JPH0587169B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、積層セラミツクコンデンサの製造
方法に関するもので、特に、複数枚のセラミツク
グリーンシートの積重ね時、あるいは積層セラミ
ツクグリーンシートへの内部電極等となるべき導
電膜の印刷時、さらにはセラミツクグリーンシー
トの積層体の切断時、等において生じ得る、内部
電極のずれに起因する不良品の発生を防止するた
めの改良に向けられるものである。

［従来の技術］ 第６図および第７図を参照して、この発明にと
つて興味ある積層セラミツクコンデンサについて
説明する。

積層セラミツクコンデンサ１は、第７図に示す
ように、複数のセラミツク誘電体層２を積層して
なるコンデンサ本体３を備える。コンデンサ本体
３の内部には、複数の内部電極４が、各々、セラ
ミツク誘電体層２を介して配置される。また、内
部電極４の各々からは、引出電極５が一体に延び
るように形成されている。引出電極５は、コンデ
ンサ本体３の一方および他方の端面ならびに当該
端面に隣接する側面の一部に交互に露出するよう
に、第６図に示したような順序でセラミツク誘電
体層２が積層される。コンデンサ本体３の各端部
には、対応の引出電極５に電気的に接続されるよ
うに、外部電極６がそれぞれ形成される。

上述した積層セラミツクコンデンサ１におい
て、各内部電極４と対応の外部電極６との電気的
接続を確実なものとするため、次のような配慮が
払われている。まず、引出電極５は、外部電極６
との間で接触し得る長さを長くするため、前述の
ように、コンデンサ本体３の端面だけでなく当該
端面に隣接する側面の一部にまで露出するように
形成されている。さらに、コンデンサ本体３の角
の部分には、たとえばバレル研摩等により面とり
部７が形成され、この面とり部７において引出電
極５を確実に露出させ、外部電極６と確実に電気
的に接続されるようにしている。面とり部７の形
成は、コンデンサ本体３を得るときに行なわれる
焼成において、内部電極４および引出電極５が積
層セラミツク誘電体層２より大きく収縮し、引出
電極５が焼成後のコンデンサ本体３から露出しな
くなつた場合であつても、引出電極５と外部電極
６との電気的接続を確保することを可能にする。

上述した積層セラミツクコンデンサ１を製造す
るめたには、従来、次のような方法が採用されて
いる。

第８図に示すように、まず、四角形の平面形状
を有する複数枚のセラミツクグリーンシート８が
用意される。これらセラミツクグリーンシート８
は、前述したセラミツク誘電体層２となるべきも
のである。

次に、セラミツクグリーンシート８の各々に、
複数個の積層セラミツクコンデンサ１のための内
部電極４となるべき複数の内部電極部分９と引出
電極５となるべき複数の引出電極部分１０とが、
金属を含むペーストをスクリーン印刷することに
より形成される。このとき、各内部電極部分９
は、各引出電極部分１０によつて連結された状態
で配列されている。

次に、内部電極部分９および引出電極部分１０
が形成された複数枚のセラミツクグリーンシート
８は積重ねられ、それによつて積層体が得られ
る。このようなセラミツクグリーンシート８の積
重ねにおいて、内部電極部分９が、セラミツクグ
リーンシート８を介して対応の内部電極部分９と
対向するように考慮される。第８図に示した内部
電極部分９のようなパターンを有する場合には、
セラミツクグリーンシート８は、第８図に示した
方向のものと、これに対してセラミツクグリーン
シート８の主表面方向に180度回転させたものと
が交互に積重ねられることによ、上述した内部電
極部分９の所望の対向状態を得ることができる。
積層体は、第８図に示したセラミツクグリーンシ
ート８を積層したものの上下に、さらに、導電膜
を形成していない適当枚数のセラミツクグリーン
シートを重ねたものとされる。

次に、積層体は、第８図において１点鎖線でそ
の位置を示した切断線１１，１２に沿つて切断さ
れ、それによつて、個々の積層セラミツクコンデ
ンサ１のためのコンデンサ本体３となるべき複数
個のチツプが得られる。

次に、タツプは焼成され、その後必要に応じ
て、第７図に示した面とり部７を形成するための
研摩処理が実施され、次いで、焼成されたチツプ
の各端部にそれぞれ外部電極６が形成される。

［発明が解決しようとする課題］ 上述した複数個のチツプを得ようとするとき、
第８図に示した切断線１１，１２に沿う切断をす
べて完了した段階であるかどうかはともかくとし
て、最も端に位置する切断線１１ａ，１１ｂ，１
２ａ，１２ｂの外側に位置する部分が、まず除去
され、第９図に示すような積層体１３の状態とさ
れるのが通常である。なぜなら、これら切断線１
１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂの外側の領域は、
コンデンサを構成するものではなく、捨てられる
べきものであつて、これらが積層セラミツクコン
デンサ１を構成するチツプと混ざり合うことを防
止するためである。

第９図に示した積層体１３の１つの端面１４を
見たとき、そこには、第８図に示したセラミツク
グリーンシート８上で最も端に位置する引出電極
部分１０ａの連なりが現われ、端面１４に隣接す
る端面１５には、引出電極部分１０を幅方向に切
断した部分が現われる。

したがつて、内部電極部分９の印刷ずれやセラ
ミツクグリーンシート８の積重ねのずれや切断位
置のずれが生じていないかどうかを確認しようと
するとき、矢印１６方向へのずれは、端面１５上
に現われる引出電極部分１０によつて観察するこ
とができるが、矢印１７方向へのずれは、これを
観察することができない。なぜなら、端面１４上
には、引出電極部分１０ａの連なりが端から端ま
で切れることなく見えるにすぎないからである。

したがつて、積層体１３内において、内部電極
部分９の矢印１７方向への位置ずれが仮に生じて
いたとしても、そのまま、以後の製造ステツプを
進めなければならない。そのため、このような内
部電極部分９の位置ずれが原因となつて、得られ
た積層セラミツクコンデンサ１には、取得容量が
目的値から外れたり、内部電極４のシヨートを生
じたり、内部電極４の露出による外観不良を生じ
たり、などの製品不良が現れることがあり、歩留
りの低下をもたらしていた。

そこで、この発明は、上述したような内部電極
部分の位置ずれに起因する歩留りの低下を未然に
防止することができる、積層セラミツクコンデン
サの製造方法を提供しようとするものである。

［課題を解決するための手段］ この発明は、複数のセラミツク誘電体層を積層
してなるコンデンサ本体と、各々前記セラミツク
誘電体層を介して配置される複数の内部電極と、
前記内部電極の各々から延び交互に前記コンデン
サ本体の一方および他方の端面ならびに当該端面
に隣接する側面の一部に露出する引出電極と、前
記引出電極に電気的に接続されるように前記コン
デンサ本体の各端部にそれぞれ形成される外部電
極と、を備える積層セラミツクコンデンサの製造
方法に向けられるものであつて、基本的に、次の
ようなステツプを備えている。すなわち、 前記セラミツク誘電体層となるべき四角形の平
面形状を有する複数枚のセラミツクグリーンシー
トを準備するステツプと、 前記セラミツクグリーンシートの各々に、複数
個の前記積層セラミツクコンデンサのための前記
内部電極となるべき複数の内部電極部分と前記引
出電極となるべき複数の引出電極部分とを、前記
各内電極部分が前記各引出電極部分によつて連結
された状態で配列されるように、形成するステツ
プと、 前記複数枚のセラミツクグリーンシートを積重
ねて積層体を得るステツプと、 前記積層体を切断して個々の前記積層セラミツ
クコンデンサのための前記コンデンサ本体となる
べき複数個のチツプを得るステツプと、 前記チツプを焼成するステツプと、 前記焼成されたチツプの各端部にそれぞれ外部
電極を形成するステツプと、 を備えている。そして、上述した技術的課題を解
決するため、 前記内部電極部分と前記引出電極部分とを形成
するステツプは、前記セラミツクグリーンシート
上で最も端に位置する前記引出電極部分の連なり
の少なくとも一部であつて前記積層体とされたと
きの積層方向に整列する位置にそれぞれ切欠を形
成するステツプを備え、かつ 前記積層体を切断するステツプは、前記切欠が
形成された前記引出電極部分の連なりを外部に露
出させるステツプを備える、 ことを特徴とするものである。

［発明の作用および効果］ この発明では、セラミツクグリーンシート上で
最も端に位置する引出電極部分の連なりの少なく
とも一部に切欠が形成され、この切欠は、積層体
を切断して、この最も端に位置する引出電極部分
の連なりを外部に露出させたとき、これを見るこ
とができる。この切欠は、積層体とされたときの
積層方向に整列する位置に設けられているため
た、複数個の切欠が、積層体の端面において積層
方向に適正に整列していれば、内部電極部分の適
正な位置合わせか達成されていると判断すること
ができる。

なお、積層体の積層方向における複数個の切欠
の整列状態は、必ずしも、積層方向にぴつたりと
整列している必要ははない。得ようとする積層セ
ラミツクコンデンサに要求される寸法または特性
度の精度に応じて、複数個の切欠が、一定の許容
範囲内で積層体の積層方向に整列していれば、良
品であると判断される場合もあるからである。

このように、この発明によれば、積層体を切断
して、切欠が形成された引出電極部分の連なりを
外部に露出させた段階で、切欠の整列状態を見る
ことにより、積層体の内部にある内部電極部分の
位置合わせが適正であるかどうかを判断すること
ができる。したがつて、切欠の整列状態が適正で
あるときには、以後の製造ステツプを進めればよ
い。他方、切欠の整列状態が適正でない場合に
は、この段階で以後の製造ステツプの実施を中止
すればよい。

したがつて、切欠の位置を見ることによつて、
内部電極部分の印刷ずれやセラミツクグリーンシ
ートの積重ねずれや積層体の切断位置ずれに起因
する内部電極部分の位置ずれを早期に発見するこ
とができる。その結果、このような内部電極部分
の位置ずれに起因する、取得容量が許容範囲から
外れることや、内部電極間にシヨートを生ずるこ
とや、内部電極の露出による外観不良、などの製
品不良に占めるウエイトの高い不良の発生を減じ
ることができ、製品の歩留りを向上させることが
できる。

また、この発明が奏する効果をもたらすため
に、引出電極部分の連なりの少なくとも一部に切
欠を形成することは、容易である。たとえば、内
部電極部分および引出電極部分を印刷するための
パターン内に切欠を形成するためのパターンを含
めておいたり、印刷後において削り取つたりする
だけで、容易に切欠を形成することができる。
［実施例］ 第１図には、この発明の一実施例において用い
られるセラミツクグリーンシート２０が平面図で
示されている。このセラミツクグリーンシート２
０は、第６図および第７図を参照して説明した積
層セラミツクコンデンサ１を得るためのものとし
て用意される。

セラミツクグリーンシート２０は、四角形の平
面形状を有している。セラミツクグリーンシート
２０の一方主表面上には、複数個の積層セラミツ
クコンデンサ１のための内部電極４および引出電
極５となるべき内部電極部分２１および引出電極
部分２２が、各内部電極部分２１が各引出電極部
分２２によつて連結された状態で配列されるよう
に、たとえば金属ペーストを用いたスクリーン印
刷により形成されている。特に、セラミツクグリ
ーンシート２０上で最も端に位置する引出電極部
分２２ａの連なりの少なくとも一部、たとえばこ
の連なりの両端部付近には、切欠２３，２４が形
成されている。

第１図に示したセラミツクグリーンシート２０
は、第１図に示した方向のものと、これに対して
セラミツクグリーンシート２０の主表面方向に
180度回転させたものとが交互に積重ねられる。
そして、このように積重ねられたセラミツクグリ
ーンシート２０の上下には、導電膜を形成してい
ないセラミツクグリーンシートが適当枚数重ねら
れ、それによつて、積層体が得られる。

上述のように、積層体が得られたとき、この積
層体は、積層方向に加圧される。

次に、第７図に示すような個々の積層セラミツ
クコンデンサ１のためのコンデンサ本体３となる
べき複数個のチツプを得るため、積層体を切断す
るステツプが実施される。この切断は、第１図に
おいて１点鎖線で示した切断線２５，２６に沿つ
て実施される。なお、前述した従来技術と同様、
切断線２５，２６に沿う切断がすべて完了してい
るか否かは問わないが、通常、セラミツクグリー
ンシート２０上において最も端に位置する切断線
２５ａ，２５ｂおよび２６ａ，２６ｂの外側に位
置する部分は、コンデンサを構成する部分ではな
いので、コンデンサを構成するチツプへの混入を
避けるため、先に除去される。このように切断線
２５ａ，２５ｂおよび２６ａ，２６ｂの外側に位
置する部分を除去して得られた積層体２７が第２
図に斜視図で示されている。

第２図において、切断線２５ｂに沿う切断によ
つて現われた端面２８および切断線２６ｂに沿う
切断によつて現われた端面２９が図示されてい
る。端面２８には、最も端に位置する引出電極部
分２２ａの連なりが、積層方向に整列した切欠２
３，２４とともに現われる。また、端面２９に
は、引出電極部分２２をその幅方向に切断した端
部が現われる。なお、第２図において図示しない
が、積層体２７の、端面２８と対向する端面に
は、端面２８に現れた引出電極部分２２ａおよび
切欠２３，２４と実質的に同じような態様で引出
電極部分および切欠が現われ、他方、端面２９と
対向する端面には、端面２９に現われた引出電極
部分２２と実質的に同様の態様で引出電極部分が
現われる。ところで、第２図に示した積層体２７
は、図示の便宜上、その積層方向の寸法がその主
表面方向の寸法に比べて誇張されて図示されてい
ることを指摘しておく。

内部電極部分２１の矢印３０方向への位置ずれ
は、端面２９上において矢印３０方向に断続的に
延びる引出電極部分２２の整列状態を見ることに
よつて判定することができる。他方、内部電極部
分２１の矢印３１方向への位置ずれは、端面２８
に現われた切欠２３，２４の整列状態を見ること
により判定できる。

第３図には、積層体２７の端面２８が正面図で
示されている。第３図に示すように、端面２８に
現われた切欠２３，２４が積層方向に整列してい
れば、内部電極部分２１の位置合わせが適正であ
ると判断される。第３図では、切欠２３，２４の
それぞれが、ぴつたりと積層方向に整列するよう
に図示されたが、実際には、このような整列状態
には、所定の許容範囲があり、この許容範囲内に
切欠２３，２４の位置が収まつていば、内部電極
部分２１の位置合わせが適正であると判断され
る。

なお、この実施例では、引出電極部分２２ａの
１つの連なりに関して、２つの切欠２３，２４が
対称的に形成されている。したがつて、第３図に
示すように、内部電極部分２１が適正に位置合わ
せされている場合には、端面２８の左右方向にお
いて、切欠２３と切欠２４とが左右対称的にバラ
ンス良く位置されている。このことから、人間の
目による観察および判断がより容易になる。しか
しながら、このような利点を望まないのであれ
ば、形成される切欠としては、切欠２３または２
４のいずれか一方のみであつてもよく、また、こ
のような切欠の位置が引出電極部分２２ａの連な
りの中央部付近に寄せられてもよい。さらに、切
欠の数は、３以上であつてもよい。

内部電極部分２１の位置合わせが適正でない場
合には、積層体２７の端面２８において、第４図
または第５図に示すような現象が生じる。すなわ
ち、第４図では、内部電極部分２１の積層方向に
おける相互の位置合わせについては適正である
が、特に切断線２６に沿う切断の位置が不適正で
あつたために、内部電極部分２１の位置が不適正
となつた場合を示している。この状態では、たと
えば、一方の切欠２３が端面２８からほとんど外
れ、他方の切欠２４のみが、端面２８に明確に現
われることになる。また、第５図に示す状態で
は、特に、内部電極部分２１の積層方向における
相互のずれが生じた場合の典型例が示されてい
る。この状態では、切欠２３，２４の双方に関し
て、その積層方向での整列状態が阻害されてい
る。

このようにして、たとえば第４図および第５図
に示したような位置ずれが生じた場合には、以後
の製造ステツプを中止することができるので、位
置ずれに起因する製品不良の発生を防止でき、製
品の歩留りを向上させることができる。

なお、第４図および第５図に示した位置ずれの
態様は、単なる例示にすぎず、実際には、さらに
多様な位置ずれを生じるであろう。

前述したように、第３図に示したような切欠２
３，２４の整列状態が得られたとき、積層体２７
は、コンデンサ本体となるべき複数個のチツプに
分割され、その後、従来の製造方法と同様、焼成
され、それによつて、第７図に示すようなコンデ
ンサ本体３が得られる。そして、必要により、面
とり部７を形成するように研摩され、次いで、外
部電極６が形成される。これによつて、所望の積
層セラミツクコンデンサ１が完成される。

以上、この発明を図示の実施例に関連して説明
したが、この発明の範囲内において、その他種々
の変形例が可能である。

たとえば、第１図に示した内部電極部分２１お
よび引出電極部分２２の形成パターンおよび数
は、単なる例示にすぎず、これらパターンおよび
数は、必要に応じて、種々変更されることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の一実施例において用いら
れるセラミツクグリーンシート２０を示す平面図
である。第２図は、第１図に示したセラミツクグ
リーンシート２０を積重ね、かつ端面２８，２９
を露出させるように切断して得られた積層体２７
の一部を示す斜視図である。第３図は、第２図に
示した積層体２７の端面２８を示す正面図であ
る。第４図および第５図は、それぞれ、位置ずれ
が生じた積層体２７の端面２８を示す正面図であ
る。第６図は、この発明にとつて興味ある積層セ
ラミツクコンデンサに含まれるセラミツク誘電体
層２を分解して示す斜視図である。第７図は、第
６図に示したセラミツク誘電体層２をもつて構成
された積層セラミツクコンデンサ１の一部破断上
面図である。第８図は、従来方法において用いら
れていたセラミツクグリーンシート８を示す平面
図である。第９図は、第８図に示したセラミツク
グリーンシート８を積重ね、かつ端面１４，１５
を露出させるように切断して得られた積層体１３
の一部を示す斜視図である。 図において、１は積層セラミツクコンデンサ、
２はセラミツク誘電体層、３はコンデンサ本体、
４は内部電極、５は引出電極、６は外部電極、２
０はセラミツクグリーンシート、２１は内部電極
部分、２２は引出電極部分、２３，２４は切欠、
２５，２６は切断線、２７は積層体、２８，２９
は端面である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 複数のセラミツク誘電体層を積層してなるコ
   ンデンサ本体と、各々前記セラミツク誘電体層を
   介して配置される複数の内部電極と、前記内部電
   極の各々から延びかつ交互に前記コンデンサ本体
   の一方および他方の端面ならびに当該端面に隣接
   する側面の一部に露出する引出電極と、前記引出
   電極に電気的に接続されるように前記コンデンサ
   本体の各端部にそれぞれ形成される外部電極と、
   を備える積層セラミツクコンデンサの製造方法に
   おいて、 前記セラミツク誘電体層となるべき四角形の平
   面形状を有する複数枚のセラミツクグリーンシー
   トを準備するステツプと、 前記セラミツクグリーンシートの各々に、複数
   個の前記積層セラミツクコンデンサのための前記
   内部電極となるべき複数の内部電極部分と前記引
   出電極となるべき複数の引出電極部分とを、前記
   各内電極部分が前記各引出電極部分によつて連結
   された状態で配列されるように、形成するステツ
   プと、 前記複数枚のセラミツクグリーンシートを積重
   ねて積層体を得るステツプと、 前記積層体を切断して個々の前記積層セラミツ
   クコンデンサのための前記コンデンサ本体となる
   べき複数個のチツプを得るステツプと、 前記チツプを焼成するステツプと、 前記焼成されたチツプの各端部にそれぞれ外部
   電極を形成するステツプと、 を備え、 前記内部電極部分と前記引出電極部分とを形成
   するステツプは、前記セラミツクグリーンシート
   上で最も端に位置する前記引出電極部分の連なり
   の少なくとも一部であつて前記積層体とされたと
   きの積層方向に整列する位置にそれぞれ切欠を形
   成するステツプを備え、かつ 前記積層体を切断するステツプは、前記切欠が
   形成された前記引出電極部分の連なりを外部に露
   出させるステツプを備える、 を特徴とする、積層セラミツクコンデンサの製造
   方法。