JPS6330734A - 機械・電気変換器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は少なくとも２つの切欠きを有しかつ１つのホル
ダに結合された板形状の伸長部材備えた、特に圧力検出
のための機械・電気変換器であって、該伸長部材の中央
部が、特に圧力によって操作される部材によって変位可
能であり、また前記伸長部材の上に少なくとも２つの、
伸長に対して敏感な抵抗体か配置されており、伸長部材
の変位時にこの各抵抗体の内のそれぞれ一方が引張り負
荷されかつ他方か押し負荷される形式のものに関する。

従来の技術 上記形式の圧力変換器は既に公知である（西ドイツ特許
出願公開第３０２６７８５号明細書参照）。この圧力変
換器は、互いに平行に配置された２つの切欠きを存する
伸長部材を備え、この両切欠きの間に変位条片が延びて
いる。伸長部材は例えば珪素又はゲルマニウムから成り
、その中央において円筒状ピンを介してまたその縁にお
いてはリング状の膜部材を介して、片側を圧力で直接負
荷されているダイヤフラムと結合されている。

また単結晶質の珪素から成る、圧力に対して敏感な部材
を備えた圧力受容機構も公知である。ごの部材は補強形
成された縁を有する薄めのダイヤフラムを有し、該ダイ
ヤフラム内には伸長に対して敏感な抵抗体が配置され、
更にこのダイヤフラムは厚く形成された中央部分を有し
ている（西ドイツ特許出願公開第２５４９００１号明細
書参照）。

更に低めの圧力のための圧力受容機構であって、柔らか
いカバー膜から成りかつ固定縁部上に載着されたダイヤ
フラムを有するものも公知である。この縁部は撓みビー
ムとして作用するウェブを介してピストンと機構的に結
合されており、このピストンの片側には測定されるべき
圧力が作用している。このウェブ上には、該ウェブの変
形の捕捉のための伸長測定条片が配置されている。ウェ
ブの延長を可能とするために両側でピストン内に、ウェ
ブに対して平行に延びる切溝が加工形成されている（西
ドイツ特許出願公開第３００４０３１号明細書参照）。

公知の機械・電気変換器の比較的に撓み易い伸長部材は
保持部材によって支持されている。

伸長部材の温度伸長係数を十分な精度を以ってホルダの
温度伸長係数に適合させることは技術的に高い経費を以
ってのみ可能である。従ってホルダと伸長部材との各温
度変化か相異なる体積変化をひき起こしてしまう。ホル
ダ内の体積変化によって伸長部材内に生じる張力によっ
て、ダイヤフラム状中央部分の変位において該部分の位
置変化が生ぜしめられ、それによって圧力変化が誤変換
される。

発明の課題 本発明の課題は冒頭に述べた形式の機械・電気変換器を
改良して、経済的に製造可能な構成であって、ホルダか
ら該伸長部材に作用する負荷の際に、伸長に対して敏感
な抵抗体への圧力作用が誤変換を生ぜしめないものを提
供することである。

課題を解決するための手段 上記の課題は本発明によれば、伸長部材上の、伸長に対
して敏感な各抵抗体がそれぞれ撓みビーム状の区分の上
ｌこ配置されており、この区分が伸長部材の中央から見
て、該伸長部材の中央に対して同心的に延びる１つの円
弧に対して接線的に配置されていることによって解決さ
れｔこ　。

発明の利点 撓みビーム形状の各区分はその表面において、はぼ−次
元的な張力状態にのみさらされる。

従って伸長に対して敏感な抵抗体の各対は、圧力変化を
誤変換せしめない方法で負荷されることになる。

実施態様 有利には伸長に対して敏感な各抵抗体は薄膜技術によっ
て、伸長測定条片として薄板状の伸長部材上に載設され
る。この伸長測定条片は１０から３０の範囲のにファク
ターを有するとよい。このような伸長測定条片は縦方向
とほぼ同じ大きさの横方向の伸び感度を有し得る。本発
明によれば、この形式の伸長測定条片の半径方向構造に
おいて生じる各欠点が回避されている。この形式の、半
径方向の撓みビーム上に配置された伸長測定条片の欠点
は、伸長測定条片が高いにファクターにお°いてはしば
しは信号減少作用を引起こす、二次元的な張力状態にさ
らされることから生じる。これは特に伸長測定条片が高
い半径方向負荷を受ける個所に配置されている場合に生
じ、しかしこの配置は実際は高い測定感度のために求め
られるべきものなのである。このような構造の場合、そ
の都度に押し力で負荷される伸長測定条片によって、望
まれているよりも小さな信号しか発つし得ない。これら
の欠点が本発明の機械・電気変換器においてはほとんど
解除されているので、高いにファクターを有する伸長測
定条片を備えた変換器を薄膜技術で低コスト製造するこ
とが可能である。また現行技術の使用のもとての大量生
産が可能である。処理技術上の理由か平らに形成された
各部分は、伸長部材には独自の安定性が形成不可能であ
る故に、ホルダ内に緊定され、しかもこの際に公知変換
器において生じる、高い感度に関しての各問題点を伴う
ことはない。

本発明の有利な実施態様によれば、切欠きによって、保
持部材と固定結合された少なくとも１つの第１の部分と
、少なくとも２つの曲げビーム状区分によって前記の第
１部分と結合されかつその中心がある手段によって変位
可能である第２の部分とが形成されており、１つの比較
的に大きな中央区分と２つの、該中央区分に接続して抵
抗体を保持する端区分とをそれぞれ備えた前記の各曲げ
ビーム状区分が、その中央線を以って均一な相互距離を
置いて、前記の第２の部分の中央に対して同心的に延び
る円弧に対して接線的に配置されている。

形状安定性上の理由からしばしば、伸長部材とホルダと
を相異なる温度係数の材料から製造することが必要とさ
れている。この場合、温度変化はホルダと伸長部材と内
に相異なる体積変化を生ぜしめる。ホルダの体積変化は
伸長部材内に、ダイヤフラム状中央部分の位置変化をも
たらすような張力を生ぜしめる。この位置変化によって
も本発明による変換器の伸長に対して敏感な抵抗体の各
対は、圧力変化の誤変換を生ぜしめない形式で負荷され
る。

別の有利な実施態様によれば、第２の部分が中央に穴を
有する２字形状に形成されており、該第２の部分の、互
いに反対方向に突出した両方の方形区分の各端部の近く
に、それぞれ１つの端区分が配置されている。これによ
って特に単純な構造が得られている。

更に別の実施態様によれば、第２の部分として、中央に
穴を有する斜めの部材が配設されており、この部材の両
端部に配置されたコーナー部分が、それぞれ２つの撓み
ビーム状の区分を介して、ホルダに不動接続された別の
コーナー部分と結合されていると有利である。

また第２の部分が、中央に穴を備えたダイヤフラム状中
央部分を有し、この部分の各コーナーに外方へ向けて突
出形成された各方形区分が配設されており、この各方形
区分が、自らの中央線を以ってダイヤフラム状中央部分
の各側面に対して平行に延びる各撓みビーム状区分を介
して、縁部分として形成された第１の部分と結合されて
いる構成も有利である。

更に第２の部分が、中央に穴を有する方形のダイヤフラ
ム状中央部分を有し、この中央部分のコーナーに４つの
方形区分が外方に突出形成されており、この各区分の内
の、直径方向で互いに向い合って位置するコーナーに位
置する２つがそれぞれ撓みビーム状区分を介して、また
他のコーナーに位置する２つがそれぞれ均一幅の各区分
を介して、縁部分として形成された第１の部分と結合さ
れていることも可能である。

この際に各区分内に複数の穴が一列に配置されることも
可能である。この各穴によって、製造誤差を補償するた
めにダイヤフラムの硬性全簡単な方法で変えることが可
能である。

また第２の部分が、中央に穴ををする三角形のダイヤフ
ラム状中央部分を有しており、この部分の各コーナーが
それぞｆｉｌつの撓みビーム状区分を介して第１の部分
と結合されていることも可能である。また形状、特に第
２の部分の形状に左右されることなく、本発明の１実施
態様によれば、穴内に、ダイヤフラムと結合されたビン
の端部が突入しており、このダイヤフラムの片側が圧力
媒体で負荷されかつ、伸長部材が固定されたカバーと結
合されていることも可能である。

実施例 機械・電気変換器ｌは、カバー３によって閉じられた鉢
形状のケーシング部材２を有している。このカバー３は
、ダイヤフラム５によって覆われた切欠き４を有する。

ケーシング部材２とカバー３とダイヤフラム５との間の
室６はケーシング部材２内の通路１１’を介して圧力媒
体に接近可能である。

ダイヤフラム５はカバー３の一方の面上に位置している
。該ダイヤフラム５は詳説されていない平らな帯状縁部
を以ってカバー３の、切欠き４に接続する平らな区域と
結合されている。

カバー３の他方面上には伸長部材７が固定されており、
この伸長部材の中央に配置された六８内にはピン１０の
切削形成された端部９が突入しており、該ピンの他方端
部はダイヤフラム５と結合されている。カバー３は伸長
部材７のためのホルダであり、この部材７は圧力に対し
て敏感な薄形の部材として形成されかつ例えば単結晶質
の珪素から成り、伸長に対して敏感な抵抗体内に拡散法
によって加工形成されている。

室６が圧力媒体で負荷されるとダイヤフラム５が幾らか
外方へ撓曲する。これによってビン１０が伸長部材７に
対して押され、該部材７が特にその中央において僅かに
湾曲隆起される。

これによって伸長部材７上に配置された各抵抗体に対ご
とにそれぞれ伸縮負荷が与えられる。

各抵抗体はブリッジ回路内に位置し、この回路において
室６内のその都度の圧力に相応する電圧が取出し可能で
ある。

第２図は薄板片形の伸長部材７が上から見て示されてお
り、この伸長部材７は、穴８を有するダイヤフラム状中
央部分１３を取り囲む２つの切欠き１１．１２を有して
いる。ダイヤフラム状中央区分１３はほぼＺ形状でかつ
、穴８を備えた方形ベース１４を有している。方形ベー
ス１４の各端部から反対方向に２つの方形区分１５．１
６が直角に外方へ突出している。２っの撓みビーム形状
の区分１７．１８によってそれぞれの方形区分１５．１
６が伸長部材７の縁部分１９と結合されている。撓みビ
ーム形状の区分１７．１８は円形の六８に関して、該各
区分の縦軸線２０．２１が、穴８を同軸的に取り囲む円
弧２２に対して接線的に均一な各距離を置いて延びるよ
うに配置されている。伸長部材７は後述の全ての伸長部
材と同様に２つの部分を有し、この内第１の部分がホル
ダと結合され、第２の部分が撓みビーム状区分（ウェブ
とも言う）を介して第１の部分と結合されている。

撓みビーム状の区分１７．１８はそれぞれ１つの幅広の
中央区分２３と２つの狭幅の端区分２４．２５とををし
、この端区分２４が縁部分１９に移行している。各端区
分２４．２５上にはその都度に伸長測定条片としての、
伸長に対して敏感な抵抗体２６．２７が配置されており
、この各抵抗体２６．２７は対ごとに電気的なブリッジ
回路のブリッジ半部内に配置可能である。抵抗体２６．
２７は有利には薄膜技術を以つて伸長部材７上に形成配
置されている。また伸長測定条片を形成する抵抗体２６
．２７のにファクターが１０から３０の範囲内にあると
有利である。

縁部分１９が、例えばカバー３からの作用力によっであ
る所定の値だけ伸長せしめら飢ると、端区分２４が縁部
分１９の、該端区分２４と結合された区分の変位に従う
。この際にその変位の方向に応じて撓みビーム状の区分
が動がされる。ダイヤフラム状中央部分１３は区分１７
゜１８の変位時にビンｌＯの端部９を中心に旋回せしめ
られる。これによって端区分２４．２５内ニ曲ケモーメ
ントが生じ、このモーメン）（７）ベクトルは図平面に
対して垂直である。これによって生ぜしめられるひとけ
た程度の変形は、伸長測定条片として形成された抵抗体
２６．２７に信号を生ぜしめず、何故ならこの抵抗体は
前記の曲げモーメントに関して、中立軸線に対して対称
的に位置しているからである。

第３図に示された伸長部材２８は中央に穴８を備えた斜
め部材２９を宵し、この部材２９の各端部にはそれぞれ
コーナー部分３０．３１が結合されている。この各コー
ナー部分３０，３１はそれぞれ２つの撓みビーム状の区
分３２゜３３を介して更に別のコーナー部分３４．３５
に結合されており、このコーナー部分３４．３５は第１
図に示された方法でカバー３と結合されている。区分３
２．３３は第２図に示された構造をやはり有し、即ち該
区分３２．３３は１つの幅広の中央区分２３と２つの狭
幅の端区分２４．２５とを有し、この端区分２４．２５
上にそれぞれ伸長に対して敏感な抵抗体２６．２７が伸
長測定条片として薄膜技術を以って配置されている。穴
８を中心ｌこ同心的に延びる円弧２２に対してこの区分
３２．３３は同じ距離を置いて接線的に配置されており
、即ち区分３２，３３の長手方向で延びる中央線３６．
３７が円弧２２に対して接線を形成している。カバー３
からコーナー部分３４．３５に伝達されて該コーナー部
分を別の位置に動かす応力は区分３２゜３３を介して斜
め部材２９に、ビン１０の端部９を中心とした旋回を引
き起こす。一般的にこのような負荷は、伸長部材７又は
２８のために用いられる材料の種々異なる温度係数に基
いて生じる。温度変化によって生じる変形は伸長測定条
片に信号を引起こすことはなく、何故ならこの条片は第
２図との関係で既述の中立軸線内に位置するからである
。

第２図及び第３図に示された各伸長部材部分の位置は、
温度負荷によって圧力が誤変換されない限界低温のため
のものである。より高い温度ではダイヤフラム状中央部
分１３と斜め部材２９が図示の位置から旋回する。

第４図に示された伸長部材３８は円形に形成されている
か又は少なくとも、円形面が非固定的に残るようにホル
ダ内に緊定されている。はぼ正方形のダイヤフラム状中
央部分３９は円形の穴８を有している。ダイヤフラム状
中央部分３９の４つのコーナーにはそれぞれ方形区分４
０が突出配置されており、この区分４０の片面はダイヤ
フラム状中央部分３９の側面と整合されている。このダ
イヤフラム状中央部分は４つのＬ字形の切欠き４１，４
２，４３．４４によって制限されている。それぞれ２つ
の切欠き４１．４４；４２，４３；４２，４１の各脚部
は互いに距離を置いて向い合っており、何故なら各脚部
の半径方向距離が種々異なっているからである。互いに
向い合った各脚部の間には撓みビーム状の区分４５，４
６，４７．４８が形成されており、この各区分はそれぞ
れ中央区分２３と端区分２４．２５とから成っている。

端区分２４．２５はそれぞれ伸長測定条片として形成さ
れた抵抗体２６．２７を床持している。

撓みビーム状の区分４５，４６，４７．４８はダイヤフ
ラム状中央部分３９に関して見て、その中央線４９が長
手方向で、穴８に対して同心的に延びる円弧６２に接線
的に接触するように配置されている。ホルダから負荷が
伸長部材３８の外側縁部分５０に作用すると、該部分５
０がそれによっである程度その位置を変え、統いてウェ
ブがこの変位に従いこの際にダイヤフラム状中央部分３
９を引っばる。この際にダイヤフラム状中央部分３９は
ビン１０の端部９を中心に少しだけ旋回する。この補償
運動によって、圧力の誤変換をひき起こすような、抵抗
体２６．２７への負荷は回避される。

第５図に示された伸長部材５１は大体は、第４図の伸長
部材３８に相応する。第５図の伸長部材においては両方
の撓みビーム状区分４５゜、４６にのみ、伸長測定条片
として形成された抵抗体２６．２７が配設されている。

各対のＬ字形切欠きの他方端部は互いに同じ距離を置い
て向い合っている。各切欠き４３．４４と４１゜４２の
向い合った各端部の間の区域は穴５２のために形成され
ており、この穴５２によって伸長部材の横断面が所望の
値に調節され得る。この複数の穴５２が一列に相並べら
れて配置されてもよい。穴５２がレーザ光線によって製
造されると有利である。この穴５２の数と横断面とによ
って、各切欠き４３．４４と４１．４２の向い合った各
端部の間の区域の剛度が、ホルダから伸長部材５１へ伝
達される力においてダイヤフラム状中央部分３９０弾性
的旋回を可能とする値に調節される。更にこれによって
、ある所定の限度内でのずれにおいて、伸長部材の寸法
誤差を補償するために同じ横断面が形成され得る。特に
薄板部の伸長部材５１の場合は、これによって所望の強
度の調節が可能である。温度変化に基いてホルダから伸
長部材５１に伝達される力によってダイヤフラム状中央
部分３９の旋回が生ぜしめられる。

第６図には別の実施例による伸長部材５３が示されてい
る。この伸長部材５３はほぼＶ字形の３つの切欠き５４
，５５．５６を有し、この各切欠きは中央に穴８を有す
るダイヤフラム状中央部分５７を取り囲んでいる。各■
字形切欠き５４．５５．５６の先端はそれぞれ丸味形成
されている。また該切欠き５４，５５．５６の各端部は
互いにずれて重なり合っている。それぞれ２つの切欠き
５４．５６−５４．５５−５５゜５６の各端部が向い合
って位置している。各切欠き５４，５６．５４，５５．
５５．５６の各端部の間の区域は撓みビーム状区分５８
，５９．６０として形成されており、この各区分はそれ
ぞれ１つの中央区分２３とそれに接続した２つの端区分
２４．２５とから成っている。端区分２４．２５は伸長
に対して敏感な抵抗体２６．２７を保持し、この抵抗体
は伸長測定条片として働く。撓みビーム状の区分５８，
５９．６０はそれぞれ中央線６１を有し、この各中央線
は六８を同心・的に取り囲む円弧６２に互いに同じ距離
を置いて接線している。

伸長部材５３と異なる温度係数を有するホルダから、温
度変化に基いて伸長部材５３に、その縁の変位をもたら
す力が作用せしめられると、撓みビーム状の区分５８，
５９．６０を介して伝達される力成分がダイヤフラム状
中央部分５７の旋回を生ぜしめ、この際にそれによって
抵抗体２６．２７内で圧力変化が誤変換されることはな
い。

第４図、第５図、第６図には第１図及び第２図と同様に
、ある所定の温度におけるダイヤフラム状中央部分１３
．斜め部材２９．ダイヤフラム状中央部分３９．５７の
非作用位置が示されている。

また圧力以外の応力が測定されるべき時にはダイヤフラ
ムの代りに他の部材が使用されなけれはならない。この
際に該部材は使用例に合わせて、それが当該の応力によ
って負荷されかつ該応力に相応した運動を行うようにさ
れなければならない。

縁部分１９の外方へのｔａ動の場合のためのダイヤフラ
ム状中央部分１３の旋回運動は第２図に矢印６３によっ
て示されている。縁部分１９の４つの摺動方向はそれぞ
れ符号６４，６５゜６６．６７によって示されている。

上述の機械・電気変換器は速度、圧力又は応力センサと
して使用可能であり、この際に伸長部材７．２８．３８
，５１．５３は各発生力によって変形される。感度の高
い伸長測定条片が用いられる。伸長測定条片の横方向感
度が縦方向感度とほぼ同じ程度である場合、この反応感
度と測定精度とは大きく妨げられることはない。本発明
によれば、伸長測定条片に２次元的な張力状態が作用し
て何ら出発信号が生ぜしめられないようなことが回避さ
れる。この２次元的な張力状態は、伸長部材に、伸長測
定条片を保持しかつ伸長部材７，２８．３８，５１．５
３の中央に対して接線的に配置された撓みビーム状の区
分１６，１７，１８，３２，３３，４５．４６，４７，
４８，５８．５９が配設されることによって回避される
。この所謂撓みビーム内には一次元的な張力状態のみが
生じる。この伸長測定条片は薄膜技術において現行製造
法によって製造される。それは平らな組織を有している
。この平らな部材は、伸長部材と異なる温度伸長係数を
有するホルダ内に緊定されてぃなけらばならない。ホル
ダと伸長部材との相違なる温度伸長係数に基いて生しる
変形は、接線的な所謂撓みビーム１６，１７，１８，３
２，３３゜４５．４６，４７，５８，５９．６０におい
て一次元的な張力のみを生ぜしめ、この張力によって伸
長測定条片は、実質的にその縦方向感度のみが用いられ
るように負荷される。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の複数の実施例を示すものであって、第１
図は機械・電気変換器の横断面図、第２図は第１図に示
された変換器内に配置された第１実施例による伸長部材
を上から見た図、＠３図は第２図実施例による伸長部材
を上から見た図、第４図は第３実施例による伸長部材を
上から見た図、第５図は第４実施例による伸長部材を上
から見た図、第６図は第５実施例による伸長部材を上か
ら見た図である。 １・・・変換器、２・・・ケーシング部材、３・・・カ
バー、４，１１，１２，４１，４２．４３，４４．５４
，５５．５６・・・切欠き、５・・・ダイヤフラム、６
・・・室、７．２８，３８，５１．５３・・・伸長部材
、８，５２・・・穴、９・・・端部、１０・・・ピン、
１１’・・・通路、１３，３９．５７・・・ダイヤフラ
ム状中央部分、１４・・・方形ベース、１５．１６．４
０・・・方形区分、１７，１８，３２，３３゜４５．４
６，４７，４８，５８，５９．６０・・・区分、１９．
５０・・・縁部分、２０．２１・・・縦軸線、２２．６
２・・・円弧、２３・・・中央区分、２４．２５・・・
端区分、２６．２７・・・抵抗体、２９・・・斜め部材
、３０，３１，３４．３５・・・コーナー部分、３６．
３７，４９．６１・・・中央線、６３・・・矢印、６４
，６５，６６．６７・・・摺動方向１・・変換器　　　
手、１１．１２−切欠き　　７，２８・伸長胚材区分

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. １．　少なくとも２つの切欠き（１１，１２；４１，４
   ２，４３，４４；５４，５５，５６）を有しかつ１つの
   ホルダに結合された板形状の伸長部材（７，２８，３８
   ，５１，５３）を備えた、特に圧力検出のための機械・
   電気変換器（１）であつて、該伸長部材の中央部が、特
   に圧力によつて操作される部材（９）によつて変位可能
   であり、また前記伸長部材の上に少なくとも２つの、伸
   長に対して敏感な抵抗体（２６，２７）が配置されてお
   り、伸長部材の変位時にこの各抵抗体の内のそれぞれ一
   方が引張り負荷されかつ他方が押し負荷される形式のも
   のにおいて、伸長部材（７，２８，３８，５１，５３）
   上の、伸長に対して敏感な各抵抗体（２６，２７）がそ
   れぞれ撓みビーム状の区分（１６，１７，１８；３２，
   ３３；４５，４６，４７，４８；５８，５９，６０）の
   上に配置されており、この区分が伸長部材（７，２８，
   ３８，５１，５３）の中央から見て、該伸長部材の中央
   に対して同心的に延びる１つの円弧に対して接線的に配
   置されていることを特徴とする、機械・電気変換器。
2. ２．　伸長に対して敏感な抵抗体（２６，２７）が伸長
   測定条片として伸長部材（７，２８，３８，５１，５３
   ）上に配置されている、特許請求の範囲第１項記載の変
   換器。
3. ３．　伸長測定条片が薄膜技術によつて伸長部材（７，
   ２８，３８，５１，５３）上に形成されている、特許請
   求の範囲第２項記載の変換器。
4. ４．　切欠き（１１，１２；４１，４２，４３，４４；
   ５４，５５，５６）によつて、保持部材と固定結合され
   た少なくとも１つの第１の部分と、少なくとも２つの曲
   げビーム状区分（１６，１７，１８；３２，３３；４５
   ，４６，４７，４８；５８，５９，６０）によつて前記
   の第１部分と結合されかつその中心がある手段によつて
   変位可能である第２の部分とが形成されており、１つの
   比較的に大きな中央区分（２３）と２つの、該中央区分
   （２３）に接続して抵抗体（２６，２７）を保持する端
   区分（２４，２５）とをそれぞれ備えた前記の各曲げビ
   ーム状区分が、その中央線（２０，２１；３６，３７：
   ４９，６１）を以つて均一な相互距離を置いて、前記の
   第２の部分の中央に対して同心的に延びる円弧（２２；
   ６２）に対して接線的に配置されている、特許請求の範
   囲第１項から第３項までのいずれか１項記載の変換器。
5. ５．　第２の部分が中央に穴（８）を有するＺ字形状に
   形成されており、該第２の部分（１７，１８）の互いに
   反対方向に突出した両方の方形区分（１５，１６）の各
   端部の近くに、それぞれ１つの端区分（２４）が配置さ
   れている、特許請求の範囲第１項から第４項までのいず
   れか１項記載の変換器。
6. ６．　第２の部分として、中央に穴（８）を有する斜め
   部材（２９）が配設されており、この部材（２９）の両
   端部に配置されたコーナー部分（３４，３５）が、それ
   ぞれ２つの撓みビーム状の区分（３２，３３）を介して
   、ホルダに不動接続された別のコーナー部分（３０，３
   １）と結合されている、特許請求の範囲第１項から第４
   項までのいずれか１項記載の変換器。
7. ７．　第２の部分が、中央に穴（８）を備えたダイヤフ
   ラム状中央部分（３９）を有し、この部分（３９）の各
   コーナーに外方へ向けて突出形成された各方形区分（４
   ０）が配設されており、この各方形区分（４０）が、自
   らの中央線（４９）を以つてダイヤフラム状中央部分（
   ３９）の各側面に対して平行に延びる各撓みビーム状区
   分（４５，４６，４７，４８）を介して、縁部分（５０
   ）として形成された第１の部分と結合されている、特許
   請求の範囲第１項から第４項までのいずれか１項記載の
   変換器。
8. ８．　第２の部分が、中央に穴（８）を有する方形のダ
   イヤフラム状中央部分（３９）を有し、この中央部分（
   ３９）のコーナーに４つの方形区分（４０）が外方に突
   出形成されており、この各区分（４０）の内の、直径方
   向で互いに向い合つて位置するコーナーに位置する２つ
   がそれぞれ撓みビーム状区分（４５，４７）を介して、
   また他のコーナーに位置する２つがそれぞれ均一幅の各
   区分を介して、縁部分として形成された第１の部分と結
   合されている、特許請求の範囲第１項から第４項までの
   いずれか１項記載の変換器。
9. ９．　各区分内に複数の穴（５２）が一列に配置されて
   いる、特許請求の範囲第８項記載の変換器。
10. １０．　第２の部分が、中央に穴（８）を有する三角形
    のダイヤフラム状中央部分（５７）を有しており、この
    部分（５７）の各コーナーがそれぞれ１つの撓みビーム
    状区分（５８，５９，６０）を介して第１の部分と結合
    されている、特許請求の範囲第１項から第４項までのい
    ずれか１項記載の変換器。
11. １１．　穴（８）内に、ダイヤフラム（５）と結合され
    たピン（１０）の端部（９）が突入しており、このダイ
    ヤフラム（５）の片側が圧力媒体で負荷されかつ、伸長
    部材（７）が固定されたカバー（３）と結合されている
    、特許請求の範囲第１項から第１０項までのいずれか１
    項記載の変換器。