このチャック部片15の当接
部15aがチャンファCに圧接される。しかも、この割
りチャック14は6分割されており、しかも各チャック
部片15に分割するためのスリットは突条17の形設部
近傍にまで延在されているので、チャック部片15のば
ね性が大きくなり、このばね力によってディスクDが保
持される。この結果、ディスクDのチャック時に過大な
押し付け力が生じてディスクDが傷付くおそれはない。
【0017】而して、チャンファCは角度θとなった傾
斜する面となっており、チャック部片15の当接部15
aが面接触していることから、ディスクDに作用する力
としては、図4のx方向の成分、即ち半径方向外向きの
成分と、y方向の成分、即ち板厚方向の成分とに分解で
き、しかも表裏両面ではy方向の成分が反対方向となる
ので、ディスクDを単に保持するだけでなく、このディ
スクDの板厚方向に動かないように固定することができ
る。従って、プーリ6を回転させることにより、ディス
クDを回転駆動した時に、面振れすることがなく、安定
した状態で回転する。しかも、この割りチャック14は
記録面としては利用されないチャンファCのみと当接し
ており、記録領域Rは解放されていることから、加圧ロ
ーラによって研磨テープを、ディスクDの内周部側から
外周部側の両端部に至るまで完全に当接させて、その研
磨加工を行うことができる。しかも、ディスクDは極め
て安定した状態に保持されていることから、加圧ローラ
のディスクDへの当接時にバウンドして打痕が発生した
り、また研磨加工中に加圧力の変動が生じて、研磨むら
が発生する等の不都合を確実に防止でき、ディスクDの
表裏両面の全体を極めて高精度に研磨加工できるように
なる。
斜する面となっており、チャック部片15の当接部15
aが面接触していることから、ディスクDに作用する力
としては、図4のx方向の成分、即ち半径方向外向きの
成分と、y方向の成分、即ち板厚方向の成分とに分解で
き、しかも表裏両面ではy方向の成分が反対方向となる
ので、ディスクDを単に保持するだけでなく、このディ
スクDの板厚方向に動かないように固定することができ
る。従って、プーリ6を回転させることにより、ディス
クDを回転駆動した時に、面振れすることがなく、安定
した状態で回転する。しかも、この割りチャック14は
記録面としては利用されないチャンファCのみと当接し
ており、記録領域Rは解放されていることから、加圧ロ
ーラによって研磨テープを、ディスクDの内周部側から
外周部側の両端部に至るまで完全に当接させて、その研
磨加工を行うことができる。しかも、ディスクDは極め
て安定した状態に保持されていることから、加圧ローラ
のディスクDへの当接時にバウンドして打痕が発生した
り、また研磨加工中に加圧力の変動が生じて、研磨むら
が発生する等の不都合を確実に防止でき、ディスクDの
表裏両面の全体を極めて高精度に研磨加工できるように
なる。
【0018】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、ディス
クを回転駆動するための回転軸の先端に装着され、前記
ディスクの内周面に接離可能な扇形チャック部片からな
る割りチャックにおいて、前記チャック部片の外周部
に、前記ディスクの内径の表裏両面に予め施されている
チャンファに当接する角度を有する挟持部を形成する構
成としたので、研摩テープによる研摩加工等の作業をデ
ィスクの外周縁から内周縁に至るまでの表面全体にわた
って行うことができ、しかも前記チャンファを利用し
て、極めて安定的にディスクをチャックすることができ
て、ディスクの回転・研磨加工等の作業中にディスクの
面振れが生じるのを防止できる。
クを回転駆動するための回転軸の先端に装着され、前記
ディスクの内周面に接離可能な扇形チャック部片からな
る割りチャックにおいて、前記チャック部片の外周部
に、前記ディスクの内径の表裏両面に予め施されている
チャンファに当接する角度を有する挟持部を形成する構
成としたので、研摩テープによる研摩加工等の作業をデ
ィスクの外周縁から内周縁に至るまでの表面全体にわた
って行うことができ、しかも前記チャンファを利用し
て、極めて安定的にディスクをチャックすることができ
て、ディスクの回転・研磨加工等の作業中にディスクの
面振れが生じるのを防止できる。
【図1】ディスク回転装置の全体構成の断面図である。
【図2】割りチャックの断面図である。
【図3】割りチャックの正面図である。
【図4】図2のA部の拡大図である。
4 中空回転軸 8 チャック作動ロッド 14 割りチャック 15 チャック部片 15a 当接部 16 テーパ面 D ディスク C チャンファ
【手続補正書】
【提出日】平成6年1月14日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
Claims (2)
- 【請求項1】 ディスクを回転駆動するための回転軸の
先端に装着され、前記ディスクの内周面に接離可能な扇
形のチャック部片からなる割りチャックであって、前記
チャック部片の外周部に前記ディスクの内径における表
裏両面側のチャンファにそれぞれ当接可能な当接面を形
成したことを特徴とするディスク回転装置。 - 【請求項2】 前記チャック部片はそれぞれ等しい角度
毎に6分割されていることを特徴とする請求項1記載の
ディスク回転装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5173611A JPH071330A (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | ディスク回転装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5173611A JPH071330A (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | ディスク回転装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH071330A true JPH071330A (ja) | 1995-01-06 |
Family
ID=15963821
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5173611A Pending JPH071330A (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | ディスク回転装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH071330A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002208134A (ja) * | 2001-01-09 | 2002-07-26 | Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd | ディスク基板の回転把持装置 |
JP2008105170A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-05-08 | Denso Corp | ワーク把持具 |
KR101983944B1 (ko) * | 2018-05-18 | 2019-05-29 | 길성기 | 가공정밀도 측정용 스핀들의 척킹장치 |
-
1993
- 1993-06-22 JP JP5173611A patent/JPH071330A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002208134A (ja) * | 2001-01-09 | 2002-07-26 | Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd | ディスク基板の回転把持装置 |
JP2008105170A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-05-08 | Denso Corp | ワーク把持具 |
KR101983944B1 (ko) * | 2018-05-18 | 2019-05-29 | 길성기 | 가공정밀도 측정용 스핀들의 척킹장치 |
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