JPH054524B2 - - Google Patents

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JPH054524B2
JPH054524B2 JP62062803A JP6280387A JPH054524B2 JP H054524 B2 JPH054524 B2 JP H054524B2 JP 62062803 A JP62062803 A JP 62062803A JP 6280387 A JP6280387 A JP 6280387A JP H054524 B2 JPH054524 B2 JP H054524B2
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JP
Japan
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cylinder
slide
linear motor
guide ribs
guide
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JPS62233058A (ja
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Shutooru Kuruto
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Festo SE and Co KG
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Festo SE and Co KG
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Publication date
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Publication of JPS62233058A publication Critical patent/JPS62233058A/ja
Publication of JPH054524B2 publication Critical patent/JPH054524B2/ja
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/08Characterised by the construction of the motor unit
    • F15B15/14Characterised by the construction of the motor unit of the straight-cylinder type
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/02Mechanical layout characterised by the means for converting the movement of the fluid-actuated element into movement of the finally-operated member

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Actuator (AREA)
  • Transmission Devices (AREA)
  • Linear Motors (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、シリンダの少なくとも一方の端面を
貫通するピストンロツドを取付けた、軸方向に摺
動可能なピストンを収容したシリンダを具備し、
かつ、ピストンロツドのシリンダ外部へ突出する
部分は、シリンダに設けた送りガイドと関連し
て、ピストンロツドと共にシリンダの軸方向に移
動するねじれ防止素子に固着され、これによりね
じれを防止してあるリニアモータに関する。
[従来の技術] 前記の形式のリニアモータは、例えば西ドイツ
国実用新案第8505017号明細書により公知であり、
シリンダ外部のピストンロツドに連続する動力取
出装置を直線変位させるために使用される。
リニアモータは、例えば、ピストンで仕切られ
たシリンダ内の作動空間へ空気を導入するなどし
て、適当に加圧することにより作動される。
ピストンロツドの、ねじれ、すなわちシリンダ
に対する回転を防止することにより、普通、荷役
またはロボツト工学などの分野で絶対条件とされ
る、動力取出装置の正確な位置決めが可能にな
る。
公知のリニアモータは、この目的を達成するた
めに、ピストンロツドと平行に延出し、キヤリア
でピストンロツドに接続されたロツドを備えてお
り、このロツドは、シリンダ上に設けられる環状
の送りガイドで案内される。
送りガイドの軸方向の寸法を比較的短くしてあ
るため、ねじれ防止素子の適当な精度が得られ
ず、ピストンロツド上での位置が遠くなる程、精
度は低くなる。それは、ピストンロツドが動力取
出装置を通してトルクの影響を受けるとき、特に
顕著になる。
また、前記のような設計の場合、大きな荷重を
移動させる際には、ピストンロツドを支持するた
めの高価な付加的外部装置が必要となる。何故な
ら、公知のねじれ防止装置は、この種の支持機能
に適していないからである。
公知のねじれ防止装置では、十分なねじれ剛性
が得られないため、動力取出装置の正確な位置決
め実際上不可能である。
[発明が解決しようとする問題点] 本発明は、ねじれが確実に防止されており、ピ
ストンのストロークとは無関係に支持でき、しか
も簡単な装置で正確な位置決めをなしうるピスト
ンロツドを備える前記形式のリニアモータを提供
することを目的とする。
[問題点を解決するための手段] 前記問題点を解決するため、本発明のリニアモ
ータでは、送りガイドは、シリンダの外周上で、
所定の距離で互いに離隔し、概ねシリンダの全長
に亘るべく延びる少なくとも2つのガイドリブを
備え、かつ、ねじれ防止素子は、シリンダの外側
に取外し不能に装着されるとともに、ガイドリブ
に沿つて水平に案内されるスライドを備え、この
スライドは、ガイドリブの少なくとも一部を包囲
しうるべく設計されている。
[作用] ピストンのストロークに限定されずに、送りガ
イド上でガイドリブの最大長に沿つて、ねじれ防
止装置を案内することにより、ピストンロツド
は、微小なねじれさえも受けずに動力取出装置か
ら生じるトルクを吸収することができる。
スライドは、ガイドリブを包囲するとともに、
シリンダから取外しできぬように装着されるの
で、ピストンロツドを最適に支持することがき、
従つて、スライドは、たわみを生じることなく横
応力を吸収することができる。このようにして、
位置決めや位置検知の用途に最適なねじれ剛性を
有するねじれ防止素子を得ることができる。
[実施例] 本発明のリニアモータの実施例を、添付の図面
に基づき説明する。
本発明のリニアモータは、軸方向に摺動可能な
ピストン6を収容したシリンダ5を具備している
(第3図参照)。シリンダ5の両端部には、端部カ
バー7が設けられている。ピストンには、シリン
ダボア10と同軸方向に延出し、一方のシリンダ
端面9か、もしくはこれに取付けた端部カバー7
を貫通するピストンロツド8が、シール状態で取
付けられている。
ピストンロツドは、シリンダの両方の端面を貫
通するように設計してもよい。
シリンダ5に対するピストンロツド8のねじれ
防止装置14が設けられている。この装置は、シ
リンダ5に固着した送りガイド17によつて、シ
リンダの軸方向に案内されるスライド19型式の
ねじれ防止素子18からなつている。スライド1
9は、ピストンロツド16のシリンダ5から突出
する部分に、着脱可能に、また回転しないよう
に、キヤリア15で取付けられている。
キヤリア15は、第1図に示すように、ブラケ
ツト型のもので、スライド19にボルト締めする
か、あるいはは、スライド19と一体的に形成さ
れている。キヤリア15は、留めねじ21など
で、ピストンロツド8に固定するためのスリーブ
20を備えていることが望ましい。
送りガイド17には、シリンダ5の外周上で、
互いに離隔し、かつ、概ねシリンダ5の全長に亘
る少なくとも2つのガイドリブ22,22′が設
けられている。両ガイドリブは、実施例に示すよ
うに、シリンブチユーダを所要の形状に成形し
て、シリンダ5と一体的に設けるのが望ましい。
スライド19は、2つのガイドリブ22,2
2′の少なくとも一部を囲むようにして、シリン
ダ5の外部に取付けられ、シリンダ5から上方へ
離脱しないように防止してある。組立に際して
は、スライドは、適当な方法でガイドリブに嵌合
される。
リニアモータの作動時、すなわちピストンロツ
ド8の摺動時、スライド19も共に、ガイドリブ
22,22′に沿つて水平に往復運動をする。ス
ライド19は、ガイドリブ22,22′の一部を
囲んでいるので、シリンダ5に対して水平に支持
される。従つて、ピストンロツド8に作用する横
方向の応力をスライド19で吸収することがで
き、かつ、ピストンロツド8及びシリンダ端面9
のシールが破損するのを防止することができる。
互いに離隔する2つのガイドリブ22,22′
は第2図の断面に示すように、スライド19を2
点で支持しているので、ピストン8に作用する高
トルクは、スライド19で吸収される。
前記実施例では、シリンダチユーブ23の外周
には、均等間隔で離隔し、かつ、シリンダ5の全
長に亘つて延びる同一形状の4つのリブ24を、
切削成形してある。各リブ24は、シリンダ5の
径方向の反対側に位置する他のリブ24と対向
し、また、第2図の断面を正方形と考えると、4
つののリブは、4つの角に位置することになる。
各リブは、シリンダの軸方向に沿つて、シリン
ダ5の外面から放射状に大きく突出し、それぞれ
隣接するリブとの間には、溝すなわち凹部30が
形成されている。これら4つの凹部は、シリンダ
ボア10に向かつて僅かに凹み、かつ、その底面
31とこれに続くリブ部分との間は、滑らかにつ
ながつている。
4つのリブの中、シリンダの外周上で互いに隣
接する2つのリブは、前記実施例における、ガイ
ドリブ22,22′に相当する。他の2つのリブ
の機能については後述する。
スライド19と協働するガイドリブ22,2
2′のガイド面32は、第2図の断面図に示すよ
うにアーチ型に盛上がつている。これは、シリン
ダの外表面の一部と同じ形状をしているとも言え
る。
図示のように、ガイド面32は、ガイドリブ2
2,22′の表面全体と形状を一致させて、シリ
ンダの凹部30の底面31と滑らかにつなげるの
が適当である。
スライド19は、その基板33と一体的に形成
されたつかみ片34で、ガイドリブ22あるいは
22′を包囲するとともに、凹部30上に基板3
3が被さるようにして、シリンダ5上に取付けら
れる。
また、スライド19は、ガイド面32と相補的
な断面の摺動面35を備え、ガイド面32上を自
由に摺動する。前記実施例では、2つの湾曲した
摺動面35が設けられているが、これらは同時
に、つかみ片34のシリンダに対する接触面に相
当する。
基板33は、シリンダ5の長手方向の寸法と等
しい長さの板状のものとし、スライド19の断面
が概ねC字形を呈し、かつ、つかみ片34がC字
形の2つの先端に対応するように設計することが
望ましい。
スライド19が、シリンダ5から外れるのを、
次のように防止してある。すなわち、スライド1
9は、2つのガイドリブ22,22′を、シリン
ダの外周上で互いに対向するそれぞれの側縁部で
包囲している。また、各ガイド面32の一部は、
スライド19とは反対方向に、かつシリンダ5の
外周とは反対方向を向いている。
前記構造により、スライド19は、側方に突出
する、2つの湾曲した摺動面との協動によつてシ
リンダ5上を案内され、それにより、スライド1
9の位置は中央に保持されるとともに、その往復
運動は水平に保たれる。
上記実施例において、ガイドリブと対向する付
加的なリブ24も、必要に応じ、追加のスライド
のためのガイドリブとして、あるいはガイドレー
ルとして利用される。これは、ピストンロツドに
非常に大きな横応力が加わる場合や、あるいは、
ピストンロツドがシリンダの両端部を貫通してい
る場合に用いることが望ましい。
後者の場合、一方のスライドは、一方のシリン
ダ端面から突出するピストンロツド部に接続さ
れ、他方のスライドは、反対側のシリンダ端面か
ら突出するピストンロツド部に接続される。
スライド19を正確に案内することにより、ピ
ストンロツドや、あるいは図では省略してある動
力取出装置の位置決めを、簡単かつ正確に行うこ
とができる。
この目的のため、スライド19の往復路上に
は、少なくとも1つのストツパを設ける。このス
トツパは、シリンダの軸方向の位置を調節すると
とができ、かつ所望の位置で固定することができ
るものがよい。
第1図に示すように、第1ストツパ37が、ピ
ストンロツド8が突出していない側のシリンダ端
部36に設けられている。この第1ストツパ37
は、スライド19の摺動路上に突出し、スライド
端部28あるいはそのストツプ面と協働する。
第1図の例では、第1ストツパ37は、シリン
ダ端面にボルトで固定されるが、別のストツパ支
持材(図では省略)に、調節可能に取付けること
もできる。
また、第3図及び第4図に示すように、シリン
ダ5の外周上、特に、ガイドリブ22,22′の
間の凹部30に、第1ストツパ37を設けること
もできる。この場合、凹部30の中央には、シリ
ンダの長さ全体に延びる案内溝44を設け、スト
ツパ37を、矢印41方向に調節可能として、案
内溝44内に取付ける。
第1ストツパ37は、ピストンロツドの後退距
離、すなわち停止位置を決定する。
ピストンロツド8の前進距離を規制するため
に、第2ストツパ38を設けることが望ましい。
第2ストツパ38は、ピストンロツド部16が
突出する側のシリンダ端部36と関連させて、ガ
イドリブ22,22′の間のシリンダの外周上に
設けることが望ましい。
第2ストツパ38は、シリンダの軸方向に設け
たスロツト39から突出させる。スロツト39の
長さは、シリンダの最大ストローク長に概ね一致
させる。
シリンダのストロークを限定するため、第1ス
トツパ37に近接するスロツト39の端部にスト
ツプ面40を設け、これに第2ストツパ38が当
接しうるようにする。
第2ストツパ38も、矢印43で示すように、
シリンダ5の軸方向に調節可能であることが望ま
しい。このため、第2ストツパ38もまた、第1
ストツパ37のための案内溝44と同様の軸方向
の溝内に支持される(第4図参照)。
図示されていないが、両ストツパ37,38
を、スロツト39に設け、各ストツパを、それぞ
れ近接するスロツトの端で停止させて、ピストン
ロツドのストロークを限定してもよい。
また、本発明のリニアモータは、例えば、ピス
トンロツドの移動方向を反転させるために、スラ
イド端部が近づくと信号を発信する接近センサ4
5,46を具備している。
図示した例では、簡略化のために、両接近セン
サ45,46は、ストツパ37,38に直接設け
てあり、スライド19と対向するストツプ面2
8,40と協働させる。
接近センサは、ストツパに浅く取付ける誘導性
接近センサか、あるいは接近信号発信装置として
設計することが望ましい。
また、本発明のリニアモータは、第3図及び第
4図に示すように、ピストンロツド8の位置決定
装置を具備している。
この目的のため、スライド19には、一方のつ
かみ片34の部分に、スライドと共に移動すセン
サ47が取付けられている。このセンサは、スラ
イド端部28の近傍に取付けて、シリンダの全長
に亘つて移動できるようにするのが好ましい。
センサ47は、これを取付けてあるつかみ片3
4の近傍でシリンダ外周上に設けられた1つ以上
のパルス発振装置48と協働する。
もちろん、センサ47は、シリンダ上に取付け
ることもできる。この場合、パルス発振装置は、
スライドに取付ける。
シリンダが作動中、センサとパルス発振装置の
相対的な位置関係は変化するので、スライドが所
定の位置に来ると、両者の位置関係は逆転し、セ
ンサから制御信号が発信される。
この制御信号は、例えば、シリンダの作動方向
を反転させたり、あるいはリニアモータと協働し
て作動する外部機械を制御するために使用でき
る。
第3図及び第4図に示す実施例では、センサ4
7は、磁界を作り、かつ、金属片などでその磁界
が変化すると、制御信号を発信する誘導性センサ
である。
シリンダ上には、1列の金属素子49が軸方向
に設けられ、パルス発振装置の役目をする。
スライドが移動すると、センサ47は、金属素
子を次々に通過し、各金属素子を通過する度に、
制御信号を伝達する。
この個々の制御信号により、ピストンのストロ
ークが測定できる。あるいは、一定数の制御信号
を受取ると、シリンダへの加圧媒体の供給を中止
するようにして、ピストンロツドの位置を決定す
ることもできる。
パルス発振装置48の数は、必要に応じて選択
できるが、ピストンのストロークの限界を表示す
るためには、2つにするのが望ましい。
図示を省略した他の実施例では、センサを、リ
ード接点とし、一方、パルス発振装置を磁気応用
部品として設計してある。
センサ及びパルス発振装置の双方、あるいはい
ずれか一方を、シリンダの軸方向に調節ができ、
かつ固定できるものとすることが望ましい。
ピストンのストロークの瞬時位置を可視化する
ために、第1図に示すリニアモータでは、スライ
ド上にシリンダの軸方向の目盛を付し、スライド
を、ポインタ51と協働させる。目盛は、一方の
つかみ片34の外表面に付され、ポインタ51
は、スライド19に近接する凹部30上に設けら
れる。
ポインタ51を固定して取付ける場合には、ピ
ストンロツド側のシリンダ端面9の近傍に設ける
ことが望ましい。第1図の実施例では、ピストン
のストローク長を変更できるように、ポインタ
は、シリンダの軸方向に延びる案内溝52に、移
動可能に設けられる。
もちろん、前記ストツパ及び表示装置は、別々
に、あるいは必要に応じた組合せ方により、リニ
アモータに取付けることができる。
スライド19の長さは、少なくとも、キヤリア
15の反対側のスライド端部が、案内リブのガイ
ド面32に常に接触しうるべく決定する。
摺動面は、必ずしも、キヤリアからスライド端
部に至るまで設ける必要はないが、スライドの製
造を簡単にするためには、全体的に設けるほうが
よい。
[発明の効果] 前記した効果に加え、本発明のリニアモータ
は、特に小型化されており、簡単かつ経済的に製
造できる。
本発明の有利な展開を、実施態様項あげてあ
る。
特許請求の範囲第3項に記載の態様によれば、
シリンダ上の2つの湾曲ガイドに沿つて、正確
な、偏心のない、しかも摩耗しにくい送りを行う
ことができる。
特許請求の範囲第4項に記載の態様によれば、
特に構造を小型化できる。
特許請求の範囲第5項に記載の態様によれば、
簡単に製造でき、ガイドリブの追補的な仕上げ加
工が不要となる。
特許請求の範囲第6項に記載の態様によれば、、
スライドを、ピストンロツド側へ延長するか、あ
るいはシリンダの外側に、第2スライドなどの部
品を更に取付けて、ピストンロツドを大荷重から
保護することが出来る。
特許請求の範囲第6項乃至第14項で説明した
態様は、ピストンロツドの正確な位置決定、ある
いはピストンのストロークの測定に特に適してい
る。
ピストンロツドの移動方向の反転や、別の機械
部品を起動させるなどその他の切換え作用を、ピ
ストンロツドの位置に応じて行わせることができ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明のリニアモータの第1実施例
の斜視図、第2図は、第1図のリニアモータの線
−における断面図、第3図は、本発明のリニ
アモータの別の実施例の側面図、第4図は、第3
図のリニアモータの平面図である。 5……シリンダ、6……ピストン、7……端部
カバー、8……ピストンロツド、9……シリンダ
端面、10……シリンダボア、14……ねじれ防
止装置、15……キヤリア、16……ピストンロ
ツド部、17……送りガイド、18……ねじれ防
止素子、19……スライド、20……スリーブ、
21……留めねじ、22,22′……ガイドリブ、
23……シリンダチユーブ、24……リブ、28
……スライド端部、30……凹部、31……底
面、32……ガイド面、33……基板、34……
つかみ片、35……摺動面、36……シリンダ端
部、37……第1ストツパ、38……第2ストツ
パ、39……スロツト、40……ストツプ面、4
1,43……矢印、44……案内溝、45,46
……接近センサ、47……センサ、48……パル
ス発振装置、49……金属素子、50……目盛、
51……ポインタ、52……案内溝。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 シリンダの少なくとも一方の端面を貫通する
    ピストンロツドを取付けた、軸方向に摺動可能な
    ピストンを収容したシリンダを具備し、かつピス
    トンロツドのシリンダ外部へ突出する部分は、シ
    リンダに固着した送りガイドと協働して、ピスト
    ンロツドと共にシリンダの軸方向に移動するねじ
    れ防止素子に固着され、これによりねじれを防止
    してあるリニアモータであつて、 送りガイド17は、シリンダ5の横軸方向に沿
    つて、シリンダ5の外表面から径方向に概ね放射
    状に突出し、かつシリンダ5の外周上で互いに離
    隔し、少なくともシリンダ5の長さ全体に亘る少
    なくとも2つのガイドリブ22,22′を有し、 ねじれ防止素子18は、シリンダ5の外部に取
    外し不能に取付けられ、ガイドリブ22,22′
    で水平に案内され、かつ、ガイドリブ22,2
    2′を少なくとも部分的に包囲するスライドを備
    えており、このスライド19の軸方向の寸法は、
    シリンダ5の長さに概ね一致していることを特徴
    とするリニアモータ。 2 スライド19は、ガイドリブ22,22′を、
    シリンダ5の外周上で互いに対向するそれぞれの
    側縁部で、つかみ片で包囲し、かつ、ガイドリブ
    22,22′の少なくともガイド面32は、シリ
    ンダ表面の一部と一致する凹型に成形され、更
    に、スライド19の摺動面35は、これと相補的
    な形状を呈するガイド面32と摺動可能に当接し
    ていることを特徴とする特許請求の範囲第1項に
    記載のリニアモータ。 3 ガイドリブ22,22′のガイド面32の一
    部は、スライド19と対向するシリンダ5の外周
    に向いていることを特徴とする特許請求の範囲第
    2項に記載のリニアモータ。 4 スライド19は、2つのガイドリブ22,2
    2′の間の凹部30に被せるように装着される、
    2つのガイドリブ22,22′の間の距離と概ね
    等しい幅の平板型の基板33を備えており、か
    つ、つかみ片34は、それぞれのガイドリブ2
    2,22′に接する基板の各側面に一体的に形成
    され、隣接するガイドリブを包囲しうることを特
    徴とする特許請求の範囲第3項に記載のリニアモ
    ータ。 5 シリンダ5のシリンダチユーブ23は、例え
    ば、シリンダ5の外周上で均等に離隔する4つの
    ガイドリブ22,22′,24として形成される、
    数個のガイドリブ22,22′,24を備える削
    成管であることを特徴とする特許請求の範囲第1
    項に記載のリニアモータ。 6 少なくとも1つの調節可能かつ固定可能なス
    トツパ37,38を、シリンダ5の往復路に沿つ
    て設けてあり、かつ、このストツパは、ピストン
    ロツド8と対向するシリンダ端部36に取付て、
    近接するスライド端部28か、もしくはその上に
    設けられたストツプ面と協働しうることを特徴と
    する特許請求の範囲第1項に記載のリニアモー
    タ。 7 ストツパ38は、スライド19を被せたガイ
    ドリブ22,22′の間のシリンダ外周上に、シ
    リンダ表面から突出して設けられ、かつ、スライ
    ド19の長手方向に開口するスロツト39から突
    出し、スロツト39の長さを限定するストツプ面
    40と協働してシリンダのストロークを限定する
    ための装置として機能させ、更に、ストツパ38
    は、スロツト39の、ピストンロツド8と対向す
    る端と当接しうることを特徴とする特許請求の範
    囲第6項に記載のリニアモータ。 8 2つのストツパ37,38は、スロツト39
    の内側に設けられ、各ストツパは、スロツト39
    における近接する端のストツプ面と協働しうるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第7項に記載のリ
    ニアモータ。 9 ストツパ37,38の摺動を案内する軸方向
    の案内溝44を、シリンダ5の外周上に設けてあ
    ることを特徴とする特許請求の範囲第6項乃至第
    8項のいずれかに記載のリニアモータ。 10 スライド19と関連して作動する少なくと
    も1つの接近センサ45,46を備え、この近接
    センサは、スライド19上の近接するストツプ面
    28,40と協働しうるべく、ストツパ37,3
    8と一体的に成形され、かつ、スライド19の往
    復路に突出する誘導性接近センサあるいは接近信
    号送信装置となつていることを特徴とする特許請
    求の範囲第1項乃至第9項のいずれかに記載のリ
    ニアモータ。 11 スライド19あるいはシリンダ5は、リー
    ド接点として設計された少なくとも1つの位置調
    節可能なセンサー47を備えており、パルス発振
    装置48は、磁気応用部品もしくは磁界を送り出
    す誘導性センサであつて、かつ、パルス発振装置
    48は金属素子49からなり、他の部材5,19
    に設けられた少なくとも1つのパルス発振装置4
    8と協働し、更に、センサ47とパルス発振装置
    48は、スライドの動きに応じて相対的な位置関
    係を変化させ、所定の送り位置近接して擦れ違う
    ことを特徴とする特許請求の範囲第10項に記載
    のリニアモータ。 12 1列の金属素子49は、スライド19ある
    いはシリンダ5上に、シリンダ5の軸方向に設け
    られ、かつ、ピストン6あるいはピストンロツド
    8のパルス発振装置48からのストロークを計る
    ために、1つずつ検出もしくは計算されることを
    特徴とする特許請求の範囲第11項に記載のリニ
    アモータ。 13 シリンダ5あるいはスライド19は、他の
    部材19,5に設けられたポインタ51と協働し
    て位置測定をするための軸方向の目盛50を備え
    ていることを特徴とする特許請求の範囲第12項
    に記載のリニアモータ。 14 目盛50およびポインタ51が、スライド
    19の摺動方向に関し、送り側面に設けられるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第13項に記載の
    リニアモータ。 15 センサ47および/又はパルス発振装置4
    8が、スライド19の摺動方向に関し、送り側面
    に設けられることを特徴とする特許請求の範囲第
    11項乃至第14項のいずれかに記載のリニアモ
    ータ。 16 シリンダの外表面が、ガイドリブ22,2
    2′の近傍及びスライド19に隣接する両側面に
    おいて、シリンダの方向に凹ませてある特許請求
    の範囲第14又は第15項に記載のリニアモー
    タ。
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