JP2003329430A - 被検査物の厚さ測定方法 - Google Patents
被検査物の厚さ測定方法Info
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- JP2003329430A JP2003329430A JP2002134190A JP2002134190A JP2003329430A JP 2003329430 A JP2003329430 A JP 2003329430A JP 2002134190 A JP2002134190 A JP 2002134190A JP 2002134190 A JP2002134190 A JP 2002134190A JP 2003329430 A JP2003329430 A JP 2003329430A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｘ線を用いて被検査物の厚さを計測する際、
Ｘ線源の出力や、ラインセンサの測定感度が温度ドリフ
ト等の影響で変化するため、正確に被検査物の厚さを測
定することができなかった。 【解決手段】 被検査物１２と同一の材質で厚さが異な
る第１から第３の参照物体を透過した夫々のＸ線の強度
値を測定し、第１から第３の参照物体を透過したＸ線の
強度値と夫々の参照物体の対応する既知の厚さの関係を
求め、被検査物１２と校正板１３を透過した夫々のＸ線
の強度値と、前記厚さの関係とから被検査物の厚さを測
定する。
Ｘ線源の出力や、ラインセンサの測定感度が温度ドリフ
ト等の影響で変化するため、正確に被検査物の厚さを測
定することができなかった。 【解決手段】 被検査物１２と同一の材質で厚さが異な
る第１から第３の参照物体を透過した夫々のＸ線の強度
値を測定し、第１から第３の参照物体を透過したＸ線の
強度値と夫々の参照物体の対応する既知の厚さの関係を
求め、被検査物１２と校正板１３を透過した夫々のＸ線
の強度値と、前記厚さの関係とから被検査物の厚さを測
定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被検査物にＸ線を
照射し、被検査物を透過したＸ線を測定し、透過Ｘ線強
度から被検査物の厚さを求める被検査物の厚さ測定方法
に関するものである。詳細には、角型リチウムイオン電
池ケースの厚さを測定するものである。
照射し、被検査物を透過したＸ線を測定し、透過Ｘ線強
度から被検査物の厚さを求める被検査物の厚さ測定方法
に関するものである。詳細には、角型リチウムイオン電
池ケースの厚さを測定するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の被検査物の厚さの測定方法を図５
に示す。図５において、Ｘ線源１１から発生したＸ線
は、被検査物１２を透過する。この被検査物１２を透過
したＸ線の強度値をラインセンサ１４にて測定する。詳
細な説明は省略するが、上記透過Ｘ線強度値と被検査物
１２の厚さには一定の相関関係があり、この関係より、
被検査物１２の厚さをもとめる。
に示す。図５において、Ｘ線源１１から発生したＸ線
は、被検査物１２を透過する。この被検査物１２を透過
したＸ線の強度値をラインセンサ１４にて測定する。詳
細な説明は省略するが、上記透過Ｘ線強度値と被検査物
１２の厚さには一定の相関関係があり、この関係より、
被検査物１２の厚さをもとめる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
測定方法では、温度ドリフト等の影響でＸ線源の出力や
ラインセンサの測定感度は稼動時間により変化するた
め、同一の厚さの被検査物であっても、被検査物の透過
Ｘ線強度値は測定した時刻により変化する。このため、
正確に被検査物の厚さを測定する事が出来なかった。
測定方法では、温度ドリフト等の影響でＸ線源の出力や
ラインセンサの測定感度は稼動時間により変化するた
め、同一の厚さの被検査物であっても、被検査物の透過
Ｘ線強度値は測定した時刻により変化する。このため、
正確に被検査物の厚さを測定する事が出来なかった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に、本発明は被検査物と同じ材質で厚さが既知な少なく
とも１つは厚さが異なる複数の参照物体と校正板とをＸ
線源からのＸ線が個別に透過するように配置し、前記複
数の参照物体の１つと校正板に前記Ｘ線源からＸ線を照
射し、前記複数の参照物体と前記校正板を透過した夫々
のＸ線の強度値を前記測定手段により測定する第１工程
と、被検査物と前記校正板とを前記Ｘ線源からのＸ線が
個別に透過するように配置し、被検査物と前記校正板に
前記Ｘ線源からＸ線を照射し前記校正板と前記被検査物
を透過した夫々のＸ線の強度値を前記測定手段により測
定する第２工程と、前記第１工程で測定した前記複数の
参照物体と前記校正板を透過した夫々のＸ線の強度値と
前記複数の参照物体の既知の厚さとの関係を求め、前記
第２工程で測定した前記校正板と前記被検査物を透過し
た夫々のＸ線の強度値と前記関係から、被検査物の厚さ
を求めることを特徴とする。
に、本発明は被検査物と同じ材質で厚さが既知な少なく
とも１つは厚さが異なる複数の参照物体と校正板とをＸ
線源からのＸ線が個別に透過するように配置し、前記複
数の参照物体の１つと校正板に前記Ｘ線源からＸ線を照
射し、前記複数の参照物体と前記校正板を透過した夫々
のＸ線の強度値を前記測定手段により測定する第１工程
と、被検査物と前記校正板とを前記Ｘ線源からのＸ線が
個別に透過するように配置し、被検査物と前記校正板に
前記Ｘ線源からＸ線を照射し前記校正板と前記被検査物
を透過した夫々のＸ線の強度値を前記測定手段により測
定する第２工程と、前記第１工程で測定した前記複数の
参照物体と前記校正板を透過した夫々のＸ線の強度値と
前記複数の参照物体の既知の厚さとの関係を求め、前記
第２工程で測定した前記校正板と前記被検査物を透過し
た夫々のＸ線の強度値と前記関係から、被検査物の厚さ
を求めることを特徴とする。
【０００５】さらに、前記第１工程での、前記参照物体
の既知の厚さをＸｓ、前記参照物体を透過したＸ線の強
度値をＹｓとし、Ｘｓ＝α−ｌｏｇＹｓ／μの式に近似
するμとαを求め、前記第１工程での、前記校正板を透
過したＸ線の強度値の平均値をＹｃ、前記校正板を透過
したＸ線の強度値をＹｋ、測定したＸ線の強度値から求
める前記参照物体の厚さをＺｓとし、Ｚｓ＝（α−ｌｏ
ｇ（Ｙｓ×Ｙｃ／Ｙｋ））／μの式からＺｓを求め、Ｚ
ｓ＝ａ×（α−ｌｏｇ（Ｙｓ×Ｙｃ／Ｙｋ））／μ＋ｂ
の式で示す直線が、傾きが１で切片が０となるａとｂを
求め、前記第２工程での、前記被検査物を透過したＸ線
の強度値をＹｗ、測定したＸ線の強度値から求める前記
被検査物の厚さをＺｗとし、Ｚｗ＝ａ×（α−ｌｏｇ
（Ｙｗ×Ｙｃ／Ｙｋ））／μ＋ｂの式にて被検査物の厚
さを求めることもできる。
の既知の厚さをＸｓ、前記参照物体を透過したＸ線の強
度値をＹｓとし、Ｘｓ＝α−ｌｏｇＹｓ／μの式に近似
するμとαを求め、前記第１工程での、前記校正板を透
過したＸ線の強度値の平均値をＹｃ、前記校正板を透過
したＸ線の強度値をＹｋ、測定したＸ線の強度値から求
める前記参照物体の厚さをＺｓとし、Ｚｓ＝（α−ｌｏ
ｇ（Ｙｓ×Ｙｃ／Ｙｋ））／μの式からＺｓを求め、Ｚ
ｓ＝ａ×（α−ｌｏｇ（Ｙｓ×Ｙｃ／Ｙｋ））／μ＋ｂ
の式で示す直線が、傾きが１で切片が０となるａとｂを
求め、前記第２工程での、前記被検査物を透過したＸ線
の強度値をＹｗ、測定したＸ線の強度値から求める前記
被検査物の厚さをＺｗとし、Ｚｗ＝ａ×（α−ｌｏｇ
（Ｙｗ×Ｙｃ／Ｙｋ））／μ＋ｂの式にて被検査物の厚
さを求めることもできる。
【０００６】これにより、被検査物の透過Ｘ線強度値を
用いて、被検査物の厚さを正確に測定することができ
る。
用いて、被検査物の厚さを正確に測定することができ
る。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１〜図４に本発明の実施の形態
を示す。
を示す。
【０００８】図１に本発明の測定方法を実施する装置の
概略図を示す。図１において１１はＸ線源である。被検
査物１２と校正板１３は図に示す様に、同一平面内で重
ならないように配置されている。Ｘ線源１１から発生し
たＸ線は、被検査物１２と校正板１３を個別に透過し、
透過Ｘ線測定手段であるラインセンサ１４で、被検査物
１２と校正板１３を個別に透過したＸ線強度値を測定す
る。ここで被検査物１２は図１の矢印方向にＸ線源１１
とラインセンサ１４に対し相対的に移動し、被検査物１
２全面の透過Ｘ線強度値を測定する。ラインセンサ１４
で測定した透過Ｘ線強度値は演算手段１５に入力され
る。
概略図を示す。図１において１１はＸ線源である。被検
査物１２と校正板１３は図に示す様に、同一平面内で重
ならないように配置されている。Ｘ線源１１から発生し
たＸ線は、被検査物１２と校正板１３を個別に透過し、
透過Ｘ線測定手段であるラインセンサ１４で、被検査物
１２と校正板１３を個別に透過したＸ線強度値を測定す
る。ここで被検査物１２は図１の矢印方向にＸ線源１１
とラインセンサ１４に対し相対的に移動し、被検査物１
２全面の透過Ｘ線強度値を測定する。ラインセンサ１４
で測定した透過Ｘ線強度値は演算手段１５に入力され
る。
【０００９】図２は、図１の測定装置にて参照物体を透
過したＸ線強度値を測定する測定方法を示す概念図であ
る。図２に示すように、Ｘ線源１１とラインセンサ１４
の間に厚さが既知の参照物体（第１の参照物体１６、第
２の参照物体１７、第３の参照物体１８）を配置する。
この第１の参照物体１６、第２の参照物体１７、第３の
参照物体１８の厚さＸｓ1，Ｘｓ2，Ｘｓ3は夫々厚さが
異なっており、夫々被検査物と同一の材質（例えばＡ
ｌ）である。そして、第１の参照物体１６、第２の参照
物体１７、第３の参照物体１８を夫々透過したＸ線強度
値をラインセンサ１４で測定する。
過したＸ線強度値を測定する測定方法を示す概念図であ
る。図２に示すように、Ｘ線源１１とラインセンサ１４
の間に厚さが既知の参照物体（第１の参照物体１６、第
２の参照物体１７、第３の参照物体１８）を配置する。
この第１の参照物体１６、第２の参照物体１７、第３の
参照物体１８の厚さＸｓ1，Ｘｓ2，Ｘｓ3は夫々厚さが
異なっており、夫々被検査物と同一の材質（例えばＡ
ｌ）である。そして、第１の参照物体１６、第２の参照
物体１７、第３の参照物体１８を夫々透過したＸ線強度
値をラインセンサ１４で測定する。
【００１０】次にＸ線源１１の出力とラインセンサ１４
測定感度の校正を行うため、図３に示すように、ライン
センサで測定した第１の参照物体、第２の参照物体、第
３の参照物体の透過Ｘ線強度値を夫々Ｙｓ1，Ｙｓ2，Ｙ
ｓ3とし、実際の第１の参照物体、第２の参照物体、第
３の参照物体の厚さの夫々対応する点をＡ（Ｘｓ1，Ｙ
ｓ1），Ｂ（Ｘｓ2，Ｙｓ2），Ｃ（Ｘｓ3，Ｙｓ3）と
し、Ｘ線透過強度Ｙｓと参照物体の実際の厚さＸｓとを
軸としたグラフ上にプロットする。一般的に、減衰係数
をμ、オフセット値をαとすると、Ｘ線透過強度Ｙｓと
参照物体の厚さＸｓには次に示す式（１）の関係が成立
する。
測定感度の校正を行うため、図３に示すように、ライン
センサで測定した第１の参照物体、第２の参照物体、第
３の参照物体の透過Ｘ線強度値を夫々Ｙｓ1，Ｙｓ2，Ｙ
ｓ3とし、実際の第１の参照物体、第２の参照物体、第
３の参照物体の厚さの夫々対応する点をＡ（Ｘｓ1，Ｙ
ｓ1），Ｂ（Ｘｓ2，Ｙｓ2），Ｃ（Ｘｓ3，Ｙｓ3）と
し、Ｘ線透過強度Ｙｓと参照物体の実際の厚さＸｓとを
軸としたグラフ上にプロットする。一般的に、減衰係数
をμ、オフセット値をαとすると、Ｘ線透過強度Ｙｓと
参照物体の厚さＸｓには次に示す式（１）の関係が成立
する。
【００１１】
【数１】
【００１２】図３に示すグラフ上において、式（１）で
表される曲線１９が、点Ａ，Ｂ，Ｃの付近を通るよう
に、減衰係数をμ、オフセット値をαを決定する。
表される曲線１９が、点Ａ，Ｂ，Ｃの付近を通るよう
に、減衰係数をμ、オフセット値をαを決定する。
【００１３】式（１）を参照物体の厚さＸｓを求める式
に変換したものが次の式（２）である。
に変換したものが次の式（２）である。
【００１４】
【数２】
【００１５】ここで、この式（２）において、参照物体
のＸ線透過強度値を被検査物の透過Ｘ線強度値へ置き換
えて、図１の厚さ測定装置で、被検査物の厚さを測定
し、非検査物の厚みの測定は可能であるが、Ｘ線源やラ
インセンサの温度ドリフト等の影響で、正確に被検査物
の厚さを測定し続ける事はできない。
のＸ線透過強度値を被検査物の透過Ｘ線強度値へ置き換
えて、図１の厚さ測定装置で、被検査物の厚さを測定
し、非検査物の厚みの測定は可能であるが、Ｘ線源やラ
インセンサの温度ドリフト等の影響で、正確に被検査物
の厚さを測定し続ける事はできない。
【００１６】そこで厚さ測定装置のＸ線源やラインセン
サの温度ドリフト等の影響に左右されずに、被検査物の
厚さを測定するために、図２の測定装置の校正板１３を
用い、次に示す方法で被検査物の厚さを測定する。
サの温度ドリフト等の影響に左右されずに、被検査物の
厚さを測定するために、図２の測定装置の校正板１３を
用い、次に示す方法で被検査物の厚さを測定する。
【００１７】まず、図２の測定装置で第１から第３の参
照物体を透過したＸ線の強度値と校正板１３を透過した
Ｘ線の強度値を測定する。この時の、校正板１３を透過
したＸ線の強度値の平均値をＹｃとし、第１から第３の
参照物体を透過したＸ線の強度値Ｙｓ＝Ｙｓ1，Ｙｓ2，
Ｙｓ3、校正板１３を透過したＸ線の強度値をＹｋとす
ると、透過したＸ線の強度値から求める参照物体の厚さ
Ｚｓは式（２）を変形した次に示す式（３）で求められ
る。
照物体を透過したＸ線の強度値と校正板１３を透過した
Ｘ線の強度値を測定する。この時の、校正板１３を透過
したＸ線の強度値の平均値をＹｃとし、第１から第３の
参照物体を透過したＸ線の強度値Ｙｓ＝Ｙｓ1，Ｙｓ2，
Ｙｓ3、校正板１３を透過したＸ線の強度値をＹｋとす
ると、透過したＸ線の強度値から求める参照物体の厚さ
Ｚｓは式（２）を変形した次に示す式（３）で求められ
る。
【００１８】
【数３】
【００１９】式（３）で求めた第１の参照物体、第２の
参照物体、第３の参照物体の厚さをそれぞれＺｓ1，Ｚ
ｓ2，Ｚｓ3とし、実際の第１の参照物体、第２の参照物
体、第３の参照物体の厚さＸｓ1，Ｘｓ2，Ｘｓ3との、
夫々対応する点をＡ１（Ｘｓ1，Ｚｓ1），Ｂ１（Ｘ
ｓ2，Ｚｓ2），Ｃ１（Ｘｓ3，Ｚｓ3）とし、点Ａ１，Ｂ
１，Ｃ１を図４に示すように、Ｘｓと、Ｚｓを軸とした
グラフ上にプロットする。
参照物体、第３の参照物体の厚さをそれぞれＺｓ1，Ｚ
ｓ2，Ｚｓ3とし、実際の第１の参照物体、第２の参照物
体、第３の参照物体の厚さＸｓ1，Ｘｓ2，Ｘｓ3との、
夫々対応する点をＡ１（Ｘｓ1，Ｚｓ1），Ｂ１（Ｘ
ｓ2，Ｚｓ2），Ｃ１（Ｘｓ3，Ｚｓ3）とし、点Ａ１，Ｂ
１，Ｃ１を図４に示すように、Ｘｓと、Ｚｓを軸とした
グラフ上にプロットする。
【００２０】次に、図４のグラフで、式（３）で求めた
参照物体の厚さＺｓと、参照物体の実際の厚さＸｓの関
係は理論的には正比例の関係になるため、図４のグラフ
上に傾き１で切片が０の直線２０を描く。ここで、係数
ａと係数ｂを設定し、式（３）を変形し、式（４）とす
る。
参照物体の厚さＺｓと、参照物体の実際の厚さＸｓの関
係は理論的には正比例の関係になるため、図４のグラフ
上に傾き１で切片が０の直線２０を描く。ここで、係数
ａと係数ｂを設定し、式（３）を変形し、式（４）とす
る。
【００２１】
【数４】
【００２２】図４のグラフ上で、式（４）で示す直線が
直線２０に近似する様に係数ａと係数ｂを求める。
直線２０に近似する様に係数ａと係数ｂを求める。
【００２３】次に図１の測定装置で被検査物を透過した
Ｘ線の強度値をＹｗとすると、求める被検査物の厚さＺ
ｗは式（５）で求められる。
Ｘ線の強度値をＹｗとすると、求める被検査物の厚さＺ
ｗは式（５）で求められる。
【００２４】
【数５】
【００２５】このようにして、校正板を透過したＸ線の
強度値と被検査物を透過したＸ線の強度値とを式（５）
に代入し、被検査物の厚さを求めることが出来る。
強度値と被検査物を透過したＸ線の強度値とを式（５）
に代入し、被検査物の厚さを求めることが出来る。
【００２６】このように、校正板を透過したＸ線強度値
を常に測定し演算することで、厚さ測定装置のＸ線源や
ラインセンサ（測定手段）の温度ドリフト等の影響に左
右されずに、被検査物の厚さを正確に測定する事が可能
になる。
を常に測定し演算することで、厚さ測定装置のＸ線源や
ラインセンサ（測定手段）の温度ドリフト等の影響に左
右されずに、被検査物の厚さを正確に測定する事が可能
になる。
【００２７】本実施例では、想定される被検査物の厚さ
は１００μｍで材質はＡｌ、校正板の厚さ１００μｍで
材質はＡｌ、材質Ａｌの第１の参照物体、第２の参照物
体、第３の参照物体各々の厚さを５０μｍ、１００μ
ｍ、１５０μｍとした。この場合、点Ａは（５０，２０
０）、点Ｂは（１００，１１０）、点Ｃは（１５０，９
０）、となり、減衰係数μは０．００８、オフセット値
αは５．６であった。またＹｃは１１０、点Ａ１は（５
０，４０．５）、点Ｂ１は（１００，１１７．７）、点
Ｃ１は（１５０，１４４．５）、となり、係数ａは１．
０４、係数ｂは‐３．１６であった。なお本実施の形態
はこれらの数値に限定されるものではない。
は１００μｍで材質はＡｌ、校正板の厚さ１００μｍで
材質はＡｌ、材質Ａｌの第１の参照物体、第２の参照物
体、第３の参照物体各々の厚さを５０μｍ、１００μ
ｍ、１５０μｍとした。この場合、点Ａは（５０，２０
０）、点Ｂは（１００，１１０）、点Ｃは（１５０，９
０）、となり、減衰係数μは０．００８、オフセット値
αは５．６であった。またＹｃは１１０、点Ａ１は（５
０，４０．５）、点Ｂ１は（１００，１１７．７）、点
Ｃ１は（１５０，１４４．５）、となり、係数ａは１．
０４、係数ｂは‐３．１６であった。なお本実施の形態
はこれらの数値に限定されるものではない。
【００２８】なお、本実施の形態では参照物体の個数は
３個としたが、個数に限定は無く、少なくとも一つの厚
さが異なる参照物体であればよい。
３個としたが、個数に限定は無く、少なくとも一つの厚
さが異なる参照物体であればよい。
【００２９】また、本実施の形態では、説明を明瞭にす
るため参照物体の透過Ｘ線強度値測定は２回行っている
が、参照物体の透過Ｘ線強度値測定は、図１の測定装置
で、第１から第３の参照物体と、校正板と、を透過した
Ｘ線の強度値を測定する工程での、１回の測定のであっ
てもよい。
るため参照物体の透過Ｘ線強度値測定は２回行っている
が、参照物体の透過Ｘ線強度値測定は、図１の測定装置
で、第１から第３の参照物体と、校正板と、を透過した
Ｘ線の強度値を測定する工程での、１回の測定のであっ
てもよい。
【００３０】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、被検査物
と同一の材質で、少なくとも一つの厚さの異なる複数の
参照物体を透過した夫々のＸ線の強度値を測定し、夫々
の厚さの参照物体を透過したＸ線の強度値と、夫々に対
応する参照物体の既知の厚さとの関係を求め、被検査物
と校正板を透過した夫々のＸ線の強度値と、前記参照物
体の透過Ｘ線強度値との関係から被検査物の厚さを測定
するため、温度ドリフト等の影響で、Ｘ線源の出力や、
ラインセンサの測定感度が、稼動時間により変化して
も、正確に被検査物の厚さを測定する事が可能になる。
と同一の材質で、少なくとも一つの厚さの異なる複数の
参照物体を透過した夫々のＸ線の強度値を測定し、夫々
の厚さの参照物体を透過したＸ線の強度値と、夫々に対
応する参照物体の既知の厚さとの関係を求め、被検査物
と校正板を透過した夫々のＸ線の強度値と、前記参照物
体の透過Ｘ線強度値との関係から被検査物の厚さを測定
するため、温度ドリフト等の影響で、Ｘ線源の出力や、
ラインセンサの測定感度が、稼動時間により変化して
も、正確に被検査物の厚さを測定する事が可能になる。
【図１】本発明の実施の形態の測定方法を実施する装置
の概略を示す図
の概略を示す図
【図２】本発明の実施の形態の参照物体を透過したＸ線
強度値を測定する概念図
強度値を測定する概念図
【図３】本発明の実施の形態の参照物体の透過Ｘ線強度
値と実際の厚さのグラフ
値と実際の厚さのグラフ
【図４】本発明の実施の形態の式（３）で求めた参照物
体の厚さと既知の厚さのグラフ
体の厚さと既知の厚さのグラフ
【図５】従来の被検査物の厚さの測定方法を示す概略図
１１ Ｘ線源
１２ 被検査物
１３ 校正板
１４ ラインセンサ（測定手段）
１６ 第１の参照物体
１７ 第２の参照物体
１８ 第３の参照物体
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2F067 AA27 BB01 CC00 EE03 GG04
HH04 JJ03 KK06 LL03 NN03
RR15 RR24
2G001 AA01 BA11 CA01 DA08 FA02
FA06 GA01 GA06 GA08 HA01
JA09 JA12 KA11 LA05 MA05
PA01 PA02 PA11 SA01
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｘ線源から被検査物にＸ線を照射し、被
検査物を透過したＸ線の強度値を測定し被検査物の厚さ
を測定する、被検査物の厚さ測定方法において、 被検査物と同じ材質で厚さが既知な少なくとも１つは厚
さが異なる複数の参照物体と校正板とを前記Ｘ線源から
のＸ線が個別に透過するように配置し、前記複数の参照
物体の１つと校正板に前記Ｘ線源からＸ線を照射し、前
記複数の参照物体と前記校正板を透過した夫々のＸ線の
強度値を前記測定手段により測定する第１工程と、 被検査物と前記校正板とを前記Ｘ線源からのＸ線が個別
に透過するように配置し、被検査物と前記校正板に前記
Ｘ線源からＸ線を照射し前記校正板と前記被検査物を透
過した夫々のＸ線の強度値を前記測定手段により測定す
る第２工程と、 前記第１工程で測定した前記複数の参照物体と前記校正
板を透過した夫々のＸ線の強度値と前記複数の参照物体
の既知の厚さとの関係を求め、前記第２工程で測定した
前記校正板と前記被検査物を透過した夫々のＸ線の強度
値と前記関係から、被検査物の厚さを求めることを特徴
とする被検査物の厚さ測定方法。 - 【請求項２】 前記第１工程での、前記参照物体の既知
の厚さをＸｓ、前記参照物体を透過したＸ線の強度値を
Ｙｓとし、Ｘｓ＝α−ｌｏｇＹｓ／μの式に近似するμ
とαを求め、前記第１工程での、前記校正板を透過した
Ｘ線の強度値の平均値をＹｃ、前記校正板を透過したＸ
線の強度値をＹｋ、測定したＸ線の強度値から求める前
記参照物体の厚さをＺｓとし、Ｚｓ＝（α−ｌｏｇ（Ｙ
ｓ×Ｙｃ／Ｙｋ））／μの式からＺｓを求め、Ｚｓ＝ａ
×（α−ｌｏｇ（Ｙｓ×Ｙｃ／Ｙｋ））／μ＋ｂの式で
示す直線が、傾きが１で切片が０となるａとｂを求め、 前記第２工程での、前記被検査物を透過したＸ線の強度
値をＹｗ、測定したＸ線の強度値から求める前記被検査
物の厚さをＺｗとし、Ｚｗ＝ａ×（α−ｌｏｇ（Ｙｗ×
Ｙｃ／Ｙｋ））／μ＋ｂの式にて被検査物の厚さを求め
ることを特徴とする請求項１に記載の被検査物の厚さ測
定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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