DE3125640A1

DE3125640A1 - Sensor

Info

Publication number: DE3125640A1
Application number: DE19813125640
Authority: DE
Inventors: Klaus Dr.-Ing. Dobler; Heiko Dipl.-Ing. Gruner; Werner Dipl.-Phys. Grünwald; Rudolf Dr.-Ing. 7016 Gerlingen Heinz; Ulrich Ing.(grad.) 7000 Stuttgart Schoor
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 1981-06-30
Filing date: 1981-06-30
Publication date: 1983-01-13
Also published as: IT1151655B; EP0082151A1; WO1983000225A1; IT8222023A0

Description

Sensor
Stand der Technik Die Erfindung geht aus von einem Sensor nach der Gattung des Hauptanspruches.
Es sind bereits zahlreiche Sensoranordnungen zum Messen eines Druckes in einem Medium bekanntgeworden, insbesondere zum Messen hoher Drücke, beispielsweise des Öldruckes in hydraulischen Systemen oder in Kraftstoffeinspritzpumpen.
Diese bekannten Drucksensoren beruhen jedoch in der Regel auf piezoelektrischen Effekten und sind demzufolge kompliziert und teuer im Aufbau sowie temperaturempfindlich.
Vorteile der Erfindung Der erfindungsgemäße Sensor mit den kennzeichnenden Merkmalen des Hauptanspruches hat demgegenüber den Vorteil 9 daß durch Verwendung üblicher Widerstandsbauelemente eine verblüffend einfache und damit kostengünstig herstellbare Anordnung möglich wird.
Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen des im Hauptanspruch angegebenen Sensors möglich.
So kann beispielsweise von der an sich bekannten Tatsache Gebrauch gemacht werden, daß mit einfachen Mitteln die Herstellung von Widerstandsbauelementen mit unterschiedlichem Temperaturkoeffizienten möglich ist, beispielsweise bei Dünnschichtwiderständen in einem TaNi-System. Werden derartige Widerstandsbauelemente mit unterschiedlichem Temperaturkoeffizienten definiert in einer Brücke zu einer Gesamtanordnung verschaltet, kann auf diese Weise mit besonders geringem Aufwand ein Sensor mit niedriger Temperaturabhängigkeit des Ausgangssignales aufgebaut werden Weiterhin kann eine Temperaturkompensation,dadurch bewirkt werden, daß nur ein Teil der Elemente der Brücke dem Druck ausgesetzt wird und der andere Teil druckgeschirmt ist. Eine derartige Anordnung ist in besonders einfacher Weise dadurch in Dickschichttechnik realisierbar, daß der druckdicht abzuschirmende Teil der Brücke mit einem Ring und einer Abdeckplatte versehen wird.
In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung wird für solche Fälle, in denen sich der Sensor in einem strömenden Medium befindet, das Auftreten von temperaturbedingten Fehlersignalen durch das Anströmen des Mediums dadurch vermindert, daß Elemente der Brücke mit einer elastischen Abdeckschicht versehen werden, die ein Erfassen des statischen oder dynamischen Druckes jedoch nicht verfälschen.
Dabei kann die untere nutzbare Grenzfrequenz des Sensors, bei dynamischen Messungen unter Verzicht auf eine Temperdturkompensation wesentlich erniedrigt werden.
In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird das Ausgangssignal dadurch erhöht, daß in der Brücke Elemente verwendet werden, die einen unterschiedlichen Druckkoeffizienten aufweisen. In analoger Weise ist es möglich, durch Verwendung von Elementen mit unterschiedlichem Temperatur- und Druckkoeffizienten einen Gesamtabgleich der Brücke herzustellen, bei dem eine weitgehende Eliminierung des Gesamttemperaturkoeffizienten mit einer besonders hohen Druckempfindlichkeit der Anordnung kombiniert wird.
Schließlich wird in einer weiteren bevorzugten Aus,gestaltung der Erfindung eine weitere Erhöhung des Ausgangssignales dadurch bewirkt, daß die Elemente auf einer elastisch unter Druckeinwirkung verformbaren Unterlage angeordnet werden, wodurch die Elemente gleichzeitig der Druckeinwirkung und einer Dehnung bzw. Stauchung ausgesetzt werden. Dabei ist es besonders vorteilhaft, bei Verwendung einer seitlich eingespannten Membran die Elemente einer Brücke definiert auf der Membran verteilt so anzuordnen, daß sie jeweils im Bereich positiver bzw. negativer Dehnung der Membran liegen, wobei als Widerstandsmaterialien solche mit positiven bzw. negativen Druckkoeffizienten zum Einsatz kommen, so daß durch die Überlagerung der Signale durch Druck und Verformung das obengenannte hohe Ausgangssignal entsteht.
Zeichnung Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen: Figur 1 das Schaltbild einer Brückenanordnung, wie sie beim erfindungsgemäßen Sensor verwendet werden kann; Figur 2 ein Schnittbild durch eine erste Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Sensors 9 Figur 3 ein Schnittbild durch eine zweite Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Sensors; Figur 4 ein Schnittbild durch eine dritte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Sensors; Figur 5 ein Schnittbild durch eine vierte Ausführungsform eines erfindungsgemäBen Sensors in Dicksehiehttechnik7 Figur 6 ein weiteres Schaltbild einer Brückenanordnung wie sie bei den erfindungsgemäßen Sensoren verwendet werden kann.
Beschreibung der Ausführungsbeispiele Der erfindungsgemäße Sensor ist dazu vorgesehen Drücke in einem Medium unter Verwendung wenigstens eines seinen Widerstandswert unter Druckeinwirkung ändernden Elementes zu messen. Der Sensor eignet sich insbesondere zur Messung hoher Drücke, wie sie beispielsweise in Hydrauliksystemen oder Einspritzpumpen von Verbrennungsmotoren auftreten. Im letzteren Fall sind die Sensoren Teil eines RegelsystemsS bei dem verschiedene Betriebsparameter zur Regelung einer Brennkraftmaschine herangezogen werden u.a. die Einspritzmenge, die mittelbar über den Druck in der Einspritzpumpe ermittelt wird.
Während zu derartigen Meßzwecken üblicherweise aufwendige Sensoren verwendet werden, ist es mit den Sensoren entsprechend der vorliegenden Erfindung möglich 9 derartige Drücke mit einfach und kostengünstig herzustellenden Elementen zu messen. Diese Elemente sind handelsübliche Widerstandsbauelemente, deren Herstellung bekannt und einfach durchzuführen ist.
So ist es gemäß der Erfindung beispielsweise möglich, Kohleschichtwiderstände, Dünnschichtwiderstände oder Dickschichtwiderstände zu verwenden. Diese Widerstandselemente werden direkt dem zu messenden Druck ausgesetzt, wobei sich gezeigt hat, daß diese Elemente einen beträchtlichen Druckkoeffizienten aufweisen, so daß ohne besondere schaltungstechnische Maßnahmen Messungen des statischen und des dynamischen Druckes möglich sind.
Bei diesen nur beispielsweise genannten Bauelementen sind verschiedene Materialien oder Materialzusammenstellungen verwendbar, mit denen sich unterschiedliche Druck- und Temperaturkoeffizienten einstellen lassen, so daß - wie weiter unten noch ausführlich gezeigt wird - Schaltungen möglich sind, die besonders hohe Nutzsignale bei niedriger Temperaturabhängigkeit erbringen, sofern Brückenschaltungen mit geeigneter Dimensionierung der einzelnen Bauelemente verwendet werden.
Bei Verwendung von Dünnschichtwiderständen können diese unterschiedlichen Eigenschaften aus einem Dünnschichtsystem TaNi dargestellt werden. In diesem System lassen sich nämlich auf sehr einfache Weise temperaturabhängige Widerstände (Gesamtschicht TaNi) und praktisch temperaturunabhängige Widerstände (selektiv freigeätzte Ta-Schicht) herstellen.
Druckmessungen mit solchen Widerständen ergaben das überraschende Ergebnis, daß die unter Luftzusatz zum Entladungsgas durch Kathodenzerstäubung hergestellten Ta-Widerstände einen im Gegensatz zum Literaturwert für Tantal negativen DruckkoeSSi.zienten besitzen; die aus der Gesamtschicht ausgebildeten TaNi-Widerstände hingegen einen positiven Druckkoeffizienten. Dabei liegt der Druckkoeffizient für, Ta-Widerstände im Absolutbetrag in der Größenordnung von Manganin, aus dn in vorteilhafter Weise Widerstände zur Direktdruckmessung hergestellt werden können, wie dies in der älteren Anmeldung P 30 28 188.0 beschrieben ist. Der Druckkoeffizient von TaNi-Widerständen ist demgegenüber etwa zwei'dreimal größer.
In Figur 1 ist eine Brückenschaltung 10 dargestellt, die aus vier Widerständen 11, 12, 13, 14 besteht. An die eine Brückendiagonale wird eine Brückenspannung Ug angelegt, die Meßspannung UM wird. an der anderen Brückendiagonalen abgenommen, wobei diese Spannungen selbstverständlich auch vertauscht werden können.
Erfindungsgemäß sind nun die einander jeweils diagonal gegenüberliegenden Widerstände aus dem gleichen Material ausgebildet und zwar die Widerstände 11, 13 aus Ta, die Widerstände 12, 14 aus TaNi. Aufgrund des vorab angegebenen unterschiedlichen Druckkoeffizienten besitzt die in Figur 1 dargestellte Brückenschaltung 10 demnach eine sechs- bis achtfache Druckempfindlicikeit gegenüber einer aus Manganinwiderständen aufgebaute Brücke Wird die Brückenanordnung gemäß Figur 1 zur Messung dynamischer Drücke verwendet, bei der es auf Absolutbeträge nicht ankommt, stört die Temperaturabhängigkeit des Brückensignals nicht. Die untere Grenzfrequenz für derartige dynamische Messungen wird dabei durch die Reaktionsgeschwindigkeit der Brücke auf Temperaturänderungen im Druckmedium mit bestimmt. Befindet sich die in Figur 1 dargestellte Brückenanordnung in einem strömenden Medium, können Verfälschungen des Meßergebnisses dadurch auftreten, daß das Medium die Widerstände 11 bis 14 anströmt und dadurch temperaturbedingte Fehlsignale verursacht. In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist daher vorgesehen, die Widerstände 11 bis 14 mit einer elastischen organischen Schutzschicht, z.B. Silikon abzudecken, wodurch die Empfindlichkeit bei Druckmessungen nicht beeinträchtigt wird. Dadurch kann eine vorgegebene Trägheit des Meßsystems gegen Temperatureinflüsse bewirkt werden.
Eine erste praktische Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Sensors ist in Figur 2 dargestellt. Träger des Sensors ist dabei eine Schraube 15 die, mit einer Dichtung 16 versehen, in ein Druckgehause 17 einschraubbar ist. Das Druckgehäuse ist dabei beispielsweise die Wandung eines hydraulischen Elementes oder einer Einspritzpumpe in einem Kraftfahrzeug. Die Schraube 15 ist mit einer axialen Bohrung 18 versehen, in die druckdicht von außen eine mehradrige Zuleitung 19 hineinreicht. Die Zuleitung 19 ist in der Bohrung 18 an einem Plättchen 20 befestigt, auf dem die Widerstandsanordnung 21, beispielsweise einer Brückenschaltung 10 gemäß Figur 1, angeordnet ist. Das Plättchen 20 mit der Widerstandsanordnung 21 ist von einer elastischen Abdeckschicht 22 umgeben, wie sie vorstehend beschrieben wurde. Die elastische Abdeckschicht 22 ist ihrerseits mit einem Schutzgitter 23 gegen mechanische Beschädigungen geschützt.
Ein weiteres praktisches Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Sensors ist in Figur 3 dargestellt. Auch hier ist eine Schraube 15 als Träger des Sensors über eine Dichtung 16 in ein Druckgehäuse 17 eingeschraubt. Im Gegensatz zum Ausführungsbeispiel gemäß Figur 2 ist jedoch beim Ausführungsbeispiel gemäß Pigur 3 die axiale Bohrung 30 durchgehend durch die Schraube 15 ausgebildet Die Bohrung 30 ist mit einet elastischen Vergußmasse 31 ausgefüllt, wobei am dckzuaewandten Ende der Schraube eine Unterlage 32 auf dem Schraubenkopf und der Vergußmasse 31 aufsitzt. Die Unterlage 32 trägt wieder eine mit einer elastischen Abdeckschicht 22 überdeckte Widerstandsanordnung 21. Von der Unterlage 32 führen Durchführungen 33 in die Vergußmasse 31. An die Durchführungen 33 kann eine elektronische Schaltung 35, beispielsweise ein Vorverstärker angeschlossen sein. Die elektronische Schaltung 35 mit ihren Zuleitungen 34 ist dabei ebenfalls in die Vergußmasse 31 eingegossen. Auf diese Weise kann ein hochempfindlicher Drucksensor aufgebaut werden, bei dem bevorzugt die Unter lage 32 in Form einer elastisch verformbaren Membran ausgebildet ist, wodurch sich - wie weiter unten noch geschildert wird - eine weitere Erhöhung des Nutzsignales ergibt.
Eine dritte praktische Ausführungsform eines erfindungsemäßen Sensors ist in ar 4a und b im Schnitt tvzO in Draufsicht dargestellt. In der Schraube 15 verläuft wiederum eine axiale Bohrung 30', die jedoch in diesem Ausführungsbeispiel nach außen hin konisch abgesetzt ist Die Bohrung 30' ist wiederum mit der elastischen Vergußmasse 31 ausgefüllt und auf dem druckzugewandten Ende der Schraube 15 liegt die Unterlage 32', die in bevorzugter Ausgestaltung elastisch verformbar ausgebildet ist9 auf Auf der Unterlage 32v ist wiederum die von der elastischen Abdeckschicht 22 bedeckte Widerstandsanordnung 21 angeordnet. Die Zuleitungen 34 der Widerstandsanordnung 21 führen durch die Vergußmasse 31 nadh außen. Auf diese Weise ist es mögliche einen besonders einfachen und preisgünstig herzustellenden Sensor aufzubauen.
Gemäß der Erfindung ist weiterhin vorgesehen, zur Verminderung des Temperaturkoeffizienten der gesamten Sensoranordnung einen Teil der verwendeten Widerstandselemente druckdicht abzuschirmen, so daß durch Vergleich dieser druckdicht abgeschirmten Widerstandselemente mit den nicht abgeschirmten Widerstandselementen eine Eliminierung von Temperatureinflüssen möglich ist.
Eine derartige Anordnung kann in bevorzugter Weise in Dickschichttechnik aufgebaut werden, wie dies in Figur 5 veranschaulicht ist. Es versteht sich dabei jedoch von selbst, daß diese Herstellungstechnologie nur beispielhaft angeführt ist und daß sich die hier im einzelnen beschriebenen Sensoranordnungen mit allen genannten ü Widerstandsbauelmenten aufbauen lassen, sofern sich aus den speziell verwendeten Elementen und ihren besonderen Eigenschaften nichts anderes ergibt.
Bei der Ausführungsform gemäß Figur 5a, b und c wird eine Halbbrückenanordnung 39 verwendet, die aus den Widerständen 41 und 42 besteht und auf einem als Unterlage 40 dienenden Substrat angeordnet ist. Als Widerstände 41, 42 eignen sich insbesondere in Dickschichttechnik hergestellte Widerstände, z.B. Cermet, Conductive-Plastic, Platin usf. Diese Widerstände zeigen, wie sich gezeigt hat, eine enorm hohe Widerstandsänderung in Abhängigkeit vom Druck. Dabei ist es erfindungsgemäß möglich, durch Auswahl der Widerstandspasten und durch gezielte Beimischungen von leitenden und nichtleitenden Stoffen, sowie über deren Korngröße und Kornform den druckabhängigen Widerstandsbeiwert in weiten Grenzen zu variieren.
Bei Einsatz der Dickschichttechnik wird der Ring 43 um den Widerstand 41 aus geeignetem Material z.B Glas, Keramik oder dgl. aufgedruckt und in einem weiteren Arbeitsgang die Abdeckplatte 44 druckdicht aufgesetzt.
Außer der druckdichten Abschirmung kann aber noch ein zum sätzlicher Meßeffekt durch gezielte Ausgestaltung der Abw deckung erreicht werden.
Wie in Figur 5b und c dargestellt, ist es möglich, die Dicke der Unterlage 40 bzw. der Abdeckplatte 44 in weiten Grenzen einzustellen. Wird, wie in Figur 5b dargestellt, die Unterlage 40 wesentlich dünner ausgebildet als die Abdeckplatte 44, ergibt sich bei Druckbeaufschlagung eine konkave Durchbiegung der Unterlage 40, wie dies in Figur 5b durch die Linie 45 der positiven Durchbiegung angedeutet ist. Im umgekehrten Falle ergibt sich bei dick Cusgebildeter Unterlage 40 eine konvexe Durchbiegung, wie dies durch die Linie 46 der negativen Durc.hbiegung in Figur 5c gezeigt ist. Durch die Durch biegung der Unterlage 40 ergibt sich eine Dehnung bzw.
Stauchung des Widerstandes 41, was die Möglichkeit eröffnet, diese neben der Druckbelastung zusätzliche mechanische Belastung zur Signal-erhöhung auszunutzen.
In gleicher Weise ist dies bei den Anordnungen gemäß Figur 3 und 4 möglich, wenn - wie oben bereits angedeutet - die Unterlage 32 bzw. 32' in Form einer elastisch verformbaren Membran ausgebildet wird. Da diese Membranen seitlich eingespannt sind, ergeben sich auf ihnen am Rand und in dEr Mitte Durchbiegungen unterschiedlicher Richtungen. Durch geeignete geometrische Anbringung der Widerstandvelemente der Anordnungen 21 ist es dann möglich, einen Teil der Widerstandselemente bei Druckeinwirkung einer Stauchung und einen anderen Teil einer Dehnung auszusetzen. Werden diese Elemente nun, wie in Figur 1 für den Fall des unterschiedlichen Druckkoeffizienten bereits ausgeführt in einer Brückenanordnung einander diagonal bzw. benachbart angeordnet, läßt sich eine zusätzliche Signalerhöhung dadurch erzielen, daß durch Stauchung bzw. Dehnung und damit unterschiedliche Widerstandsveränderung eine zusätzliche Verstimmung der Brücke bei Druckeinwirkung bewirkt wird.
In Figur 6 ist schließlich noch eine Brückenschaltung 50 dargestellt, bei der durch geeignete Auswahl der Brückenelemente eine Temperaturkompensation möglich ist. Die Brückenschaltung 50 besteht in zwei gegenüberliegenden Zweigen aus Widerständen 51a, 51b bzw. 53a, 53b und in den beiden anderen Zweigen aus Einzelwiderständen 52 bzw.
54. Die Widerstände 51a, 53a sind dabei als TaNi-Widerstände und die Widerstände 51b, 53b als Ta-Widerstände ausgebildet. Die Widerstände 52, 54 bestehen aus einem Material mit positivem Druckkoeffizienten und einem Temperaturkoeffizienten, der im Bereich von - 200 ppm/< liegt. Diese Bedingungen erfüllen z.B. Silber-Mangan-Legierungsschichten.
Durch geeignete Dimensionierung aller Brückenwiderstände ist es dabei erreichbar, daß zum Nullabgleich der Brücke 50 immer nur ein bestimmter Brückenzweig, beispielsweise 51a, b benutzt werden muß. Hierzu wird der Brückenzweig 51a, b bei der Herstellung durch gezielte Bahnverbreiterung niederohmig gestaltet. Aufgrund der üblichen Fertigungsstreuung von + 5 % kann nun durch Laserabgleich, mit dem ein Bereich von - 20 abgeglichen werden kann, der Widerstand des Zweiges 51a, b vergrößert und der Temperaturkoeffizient verkleinert werden. Durch geeignete Aufteilung der Widerstände 51a, 51b ist es möglich, den Widerstandswert und den Temperaturkoeffizienten dieses Zweiges unabhängig voneinander einzustellen, wie dies beispielsweise in der DE-OS 29 o6 813 beschrieben ist. Da der TaNi-Widerstand 51a einen kleineren Wert hat als der Widerstand 52, jedoch einen größeren Temperaturkoeffizienten, kann durch diese Einstellung bewirkt werden, daß der gesamte Temperaturkoeffizient der Brückenschaltung 50 minimiert wird.

Claims

Ansprüche 1. Sensor zur Erfassung des Druckes eines Mediums unter Verwendung wenigstens eines seinen Widerstandswert unter Druckeinwirkung ändernden Elementes, dadurch gekeenzeichnet, daß das Element ein übliches Widerstandsbauelement (11 bis 14, 21, 41, 42, 51 bis 54)9 vorzugsweise ein Kohleschichtwiderstand, ein Dünnschichtwiderstand oder ein Dickschichtwiderstand ist.
2. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß das wenigstens eine Element (11 bis 14, 21, 41, 42, 51 bis 54) ein Dünnschichtwiderstand (11 bis 14, 21, 51, 53) eines TaNi-Systems ist.
3 Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das wenigstens eine Element (11 bis 14, 21, 41, 42, 51 bis 54) ein Dickschichtwiderstand (21, 41, 42), z.B.
Cermet, Conductive, Plastic, Platin usf. ist 4. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Elemente (11 bis 14, 21, 41, 42, 51 bis 54) Bestandteile einer Brückenanordnung (10, 39, 50) sind.
5. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Element (11 bis 14, 21, 42, 51 bis 54) zur Verminderung der thermischen Belastung bei Direkt anströmung durch das Medium mit einer elastischen Abdeckschicht (22), vorzugsweise Silikon, versehen ist.
6. Sensor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß zur Verminderung der Ansprechgeschwindigkeit des Elementes (11 bis 14, 21, 42, 51 bis 54) auf Temperaturänderungen die Masse der Abdeckschicht (22) einstellbar ist.
7. Sensor nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Elemente (11 bis 14, 21, 51 bis 54) auf einem Plättchen (20) angeordnet sind, das am Fuß einer in ein Druckgehäuse (17) druckdicht einschraubbaren Schraube (15) angebracht und von der elastischen Abdeckschicht (22) sowie einem Schutzgitter (23) umgeben ist.
8. Sensor nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil der Brücke (10, 399 50) druckdicht abgedeckt ist.
9. Sensor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet daß bei Verwendung von Dickschicht-Elementen um den wenigstens einen, auf einem Substrat (40) befindlichen abzudeckenden Dickschichtwiderstand (41) ein Ring (43), vorzugsweise aus Glas, Keramik oder dgl. aufgedruckt ist, der mit einer Abdeckplatte (44) verschlossen ist
10. Sensor nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Elemente (11 bis 149 21, 51 bis 54) einen unterschiedlichen Druckkoeffizienten aufweisen.
11. Sensor nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß eine Vollbrücke mit vier Elementen (11 bis 14) verwendet wird, wobei sich zwei Ta-Widerstände (12, 14) und zwei TaNi-Widerstände (11, 13) jeweils diagonal gegenüberstehen.
12. Sensor nach Anspruch 10 dadurch gekennzeichnet, daß eine Vollbrücke mit mindestens sechs Elementen (51 bis 54) verwendet wird, wobei zwei diagonal gegenüberliegende Brückenzweige aus der Reihenschaltung je eines TaNi-Widerstandes (51a, 53a) und eines Ta-Widerstandes (51b, 53b) und die beiden übrigen Brückenzweige aus je einem Widerstand (52, 54) gebildet werden, der einen positiven Druckkoeffizienten und einen Temperaturkoeffizienten im Bereich von - 200 ppm/k aufweist.
13. Sensor nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die die übrigen Brückenzweige bildenden Widerstände (52, 54) aufgestäubte Silber-Mangan-Legierungsschichten sind, mit positivem Druckkoeffizienten und einem Tempereturkoeffizienten von wenigstens näherungsweise + 10 ppm/t.
14. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Element (11 bis 14, 21, 41, 42, 51 bis 54) auf einer durch die Druckeinwirkung elastisch verformbaren Unterlage (32, 32', 40) angeordnet ist.
15. Sensor nach Anspruch 9 und 1h, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke des Substrates (40) und/oder der Abdeckplatte (44) so einstellbar ist, daß sich bei Druckeinwirkung eine konvexe bzw. konkave Verformung des Substrates (40) ergibt.
16. Sensor nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die elastisch verformbare Unterlage (32, 32') auf dem Kopf einer axial durchbohrteü, als Sensorkörper dienenden Schraube (15) angeordnet ist.
17. Sensor nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet 9 daß die Bohrung (30, 30') zur Aufnahme von Zuleitungen (34), elektronischen Schaltungen (35) oder dgl. dient und vorzugsweise druckfest vergossen ist.
18. Sensor nach einem der Ansprüche 14 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß bei Verwendung einer Brückenschaltung für die Elemente (11 bis 14, 21, 41, 42, 51 bis 54) wenigstens ein Element im Bereich konvexer Durchbiegung (45) der Unterlage (32, 32') und wenigstens ein weiteres Element im Bereich konkaver Durchbiegung (46) der Unterlage (32, 32') angeordnet ist.