JP3318591B2

JP3318591B2 - 流体ユニット

Info

Publication number: JP3318591B2
Application number: JP23059391A
Authority: JP
Inventors: 茂和永井; 昭男斉藤
Original assignee: エスエムシー株式会社
Priority date: 1991-09-10
Filing date: 1991-09-10
Publication date: 2002-08-26
Anticipated expiration: 2017-08-26
Also published as: JPH0571500A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、作業機器に対して、適
宜、流体圧の供給、遮断を行うための流体ユニットに関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、適宜、作業機器に流体圧を供
給、遮断する流体ユニットが使用されている。例えば、
真空圧力を供給する真空ユニットは、内部にエゼクタ、
真空圧力の供給、遮断を行う弁体等を備えている。この
真空ユニットは、作業機器としての吸着用パッド等と接
続され、シーケンサからの信号により作動し、吸着用パ
ッドに真空圧力を供給することによりワークを吸着搬送
させている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記のような真空ユニ
ットにおいては、作動状況を確認することにより、エゼ
クタの作動不良のために吸着用パッドからワークが落下
することを阻止することが望まれる。すなわち、エゼク
タや弁体の作動状況を正確に把握し、目詰まり等による
作動不良を素早く確認するとともに、これに対する処置
を自動的に行うシステムが望まれる。

【０００４】しかしながら、このような処理をシーケン
サを介して行うと、マニホールドによって真空ユニット
を連設した場合に、シーケンサの負担が大きくなり過ぎ
て各真空ユニットごとにオン／オフのタイミング制御等
の個別制御が実質的に不可能となる不都合がある。

【０００５】本発明は、この種の問題を解決するために
なされたものであって、シーケンサの負担を軽減し、個
別制御することが可能な流体ユニットを提供することを
目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、少なくとも流体の供給、遮断を行う流
体ユニットであって、該流体ユニット内を流通する流体
の圧力状態を検知するための検出手段と、制御方法が入
力されたメモリを有し、前記検出手段により検知された
流体の圧力と前記メモリに設定された故障予知限界圧力
とを比較して前記流体ユニットの故障予知信号を出力す
るとともに、前記検出手段により検知された流体の圧力
とメモリに設定された吸着確認圧力とを比較して動作制
御信号を出力する制御手段と、前記流体ユニットの状態
を表示する表示手段と、を備えることを特徴とする。

【０００７】

【作用】本発明に係る流体ユニットでは、マニホールド
により複数個連設された場合に、それぞれの流体ユニッ
トに制御方法が入力されたメモリを有する制御手段を備
えるため、各流体ユニットは、検出手段で検知した信号
を比較判断し、故障の判断を行い、これを表示して作業
者に知らせる等、シーケンサに過度の負担をかけること
なく高度な制御ができる。また、検出手段で検知した圧
力状態および電磁弁の作動状態を表示手段によって表示
し、流体ユニットの状態を容易に確認することができ
る。さらに、複数のセンサを電磁弁部、エゼクタ、フィ
ルタの上流側および下流側に設け、流体ユニットの故障
部位を特定することができる。

【０００８】

【実施例】本発明に係る流体ユニットについて、添付の
図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下の実施
例は、全て真空ユニットを例示して説明したものである
が、もちろんこれらの真空ユニットに限らず、他の流体
ユニットにも本発明は対応可能である。

【０００９】真空ユニット２５０は、図１および図２に
示すように、基本的にマニホールド２５２、その上部に
フィルタユニット２５４、エゼクタユニット２５６、バ
ルブユニット２５８、コントロールユニット２６０から
構成されている。

【００１０】マニホールド２５２には、供給通路２６
２、排気通路２６４およびパイロット弁排気通路２６６
が設けられるとともに電気接続用の導電性弾性体と非導
電性弾性体を交互に積層して構成されるコネクタ２６８
を備える。前記通路２６２、２６４、２６６およびコネ
クタ２６８は、マニホールド２５２相互に接続するよう
に設けられるとともに各マニホールド２５２の上部に搭
載される流体機器に接続される。

【００１１】マニホールド２５２の上部に搭載されるフ
ィルタユニット２５４は、吸着用パッド等の作業機器に
接続すべくワンタッチ式継手を内蔵した真空ポート２７
０が備えられている。前記真空ポート２７０は、圧力セ
ンサ３０４やエゼクタ２８０等に連通する通路が形成さ
れ、それぞれの通路上には、多孔性フッ素樹脂メンブレ
ン等の疎水性あるいは阻水性のフィルタ２７２、２７４
およびチェック弁２７６、２７８が設けられている。フ
ィルタ２７２は、エレメントがカートリッジ化されてお
り、カートリッジ自体がごみを捕獲する。このフィルタ
２７２はフィルタカバーを外すことができ、必要に応じ
て破線部の如く変更できる。チェック弁２７８は、吸着
用パッドの真空破壊の際に閉成するが、その際、例えば
チェック弁２７８に設けられた微小な孔部により流体が
侵入して徐々に真空圧力状態を解除し、圧力センサ３０
４が吸着状態を示す信号を出力し続けるのを阻止する。

【００１２】フィルタユニット２５４の上部に搭載され
るエゼクタユニット２５６は、エゼクタ２８０を備え
る。

【００１３】エゼクタユニット２５６の上部に搭載され
るバルブユニット２５８は、供給弁２８２と真空破壊弁
２８４を備える。

【００１４】バルブユニット２５８の上部に搭載される
コントロールユニット２６０は、その上面に圧力スイッ
チ作動表示灯２８６、センサ等の条件設定用のスイッチ
２８８、パイロット弁作動表示灯２９０を備える。内部
には、メモリーおよびタイマー用のコントローラ補助基
板２９２、流量制御弁２９４、その上部に表示用のＬＣ
Ｄ２９６、その下部にＬＣＤ、スイッチ用基板２９８、
コントローラメイン基板３００、圧力センサ用基板３０
２、圧力センサ３０４、疎水性および阻水性のフィルタ
３０６、さらに電磁パイロット弁３０８ａ、３０８ｂ、
弁駆動制御用基板３１０を備えている。

【００１５】コントロールユニット２６０に構成される
コントローラ回路３１１は、図３に示すように構成され
る。すなわち、設定手段であるスイッチ２８８を介して
作業手順等をタイマ設定、条件設定等が記憶されるＲＯ
Ｍ等からなるメモリ３１２、ＣＰＵ３１４、前記ＣＰＵ
３１４と接続される電磁パイロット弁３０８ａ、３０８
ｂとの間に設けられたＩ／Ｏ３１６ａ、３１６ｂ、ドラ
イバ３１８ａ、３１８ｂおよび圧力センサ３０４内部に
ある圧力センサ回路３２０との間に設けられたＩ／Ｏ３
２２を備える。

【００１６】これらは、一枚の基板に組み込んでもよい
し、複数の基板に分割してもよい。また、大部分をワン
チップ化、もしくは少数の専用ＩＣ、ＡＳＩＣ、ハイブ
リッドＩＣ等により構成してもよい。また、基板につい
ても、スペース効率の点から屈曲可能なフレキシブル基
板等を用いてもよい。

【００１７】基板および各ユニット間の電気的接続は、
前記の導電性弾性体を使用したコネクタ２６８で行われ
る。しかし、前記コネクタ２６８以外の雄雌のピンを備
えたコネクタ等で行うものもある。

【００１８】このように構成された真空ユニット２５０
は、次のように作動する。すなわち、先ず、作業者は、
作業条件に従ってスイッチ２８８を使用してコントロー
ラ回路３１１のメモリ３１２に設定条件を入力する。メ
モリ３１２に設定された条件に従って、ＣＰＵ３１４、
Ｉ／Ｏ３１６ａ、ドライバ３１８ａを介して電磁パイロ
ット弁３０８ａに電気信号を送って付勢し、マニホール
ド２５２の供給通路２６２と供給弁２８２のパイロット
室を連通させ、供給弁２８２を開成する。したがって、
供給通路２６２とエゼクタ２８０は連通し、吸着用パッ
ド等の作業機器から空気を真空ポート２７０、フィルタ
２７２を介し、チェック弁２７６を開成して吸引する。
吸引された空気およびエゼクタ２８０に使用された空気
は、マニホールド２５２の排気通路２６４から排気され
る。その際、圧力センサ３０４は、シリコンダイヤフラ
ム等で作られており水に弱いので、劣化を防ぐためにフ
ィルタ２７４、３０６を介して水分を除去した状態で前
記作業機器の圧力状態を検出し、前記作業機器を制御す
る信号を発する。一方、真空破壊を行う場合は、コント
ローラ回路３１１から電磁パイロット弁３０８ａに信号
が送られ供給弁２８２が閉成するとともに電磁パイロッ
ト弁３０８ｂに信号が送られ真空破壊弁２８４が開成す
る。したがって、供給通路２６２と作業機器に連通する
真空ポート２７０が連通し、作業機器の真空圧力状態を
解除する。この際、チェック弁２７８は閉成し、急激な
圧力変動による圧力センサ３０４の破壊を阻止するとと
もに、前記チェック弁２７８に設けられた微小な孔部に
より、徐々に真空圧力状態を解除して誤った作動信号が
発せられるのを阻止する。

【００１９】この真空ユニット２５０は、全体または一
部を透明なプラスチックによって形成し、フィルタ、エ
ゼクタ、弁、コイル、コントロールユニット２６０、通
路、サイレンサ、配線等の目視によるメンテナンスを行
ってもよい。また、エゼクタユニット２５６を取り除
き、供給弁２８２を真空切換弁として真空ポンプ対応ユ
ニットに構成可能である。

【００２０】このように作動させることにより、シーケ
ンサの負担を軽減し、個別制御を行う説明を図２乃至図
４を参照して行う。この真空ユニット２５０の動作は、
吸着用パッド等によるワークの吸着搬送を想定してい
る。

【００２１】先ず、シーケンサは作動指令を真空ユニッ
ト２５０のコントローラ回路３１１に送る。コントロー
ラ回路３１１は、メモリ３１２に設定された条件に従っ
てＣＰＵ３１４からＩ／Ｏ３１６ａ、ドライバ３１８ａ
を介して電磁パイロット弁３０８ａに前記作動信号を送
り、その直後に同様にＣＰＵ３１４から圧力センサ３０
４にも前記作動信号を送る。したがって、真空ユニット
２５０内部のエゼクタ２８０に供給弁２８２から圧縮空
気が送入されて真空圧力が発生し、チューブを介して吸
着用パッドに導入される。この間、圧力センサ３０４は
真空ポート２７０の真空圧力を測定しその情報をＬＣＤ
２９６に表示するとともに、ＣＰＵ３１４に逐次送る。
ＣＰＵ３１４ではこの情報を予め設定された真空故障予
知限界（故障予知限界圧力）と吸着確認真空圧力（吸着
確認圧力）に照らし合わせる。表示は、ＣＰＵ３１４か
ら表示回路によってもよい。

【００２２】この場合、真空故障予知限界とは、真空ユ
ニット２５０による吸着搬送に支障を生じるおそれのあ
る限界の真空圧力である。仮に真空ポート２７０の真空
圧力が該真空故障予知限界を満たさない場合、コントロ
ールユニット２６０のＬＣＤ２９６に故障予知表示を行
い、同時にその信号をシーケンサに送る。

【００２３】吸着確認真空圧力とは、真空が導入された
吸着用パッドにワークが吸着し、真空ポート２７０の真
空圧力が上昇したことを確認する真空圧力である。ＣＰ
Ｕ３１４での比較の結果、真空ポート２７０の真空圧力
が予めメモリ３１２に設定された該吸着確認真空圧力を
超えるとＬＣＤ２９６は、吸着確認表示を行う。

【００２４】その後、コントローラ回路３１１はメモリ
３１２の供給弁タイマーにより設定された一定時間後、
シリンダ等の搬送機器上のスイッチ等からの信号により
ワークの移動確認信号を受けると、メモリ３１２に設定
されているプログラムに従ってＣＰＵ３１４から供給弁
２８２の作動停止の信号（動作制御信号）を送る。

【００２５】供給弁２８２はこの信号により動作を停止
し、エゼクタ２８０の真空圧力発生は停止する。また同
時に、ＣＰＵ３１４は真空破壊弁２８４の作動指令を真
空破壊弁２８４に送り、これにより真空破壊弁２８４が
作動し圧縮空気を真空ポート２７０を経て吸着用パッド
に送入し、タイマー等により空気送給時間を制御した
り、スイッチや他の外部からの信号を受けて真空破壊を
行う。

【００２６】この間、圧力センサ３０４は真空ポート２
７０の圧力を測定し、その情報をＬＣＤ２９６に表示す
るとともにコントローラ回路３１１に逐次送る。コント
ローラ回路３１１のＣＰＵ３１４では、この情報をメモ
リ３１２に予め設定された破壊確認空気圧と照らし合わ
せる。

【００２７】ここで、破壊確認空気圧とは、吸着用パッ
ドからワークが完全に離脱し、真空ポート２７０の破壊
空気圧が大気圧に接近したことを確認する空気圧であ
る。空気圧がメモリ３１２に予め設定されたこの破壊確
認空気圧を下回ると、ＬＣＤ２９６は破壊確認表示を行
い、同時にＣＰＵ３１４から真空破壊弁２８４および圧
力センサ３０４に作動停止信号を送る。これにより真空
破壊弁２８４と圧力センサ３０４が動作を停止する。そ
の後、コントローラ回路３１１は一連の作動完了報告を
シーケンサに送り、真空ユニット２５０の吸着搬送の全
ての動作を終了する。

【００２８】本実施例では、図４のように、コントロー
ラ回路３１１にシーケンサの制御の一部を負担させるこ
とにより、シーケンサの負担を軽減している。このシー
ケンサの負担の軽減により、マニホールドによって連設
されたさらに多数の真空ユニットが制御可能となる。あ
るいは、コントロールユニット２６０の制御能力を十分
にとれば、従来では不可能であった精緻な真空ユニット
の制御が可能となる。

【００２９】続いて、前記実施例において示した故障判
断を具体的に実行する例を以下に示す。

【００３０】先ず、本発明に係る真空ユニットに組み込
まれた圧力情報処理装置４００を図５に則して説明す
る。

【００３１】図中、参照符号Ｗはワークを示し、参照符
号４１２は真空システムに係る搬送手段に配設された吸
着用パッドを示す。この圧力情報処理装置４００は圧力
空気Ａｐの値に係る検知信号を送出する半導体圧力セン
サ４１６、定電流回路４１８、増幅器４２０を有してい
る。そして、増幅器４２０から導出された信号、すなわ
ち、圧力空気Ａｐの値に対応したアナログ信号をデジタ
ル検知信号Ｓ₂に変換するＡ／Ｄ変換器４２２と、ワン
チップマイクロコンピュータ等からなるコントローラ４
３０とを備え、当該コントローラ４３０は、高性能に優
れるワンチップマルチＣＰＵ４３０ａ、プログラムを備
えたＲＯＭ４３０ｂ、Ｉ／Ｏ４３０ｃ等を有するととも
に、基準となる圧力値を設定するための設定値アップ／
ダウン用のスイッチＳ_W1、Ｓ_W2と、前記設定された値を
変更した際、その変更された値のセット用のスイッチＳ
_W3、設定値に係るリセット用のスイッチＳ_W4が接続され
ている。さらに、情報を記憶せしめ且つ電源断において
情報が保持されるＥＥ（Ｅ ²)ＰＲＯＭ４３２と、設定値
および情報の可視的表示を行うためのＬＣＤドライバ４
３４、ＬＣＤ４３８が接続されている。

【００３２】このような圧力情報処理装置４００が組み
込まれた真空ユニット４５０の流体回路を図６に示す。
なお、前記実施例と同一の構成要素には同一の参照符号
を付し、その詳細な説明を省略する。

【００３３】真空ユニット４５０に形成された流路の所
定位置には、孔部が設けられ、圧力センサ４７４、４７
６、４７８、４８０、４８２、流量計４８６が接続され
ている。前記流量計４８６は、周知の質量流量計でもよ
いし、圧力測定によって流量を測定する差圧流量計でも
よい。

【００３４】以上のように構成される真空ユニット４５
０において、先ず、シーケンサ等から動作開始指令信号
Ｃ₁が供給されると、圧縮空気供給源４６５から圧縮空
気が導入され、エゼクタ２８０において真空圧力が発生
する。この真空圧力は吸着用パッド４１２を真空圧力と
し、ロボット等の搬送手段の稼働に伴い、該吸着用パッ
ド４１２にワークＷが吸着し、次いで非吸着（離脱）が
行われる。これにより真空ユニット４５０内に設けられ
た圧力センサ、例えば、エゼクタ２８０の空気吸引圧力
（真空圧力）を検出する圧力センサ４８０の半導体圧力
センサ４１６に印加される圧力（真空圧力）は図７に示
される変化の圧力変化Ｐ_O1、Ｐ_O2、Ｐ_O3…Ｐ_ON+1の状態
となる。この場合、図から容易に理解されるように、例
えば、吸着用パッド４１２側の真空圧力の漏洩、フィル
タの目詰まり等の理由により、経時的に最大圧力値（真
空度）が低下する場合がある。ここで圧力変化Ｐ_O1、Ｐ
_O2、Ｐ_O3…Ｐ_ON+1に対応した信号は半導体圧力センサ４
１６、増幅器４２０、Ａ／Ｄ変換器４２２を介してデジ
タル検知信号Ｓ₂に変換され、コントローラ４３０に入
力される。

【００３５】当該コントローラ４３０では先ず、前記圧
力変化Ｐ_O1の最大値（Ｐ_max）がＥ ²ＰＲＯＭ４３２の
第１のアドレスを指定して記憶される。

【００３６】この後、スイッチＳ_W3がＯＮされて、応差
Ａに係る閾値ＰＨ_1a、ＰＨ_1bの値が演算されて、Ｅ²Ｐ
ＲＯＭ４３２に記憶される。この場合、Ｅ²ＰＲＯＭ４
３２の第２のアドレスを指定し、且つ前記最大値（Ｐ
_max）の７０％（閾値ＰＨ_1a）が演算されて記憶され
る。次いでＥ²ＰＲＯＭ４３２の第３のアドレスを指定
し、且つ前記最大値（Ｐ_max）の６５％（閾値ＰＨ_1b）
が演算されて記憶される。

【００３７】ここで前記閾値ＰＨ_1a、ＰＨ_1bに対応し
て、圧力変化Ｐ_O1乃至Ｐ_ON+1に伴う連続した圧力スイッ
チ信号Ｓ₆が導出される。当該圧力スイッチ信号Ｓ₆は
各種の制御駆動手段等、例えば、搬送装置のフルクロー
ズド制御、ＦＭＳ、ＣＩＭ等の情報処理に供される。ま
た、組立機械や加工機械等の高度化を行うことができ
る。

【００３８】次いで、Ｅ²ＰＲＯＭ４３２の第４のアド
レスを指定し、且つ前記最大値（Ｐ _max）の８０％（閾
値Ｐｈ）が演算されて記憶される。

【００３９】当該閾値Ｐｈは正常な最大圧力値、すなわ
ち、圧力変化Ｐ_O1の最大値（Ｐ_max、最大真空度）から
２０％の低下点であり、当該閾値Ｐｈ以下において異常
の圧力状態とされる。

【００４０】そして、前記圧力変化Ｐ_O1乃至Ｐ_ON+1にお
いて、前記故障予知判定真空度である閾値Ｐｈ以下の異
常とされる圧力の変化、すなわち、圧力変化Ｐ_O2乃至Ｐ
_ON+1（信号としてのデジタル検知信号Ｓ₂）が６回累積
記憶され、且つ予めスイッチＳ_W1、Ｓ_W2並びにＳ_W3によ
り設定された６回の異常回数設定値と一致した時、故障
予知信号Ｓ₄が連続して導出される。

【００４１】この場合の故障予知信号Ｓ₄の導出等に係
る処理はコントローラ４３０のプログラムの遂行により
行われ、且つ情報はＥ²ＰＲＯＭ４３２に記憶されて、
電源断の後の再動作時に前記の動作状態に基づく故障予
知信号Ｓ₄が導出されて、前記情報の再現が行われる。

【００４２】前記のように、圧力情報処理装置４００に
よって、圧力変化Ｐ_O1の最大値（Ｐ _max）に対する閾値
ＰＨ_1a、ＰＨ_1bおよびＰｈが自動的、且つ正確に設定さ
れ、これによって、真空ユニット４５０の作動不良が自
己診断される。

【００４３】なお、前記の閾値ＰＨ_1a、ＰＨ_1bおよびＰ
ｈの値である７０％、６５％、８０％は変更が可能であ
る。これらの値は、リセット用のスイッチＳ_W4がＯＮさ
れることによってクリヤされ、続いて、アップ／ダウン
用のスイッチＳ_W1、Ｓ_W2をＯＮすることによって、例え
ば、５％ステップによる数値の変更が行われた後、スイ
ッチＳ_W3によって設定すればよい。

【００４４】なお、上記の実施例では、圧力変化Ｐ_O1の
最大値（Ｐ_max）に対して、デジタル的に閾値ＰＨ_1a、
ＰＨ_1bおよびＰｈの値の設定を行っているが、他の実施
例として、圧力変化Ｐ_O1の圧力カーブを記憶せしめて、
上記と同様に、閾値ＰＨ_1a、ＰＨ_1bおよびＰｈの設定を
行うこともできる。

【００４５】一方、次のようにして行うこともできる。
先ず、予めワークＷを吸着し、その際のエゼクタ２８０
に対する圧縮空気の供給圧力Ｐ_S、エゼクタ２８０の発
生する真空圧力Ｐ_Vをそれぞれ圧力センサ４７６、４８
０で検出する。これによって得られたＰ_S−Ｐ_V曲線に
対して、例えば真空圧力Ｐ_Vの値が８０％の曲線（図８
の８０％ライン）を設定する。このように設定した後、
実際に真空ユニット４５０を作動させ、圧力センサ４７
６、４８０で供給圧力Ｐs 、真空圧力Ｐ_Vを検出し、コ
ントローラ４３０によって、Ｐ_S−Ｐ_V曲線と８０％ラ
インの間（図８中、斜線部分）になければ、故障予知信
号Ｓ₄を導出する。

【００４６】また、さらに次のようにして行うこともで
きる。先ず、予め、ワークＷを吸着させない状態でエゼ
クタ２８０に対する一定の供給圧力Ｐ_Sに対するエゼク
タ２８０の発生する真空圧力Ｐ_V、エゼクタ２８０の吸
込流量Ｑを圧力センサ４８０と流量計４８６で検出す
る。ここで得られたＱ−Ｐ_V直線に対して図９に示すよ
うに閾値直線を設定し、斜線部以外になれば、故障予知
信号Ｓ₄を導出する。

【００４７】このようにして、真空ユニット４５０の作
動不良が認識された場合、コントローラ４３０は、圧力
センサ４７４、４７６、４７８、４８０、４８２によっ
てそれぞれの圧力値を検出するとともに、それらの差圧
を計算する。前記圧力値および差圧の変動によって、作
動不良の原因が供給弁２８２、真空破壊弁２８４、エゼ
クタ２８０、サイレンサ４７２、フィルタ２７２、ワー
ク吸着用パッド４１２のいずれにあるかを特定できる。
例えば、圧力センサ４８０、４８２において、上流側の
圧力に対して、下流側の圧力、あるいは差圧が所定の閾
値を超えている場合、ＬＣＤ４３８によってモニタに
「フィルタ故障」と表示する。

【００４８】このように、真空ユニット４５０に圧力セ
ンサ４７４、４７６、４７８、４８０、４８２および流
量計４８６を適当な所に設け、コントローラ４３０によ
って制御（自己診断）しているため、真空ユニット４５
０の作動不良をコントローラ４３０によって自動的に認
識するとともに、同時に前記圧力センサ４７４、４７
６、４７８、４８０、４８２によって供給弁２８２、真
空破壊弁２８４、エゼクタ２８０、フィルタ２７２等の
故障個所を特定できる。

【００４９】このような、シーケンサの負担を軽減する
コントローラには、本実施例に限らず、様々の形態、機
能が考えられる。先ず、機能を実現する手段として、コ
ントローラは電気回路等の完全なハードウエアによる方
法、ＣＰＵ、メモリ等によるプログラマブルなソフトウ
エアによる方法、前記の両者の複合による判断機能、設
定項目等のプログラム的設定が考えられる。また、制御
方法、あるいはセンサ、アドレス、プログラム等の設定
方法についても、コントローラ上のディップ、ロータリ
ーマルチ、ワイアマトリックス等のスイッチ、トリマ等
により直接行う方法、ティーチングボックス等のプログ
ラム装置をコントロールユニット２６０に接続して行う
方法、起動時等にシーケンサ等の親制御装置から一括し
てプログラム等のデータをダウンロードする方法、さら
に、ＲＯＭ、メモリーカード等の記憶装置の直接接続に
よる方法等が考えられる。次に、コントローラからの情
報表示については、ＬＣＤ、ＬＥＤ、ランプ、ブザー等
によるコントローラによる直接表示、表示装置によりマ
ニホールド等の複数のコントローラの表示を集中的に表
示する方法、シーケンサ等の親制御機器による集中的な
一括表示等が考えられる。さらに、流体ユニットの制御
機能については、実施例に示したような流体ユニットの
故障予知、故障時の故障部位、故障種別の表示、サイレ
ンサ、フィルタ等の要交換部品の交換時の表示の他に、
プログラムエラー、あるいはシーケンスエラー等のコン
トローラ自体の自己故障診断と自己再設定、再プログラ
ム等による自己回復機能、さらに、故障、流体圧不良、
電源停止等の緊急時のワーク落下防止、流体噴出防止等
の安全な停止および電源、センサ、回路等の予備装置を
設けそれらの切り換えによる流体システムの機能回復、
シーケンサ等の親制御装置とのシリアルまたはパラレル
通信時のアドレス設定と、親制御装置との通信の優先順
位づけ、作動弁や破壊弁等の作動時間のタイマー機能、
ワークの状態や種類をセンサにより読み取り、流体の圧
力や流量を制御して流体ユニットの能力を対応させる等
の機能が考えられる。

【００５０】一方、シーケンサ等の制御機器とコントロ
ーラ、流体ユニットによる構成においても、一つのコン
トローラによる複数の流体システムの制御やマニホール
ド等の複数のコントローラを単位としてそれらコントロ
ーラの通信、設定、プログラム、情報表示等の管理を行
う中間（管理）コントロールユニットによる制御構造の
階層化等が考えられる。

【００５１】

【発明の効果】本発明に係る流体ユニットによれば、以
下の効果が得られる。

【００５２】すなわち、流体ユニットでは、それぞれの
流体ユニットに制御方法が入力されたメモリを有する制
御手段、ユニット内部の状態の検出手段、前記状態の表
示手段を備えるため、各流体ユニットは、検出手段で検
出した信号を比較検討し、故障の判断を行い、これを表
示手段を介して表示し、作業者に知らせる等の高度な制
御がシーケンサに負担をかけることなく、実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る真空ユニットの断面説
明図である。

【図２】本発明の一実施例に係る真空ユニットの流体回
路図である。

【図３】本発明の一実施例に係る真空ユニットのコント
ローラ回路である。

【図４】本発明の一実施例に係る真空ユニットの制御説
明図である。

【図５】本発明の一実施例に係る真空ユニットに使用さ
れる圧力情報処理装置の制御ブロック図である。

【図６】本発明の一実施例に係る真空ユニットの流体回
路図である。

【図７】本発明の一実施例に係る真空ユニットの圧力情
報処理装置の閾値設定方法の説明図である。

【図８】本発明の一実施例に係る真空ユニットの圧力情
報処理装置の閾値設定方法の説明図である。

【図９】本発明の一実施例に係る真空ユニットの圧力情
報処理装置の閾値設定方法の説明図である。

【符号の説明】

２５０、４５０…真空ユニット３１１…コントローラ回路４００…圧力情報処理装置４３０…コントローラ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開平３−113200（ＪＰ，Ａ) 実開昭61−200499（ＪＰ，Ｕ) 実開昭63−7299（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) F04F 5/48 F04B 49/06 331

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも流体の供給、遮断を行う流体ユ
ニットであって、該流体ユニット内を流通する流体の圧力状態を検知する
ための検出手段と、制御方法が入力されたメモリを有し、前記検出手段によ
り検知された流体の圧力と前記メモリに設定された故障
予知限界圧力とを比較して前記流体ユニットの故障予知
信号を出力するとともに、前記検出手段により検知され
た流体の圧力とメモリに設定された吸着確認圧力とを比
較して動作制御信号を出力する制御手段と、前記流体ユニットの状態を表示する表示手段と、を備えることを特徴とする流体ユニット。
【請求項２】請求項１記載の流体ユニットにおいて、前記表示手段は、前記検出手段により検知された前記流
体ユニットの内部の圧力状態を表示するディスプレイ部
と、流体の供給または遮断を行う電磁弁の作動状態に対
応して点灯するランプ部とを有することを特徴とする流
体ユニット。
【請求項３】請求項１記載の流体ユニットにおいて、前記検出手段は、電磁弁部、エゼクタ、フィルタのそれ
ぞれの流体通路の上流側および下流側に配設された複数
のセンサを含み、前記センサからの検出信号に基づいて
流体ユニットの故障部位が特定されることを特徴とする
流体ユニット。