JPH0569997A - 真空ユニツト - Google Patents
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- JPH0569997A JPH0569997A JP3226310A JP22631091A JPH0569997A JP H0569997 A JPH0569997 A JP H0569997A JP 3226310 A JP3226310 A JP 3226310A JP 22631091 A JP22631091 A JP 22631091A JP H0569997 A JPH0569997 A JP H0569997A
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
- F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
- F04F5/44—Component parts, details, or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04F5/02 - F04F5/42
- F04F5/48—Control
- F04F5/52—Control of evacuating pumps
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
- B65G47/917—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers control arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D1/00—Measuring arrangements giving results other than momentary value of variable, of general application
- G01D1/18—Measuring arrangements giving results other than momentary value of variable, of general application with arrangements for signalling that a predetermined value of an unspecified parameter has been exceeded
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D7/00—Indicating measured values
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/08—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of piezoelectric devices, i.e. electric circuits therefor
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Abstract
(57)【要約】
【目的】真空ユニット内部における故障個所を特定でき
る真空ユニットを提供することを目的とする。 【構成】真空ユニット５０において、供給弁６２、真空
破壊弁６４、エゼクタ５４、サイレンサ７２、フィルタ
７０、ワーク吸着盤１２等の構成要素の少なくとも上流
側、あるいは下流側のいずれか一方に圧力センサ７４、
７６、７８、８０、８２を設け、前記構成要素の上流側
の圧力に対して、下流側、あるいは上流側と下流側の差
圧の変動により設定された圧力の閾値を超えた場合、故
障個所を特定し、モニタ等に表示することができる。し
たがって、真空ユニット５０に作動不良が生じた際に、
素早く故障個所を交換できる。
る真空ユニットを提供することを目的とする。 【構成】真空ユニット５０において、供給弁６２、真空
破壊弁６４、エゼクタ５４、サイレンサ７２、フィルタ
７０、ワーク吸着盤１２等の構成要素の少なくとも上流
側、あるいは下流側のいずれか一方に圧力センサ７４、
７６、７８、８０、８２を設け、前記構成要素の上流側
の圧力に対して、下流側、あるいは上流側と下流側の差
圧の変動により設定された圧力の閾値を超えた場合、故
障個所を特定し、モニタ等に表示することができる。し
たがって、真空ユニット５０に作動不良が生じた際に、
素早く故障個所を交換できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、流体ユニットに関し、
一層詳細には流体ユニットである真空ユニットにおい
て、目詰まり等が生じたときに、その故障個所を的確に
表示するようにした真空ユニットに関する。
一層詳細には流体ユニットである真空ユニットにおい
て、目詰まり等が生じたときに、その故障個所を的確に
表示するようにした真空ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】真空ユニットは、例えば、ワークを吸引
して搬送する吸着盤に接続されて使用される。このよう
な場合には、真空ユニットの内部に圧力スイッチを設
け、予め設定した圧力値と検出された圧力値を比較して
吸着盤によるワークの吸着、非吸着を判断している。ま
た、さらに作動不良等を判断して故障信号を導出し、表
示するものもある。
して搬送する吸着盤に接続されて使用される。このよう
な場合には、真空ユニットの内部に圧力スイッチを設
け、予め設定した圧力値と検出された圧力値を比較して
吸着盤によるワークの吸着、非吸着を判断している。ま
た、さらに作動不良等を判断して故障信号を導出し、表
示するものもある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この種
の真空ユニットにおいて、所望の真空圧力値が得られな
い理由は様々であるが、例えば、流体中に含まれる塵埃
等に起因した目詰まりだけでも、方向制御弁、エゼク
タ、フィルタ、あるいはサイレンサ等に発生する可能性
が考えられる。したがって、故障信号が導出されても故
障個所を特定し、素早く部品を交換して再始動させるこ
とが困難であった。
の真空ユニットにおいて、所望の真空圧力値が得られな
い理由は様々であるが、例えば、流体中に含まれる塵埃
等に起因した目詰まりだけでも、方向制御弁、エゼク
タ、フィルタ、あるいはサイレンサ等に発生する可能性
が考えられる。したがって、故障信号が導出されても故
障個所を特定し、素早く部品を交換して再始動させるこ
とが困難であった。
【０００４】本発明は、この種の問題を解決するために
なされたものであって、真空ユニット内部における故障
個所を迅速に特定し、従って、部品交換等が容易となる
真空ユニットを提供することを目的とする。
なされたものであって、真空ユニット内部における故障
個所を迅速に特定し、従って、部品交換等が容易となる
真空ユニットを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、弁体、エゼクタ、サイレンサ、フィル
タ等の構成要素を所定の流路によって連通させている真
空ユニットであって、所望の圧力値を設定する設定手段
と、少なくとも一つの前記構成要素の上流側、下流側の
いずれか一方に設けられた圧力センサと、前記圧力セン
サから導出される圧力値と前記設定手段で設定された圧
力値を比較し、その比較結果に基づき故障個所を表示す
る手段と、を設けることを特徴とする。
めに、本発明は、弁体、エゼクタ、サイレンサ、フィル
タ等の構成要素を所定の流路によって連通させている真
空ユニットであって、所望の圧力値を設定する設定手段
と、少なくとも一つの前記構成要素の上流側、下流側の
いずれか一方に設けられた圧力センサと、前記圧力セン
サから導出される圧力値と前記設定手段で設定された圧
力値を比較し、その比較結果に基づき故障個所を表示す
る手段と、を設けることを特徴とする。
【０００６】
【作用】弁体、エゼクタ、サイレンサ、フィルタ等の構
成要素の少なくとも上流側、下流側のいずれか一方に圧
力センサを設けたので、それぞれの構成要素の上流側、
あるいは下流側の圧力変動から目詰まり等の故障原因を
確認し、故障個所を特定できる。したがって、素早く故
障個所の修理、あるいは交換が可能となる。
成要素の少なくとも上流側、下流側のいずれか一方に圧
力センサを設けたので、それぞれの構成要素の上流側、
あるいは下流側の圧力変動から目詰まり等の故障原因を
確認し、故障個所を特定できる。したがって、素早く故
障個所の修理、あるいは交換が可能となる。
【０００７】
【実施例】本発明に係る真空ユニットについて、好適な
実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説
明する。
実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説
明する。
【０００８】先ず、本発明に係る真空ユニットに組み込
まれた圧力情報処理装置１０を図１に則して説明する。
まれた圧力情報処理装置１０を図１に則して説明する。
【０００９】図中、参照符号Ｗはワークを示し、参照符
号１２は真空システムに係る搬送手段に配設されたワー
ク搬送用吸着盤（以下、ワーク吸着盤という）を示す。
この圧力情報処理装置１０は圧力空気Ａｐの値に係る検
知信号を送出する半導体圧力センサ１６、定電流回路１
８、増幅器２０を有している。そして、増幅器２０から
導出された信号、すなわち、圧力空気Ａｐの値に対応し
たアナログ信号をデジタル検知信号Ｓ2 に変換するＡ／
Ｄ変換器２２と、ワンチップマイクロコンピュータ等か
らなるコントローラ３０とを備え、当該コントローラ３
０は、高性能に優れるワンチップマルチＣＰＵ３０ａ、
プログラムを備えたＲＯＭ３０ｂ、Ｉ／Ｏ３０ｃ等を有
するとともに、基準となる圧力値を設定するための設定
値アップ／ダウン用のスイッチＳW1、ＳW2と、前記設定
された値を変更した際、その変更された値のセット用の
スイッチＳW3、設定値に係るリセット用のスイッチＳW4
が接続されている。さらに、情報を記憶せしめ且つ電源
断において情報が保持されるＥＥ（Ｅ2)ＰＲＯＭ３２
と、設定値および情報の可視的表示を行うためのＬＣＤ
ドライバ３４、ＬＣＤ３８が接続されている。
号１２は真空システムに係る搬送手段に配設されたワー
ク搬送用吸着盤（以下、ワーク吸着盤という）を示す。
この圧力情報処理装置１０は圧力空気Ａｐの値に係る検
知信号を送出する半導体圧力センサ１６、定電流回路１
８、増幅器２０を有している。そして、増幅器２０から
導出された信号、すなわち、圧力空気Ａｐの値に対応し
たアナログ信号をデジタル検知信号Ｓ2 に変換するＡ／
Ｄ変換器２２と、ワンチップマイクロコンピュータ等か
らなるコントローラ３０とを備え、当該コントローラ３
０は、高性能に優れるワンチップマルチＣＰＵ３０ａ、
プログラムを備えたＲＯＭ３０ｂ、Ｉ／Ｏ３０ｃ等を有
するとともに、基準となる圧力値を設定するための設定
値アップ／ダウン用のスイッチＳW1、ＳW2と、前記設定
された値を変更した際、その変更された値のセット用の
スイッチＳW3、設定値に係るリセット用のスイッチＳW4
が接続されている。さらに、情報を記憶せしめ且つ電源
断において情報が保持されるＥＥ（Ｅ2)ＰＲＯＭ３２
と、設定値および情報の可視的表示を行うためのＬＣＤ
ドライバ３４、ＬＣＤ３８が接続されている。
【００１０】以上のように構成される圧力情報処理装置
を組み込む真空ユニットを図２および図３に示す。
を組み込む真空ユニットを図２および図３に示す。
【００１１】先ず、図２に示すように、参照符号５０は
真空ユニットを示し、この真空ユニット５０はバルブブ
ロック５２とエゼクタ５４とフィルタブロック５６とコ
ントロールブロック５８とモニタ６０とから基本的に構
成されている。前記ブロック５２、５６、５８、エゼク
タ５４はダイカストまたはプラスチックで一体的に成形
されている。バルブブロック５２には、その内部にエゼ
クタ５４に圧縮空気を送給しまたは遮断するための図示
しないポペット弁が設けられ、さらに第１および第２の
パイロット式電磁弁が設けられている。第１電磁弁と第
２電磁弁は、それぞれ圧縮空気の供給弁６２用および真
空破壊弁６４用のパイロット式電磁弁であり、ノルマル
クローズ型に構成されている。停電時にワークＷが落下
しないようにノルマルオープン型、もしくは、デテント
付にしても良い。
真空ユニットを示し、この真空ユニット５０はバルブブ
ロック５２とエゼクタ５４とフィルタブロック５６とコ
ントロールブロック５８とモニタ６０とから基本的に構
成されている。前記ブロック５２、５６、５８、エゼク
タ５４はダイカストまたはプラスチックで一体的に成形
されている。バルブブロック５２には、その内部にエゼ
クタ５４に圧縮空気を送給しまたは遮断するための図示
しないポペット弁が設けられ、さらに第１および第２の
パイロット式電磁弁が設けられている。第１電磁弁と第
２電磁弁は、それぞれ圧縮空気の供給弁６２用および真
空破壊弁６４用のパイロット式電磁弁であり、ノルマル
クローズ型に構成されている。停電時にワークＷが落下
しないようにノルマルオープン型、もしくは、デテント
付にしても良い。
【００１２】バルブブロック５２に隣接してフィルタブ
ロック５６が設けられる。フィルタブロック５６は、圧
縮空気供給源６５に連通する空気供給ポート６６および
ワーク吸着盤１２に連通する空気吸入ポート６８を形成
し、その内部には、フィルタ７０およびサイレンサ７２
を備え、これらとエゼクタ５４およびバルブブロック５
２を連通する流路を形成している。前記流路の所定位置
には、孔部が設けられ、図１に示した圧力情報処理装置
１０を内蔵している圧力センサ７４、７６、７８、８
０、８２、圧力スイッチ８４および流量計８６が接続さ
れている（図３参照）。前記流量計は、周知の質量流量
計に情報処理回路を組み込んだものでも良いし、圧力測
定によって流量を測定する差圧流量計としても良い。
ロック５６が設けられる。フィルタブロック５６は、圧
縮空気供給源６５に連通する空気供給ポート６６および
ワーク吸着盤１２に連通する空気吸入ポート６８を形成
し、その内部には、フィルタ７０およびサイレンサ７２
を備え、これらとエゼクタ５４およびバルブブロック５
２を連通する流路を形成している。前記流路の所定位置
には、孔部が設けられ、図１に示した圧力情報処理装置
１０を内蔵している圧力センサ７４、７６、７８、８
０、８２、圧力スイッチ８４および流量計８６が接続さ
れている（図３参照）。前記流量計は、周知の質量流量
計に情報処理回路を組み込んだものでも良いし、圧力測
定によって流量を測定する差圧流量計としても良い。
【００１３】フィルタブロック５６に隣接してエゼクタ
５４が設けられる。該エゼクタ５４の側面には前記サイ
レンサ７２が配設され、このサイレンサ７２はエゼクタ
５４から導出される圧力空気によって生起する音を消音
する。
５４が設けられる。該エゼクタ５４の側面には前記サイ
レンサ７２が配設され、このサイレンサ７２はエゼクタ
５４から導出される圧力空気によって生起する音を消音
する。
【００１４】コントロールブロック５８は、その内部に
ピエゾ等からなる半導体圧力センサ１６ (差圧型および
容量型を含む）から送信される信号を受けるＡ／Ｄ変換
器２２、コントローラ３０、Ｅ2 ＰＲＯＭ３２等を配設
し、前記圧力センサ７４、７６、７８、８０、８２と、
圧力スイッチ８４と、流量計８６とから送られてくる信
号によってそれぞれの設置位置の圧力、流量を把握し、
これらを予め設定されている値と比較して故障予知信号
Ｓ4 を出す。この故障予知信号Ｓ4 は、モニタ６０にお
いて、ＬＣＤ３８によりデジタル表示で、例えば、漢字
またはカタカナで「エゼクタ故障」、「エゼクタコショ
ウ」等の表示をすることができる。
ピエゾ等からなる半導体圧力センサ１６ (差圧型および
容量型を含む）から送信される信号を受けるＡ／Ｄ変換
器２２、コントローラ３０、Ｅ2 ＰＲＯＭ３２等を配設
し、前記圧力センサ７４、７６、７８、８０、８２と、
圧力スイッチ８４と、流量計８６とから送られてくる信
号によってそれぞれの設置位置の圧力、流量を把握し、
これらを予め設定されている値と比較して故障予知信号
Ｓ4 を出す。この故障予知信号Ｓ4 は、モニタ６０にお
いて、ＬＣＤ３８によりデジタル表示で、例えば、漢字
またはカタカナで「エゼクタ故障」、「エゼクタコショ
ウ」等の表示をすることができる。
【００１５】言うまでもないが、バルブブロック５２、
エゼクタ５４、フィルタブロック５６は、それぞれ内部
通路によって圧力流体が流通することが可能なように構
成されている。また、バブルブロック５２とコントロー
ルブロック５８、モニタ６０の間には電気接続ブロック
９０が設けられている。
エゼクタ５４、フィルタブロック５６は、それぞれ内部
通路によって圧力流体が流通することが可能なように構
成されている。また、バブルブロック５２とコントロー
ルブロック５８、モニタ６０の間には電気接続ブロック
９０が設けられている。
【００１６】前記真空ユニット５０は、マニホールドに
よって連設しても良い。また、弁やスイッチの信号ばか
りでなく故障診断等の付帯的制御信号、情報をシリアル
伝送手段、ワイヤレス手段、ＬＡＮ手段で外部や近傍の
他の制御装置と交信や相互制御を行うことができる。こ
れらのコントローラはセンサのＣＰＵに分散配置しても
良いし、マニホールドの適当な場所に配置しても良い。
これらのコントローラは、弁、スイッチのタイマ制御お
よび設定等の動作を一体として行なえる。
よって連設しても良い。また、弁やスイッチの信号ばか
りでなく故障診断等の付帯的制御信号、情報をシリアル
伝送手段、ワイヤレス手段、ＬＡＮ手段で外部や近傍の
他の制御装置と交信や相互制御を行うことができる。こ
れらのコントローラはセンサのＣＰＵに分散配置しても
良いし、マニホールドの適当な場所に配置しても良い。
これらのコントローラは、弁、スイッチのタイマ制御お
よび設定等の動作を一体として行なえる。
【００１７】以上のように構成される真空ユニット５０
において、先ず、動作開始指令信号Ｃ1 が供給される
と、圧縮空気供給源６５から空気供給ポート６６を介し
て圧縮空気が導入され、エゼクタ５４において負圧が発
生する。この負圧はフィルタブロック５６の空気吸入ポ
ート６８に接続された吸着盤１２を負圧とし、ロボット
等の搬送手段の稼働に伴い、該吸着盤１２にワークＷが
吸着し、次いで非吸着（離脱）が行われる。これにより
真空ユニット５０内に設けられた圧力センサ、例えば、
エゼクタ５４の空気吸引圧力（真空圧力）を検出する圧
力センサ８０の半導体圧力センサ１６に印加される圧力
（負圧）は図６に示される変化の圧力値Ｐ O1、ＰO2、Ｐ
O3…ＰON+1の状態となる。この場合、図から容易に理解
されるように、例えば、吸着盤１２側の真空圧力の漏
洩、フィルタの目詰まりの理由により、経時的に最大圧
力値（真空度）が低下する場合がある。ここで圧力値Ｐ
O1、Ｐ O2、ＰO3…ＰON+1に対応した信号は半導体センサ
１６、増幅器２０、Ａ／Ｄ変換器２２を介してデジタル
検知信号Ｓ2 に変換され、コントローラ３０に入力され
る。
において、先ず、動作開始指令信号Ｃ1 が供給される
と、圧縮空気供給源６５から空気供給ポート６６を介し
て圧縮空気が導入され、エゼクタ５４において負圧が発
生する。この負圧はフィルタブロック５６の空気吸入ポ
ート６８に接続された吸着盤１２を負圧とし、ロボット
等の搬送手段の稼働に伴い、該吸着盤１２にワークＷが
吸着し、次いで非吸着（離脱）が行われる。これにより
真空ユニット５０内に設けられた圧力センサ、例えば、
エゼクタ５４の空気吸引圧力（真空圧力）を検出する圧
力センサ８０の半導体圧力センサ１６に印加される圧力
（負圧）は図６に示される変化の圧力値Ｐ O1、ＰO2、Ｐ
O3…ＰON+1の状態となる。この場合、図から容易に理解
されるように、例えば、吸着盤１２側の真空圧力の漏
洩、フィルタの目詰まりの理由により、経時的に最大圧
力値（真空度）が低下する場合がある。ここで圧力値Ｐ
O1、Ｐ O2、ＰO3…ＰON+1に対応した信号は半導体センサ
１６、増幅器２０、Ａ／Ｄ変換器２２を介してデジタル
検知信号Ｓ2 に変換され、コントローラ３０に入力され
る。
【００１８】当該コントローラ３０では先ず、前記圧力
変化ＰO1の最大値（Ｐmax ）がＥ2 ＰＲＯＭ３２の第１
のアドレスを指定して記憶される。
変化ＰO1の最大値（Ｐmax ）がＥ2 ＰＲＯＭ３２の第１
のアドレスを指定して記憶される。
【００１９】この後、スイッチＳW3がＯＮされて、応差
Ａに係る閾値ＰＨ1a、ＰＨ1bの値が演算されて、Ｅ2 Ｐ
ＲＯＭ３２に記憶される。この場合、Ｅ2 ＰＲＯＭ３２
の第２のアドレスを指定し、且つ前記最大値（Ｐmax ）
の７０％（閾値ＰＨ1a）が演算されて記憶される。次い
でＥ2 ＰＲＯＭ３２の第３のアドレスを指定し、且つ前
記最大値（Ｐmax ）の６５％（閾値ＰＨ1b）が演算され
て記憶される。
Ａに係る閾値ＰＨ1a、ＰＨ1bの値が演算されて、Ｅ2 Ｐ
ＲＯＭ３２に記憶される。この場合、Ｅ2 ＰＲＯＭ３２
の第２のアドレスを指定し、且つ前記最大値（Ｐmax ）
の７０％（閾値ＰＨ1a）が演算されて記憶される。次い
でＥ2 ＰＲＯＭ３２の第３のアドレスを指定し、且つ前
記最大値（Ｐmax ）の６５％（閾値ＰＨ1b）が演算され
て記憶される。
【００２０】ここで前記閾値ＰＨ1a、ＰＨ1bに対応し
て、圧力変化ＰO1乃至ＰON+1に伴う連続した圧力スイッ
チ信号Ｓ6 が導出される。当該圧力スイッチ信号Ｓ6 は
各種の制御駆動手段等、例えば、搬送装置のフルクロー
ズド制御、ＦＭＳ、ＣＩＭ等の情報処理に供される。ま
た、組立機械や加工機械等の高度化を行うことができ
る。
て、圧力変化ＰO1乃至ＰON+1に伴う連続した圧力スイッ
チ信号Ｓ6 が導出される。当該圧力スイッチ信号Ｓ6 は
各種の制御駆動手段等、例えば、搬送装置のフルクロー
ズド制御、ＦＭＳ、ＣＩＭ等の情報処理に供される。ま
た、組立機械や加工機械等の高度化を行うことができ
る。
【００２１】次いで、Ｅ2 ＰＲＯＭ３２の第４のアドレ
スを指定し、且つ前記最大値（Ｐma x ）の８０％（閾値
Ｐｈ）が演算されて記憶される。
スを指定し、且つ前記最大値（Ｐma x ）の８０％（閾値
Ｐｈ）が演算されて記憶される。
【００２２】当該閾値Ｐｈは正常な最大圧力値、すなわ
ち、圧力変化ＰO1の最大値（Ｐmax 、最大真空度）から
２０％の低下点であり、当該閾値Ｐｈ以下において異常
の圧力状態とされる。
ち、圧力変化ＰO1の最大値（Ｐmax 、最大真空度）から
２０％の低下点であり、当該閾値Ｐｈ以下において異常
の圧力状態とされる。
【００２３】そして、前記圧力変化ＰO1乃至ＰON+1にお
いて、前記故障予知判定真空度である閾値Ｐｈ以下の異
常とされる圧力の変化、すなわち、前記圧力変化ＰO2乃
至Ｐ ON+1（信号としてのデジタル検知信号Ｓ2 ）が６回
累積記憶され、且つ予めスイッチＳW1、ＳW2並びにＳW3
により設定された６回の異常回数設定値と一致した時、
故障予知信号Ｓ4 が連続して導出される。
いて、前記故障予知判定真空度である閾値Ｐｈ以下の異
常とされる圧力の変化、すなわち、前記圧力変化ＰO2乃
至Ｐ ON+1（信号としてのデジタル検知信号Ｓ2 ）が６回
累積記憶され、且つ予めスイッチＳW1、ＳW2並びにＳW3
により設定された６回の異常回数設定値と一致した時、
故障予知信号Ｓ4 が連続して導出される。
【００２４】この場合の故障予知信号Ｓ4 の導出等に係
る処理はコントローラ３０のプログラムの遂行により行
われ、且つ情報はＥ2 ＰＲＯＭ３２に記憶されて、電源
断の後の再動作時に前記の動作状態に基づく故障予知信
号Ｓ4 が導出されて、前記情報の再現が行われる。
る処理はコントローラ３０のプログラムの遂行により行
われ、且つ情報はＥ2 ＰＲＯＭ３２に記憶されて、電源
断の後の再動作時に前記の動作状態に基づく故障予知信
号Ｓ4 が導出されて、前記情報の再現が行われる。
【００２５】前記のように、圧力情報処理システム１０
によって、圧力変化ＰO1の最大値（Ｐmax ）に対する閾
値ＰＨ1a、ＰＨ1bおよびＰｈが自動的、且つ正確に設定
され、これによって、真空ユニット５０の作動不良を自
己診断させる。
によって、圧力変化ＰO1の最大値（Ｐmax ）に対する閾
値ＰＨ1a、ＰＨ1bおよびＰｈが自動的、且つ正確に設定
され、これによって、真空ユニット５０の作動不良を自
己診断させる。
【００２６】なお、前記の閾値ＰＨ1a、ＰＨ1bおよびＰ
ｈの値である７０％、６５％、８０％は変更が可能であ
る。これらの値は、リセット用のスイッチＳW4がＯＮさ
れることによってクリヤされ、続いて、アップ／ダウン
用のスイッチＳW1、ＳW2をＯＮすることによって、例え
ば、５％ステップによる数値の変更が行われた後、スイ
ッチＳW3によって設定すればよい。
ｈの値である７０％、６５％、８０％は変更が可能であ
る。これらの値は、リセット用のスイッチＳW4がＯＮさ
れることによってクリヤされ、続いて、アップ／ダウン
用のスイッチＳW1、ＳW2をＯＮすることによって、例え
ば、５％ステップによる数値の変更が行われた後、スイ
ッチＳW3によって設定すればよい。
【００２７】なお、上記の実施例では、圧力変化ＰO1の
最大値（Ｐmax ）に対して、デジタル的に閾値ＰＨ1a、
ＰＨ1bおよびＰｈの値の設定を行っているが、他の実施
例として、圧力変化ＰO1の圧力カーブを記憶せしめて、
上記と同様に、閾値ＰＨ1a、ＰＨ1bおよびＰｈの設定を
行うこともできる。
最大値（Ｐmax ）に対して、デジタル的に閾値ＰＨ1a、
ＰＨ1bおよびＰｈの値の設定を行っているが、他の実施
例として、圧力変化ＰO1の圧力カーブを記憶せしめて、
上記と同様に、閾値ＰＨ1a、ＰＨ1bおよびＰｈの設定を
行うこともできる。
【００２８】一方、次のようにして行うこともできる。
先ず、予め、ワークＷを吸着し、その際のエゼクタ５４
に対する圧縮空気の供給圧力ＰS 、エゼクタ５４の発生
する真空圧力ＰV をそれぞれ圧力センサ７６、８０で検
出する。これらによって得られたＰs −ＰV 曲線に対し
て、例えば真空圧力ＰV の値が８０％の曲線（図５の８
０％ライン）を設定する。このように設定した後、実際
に真空ユニット５０を作動させ、圧力センサ７６、８０
で供給圧力Ｐs 、真空圧力ＰV を検出し、コントローラ
３０によって、Ｐs −ＰV 曲線と８０％ラインの間（図
５中、斜線部分）になければ、故障予知信号Ｓ4 を導出
する。
先ず、予め、ワークＷを吸着し、その際のエゼクタ５４
に対する圧縮空気の供給圧力ＰS 、エゼクタ５４の発生
する真空圧力ＰV をそれぞれ圧力センサ７６、８０で検
出する。これらによって得られたＰs −ＰV 曲線に対し
て、例えば真空圧力ＰV の値が８０％の曲線（図５の８
０％ライン）を設定する。このように設定した後、実際
に真空ユニット５０を作動させ、圧力センサ７６、８０
で供給圧力Ｐs 、真空圧力ＰV を検出し、コントローラ
３０によって、Ｐs −ＰV 曲線と８０％ラインの間（図
５中、斜線部分）になければ、故障予知信号Ｓ4 を導出
する。
【００２９】また、さらに次のようにして行うこともで
きる。先ず、予め、ワークＷを吸着させない状態でエゼ
クタ５４に対する一定の供給圧力ＰS に対するエゼクタ
５４の発生する真空圧力ＰV 、エゼクタ５４の吸込流量
Ｑを圧力センサ８０と流量計８６で検出する。ここで得
られたＱ−ＰV直線に対して図６に示すように閾値直線
を設定し、斜線部以外になれば、故障予知信号Ｓ4 を導
出する。
きる。先ず、予め、ワークＷを吸着させない状態でエゼ
クタ５４に対する一定の供給圧力ＰS に対するエゼクタ
５４の発生する真空圧力ＰV 、エゼクタ５４の吸込流量
Ｑを圧力センサ８０と流量計８６で検出する。ここで得
られたＱ−ＰV直線に対して図６に示すように閾値直線
を設定し、斜線部以外になれば、故障予知信号Ｓ4 を導
出する。
【００３０】このようにして、真空ユニット５０の作動
不良が認識された場合、コントローラ３０は、圧力セン
サ７４、７６、７８、８０、８２によって、それぞれの
圧力値を検出するとともに、それらの差圧を計算する。
前記圧力値および差圧の変動によって、作動不良の原因
が供給弁６２、真空破壊弁６４、エゼクタ５４、サイレ
ンサ７２、フィルタ７０、ワーク吸着盤１２のいずれで
あるか特定できる。例えば、圧力センサ８０、８２にお
いて、上流側の圧力に対して、下流側の圧力、あるいは
差圧が所定の閾値を超えている場合、ＬＣＤ３８によっ
てモニタ６０に「フィルタ故障」と表示する。
不良が認識された場合、コントローラ３０は、圧力セン
サ７４、７６、７８、８０、８２によって、それぞれの
圧力値を検出するとともに、それらの差圧を計算する。
前記圧力値および差圧の変動によって、作動不良の原因
が供給弁６２、真空破壊弁６４、エゼクタ５４、サイレ
ンサ７２、フィルタ７０、ワーク吸着盤１２のいずれで
あるか特定できる。例えば、圧力センサ８０、８２にお
いて、上流側の圧力に対して、下流側の圧力、あるいは
差圧が所定の閾値を超えている場合、ＬＣＤ３８によっ
てモニタ６０に「フィルタ故障」と表示する。
【００３１】このように、真空ユニット５０に圧力セン
サ７４、７６、７８、８０、８２および流量計８６を適
当な所に設けたため、真空ユニット５０の作動不良をコ
ントローラ３０によって自動的に認識するとともに、同
時に前記圧力センサ７４、７６、７８、８０、８２によ
って空気供給弁６２、エゼクタ５４、フィルタ７０等の
故障個所を特定できる。
サ７４、７６、７８、８０、８２および流量計８６を適
当な所に設けたため、真空ユニット５０の作動不良をコ
ントローラ３０によって自動的に認識するとともに、同
時に前記圧力センサ７４、７６、７８、８０、８２によ
って空気供給弁６２、エゼクタ５４、フィルタ７０等の
故障個所を特定できる。
【００３２】
【発明の効果】本発明に係る真空ユニットによれば、以
下の効果が得られる。
下の効果が得られる。
【００３３】真空ユニットの内部に、構成要素の少なく
とも上流側、下流側のいずれか一方に設けられた圧力セ
ンサによって、真空ユニットは、その内部の圧力を検出
するとともに、設定手段によって前記内部圧力の閾値を
設定し、これらと検出圧力を比較することにより真空ユ
ニットの作動不良を確認し、それぞれの構成要素の圧力
変動から目詰まり等の故障を確認し、故障個所を特定で
きる。したがって、真空ユニットの故障個所を素早く修
理し、あるいは交換が可能となる。
とも上流側、下流側のいずれか一方に設けられた圧力セ
ンサによって、真空ユニットは、その内部の圧力を検出
するとともに、設定手段によって前記内部圧力の閾値を
設定し、これらと検出圧力を比較することにより真空ユ
ニットの作動不良を確認し、それぞれの構成要素の圧力
変動から目詰まり等の故障を確認し、故障個所を特定で
きる。したがって、真空ユニットの故障個所を素早く修
理し、あるいは交換が可能となる。
【図１】本発明に係る真空ユニットに使用される圧力情
報処理システムのブロック回路図である。
報処理システムのブロック回路図である。
【図２】本発明に係る真空ユニットの一部省略縦断面説
明図である。
明図である。
【図３】本発明に係る真空ユニットの一部省略縦断面説
明図である。
明図である。
【図４】本発明に係る真空ユニットに使用される圧力情
報処理システムの閾値設定方法の説明図である。
報処理システムの閾値設定方法の説明図である。
【図５】本発明に係る真空ユニットに使用される圧力情
報処理システムの閾値設定方法の説明図である。
報処理システムの閾値設定方法の説明図である。
【図６】本発明に係る真空ユニットに使用される圧力情
報処理システムの閾値設定方法の説明図である。
報処理システムの閾値設定方法の説明図である。
１０…圧力情報処理システム １２…ワーク吸着盤 １６…半導体圧力センサ ５０…真空ユニット ７４、７６、７８、８０、８２…圧力センサ ８６…流量計
Claims (3)
- 【請求項１】弁体、エゼクタ、サイレンサ、フィルタ等
の構成要素を所定の流路によって連通させている真空ユ
ニットであって、 所望の圧力値を設定する設定手段と、 少なくとも一つの前記構成要素の上流側、下流側のいず
れか一方に設けられた圧力センサと、 前記圧力センサから導出される圧力値と前記設定手段で
設定された圧力値を比較し、その比較結果に基づき故障
個所を表示する手段と、 を設けることを特徴とする真空ユニット。 - 【請求項２】請求項１記載の真空ユニットにおいて、 前記構成要素の中、エゼクタの上流側である流体供給側
および下流側である流体吸入側にそれぞれ圧力センサを
設けることを特徴とする真空ユニット。 - 【請求項３】請求項１または２記載の真空ユニットにお
いて、 該設定手段は空気の流量を設定可能であり、さらにエゼ
クタの下流側である流体吸入側に流量計を設けることを
特徴とする真空ユニット。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22631091A JP3418411B2 (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | 真空ユニット |
| DE4229834A DE4229834C2 (de) | 1991-09-06 | 1992-09-07 | Verfahren und Einrichtung zum elektrischen Verarbeiten von Vakuumdruckinformation für eine Vakuumeinheit |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22631091A JP3418411B2 (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | 真空ユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0569997A true JPH0569997A (ja) | 1993-03-23 |
| JP3418411B2 JP3418411B2 (ja) | 2003-06-23 |
Family
ID=16843201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22631091A Expired - Fee Related JP3418411B2 (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | 真空ユニット |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5617338A (ja) |
| JP (1) | JP3418411B2 (ja) |
| DE (1) | DE4229834C2 (ja) |
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