JP2953797B2 - 真空ユニットにおける圧力値設定方法 - Google Patents
真空ユニットにおける圧力値設定方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空ユニットにおける
圧力値設定方法に関し、一層詳細には真空ユニットに供
される制御用信号を導出すべく、圧力流体の圧力変化カ
ーブに対する複数の圧力値の設定をデジタル的に行い、
さらに設定された圧力値と所望の圧力値とが一致した
時、所定の信号を導出するようにした圧力値設定方法に
関する。
圧力値設定方法に関し、一層詳細には真空ユニットに供
される制御用信号を導出すべく、圧力流体の圧力変化カ
ーブに対する複数の圧力値の設定をデジタル的に行い、
さらに設定された圧力値と所望の圧力値とが一致した
時、所定の信号を導出するようにした圧力値設定方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、空気圧機器等には負圧／正圧用の
圧力スイッチが多用されている。
圧力スイッチが多用されている。
【０００３】ここで圧力／電気変換による負圧用の圧力
スイッチの一例を説明する。当該負圧用の圧力スイッチ
は圧力空気、流体路および空気圧機器等からなる負圧
（真空）システム、すなわち、作業対象部材（ワーク）
の搬送の際、ワークの吸着、非吸着の確認等に用いられ
る。
スイッチの一例を説明する。当該負圧用の圧力スイッチ
は圧力空気、流体路および空気圧機器等からなる負圧
（真空）システム、すなわち、作業対象部材（ワーク）
の搬送の際、ワークの吸着、非吸着の確認等に用いられ
る。
【０００４】当該圧力スイッチには拡散型半導体セン
サ、比較器、可変抵抗器、出力回路（パルス信号生成）
等からなる圧力スイッチ信号発生回路が設けられてお
り、この回路からはワークの吸着、非吸着（真空破壊）
に伴う圧力値変化（図６中、図示されるＭ）に係る応差
に対応した出力信号Ｓ1が送出される。なお、応差はチ
ャッタリング阻止のために設けられている。
サ、比較器、可変抵抗器、出力回路（パルス信号生成）
等からなる圧力スイッチ信号発生回路が設けられてお
り、この回路からはワークの吸着、非吸着（真空破壊）
に伴う圧力値変化（図６中、図示されるＭ）に係る応差
に対応した出力信号Ｓ1が送出される。なお、応差はチ
ャッタリング阻止のために設けられている。
【０００５】ここで図５に示される応差の閾値ＰＨ
1 （出力信号Ｓ1 の前縁に対応）は、拡散型半導体圧力
センサからの出力信号が比較器に供給され、この比較器
で可変抵抗器により設定された基準値と比較される。そ
して、出力信号Ｓ1 は、例えば、ＦＡ用のコンピュータ
等に連動するシーケンスコントローラに供給されて、各
種の制御駆動手段等に供される。
1 （出力信号Ｓ1 の前縁に対応）は、拡散型半導体圧力
センサからの出力信号が比較器に供給され、この比較器
で可変抵抗器により設定された基準値と比較される。そ
して、出力信号Ｓ1 は、例えば、ＦＡ用のコンピュータ
等に連動するシーケンスコントローラに供給されて、各
種の制御駆動手段等に供される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】然しながら、上記の従
来の技術において、圧力スイッチには、通常、真空度表
示手段が配設されておらず、このため、上記閾値ＰＨ1
等を定める際に、吸着、非吸着の反復動作を行い、ここ
で閾値ＰＨ1 を決定すべく可変抵抗器等での設定調整が
行われる。従って、空気圧機器等に多数の圧力スイッチ
が配置される際には、夫々空気圧機器等の駆動、並びに
比較的手間を伴う設定調整が必要となり、さらにその間
に誤差を生起し、すなわち、定量的な設定に困難を伴う
欠点を有していた。しかも、設定調整がアナログ的に行
われるために、精緻な設定が困難であるとの不都合があ
る。
来の技術において、圧力スイッチには、通常、真空度表
示手段が配設されておらず、このため、上記閾値ＰＨ1
等を定める際に、吸着、非吸着の反復動作を行い、ここ
で閾値ＰＨ1 を決定すべく可変抵抗器等での設定調整が
行われる。従って、空気圧機器等に多数の圧力スイッチ
が配置される際には、夫々空気圧機器等の駆動、並びに
比較的手間を伴う設定調整が必要となり、さらにその間
に誤差を生起し、すなわち、定量的な設定に困難を伴う
欠点を有していた。しかも、設定調整がアナログ的に行
われるために、精緻な設定が困難であるとの不都合があ
る。
【０００７】本発明は上記の点に鑑みてなされ、真空ユ
ニットにおいて所定の信号を導出するため、所望の圧力
値の設定を比較的簡単な方法で可能とする真空ユニット
における圧力値設定方法を提供することを目的とする。
ニットにおいて所定の信号を導出するため、所望の圧力
値の設定を比較的簡単な方法で可能とする真空ユニット
における圧力値設定方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、真空ユニットにおいて、真空ポートに
連通する通路に臨む圧力検出素子によって検出された最
大真空圧力値に基づいて所望の応差に対応して予め設定
される閾値をデジタル的に表示手段に表示せしめるとと
もに、前記閾値を記憶手段に記憶せしめ、前記圧力検出
素子から導出されるアナログの検出信号をデジタル信号
に変換した後、前記表示手段にデジタル的に表示せし
め、さらに、前記記憶されている閾値と該検出された真
空圧力値とを比較し、前記閾値に対応する圧力スイッチ
信号を導出することを特徴とする。さらに、本発明は、
真空ユニットにおいて、真空ポートに連通する通路に臨
む圧力検出素子によって検出された最大真空度に基づい
て予め設定される故障予知判定真空度をデジタル的に表
示手段に表示せしめるとともに、前記故障予知判定真空
度を記憶手段に記憶せしめ、前記圧力検出素子から導出
されるアナログの検出信号をデジタル信号に変換した
後、前記表示手段にデジタル的に表示せしめ、さらに、
前記記憶されている故障予知判定真空度と該検出された
真空度とを比較して、予め設定された異常回数設定値と
一致したときに故障予知信号を導出することを特徴とす
る。
めに、本発明は、真空ユニットにおいて、真空ポートに
連通する通路に臨む圧力検出素子によって検出された最
大真空圧力値に基づいて所望の応差に対応して予め設定
される閾値をデジタル的に表示手段に表示せしめるとと
もに、前記閾値を記憶手段に記憶せしめ、前記圧力検出
素子から導出されるアナログの検出信号をデジタル信号
に変換した後、前記表示手段にデジタル的に表示せし
め、さらに、前記記憶されている閾値と該検出された真
空圧力値とを比較し、前記閾値に対応する圧力スイッチ
信号を導出することを特徴とする。さらに、本発明は、
真空ユニットにおいて、真空ポートに連通する通路に臨
む圧力検出素子によって検出された最大真空度に基づい
て予め設定される故障予知判定真空度をデジタル的に表
示手段に表示せしめるとともに、前記故障予知判定真空
度を記憶手段に記憶せしめ、前記圧力検出素子から導出
されるアナログの検出信号をデジタル信号に変換した
後、前記表示手段にデジタル的に表示せしめ、さらに、
前記記憶されている故障予知判定真空度と該検出された
真空度とを比較して、予め設定された異常回数設定値と
一致したときに故障予知信号を導出することを特徴とす
る。
【０００９】
【作用】請求項１に係る本発明によれば、真空ユニット
において、真空ポートに連通する通路に臨む圧力検出素
子によって検出された最大真空圧力値に基づくととも
に、所望の応差に対応する閾値が予め設定される。この
閾値は、デジタル的に表示手段によって表示されるとと
もに、記憶手段に記憶される。また、前記圧力検出素子
から導出されるアナログの検出信号がデジタル信号に変
換された後、前記表示手段にデジタル的に表示される。
さらに、前記記憶手段に記憶されている閾値と該検出さ
れた真空圧力値とを比較し、前記閾値に対応する圧力ス
イッチ信号が導出される。 請求項２に係る本発明によれ
ば、真空ユニットにおいて、真空ポートに連通する通路
に臨む圧力検出素子によって検出された最大真空度に基
づいて故障予知判定真空度が予め設定される。この故障
予知判定真空度は、デジタル的に表示手段によって表示
されるとともに、記憶手段に記憶される。また、前記圧
力検出素子から導出されるアナログの検出信号がデジタ
ル信号に変換された後、前記表示手段にデジタル的に表
示される。さらに、前記記憶手段に記憶されている故障
予知判定真空度と該検出された真空度とを比較し、予め
設定された異常回数設定値と一致したときに故障予知信
号が導出される。
において、真空ポートに連通する通路に臨む圧力検出素
子によって検出された最大真空圧力値に基づくととも
に、所望の応差に対応する閾値が予め設定される。この
閾値は、デジタル的に表示手段によって表示されるとと
もに、記憶手段に記憶される。また、前記圧力検出素子
から導出されるアナログの検出信号がデジタル信号に変
換された後、前記表示手段にデジタル的に表示される。
さらに、前記記憶手段に記憶されている閾値と該検出さ
れた真空圧力値とを比較し、前記閾値に対応する圧力ス
イッチ信号が導出される。 請求項２に係る本発明によれ
ば、真空ユニットにおいて、真空ポートに連通する通路
に臨む圧力検出素子によって検出された最大真空度に基
づいて故障予知判定真空度が予め設定される。この故障
予知判定真空度は、デジタル的に表示手段によって表示
されるとともに、記憶手段に記憶される。また、前記圧
力検出素子から導出されるアナログの検出信号がデジタ
ル信号に変換された後、前記表示手段にデジタル的に表
示される。さらに、前記記憶手段に記憶されている故障
予知判定真空度と該検出された真空度とを比較し、予め
設定された異常回数設定値と一致したときに故障予知信
号が導出される。
【００１０】
【実施例】次に、本発明に係る真空ユニットにおける圧
力値設定方法の一実施例を添付図面を参照しながら以下
詳細に説明する。
力値設定方法の一実施例を添付図面を参照しながら以下
詳細に説明する。
【００１１】先ず、本発明に係る真空ユニットに組み込
まれた圧力情報処理装置10を図１に則して説明する。
まれた圧力情報処理装置10を図１に則して説明する。
【００１２】図中、参照符号Ｗはワーク、参照符号12は
真空システムに係る搬送手段に配設されたワーク吸着盤
を示す。この圧力情報処理装置10は圧力空気Ａｐの値
（負圧) に係る検知信号を送出する半導体圧力センサ1
6、定電流回路18、増幅器20を有している。そして、増
幅器20から導出された信号、すなわち、圧力空気Ａｐの
値（負圧）に対応したアナログ信号をデジタル信号Ｓ2
に変換するＡ／Ｄ変換器22と、ワンチップマイクロコン
ピュータ等のコントローラ30とを備え、当該コントロー
ラ30は、ＣＰＵ30ａ、プログラムを備えたＲＯＭ30ｂ、
Ｉ／Ｏ30ｃ等を有するとともに、後記される設定値アッ
プ／ダウン用のスイッチＳW1、ＳW2と、変更された値の
セット用のスイッチＳW3、設定値に係るリセット用のス
イッチＳW4が接続されている。さらに、後記される情報
を記憶せしめ且つ電源断において情報が保持されるＥＥ
（Ｅ2)ＰＲＯＭ32と、後記される設定値および情報の可
視的表示を行うためのＬＣＤドライバ34、ＬＣＤ38が接
続されている。
真空システムに係る搬送手段に配設されたワーク吸着盤
を示す。この圧力情報処理装置10は圧力空気Ａｐの値
（負圧) に係る検知信号を送出する半導体圧力センサ1
6、定電流回路18、増幅器20を有している。そして、増
幅器20から導出された信号、すなわち、圧力空気Ａｐの
値（負圧）に対応したアナログ信号をデジタル信号Ｓ2
に変換するＡ／Ｄ変換器22と、ワンチップマイクロコン
ピュータ等のコントローラ30とを備え、当該コントロー
ラ30は、ＣＰＵ30ａ、プログラムを備えたＲＯＭ30ｂ、
Ｉ／Ｏ30ｃ等を有するとともに、後記される設定値アッ
プ／ダウン用のスイッチＳW1、ＳW2と、変更された値の
セット用のスイッチＳW3、設定値に係るリセット用のス
イッチＳW4が接続されている。さらに、後記される情報
を記憶せしめ且つ電源断において情報が保持されるＥＥ
（Ｅ2)ＰＲＯＭ32と、後記される設定値および情報の可
視的表示を行うためのＬＣＤドライバ34、ＬＣＤ38が接
続されている。
【００１３】以上のように構成される圧力情報処理装置
を組み込む真空発生装置を図２に示す。
を組み込む真空発生装置を図２に示す。
【００１４】図２並びに図３において、参照符号50は真
空発生装置を示し、この真空発生装置50はバルブブロッ
ク52とエゼクタ54と検出部56とフィルタ58と接続部材60
とから基本的に構成されている。バルブブロック52には
空気供給ポート62、64および66が形成され、その内部に
エゼクタ54に圧縮空気を送給しまたは遮断するためのポ
ペット弁53が設けられ、さらにその上面には第１と第２
の電磁弁68、70が設けられている。第１電磁弁68は圧縮
空気の供給弁であり、第２電磁弁70は真空破壊用の電磁
弁である。第１電磁弁68、第２電磁弁70には夫々電源並
びにＯＮ／ＯＦＦ信号等の制御信号を図示しない導線を
介して送給すべく、第１コネクタ68ａ、第２コネクタ70
ａが設けられている。バルブブロック52に隣接してエゼ
クタ54が設けられる。エゼクタ54の内部にはノズル部55
とディフューザ部57とが設けられ、さらに該エゼクタ54
の上面にはサイレンサ72が配設され、このサイレンサ72
はエゼクタ54の前記ディフューザ部57から導出される圧
力空気によって生起する音を消音する。検出部56は真空
圧力を検出するものであり、その内部に半導体圧力セン
サ16を含む。検出部56はその上部にコネクタ部74、デジ
タル表示部76、アップ用スイッチＳW1、ダウン用スイッ
チＳW2、セット用のスイッチＳW3、リセット用スイッチ
ＳW4、を有し、さらに、表示部78、80を有する。デンタ
ル表示部76には、例えば、漢字またはカタカナで“故
障" “コショウ" 等の表示をすることができる。フィル
タ58は内部に疏水性部材からなり、水分の侵入を阻止す
るフィルタ本体61を含み、摘み82によって接続部材60に
着脱自在に装着されている。言うまでもないが、バルブ
ブロック52、エゼクタ54、サイレンサ72、検出部56、フ
ィルタ58は、夫々内部通路によって圧力流体が流通する
ことが可能なように連通状態にある。特に、検出部56の
内部には、ピエゾ等からなる半導体圧力センサ16 (差圧
型および容量型を含む) 、定電流回路 (定電圧回路)18
、増幅器20、Ａ／Ｄ変換器22、コントローラ30、Ｅ2
ＰＲＯＭ32、ＬＣＤドライバ34等が配設されている。コ
ネクタ部74は、図１に示す故障予知信号Ｓ4 並びに圧力
スイッチＳ6 を導出するために、導線の接続が可能であ
り、また、該コネクタ部74は検出部56に対する電源、制
御用信号線を接続することができ、さらに他の真空発生
装置、外部制御装置等に対してその圧力検出情報および
制御情報を提供すべく通信機能をもたせることができ
る。なお、この場合、第１コネクタ68ａ、第２コネクタ
70ａ、コネクタ部74を一体化し、まとめて弁に対する制
御信号、吸着確認、故障予知情報等を制御してもよい。
空発生装置を示し、この真空発生装置50はバルブブロッ
ク52とエゼクタ54と検出部56とフィルタ58と接続部材60
とから基本的に構成されている。バルブブロック52には
空気供給ポート62、64および66が形成され、その内部に
エゼクタ54に圧縮空気を送給しまたは遮断するためのポ
ペット弁53が設けられ、さらにその上面には第１と第２
の電磁弁68、70が設けられている。第１電磁弁68は圧縮
空気の供給弁であり、第２電磁弁70は真空破壊用の電磁
弁である。第１電磁弁68、第２電磁弁70には夫々電源並
びにＯＮ／ＯＦＦ信号等の制御信号を図示しない導線を
介して送給すべく、第１コネクタ68ａ、第２コネクタ70
ａが設けられている。バルブブロック52に隣接してエゼ
クタ54が設けられる。エゼクタ54の内部にはノズル部55
とディフューザ部57とが設けられ、さらに該エゼクタ54
の上面にはサイレンサ72が配設され、このサイレンサ72
はエゼクタ54の前記ディフューザ部57から導出される圧
力空気によって生起する音を消音する。検出部56は真空
圧力を検出するものであり、その内部に半導体圧力セン
サ16を含む。検出部56はその上部にコネクタ部74、デジ
タル表示部76、アップ用スイッチＳW1、ダウン用スイッ
チＳW2、セット用のスイッチＳW3、リセット用スイッチ
ＳW4、を有し、さらに、表示部78、80を有する。デンタ
ル表示部76には、例えば、漢字またはカタカナで“故
障" “コショウ" 等の表示をすることができる。フィル
タ58は内部に疏水性部材からなり、水分の侵入を阻止す
るフィルタ本体61を含み、摘み82によって接続部材60に
着脱自在に装着されている。言うまでもないが、バルブ
ブロック52、エゼクタ54、サイレンサ72、検出部56、フ
ィルタ58は、夫々内部通路によって圧力流体が流通する
ことが可能なように連通状態にある。特に、検出部56の
内部には、ピエゾ等からなる半導体圧力センサ16 (差圧
型および容量型を含む) 、定電流回路 (定電圧回路)18
、増幅器20、Ａ／Ｄ変換器22、コントローラ30、Ｅ2
ＰＲＯＭ32、ＬＣＤドライバ34等が配設されている。コ
ネクタ部74は、図１に示す故障予知信号Ｓ4 並びに圧力
スイッチＳ6 を導出するために、導線の接続が可能であ
り、また、該コネクタ部74は検出部56に対する電源、制
御用信号線を接続することができ、さらに他の真空発生
装置、外部制御装置等に対してその圧力検出情報および
制御情報を提供すべく通信機能をもたせることができ
る。なお、この場合、第１コネクタ68ａ、第２コネクタ
70ａ、コネクタ部74を一体化し、まとめて弁に対する制
御信号、吸着確認、故障予知情報等を制御してもよい。
【００１５】以上のように構成される真空発生装置にお
いて、先ず、動作開始指令信号Ｃ1 が供給されると、空
気供給ポート66から圧力空気が導入され、エゼクタ54に
おいて負圧が発生する。この負圧は接続部材60の図示し
ないポートに接続された吸着盤12を負圧とし、ロボット
等の搬送手段の稼働に伴い、該吸着盤12にワークＷが吸
着し、次いで非吸着（離脱）が行われる。これにより検
出部56内の半導体圧力センサ16に印加される圧力（負
圧）は図５に示される変化の圧力値ＰO1、ＰO2、ＰO3…
ＰON+1の状態となる。この場合、図から容易に理解され
るように、例えば、吸着盤12側の真空圧力の漏洩、フィ
ルタの目詰まりの理由により、経時的に最大圧力値（真
空度）が低下する場合がある。
いて、先ず、動作開始指令信号Ｃ1 が供給されると、空
気供給ポート66から圧力空気が導入され、エゼクタ54に
おいて負圧が発生する。この負圧は接続部材60の図示し
ないポートに接続された吸着盤12を負圧とし、ロボット
等の搬送手段の稼働に伴い、該吸着盤12にワークＷが吸
着し、次いで非吸着（離脱）が行われる。これにより検
出部56内の半導体圧力センサ16に印加される圧力（負
圧）は図５に示される変化の圧力値ＰO1、ＰO2、ＰO3…
ＰON+1の状態となる。この場合、図から容易に理解され
るように、例えば、吸着盤12側の真空圧力の漏洩、フィ
ルタの目詰まりの理由により、経時的に最大圧力値（真
空度）が低下する場合がある。
【００１６】ここで圧力値ＰO1、ＰO2、ＰO3…ＰON+1に
対応した信号は半導体センサ16、増幅器20、Ａ／Ｄ変換
器22を介してデジタル検知信号Ｓ2 に変換され、コント
ローラ30に入力される。
対応した信号は半導体センサ16、増幅器20、Ａ／Ｄ変換
器22を介してデジタル検知信号Ｓ2 に変換され、コント
ローラ30に入力される。
【００１７】当該コントローラ30では先ず、前記圧力変
化ＰO1の最大値（Ｐma）がＥＥ（Ｅ 2)ＰＲＯＭ32の第１
のアドレスを指定して記憶される。
化ＰO1の最大値（Ｐma）がＥＥ（Ｅ 2)ＰＲＯＭ32の第１
のアドレスを指定して記憶される。
【００１８】この後、スイッチＳW3がＯＮされて、応差
Ａに係る閾値ＰＨ1a、ＰＨ1bの値が演算されてＥＥ（Ｅ
2)ＰＲＯＭ32に記憶される。この場合、ＥＥ（Ｅ2)ＰＲ
ＯＭ32の第２のアドレスを指定し、且つ前記最大値（Ｐ
ma）の70％（閾値ＰＨ1a）が演算されて記憶される。次
いでＥＥ（Ｅ2)ＰＲＯＭ32の第３のアドレスを指定し、
且つ前記最大値（Ｐma）の65％（閾値ＰＨ1b）が演算さ
れて記憶される。
Ａに係る閾値ＰＨ1a、ＰＨ1bの値が演算されてＥＥ（Ｅ
2)ＰＲＯＭ32に記憶される。この場合、ＥＥ（Ｅ2)ＰＲ
ＯＭ32の第２のアドレスを指定し、且つ前記最大値（Ｐ
ma）の70％（閾値ＰＨ1a）が演算されて記憶される。次
いでＥＥ（Ｅ2)ＰＲＯＭ32の第３のアドレスを指定し、
且つ前記最大値（Ｐma）の65％（閾値ＰＨ1b）が演算さ
れて記憶される。
【００１９】ここで前記閾値ＰＨ1a、ＰＨ1bに対応し
て、圧力変化ＰO1乃至ＰON+1に伴う連続した圧力スイッ
チ信号Ｓ6 が導出される。当該圧力スイッチ信号Ｓ6 は
各種の制御駆動手段等、例えば、搬送装置のフルクロー
ズド制御、ＦＭＳ、ＣＩＭ等の情報処理に供される。
て、圧力変化ＰO1乃至ＰON+1に伴う連続した圧力スイッ
チ信号Ｓ6 が導出される。当該圧力スイッチ信号Ｓ6 は
各種の制御駆動手段等、例えば、搬送装置のフルクロー
ズド制御、ＦＭＳ、ＣＩＭ等の情報処理に供される。
【００２０】次いで、ＥＥ（Ｅ2)ＰＲＯＭ32の第４のア
ドレスを指定し、且つ前記最大値（Ｐma）の80％（閾値
Ｐｈ）が演算されて記憶される。
ドレスを指定し、且つ前記最大値（Ｐma）の80％（閾値
Ｐｈ）が演算されて記憶される。
【００２１】当該閾値Ｐｈは正常な最大圧力値、すなわ
ち、圧力変化ＰO1の最大値（Ｐma、最大真空度）から、
20％の低下点であり、当該閾値Ｐｈ以下において異常の
圧力状態とされる。
ち、圧力変化ＰO1の最大値（Ｐma、最大真空度）から、
20％の低下点であり、当該閾値Ｐｈ以下において異常の
圧力状態とされる。
【００２２】そして、前記圧力変化ＰO1乃至ＰON+1にお
いて、前記故障予知判定真空度である閾値Ｐｈ以下の異
常とされる圧力の変化、すなわち、前記圧力変化ＰO2乃
至Ｐ ON+1（信号としてのデジタル検知信号Ｓ2)が６回累
積記憶され、且つ予めスイッチＳW1、ＳW2並びにＳW3に
より設定された６回の異常回数設定値と一致した時、故
障予知信号Ｓ4 が連続して導出される。
いて、前記故障予知判定真空度である閾値Ｐｈ以下の異
常とされる圧力の変化、すなわち、前記圧力変化ＰO2乃
至Ｐ ON+1（信号としてのデジタル検知信号Ｓ2)が６回累
積記憶され、且つ予めスイッチＳW1、ＳW2並びにＳW3に
より設定された６回の異常回数設定値と一致した時、故
障予知信号Ｓ4 が連続して導出される。
【００２３】この場合の故障予知信号Ｓ4 の導出等に係
る処理はコントローラ30のプログラムの遂行により行わ
れ、且つ情報はＥＥ（Ｅ2)ＰＲＯＭ32に記憶されて、電
源断の後の再動作時に前記の動作状態に基づく故障予知
信号Ｓ4 が導出されて、前記情報の再現が行われる。
る処理はコントローラ30のプログラムの遂行により行わ
れ、且つ情報はＥＥ（Ｅ2)ＰＲＯＭ32に記憶されて、電
源断の後の再動作時に前記の動作状態に基づく故障予知
信号Ｓ4 が導出されて、前記情報の再現が行われる。
【００２４】このようにして、圧力変化ＰO1の最大値
（Ｐma）に対する閾値ＰＨ1a、ＰＨ1bおよびＰｈが自動
的、且つ正確に設定される。
（Ｐma）に対する閾値ＰＨ1a、ＰＨ1bおよびＰｈが自動
的、且つ正確に設定される。
【００２５】なお、前記の閾値ＰＨ1a、ＰＨ1bおよびＰ
ｈの値である70％、65％、80％は変更が可能である。こ
の場合、リセット用のスイッチＳW4がＯＮすることによ
ってクリヤされ、続いて、アップ／ダウン用のスイッチ
ＳW1、ＳW2がＯＮすることによって、例えば、５％ステ
ップによる数値の変更が行われた後、スイッチＳW3によ
って設定すればよい。
ｈの値である70％、65％、80％は変更が可能である。こ
の場合、リセット用のスイッチＳW4がＯＮすることによ
ってクリヤされ、続いて、アップ／ダウン用のスイッチ
ＳW1、ＳW2がＯＮすることによって、例えば、５％ステ
ップによる数値の変更が行われた後、スイッチＳW3によ
って設定すればよい。
【００２６】なお、上記の実施例では、圧力変化ＰO1の
最大値（Ｐma）に対して、デジタル的に閾値ＰＨ1a、Ｐ
Ｈ1bおよびＰｈの値の設定を行っているが、他の実施例
として、圧力変化ＰO1の圧力カーブを記憶せしめて、上
記と同様に、閾値ＰＨ1a、ＰＨ1bおよびＰｈの設定を行
うこともできる。
最大値（Ｐma）に対して、デジタル的に閾値ＰＨ1a、Ｐ
Ｈ1bおよびＰｈの値の設定を行っているが、他の実施例
として、圧力変化ＰO1の圧力カーブを記憶せしめて、上
記と同様に、閾値ＰＨ1a、ＰＨ1bおよびＰｈの設定を行
うこともできる。
【００２７】図４はエゼクタを組み込んだ図３の真空発
生装置50に対する別の実施例であり、エゼクタ54に代替
して真空ポンプ（図示せず）をポート66に接続するよう
に構成している。
生装置50に対する別の実施例であり、エゼクタ54に代替
して真空ポンプ（図示せず）をポート66に接続するよう
に構成している。
【００２８】このため、ポペット弁53の形状は略同じで
あるが、該ポペット弁53をコイルスプリング80によって
復帰動作させる。残余の構成は図３に示す真空発生装置
50と同じであるので、その詳細な説明を省略する。
あるが、該ポペット弁53をコイルスプリング80によって
復帰動作させる。残余の構成は図３に示す真空発生装置
50と同じであるので、その詳細な説明を省略する。
【００２９】なお、その作用効果は実質的に図３の真空
発生装置と同じである。また、図３並びに図４に示す真
空発生装置は複数個連設してマニホールド化することも
できる。例えば、特開昭63−154900号の図５に開示され
ている構成の如く組み込めばよい。
発生装置と同じである。また、図３並びに図４に示す真
空発生装置は複数個連設してマニホールド化することも
できる。例えば、特開昭63−154900号の図５に開示され
ている構成の如く組み込めばよい。
【００３０】
【発明の効果】以上のように、本発明の真空ユニットに
おける圧力値設定方法によれば、圧力検知素子から検出
される真空圧に係る圧力値をデジタル的に表示し、ある
いは該所定の目的に利用される圧力値をスイッチ手段を
介してデジタル的に容易に設定できる。すなわち、複数
の所定の圧力値を定量的に設定することができる。
おける圧力値設定方法によれば、圧力検知素子から検出
される真空圧に係る圧力値をデジタル的に表示し、ある
いは該所定の目的に利用される圧力値をスイッチ手段を
介してデジタル的に容易に設定できる。すなわち、複数
の所定の圧力値を定量的に設定することができる。
【図１】本発明に係る真空発生装置の圧力設定のための
ブロック回路図である。
ブロック回路図である。
【図２】本発明の圧力情報処理方法が適用される真空発
生装置の全体斜視説明図である。
生装置の全体斜視説明図である。
【図３】図２に示す真空発生装置の一部省略縦断説明図
である。
である。
【図４】本発明に係る真空発生装置の他の実施例の一部
省略縦断面図である。
省略縦断面図である。
【図５】本発明の圧力情報処理における閾値設定方法の
説明図である。
説明図である。
【図６】従来の技術の動作説明に供される図である。
16…半導体圧力センサ 22…Ａ／Ｄ変換器30…コントローラ 32…ＥＥ（Ｅ2)ＰＲＯＭ 38…ＬＣＤ ＰＨ1a、ＰＨ1b、Ｐｈ……閾値 Ｐma…最大値 Ｓ2 …デジタル検知信号 Ｓ4 …故障予知信号 Ｓ6 …圧力スイッチ信号 ＳW1〜ＳW4…スイッチ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 吉治 埼玉県草加市稲荷６−19−１ エスエム シー株式会社 草加工場内 (56)参考文献 特開 昭63−18414（ＪＰ，Ａ) 特開 昭51−49774（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−172094（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−15912（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−103809（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G05D 16/00 - 16/20
Claims (2)
- 【請求項１】真空ユニットにおいて、真空ポートに連通
する通路に臨む圧力検出素子によって検出された最大真
空圧力値に基づいて所望の応差に対応して予め設定され
る閾値をデジタル的に表示手段に表示せしめるととも
に、前記閾値を記憶手段に記憶せしめ、前記圧力検出素
子から導出されるアナログの検出信号をデジタル信号に
変換した後、前記表示手段にデジタル的に表示せしめ、
さらに、前記記憶されている閾値と該検出された真空圧
力値とを比較し、前記閾値に対応する圧力スイッチ信号
を導出することを特徴とする真空ユニットにおける圧力
値設定方法。 - 【請求項２】 真空ユニットにおいて、真空ポートに連通
する通路に臨む圧力検出素子によって検出された最大真
空度に基づいて予め設定される故障予知判定真空度をデ
ジタル的に表示手段に表示せしめるとともに、前記故障
予知判定真空度を記憶手段に記憶せしめ、前記圧力検出
素子から導出されるアナログの検出信号をデジタル信号
に変換した後、前記表示手段にデジタル的に表示せし
め、さらに、前記記憶されている故障予知判定真空度と
該検出された真空度とを比較して、予め設定された異常
回数設定値と一致したときに故障予知信号を導出するこ
とを特徴とする真空ユニットにおける圧力値設定方法。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2891991A JP2953797B2 (ja) | 1991-02-22 | 1991-02-22 | 真空ユニットにおける圧力値設定方法 |
| EP92102715A EP0500064B1 (en) | 1991-02-22 | 1992-02-19 | Method of processing vacuum pressure information in a vacuum unit to provide a failure precognition signal |
| DE69214976T DE69214976T2 (de) | 1991-02-22 | 1992-02-19 | Verfahren einer Verarbeitung von Vakuumdruckinformation in einer Vakuumeinheit zur Versagensvorkenntnis |
| KR1019920002576A KR950005892B1 (ko) | 1991-02-22 | 1992-02-20 | 진공압력처리방법 및 장치 |
| TW081101245A TW212232B (ja) | 1991-02-22 | 1992-02-20 | |
| AU11169/92A AU641307B2 (en) | 1991-02-22 | 1992-02-21 | Method of and apparatus for processing vacuum pressure information |
| US08/393,035 US5475619A (en) | 1991-02-22 | 1995-02-23 | Method of and apparatus for processing vacuum pressure information |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2891991A JP2953797B2 (ja) | 1991-02-22 | 1991-02-22 | 真空ユニットにおける圧力値設定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04268611A JPH04268611A (ja) | 1992-09-24 |
| JP2953797B2 true JP2953797B2 (ja) | 1999-09-27 |
Family
ID=12261813
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2891991A Expired - Fee Related JP2953797B2 (ja) | 1991-02-22 | 1991-02-22 | 真空ユニットにおける圧力値設定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2953797B2 (ja) |
-
1991
- 1991-02-22 JP JP2891991A patent/JP2953797B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04268611A (ja) | 1992-09-24 |
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