JPH0668501B2 - 加速度計 - Google Patents
加速度計Info
- Publication number
- JPH0668501B2 JPH0668501B2 JP61182800A JP18280086A JPH0668501B2 JP H0668501 B2 JPH0668501 B2 JP H0668501B2 JP 61182800 A JP61182800 A JP 61182800A JP 18280086 A JP18280086 A JP 18280086A JP H0668501 B2 JPH0668501 B2 JP H0668501B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- parallel
- flexible beam
- rigid body
- portions
- acceleration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、線加速度および角加速度を測定する加速度計
に関する。
に関する。
従来の加速度計は、たわみ梁に重量体を取付けた構造の
ものが多く用いられている。このような加速度計を図に
より説明する。
ものが多く用いられている。このような加速度計を図に
より説明する。
第３図(a)、(b)、(c)は従来の加速度計の側面図および正
面図である。各図で、１は板状のたわみ梁、２はたわみ
梁１の上端に取付けられた剛性の大きい重量体、３はた
わみ梁１の下端を固定する固定部である。４はたわみ梁
１の両面に貼着されたひずみゲージである。
面図である。各図で、１は板状のたわみ梁、２はたわみ
梁１の上端に取付けられた剛性の大きい重量体、３はた
わみ梁１の下端を固定する固定部である。４はたわみ梁
１の両面に貼着されたひずみゲージである。
このような加速度計に、第３図(c)の矢印で示す方向に
加速度ａが作用すると、たわみ梁１は、Ｆ＝ｍ・ａ（た
だし、ｍは重量体２の重量）で表わされる力Ｆを受けた
ことになり、この力Ｆに応じて第３図(c)に示すように
変形する。このたわみ梁１の変形により、ひずみゲージ
４は当該変形に比例したひずみを生じる。このひずみゲ
ージ４のひずみを電気信号としてとり出すと、この電気
信号は加速度ａに比例した値となり、加速度を測定する
ことができる。
加速度ａが作用すると、たわみ梁１は、Ｆ＝ｍ・ａ（た
だし、ｍは重量体２の重量）で表わされる力Ｆを受けた
ことになり、この力Ｆに応じて第３図(c)に示すように
変形する。このたわみ梁１の変形により、ひずみゲージ
４は当該変形に比例したひずみを生じる。このひずみゲ
ージ４のひずみを電気信号としてとり出すと、この電気
信号は加速度ａに比例した値となり、加速度を測定する
ことができる。
上記の加速度計は、第３図(c)に示す矢印方向の加速度
成分は測定できるが、他の方向の加速度成分を測定する
ことはできない。したがつて、他の方向の加速度成分を
知るには、同様構造の加速度計を２つ又は３つ組合せる
必要がある。しかしながら、このような組合せ構造は全
体が大形化し占有面積が増大するという欠点がある。さ
らに、上記の加速度計では角加速度を測定することはで
きない。
成分は測定できるが、他の方向の加速度成分を測定する
ことはできない。したがつて、他の方向の加速度成分を
知るには、同様構造の加速度計を２つ又は３つ組合せる
必要がある。しかしながら、このような組合せ構造は全
体が大形化し占有面積が増大するという欠点がある。さ
らに、上記の加速度計では角加速度を測定することはで
きない。
本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解決し、複数
軸方向の線加速度および複数軸まわりの角加速度を測定
することができ、かつ、小形に構成することができる加
速度計を提供するにある。
軸方向の線加速度および複数軸まわりの角加速度を測定
することができ、かつ、小形に構成することができる加
速度計を提供するにある。
上記の目的を達成するため、本発明は、中心剛体部に穴
をあけるとともに中心剛体部から互いにほぼ直交する方
向に向つて張出し部を設け、これら張出し部のうち対向
する各張出し部の端部を固定部として測定対象物体の所
定個所に固定できるようにし、又、他の対向する各張出
し部の端部どうしを連結する剛体の連結部材を設け、こ
の連結部材に中心剛体部の穴に挿入した重量体を連結す
るようにし、この重量体は、その重心が各張出し部の中
心を通る軸の交点と一致するように調整して連結部材に
連結されており、一方、２つ以上の平行たわみ梁構造が
各張出し部のうちの任意の張出し部にそのたわみ梁部の
面が直交するように設けられるとともに、各平行たわみ
梁構造のたわみ梁の変形を検出する検出手段を設けたこ
とを特徴とする。
をあけるとともに中心剛体部から互いにほぼ直交する方
向に向つて張出し部を設け、これら張出し部のうち対向
する各張出し部の端部を固定部として測定対象物体の所
定個所に固定できるようにし、又、他の対向する各張出
し部の端部どうしを連結する剛体の連結部材を設け、こ
の連結部材に中心剛体部の穴に挿入した重量体を連結す
るようにし、この重量体は、その重心が各張出し部の中
心を通る軸の交点と一致するように調整して連結部材に
連結されており、一方、２つ以上の平行たわみ梁構造が
各張出し部のうちの任意の張出し部にそのたわみ梁部の
面が直交するように設けられるとともに、各平行たわみ
梁構造のたわみ梁の変形を検出する検出手段を設けたこ
とを特徴とする。
穴内に挿入された重量体に線加速度、角加速度が作用す
ると、それによる力、モーメントは連結部材、この連結
部材が連結されている両張出し部、中心剛体部、他の両
張出し部および固定部に伝達される。そして、張出し部
に設けられている平行たわみ梁構造のうち伝達された
力、モーメントに対応する平行たわみ梁構造のたわみ梁
が当該力、モーメントにより変形する。この変形は検出
手段によりとり出され、これにより線加速度、角加速度
が測定される。
ると、それによる力、モーメントは連結部材、この連結
部材が連結されている両張出し部、中心剛体部、他の両
張出し部および固定部に伝達される。そして、張出し部
に設けられている平行たわみ梁構造のうち伝達された
力、モーメントに対応する平行たわみ梁構造のたわみ梁
が当該力、モーメントにより変形する。この変形は検出
手段によりとり出され、これにより線加速度、角加速度
が測定される。
以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。
第１図は本発明の実施例に係る加速度計の斜視図であ
る。図で、９は中心剛体部、1は中心剛体部９のほぼ中
央に形成された貫通孔である。11Ａ，11Ｂ，11Ｃ，11Ｄ
は中心剛体部10から張出した張出し部であり、隣接する
張出し部は互いにほぼ直交する方向に張出している。12
は張出し部11Ｃ，11Ｄの各端部下端に設けられた固定部
（張出し部11Ｃの固定部はみえない）であり、加速度が
測定される対象物体の適所に固定される。13は張出し部
11Ａ，11Ｂの端部間を連結する剛体の連結部材、14は連
結部材13に連結された状態で貫通孔10内に挿入される重
量体である。Ｘは張出し部11Ａ，11Ｂおよび中心剛体部
９の中心を通る座標軸、Ｙは張出し部11Ｃ，11Ｄおよび
中心剛体部９の中心を通る座標軸である。ＺはＸ軸とＹ
軸の交点を通りこれら両軸に対して直交する座標軸であ
る。Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の交点は貫通孔10内にあり、重量
体14は、その重心が当該交点と一致するように連結部材
13に連結される。
る。図で、９は中心剛体部、1は中心剛体部９のほぼ中
央に形成された貫通孔である。11Ａ，11Ｂ，11Ｃ，11Ｄ
は中心剛体部10から張出した張出し部であり、隣接する
張出し部は互いにほぼ直交する方向に張出している。12
は張出し部11Ｃ，11Ｄの各端部下端に設けられた固定部
（張出し部11Ｃの固定部はみえない）であり、加速度が
測定される対象物体の適所に固定される。13は張出し部
11Ａ，11Ｂの端部間を連結する剛体の連結部材、14は連
結部材13に連結された状態で貫通孔10内に挿入される重
量体である。Ｘは張出し部11Ａ，11Ｂおよび中心剛体部
９の中心を通る座標軸、Ｙは張出し部11Ｃ，11Ｄおよび
中心剛体部９の中心を通る座標軸である。ＺはＸ軸とＹ
軸の交点を通りこれら両軸に対して直交する座標軸であ
る。Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の交点は貫通孔10内にあり、重量
体14は、その重心が当該交点と一致するように連結部材
13に連結される。
15a1,15a2,15b1,15b2,15c1,15c2,15d1,15d2はそれぞれ
張出し部11Ａ，11Ｂ，11Ｃ，11Ｄに設けられた平行たわ
み梁構造、16はひずみゲージである。この平行たわみ梁
構造およびひずみゲージについては後述する。これら各
平行たわみ梁構造15a1〜15d2はＸ軸，Ｙ軸，Ｚ軸に関連
して構成されており、実際上、各張出し部に貫通孔を形
成することにより構成される。
張出し部11Ａ，11Ｂ，11Ｃ，11Ｄに設けられた平行たわ
み梁構造、16はひずみゲージである。この平行たわみ梁
構造およびひずみゲージについては後述する。これら各
平行たわみ梁構造15a1〜15d2はＸ軸，Ｙ軸，Ｚ軸に関連
して構成されており、実際上、各張出し部に貫通孔を形
成することにより構成される。
次に、上記平行たわみ梁構造およびその動作を図により
説明する。第２図(a)、(b)、(c)は対称型平行たわみ梁構
造の側面図である。各図で、20、21,22は剛体部、23は剛
体部21,22を固定する固定部である。24ａ，24′は剛体
部20、21間を連結するたわみ梁部、24ｂ，24ｂ′は剛体
部20,22間を連結するたわみ梁部である。たわみ梁部24
ａとたわみ梁部24ａ′、又、たわみ梁部24ｂとたわみ梁
部24ｂ′はそれぞれ互いにほぼ平行関係にある。剛体部
20,21、たわみ梁部24ａ，24ａ′により一方の平行たわ
み梁構造25ａが構成され、剛体部20,22、たわみ梁部24
ｂ，24ｂ′により他方の平行たわみ梁構造25ｂが構成さ
れ、これら平行たわみ梁構造25ａ，25ｂにより図示のよ
うな対称型の平行たわみ梁構造が構成されている。平行
たわみ梁構造25ａ，25ｂは剛体のブロツクに貫通孔26
ａ，26ｂを形成することにより構成される、27は各たわ
み梁部上における剛体部21,22との連結部分近辺に貼着
されたひずみゲージである。
説明する。第２図(a)、(b)、(c)は対称型平行たわみ梁構
造の側面図である。各図で、20、21,22は剛体部、23は剛
体部21,22を固定する固定部である。24ａ，24′は剛体
部20、21間を連結するたわみ梁部、24ｂ，24ｂ′は剛体
部20,22間を連結するたわみ梁部である。たわみ梁部24
ａとたわみ梁部24ａ′、又、たわみ梁部24ｂとたわみ梁
部24ｂ′はそれぞれ互いにほぼ平行関係にある。剛体部
20,21、たわみ梁部24ａ，24ａ′により一方の平行たわ
み梁構造25ａが構成され、剛体部20,22、たわみ梁部24
ｂ，24ｂ′により他方の平行たわみ梁構造25ｂが構成さ
れ、これら平行たわみ梁構造25ａ，25ｂにより図示のよ
うな対称型の平行たわみ梁構造が構成されている。平行
たわみ梁構造25ａ，25ｂは剛体のブロツクに貫通孔26
ａ，26ｂを形成することにより構成される、27は各たわ
み梁部上における剛体部21,22との連結部分近辺に貼着
されたひずみゲージである。
今、この対称型平行たわみ梁構造の剛体部20（重量ｍと
する）に第２図(b)の矢印で示す向きの加速度ａが作用
すると、剛体部20は前述のように力Ｆ（Ｆ＝ｍ・ａ）を
受けたことになり、各平行たわみ梁部24ａ〜24ｂ′は第
２図(b)に示すように変形し、これにより各ひずみゲー
ジ27にも伸縮ひずみを生じる。このひずみを電気信号と
してとり出せば、この電気信号は加速度ａに比例した値
となり、加速度ａを知ることができる。なお、いずみゲ
ージのひずみを電気信号としてとり出す手段としては、
平行たわみ梁部24ａ，24ｂ上のひずみゲージが対向し、
平行たわみ梁部24ａ′，24ｂ′上のひずみゲージが対向
するように接続したホイートストンブリツジを構成する
手段がある。
する）に第２図(b)の矢印で示す向きの加速度ａが作用
すると、剛体部20は前述のように力Ｆ（Ｆ＝ｍ・ａ）を
受けたことになり、各平行たわみ梁部24ａ〜24ｂ′は第
２図(b)に示すように変形し、これにより各ひずみゲー
ジ27にも伸縮ひずみを生じる。このひずみを電気信号と
してとり出せば、この電気信号は加速度ａに比例した値
となり、加速度ａを知ることができる。なお、いずみゲ
ージのひずみを電気信号としてとり出す手段としては、
平行たわみ梁部24ａ，24ｂ上のひずみゲージが対向し、
平行たわみ梁部24ａ′，24ｂ′上のひずみゲージが対向
するように接続したホイートストンブリツジを構成する
手段がある。
一方、剛体部20に第２図(c)に示すように、紙面に垂直
な軸まわりの角加速度αが矢印向きに作用すると、剛体
部20は、慣性モーメントをＩとすると、モーメントＭ
（Ｍ＝Ｉ・α）を受けたことになり、各平行たわみ梁部
24ａ〜24ｂ′は第２図(c)に示すように変形する。この
変形の態様は線加速度ａが作用した場合の変形とは全く
異なる態様である。この角加速度αは線加速度の場合と
同様、ひずみゲージ27により電気信号としてとり出され
る。
な軸まわりの角加速度αが矢印向きに作用すると、剛体
部20は、慣性モーメントをＩとすると、モーメントＭ
（Ｍ＝Ｉ・α）を受けたことになり、各平行たわみ梁部
24ａ〜24ｂ′は第２図(c)に示すように変形する。この
変形の態様は線加速度ａが作用した場合の変形とは全く
異なる態様である。この角加速度αは線加速度の場合と
同様、ひずみゲージ27により電気信号としてとり出され
る。
ここで、第１図に示す実施例の動作を説明する。なお、
第１図に示す加速度計における各平行たわみ梁構造15a1
〜15d2の貫通孔は方形とされているが、原理的には第２
図(a)に示す貫通孔26ａ，26ｂと同じである。又、ひず
みゲージは１つのみ図示し、他のひずみゲージの図示は
省略してある。さらに、平行たわみ梁構造15a1−15b1，
15a2−15b2，15c1−15d1，15c2−15d2がそれぞれ第２図
(a)に示す対称型平行たわみ梁構造を構成している。
第１図に示す加速度計における各平行たわみ梁構造15a1
〜15d2の貫通孔は方形とされているが、原理的には第２
図(a)に示す貫通孔26ａ，26ｂと同じである。又、ひず
みゲージは１つのみ図示し、他のひずみゲージの図示は
省略してある。さらに、平行たわみ梁構造15a1−15b1，
15a2−15b2，15c1−15d1，15c2−15d2がそれぞれ第２図
(a)に示す対称型平行たわみ梁構造を構成している。
今、重量体14にＸ軸方向の加速度が作用すると、重量体
14はその方向の力を受けたことになり、この力は連結部
材13、平行たわみ梁構造15a2,15a1,15b2,15b1中心剛体
部９、平行たわみ梁15c1,15c2,15d1,15d2を経て固定部1
2に伝達される。この力の伝達過程において、平行たわ
み梁構造15a1,15a2,15b1,15b2,15c2,15d2はこの方向の
力に対して高い剛性を示しそれらのたわみ梁部にはほと
んど変形を生じないが、平行たわみ梁構造15c1,15d1の
たわみ梁部には第２図(b)に示すような変形を生じる。
この変形はひずみゲージにより電気信号としてとり出さ
れるので、Ｘ軸方向の加速度を知ることができる。全く
同様にＹ軸方向の加速度は平行たわみ梁構造15a1,15b1
によつて検出され、Ｚ軸方向の加速度は平行たわみ梁構
造15a2,15b2,15c2,15d2によつて検出される。
14はその方向の力を受けたことになり、この力は連結部
材13、平行たわみ梁構造15a2,15a1,15b2,15b1中心剛体
部９、平行たわみ梁15c1,15c2,15d1,15d2を経て固定部1
2に伝達される。この力の伝達過程において、平行たわ
み梁構造15a1,15a2,15b1,15b2,15c2,15d2はこの方向の
力に対して高い剛性を示しそれらのたわみ梁部にはほと
んど変形を生じないが、平行たわみ梁構造15c1,15d1の
たわみ梁部には第２図(b)に示すような変形を生じる。
この変形はひずみゲージにより電気信号としてとり出さ
れるので、Ｘ軸方向の加速度を知ることができる。全く
同様にＹ軸方向の加速度は平行たわみ梁構造15a1,15b1
によつて検出され、Ｚ軸方向の加速度は平行たわみ梁構
造15a2,15b2,15c2,15d2によつて検出される。
又、重量体14にＸ軸まわりの角加速度が作用すると、重
量体14はＸ軸まわりのモーメントを受けたことになり、
そのモーメントは前述の力の伝達の場合と同様の経路で
固定部12に伝達される。この場合、平行たわみ梁構造15
a1,15a2,15b1,15b2,15c1,15d1はこのモーメントに対し
て高い剛性を示し、それらの平行たわみ梁部にはほとん
ど変形を生じないが、平行たわみ梁構造15c2,15d2のた
わみ梁部には第２図(c)に示すような変形を生じ、Ｘ軸
まわりの角加速度を検出することができる。同様に、Ｙ
軸まわりの角加速度は平行たわみ梁構造15a2,15b2によ
つて検出され、Ｚ軸まわりの角加速度は平行たわみ梁構
造15a1,15b1,15c1,15d1によつて検出される。
量体14はＸ軸まわりのモーメントを受けたことになり、
そのモーメントは前述の力の伝達の場合と同様の経路で
固定部12に伝達される。この場合、平行たわみ梁構造15
a1,15a2,15b1,15b2,15c1,15d1はこのモーメントに対し
て高い剛性を示し、それらの平行たわみ梁部にはほとん
ど変形を生じないが、平行たわみ梁構造15c2,15d2のた
わみ梁部には第２図(c)に示すような変形を生じ、Ｘ軸
まわりの角加速度を検出することができる。同様に、Ｙ
軸まわりの角加速度は平行たわみ梁構造15a2,15b2によ
つて検出され、Ｚ軸まわりの角加速度は平行たわみ梁構
造15a1,15b1,15c1,15d1によつて検出される。
このように、本実施例では、中心剛体部から直向方向に
張出し部を張出し、一方向の両張出し部端を固定し、他
方向の両張出し部端部間に連結部材を固定し、中心剛体
部に形成した貫通孔に連結部材に吊下げた重量体を挿入
し、各張出し部にたわみ梁部の面が直交するように２つ
づつ平行たわみ梁構造を設けたので、３つの軸方向の線
加速度および３つの軸まわりの角加速度を１つの加速度
計で検出することができる。又、構造は簡素で安価に製
造することができる。さらに、全体構造が剛性の高い構
成となつているので堅牢である。
張出し部を張出し、一方向の両張出し部端を固定し、他
方向の両張出し部端部間に連結部材を固定し、中心剛体
部に形成した貫通孔に連結部材に吊下げた重量体を挿入
し、各張出し部にたわみ梁部の面が直交するように２つ
づつ平行たわみ梁構造を設けたので、３つの軸方向の線
加速度および３つの軸まわりの角加速度を１つの加速度
計で検出することができる。又、構造は簡素で安価に製
造することができる。さらに、全体構造が剛性の高い構
成となつているので堅牢である。
なお、上記実施例の説明では、３つの軸方向の線加速度
と３つの軸まわりの角加速度とを検出する例について説
明したが、平行たわみ梁構造を適宜設けることにより２
つの軸方向の線加速度と２つの軸まわりの角加速度とを
検出する加速度計とすることができる。又、平行たわみ
梁構造は必ずしも対称的に張出し部に設ける必要はな
く、例えば１つの張出し部にたわみ梁部の面が直交する
２つの平行たわみ梁構造を設ければ２つの軸方向の線加
速度と２つの軸まわりの角加速度とを検出することがで
きる。
と３つの軸まわりの角加速度とを検出する例について説
明したが、平行たわみ梁構造を適宜設けることにより２
つの軸方向の線加速度と２つの軸まわりの角加速度とを
検出する加速度計とすることができる。又、平行たわみ
梁構造は必ずしも対称的に張出し部に設ける必要はな
く、例えば１つの張出し部にたわみ梁部の面が直交する
２つの平行たわみ梁構造を設ければ２つの軸方向の線加
速度と２つの軸まわりの角加速度とを検出することがで
きる。
以上述べたように、本発明では、中心剛体部から直交方
向に張出し部を張出し、一方向の両張出し部端を固定
し、他方向の両張出し部端間を連結部材で連結し、中心
剛体部に形成した穴に連結部材から吊下げた重量体を挿
入し、張出し部にたわみ梁部の面が直交するように２つ
以上の平行たわみ梁構造を設けたので、複数の軸方向の
線加速度および複数軸まわりの角加速度を１つの加速度
計で測定することができ、かつ、小形、堅牢、安価に構
成することができる。
向に張出し部を張出し、一方向の両張出し部端を固定
し、他方向の両張出し部端間を連結部材で連結し、中心
剛体部に形成した穴に連結部材から吊下げた重量体を挿
入し、張出し部にたわみ梁部の面が直交するように２つ
以上の平行たわみ梁構造を設けたので、複数の軸方向の
線加速度および複数軸まわりの角加速度を１つの加速度
計で測定することができ、かつ、小形、堅牢、安価に構
成することができる。
第１図は本発明の実施例に係る加速度計の斜視図、第２
図(a)、(b)、(c)は平行たわみ梁構造の側面図、第３図
(a)、(b)、(c)は従来の加速度計の側面図および正面図で
ある。 ９……中心剛体部、10……穴、11Ａ，11Ｂ，11Ｃ，11Ｄ
……張出し部、12……固定部、13……連結部材、14……
重量体、15a1〜15d2……平行たわみ梁構造、16……ひず
みゲージ。
図(a)、(b)、(c)は平行たわみ梁構造の側面図、第３図
(a)、(b)、(c)は従来の加速度計の側面図および正面図で
ある。 ９……中心剛体部、10……穴、11Ａ，11Ｂ，11Ｃ，11Ｄ
……張出し部、12……固定部、13……連結部材、14……
重量体、15a1〜15d2……平行たわみ梁構造、16……ひず
みゲージ。
Claims (2)
- 【請求項１】中心剛体部と、この中心剛体部に構成され
た穴と、前記中心剛体部からほぼ直交する方向に張出し
た張出し部と、一方の対向する前記張出し部の端部を固
定する固定部と、他方の対向する前記張出し部の端部間
を連結する剛体の連結部材と、この連結部材に連結され
前記穴内に前記各張出し部の中心を通る軸の交点と重心
が一致するように挿入された重量体と、前記張出し部の
うちの任意のものに設けられそのたわみ梁部の面が直交
する２つ以上の平行たわみ梁構造と、前記たわみ梁部に
発生する変形を検出する検出手段とを備えていることを
特徴とする加速度計。 - 【請求項２】特許請求の範囲第(1)項において、前記平
行たわみ梁構造は、各張出し部に前記平行たわみ梁の面
が直交するように２つずつ設けられていることを特徴と
する加速度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61182800A JPH0668501B2 (ja) | 1986-08-05 | 1986-08-05 | 加速度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61182800A JPH0668501B2 (ja) | 1986-08-05 | 1986-08-05 | 加速度計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6340866A JPS6340866A (ja) | 1988-02-22 |
| JPH0668501B2 true JPH0668501B2 (ja) | 1994-08-31 |
Family
ID=16124639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61182800A Expired - Lifetime JPH0668501B2 (ja) | 1986-08-05 | 1986-08-05 | 加速度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0668501B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0545978Y2 (ja) * | 1986-12-15 | 1993-11-30 | ||
| JPH0677052B2 (ja) * | 1988-04-14 | 1994-09-28 | 株式会社ワコー | 磁気検出装置 |
| JP2543619B2 (ja) * | 1990-09-05 | 1996-10-16 | 新光電気工業株式会社 | 半導体装置用リ―ドフレ―ム |
| EP2865990A4 (en) | 2012-06-22 | 2016-03-16 | Nat Inst Of Advanced Ind Scien | DEVICE FOR MEASURING ROTATION ANGLE ACCELERATION |
-
1986
- 1986-08-05 JP JP61182800A patent/JPH0668501B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6340866A (ja) | 1988-02-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4712431A (en) | Multi-axis load sensor | |
| KR101115418B1 (ko) | 힘센서를 이용한 6축 힘센서 구조 및 그 구조에 의한 힘 및 모멘트 측정방법 | |
| JP2909729B2 (ja) | ６分力ロードセル | |
| US6122965A (en) | System for the measurement of acceleration in three axes | |
| US6912902B2 (en) | Bending beam accelerometer with differential capacitive pickoff | |
| EP0154728B1 (en) | Load detector | |
| JP2549289B2 (ja) | 多分力検出器 | |
| JP3089399B2 (ja) | ３成分地震計 | |
| JPS6095331A (ja) | 力・モ−メントセンサ− | |
| GB2174500A (en) | Accelerometer | |
| JPH0668501B2 (ja) | 加速度計 | |
| JP2000227373A (ja) | 多軸型力センサ | |
| JPS6315131A (ja) | 多分力検出器およびこれを用いた多分力検出装置 | |
| JPH0378637A (ja) | 多分力・力検出器 | |
| EP3295141B1 (en) | Multi axis load cell body | |
| JP3010725B2 (ja) | 半導体加速度センサ | |
| KR20080016995A (ko) | 플랫폼 밸런스 | |
| CN117572021B (zh) | 敏感结构及加速度传感器 | |
| JP3060259B2 (ja) | ３分力計 | |
| KR100597558B1 (ko) | 스트레인 게이지를 이용한 ｚｍｐ감지장치 및 그 감지방법 | |
| JP3265539B2 (ja) | 多分力計 | |
| KR0173199B1 (ko) | 3분력 힘센서 | |
| JPH0450970B2 (ja) | ||
| JP2586399B2 (ja) | 加速度センサ | |
| JPS60153171A (ja) | ２セル型圧覚センサ |