JPH09297091A - レーザ光強度分布補正装置 - Google Patents
レーザ光強度分布補正装置Info
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- JPH09297091A JPH09297091A JP11382296A JP11382296A JPH09297091A JP H09297091 A JPH09297091 A JP H09297091A JP 11382296 A JP11382296 A JP 11382296A JP 11382296 A JP11382296 A JP 11382296A JP H09297091 A JPH09297091 A JP H09297091A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】短時間で正確なレーザ光強度分布の補正を行な
えるレーザ光強度分布補正装置を提供すること。 【構成】発生されたレーザ光（２）をシート状にしたレ
ーザシート４を測定部５へ照射する照射手段（３１，３
２）と、この照射手段（３１，３２）と前記測定部５と
の間に設けられ、スリット１４または遮光板を前記レー
ザシート４内でその幅方向へ移動させる移動手段（１
３）と、前記照射手段（３１，３２）と前記測定部５と
の間に設けられ、前記レーザシート４を所定方向へ反射
させる反射手段（８）と、この反射手段（８）で反射さ
れたレーザシートと前記測定部５に照射されたレーザシ
ートを個別に検出する検出手段（９，６）と、を備え、
前記検出手段（９，６）による各検出結果を対応させる
ことでレーザ光強度分布を補正する。
えるレーザ光強度分布補正装置を提供すること。 【構成】発生されたレーザ光（２）をシート状にしたレ
ーザシート４を測定部５へ照射する照射手段（３１，３
２）と、この照射手段（３１，３２）と前記測定部５と
の間に設けられ、スリット１４または遮光板を前記レー
ザシート４内でその幅方向へ移動させる移動手段（１
３）と、前記照射手段（３１，３２）と前記測定部５と
の間に設けられ、前記レーザシート４を所定方向へ反射
させる反射手段（８）と、この反射手段（８）で反射さ
れたレーザシートと前記測定部５に照射されたレーザシ
ートを個別に検出する検出手段（９，６）と、を備え、
前記検出手段（９，６）による各検出結果を対応させる
ことでレーザ光強度分布を補正する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガスタービン、ボ
イラ、エンジン等の内部現象の計測に適用されるレーザ
光強度分布補正装置に関する。
イラ、エンジン等の内部現象の計測に適用されるレーザ
光強度分布補正装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般にガスタービン、ボイラ、エンジン
等の装置内部では複雑な現象が発生している。これら各
装置内部の温度、圧力、成分、濃度等を瞬時に非接触で
二次元的に計測する方法として、ＬＩＦ（Laser Induce
d Fluorescence）法（レーザ励起蛍光法）が用いられて
いる。
等の装置内部では複雑な現象が発生している。これら各
装置内部の温度、圧力、成分、濃度等を瞬時に非接触で
二次元的に計測する方法として、ＬＩＦ（Laser Induce
d Fluorescence）法（レーザ励起蛍光法）が用いられて
いる。
【０００３】図３は、従来のＬＩＦ法による計測装置の
構成を示す図である。レーザ発振器１から発射されたレ
ーザビーム２は、レンズ３１，３２により薄い広幅の光
束であるレーザシート４になり、測定部５に入射する。
測定部５内の気体は、レーザシート４が照射されると、
その温度、圧力、成分、濃度等に応じて蛍光を発生す
る。測定部５に照射されるレーザはシート状であるの
で、蛍光もシート状になって現れ、この蛍光をＣＣＤカ
メラ６で撮像する。さらにＣＣＤカメラ６で撮像された
蛍光の強度分布を画像解析装置７で解析することによ
り、測定部５内の現象１２の温度、圧力、成分、濃度等
を二次元的に求める。
構成を示す図である。レーザ発振器１から発射されたレ
ーザビーム２は、レンズ３１，３２により薄い広幅の光
束であるレーザシート４になり、測定部５に入射する。
測定部５内の気体は、レーザシート４が照射されると、
その温度、圧力、成分、濃度等に応じて蛍光を発生す
る。測定部５に照射されるレーザはシート状であるの
で、蛍光もシート状になって現れ、この蛍光をＣＣＤカ
メラ６で撮像する。さらにＣＣＤカメラ６で撮像された
蛍光の強度分布を画像解析装置７で解析することによ
り、測定部５内の現象１２の温度、圧力、成分、濃度等
を二次元的に求める。
【０００４】ここでレーザシート４内のレーザ強度は、
図３にＡで示すようにその光の強度にばらつきがあり、
レーザ強度分布を均一にするのは困難である。そのため
計測結果に対し、レーザ光強度分布に以下のような補正
を施している。
図３にＡで示すようにその光の強度にばらつきがあり、
レーザ強度分布を均一にするのは困難である。そのため
計測結果に対し、レーザ光強度分布に以下のような補正
を施している。
【０００５】例えば補正の第１の方法として、レーザ光
照射により蛍光を発する気体を測定部５内にできるだけ
均一に入れ、レーザシート４を測定部５に照射し、気体
が発した蛍光をＣＣＤカメラ６で撮像する方法がある。
この方法では、得られた蛍光強度分布はレーザ光の強度
に比例すると仮定し、現象の測定結果の補正に用いる。
照射により蛍光を発する気体を測定部５内にできるだけ
均一に入れ、レーザシート４を測定部５に照射し、気体
が発した蛍光をＣＣＤカメラ６で撮像する方法がある。
この方法では、得られた蛍光強度分布はレーザ光の強度
に比例すると仮定し、現象の測定結果の補正に用いる。
【０００６】また補正の第２の方法として、レーザシー
ト４が測定部５に入射する前に、図３に示すビームスプ
リッタ８でレーザ光の一部を反射させ、受光素子が直線
状に配されたラインセンサ９でレーザシート４の強度分
布を一次元的に検知する方法がある。この方法では、ラ
インセンサ９で検知した強度分布をレーザシート４の強
度分布として、ＣＣＤカメラ６による計測結果に補正を
施す。
ト４が測定部５に入射する前に、図３に示すビームスプ
リッタ８でレーザ光の一部を反射させ、受光素子が直線
状に配されたラインセンサ９でレーザシート４の強度分
布を一次元的に検知する方法がある。この方法では、ラ
インセンサ９で検知した強度分布をレーザシート４の強
度分布として、ＣＣＤカメラ６による計測結果に補正を
施す。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】レーザ光強度分布の補
正の際、上述した従来の二つの方法にはそれぞれ以下の
ような問題がある。 (1) 測定部５に蛍光を発する気体を充填する第１の方法
の場合、気体の温度、濃度等を均一に保つことは困難で
あり、これらの条件に空間的な分布があると、蛍光強度
分布がレーザ光の強度分布に比例しなくなり、補正が不
正確になる。 (2) ビームスプリッタ８とラインセンサ９を用いる第２
の方法の場合、ＣＣＤカメラ６で撮像した画像とライン
センサ９による検出結果との位置関係の対応が困難であ
り、その位置関係の対応にずれがあれば、レーザ光強度
分布の補正が不正確になる。 本発明の目的は、短時間で正確なレーザ光強度分布の補
正を行なえるレーザ光強度分布補正装置を提供すること
にある。
正の際、上述した従来の二つの方法にはそれぞれ以下の
ような問題がある。 (1) 測定部５に蛍光を発する気体を充填する第１の方法
の場合、気体の温度、濃度等を均一に保つことは困難で
あり、これらの条件に空間的な分布があると、蛍光強度
分布がレーザ光の強度分布に比例しなくなり、補正が不
正確になる。 (2) ビームスプリッタ８とラインセンサ９を用いる第２
の方法の場合、ＣＣＤカメラ６で撮像した画像とライン
センサ９による検出結果との位置関係の対応が困難であ
り、その位置関係の対応にずれがあれば、レーザ光強度
分布の補正が不正確になる。 本発明の目的は、短時間で正確なレーザ光強度分布の補
正を行なえるレーザ光強度分布補正装置を提供すること
にある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を
達成するために、本発明のレーザ光強度分布補正装置は
以下の如く構成されている。本発明のレーザ光強度分布
補正装置は、発生されたレーザ光をシート状にしたレー
ザシートを測定部へ照射する照射手段と、この照射手段
と前記測定部との間に設けられ、スリットまたは遮光板
を前記レーザシート内でその幅方向へ移動させる移動手
段と、前記照射手段と前記測定部との間に設けられ、前
記レーザシートを所定方向へ反射させる反射手段と、こ
の反射手段で反射されたレーザシートと前記測定部に照
射されたレーザシートを個別に検出する検出手段と、を
備え、前記検出手段による各検出結果を対応させること
でレーザ光強度分布を補正するよう構成されている。
達成するために、本発明のレーザ光強度分布補正装置は
以下の如く構成されている。本発明のレーザ光強度分布
補正装置は、発生されたレーザ光をシート状にしたレー
ザシートを測定部へ照射する照射手段と、この照射手段
と前記測定部との間に設けられ、スリットまたは遮光板
を前記レーザシート内でその幅方向へ移動させる移動手
段と、前記照射手段と前記測定部との間に設けられ、前
記レーザシートを所定方向へ反射させる反射手段と、こ
の反射手段で反射されたレーザシートと前記測定部に照
射されたレーザシートを個別に検出する検出手段と、を
備え、前記検出手段による各検出結果を対応させること
でレーザ光強度分布を補正するよう構成されている。
【０００９】上記手段を講じた結果、次のような作用が
生じる。本発明のレーザ光強度分布補正装置によれば、
スリットまたは遮光板を前記レーザシート内でその幅方
向へ移動させ、所定方向へ反射されたレーザシートと前
記測定部に照射されたレーザシートを検出し、対応させ
ることでレーザ光強度分布を補正するので、前記スリッ
トまたは遮光板を介した前記レーザシートの位置と強度
を、前記測定部での計測結果と反射されたレーザシート
の検出結果との間で対応させることにより、前記スリッ
トまたは遮光板の位置に対応したレーザ光強度の補正が
行なえる。すなわち、例えばＣＣＤカメラで撮像された
画像とラインセンサによる検出結果との位置関係の対応
が正確になり、前述したようにして得られた二つのレー
ザ光強度分布から補正値を求めることで、短時間で正確
なレーザ光強度分布の補正を行なうことが可能になる。
生じる。本発明のレーザ光強度分布補正装置によれば、
スリットまたは遮光板を前記レーザシート内でその幅方
向へ移動させ、所定方向へ反射されたレーザシートと前
記測定部に照射されたレーザシートを検出し、対応させ
ることでレーザ光強度分布を補正するので、前記スリッ
トまたは遮光板を介した前記レーザシートの位置と強度
を、前記測定部での計測結果と反射されたレーザシート
の検出結果との間で対応させることにより、前記スリッ
トまたは遮光板の位置に対応したレーザ光強度の補正が
行なえる。すなわち、例えばＣＣＤカメラで撮像された
画像とラインセンサによる検出結果との位置関係の対応
が正確になり、前述したようにして得られた二つのレー
ザ光強度分布から補正値を求めることで、短時間で正確
なレーザ光強度分布の補正を行なうことが可能になる。
【００１０】
（第１の実施の形態）図１は、本発明の第１の実施の形
態に係るレーザ光強度分布補正装置の構成を示す図であ
る。なお、当該レーザ光強度分布補正装置は上述したＬ
ＩＦ法による測定を行なうものであり、図１において図
３と同一な部分には同一符号を付してある。レーザ発振
器１から発射されたレーザビーム２は、レンズ３１，３
２により薄い広幅の光束であるレーザシート４になり、
測定部５に入射する。測定部５内の気体は、レーザシー
ト４が照射されると、その温度、圧力、成分、濃度等に
応じて蛍光を発生する。測定部５に照射されるレーザは
シート状であるので、蛍光もシート状になって現れ、こ
の蛍光をＣＣＤカメラ６で撮像する。
態に係るレーザ光強度分布補正装置の構成を示す図であ
る。なお、当該レーザ光強度分布補正装置は上述したＬ
ＩＦ法による測定を行なうものであり、図１において図
３と同一な部分には同一符号を付してある。レーザ発振
器１から発射されたレーザビーム２は、レンズ３１，３
２により薄い広幅の光束であるレーザシート４になり、
測定部５に入射する。測定部５内の気体は、レーザシー
ト４が照射されると、その温度、圧力、成分、濃度等に
応じて蛍光を発生する。測定部５に照射されるレーザは
シート状であるので、蛍光もシート状になって現れ、こ
の蛍光をＣＣＤカメラ６で撮像する。
【００１１】ＣＣＤカメラ６には画像解析装置７が接続
されており、画像解析装置７にはラインセンサ信号処理
装置１０を介して受光素子が直線状に配されたラインセ
ンサ９が接続されている。ＣＣＤカメラ６で撮像された
蛍光の強度分布を画像解析装置７で解析することによ
り、測定部５内の現象１２の温度、圧力、成分、濃度等
が二次元的に求められる。
されており、画像解析装置７にはラインセンサ信号処理
装置１０を介して受光素子が直線状に配されたラインセ
ンサ９が接続されている。ＣＣＤカメラ６で撮像された
蛍光の強度分布を画像解析装置７で解析することによ
り、測定部５内の現象１２の温度、圧力、成分、濃度等
が二次元的に求められる。
【００１２】レンズ３２と測定部５との間の空間におい
て、レーザシート４の進行方向に対して垂直にかつレー
ザシート４の幅方向に対して平行に、レール１３が設置
されている。さらにレール１３上に、図示しないパルス
モータによりレール１３上を移動するスリット１４が設
置されている。
て、レーザシート４の進行方向に対して垂直にかつレー
ザシート４の幅方向に対して平行に、レール１３が設置
されている。さらにレール１３上に、図示しないパルス
モータによりレール１３上を移動するスリット１４が設
置されている。
【００１３】またレーザシート４の光路におけるレール
１３と測定部５との間の空間に、ビームスプリッタ８が
レーザシート４の進行方向に対して斜めに配置されてい
る。このビームスプリッタ８はレーザ光の一部を反射さ
せるものであり、その反射光がラインセンサ９で受光さ
れる。ラインセンサ９では、受光したレーザシート４の
強度分布を一次元的に検知する。
１３と測定部５との間の空間に、ビームスプリッタ８が
レーザシート４の進行方向に対して斜めに配置されてい
る。このビームスプリッタ８はレーザ光の一部を反射さ
せるものであり、その反射光がラインセンサ９で受光さ
れる。ラインセンサ９では、受光したレーザシート４の
強度分布を一次元的に検知する。
【００１４】スリット１４の開口部を通ったレーザ光
（スリット通過光）１５は、上述したようにＣＣＤカメ
ラ６とラインセンサ９で検出される。このスリット１４
を通過したレーザ光１５の位置と強度を、信号処理装置
１０で処理されたラインセンサ９の検出結果と画像処理
装置７で処理されたＣＣＤカメラ６の計測結果との間
で、図示しない制御手段により対応させる。
（スリット通過光）１５は、上述したようにＣＣＤカメ
ラ６とラインセンサ９で検出される。このスリット１４
を通過したレーザ光１５の位置と強度を、信号処理装置
１０で処理されたラインセンサ９の検出結果と画像処理
装置７で処理されたＣＣＤカメラ６の計測結果との間
で、図示しない制御手段により対応させる。
【００１５】これにより、スリット１４のレール１３に
沿った各移動位置でのレーザ光強度の補正が行なえる。
スリット１４はパルスモータでレール１３上を移動する
ので、スリット１４をレーザシート４内の幅方向に移動
させることにより、レーザシート４全体の強度分布の補
正を行なうことができる。
沿った各移動位置でのレーザ光強度の補正が行なえる。
スリット１４はパルスモータでレール１３上を移動する
ので、スリット１４をレーザシート４内の幅方向に移動
させることにより、レーザシート４全体の強度分布の補
正を行なうことができる。
【００１６】本第１の実施の形態のレーザ光強度分布補
正装置は、レーザシート４上にスリット１４を設置する
ことで、スリット１４の開口部を通ったレーザ光１５が
ＣＣＤカメラ６とラインセンサ９で検知される。このス
リット１４を通過したレーザ光１５の位置と強度（光強
度分布）を、ＣＣＤカメラ６の計測結果とラインセンサ
９の検出結果との間で対応させることにより、スリット
１４の位置に対応したレーザ光強度の補正が行なえる。
またスリット１４はパルスモータで移動するので、レー
ザシート１４内を移動させることにより、レーザシート
１４全体の強度分布の補正を行なうことができる。
正装置は、レーザシート４上にスリット１４を設置する
ことで、スリット１４の開口部を通ったレーザ光１５が
ＣＣＤカメラ６とラインセンサ９で検知される。このス
リット１４を通過したレーザ光１５の位置と強度（光強
度分布）を、ＣＣＤカメラ６の計測結果とラインセンサ
９の検出結果との間で対応させることにより、スリット
１４の位置に対応したレーザ光強度の補正が行なえる。
またスリット１４はパルスモータで移動するので、レー
ザシート１４内を移動させることにより、レーザシート
１４全体の強度分布の補正を行なうことができる。
【００１７】（第２の実施の形態）図２は、本発明の第
２の実施の形態に係るレーザ光強度分布補正装置の構成
を示す図である。なお、当該レーザ光強度分布補正装置
は上述したＬＩＦ法による測定を行なうものであり、図
２において図１，図３と同一な部分には同一符号を付
し、説明を省略する。
２の実施の形態に係るレーザ光強度分布補正装置の構成
を示す図である。なお、当該レーザ光強度分布補正装置
は上述したＬＩＦ法による測定を行なうものであり、図
２において図１，図３と同一な部分には同一符号を付
し、説明を省略する。
【００１８】レンズ３２と測定部５との間の空間におい
て、レーザシート４の進行方向に対して垂直にかつレー
ザシート４の幅方向に対して平行に、レール１３が設置
されている。さらにレール１３上に、図示しないパルス
モータによりレール１３上を移動する遮光板１１が設置
されている。その他の構成は図１に示したものと同様で
ある。
て、レーザシート４の進行方向に対して垂直にかつレー
ザシート４の幅方向に対して平行に、レール１３が設置
されている。さらにレール１３上に、図示しないパルス
モータによりレール１３上を移動する遮光板１１が設置
されている。その他の構成は図１に示したものと同様で
ある。
【００１９】ラインセンサ９による検出結果とＣＣＤカ
メラ６で撮像された画像では、レーザシート４において
遮光板１１により遮られた部分が、影Ｓとして検出され
る。そこで、レーザシート４における明るい部分すなわ
ち遮光板１１により遮られていない部分と影Ｓの部分と
の境界１５を、信号処理装置１０で処理されたラインセ
ンサ９の検出結果と画像処理装置７で処理されたＣＣＤ
カメラ６の計測結果との間で、図示しない制御手段によ
り対応させる。
メラ６で撮像された画像では、レーザシート４において
遮光板１１により遮られた部分が、影Ｓとして検出され
る。そこで、レーザシート４における明るい部分すなわ
ち遮光板１１により遮られていない部分と影Ｓの部分と
の境界１５を、信号処理装置１０で処理されたラインセ
ンサ９の検出結果と画像処理装置７で処理されたＣＣＤ
カメラ６の計測結果との間で、図示しない制御手段によ
り対応させる。
【００２０】これにより、遮光板１１のレール１３に沿
った各移動位置でのレーザ光強度の補正が行なえる。遮
光板１１はパルスモータでレール１３上を移動するの
で、レーザシート４内をその幅方向に移動させることに
より、レーザシート４全体の強度分布の補正を行なうこ
とができる。
った各移動位置でのレーザ光強度の補正が行なえる。遮
光板１１はパルスモータでレール１３上を移動するの
で、レーザシート４内をその幅方向に移動させることに
より、レーザシート４全体の強度分布の補正を行なうこ
とができる。
【００２１】本第２の実施の形態のレーザ光強度分布補
正装置は、レーザシート４上に遮光板１１を設置するこ
とで、ＣＣＤカメラ６で撮像される画像とラインセンサ
９の検出結果では、遮光板１１により遮られた部分が影
Ｓになって検出される。よって、明るい部分と影の部分
との境界１５を、ＣＣＤカメラ６で撮像される画像とラ
インセンサ９の検出結果との間で対応させることによ
り、ＣＣＤカメラ６で撮像される画像とラインセンサ９
の検出結果との位置関係のうちの一点が決定される。ま
た遮光板１１はパルスモータで移動するので、レーザシ
ート１４内を移動させることにより、レーザシート１４
全体の強度分布の補正を行なうことができる。
正装置は、レーザシート４上に遮光板１１を設置するこ
とで、ＣＣＤカメラ６で撮像される画像とラインセンサ
９の検出結果では、遮光板１１により遮られた部分が影
Ｓになって検出される。よって、明るい部分と影の部分
との境界１５を、ＣＣＤカメラ６で撮像される画像とラ
インセンサ９の検出結果との間で対応させることによ
り、ＣＣＤカメラ６で撮像される画像とラインセンサ９
の検出結果との位置関係のうちの一点が決定される。ま
た遮光板１１はパルスモータで移動するので、レーザシ
ート１４内を移動させることにより、レーザシート１４
全体の強度分布の補正を行なうことができる。
【００２２】なお、本発明は上記各実施の形態のみに限
定されず、要旨を変更しない範囲で適時変形して実施で
きる。 （実施の形態のまとめ）実施の形態に示された構成およ
び作用効果をまとめると次の通りである。
定されず、要旨を変更しない範囲で適時変形して実施で
きる。 （実施の形態のまとめ）実施の形態に示された構成およ
び作用効果をまとめると次の通りである。
【００２３】実施の形態に示されたレーザ光強度分布補
正装置は、発生されたレーザ光（２）をシート状にした
レーザシート４を測定部５へ照射する照射手段（３１，
３２）と、この照射手段（３１，３２）と前記測定部５
との間に設けられ、スリット１４または遮光板１１を前
記レーザシート４内でその幅方向へ移動させる移動手段
（１３）と、前記照射手段（３１，３２）と前記測定部
５との間に設けられ、前記レーザシート４を所定方向へ
反射させる反射手段（８）と、この反射手段（８）で反
射されたレーザシートと前記測定部５に照射されたレー
ザシートを個別に検出する検出手段（９，６）と、を備
え、前記検出手段（９，６）による各検出結果を対応さ
せることでレーザ光強度分布を補正するよう構成されて
いる。
正装置は、発生されたレーザ光（２）をシート状にした
レーザシート４を測定部５へ照射する照射手段（３１，
３２）と、この照射手段（３１，３２）と前記測定部５
との間に設けられ、スリット１４または遮光板１１を前
記レーザシート４内でその幅方向へ移動させる移動手段
（１３）と、前記照射手段（３１，３２）と前記測定部
５との間に設けられ、前記レーザシート４を所定方向へ
反射させる反射手段（８）と、この反射手段（８）で反
射されたレーザシートと前記測定部５に照射されたレー
ザシートを個別に検出する検出手段（９，６）と、を備
え、前記検出手段（９，６）による各検出結果を対応さ
せることでレーザ光強度分布を補正するよう構成されて
いる。
【００２４】このように上記レーザ光強度分布補正装置
においては、スリット１４または遮光板１１を前記レー
ザシート４内でその幅方向へ移動させ、所定方向へ反射
されたレーザシートと前記測定部５に照射されたレーザ
シートを検出し、対応させることでレーザ光強度分布を
補正するので、前記スリット１４または遮光板１１を介
した前記レーザシートの位置と強度を、前記測定部５で
の計測結果と反射されたレーザシートの検出結果との間
で対応させることにより、前記スリット１４または遮光
板１１の位置に対応したレーザ光強度の補正が行なえ
る。すなわち、例えばＣＣＤカメラ６で撮像された画像
とラインセンサ９による検出結果との位置関係の対応が
正確になり、前述したようにして得られた二つのレーザ
光強度分布から補正値を求めることで、短時間で正確な
レーザ光強度分布の補正を行なうことが可能になる。
においては、スリット１４または遮光板１１を前記レー
ザシート４内でその幅方向へ移動させ、所定方向へ反射
されたレーザシートと前記測定部５に照射されたレーザ
シートを検出し、対応させることでレーザ光強度分布を
補正するので、前記スリット１４または遮光板１１を介
した前記レーザシートの位置と強度を、前記測定部５で
の計測結果と反射されたレーザシートの検出結果との間
で対応させることにより、前記スリット１４または遮光
板１１の位置に対応したレーザ光強度の補正が行なえ
る。すなわち、例えばＣＣＤカメラ６で撮像された画像
とラインセンサ９による検出結果との位置関係の対応が
正確になり、前述したようにして得られた二つのレーザ
光強度分布から補正値を求めることで、短時間で正確な
レーザ光強度分布の補正を行なうことが可能になる。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、短時間で正確なレーザ
光強度分布の補正を行なえるレーザ光強度分布補正装置
を提供できる。
光強度分布の補正を行なえるレーザ光強度分布補正装置
を提供できる。
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るレーザ光強度
分布補正装置の構成を示す図。
分布補正装置の構成を示す図。
【図２】本発明の第２の実施の形態に係るレーザ光強度
分布補正装置の構成を示す図。
分布補正装置の構成を示す図。
【図３】従来例に係るＬＩＦ法による計測装置の構成を
示す図。
示す図。
１…レーザ発振器 ２…レーザビーム ３１…レンズ ３２…レンズ ４…レーザシート ５…測定部 ６…ＣＣＤカメラ ７…画像解析装置 ８…ビームスプリッタ ９…ラインセンサ １０…ラインセンサ信号処理装置 １１…遮光板 １２…現象 １３…レール １４…スリット １５…スリット通過光
Claims (1)
- 【請求項１】発生されたレーザ光をシート状にしたレー
ザシートを測定部へ照射する照射手段と、 この照射手段と前記測定部との間に設けられ、スリット
または遮光板を前記レーザシート内でその幅方向へ移動
させる移動手段と、 前記照射手段と前記測定部との間に設けられ、前記レー
ザシートを所定方向へ反射させる反射手段と、 この反射手段で反射されたレーザシートと前記測定部に
照射されたレーザシートを個別に検出する検出手段と、
を具備し、 前記検出手段による各検出結果を対応させることでレー
ザ光強度分布を補正することを特徴とするレーザ光強度
分布補正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11382296A JPH09297091A (ja) | 1996-05-08 | 1996-05-08 | レーザ光強度分布補正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11382296A JPH09297091A (ja) | 1996-05-08 | 1996-05-08 | レーザ光強度分布補正装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09297091A true JPH09297091A (ja) | 1997-11-18 |
Family
ID=14621923
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11382296A Withdrawn JPH09297091A (ja) | 1996-05-08 | 1996-05-08 | レーザ光強度分布補正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09297091A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008170456A (ja) * | 2008-03-31 | 2008-07-24 | Toyota Motor Corp | 試料濃度検出方法、装置およびプログラム |
| JP2008197116A (ja) * | 2008-03-31 | 2008-08-28 | Toyota Motor Corp | 試料濃度検出方法、装置およびプログラム |
| JP2010085374A (ja) * | 2008-10-02 | 2010-04-15 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ガス成分計測装置及びその光軸調整方法 |
| WO2014010691A1 (ja) * | 2012-07-11 | 2014-01-16 | 住友電気工業株式会社 | 光断層画像の取得方法 |
| CN108398774A (zh) * | 2018-01-18 | 2018-08-14 | 中国科学院广州生物医药与健康研究院 | 一种光片显微镜 |
-
1996
- 1996-05-08 JP JP11382296A patent/JPH09297091A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008170456A (ja) * | 2008-03-31 | 2008-07-24 | Toyota Motor Corp | 試料濃度検出方法、装置およびプログラム |
| JP2008197116A (ja) * | 2008-03-31 | 2008-08-28 | Toyota Motor Corp | 試料濃度検出方法、装置およびプログラム |
| JP2010085374A (ja) * | 2008-10-02 | 2010-04-15 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ガス成分計測装置及びその光軸調整方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030805 |