JPH01312817A - 積層セラミックコンデンサの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ この発明は、積層セラミソクコンデシサの製造方法に関
するもので、特に、複数枚のセラミックグリーン：・−
トの積重ね時、あるいは積層セラミックグリーンシート
への内部電極等となるべき導電膜の印刷時、さらにはセ
ラミックグリーンシートの積層体の切断時、等において
生じ得る、内部電極のずれに起因するイー良品の定〆Ｉ
を防ロー、するための改良に向けられるしのである。

［従来の技術］ 第６図および第７図をり照して、この発明にとって興味
ある積層セラミックコンデンサについて説明する。

積層セラミックコンデンザ１は、第７図に示すよ−）に
、複数のセラミック誘電体層２を積層してζるコンデン
サ本体′づを備える。コンデンサ本体３の内部には、複
数の内部電極４が、各々、セラミック誘電体層２を介し
て配置される。また、内部電極・４の各シからは、引出
電極５が一体に延びるように形成されている。引出電極
５は、コンデンサ本体３の一方および他方の端面ならび
に当該端面に隣接する側面の一部に交互に露出するよう
に、第６図に示したような順序でセラミック誘電体層２
か積層される。コンデンカ本体３の６端部には、対応の
引出電極５に電気的に接続されるように、４部電極６か
それぞれ形成される。

上述した積層セラ２ツクコンデンサ１において、各内部
電極４と対応の外部電極６との電気的接続を確実ｔもの
とするため、次のような配、慮が払イ〕れている。ます
、引出電極５は、外部電極６との間で接触し香る長さを
長くするため、前述のよ・）に、コンデンカ本体３の端
面たけでなく当該端面に隣接する側面の一部にまで露出
するように形成されている。さ５）に、コンデ−・す本
体３の角の部分には、たとイーばバレル研摩等により面
とり部７が形成され、二の面とり部７において引出電極
５を確実に露出させ、外部電極６と確実に電気的に接続
されるようにしている。面とり部７の形成は、コンデ〕
す本体３を得るときに行−ｉわれる焼成において、内部
電極４および引出電極５がセラミック誘電体層２より大
きく収縮し、引出電極５が焼成後のコンデ〉す本体３か
ら露出しなくなった場合であっても、引出電極５と外部
電極６との電気的接続を確保することを可能にする。

上述した積層セラミックコンデンサ］を製造するために
は、従来、次のような方法が採用されている。

第８図に示すように、まず、四角形の平面形状を白する
複数枚のセラミックグリーンシート８か用意される。こ
れらセラミックグリーンシート８は、前述したセラミッ
ク誘電体層２となるべきものである。

次に、セラミックグリーンシート８の各々に、複数個の
積層セラミックコンデンサ１のための内部電＠Ａ４とな
るべき複数の内部電極部分りと引出電極５となるべき複
数の引出電極部分１０とか、金属を八むペーストをスク
リー、印刷するこ、Ｊ：により形成される。このとき１
、谷内部電極部分りは、ｈ引出電極部分１０によって連
結された状態で配列されでいる。

次に、内部？ｌｉ極部骨部分よび引出電極部分１０が１
［３成された１（数枚のセラミックグリーンシート８は
積ｊｆｉねられ、それによって積層体か［Ｊられる。

二のよ・うなセラミックグリーンシート８の積重ねにお
いて、内部′小極部分りが、セラミックグリーンシート
８を介して対応の内部電極部分りと々・１向するように
考慮される。第８図に示した内部電極部分つのようなパ
ターンを白゛する場合には、セラミックグリーンシート
８は、第８図に示した方向のものと、これに対し、てセ
ラミックグリーンシート８の主表面方向に１８０度回軸
回転たものとが交互に積重ねられることにより、上述し
た内部電画部分りの所望の対向状態をｉ与ることができ
る。

積層体は、第８図に示したセラミックグリーンシート８
を積層したものの」１上に、さらに、導電膜を形成して
いない適当枚数のセラミックグリーンシートを重ねたも
のとされる。

次に、積層体は、第８図において１点鎖線でその位置を
示した切断線１１．１２に沿って切断され、それによっ
て、個々の積層セラミックコンデンサ１のだめのコンデ
ンサ本体３となるべき複数個のチップか得られる。

次に、チップは焼成され、その後、必要に応して、第７
図に示した面とり部７を形成するための研摩処理が実施
され、次いで、焼成されたチップの各端部にそれぞれ外
部電極６が形成される。

［発明力＜８７決しようとする課題］ 上述した複数個のチップを得ようとするとき、第８図に
示した切断線１１．１２に沿う切断をすべて完了した段
階であるかどうかはともかくとし。

で、最も端に位置する切断線１１　（ａ）、１１（ｂ）
、１２　（ａ）、１２　（ｂ）の外側に位置する部分が
、まず除去され、第９図に示すような積層体１３の状態
とされるのが通常である。なぜなら、これら切断線１１
　　（ａ）、ｌｉ　　（ｂ）、１２（ａ）、１２　（ｂ
）の外側の領域は、コンデンサを構成するものではなく
、捨てられるべきものであって、これらが積層セラミッ
クコンデンサ１を構成するチップと混ざり合うことを防
止するためである。

第９図に示した積層体１３の１つの端面１４をりだとき
、そこには、第８図に示したセラミックグリーンシート
８上で最も端に位置する引出電極部分１０（ａ）の連な
りが現われ、端面１４に隣接する端面１５には、引出電
極部分１０を幅ツノ向に切断した部分が現われる。

したがって、内部電極部分りの印刷のずれやセラミック
グリーンシート８の積重ねのずれや切断位置のずれが生
じていないかどうかを確認しようとするとき、矢印１６
方向へのずれは、端ＩＩＩＪ］５上に現われる引出電極
部分１０によって観察することができるが、矢印１７方
向へのずれは、これを観察することができない。なぜな
ら、端面１４上には、引出電極部分１０　（ａ）の連な
りが端から端まで切れることなく見えるにすぎないから
である。

したがって、積層体１３内において、内部Ｘｔ＋部分９
の矢印１７方向への位置ずれが仮に生じていたとしても
、そのまま、以後の製造ステップを進めなければならな
い。そのため、このような内部電極部分りの位置ずれが
原因となって、ｉすられた積層セラミックコンデンサ】
には、取得容量が目的値から外れたり、内部電極４のン
ヨートを生じたり、内部電極４の露出による外観不良を
生じたり、などの製品不良が現われることがあり、歩留
りの低下をもたらしていた。

そこで、この発明は、上述したような内部電極部分の位
置ずれに起因する歩留りの低ドを未然に防止することが
できる、積層セラミックコンデンサの製造方法を提供し
ようとするものである。

［課題を解決するための手段］ この発明は、複数のセラミック誘電体層を積層してなる
コンデンサ本体と、各々前記セラミック誘電体層を介し
て配置される複数の内部電極と、前記内部電極の各々か
ら延び交互に前記コンデンサ本体の−ｈ゛および他方の
端面ならびに当該端面に隣接する側面の一部に露出する
引出電極と、前記引出電極に電気的に接続されるように
前記コンデンサ本体の各端部にそれぞれ形成される外部
電極と、を備える積層セラミックコンデンサの製造方法
に向けられるものであって、基本的に、次のようなステ
ップを備えている。すなわち、前記セラミック誘電体層
となるべき四角形の甲面形状を有する複数枚のセラミッ
クグリーンシートを準備するステップと、 前記セラミックグリーンシートの各々に、ｉ勺数個の前
記積層セラミックコンデンサのための前記内部電極とな
るべき複数の内部電極部分と前記引出電極となるべき複
数の引出電極部分とを、前記各内部電極部分が前記各引
出電極部分によって連結された状態で配列されるように
、形成するステップと、 前記複数枚のセラミックグリーンシートを積重ねて積層
体を得るステップと、 前記積層体を切断して個々の前記積層セラミックコンデ
ンサのだめの前記コンデンサ本体となるべき複数個のチ
ップを得るステップと、前記チップを焼成するステップ
と、 前記焼成されたチップの各端部にそれぞれ外部電極を形
成するステップと、 を備えている。そして、上述した技術的課題を解決する
ため、 前記内部電極部分と前記引出電極部分とを形成するステ
ップは、前記セラミックグリーンシート上で最も端に位
置する前記引出電極部分の連なりの少なくとも一部であ
って前記積層体とされたときの積層方向に整列する位置
にそれぞれ切欠を形成するステップを備え、かつ 前記積層体を切断するステップは、前記切欠か形成され
た前記引出電極部分の連なりを外部に露出させるステッ
プを備える、 ことを特徴とするものである。

［発明の作用および効果］ この発明では、セラミックグリーンシート上で最も端に
位置する引出電極部分の連なりの少なくとも一部に切欠
が形成され、この切欠は、積層体を切断して、この最も
端に位置する引出電極部分の連なりを外部に露出させた
とき、これを見ることができる。この切欠は、積層体と
されたときの積層方向に整列する位置に設けられている
ため、複数個の切欠が、積層体の端面において積層方向
に適正に整列していれば、内部電極部分の適正な位置合
わせが達成されていると判断することができる。

なお、積層体の積層方向における複数個の切欠の整列状
態は、必ずしも、積層方向にぴったりと整列している必
要ははない。得ようとする積層セラミックコンデンサに
要求される寸法または特性上の精度に応じて、複数個の
切欠が、一定の許容範囲内で積層体の積層方向に整列し
ていれば、良品であると判断される場合もあるからであ
る。

このように、この発明によれば、積層体を切断して、切
欠が形成された引出電極部分の連なりを外部に露出させ
た段階で、切欠の整列状態を見ることにより、積層体の
内部にある内部電極部分の位置合わせが適正であるかど
うかを判断することができる。したがって、切欠の整列
状態が適正であるときには、以後の製造ステップを進め
ればよい。他方、切欠の整列状態が適正でない場合には
、この段階で以後の製造ステップの実施を中止すればよ
い。

したがって、切欠の位置を見ることによって、内部電極
部分の印刷ずれやセラミックグリーンシートの積重ねず
れや積層体の切断位置ずれに起因する内部電極部分の位
置ずれを早期に発見することができる。その結果、この
ような内部電極部分の位置ずれに起因する、取得容量が
許容範囲から外れることや、内部電極間にショートを生
じることや、内部電極の露出による外観不良、などの製
品不良に占めるウェイトの高い不良の発生を減じること
ができ、製品の歩留りを向上させることができる。

また、この発明が奏する効果をもたらすために、引出電
極部分の連なりの少なくとも一部に切欠を形成すること
は、容易である。たとえば、内部電極部分および引出電
極部分を印−ＩＪするためのパターン内に切欠を形成す
るためのパターンを含めておいたり、印刷後において削
り取ったりするたけて、容易に切欠を形成することがで
きる。

［実施例コ 第１図には、この発明の一実施例において用いられるセ
ラミックグリーンシート２０か平面図で示されている。

このセラミックグリーンシート２０は、第６図および第
７図を参照して説明した積層セラミックコンデンサ１を
得るためのものとして用意される。

セラミックグリーンシート２０は、四角形の平面形状を
有している。セラミックグリーンシート２０の一方主表
面上には、複数個の積層セラミックコンデンサ１のため
の内部電極４および引出電極５となるべき内部電極部分
２１および引出電極部分２２が、各内部電極部分２１が
各引出電極部分２２によって連結された状態で配列され
るように、たとえば金属ペーストを用いたスクリーン印
刷により形成されている。特に、セラミックグリ−ンシ
ート２０上で最も端に位置する引出電極部分２２　（ａ
）の連なりの少なくとも一部、たとえばこの連なりの両
端部付近には、切欠２３．　２４が形成されている。

第１図に示したセラミックグリーンシート２０は、第１
図に示した方向のものと、これに対してセラミックグリ
ーンシート２０の主表面方向に１８０度回転させたもの
とが交互に積重ねられる。

そして、このように積重ねられたセラミックグリーンシ
ート２０の上下には、導電膜を形成していないセラミッ
クグリーンシートが適当枚数重ねられ、それによって、
積層体が得られる。

上述のように、積層体が得られたとき、この積層体は、
積層方向に加圧される。

次に、第７図に示すような個々の積層セラミックコンデ
ンサ１のためのコンデンサ本体３となるべき複数個のチ
ップを得るため、積層体を切断するステップが実施され
る。この切断は、第１図において１点鎖線で示した切断
線２５．２６に沿って実施される。なお、前述した従来
技術と同様、切断線２５．２６に沿う切断がすべて完了
しているか否かはｌｌｉ目つないが、通常、セラミック
グリーンシート２０上において最も端に位置する切断線
２５　（ａ）、２５　（ｂ）および２６　（ａ）、２６
（ｂ）の外側に位置する部分は、コンデンサを構成する
部分ではないので、コンデンサを構成するチップへの混
入を避けるため、先に除去される。

このように切断線２５　（ａ）、２５　（ｂ）および２
６　（ａ）、２６　（ｂ）の外側に位置する部分を除去
して得られた積層体２７が、第２図に斜視図で示されて
いる。

第２図において、切断線２５　（ｂ）に沿う切断によっ
て現われた端部２８および切断線２６　（ｂ）に沿う切
断によって現われた端部２９が図示されている。端部２
８には、最も端に位置する引出電極部分２２　（ａ）の
連なりが、積層方向に整列した切欠２Ｂ、２４とともに
現われる。また、端面２９には、引出電極部分２２をそ
の幅方向に切断した端部が現われる。なお、第２図にお
いて図示しないが、積層体２７の、端部２８と対向する
端面には、端面２８に現われた引出電極部分２２（ａ）
および切欠２３，２４と実質的に同じような態様で引出
電極部分部分および切欠が現われ、他方、端面２９と対
向する端部には、端部２９に現われた引出電極部分２２
と実質的に同様の態様で引出電極部分が現われる。とこ
ろで、第２図に示した積層体２７は、図示の便宜上、そ
の積層方向の寸法がその主表面方向の寸法に比べて誇張
されて図示されていることを指摘しておく。

内部電極部分２１の矢印３０方向への位置ずれは、端部
２９上において矢印３０方向に断続的に延びる引出電極
部分２２の整列状態を見ることによって判定することが
できる。他方、内部電極部分２１の矢印３１方向への位
置ずれは、端面２８に現われた切欠２３，２４の整列状
態を見ることにより判定できる。

第３図には、積層体２７の端面２８が正面図で示されて
いる。第３図に示すように、端部２８に、　　現われた
切欠２３，２４が積層方向に整列していれば、内部電極
部分２１の位置合わせが適正であると判断される。第３
図では、切欠２３，２４のそれぞれが、ぴったりと積層
方向に整列するように図示されたが、実際には、このよ
うな整列状態には、所定の許容範囲があり、この許容範
囲内に切欠２３，２４の位置が収まっていぼ、内部電極
部分２１の位置合わせが適正であると判断される。

なお、この実施例では、引出電極部分２２　＜ａ＞の１
つの連なりに関して、２つの切欠２３，２４が対称的に
形成されている。したがって、第３図に示すように、内
部電極部分２１が適正に位置合わせされている場合には
、端部２８の左右方向において、切欠２３と切欠２４と
が左右対称的に！１ランス良く位置されている。このこ
とから、人間の目による観察および判断がより容易にな
る。しかしながら、このような利点を望まないのであれ
ば、形成される切欠としては、切欠２３または２４のい
ずれか一方のみであってもよく、また、このようなり欠
の位置が引出電極部分２２　（Ｂ）の連なりの中央部付
近に寄せられてもよい。さらに、切欠の数は、３以上で
あってもよい。

内部電極部分２１の位置合わせか適正でない場合には、
積層体２７の端面２８において、第４図または第５図に
示すような現象が生しる。すなわち、第４図では、内部
電極部分２１の積層方向における相互の位置合わせにつ
いては適正であるが、特に切断線２６に沿う切断の位置
が不適正であったために、内部電極部分２１の位置が不
適正となった場合を示している。この状態では、たとえ
ば、一方の切欠２３が端面２８からほとんど外れ、他方
の切欠２４のみが、端面２８に明確に現われることにな
る。また、第５図に示す状態では、特に、内部電極部分
２１の積層方向における相互のずれが牛した場合の典型
例が示されている。この状態では、切欠２３，２４の双
方に関して、その積層ｈ″向での整列状態が阻害されて
いる。

このようにして、たとえば第４図および第５図に示した
ような位置ずれが生じた場合には、以後の製造ステップ
を中止することができるので、位置ずれに起因する製品
不良の発生を防止でき、製品の歩留りを向上させること
ができる。

なお、第４図および第５図に示した位置ずれの態様は、
単なる例示にすぎず、天際には、さらに多様な位置ずれ
を生じるであろう。

前述したように、第３図に示したような切欠２３．２４
の整列状態が得られたとき、積層体２７は、コンデンサ
本体となるべき複数個のチップに分割され、その後、従
来の製造方法と同Ｆｉ、焼成され、それによって、第７
図に示すようなコンデンサ本体３が得られる。そして、
必要により、而とり部７を形成するように４７ｆ摩され
、次いて、外部電極６が形成される。これによって、所
望の積層セラミックコンデンサ１が完成される。

以上、この発明を図示の実施例に関連して説明したか、
この発明の範囲内において、その他種々の変形例が可能
である。

たとえば、第１図に示した内部電極部分２１および引出
電極部分２２の形成パターンおよび数は、単なる例示に
すぎず、これらパターンおよび数は、必要に応じて、種
々変更されることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の一実施例において用いられるセラ
ミックグリーンシート２０を示すル面図である。第２図
は、第１図に示したセラミックグリーンシート２０を積
重ね、かつ端面２８．　２ｇを露出させるように切断し
て得られた積層体２７の一部を示す斜視図である。第３
図は、第２図に示した積層体２７の端面２８を示す正面
図である。 第４図および第５図は、それぞれ、位置ずれが牛し、た
積層体２７の端面２８を示す正面図である。 第６図は、この発明にとって興味ある積層セラミックコ
ンデンサに含まれるセラミック誘電体層２を分解して示
す斜視図である。第７図は、第６図に示したセラミック
誘電体層２をもって構成された積層セラミックコンデン
サ１の一部破断上面図である。第８図は、従来方法にお
いて用いられていたセラミックグリーンシート８を示す
平面図である。第９図は、第８図に示したセラミックグ
リーンシート８を積重ね、かつ端面１４，１５を露出さ
せるように切断して得られた積層体１３の一部を示す斜
視図である。 図において、〕は積層セラミックコンデンサ、２はセラ
ミック誘７へ体層、３はコンデンサ本体、４は内部電極
、５は引出電極、６は外部電極、２０はセラミックグリ
ーンシート、２１は内部電極部分、２２は引出電極部分
、２３．２４は切欠、２５．２６は切断線、２７は積層
体、２８．　２ｃ）は端面である。 特許出願人　株式会社村［［１製作所 −＋１”。 第２図 第３図　　　　　　　　　／

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 複数のセラミック誘電体層を積層してなるコンデンサ本
   体と、各々前記セラミック誘電体層を介して配置される
   複数の内部電極と、前記内部電極の各々から延びかつ交
   互に前記コンデンサ本体の一方および他方の端面ならび
   に当該端面に隣接する側面の一部に露出する引出電極と
   、前記引出電極に電気的に接続されるように前記コンデ
   ンサ本体の各端部にそれぞれ形成される外部電極と、を
   備える積層セラミックコンデンサの製造方法において、 前記セラミック誘電体層となるべき四角形の平面形状を
   有する複数枚のセラミックグリーンシートを準備するス
   テップと、 前記セラミックグリーンシートの各々に、複数個の前記
   積層セラミックコンデンサのための前記内部電極となる
   べき複数の内部電極部分と前記引出電極となるべき複数
   の引出電極部分とを、前記各内電極部分が前記各引出電
   極部分によって連結された状態で配列されるように、形
   成するステップと、 前記複数枚のセラミックグリーンシートを積重ねて積層
   体を得るステップと、 前記積層体を切断して個々の前記積層セラミックコンデ
   ンサのための前記コンデンサ本体となるべき複数個のチ
   ップを得るステップと、 前記チップを焼成するステップと、 前記焼成されたチップの各端部にそれぞれ外部電極を形
   成するステップと、 を備え、 前記内部電極部分と前記引出電極部分とを形成するステ
   ップは、前記セラミックグリーンシート上で最も端に位
   置する前記引出電極部分の連なりの少なくとも一部であ
   って前記積層体とされたときの積層方向に整列する位置
   にそれぞれ切欠を形成するステップを備え、かつ 前記積層体を切断するステップは、前記切欠が形成され
   た前記引出電極部分の連なりを外部に露出させるステッ
   プを備える、 を特徴とする、積層セラミックコンデンサの製造方法。