JPH06102031A - 放射線厚さ計 - Google Patents
放射線厚さ計Info
- Publication number
- JPH06102031A JPH06102031A JP24843992A JP24843992A JPH06102031A JP H06102031 A JPH06102031 A JP H06102031A JP 24843992 A JP24843992 A JP 24843992A JP 24843992 A JP24843992 A JP 24843992A JP H06102031 A JPH06102031 A JP H06102031A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- correction
- sample
- thickness
- absorption coefficient
- value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】放射線厚さ計において、材質補正近似計算を行
う演算装置の適応材質範囲を拡張し、近似演算の精度を
向上し、一台の厚さ計が精度良く取扱える測定可能な材
質と厚さの範囲を拡大する。 【構成】測定対象の材質の吸収係数μi の値を格納して
おく吸収係数メモリ９と、各吸収係数μi のもとで校正
用サンプル試料の実測によって求めたサンプルの厚さを
補正するための補正係数ａi ，ｂi を対にして格納して
おくサンプルデータメモリ７よりなり、この格納場所か
ら測定対象物の材質ｉに対応した吸収係数μi と補正係
数ａi ，ｂi を選定して厚さの１次近似値ｔ0 を演算す
る厚さ１次近似演算器１および１次近似値ｔ0 に対して
補正演算を実行するサンプル補正乗算器五ａならびに加
算器５ｂへ、それぞれ吸収係数μi および補正係数ａi
ならびにｂi の値を分配するサンプル種類設定器８から
構成する。更に、サンプル補正加算器の出力に対して線
形１次の補正演算を行う材質補正演算器３と、この材質
補正演算器に補正係数の値Ｈ0 を設定する材質補正設定
器４を付加して構成する。
う演算装置の適応材質範囲を拡張し、近似演算の精度を
向上し、一台の厚さ計が精度良く取扱える測定可能な材
質と厚さの範囲を拡大する。 【構成】測定対象の材質の吸収係数μi の値を格納して
おく吸収係数メモリ９と、各吸収係数μi のもとで校正
用サンプル試料の実測によって求めたサンプルの厚さを
補正するための補正係数ａi ，ｂi を対にして格納して
おくサンプルデータメモリ７よりなり、この格納場所か
ら測定対象物の材質ｉに対応した吸収係数μi と補正係
数ａi ，ｂi を選定して厚さの１次近似値ｔ0 を演算す
る厚さ１次近似演算器１および１次近似値ｔ0 に対して
補正演算を実行するサンプル補正乗算器五ａならびに加
算器５ｂへ、それぞれ吸収係数μi および補正係数ａi
ならびにｂi の値を分配するサンプル種類設定器８から
構成する。更に、サンプル補正加算器の出力に対して線
形１次の補正演算を行う材質補正演算器３と、この材質
補正演算器に補正係数の値Ｈ0 を設定する材質補正設定
器４を付加して構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、β線γ線等の放射線
の透過強度を検出して、紙，フイルムあるいはアルミ，
銅，鉄等の金属板またはシート等の物の厚さを測定する
放射線厚さ計において、透過強度検出データより物の厚
さを導出する理論式に、実測値に基づいて定められる補
正演算をほどこして、高精度でかつ多種類の材質に対応
を可能とする放射線厚さ計に関する。
の透過強度を検出して、紙，フイルムあるいはアルミ，
銅，鉄等の金属板またはシート等の物の厚さを測定する
放射線厚さ計において、透過強度検出データより物の厚
さを導出する理論式に、実測値に基づいて定められる補
正演算をほどこして、高精度でかつ多種類の材質に対応
を可能とする放射線厚さ計に関する。
【０００２】
【従来の技術】極めて薄い厚さdtの物質の層に、単一エ
ネルギーで平行なβ線γ線等の放射線を照射したたと
き、この物質層における放射線の減衰分dNは、当該物質
に固有の吸収係数μに比例することが知られており、こ
の関係は式（１）で与えられる。
ネルギーで平行なβ線γ線等の放射線を照射したたと
き、この物質層における放射線の減衰分dNは、当該物質
に固有の吸収係数μに比例することが知られており、こ
の関係は式（１）で与えられる。
【０００３】
【数１】dN＝−μ・dt （１） よって有限な厚さｔの物質層を透過した放射線の強度Ｎ
t と厚さｔとの関係は、式（１）を積分して得られる式
（２）によって与えられることとなる。
t と厚さｔとの関係は、式（１）を積分して得られる式
（２）によって与えられることとなる。
【０００４】
【数２】ｔ＝−１／μ・ｌｎＮt ／Ｎ0 （２） ここで ｔ ； 厚さ１次近似値（ｍｍ） μ ； 物質による吸収係数（ｍｍ-1） Ｎt ； 厚さｔのときの透過放射線量 Ｎ0 ； 厚さ０のときの透過放射線量 式（２）における吸収係数μの値は、それぞれの材質の
物質に固有であり、また式（２）が厳密に成立するの
は、放射線の計測系において下記の物理的条件が満たさ
れている場合に限られるが、放射線源の性質および測定
系構成上の技術的制約が存在するため、現実の放射線厚
さ計において、この条件を完全に成立させることは一般
に困難である。
物質に固有であり、また式（２）が厳密に成立するの
は、放射線の計測系において下記の物理的条件が満たさ
れている場合に限られるが、放射線源の性質および測定
系構成上の技術的制約が存在するため、現実の放射線厚
さ計において、この条件を完全に成立させることは一般
に困難である。
【０００５】イ 照射される放射線のエネルギーが単一
である。 ロ 照射放射線は平行なビームである。 ハ 透過物質中で放射線の散乱が生じない。 そこで従来の放射線厚さ計では、測定対象物の材質の種
類や測定厚さの範囲を吸収係数の値が大略等しく、また
上記イ〜ハの条件に関与する現象が同等に生起している
と見做すことが出来る範囲に制限し、計測された物質層
透過前後の放射線強度Ｎ0，Ｎtを基に、理論式である式
（２）の演算によって得られる計算値ｔ0 （以下厚さ１
次近似値という）に補正演算を加え、より真値に近い値
を求めることが行われている。次に図２及び３に補正演
算装置の従来例を説明する。
である。 ロ 照射放射線は平行なビームである。 ハ 透過物質中で放射線の散乱が生じない。 そこで従来の放射線厚さ計では、測定対象物の材質の種
類や測定厚さの範囲を吸収係数の値が大略等しく、また
上記イ〜ハの条件に関与する現象が同等に生起している
と見做すことが出来る範囲に制限し、計測された物質層
透過前後の放射線強度Ｎ0，Ｎtを基に、理論式である式
（２）の演算によって得られる計算値ｔ0 （以下厚さ１
次近似値という）に補正演算を加え、より真値に近い値
を求めることが行われている。次に図２及び３に補正演
算装置の従来例を説明する。
【０００６】図２において１次近似値演算器１は、放射
線強度の入力信号Ｎ0 ，Ｎt を基に式（２）の演算をお
こない、厚さの１次近似値ｔ0 を出力する部分であり、
測定対象物として予定された種類の材質を代表する吸収
係数μの値は、吸収係数レジスタ２に記憶されててい
る。材質補正演算器３は、吸収係数の値が吸収係数レジ
スタ２に記憶されている値と異なる種類の測定対象物を
測定する場合に、材質補正係数設定器４で指定された吸
収補正係数Ｈ0 によって材質補正の演算を行う部分であ
り、サンプル補正演算部（５ａ，５ｂ）は、厚さが既知
の校正用試料を実測して得られたデータを基に定めら
れ、サンプル演算レジスタ（６ａ，６ｂ）に格納されて
いる補正係数による補正演算を行い、より真値に近い値
を求める部分である。
線強度の入力信号Ｎ0 ，Ｎt を基に式（２）の演算をお
こない、厚さの１次近似値ｔ0 を出力する部分であり、
測定対象物として予定された種類の材質を代表する吸収
係数μの値は、吸収係数レジスタ２に記憶されててい
る。材質補正演算器３は、吸収係数の値が吸収係数レジ
スタ２に記憶されている値と異なる種類の測定対象物を
測定する場合に、材質補正係数設定器４で指定された吸
収補正係数Ｈ0 によって材質補正の演算を行う部分であ
り、サンプル補正演算部（５ａ，５ｂ）は、厚さが既知
の校正用試料を実測して得られたデータを基に定めら
れ、サンプル演算レジスタ（６ａ，６ｂ）に格納されて
いる補正係数による補正演算を行い、より真値に近い値
を求める部分である。
【０００７】まず吸収係数の差の補正計算方式について
説明する。ある特定の材質における吸収係数の値をμ0
としたとき、材質が同類である他の材質の吸収係数μの
値は、材質の差異を表す絶対値が１に比べ小さい値とな
る補正係数Ｈ0を用いて式（３）によって表現しうる。
説明する。ある特定の材質における吸収係数の値をμ0
としたとき、材質が同類である他の材質の吸収係数μの
値は、材質の差異を表す絶対値が１に比べ小さい値とな
る補正係数Ｈ0を用いて式（３）によって表現しうる。
【０００８】
【数３】μ＝μ0 （１＋Ｈ0 ） （３） 式（３）を式（２）に代入し、近似展開すると式（４）
が得られる。
が得られる。
【０００９】
【数４】 ｔ＝−１／μ0 （１＋Ｈ0 ）・ｌｎＮt ／Ｎ0 ＝−１／μ0 ・ｌｎＮt ／Ｎ0 ・（１−Ｈ0 ） ＝ｔ0 ・（１−Ｈ0 ） （４） ここにｔ0 は透過放射線量Ｎt ，Ｎ0 に対応する基準材
質よりなる物質の厚さで、式（２）においてμ＝μ0 と
することによって求められる。即ち基準材質と異なる材
質の物質の測定の場合、基準材質として求められた厚さ
の値に対し、補正係数（１±Ｈ0 ）を乗じればよい。な
おμ＜μ0 の場合＋Ｈ0 を採り、補正が不要の場合には
０を置けばよい。
質よりなる物質の厚さで、式（２）においてμ＝μ0 と
することによって求められる。即ち基準材質と異なる材
質の物質の測定の場合、基準材質として求められた厚さ
の値に対し、補正係数（１±Ｈ0 ）を乗じればよい。な
おμ＜μ0 の場合＋Ｈ0 を採り、補正が不要の場合には
０を置けばよい。
【００１０】図２の材質補正係数設定器４は、式（４）
における吸収補正係数±Ｈ0 の値を外部より指定する設
定器であり、材質補正演算器３は、１次近似値演算器１
の出力値ｔ0 に対し、材質補正係数設定器４で指定され
た値に基づき、式（４）の材質補正の乗算を行い材質補
正近似値ｘq として出力する部分である。つぎに理論式
からの偏差分の補正装置について概説する。
における吸収補正係数±Ｈ0 の値を外部より指定する設
定器であり、材質補正演算器３は、１次近似値演算器１
の出力値ｔ0 に対し、材質補正係数設定器４で指定され
た値に基づき、式（４）の材質補正の乗算を行い材質補
正近似値ｘq として出力する部分である。つぎに理論式
からの偏差分の補正装置について概説する。
【００１１】上記イ〜ハの条件が完全には満たれていな
い厚さ計の測定試料設定部に、厚さが既知の校正用試料
を配置したとき、式（２）の計算を行う１次近似値演算
器１の出力である１次近似値ｔ0 は、校正用試料の実際
の厚さとは異なる値を与える。したがって厚さ既知の複
数の校正用試料による１次近似値ｔ0 と、試料の実際の
厚さの関係は、図３に例示の如く、前記イ〜ハの条件が
満たされている場合にのみ理論的に成立する式（２）に
相当する直線Ａの上には乗らず、図３中において黒点で
示されるように分布する。
い厚さ計の測定試料設定部に、厚さが既知の校正用試料
を配置したとき、式（２）の計算を行う１次近似値演算
器１の出力である１次近似値ｔ0 は、校正用試料の実際
の厚さとは異なる値を与える。したがって厚さ既知の複
数の校正用試料による１次近似値ｔ0 と、試料の実際の
厚さの関係は、図３に例示の如く、前記イ〜ハの条件が
満たされている場合にのみ理論的に成立する式（２）に
相当する直線Ａの上には乗らず、図３中において黒点で
示されるように分布する。
【００１２】２点以上の厚さが既知の校正用試料によっ
て１次近似値演算器の出力があらかじめ取得されている
場合、再帰分析手法を適用して、厚さ未知の測定対象物
に関する１次近似値から、測定系に於ける理想条件非成
立分を補正したサンプル補正近似値ｘs を求める式
（５）の定数ａ及びｂを定めることができる。
て１次近似値演算器の出力があらかじめ取得されている
場合、再帰分析手法を適用して、厚さ未知の測定対象物
に関する１次近似値から、測定系に於ける理想条件非成
立分を補正したサンプル補正近似値ｘs を求める式
（５）の定数ａ及びｂを定めることができる。
【００１３】
【数５】ｘs ＝ａｔ0 ＋ｂ （５） 式（５）に相当する直線は、図３において直線Ｂで例示
されている。図２においてサンプル補正データレジスタ
は、サンプル乗算レジスタ６ａ及びサンプル加算レジス
タ６ｂよりなり、厚さ既知の複数の校正用試料を、厚さ
計で実測することによって定められた式（５）の近似計
算における定数ａ，ｂを格納するレジスタである。サン
プル補正演算器は乗算器５ａと加算器５ｂよりなり、サ
ンプル乗算レジスタ６ａ及び加算レジスタ６ｂより定数
ａ，ｂの値を受取り、式（２）の１次近似値ｔ0 に対し
式（５）の近似演算を行い、サンプル補正近似値ｘs と
して出力する。
されている。図２においてサンプル補正データレジスタ
は、サンプル乗算レジスタ６ａ及びサンプル加算レジス
タ６ｂよりなり、厚さ既知の複数の校正用試料を、厚さ
計で実測することによって定められた式（５）の近似計
算における定数ａ，ｂを格納するレジスタである。サン
プル補正演算器は乗算器５ａと加算器５ｂよりなり、サ
ンプル乗算レジスタ６ａ及び加算レジスタ６ｂより定数
ａ，ｂの値を受取り、式（２）の１次近似値ｔ0 に対し
式（５）の近似演算を行い、サンプル補正近似値ｘs と
して出力する。
【００１４】図４は異なる材質ごとに用意された厚さ既
知の複数の校正用試料を、あらかじめ測定して定められ
補正係数を用いて式（５）の補正演算を行っている従来
装置の例である。サンプルデータメモリ７は、マトリッ
クス構造に構成されており、異なる材質の物質ごとに用
意された校正用試料を厚さ計で実測定することにより、
測定対象の種類ｉごとに対として求められた定数ａi ,
ｂi を対として配置記憶している。 測定対象物の材質
の種類が定まったとき、その種類ｉをサンプル種類設定
器８により指定すると、サンプルデータメモリ７に格納
されている定数の組の中から、指定種類ｉに対応する定
数ａi,ｂi の組が選定され、サンプル補正演算レジスタ
６ａ，６ｂに渡される。サンプル補正乗算器５ａと加算
器５ｂは、サンプル乗算レジスタ６ａ，加算レジスタ６
ｂよりそれぞれ定数ａi ｂi を受取って、式（５）の近
似演算を行い、サンプル補正近似を行った厚さの測定結
果として出力する。
知の複数の校正用試料を、あらかじめ測定して定められ
補正係数を用いて式（５）の補正演算を行っている従来
装置の例である。サンプルデータメモリ７は、マトリッ
クス構造に構成されており、異なる材質の物質ごとに用
意された校正用試料を厚さ計で実測定することにより、
測定対象の種類ｉごとに対として求められた定数ａi ,
ｂi を対として配置記憶している。 測定対象物の材質
の種類が定まったとき、その種類ｉをサンプル種類設定
器８により指定すると、サンプルデータメモリ７に格納
されている定数の組の中から、指定種類ｉに対応する定
数ａi,ｂi の組が選定され、サンプル補正演算レジスタ
６ａ，６ｂに渡される。サンプル補正乗算器５ａと加算
器５ｂは、サンプル乗算レジスタ６ａ，加算レジスタ６
ｂよりそれぞれ定数ａi ｂi を受取って、式（５）の近
似演算を行い、サンプル補正近似を行った厚さの測定結
果として出力する。
【００１５】図４に示す従来装置の例では、基準材質と
異なる材質の物質ごとに、校正用試料による実測データ
を基に補正演算のための式（３）の定数ａ，ｂの組を定
めているが、このことは、基準材質と測定対象物の材質
が異るときの吸収係数に関する補正係数Ｈ0 を補正演算
式（５）の定数ａ，ｂの中に組入れて扱うことに相当す
る。
異なる材質の物質ごとに、校正用試料による実測データ
を基に補正演算のための式（３）の定数ａ，ｂの組を定
めているが、このことは、基準材質と測定対象物の材質
が異るときの吸収係数に関する補正係数Ｈ0 を補正演算
式（５）の定数ａ，ｂの中に組入れて扱うことに相当す
る。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来装置では、
いずれも１次近似値ｔ0 を演算するに当たっての吸収係
数の値は、当該の厚さ計が測定対象範囲として想定して
いる測定対象物の材質の中から、代表としうる材質につ
いての値を選定し、これを固定して使用している。基準
とした物質と異なる材質の測定対象物については、基準
材質との吸収係数の差は小さいとして取り扱う式(4) の
近似計算、又は放射線の吸収現象の理論モデルからのづ
れの補正に関する式(5) の近似補正方法を適用して対応
してきた。このため近似可能な範囲を超える測定対象に
ついては、誤差が大きくなり一台の厚さ計で取り扱える
材質と厚さの範囲には限界があった。本発明は上記従来
技術の限界に鑑みてなされたものであって、その目的は
一台の厚さ計が精度良く取扱える測定可能な材質と厚さ
の範囲を拡大しようとするものである。
いずれも１次近似値ｔ0 を演算するに当たっての吸収係
数の値は、当該の厚さ計が測定対象範囲として想定して
いる測定対象物の材質の中から、代表としうる材質につ
いての値を選定し、これを固定して使用している。基準
とした物質と異なる材質の測定対象物については、基準
材質との吸収係数の差は小さいとして取り扱う式(4) の
近似計算、又は放射線の吸収現象の理論モデルからのづ
れの補正に関する式(5) の近似補正方法を適用して対応
してきた。このため近似可能な範囲を超える測定対象に
ついては、誤差が大きくなり一台の厚さ計で取り扱える
材質と厚さの範囲には限界があった。本発明は上記従来
技術の限界に鑑みてなされたものであって、その目的は
一台の厚さ計が精度良く取扱える測定可能な材質と厚さ
の範囲を拡大しようとするものである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明においては、放射線厚さ計は、検出器より
の放射線の透過強度に相当する測定信号を演算処理して
測定対象物の厚さを近似演算する厚さ１次近似値演算器
（１）と、測定対象物の材質の種類に対応した吸収係数
（μi ）を記憶しておく吸収係数メモリ（９）と、材質
の種類毎に用意した厚さ既知の複数の校正用試料の測定
によって求めた補正係数（ａi ，ｂi ）を記憶しておく
サンプルデータメモリ（７）と、測定対象物の材質の種
類（ｉ）を設定するサンプル種類設定器（８）と、設定
器（８）により設定された材質の種類（ｉ）に応じた吸
収係数（μi ）を吸収係数メモリ（９）から読みだして
厚さ１次近似値演算器（１）に入力する吸収係数レジス
タ（２）と、設定器（８）により設定された材質の種類
（ｉ）に応じた補正係数（ａi ，ｂ i ）を前記サンプル
データメモリ（７）から読みだして格納しておくサンプ
ル演算レジスタ（６ａ，６ｂ）と、厚さ一次演算器
（１）の演算出力をサンプル演算レジスタ（６ａ，６
ｂ）に読みだされた材質の種類（ｉ）に応じた補正係数
（ａi ，ｂi ）によって補正する補正演算器（５ａ，５
ｂ）と、補正演算器（５ａ，５ｂ）の補正演算出力を、
指定材質の吸収係数の値と実際の測定対象物の吸収係数
の値の間に差が有る場合の吸収補正係数（Ｈ0 ）により
補正して前記測定対象物の厚さを求める材質補正演算器
（３）と、を備えるものとする。
めに、本発明においては、放射線厚さ計は、検出器より
の放射線の透過強度に相当する測定信号を演算処理して
測定対象物の厚さを近似演算する厚さ１次近似値演算器
（１）と、測定対象物の材質の種類に対応した吸収係数
（μi ）を記憶しておく吸収係数メモリ（９）と、材質
の種類毎に用意した厚さ既知の複数の校正用試料の測定
によって求めた補正係数（ａi ，ｂi ）を記憶しておく
サンプルデータメモリ（７）と、測定対象物の材質の種
類（ｉ）を設定するサンプル種類設定器（８）と、設定
器（８）により設定された材質の種類（ｉ）に応じた吸
収係数（μi ）を吸収係数メモリ（９）から読みだして
厚さ１次近似値演算器（１）に入力する吸収係数レジス
タ（２）と、設定器（８）により設定された材質の種類
（ｉ）に応じた補正係数（ａi ，ｂ i ）を前記サンプル
データメモリ（７）から読みだして格納しておくサンプ
ル演算レジスタ（６ａ，６ｂ）と、厚さ一次演算器
（１）の演算出力をサンプル演算レジスタ（６ａ，６
ｂ）に読みだされた材質の種類（ｉ）に応じた補正係数
（ａi ，ｂi ）によって補正する補正演算器（５ａ，５
ｂ）と、補正演算器（５ａ，５ｂ）の補正演算出力を、
指定材質の吸収係数の値と実際の測定対象物の吸収係数
の値の間に差が有る場合の吸収補正係数（Ｈ0 ）により
補正して前記測定対象物の厚さを求める材質補正演算器
（３）と、を備えるものとする。
【００１８】
【作用】上記構成の演算処理部を備えた厚さ計におい
て、測定対象物の材質を指定すると、サンプル種類設定
器８は、指定された測定対象物の種類ｉに対応した吸収
係数μi とサンプル補正係数ａi ，ｂi を、吸収係数メ
モリ９と、サンプルデータメモリ７より選択して、それ
ぞれ厚さ１次近似値演算器１およびサンプル補正乗算器
５ａとサンプル補正加算器５ｂの各演算用レジスタ２お
よび６ａ６ｂへ出力する。
て、測定対象物の材質を指定すると、サンプル種類設定
器８は、指定された測定対象物の種類ｉに対応した吸収
係数μi とサンプル補正係数ａi ，ｂi を、吸収係数メ
モリ９と、サンプルデータメモリ７より選択して、それ
ぞれ厚さ１次近似値演算器１およびサンプル補正乗算器
５ａとサンプル補正加算器５ｂの各演算用レジスタ２お
よび６ａ６ｂへ出力する。
【００１９】厚さ１次近似値演算器１は、検出器からの
出力信号値と吸収係数レジスタ２中の吸収係数μi の値
によって式（２）の演算処理を行い、厚さ１次近似値ｔ
0 として出力する。このように測定対象物それぞれの材
質に最も適した吸収係数の値が選択される結果、代表材
質にかかわる吸収係数の値を共用する従来方式に比べ、
広い範囲の材質の測定物に対し、より高い精度で厚さ１
次近似値ｔ0 が得られることとなる。
出力信号値と吸収係数レジスタ２中の吸収係数μi の値
によって式（２）の演算処理を行い、厚さ１次近似値ｔ
0 として出力する。このように測定対象物それぞれの材
質に最も適した吸収係数の値が選択される結果、代表材
質にかかわる吸収係数の値を共用する従来方式に比べ、
広い範囲の材質の測定物に対し、より高い精度で厚さ１
次近似値ｔ0 が得られることとなる。
【００２０】サンプル補正乗算器５ａとサンプル補正加
算器５ｂは、厚さ１次近似値演算器１の出力を入力と
し、サンプル乗算レジスタ６ａおよびサンプル加算レジ
スタ６ｂ中の補正係数ａi ，ｂi によって式（５）の演
算処理を行い、サンプル補正近似値ｘs として出力す
る。この補正においても、材質の差異に対応した補正係
数が選定されるので、広い範囲の材質への対応が可能で
あるばかりでなく、サンプル補正近似値ｘs の精度も高
いものとなる。
算器５ｂは、厚さ１次近似値演算器１の出力を入力と
し、サンプル乗算レジスタ６ａおよびサンプル加算レジ
スタ６ｂ中の補正係数ａi ，ｂi によって式（５）の演
算処理を行い、サンプル補正近似値ｘs として出力す
る。この補正においても、材質の差異に対応した補正係
数が選定されるので、広い範囲の材質への対応が可能で
あるばかりでなく、サンプル補正近似値ｘs の精度も高
いものとなる。
【００２１】測定対象物の吸収係数の値が、サンプル種
類設定器８の指定によって吸収係数メモリ９に格納され
ているデータから選定された吸収係数の値と異なってお
り、その差の割合である吸収補正係数の値Ｈ0 が既知の
場合、材質補正演算器３が、材質補正係数設定器４で設
定された吸収補正係数の値Ｈ0 によって式（４）の補正
演算を行う。この補正が必要な場合であても、前記の方
法により前段の近似計算値が、従来の装置におけるより
高精度で得られているので、吸収補正係数の値Ｈ0 は従
来装置においては数％の値の指定を要していたのに対
し、１％未満の補正値として無理のない値の指定でこと
足りることとなる。
類設定器８の指定によって吸収係数メモリ９に格納され
ているデータから選定された吸収係数の値と異なってお
り、その差の割合である吸収補正係数の値Ｈ0 が既知の
場合、材質補正演算器３が、材質補正係数設定器４で設
定された吸収補正係数の値Ｈ0 によって式（４）の補正
演算を行う。この補正が必要な場合であても、前記の方
法により前段の近似計算値が、従来の装置におけるより
高精度で得られているので、吸収補正係数の値Ｈ0 は従
来装置においては数％の値の指定を要していたのに対
し、１％未満の補正値として無理のない値の指定でこと
足りることとなる。
【００２２】
【実施例】図１はこの発明の実施例を示すものである。
この図において吸収係数メモリ９には測定対象物の材質
の種類に対応した吸収係数の値が格納されている。サン
プルデータメモリ７には、あらかじめそれぞれの材質ｉ
毎に、厚さ既知の複数の校正用標準試料を実測し、再帰
分析手法を適用して求められた式（３）の係数ａ，ｂに
相当するサンプル補正データの対ａi およびｂi が、材
質の種類に対応して格納されている。
この図において吸収係数メモリ９には測定対象物の材質
の種類に対応した吸収係数の値が格納されている。サン
プルデータメモリ７には、あらかじめそれぞれの材質ｉ
毎に、厚さ既知の複数の校正用標準試料を実測し、再帰
分析手法を適用して求められた式（３）の係数ａ，ｂに
相当するサンプル補正データの対ａi およびｂi が、材
質の種類に対応して格納されている。
【００２３】サンプル種類設定器８で測定対象物の材質
ｉを指定すると、サンプル種類設定器８は、指定された
材質に対応する吸収係数μi の値とサンプル補正データ
対の値ａi ，ｂi を、それぞれ吸収係数メモリ９及びサ
ンプルデータメモリ７より選びだし、演算実行用の吸収
係数レジスタ２及びサンプル乗算レジスタ６ａ，サンプ
ル加算レジスタ６ｂに出力する。
ｉを指定すると、サンプル種類設定器８は、指定された
材質に対応する吸収係数μi の値とサンプル補正データ
対の値ａi ，ｂi を、それぞれ吸収係数メモリ９及びサ
ンプルデータメモリ７より選びだし、演算実行用の吸収
係数レジスタ２及びサンプル乗算レジスタ６ａ，サンプ
ル加算レジスタ６ｂに出力する。
【００２４】厚さ１次近似演算器１は、検出器が検出し
た透過放射線量に相当する入力信号値Ｎt 及びＮ0 に対
し、吸収係数レジスタ２に記憶されている吸収係数の値
μiを用いて式（２）の演算を行い、厚さ１次近似値ｔ
0 として出力する。サンプル補正乗算器５ａおよびサン
プル補正加算器５ｂは、厚さ１次近似値演算器１の出力
を入力とし、サンプル乗算レジスタ６ａおよびサンプル
加算レジスタ６ｂに選び出された補正係数値の対ａi ，
ｂi を用いて式（５）の補正演算を行い、サンプル補正
近似値ｘs として出力する。
た透過放射線量に相当する入力信号値Ｎt 及びＮ0 に対
し、吸収係数レジスタ２に記憶されている吸収係数の値
μiを用いて式（２）の演算を行い、厚さ１次近似値ｔ
0 として出力する。サンプル補正乗算器５ａおよびサン
プル補正加算器５ｂは、厚さ１次近似値演算器１の出力
を入力とし、サンプル乗算レジスタ６ａおよびサンプル
加算レジスタ６ｂに選び出された補正係数値の対ａi ，
ｂi を用いて式（５）の補正演算を行い、サンプル補正
近似値ｘs として出力する。
【００２５】測定対象物の吸収係数値が、サンプル種類
設定器８で指定した材質ｉの吸収係数の値とわずかに異
なる場合、両数値の偏差の割合である式（４）における
Ｈ0の値を材質補正係数設定器４に設定しておくと、材
質補正演算器３はサンプル補正加算器５ｂの出力である
サンプル補正近似値ｘs に対し、式（４）の補正演算を
行って厚さ計の測定値として出力する。補正の必要がな
い場合には、材質補正設定器４には数値０を設定してお
けばよい。
設定器８で指定した材質ｉの吸収係数の値とわずかに異
なる場合、両数値の偏差の割合である式（４）における
Ｈ0の値を材質補正係数設定器４に設定しておくと、材
質補正演算器３はサンプル補正加算器５ｂの出力である
サンプル補正近似値ｘs に対し、式（４）の補正演算を
行って厚さ計の測定値として出力する。補正の必要がな
い場合には、材質補正設定器４には数値０を設定してお
けばよい。
【００２６】
【発明の効果】本発明においては、透過放射線量に相当
する入力信号値にもとずく厚さの値の導出計算にあたっ
て、使用する吸収係数およびサンプル補正データの値
を、測定対象の材質に応じて選定されるようにしたの
で、一台の厚さ計で測定可能な材質の種類の範囲を広げ
ることができる。また測定対象物の吸収係数の値が、サ
ンプル種類設定器によって選定して設定した種類の材質
における値と異なる場合であっても、吸収係数の値があ
らかじめ固定されている従来技術の厚さ計に比べ、材質
補正係数の値は一般に小さい値となるので、より精度の
よい補正値が得られることとなる。
する入力信号値にもとずく厚さの値の導出計算にあたっ
て、使用する吸収係数およびサンプル補正データの値
を、測定対象の材質に応じて選定されるようにしたの
で、一台の厚さ計で測定可能な材質の種類の範囲を広げ
ることができる。また測定対象物の吸収係数の値が、サ
ンプル種類設定器によって選定して設定した種類の材質
における値と異なる場合であっても、吸収係数の値があ
らかじめ固定されている従来技術の厚さ計に比べ、材質
補正係数の値は一般に小さい値となるので、より精度の
よい補正値が得られることとなる。
【図１】この発明の放射線厚さ計の実施例を説明するた
めのブロック図
めのブロック図
【図２】固定係数値によるサンプル補正と材質補正を行
う従来技術による放射線厚さ計のブロック図
う従来技術による放射線厚さ計のブロック図
【図３】サンプル補正演算の原理を説明するための線図
【図４】測定対象の材質によって係数値を選択設定して
サンプル補正を行う従来技術による放射線厚さ計のブロ
ック図
サンプル補正を行う従来技術による放射線厚さ計のブロ
ック図
１ 厚さ１次近似値演算器 ２ 吸収係数レジスタ ３ 材質補正演算器 ４ 材質補正係数設定器 ５ａ サンプル補正乗算器 ５ｂ サンプル補正加算器 ６ａ サンプル乗算レジスタ ６ｂ サンプル加算レジスタ ７ サンプルデータメモリ ８ サンプル種類設定器 ９ 吸収係数メモリ
Claims (1)
- 【請求項１】検出器よりの放射線の透過強度に相当する
測定信号を演算処理して測定対象物の厚さを近似演算す
る厚さ１次近似値演算器（１）と、 測定対象物の材質の種類に対応した吸収係数（μi ）を
記憶しておく吸収係数メモリ（９）と、 材質の種類毎に用意した厚さ既知の複数の校正用試料の
測定によって求めた補正係数（ａi ，ｂi ）を記憶して
おくサンプルデータメモリ（７）と、 測定対象物の材質の種類（ｉ）を設定するサンプル種類
設定器（８）と、 設定器（８）により設定された材質の種類（ｉ）に応じ
た吸収係数（μi ）を吸収係数メモリ（９）から読みだ
して厚さ１次近似値演算器（１）に入力する吸収係数レ
ジスタ（２）と、 設定器（８）により設定された材質の種類（ｉ）に応じ
た補正係数（ａi ，ｂ i ）を前記サンプルデータメモリ
（７）から読みだして格納しておくサンプル演算レジス
タ（６ａ，６ｂ）と、 厚さ一次演算器（１）の演算出力をサンプル演算レジス
タ（６ａ，６ｂ）に読みだされた材質の種類（ｉ）に応
じた補正係数（ａi ，ｂi ）によって補正する補正演算
器（５ａ，５ｂ）と、 補正演算器（５ａ，５ｂ）の補正演算出力を、指定材質
の吸収係数の値と実際の測定対象物の吸収係数の値の間
に差が有る場合の吸収補正係数（Ｈ0 ）により補正して
前記測定対象物の厚さを求める材質補正演算器（３）
と、を備えたことを特徴とする放射線厚さ計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04248439A JP3111686B2 (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | 放射線厚さ計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04248439A JP3111686B2 (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | 放射線厚さ計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06102031A true JPH06102031A (ja) | 1994-04-12 |
| JP3111686B2 JP3111686B2 (ja) | 2000-11-27 |
Family
ID=17178148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04248439A Expired - Fee Related JP3111686B2 (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | 放射線厚さ計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3111686B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010038598A (ja) * | 2008-08-01 | 2010-02-18 | Nippon Kogyo Kensa Kk | 金属管の残厚推定方法 |
| JP2010249691A (ja) * | 2009-04-16 | 2010-11-04 | Nittetsu Elex Co Ltd | 校正曲線の作成方法 |
-
1992
- 1992-09-18 JP JP04248439A patent/JP3111686B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010038598A (ja) * | 2008-08-01 | 2010-02-18 | Nippon Kogyo Kensa Kk | 金属管の残厚推定方法 |
| JP2010249691A (ja) * | 2009-04-16 | 2010-11-04 | Nittetsu Elex Co Ltd | 校正曲線の作成方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3111686B2 (ja) | 2000-11-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6066303U (ja) | 検体薄片の放射線吸収空間分布測定装置 | |
| JPS5862508A (ja) | 放射線利用の厚さゲージ | |
| US11519867B2 (en) | X-ray-based determining of weights for coated substrates | |
| JP3111686B2 (ja) | 放射線厚さ計 | |
| US4025788A (en) | Radiometric analyzer | |
| JP2642586B2 (ja) | 線量当量計 | |
| JP2732460B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析方法 | |
| NL8403368A (nl) | Werkwijze voor de automatische verkrijging van de temperatuurafhankelijkheid van meetsignalen. | |
| JP3331192B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析方法および装置 | |
| JPS61172002A (ja) | 赤外線式塗装膜厚み測定装置 | |
| JPS6348300B2 (ja) | ||
| JPS6170444A (ja) | 電子線微小分析装置における濃度分析方法 | |
| GB2084743A (en) | Device for interrogating a measured quantity and for preprocessing the detected signal values | |
| JP2003329430A (ja) | 被検査物の厚さ測定方法 | |
| JPH0532787Y2 (ja) | ||
| JPS6291881A (ja) | 放射線測定系の検出効率決定方法 | |
| JPH06273364A (ja) | ガス測定装置の補正演算方法 | |
| JP2896904B2 (ja) | ケイ光ｘ線膜厚測定用検量線作成方法 | |
| JPH05141944A (ja) | 放射線厚さ計 | |
| JP2890598B2 (ja) | Ｘ線分析法による多層膜定量法 | |
| RU2019823C1 (ru) | Устройство для измерения параметров вещества | |
| JP2645226B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析方法 | |
| JPS61225683A (ja) | ゲイン・バイアス自動調整型線量率計 | |
| SU1647244A1 (ru) | Способ измерени поперечной разностенности труб | |
| JP2912967B2 (ja) | 赤外線放射温度計 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |