JP4123816B2 - 被検査物の厚さ測定方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、被検査物にX線を照射し、被検査物を透過したX線を測定し、透過X線強度から被検査物の厚さを求める被検査物の厚さ測定方法に関するものである。詳細には、角型リチウムイオン電池ケースの厚さを測定するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の被検査物の厚さの測定方法を図5に示す。図5において、X線源11から発生したX線は、被検査物12を透過する。この被検査物12を透過したX線の強度値をラインセンサ14にて測定する。詳細な説明は省略するが、上記透過X線強度値と被検査物12の厚さには一定の相関関係があり、この関係より、被検査物12の厚さをもとめる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の測定方法では、温度ドリフト等の影響でX線源の出力やラインセンサの測定感度は稼動時間により変化するため、同一の厚さの被検査物であっても、被検査物の透過X線強度値は測定した時刻により変化する。このため、正確に被検査物の厚さを測定する事が出来なかった。
【0004】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために、本発明は被検査物と同材質で厚さが既知な第1参照物体および基準となる校正板にX線源から同時にX線を照射し、前記第1参照物体を透過した第1参照強度値と前記校正板を透過した校正板第1強度値とをラインセンサにより同時に測定し、前記被検査物と同材質で厚さが既知な第2参照物体および基準となる前記校正板に前記X線源から同時にX線を照射し、前記第2参照物体を透過した第2参照強度値と前記校正板を透過した校正板第2強度値とを前記ラインセンサにより同時に測定する第1工程と、前記被検査物と前記校正板とに前記X線源から同時にX線を照射し、前記被検査物を透過した被検査強度値と前記校正板を透過した校正板第3強度値とを前記ラインセンサにより同時に測定する第2工程と、前記第1参照強度値を前記校正板第1強度値に基づいて補正し、前記第2参照強度値を前記校正板第2強度値に基づいて補正し、前記被検査強度値を前記校正板第3強度値に基づいて補正した後に、前記補正された強度値を夫々用いて前記第1参照強度値と第2参照強度値と複数の前記参照物体の厚さとの関係式を求め、前記被検査強度値と前記関係式とから前記被検査物の厚さを求めることを特徴とする。
【0006】
これにより、被検査物の透過X線強度値を用いて、被検査物の厚さを正確に測定することができる。
【0007】
【発明の実施の形態】
図1〜図4に本発明の実施の形態を示す。
【0008】
図1に本発明の測定方法を実施する装置の概略図を示す。図1において11はX線源である。被検査物12と校正板13は図に示す様に、同一平面内で重ならないように配置されている。X線源11から発生したX線は、被検査物12と校正板13を個別に透過し、透過X線測定手段であるラインセンサ14で、被検査物12と校正板13を個別に透過したX線強度値を測定する。ここで被検査物12は図1の矢印方向にX線源11とラインセンサ14に対し相対的に移動し、被検査物12全面の透過X線強度値を測定する。ラインセンサ14で測定した透過X線強度値は演算手段15に入力される。
【0009】
図2は、図1の測定装置にて参照物体を透過したX線強度値を測定する測定方法を示す概念図である。図2に示すように、X線源11とラインセンサ14の間に厚さが既知の参照物体(第1の参照物体16、第2の参照物体17、第3の参照物体18)を配置する。この第1の参照物体16、第2の参照物体17、第3の参照物体18の厚さXs1,Xs2,Xs3は夫々厚さが異なっており、夫々被検査物と同一の材質(例えばAl)である。そして、第1の参照物体16、第2の参照物体17、第3の参照物体18を夫々透過したX線強度値をラインセンサ14で測定する。
【0010】
次にX線源11の出力とラインセンサ14測定感度の校正を行うため、図3に示すように、ラインセンサで測定した第1の参照物体、第2の参照物体、第3の参照物体の透過X線強度値を夫々Ys1,Ys2,Ys3とし、実際の第1の参照物体、第2の参照物体、第3の参照物体の厚さの夫々対応する点をA(Xs1,Ys1),B(Xs2,Ys2),C(Xs3,Ys3)とし、X線透過強度Ysと参照物体の実際の厚さXsとを軸としたグラフ上にプロットする。一般的に、減衰係数をμ、オフセット値をαとすると、X線透過強度Ysと参照物体の厚さXsには次に示す式(1)の関係が成立する。
【0011】
【数1】
【0012】
図3に示すグラフ上において、式(1)で表される曲線19が、点A,B,Cの付近を通るように、減衰係数をμ、オフセット値をαを決定する。
【0013】
式(1)を参照物体の厚さXsを求める式に変換したものが次の式(2)である。
【0014】
【数2】
【0015】
ここで、この式(2)において、参照物体のX線透過強度値を被検査物の透過X線強度値へ置き換えて、図1の厚さ測定装置で、被検査物の厚さを測定し、非検査物の厚みの測定は可能であるが、X線源やラインセンサの温度ドリフト等の影響で、正確に被検査物の厚さを測定し続ける事はできない。
【0016】
そこで厚さ測定装置のX線源やラインセンサの温度ドリフト等の影響に左右されずに、被検査物の厚さを測定するために、図2の測定装置の校正板13を用い、次に示す方法で被検査物の厚さを測定する。
【0017】
まず、図2の測定装置で第1から第3の参照物体を透過したX線の強度値と校正板13を透過したX線の強度値を測定する。この時の、校正板13を透過したX線の強度値の平均値をYcとし、第1から第3の参照物体を透過したX線の強度値Ys=Ys1,Ys2,Ys3、校正板13を透過したX線の強度値をYkとすると、透過したX線の強度値から求める参照物体の厚さZsは式(2)を変形した次に示す式(3)で求められる。
【0018】
【数3】
【0019】
式(3)で求めた第1の参照物体、第2の参照物体、第3の参照物体の厚さをそれぞれZs1,Zs2,Zs3とし、実際の第1の参照物体、第2の参照物体、第3の参照物体の厚さXs1,Xs2,Xs3との、夫々対応する点をA1(Xs1,Zs1),B1(Xs2,Zs2),C1(Xs3,Zs3)とし、点A1,B1,C1を図4に示すように、Xsと、Zsを軸としたグラフ上にプロットする。
【0021】
【数4】
【0022】
図4のグラフ上で、式(4)で示す直線が直線20に近似する様に係数aと係数bを求める。
【0023】
次に図1の測定装置で被検査物を透過したX線の強度値をYwとすると、求める被検査物の厚さZwは式(5)で求められる。
【0024】
【数5】
【0025】
このようにして、校正板を透過したX線の強度値と被検査物を透過したX線の強度値とを式(5)に代入し、被検査物の厚さを求めることが出来る。
【0026】
このように、校正板を透過したX線強度値を常に測定し演算することで、厚さ測定装置のX線源やラインセンサ(測定手段)の温度ドリフト等の影響に左右されずに、被検査物の厚さを正確に測定する事が可能になる。
【0027】
本実施例では、想定される被検査物の厚さは100μmで材質はAl、校正板の厚さ100μmで材質はAl、材質Alの第1の参照物体、第2の参照物体、第3の参照物体各々の厚さを50μm、100μm、150μmとした。この場合、点Aは(50,200)、点Bは(100,110)、点Cは(150,90)、となり、減衰係数μは0.008、オフセット値αは5.6であった。またYcは110、点A1は(50,40.5)、点B1は(100,117.7)、点C1は(150,144.5)、となり、係数aは1.04、係数bは‐3.16であった。なお本実施の形態はこれらの数値に限定されるものではない。
【0028】
なお、本実施の形態では参照物体の個数は3個としたが、個数に限定は無く、少なくとも一つの厚さが異なる参照物体であればよい。
【0029】
また、本実施の形態では、説明を明瞭にするため参照物体の透過X線強度値測定は2回行っているが、参照物体の透過X線強度値測定は、図1の測定装置で、第1から第3の参照物体と、校正板と、を透過したX線の強度値を測定する工程での、1回の測定のであってもよい。
【0030】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、被検査物と同一の材質で、少なくとも一つの厚さの異なる複数の参照物体を透過した夫々のX線の強度値を測定し、夫々の厚さの参照物体を透過したX線の強度値と、夫々に対応する参照物体の既知の厚さとの関係を求め、被検査物と校正板を透過した夫々のX線の強度値と、前記参照物体の透過X線強度値との関係から被検査物の厚さを測定するため、温度ドリフト等の影響で、X線源の出力や、ラインセンサの測定感度が、稼動時間により変化しても、正確に被検査物の厚さを測定する事が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の測定方法を実施する装置の概略を示す図
【図2】本発明の実施の形態の参照物体を透過したX線強度値を測定する概念図
【図3】本発明の実施の形態の参照物体の透過X線強度値と実際の厚さのグラフ
【図4】本発明の実施の形態の式(3)で求めた参照物体の厚さと既知の厚さのグラフ
【図5】従来の被検査物の厚さの測定方法を示す概略図
【符号の説明】
11 X線源
12 被検査物
13 校正板
14 ラインセンサ(測定手段)
16 第1の参照物体
17 第2の参照物体
18 第3の参照物体
Claims (1)
- 被検査物と同材質で厚さが既知な第1参照物体および基準となる校正板にX線源から同時にX線を照射し、前記第1参照物体を透過した第1参照強度値と前記校正板を透過した校正板第1強度値とをラインセンサにより同時に測定し、前記被検査物と同材質で厚さが既知な第2参照物体および基準となる前記校正板に前記X線源から同時にX線を照射し、前記第2参照物体を透過した第2参照強度値と前記校正板を透過した校正板第2強度値とを前記ラインセンサにより同時に測定する第1工程と、
前記被検査物と前記校正板とに前記X線源から同時にX線を照射し、前記被検査物を透過した被検査強度値と前記校正板を透過した校正板第3強度値とを前記ラインセンサにより同時に測定する第2工程と、
前記第1参照強度値を前記校正板第1強度値に基づいて補正し、前記第2参照強度値を前記校正板第2強度値に基づいて補正し、前記被検査強度値を前記校正板第3強度値に基づいて補正した後に、前記補正された強度値を夫々用いて前記第1参照強度値と第2参照強度値と複数の前記参照物体の厚さとの関係式を求め、前記被検査強度値と前記関係式とから前記被検査物の厚さを求めること
を特徴とする被検査物の厚さ測定方法。
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