KR930000956A - 가속도계 - Google Patents

가속도계 Download PDF

Info

Publication number
KR930000956A
KR930000956A KR1019920010644A KR920010644A KR930000956A KR 930000956 A KR930000956 A KR 930000956A KR 1019920010644 A KR1019920010644 A KR 1019920010644A KR 920010644 A KR920010644 A KR 920010644A KR 930000956 A KR930000956 A KR 930000956A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
center
beams
along
support
accelerometer
Prior art date
Application number
KR1019920010644A
Other languages
English (en)
Inventor
베링하우스 스티븐
이. 맨데빌 래이몬드
도날드 롤프Ⅲ 더블유.
Original Assignee
러셀 이. 바우만
텍사스 인스트루먼츠 인코포레이티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 러셀 이. 바우만, 텍사스 인스트루먼츠 인코포레이티드 filed Critical 러셀 이. 바우만
Publication of KR930000956A publication Critical patent/KR930000956A/ko

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/12Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by alteration of electrical resistance
    • G01P15/123Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by alteration of electrical resistance by piezo-resistive elements, e.g. semiconductor strain gauges
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/0802Details
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P2015/0805Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
    • G01P2015/0822Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
    • G01P2015/084Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass the mass being suspended at more than one of its sides, e.g. membrane-type suspension, so as to permit multi-axis movement of the mass

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)

Abstract

내용 없음

Description

가속도계
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 새롭고 개선된 가속도계를 도시한 사시도,
제2도는 제1도의 2-2선을 따라 절단한 확대단면도,
제3도 제1도의 가속도계에서 주요부재를 확대하여 도시한 사시도,
제4도는 제1도의 4-4선을 따라 절단한 확대단면도,
제5도는 본 발명의 가속도계에서 센서들과 다른 요소들의 상호연결을 도시한 개략도.

Claims (9)

  1. 가속도계에 있어서, 중심부, 그 중심부 주위면에 설치된 지지부, 사이에 낀 빔들에 의해 지지부에 연결된 중심부의 직선으로 된 4개의 모서리를 각각에서 2개로 이격되어 분리된 부분들, 중심부의 회전운동과 가속력들에 대응하여 다른 축들을 따른 중심부의 운동을 위해 지지부 위에 탄력적으로 중심부를 설치하기 위해 지지부로 부터 이격된 중심부의 모든 다른 부분들을 구비한 실리콘 반도체성 재료로 된 부재와, 지지부의 면에 수직인 축을 따라 중심부를 움직이게 하는 가속력에 상응하는 전기적인 출력신호를 제공하기 위한 중심부의 운동동안 선택된 빔들안의 스트레인에 대해 반응하는 피에조 저항센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 가속도계.
  2. 제1항에 있어서, 중심부의 각 모서리를 지지부에 연결하는 두 개의 빔들은 중심부 모서리의 전체 길이를 통해 이격되어 분리 되어 있는 것을 특징으로 하는 가속도계.
  3. 제1항에 있어서, 빔들이 지지부의 면에 수직인 축을 따른 가속력에 대응하여 중심부의 운동을 촉진시키기 위해 빔들의 양단부를 중앙에 테이퍼 부분을 구분하는 것을 특징으로 하는 가속도계.
  4. 가속도계에 있어서, 중심부, 그 중심부 주위면에 설치된 일체형 지지부, 일체형 빔들에 의해 지지부에 연결된 중심부의 직선으로 된 4개의 모서리들의 각각에서 2개 부분들, 제2와 제3축들을 따른 가속력에 대응하여 제1축과 그들 서로에 대해 수직인 제2와 제3 축들을 따른 중심부의 운동과 중심부의 회전운동을 방해할때 제1축을 따른 가속력에 대응하여 지지부의 면에 수직인 제 1 축을 따른 운동을 위해 지지부 위에 탄력적으로 중심부를 설치하는 지지부에서 이격되고 지지부에 연결되지 않은 중심부의 모든 다른 부분들을 구비한 실리콘 반도체성 재료로 된 부재와, 제1축을 따른 가속력에 상응하는 전기적인 출력신호를 제공하기 위한 중심부의 운동동안 빔들안의 스트레인에 대해 반응하기 위해 선택된 빔들의 재료안에 배치된 피에조 저항 센서들을 포함하는 것을 특징으로 하는 가속도계.
  5. 제4항에 있어서, 그 빔들은 그들에 대한 손상을 막기 위해 가속도계의 낙하동안 제2와 제3축들을 따른 중심부의 운동을 방지하므로써 협동하도록 배치되고 제1축을 따른 가속력에 대한 반응의 선택된 감도에 의해서 제1축을 따른 가속력에 대한 반응의 운동을 허용하도록 배치되고, 그 빔들은 제1축을 따른 가속도에 대한 반응의 선택되 감도를 제공할때 가속력에 대응하는 중심부의 회전운동을 적절히 방해하도록 지지부의 인접부분에 중심부의 직선 모서리 각 단부에 있는 중심부의 부분들을 연결하기 위해 서로 이격되어 분리되어 있는 것을 특징으로 하는 가속도계.
  6. 제5항에 있어서, 그 한쌍의 빔은 지지부와 중심부의 모서리들중 각각의 모서리 사이에서 인장 상태로 연장하여 배열되고, 가속도계의 낙하동안 그 빔들의 손상을 막기위해 제2와 제3 축들 각각을 따른 2개의 서로 반대되는 방향중 각 방향으로의 중심부의 운동을 막기위해 휨응력을 없애주도록 배열되는 것을 특징으로 하는 가속도계
  7. 제5항에 있어서, 그 빔들 각각은 반응의 선택된 감도를 제공하기 위해 제1 축을 따른 가속력에 대응하는 중심부의 운동을 촉진시키도록 중심부와 지지부 사이에 테이퍼 부분을 구비하는 것을 특징으로 하는 가속도계.
  8. 제5항에 있어서, 상기 피에조 저항 센서들이 중심부의 두 대향 모서리들이 배치된 빔들의 재료들 안의 스트레인에 대해 반응하는 것을 특징으로 하는 가속도계.
  9. 제5항에 있어서, 각각의 빔은 빔들의 각 단부들에 인접한 상대적으로 넓은 부분들과 빔의 중앙부에 인접한 상대적으로 좁은 부분들을 구비한 두개의 테이퍼 빔 부분들을 구비하고, 각 부분의 테이퍼는 제1축을 따른 중심부의 운동에 대한 반응의 선택된 감도를 제공하므로써 각 테이프 빔부분 안에 균일한 스트레인을 제공하도록 선택되고, 피에조 저항 센서들은 중심부의 2개 대향 모서리들에 배치된 각각의 빔들의 테이프 부분 안에 수용된 피에조 저항센서를 포함하고, 그 센서들은 제1축을 따른 중심부의 운동에 상응하는 출력신호를 제공하기 위한 제2와 제3축들을 따른 중심부의 어떤 운동을 보정하기 위해 테이프 빔부분 안의 스트레인에 반응하도록 상호 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 가속도계
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019920010644A 1991-06-21 1992-06-19 가속도계 KR930000956A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/718,523 1991-06-21
US07/718,523 US5121180A (en) 1991-06-21 1991-06-21 Accelerometer with central mass in support

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR930000956A true KR930000956A (ko) 1993-01-16

Family

ID=24886388

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019920010644A KR930000956A (ko) 1991-06-21 1992-06-19 가속도계

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5121180A (ko)
EP (1) EP0519626A1 (ko)
JP (1) JPH05164778A (ko)
KR (1) KR930000956A (ko)

Families Citing this family (65)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5233213A (en) * 1990-07-14 1993-08-03 Robert Bosch Gmbh Silicon-mass angular acceleration sensor
US5221400A (en) * 1990-12-11 1993-06-22 Delco Electronics Corporation Method of making a microaccelerometer having low stress bonds and means for preventing excessive z-axis deflection
GB9111316D0 (en) * 1991-05-24 1991-07-17 Burdess James S Improvements in or relating to gyroscopic devices
US5323051A (en) * 1991-12-16 1994-06-21 Motorola, Inc. Semiconductor wafer level package
US5313835A (en) * 1991-12-19 1994-05-24 Motorola, Inc. Integrated monolithic gyroscopes/accelerometers with logic circuits
JPH05215769A (ja) * 1992-02-06 1993-08-24 Nec Corp 半導体加速度センサ
JP2804420B2 (ja) * 1992-07-08 1998-09-24 ローム株式会社 加速度センサ
US5734105A (en) 1992-10-13 1998-03-31 Nippondenso Co., Ltd. Dynamic quantity sensor
FR2700014B1 (fr) * 1992-12-08 1995-04-28 Commissariat Energie Atomique Capteur capacitif sensible aux accélérations orientées dans toutes les directions d'un plan.
DE4309206C1 (de) * 1993-03-22 1994-09-15 Texas Instruments Deutschland Halbleitervorrichtung mit einem Kraft- und/oder Beschleunigungssensor
US5780742A (en) * 1993-04-15 1998-07-14 Honeywell Inc. Mechanical resonance, silicon accelerometer
US6199874B1 (en) 1993-05-26 2001-03-13 Cornell Research Foundation Inc. Microelectromechanical accelerometer for automotive applications
US5563343A (en) * 1993-05-26 1996-10-08 Cornell Research Foundation, Inc. Microelectromechanical lateral accelerometer
US5610335A (en) * 1993-05-26 1997-03-11 Cornell Research Foundation Microelectromechanical lateral accelerometer
JP3391841B2 (ja) * 1993-05-26 2003-03-31 松下電工株式会社 半導体加速度センサ
JP2549815B2 (ja) * 1993-06-03 1996-10-30 富士通テン株式会社 半導体加速度センサおよびその試験方法
DE4332843C2 (de) * 1993-09-27 1997-04-24 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Vorrichtung und mikromechanische Vorrichtung
DE4445553A1 (de) * 1993-12-21 1995-06-22 Nippon Denso Co Halbleiterbeschleunigungssensor
US5777226A (en) * 1994-03-28 1998-07-07 I/O Sensors, Inc. Sensor structure with L-shaped spring legs
JP3281217B2 (ja) * 1995-05-23 2002-05-13 富士電機株式会社 半導体式加速度センサと該センサのセンサ素子の特性評価方法
US6911727B1 (en) * 1995-06-06 2005-06-28 Analog Devices, Inc. Package for sealing an integrated circuit die
US6323550B1 (en) 1995-06-06 2001-11-27 Analog Devices, Inc. Package for sealing an integrated circuit die
US5640133A (en) * 1995-06-23 1997-06-17 Cornell Research Foundation, Inc. Capacitance based tunable micromechanical resonators
FR2736723B1 (fr) * 1995-07-12 1997-09-19 Sagem Accelerometre pendulaire a actionneur capacitif de test
US5596144A (en) * 1995-08-04 1997-01-21 Delco Electronics Corporation Piezoresistive force rebalance accelerometer
JP3284921B2 (ja) * 1997-04-24 2002-05-27 富士電機株式会社 加速度センサならびに角加速度センサおよびそれらの製造方法
US6332359B1 (en) * 1997-04-24 2001-12-25 Fuji Electric Co., Ltd. Semiconductor sensor chip and method for producing the chip, and semiconductor sensor and package for assembling the sensor
ES2137847B1 (es) * 1997-05-28 2000-10-01 Consejo Superior Investigacion Acelerometro triaxial.
US5914553A (en) * 1997-06-16 1999-06-22 Cornell Research Foundation, Inc. Multistable tunable micromechanical resonators
EP0943903B1 (en) * 1997-09-08 2004-11-24 Ngk Insulators, Ltd. Mass sensor and mass detection method
US6756247B1 (en) 1998-01-15 2004-06-29 Timothy J. Davis Integrated large area microstructures and micromechanical devices
US20020071169A1 (en) 2000-02-01 2002-06-13 Bowers John Edward Micro-electro-mechanical-system (MEMS) mirror device
US6753638B2 (en) 2000-02-03 2004-06-22 Calient Networks, Inc. Electrostatic actuator for micromechanical systems
US6585383B2 (en) 2000-05-18 2003-07-01 Calient Networks, Inc. Micromachined apparatus for improved reflection of light
US6560384B1 (en) 2000-06-01 2003-05-06 Calient Networks, Inc. Optical switch having mirrors arranged to accommodate freedom of movement
US6484567B1 (en) * 2000-08-03 2002-11-26 Symyx Technologies, Inc. Rheometer for rapidly measuring small quantity samples
US6825967B1 (en) 2000-09-29 2004-11-30 Calient Networks, Inc. Shaped electrodes for micro-electro-mechanical-system (MEMS) devices to improve actuator performance and methods for fabricating the same
JP4386559B2 (ja) * 2000-10-20 2009-12-16 三菱電機株式会社 加速度センサ及びその製造方法
US6544863B1 (en) 2001-08-21 2003-04-08 Calient Networks, Inc. Method of fabricating semiconductor wafers having multiple height subsurface layers
JP2003156510A (ja) * 2001-11-22 2003-05-30 Matsushita Electric Works Ltd 半導体加速度センサの製造方法
US7728339B1 (en) 2002-05-03 2010-06-01 Calient Networks, Inc. Boundary isolation for microelectromechanical devices
DE10238721A1 (de) * 2002-08-23 2004-03-11 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung zur Messung einer Kraft, Vorrichtung zur Messung eines Drucks und Drucksensor
JP2005077349A (ja) * 2003-09-03 2005-03-24 Mitsubishi Electric Corp 加速度センサ
JP2005283402A (ja) * 2004-03-30 2005-10-13 Fujitsu Media Device Kk 慣性センサ
JP2006133161A (ja) * 2004-11-09 2006-05-25 Fujitsu Media Device Kk 加速度センサー
JP4542885B2 (ja) 2004-12-22 2010-09-15 Okiセミコンダクタ株式会社 加速度センサ及びその製造方法
US7406870B2 (en) * 2005-01-06 2008-08-05 Ricoh Company, Ltd. Semiconductor sensor
US7819011B2 (en) * 2005-08-23 2010-10-26 Georgia Tech Research Corporation High-Q longitudinal block resonators with annexed platforms for mass sensing applications
TW200827286A (en) * 2006-12-28 2008-07-01 Sunonwealth Electr Mach Ind Co Component layout design for micro scratch drive actuator
CN101252329B (zh) * 2007-02-25 2010-11-03 建凖电机工业股份有限公司 制作低驱动电压微抓举式致动器的方法及其结构
JP2009053180A (ja) * 2007-07-27 2009-03-12 Hitachi Metals Ltd 加速度センサー
TW200911676A (en) * 2007-09-06 2009-03-16 Sunonwealth Electr Mach Ind Co Contactless actuator
WO2011019879A1 (en) * 2009-08-13 2011-02-17 Endevco Corporation Proof mass for maximized, bi-directional and symmetric damping in high g-range acceleration sensors
US9502993B2 (en) * 2011-02-07 2016-11-22 Ion Geophysical Corporation Method and apparatus for sensing signals
CN102331513A (zh) * 2011-06-16 2012-01-25 沈阳工业大学 一种超薄敏感梁压阻加速度传感器
KR101462781B1 (ko) * 2013-05-13 2014-11-21 부산대학교 산학협력단 압저항체를 이용한 충격 측정용 가속도계
KR101454112B1 (ko) * 2013-04-24 2014-11-03 부산대학교 산학협력단 압저항체를 이용한 가속도계
WO2014175521A1 (ko) * 2013-04-24 2014-10-30 부산대학교 산학협력단 압저항체를 이용한 가속도계
CN104062632B (zh) * 2014-05-28 2017-01-04 苏州中盛纳米科技有限公司 一种四纤毛仿生mems矢量水声传感器微结构
CN109596858A (zh) * 2018-12-17 2019-04-09 陕西理工大学 一种简易的三轴mems加速度传感器
FR3110284B1 (fr) * 2020-05-14 2023-01-13 Commissariat Energie Atomique Dispositif de détection utilisant une transduction piézorésistive
CN112798821B (zh) * 2020-12-28 2021-10-08 武汉大学 一种双轴压电式加速度计
US12103843B2 (en) 2021-01-20 2024-10-01 Calient.Ai Inc. MEMS mirror arrays with reduced crosstalk
KR102505956B1 (ko) * 2021-10-14 2023-03-03 국방과학연구소 가속도 센서
CN117607489B (zh) * 2024-01-17 2024-04-09 中国工程物理研究院电子工程研究所 压阻式加速度传感器的敏感结构及加速度传感器

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2963911A (en) * 1959-02-18 1960-12-13 Bell Telephone Labor Inc Piezoresistive accelerometer
US3709042A (en) * 1969-05-14 1973-01-09 S Lee Capacitance accelerometer
GB1300118A (en) * 1970-03-11 1972-12-20 Ferranti Ltd Improvements relating to semiconductor strain transducers
US4332000A (en) * 1980-10-03 1982-05-25 International Business Machines Corporation Capacitive pressure transducer
US4553436A (en) * 1982-11-09 1985-11-19 Texas Instruments Incorporated Silicon accelerometer
US4488445A (en) * 1983-10-28 1984-12-18 Honeywell Inc. Integrated silicon accelerometer with cross-axis compensation
GB2159278B (en) * 1984-05-23 1988-04-13 Stc Plc Heading sensor
US4680606A (en) * 1984-06-04 1987-07-14 Tactile Perceptions, Inc. Semiconductor transducer
DE3429250C1 (de) * 1984-08-08 1986-03-27 Texas Instruments Deutschland Gmbh, 8050 Freising Auf die Einwirkung einer Kraft ansprechender Sensor
JPS62213176A (ja) * 1986-03-13 1987-09-19 Fujitsu Ltd 加速度センサ−
US4670092A (en) * 1986-04-18 1987-06-02 Rockwell International Corporation Method of fabricating a cantilever beam for a monolithic accelerometer
US4809552A (en) * 1987-11-23 1989-03-07 Allied-Signal, Inc. Multidirectional force-sensing transducer
DE3740688A1 (de) * 1987-12-01 1989-06-15 Messerschmitt Boelkow Blohm Mikromechanischer beschleunigungssensor mit hoher achsenselektivitaet
US5016072A (en) * 1988-01-13 1991-05-14 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Semiconductor chip gyroscopic transducer
US4825335A (en) * 1988-03-14 1989-04-25 Endevco Corporation Differential capacitive transducer and method of making
JP2621357B2 (ja) * 1988-05-27 1997-06-18 株式会社デンソー 半導体歪検出器
US4893509A (en) * 1988-12-27 1990-01-16 General Motors Corporation Method and product for fabricating a resonant-bridge microaccelerometer
US4928203A (en) * 1989-02-28 1990-05-22 United Technologies Capacitive accelerometer with hinges on top and bottom surface

Also Published As

Publication number Publication date
JPH05164778A (ja) 1993-06-29
US5121180A (en) 1992-06-09
EP0519626A1 (en) 1992-12-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR930000956A (ko) 가속도계
US4750363A (en) Temperature compensation of an accelerometer
EP0492986B1 (en) Accelerometer
US5253510A (en) Self-testable micro-accelerometer
US6897538B2 (en) Micro-machined electromechanical system (MEMS) accelerometer device having arcuately shaped flexures
EP0634003B1 (en) Load cell
US4488445A (en) Integrated silicon accelerometer with cross-axis compensation
US4879914A (en) Unitary push-pull force transducer
US5817942A (en) Capacitive in-plane accelerometer
US4891982A (en) Temperature compensation of a steady-state accelerometer
US6360604B1 (en) Acceleration sensor
US5231879A (en) Semiconductor acceleration detecting apparatus
US4970903A (en) Force sensing device
US5036715A (en) Cantilevered force sensing assembly utilizing one or two resonating force sensing devices
EP0318152B1 (en) Vibrating crystal type force sensing device
US5412987A (en) Folded cantilever beam accelerometer
US5962788A (en) Transducer
SE451898B (sv) Flexibelt organ med elektriska ledare
US5275048A (en) Acceleration overload protection mechanism for sensor devices
US5361635A (en) Multiple servo loop accelerometer with tunnel current sensors
US3363471A (en) Accelerometer
ATE196012T1 (de) Kraftmessaufnehmer
EP0776475A1 (en) Transducer
JPH0499964A (ja) 半導体加速度センサ
KR960004304Y1 (ko) 각진동센서

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid