JP2586399B2 - 加速度センサ - Google Patents
加速度センサInfo
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- JP2586399B2 JP2586399B2 JP6101466A JP10146694A JP2586399B2 JP 2586399 B2 JP2586399 B2 JP 2586399B2 JP 6101466 A JP6101466 A JP 6101466A JP 10146694 A JP10146694 A JP 10146694A JP 2586399 B2 JP2586399 B2 JP 2586399B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acceleration
- thin film
- acceleration sensor
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- Pressure Sensors (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は加速度による薄膜部のた
わみをピエゾ抵抗によって検出する加速度センサの構造
に関するものである。
わみをピエゾ抵抗によって検出する加速度センサの構造
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の加速度センサの形状の一例を、図
２に断面の斜視図で示す。加速度センサは質量部１と厚
肉部の支持部２とこれらをつなぐ薄膜部３から構成され
ており、質量部１の変位を検出することにより加速度を
測定する。このような形状を持つ加速度センサでは、感
度の向上を目的として、薄膜部３を連続した複数の薄膜
部で構成することがなされている。
２に断面の斜視図で示す。加速度センサは質量部１と厚
肉部の支持部２とこれらをつなぐ薄膜部３から構成され
ており、質量部１の変位を検出することにより加速度を
測定する。このような形状を持つ加速度センサでは、感
度の向上を目的として、薄膜部３を連続した複数の薄膜
部で構成することがなされている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の加速度センサの
形状では、検出方向以外の加速度成分によって薄膜部３
にねじれが生じ、検出方向の加速度の大きさを正確に測
定できなかった。特に加速度センサを高感度化するため
に、質量部１と薄膜部３の接続部から支持部２と薄膜部
３の接続部までの距離を長く形成すれば、ねじれの効果
は大きい。
形状では、検出方向以外の加速度成分によって薄膜部３
にねじれが生じ、検出方向の加速度の大きさを正確に測
定できなかった。特に加速度センサを高感度化するため
に、質量部１と薄膜部３の接続部から支持部２と薄膜部
３の接続部までの距離を長く形成すれば、ねじれの効果
は大きい。
【０００４】本発明は、加速度の方向分離が可能な加速
度センサの提供を目的とする。
度センサの提供を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、質量部１と支
持部２とこれらをつなぐ連続した複数の薄膜部３から構
成され、かつ、それぞれの薄膜部が加速度に対して異な
る感度軸を持つ加速度センサにおいて、前記の薄膜部に
ピエゾ抵抗を有することを特徴とする。
持部２とこれらをつなぐ連続した複数の薄膜部３から構
成され、かつ、それぞれの薄膜部が加速度に対して異な
る感度軸を持つ加速度センサにおいて、前記の薄膜部に
ピエゾ抵抗を有することを特徴とする。
【０００６】
【作用】本発明は、連続した複数の薄膜部３がそれぞれ
異なる感度軸を持つことを利用し、これらの薄膜部３上
のピエゾ抵抗の信号から目的方向の加速度の大きさを正
確に測定する。
異なる感度軸を持つことを利用し、これらの薄膜部３上
のピエゾ抵抗の信号から目的方向の加速度の大きさを正
確に測定する。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。
する。
【０００８】図１は、本発明による加速度センサの第１
実施例であり、加速度センサを対称面で切断した斜視図
である。図１において、加速度検出方向を矢印で示し
た。
実施例であり、加速度センサを対称面で切断した斜視図
である。図１において、加速度検出方向を矢印で示し
た。
【０００９】図３は、本発明による加速度センサの第１
実施例に、薄膜部３の長手方向と一致する成分を含む加
速度が加わった場合を図示した。加速度検出方向をｙ方
向、薄膜部３の長手方向をｘ方向とする。第１ピエゾ抵
抗４１からは加速度のｙ方向成分に応じた薄膜部３のた
わみによる信号が得られ、第２ピエゾ抵抗４２からは加
速度のｘ方向成分に応じた引っ張り応力による信号が得
られる。
実施例に、薄膜部３の長手方向と一致する成分を含む加
速度が加わった場合を図示した。加速度検出方向をｙ方
向、薄膜部３の長手方向をｘ方向とする。第１ピエゾ抵
抗４１からは加速度のｙ方向成分に応じた薄膜部３のた
わみによる信号が得られ、第２ピエゾ抵抗４２からは加
速度のｘ方向成分に応じた引っ張り応力による信号が得
られる。
【００１０】図４は、本発明による加速度センサの第１
実施例に、図３の場合と異なる成分を含む加速度が加わ
った場合である。加速度はｙ方向成分、及び−ｘ方向成
分を含むとする。第１ピエゾ抵抗４１からは加速度のｙ
方向成分に応じた薄膜部３のたわみによる信号が得ら
れ、第２ピエゾ抵抗４２からは加速度の−ｘ方向成分に
応じた圧縮応力による信号が得られる。
実施例に、図３の場合と異なる成分を含む加速度が加わ
った場合である。加速度はｙ方向成分、及び−ｘ方向成
分を含むとする。第１ピエゾ抵抗４１からは加速度のｙ
方向成分に応じた薄膜部３のたわみによる信号が得ら
れ、第２ピエゾ抵抗４２からは加速度の−ｘ方向成分に
応じた圧縮応力による信号が得られる。
【００１１】図５は、本発明による加速度センサの第２
実施例であり、（Ａ）は上面図、（Ｂ）は（Ａ）図にお
いて加速度センサをＡ−Ａ′で切断した断面図である。
第１実施例と同様に、第１ピエゾ抵抗４１によって検出
方向の加速度成分を主に測定し、第２ピエゾ抵抗４２に
よって検出方向と垂直な方向の加速度成分による薄膜部
３のねじれの情報が得られる。
実施例であり、（Ａ）は上面図、（Ｂ）は（Ａ）図にお
いて加速度センサをＡ−Ａ′で切断した断面図である。
第１実施例と同様に、第１ピエゾ抵抗４１によって検出
方向の加速度成分を主に測定し、第２ピエゾ抵抗４２に
よって検出方向と垂直な方向の加速度成分による薄膜部
３のねじれの情報が得られる。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、簡単な
構造によって同じ大きさで方向が異なる加速度が印加さ
れた場合でも、これらの加速度に含まれる方向成分の違
いによる薄膜部３のねじれを検出して信号に補正をか
け、検出方向の加速度成分を分離、測定することができ
る。
構造によって同じ大きさで方向が異なる加速度が印加さ
れた場合でも、これらの加速度に含まれる方向成分の違
いによる薄膜部３のねじれを検出して信号に補正をか
け、検出方向の加速度成分を分離、測定することができ
る。
【図１】本発明の第１実施例を対称面で切断した斜視図
である。
である。
【図２】加速度センサの従来例を対称面で切断した斜視
図である。
図である。
【図３】加速度を印加した本発明の第１実施例の断面図
である。
である。
【図４】図３と方向の異なる加速度を印加した本発明の
第１実施例の断面図である。
第１実施例の断面図である。
【図５】本発明の第２実施例で、（Ａ）図は上面図、
（Ｂ）図は（Ａ）図内のＡ−Ａ′で加速度センサを切断
した断面図である。
（Ｂ）図は（Ａ）図内のＡ−Ａ′で加速度センサを切断
した断面図である。
１ 質量部 ２ 支持部 ３ 薄膜部 ４ ピエゾ抵抗 ４１ 第１ピエゾ抵抗 ４２ 第２ピエゾ抵抗
Claims (2)
- 【請求項１】質量部と支持部とこれらをつなぐ連続した
複数の薄膜部から構成され、かつ、それぞれの薄膜部が
加速度に対して異なる感度軸を持つ加速度センサにおい
て、前記の薄膜部にピエゾ抵抗を有することを特徴とす
る加速度センサ。 - 【請求項２】質量部と支持部とこれらをつなぐ薄膜部か
ら構成され、薄膜部が加速度検出方向へＬ字形に曲がっ
た形状を持った加速度センサにおいて、支持部と薄膜部
の接続部に第１ピエゾ抵抗を、また、質量部と薄膜部の
接続部に第２ピエゾ抵抗を有することを特徴とする加速
度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6101466A JP2586399B2 (ja) | 1994-05-17 | 1994-05-17 | 加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6101466A JP2586399B2 (ja) | 1994-05-17 | 1994-05-17 | 加速度センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07311217A JPH07311217A (ja) | 1995-11-28 |
| JP2586399B2 true JP2586399B2 (ja) | 1997-02-26 |
Family
ID=14301497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6101466A Expired - Fee Related JP2586399B2 (ja) | 1994-05-17 | 1994-05-17 | 加速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2586399B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109459068A (zh) * | 2018-10-09 | 2019-03-12 | 佛山市卓膜科技有限公司 | 一种高精度压电传感器 |
-
1994
- 1994-05-17 JP JP6101466A patent/JP2586399B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07311217A (ja) | 1995-11-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19961008 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071205 Year of fee payment: 11 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081205 Year of fee payment: 12 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |