JPH05141944A - 放射線厚さ計 - Google Patents
放射線厚さ計Info
- Publication number
- JPH05141944A JPH05141944A JP30285191A JP30285191A JPH05141944A JP H05141944 A JPH05141944 A JP H05141944A JP 30285191 A JP30285191 A JP 30285191A JP 30285191 A JP30285191 A JP 30285191A JP H05141944 A JPH05141944 A JP H05141944A
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- JP
- Japan
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- plate thickness
- fluctuation
- thickness
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 測定精度を損なうことなく板厚変動に速く応
答して測定値を出力することのできる放射線厚さ計を提
供するのを目的とするものである。 【構成】 被測定物12に放射線ビーム１ａを照射し、こ
の透過放射線１ｂ量を検出し、これに対応した電気信号
に変換して連続的に被測定物12の板厚を測定する放射線
厚さ計において、板厚に対応した統計的変動量（標準偏
差誤差）を事前に検出予測し記憶しておき、電気信号が
入力される演算処理装置５に、前後の測定演算結果から
後の測定演算結果の変動量を求め、前記演算処理装置で
算出された測定結果に発生する変動量が統計的変動によ
るものか、実際の板厚変動によるものかを識別すること
により、統計的測定変動に対しては平準化を行って測定
誤差を小さく、さらに実際の板厚変動に対しては平準化
を行なわないことで速い応答で測定できるようにした。
答して測定値を出力することのできる放射線厚さ計を提
供するのを目的とするものである。 【構成】 被測定物12に放射線ビーム１ａを照射し、こ
の透過放射線１ｂ量を検出し、これに対応した電気信号
に変換して連続的に被測定物12の板厚を測定する放射線
厚さ計において、板厚に対応した統計的変動量（標準偏
差誤差）を事前に検出予測し記憶しておき、電気信号が
入力される演算処理装置５に、前後の測定演算結果から
後の測定演算結果の変動量を求め、前記演算処理装置で
算出された測定結果に発生する変動量が統計的変動によ
るものか、実際の板厚変動によるものかを識別すること
により、統計的測定変動に対しては平準化を行って測定
誤差を小さく、さらに実際の板厚変動に対しては平準化
を行なわないことで速い応答で測定できるようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、放射線を板状の被測定
物に照射して板厚を測定する放射線厚さ計に関する。
物に照射して板厚を測定する放射線厚さ計に関する。
【０００２】
【従来の技術】放射線を被測定物に照射して、その透過
放射線量で被測定物の厚さを測定する放射線厚さ計は、
被測定板材に非接触で且つ高精度に測定できるので、鉄
鋼・非鉄分野の圧延ラインで多く使用されている。そし
て、放射線源には被測定物や測定範囲に応じてＸ線また
はγ線が使われている。
放射線量で被測定物の厚さを測定する放射線厚さ計は、
被測定板材に非接触で且つ高精度に測定できるので、鉄
鋼・非鉄分野の圧延ラインで多く使用されている。そし
て、放射線源には被測定物や測定範囲に応じてＸ線また
はγ線が使われている。
【０００３】また、放射線厚さ計の測定データには、一
般に、放射線個有の統計雑音が含まれているが、この統
計雑音はデータの処理上小さい方が望ましいので、見か
け上の統計雑音を小さくするために一般に平均化処理や
フィルタリング処理などの平準化処理が施されている。
般に、放射線個有の統計雑音が含まれているが、この統
計雑音はデータの処理上小さい方が望ましいので、見か
け上の統計雑音を小さくするために一般に平均化処理や
フィルタリング処理などの平準化処理が施されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】被測定物の先端が放射
線厚さ計の放射線測定ビームに突入したときの応答速度
と被測定物の圧延目標厚さが連続的に変化したときの応
答速度は、速い方が望ましいが、前記平準化処理は応答
速度を遅らせることになる。
線厚さ計の放射線測定ビームに突入したときの応答速度
と被測定物の圧延目標厚さが連続的に変化したときの応
答速度は、速い方が望ましいが、前記平準化処理は応答
速度を遅らせることになる。
【０００５】また、従来の放射線厚さ計は、平準化処理
のための平均化処理回数やフィルタリング定数が装置で
一定に固定されているので、統計雑音を小さくすること
に設定すると、応答速度が遅くなり、反対に応答速度を
速くするように設定すると、統計雑音が大きくなってし
まう。そこで、本発明の目的は測定精度を損なうことな
く板厚変動に速く応答して測定値を出力することのでき
る放射線厚さ計を提供するものである。
のための平均化処理回数やフィルタリング定数が装置で
一定に固定されているので、統計雑音を小さくすること
に設定すると、応答速度が遅くなり、反対に応答速度を
速くするように設定すると、統計雑音が大きくなってし
まう。そこで、本発明の目的は測定精度を損なうことな
く板厚変動に速く応答して測定値を出力することのでき
る放射線厚さ計を提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段および作用】被測定物に放
射線を照射する放射線照射手段と、この放射線照射手段
から照射された放射線が被測定物を透過した透過放射線
量を検出し、透過放射線量を示す検出信号を出力する透
過放射線量検出手段と、透過放射線量検出手段の出力す
る検出信号を演算処理して板厚測定値を出力する演算処
理手段とを有する放射線厚さ計において、予め被測定物
の板厚に対応した統計的変動量が記憶され、一連の測定
により算出された前後の板厚測定値から板厚測定値の変
動量を求め、この変動量と記憶された統計的変動量を比
較することで、板厚測定値の変動量が統計的変動による
ものの度合いを検知する検知手段と、この検知手段が検
知した板厚測定値の変動量が統計的変動によるものの度
合いに応じて、平準化処理を演算処理手段の出力する板
厚測定値に対して行い、出力する平準化処理手段とを有
することを特徴とするものである。
射線を照射する放射線照射手段と、この放射線照射手段
から照射された放射線が被測定物を透過した透過放射線
量を検出し、透過放射線量を示す検出信号を出力する透
過放射線量検出手段と、透過放射線量検出手段の出力す
る検出信号を演算処理して板厚測定値を出力する演算処
理手段とを有する放射線厚さ計において、予め被測定物
の板厚に対応した統計的変動量が記憶され、一連の測定
により算出された前後の板厚測定値から板厚測定値の変
動量を求め、この変動量と記憶された統計的変動量を比
較することで、板厚測定値の変動量が統計的変動による
ものの度合いを検知する検知手段と、この検知手段が検
知した板厚測定値の変動量が統計的変動によるものの度
合いに応じて、平準化処理を演算処理手段の出力する板
厚測定値に対して行い、出力する平準化処理手段とを有
することを特徴とするものである。
【０００７】
【実施例】本発明の放射線厚さ計の一実施例を図面を参
照して説明する。図１は、本発明の放射線厚さ計の一実
施例を示すブロック図である。
照して説明する。図１は、本発明の放射線厚さ計の一実
施例を示すブロック図である。
【０００８】被測定物12に放射線１ａを照射する厚さ計
の放射線源１が材料の被測定物12の片側に設けられてい
る。被測定物12の他側には、被測定物12を透過した放射
線１ｂを受けてその放射線量に対応したアナログの電気
信号に変換して出力する放射線検出器２が設けられてい
る。放射線検出器２の出力側にはプリアンプ３が接続さ
れ、このプリアンプ３の出力側には、プリアンプ３で増
幅された放射線検出器２のアナログ信号をデジタルに変
換して出力するＡ／Ｄ変換器４が接続されている。更
に、このＡ／Ｄ変換器４の出力側には、このＡ／Ｄ変換
器４からのデジタル信号を入力する演算処理装置５が接
続されている。
の放射線源１が材料の被測定物12の片側に設けられてい
る。被測定物12の他側には、被測定物12を透過した放射
線１ｂを受けてその放射線量に対応したアナログの電気
信号に変換して出力する放射線検出器２が設けられてい
る。放射線検出器２の出力側にはプリアンプ３が接続さ
れ、このプリアンプ３の出力側には、プリアンプ３で増
幅された放射線検出器２のアナログ信号をデジタルに変
換して出力するＡ／Ｄ変換器４が接続されている。更
に、このＡ／Ｄ変換器４の出力側には、このＡ／Ｄ変換
器４からのデジタル信号を入力する演算処理装置５が接
続されている。
【０００９】そして、演算処理装置５のプログラム中に
は、Ａ／Ｄ変換器４からのデジタル信号により、被測定
物12の厚さを演算して、この結果と前回までに演算した
結果にもとづいて今回の演算結果を平準化するか否かを
決定し、平準化する場合は演算結果を平準化し外部へ出
力するプログラムを有している。次に以上のように構成
された装置を用いて、板厚演算・出力処理について説明
する。図２に板厚演算・出力処理のフローチャートを示
す。まずＳ１処理で、Ａ／Ｄ変換器４からのデジタル信
号を入力し対応する板厚を演算し、演算結果を板厚デー
タｘ（Ｎ）に格納する。次にＳ２処理で、ｘ（Ｎ）の前
回外部へ出力した板厚出力データｙ（Ｎ−１）からの板
厚変化量を計算する。 Δｘ＝ｘ（Ｎ）−ｙ（Ｎ−１）……（１） Ｓ３処理で板厚変化量Δｘと、平準化判定値Ｌとの比較
を行う。
は、Ａ／Ｄ変換器４からのデジタル信号により、被測定
物12の厚さを演算して、この結果と前回までに演算した
結果にもとづいて今回の演算結果を平準化するか否かを
決定し、平準化する場合は演算結果を平準化し外部へ出
力するプログラムを有している。次に以上のように構成
された装置を用いて、板厚演算・出力処理について説明
する。図２に板厚演算・出力処理のフローチャートを示
す。まずＳ１処理で、Ａ／Ｄ変換器４からのデジタル信
号を入力し対応する板厚を演算し、演算結果を板厚デー
タｘ（Ｎ）に格納する。次にＳ２処理で、ｘ（Ｎ）の前
回外部へ出力した板厚出力データｙ（Ｎ−１）からの板
厚変化量を計算する。 Δｘ＝ｘ（Ｎ）−ｙ（Ｎ−１）……（１） Ｓ３処理で板厚変化量Δｘと、平準化判定値Ｌとの比較
を行う。
【００１０】平準化判定値Ｌは、板厚変化量Δｘが放射
線の統計的変動によるものか、実際の板厚変動によるも
のかを判定するためのデータで、予め測定板厚の統計的
変動量を測定しておき、この結果をもとに決定される。
線の統計的変動によるものか、実際の板厚変動によるも
のかを判定するためのデータで、予め測定板厚の統計的
変動量を測定しておき、この結果をもとに決定される。
【００１１】平準化判定値Ｌの一例として、測定板厚Ｔ
の統計的変動が正規分布に従う場合は、その標準偏差σ
から、 Ｌ＝３．３σ ……（２） とする。この場合の平準化判定値Ｌは、前回外部へ出力
した板厚出力データｙ（Ｎ−１）が測定板厚の中心であ
り、かつ実際の板厚変動がないと仮定した場合の板厚変
化量Δｘが99.9％に入る板厚変動幅を示す。Ｓ３処理
で、板厚変化量Δｘが平準化判定値Ｌより小さい場合は
Ｓ４処理を実行する。
の統計的変動が正規分布に従う場合は、その標準偏差σ
から、 Ｌ＝３．３σ ……（２） とする。この場合の平準化判定値Ｌは、前回外部へ出力
した板厚出力データｙ（Ｎ−１）が測定板厚の中心であ
り、かつ実際の板厚変動がないと仮定した場合の板厚変
化量Δｘが99.9％に入る板厚変動幅を示す。Ｓ３処理
で、板厚変化量Δｘが平準化判定値Ｌより小さい場合は
Ｓ４処理を実行する。
【００１２】Ｓ４処理では、前回演算出力した板厚と今
回測定した板厚との差が平準化判定値Ｌよりも小さい場
合、つまり変化量は統計雑音による変動が支配的である
と判断した場合に実行され、所定の平準化処理が実行さ
れる。図２では平準化処理として移動平均方式を採用し
た場合のもので、ｍは移動平均を行うデータの個数を示
す。平準化を行った結果を板厚出力データｙ（Ｎ）に格
納する。Ｓ５処理で移動平均データ個数ｍが、５より小
さいと判断した場合は、Ｓ６処理で移動平均データ個数
ｍをインクリメントする。
回測定した板厚との差が平準化判定値Ｌよりも小さい場
合、つまり変化量は統計雑音による変動が支配的である
と判断した場合に実行され、所定の平準化処理が実行さ
れる。図２では平準化処理として移動平均方式を採用し
た場合のもので、ｍは移動平均を行うデータの個数を示
す。平準化を行った結果を板厚出力データｙ（Ｎ）に格
納する。Ｓ５処理で移動平均データ個数ｍが、５より小
さいと判断した場合は、Ｓ６処理で移動平均データ個数
ｍをインクリメントする。
【００１３】Ｓ３処理で、板厚データｘが平準化判定値
Ｌと等しいか又は大きい場合はＳ７処理を実行する。Ｓ
７処理は前回演算出力した板厚出力データｙ（Ｎ−１）
と今回測定した板厚ｘ（Ｎ）との差が平準化判定値Ｌと
等しいか又は大きい場合の処理で、板厚の大きな変化を
検出した場合の処理である。この場合は、装置の応答を
速める必要があるので平準化処理は実行せず、移動平均
データ個数ｍを１にリセットする。移動平均データ個数
ｍをリセットするのは、以後の平準化処理で板厚変化以
前の古いデータを平準化処理で使用しないためのもので
ある。今回演算した板厚ｘ（Ｎ）は、そのまま板厚出力
データｙ（Ｎ）に格納される。Ｓ８処理では、板厚出力
データｙ（Ｎ）を外部へ出力し板厚演算・出力処理を終
了する。
Ｌと等しいか又は大きい場合はＳ７処理を実行する。Ｓ
７処理は前回演算出力した板厚出力データｙ（Ｎ−１）
と今回測定した板厚ｘ（Ｎ）との差が平準化判定値Ｌと
等しいか又は大きい場合の処理で、板厚の大きな変化を
検出した場合の処理である。この場合は、装置の応答を
速める必要があるので平準化処理は実行せず、移動平均
データ個数ｍを１にリセットする。移動平均データ個数
ｍをリセットするのは、以後の平準化処理で板厚変化以
前の古いデータを平準化処理で使用しないためのもので
ある。今回演算した板厚ｘ（Ｎ）は、そのまま板厚出力
データｙ（Ｎ）に格納される。Ｓ８処理では、板厚出力
データｙ（Ｎ）を外部へ出力し板厚演算・出力処理を終
了する。
【００１４】以上の処理で演算・出力される板厚出力デ
ータｙ（Ｎ）は、放射線の統計的変動と実際の板厚変化
を内部で判別しているため、統計的変動による板厚測定
値の変動は平準化処理により平準化されるが、実際の板
厚変化に対しては、早い応答を実現することができる。
ータｙ（Ｎ）は、放射線の統計的変動と実際の板厚変化
を内部で判別しているため、統計的変動による板厚測定
値の変動は平準化処理により平準化されるが、実際の板
厚変化に対しては、早い応答を実現することができる。
【００１５】図３は、実際の板厚ｚ（Ｎ）の変動に対す
る、図２に示した板厚演算・出力処理により出力される
板厚出力データｙ（Ｎ）の関係を示す図で、ｔ＝６〜７
の間に発生した板厚変動ｚ（６）からｚ（７）に対して
ｙ（６）からｙ（７）の出力に見られるように図４に示
す従来装置による結果と比較し早い応答を実現してい
る。
る、図２に示した板厚演算・出力処理により出力される
板厚出力データｙ（Ｎ）の関係を示す図で、ｔ＝６〜７
の間に発生した板厚変動ｚ（６）からｚ（７）に対して
ｙ（６）からｙ（７）の出力に見られるように図４に示
す従来装置による結果と比較し早い応答を実現してい
る。
【００１６】上記実施例では平準化判定値Ｌを一種類の
み設定し、板厚演算結果の前回出力値からの変動がＬよ
り小さい場合は平準化を行い、Ｌと等しいか又は大きい
場合は平準化を行わない例であるが、平準化判定値を二
種類以上設定し、移動平均のデータ個数を変化させ、平
準化の大きさを変化させるのも一例である。
み設定し、板厚演算結果の前回出力値からの変動がＬよ
り小さい場合は平準化を行い、Ｌと等しいか又は大きい
場合は平準化を行わない例であるが、平準化判定値を二
種類以上設定し、移動平均のデータ個数を変化させ、平
準化の大きさを変化させるのも一例である。
【００１７】また、平準化処理としては移動平均処理の
他フィルタリング処理等が考えられるが、フィルタリン
グ処理を行う場合は、平準化判定値Ｌとの比較結果か
ら、フィルタリングの度合いを変更すれば良い。
他フィルタリング処理等が考えられるが、フィルタリン
グ処理を行う場合は、平準化判定値Ｌとの比較結果か
ら、フィルタリングの度合いを変更すれば良い。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、予め板厚測定時におけ
る放射線の統計的変動の大きさを記憶しておき、測定時
の演算結果に発生する測定値の変動が統計的変動による
ものか、実際の板厚変動によるものかを判断することが
できるため、統計的変動に対しては平準化を行い、これ
による測定誤差を小さくでき、さらに実際の板厚変動に
対しては早い応答で測定することができる。そのため、
測定精度をそこなうことなく測定速度の速い放射線厚さ
計を提供することができる。
る放射線の統計的変動の大きさを記憶しておき、測定時
の演算結果に発生する測定値の変動が統計的変動による
ものか、実際の板厚変動によるものかを判断することが
できるため、統計的変動に対しては平準化を行い、これ
による測定誤差を小さくでき、さらに実際の板厚変動に
対しては早い応答で測定することができる。そのため、
測定精度をそこなうことなく測定速度の速い放射線厚さ
計を提供することができる。
【図１】本発明による放射線厚さ計の実施例を示す図で
ある。
ある。
【図２】本発明による実施例の板厚演算・出力処理のフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図３】図２で示した板厚演算・出力処理により板厚演
算・出力した場合の実際の、板厚変化と厚さ計の板厚出
力の関係を示す図である。
算・出力した場合の実際の、板厚変化と厚さ計の板厚出
力の関係を示す図である。
【図４】従来の方法により板厚演算・出力した場合の、
実際の板厚変化と厚さ計の板厚出力の関係を示す図であ
る。
実際の板厚変化と厚さ計の板厚出力の関係を示す図であ
る。
１…放射線源、１ａ…放射線、１ｂ…被測定物を透過し
た放射線、２…放射線検出器、３…プリアンプ、４…Ａ
／Ｄ変換器、５…演算処理装置、12…被測定物。
た放射線、２…放射線検出器、３…プリアンプ、４…Ａ
／Ｄ変換器、５…演算処理装置、12…被測定物。
Claims (1)
- 【請求項１】 被測定物に放射線を照射する放射線照射
手段と、 この放射線照射手段から照射された放射線が被測定物を
透過した透過放射線量を検出し、透過放射線量を示す検
出信号を出力する透過放射線量検出手段と、 透過放射線量検出手段の出力する検出信号を演算処理し
て板厚測定値を出力する演算処理手段とを有する放射線
厚さ計において、 予め被測定物の板厚に対応した統計的変動量が記憶さ
れ、一連の測定により算出された前後の板厚測定値から
板厚測定値の変動量を求め、この変動量と記憶された統
計的変動量を比較することで、板厚測定値の変動量が統
計的変動によるものの度合いを検知する検知手段と、 この検知手段が検知した板厚測定値の変動量が統計的変
動によるものの度合いに応じて、平準化処理を演算処理
手段の出力する板厚測定値に対して行い、出力する平準
化処理手段とを有することを特徴とする放射線厚さ計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30285191A JPH05141944A (ja) | 1991-11-19 | 1991-11-19 | 放射線厚さ計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30285191A JPH05141944A (ja) | 1991-11-19 | 1991-11-19 | 放射線厚さ計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05141944A true JPH05141944A (ja) | 1993-06-08 |
Family
ID=17913863
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30285191A Pending JPH05141944A (ja) | 1991-11-19 | 1991-11-19 | 放射線厚さ計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05141944A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009139330A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-25 | Anritsu Sanki System Co Ltd | Ｘ線質量測定装置 |
| JP2009294180A (ja) * | 2008-06-09 | 2009-12-17 | Yamatake Corp | 移動平均値算出装置および移動平均値算出方法 |
| WO2020194852A1 (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 | 株式会社島津製作所 | ポンプ監視装置、真空ポンプおよび生成物堆積診断用データ処理プログラム |
-
1991
- 1991-11-19 JP JP30285191A patent/JPH05141944A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009139330A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-25 | Anritsu Sanki System Co Ltd | Ｘ線質量測定装置 |
| JP2009294180A (ja) * | 2008-06-09 | 2009-12-17 | Yamatake Corp | 移動平均値算出装置および移動平均値算出方法 |
| WO2020194852A1 (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 | 株式会社島津製作所 | ポンプ監視装置、真空ポンプおよび生成物堆積診断用データ処理プログラム |
| JPWO2020194852A1 (ja) * | 2019-03-27 | 2021-12-02 | 株式会社島津製作所 | ポンプ監視装置、真空ポンプおよび生成物堆積診断用データ処理プログラム |
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