JP4657894B2 - リニアアクチュエータ及び案内装置 - Google Patents
リニアアクチュエータ及び案内装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4657894B2 JP4657894B2 JP2005324186A JP2005324186A JP4657894B2 JP 4657894 B2 JP4657894 B2 JP 4657894B2 JP 2005324186 A JP2005324186 A JP 2005324186A JP 2005324186 A JP2005324186 A JP 2005324186A JP 4657894 B2 JP4657894 B2 JP 4657894B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mover
- bearing
- portions
- linear actuator
- axes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Linear Motors (AREA)
Description
そこで、スピンドルの先端に取り付けられたドリルでプリント基板に穴を明ける装置において、スピンドルの位置決め駆動用にリニアアクチュエータを使用したものが開発され始め、また改良が加えられている。
可動子2には、Z軸方向に沿って、複数の永久磁石21−m(m=1〜n)が、その磁極が交互となるように配置されている。
可動子2は、回転ローラ71−1、回転ローラ71−2、回転ローラ71−3及び回転ローラ71−4によって、図中におけるY軸方向の動きが規制されている。そして、可動子2の回転ローラと接触する部分には、可動子2の摩耗を防止するためのカバー22−1及びカバー23−1がそれぞれ設けられている(特許文献1)。
それぞれの回転ローラは、後述するブロックによって保持されている。そして、可動子2、回転ローラ71−1、回転ローラ71−2、回転ローラ71−3、回転ローラ71−4及びブロックで案内装置が構成される。
固定子3及び固定子4は、可動子2を挟む対向部を磁極とする電磁石であり、それぞれの対向部間の磁力線(例えば、磁力線101及び磁力線102)の方向が交互となるように配置されている。固定子の材質は、高透磁率の金属材料である。
固定子3及び固定子4の対向部間で発生する磁力線と、可動子2に設けられた永久磁石の発生する磁力線との相互作用によって、可動子2には駆動力が発生し、可動子2はZ軸方向に往復運動する。
以下、隣接する固定子間にスペーサ7が挿入されている場合も固定子ユニット3−m(m=1〜n)と言うことにする。固定子ユニット3−mは、ブロック5−mに挟まれるようにしてブロック5−mに固定されている。ブロック5−mは、それぞれ取り付け台8に固定されている。
このように可動子の円柱状部をC型軸受と貫通孔の円筒状部でX、Y両方向から取り囲むことにより、可動子のX、Y方向への移動を規制することができる。
図1に示すように、リニアアクチュエータ1は、固定子ユニット3−m(m=1〜n)がブロック5−m(m=1〜n+1)に挟まれた状態で可動子2がそれぞれのブロックに支持されることによって形成される。
貫通孔51は、直径がC型軸受の外径と同じ直径(C型軸受の製造元によって指定されたC型軸受を保持するための直径)であり、かつ、中心間距離が一対の円柱状部211及び円柱状部212の軸線間距離と同じである一対の円筒状部と、一対の円筒状部とそれぞれ繋がる可動子2の通過部とからなる。可動子2の通過部は、図2においては、長辺の間隔がC型軸受の外径よりも小さい長方形であるが、可動子2が通過できるのであればどのような形状でもよい。
貫通孔51の円筒状部によって、C型軸受531及びC型軸受532が保持されている。C型軸受531及びC型軸受532の内径は、円柱状部211及び円柱状部212の外径と同じである。C型軸受531及びC型軸受532は、円柱状部211及び円柱状部212をそれぞれ支持している。
C型軸受531及びC型軸受532が貫通孔内で回転し、板状部215に接触すると、C型軸受の内径側端部が破損してしまう場合がある。よって、貫通孔51の上下左右には、C型軸受531及びC型軸受532の貫通孔内での回転を防ぐための回転止め525、回転止め526、回転止め527及び回転止め528がそれぞれ設けられている。
また、C型軸受の内周面全体で円柱状部材を支持しているので、従来の案内装置よりも可動子の摩耗を小さくすることができる。
ブロック5の製作誤差によっては、ブロック5に形成される円筒状部の中心間距離が、一対の円柱状部211及び円柱状部212の軸線間距離と異なってしまう場合がある。この場合には、ブロック5毎に、軸受間隔が異なってしまう。このような場合においても軸受間隔のずれを補正することによって可動子と軸受との摩擦をほぼ一定にし、可動子をスムーズに移動させるのが好ましい。
そのため、図3に示すように、軸線が円柱状部212の設計上の軸線と同軸で、Y軸方向の幅がC型軸受の外径と同じ、かつ方向が円柱状部211と円柱状部212の軸線を結ぶ方向と平行な平行部を持つ溝穴(ここでは小判型の穴)としてある。そして、上記平行部は、円柱状部211と円柱状部212の軸線間距離の許容誤差と貫通孔51のC型軸受を保持させるための一対の円筒状穴の軸線間距離の許容誤差を吸収できる長さに形成されており、C型軸受532は円柱状部212の位置に合わせてX軸方向に移動できるように構成されている。従って、図3に示すように、通常、C型軸受532の左右には隙間541と隙間542が形成される。C型軸受の球は、C型形状の内周面に保持されているので、このようにC型軸受の左右に隙間ができても、隙間に落ちてしまうことはない。
このように、C型軸受532の左右に隙間が形成されるのであれば、貫通孔51の円柱状部212の側を、小判形状以外の形状、例えば、長方形状とすることもできる。
この場合には、C型軸受の移動に合わせて、C型軸受532が貫通孔内で回転しないように、回転止め527及び回転止め528の位置を調整すればよい。
8 取り付け台
51 貫通孔
211 円柱状部
212 円柱状部
215 板状部
525 回転止め
526 回転止め
527 回転止め
528 回転止め
531 C型軸受
532 C型軸受
Claims (3)
- 可動方向に複数の永久磁石を磁極が交互となるように配置した板状部と、前記板状部の両端に、軸線が前記可動方向と互いに平行となるように接続された一対の円柱状部と、を有する可動子と、
前記可動子を挟む対向部を有する固定子を、前記対向部間の磁力線の方向が交互となるように複数並べた固定子ユニットと、
前記円柱状部をそれぞれ支持する軸受と、
前記軸受を保持し、前記可動子を通過させる貫通孔を内部に有するブロックと、を有し、
前記固定子ユニットが前記ブロックに挟まれることによって前記ブロックに固定され、かつ、前記可動子が前記ブロックに支持されることによって形成されるリニアアクチュエータにおいて、
前記軸受は、円筒の軸線方向の一部が切断された形状であるC型軸受であり、
前記貫通孔は、前記C型軸受の外径と同じ直径であり、かつ、中心間距離が前記一対の円柱状部の軸線間距離と同じである円筒状部と、前記円筒状部とそれぞれ繋がる前記可動子の通過部とからなる
ことを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 板状部と、前記板状部の両端に、軸線が前記可動方向と互いに平行となるように接続された一対の円柱状部と、を有する可動子と、
前記円柱状部をそれぞれ支持する軸受と、
前記軸受を保持し、前記可動子を通過させる貫通孔を内部に有するブロックと、を有する案内装置において、
前記軸受は、円筒の軸線方向の一部が切断された形状であるC型軸受であり、
前記貫通孔は、前記C型軸受の外径と同じ直径であり、かつ、中心間距離が前記一対の円柱状部の軸線間距離と同じである円筒状部と、前記円筒状部とそれぞれ繋がる前記可動子の通過部とからなる
ことを特徴とする案内装置。 - 請求項2に記載の案内装置において、
前記円筒状部の一方は、前記円筒状部の他方を基準にして、保持される前記C型軸受が一対の前記円柱状部の軸線を結ぶ方向にのみ移動を許容する溝穴である
ことを特徴とする案内装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005324186A JP4657894B2 (ja) | 2005-11-08 | 2005-11-08 | リニアアクチュエータ及び案内装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005324186A JP4657894B2 (ja) | 2005-11-08 | 2005-11-08 | リニアアクチュエータ及び案内装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007135278A JP2007135278A (ja) | 2007-05-31 |
JP4657894B2 true JP4657894B2 (ja) | 2011-03-23 |
Family
ID=38156500
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005324186A Expired - Fee Related JP4657894B2 (ja) | 2005-11-08 | 2005-11-08 | リニアアクチュエータ及び案内装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4657894B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60180368U (ja) * | 1984-05-02 | 1985-11-30 | アルプス電気株式会社 | 平行送り機構 |
JPS62233058A (ja) * | 1986-03-21 | 1987-10-13 | フエスト カ−ゲ− | リニアモ−タ |
JPH0484825U (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-23 | ||
JPH07274474A (ja) * | 1994-03-29 | 1995-10-20 | Nec Gumma Ltd | リニアパルスモータの可動子案内機構 |
JP2002089555A (ja) * | 2000-09-18 | 2002-03-27 | Thk Co Ltd | 転がり案内装置及びその製造方法並びに転がり案内装置を含む駆動装置 |
JP2002142439A (ja) * | 2000-11-06 | 2002-05-17 | Hitachi Ltd | リニアモータとその製造方法 |
-
2005
- 2005-11-08 JP JP2005324186A patent/JP4657894B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60180368U (ja) * | 1984-05-02 | 1985-11-30 | アルプス電気株式会社 | 平行送り機構 |
JPS62233058A (ja) * | 1986-03-21 | 1987-10-13 | フエスト カ−ゲ− | リニアモ−タ |
JPH0484825U (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-23 | ||
JPH07274474A (ja) * | 1994-03-29 | 1995-10-20 | Nec Gumma Ltd | リニアパルスモータの可動子案内機構 |
JP2002089555A (ja) * | 2000-09-18 | 2002-03-27 | Thk Co Ltd | 転がり案内装置及びその製造方法並びに転がり案内装置を含む駆動装置 |
JP2002142439A (ja) * | 2000-11-06 | 2002-05-17 | Hitachi Ltd | リニアモータとその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007135278A (ja) | 2007-05-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4978718B2 (ja) | 直曲動モータシステム | |
JP5194472B2 (ja) | リニアモータおよびそれを備えた工具移動装置 | |
US6552449B2 (en) | Stage system with onboard linear motor | |
EP1160961B1 (en) | Sliding means with built-in moving-magnet linear motor | |
JP5887278B2 (ja) | アライメントステージ | |
JPWO2018055708A1 (ja) | リニアコンベア装置 | |
JP4902612B2 (ja) | 機械装置の平面ステージ移動装置 | |
US11747587B2 (en) | Voice coil motor devices for auto focusing or zooming | |
JP2006320035A (ja) | リニアモータ | |
JP2008254114A (ja) | 工作機械用磁気軸受スピンドル装置 | |
JP4657894B2 (ja) | リニアアクチュエータ及び案内装置 | |
JP2010089167A (ja) | 可動マグネット型リニアモータを備えた工具送り装置 | |
JP6317778B2 (ja) | 工作機械の主軸装置 | |
JP4734946B2 (ja) | アクチュエータ | |
JP2010063262A (ja) | リニアモータ駆動送り装置 | |
JP4581641B2 (ja) | 平面ステージ | |
KR102319618B1 (ko) | 리니어 서보 모터 | |
JP4784905B2 (ja) | Xy位置決め装置 | |
JP2008199727A (ja) | リニアモータおよびそれを備えた工具移動装置 | |
WO2020202778A1 (ja) | レンズ駆動装置 | |
JP2006054973A (ja) | 工作機械用リニアモータ | |
JP3850555B2 (ja) | 直線移動装置 | |
JP2007195349A (ja) | リニアモータ | |
JP2008215429A (ja) | 磁気式動力伝達装置 | |
JP2006223091A (ja) | リニアモータ式単軸ロボット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080317 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101119 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101221 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101222 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140107 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |