JPH0581717U - 加速度センサ - Google Patents

加速度センサ

Info

Publication number
JPH0581717U
JPH0581717U JP023792U JP2379292U JPH0581717U JP H0581717 U JPH0581717 U JP H0581717U JP 023792 U JP023792 U JP 023792U JP 2379292 U JP2379292 U JP 2379292U JP H0581717 U JPH0581717 U JP H0581717U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
acceleration
elastic body
shape
piezoelectric element
magnitude
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP023792U
Other languages
English (en)
Inventor
智嗣 大田
真人 中谷
征夫 木原
Original Assignee
富士電気化学株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 富士電気化学株式会社 filed Critical 富士電気化学株式会社
Priority to JP023792U priority Critical patent/JPH0581717U/ja
Publication of JPH0581717U publication Critical patent/JPH0581717U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 1つの加速度センサにより3次元の加速度を
検出できるようにする。 【構成】 弾性体5は3方以上の方向に延在する放射状
の撓み部6をもつ。各撓み部6の上には圧電素子11が
設けられている。圧電素子11からの出力電圧は図示し
ない検出回路の増幅器によって比較される。この比較に
より、弾性体5の撓み形状(S字状に撓んだのか、山状
に撓んだのか、あるいは谷状に撓んだのか)を知ること
ができ加速度の方向を検出できる。また、比較された出
力電圧の差の大きさから加速度の大きさを検出できる。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本発明は、加速度センサの構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の加速度センサの一例を、図11および図12に示す。図11に示す加速 度センサは、圧電素子1が質量3に作用する加速度(図中上下方向に作用する) に伴い圧縮または引張りを受けることから、その出力電圧を取り出して加速度の 大きさを検出するものである。
【0003】 また、図12に示す加速度センサは、圧電素子1が質量3に作用する加速度( 図中上下方向に作用する)により剪断力を受けるので、この剪断歪みに伴って生 じる出力電圧により加速度の大きさを検出する。
【0004】 これらの加速度センサは、軸方向(図中上下方向;圧電素子1に対する圧縮ま たは引張りの方向)の加速度の大きさを検出するのみである。よって、図中左右 方向あるいは紙面に直交する方向の加速度をも同時に検出する場合には、複数の 加速度センサを組み合わせて使用しなければならなかった。なお、このように組 み合わせて使用することにより加速度の大きさのみならず方向も検出できる。
【0005】
【考案が解決しようとする課題】
しかしながら、前記したように、1軸方向の加速度のみならず2軸あるいは3 軸方向の加速度(2次元あるいは3次元の加速度)を検出するためには複数の加 速度センサを組み合わせねばならず、検出装置の形状寸法が大きくなるとともに 、装置の製作コストも高くなるという問題点があった。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本考案は前記の問題点を解決するもので、端部が支持された板状の弾性体と、 該弾性体の中央にアームを介して固定された質量と、該弾性体の撓みを検出する 複数の歪センサと、該歪センサからの出力信号をもとに前記質量に作用する加速 度の方向および大きさを検出する検出回路とを備えたことを特徴とする。
【0007】 また、本考案に係る加速度センサは、前記弾性体は3方以上の方向に延在する 放射状の撓み部を有し、前記歪センサは圧電素子であって前記各撓み部に設けら れ、検出回路は各圧電素子からの出力電圧を比較する増幅器を有するものとする ことができる。
【0008】
【作用】
前記構成を有する本考案によれば、板状の弾性体と平行な方向に加速度が作用 すると、質量には前記加速度に基づく力が作用し、アームと弾性体との接合部に は、アームの長さに比例するモーメントが発生して、弾性体は側方から見てS字 状に撓む。弾性体のS字の山と谷とに相当する部分に設けられたそれぞれの歪セ ンサからの出力信号をもとにすれば、加速度が弾性体の長手方向に沿うどちら向 きに作用しているかが検出できる。また出力信号の大きさから加速度の大きさを 検出できる。さらに、板状の弾性体と直交する方向に加速度が作用すると、弾性 体は山状に、あるいは谷状に撓む。山状であるか谷状であるかを歪センサからの 出力信号により知ることができるので、加速度の方向を検出できる。また出力信 号の大きさから加速度の大きさを検出できる。
【0009】 弾性体が3方以上の方向に延在する放射状の撓み部をもつものとすれば、弾性 体に平行な方向に加速度が作用した場合に、この弾性体に平行な方向を2次元的 に検出できる。すなわち、3以上の撓み部に設けられた歪センサである圧電素子 からの出力電圧を、検出回路の増幅器により比較することで、板状の弾性体と平 行な面内のいずれの方向に加速度が作用したかを検出できる。また比較された出 力電圧の差の大きさにより、加速度の大きさが検出される。したがって、弾性体 に直角な方向の加速度も前記したように検出できることも加えると、合わせて3 次元の加速度を検出できることになる。
【0010】
【実施例】
以下、本考案の一実施例を図1〜図7に基づいて説明する。 図1および図2に示すように、板状の弾性体5は4方向に放射状に延在する撓 み部6を有する。各撓み部6の端部はリング状部分7により一体的に固定され、 ハウジング8に支持されている。各撓み部6の中央は一体的に固定され、上方に 延びるアーム9が固設され、アーム9の先端に質量10が固定されている。
【0011】 4つの撓み部6の上には歪センサである圧電素子11が設けられている。この 圧電素子11は撓み部6の撓みを検出する。すなわち、撓み部6が山状に撓んだ 場合には、圧電素子11は引張りを受け、谷状に撓んだ場合には圧電素子11は 圧縮を受け、正負が逆の電圧を出力する。これらの出力は、リード線12(図2 中一点鎖線)により、ハウジング8の外に取り出され、図4または図7に示す検 出回路の増幅器13に入力される。
【0012】 なお、ハウジング8の上方は蓋15により密閉され、塵埃の侵入などが防止さ れる。
【0013】 次に、加速度の方向と弾性体5の撓み形状との関係を、図3,図5,および図 6に示す。 図3に示すように、加速度が弾性体5と平行で図中右方向に作用した場合には 、質量10には左方向に力が作用し、アーム9によってモーメントが発生し、弾 性体5は横S字状に撓み、S字状の右が山状、左が谷状となる。逆に、弾性体5 と平行で図中左方向に加速度が作用した場合には、図中弾性体5の左が山状、右 が谷状となる。このように、加速度が右方向に作用したか左方向に作用したかに よって弾性体5の撓み形状(S字形状)が異なる。そして、弾性体5がS字状に 撓むことで山状になった部分の圧電素子11が出力する電圧と、谷状になった部 分の圧電素子11が出力する電圧とは正負が逆であり、あるいは電圧の変化の方 向が逆であるので、これを増幅器13により比較すれば、弾性体5の撓み形状( S字形状)が判別される。これにより弾性体5に平行などちらの方向に加速度が 作用したかを検出できる。また、従来の加速度センサと同様に、既知の加速度に 対して増幅器13の出力電圧値を較正しておくことにより、増幅器13により比 較された出力電圧の差の大きさに基づいて、加速度の大きさを検出することがで きる。
【0014】 次に、弾性体5の厚み方向で図中上方向に加速度が作用した場合には、図5に 示すように、質量10には下方向の力が加わる。これにより弾性体5は全体が谷 状に撓む。このとき4つの圧電素子は全て圧縮を受け同じ符号の電圧を出力する 。
【0015】 逆に下方向に加速度が作用した場合には、図6に示すように質量10には上方 向に力が作用するので、4つの圧電素子は先ほどとは逆の符号の電圧を出力する 。
【0016】 すなわち、図3に示すように、図中左右方向および紙面に直交する方向に加速 度が作用した場合、図5に示すように、図中上方向に加速度が作用した場合、お よび図6に示すように、図中下方向に加速度が作用した場合において、弾性体の 撓み形状は全て異なり、この撓み形状の相違から各圧電素子11に加わる力が圧 縮力か引張り力かが異なってくるので、各圧電素子からの出力電圧を比較するこ とでいずれの方向の加速度かを検出できる。
【0017】 次に、この検出をおこなうための検出回路を図7に示す。また、図7の検出回 路に使用される4つの増幅器13の出力A,B,C,Dの変化を図8に示す。
【0018】 図8から明らかなように、弾性体5に平行でかつ直交する2つの方向の加速度 α,βおよびこれらと直交する方向の加速度γ(紙面直交方向下向きを正とする )に対し、4つの出力電圧の正負の電圧が全て異なる。このようにして3次元の 加速度α,β,γの方向を検出できる。また増幅器13で比較された各出力電圧 の差の大きさは、そのときに作用する加速度の大きさに対応するので、加速度の 大きさも検出できる。
【0019】 以上の図8に示す結果は、弾性体5に平行な方向の加速度α,βおよび弾性体 5に直交する方向の加速度γのいずれかの加速度が単独に作用した場合を示すも のであるが、実際にはこのように単独で作用することは稀であり、1つの加速度 がこれら3次元の成分を併せ持っている。したがって、前記3つの方向の加速度 α,β,γの大きさを成分とする合成ベクトルが実際の加速度を表わす。
【0020】 以上のように、1枚の弾性体5を備える1つの加速度センサにより、3軸方向 の加速度α,β,γを検出でき、3次元の加速度を検出できることとなる。
【0021】 なお、以上の実施例においては、弾性体5の4つの撓み部6の端部はリング状 部分7により固定されているが、図9に示すように、各端部を自由端としておい てもよい。
【0022】 また、以上の実施例にあっては、弾性体5は互いに直交する放射状の4つの撓 み部6をもつものとして説明したが、図10に示すように、3つの撓み部6をも つように構成してもよい。もちろん5つ以上の撓み部6をもつものとして構成す ることも可能である。
【0023】 さらに、弾性体5を2つの撓み部6を有する1枚の細長い板状とすることも可 能である。この場合には弾性体5に平行な加速度は1次元的にしか検出できない が、弾性体5に直交する方向の加速度を検出でき、全体として2次元の加速度を 検出できる。
【0024】 また、本実施例にあっては、弾性体5の端部は、図1に示すように、ハウジン グ8に凹設された溝部に挾持されて、その端部の回転が許容されないように固定 されているが、回転が許容されるよう単純に支持される構成とすることも可能で ある。このように支持することにより、弾性体の撓みをより大きくし、圧電素子 に加わる引張りあるいは圧縮をより大きなものとすることができる。
【0025】 さらにまた、本実施例にあっては、歪センサとして圧電素子11を使用したが 、必ずしも圧電素子11に限らず、他の従来の歪センサを使用してもよい。
【0026】 また、質量10は弾性体5の上面側に設けられているが、弾性体5の裏面側に 設けてもよい。
【0027】 さらに、本実施例にあっては、アーム9は直線状であるが、三次元曲線(例え ば螺旋状)等の他の適宜の形状としてよい。
【0028】
【考案の効果】
以上説明したように、本考案の加速度センサによれば、端部が支持された板状 の弾性体の中央にアームを介して質量を固定することにより、弾性体に平行な方 向に加速度が作用すると弾性体はS字状に撓み、弾性体に直交する方向に加速度 が作用すると山状あるいは谷状に撓むので、これらの撓みを歪センサにより検出 することで少なくとも2次元の加速度を検出することができる。
【0029】 さらに、板状の弾性体が3方以上の方向に延在する放射状の撓み部をもち、各 撓み部の上に歪センサを設けることで、3次元の加速度を検出できる等の優れた 効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の一実施例にかかる加速度センサの縦断
面図である。
【図2】図1の要部平面図である。
【図3】図1の加速度センサに図中横方向の加速度が加
わった際の撓みを示す図である。
【図4】図3の加速度の方向と大きさを検出するための
検出回路を示す図である。
【図5】図1の加速度センサに上方向に加速度が加わっ
た際の撓みを示す図である。
【図6】図1の加速度センサに下方向に加速度が加わっ
た際の撓みを示す図である。
【図7】図3,図5,図6の加速度の方向および大きさ
を検出するための検出回路を示す図である。
【図8】図7の検出回路の各増幅器からの出力を示す図
である。
【図9】他の実施例にかかる弾性体の平面図である。
【図10】さらに他の実施例にかかる弾性体の平面図で
ある。
【図11】第1従来例の加速度センサを示す縦断面図で
ある。
【図12】第2従来例の加速度センサを示す縦断面図で
ある。
【符号の説明】
5 弾性体 6 撓み部 9 アーム 10 質量 11 圧電素子(歪センサ) 12 リード線 13 増幅器

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 端部が支持された板状の弾性体と、 該弾性体の中央にアームを介して固定された質量と、 該弾性体の撓みを検出する複数の歪センサと、 該歪センサからの出力信号をもとに前記質量に作用する
    加速度の方向および大きさを検出する検出回路と、 を備えたことを特徴とする加速度センサ。
  2. 【請求項2】 前記弾性体は3方以上の方向に延在する
    放射状の撓み部を有し、前記歪センサは圧電素子であっ
    て前記各撓み部に設けられ、検出回路は各圧電素子から
    の出力電圧を比較する増幅器を有することを特徴とする
    請求項1に記載の加速度センサ。
JP023792U 1992-04-14 1992-04-14 加速度センサ Pending JPH0581717U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP023792U JPH0581717U (ja) 1992-04-14 1992-04-14 加速度センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP023792U JPH0581717U (ja) 1992-04-14 1992-04-14 加速度センサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0581717U true JPH0581717U (ja) 1993-11-05

Family

ID=12120179

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP023792U Pending JPH0581717U (ja) 1992-04-14 1992-04-14 加速度センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0581717U (ja)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63169078A (ja) * 1987-01-06 1988-07-13 Nippon Denso Co Ltd 半導体振動・加速度センサ
JPS63266358A (ja) * 1987-04-24 1988-11-02 Nekushii Kenkyusho:Kk 加速度検出装置
JPH0328077A (ja) * 1989-06-23 1991-02-06 Mazda Motor Corp 車両の後輪操舵装置の組付方法
JPH0419568A (ja) * 1990-05-14 1992-01-23 Fuji Electric Co Ltd 加速度センサ
JPH0526744A (ja) * 1991-07-17 1993-02-02 Kazuhiro Okada 圧電素子を用いた力・加速度・磁気のセンサ

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63169078A (ja) * 1987-01-06 1988-07-13 Nippon Denso Co Ltd 半導体振動・加速度センサ
JPS63266358A (ja) * 1987-04-24 1988-11-02 Nekushii Kenkyusho:Kk 加速度検出装置
JPH0328077A (ja) * 1989-06-23 1991-02-06 Mazda Motor Corp 車両の後輪操舵装置の組付方法
JPH0419568A (ja) * 1990-05-14 1992-01-23 Fuji Electric Co Ltd 加速度センサ
JPH0526744A (ja) * 1991-07-17 1993-02-02 Kazuhiro Okada 圧電素子を用いた力・加速度・磁気のセンサ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2765316B2 (ja) 容量型三軸加速度センサ
KR930000956A (ko) 가속도계
US6031317A (en) Piezoelecric shock sensor
JPS63252257A (ja) 加速度検出装置
EP3220153B1 (en) Symmetric mems piezoelectric accelerometer for cross-axis noise reduction
US8950258B2 (en) Micromechanical angular acceleration sensor and method for measuring an angular acceleration
JPH0581717U (ja) 加速度センサ
JP2001133476A (ja) 加速度センサ
JP2586399B2 (ja) 加速度センサ
JP3277794B2 (ja) 加速度センサ
JPH08248060A (ja) 半導体加速度検出装置
JP3489317B2 (ja) 面圧分布検出装置
JP3429073B2 (ja) 半導体加速度センサ
JPH07128358A (ja) 加速度センサ
JPH01259264A (ja) 半導体加速度センサ
JP3017442U (ja) 圧電型加速度センサ
JP2865266B2 (ja) 半導体加速度センサ
JP3015278U (ja) 圧電型加速度センサ
JPS6330734A (ja) 機械・電気変換器
JPH0668501B2 (ja) 加速度計
JPH04256864A (ja) 半導体振動・加速度センサ
JPH0862246A (ja) 加速度センサ
JPH0632625Y2 (ja) 加速度センサー
JPH03269369A (ja) 半導体加速度センサ
JPH07209113A (ja) 力検出装置