JP4657894B2 - リニアアクチュエータ及び案内装置 - Google Patents

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Description

本発明は、リニアアクチュエータ及びその可動子に好適な案内装置に関するものである。
近年、リニアアクチュエータの需要が増大している。リニアアクチュエータは、回転モータと比較して高速度、高精度位置決めが可能である。
そこで、スピンドルの先端に取り付けられたドリルでプリント基板に穴を明ける装置において、スピンドルの位置決め駆動用にリニアアクチュエータを使用したものが開発され始め、また改良が加えられている。
このような改良型リニアアクチュエータについて図面を参照して説明する。図4は、リニアアクチュエータの概略図である。図4に示すように、リニアアクチュエータ1は、可動子2と、固定子3及び固定子4と、コイル6と、を有している。以下においては、図4に示すように、可動子2の可動方向をZ軸とし、可動子2の板状面内にX軸をとり、板状面と垂直な方向をY軸とする直交座標系X、Y、Zを用いて説明する。
可動子2には、Z軸方向に沿って、複数の永久磁石21−m(m=1〜n)が、その磁極が交互となるように配置されている。
可動子2は、回転ローラ71−1、回転ローラ71−2、回転ローラ71−3及び回転ローラ71−4によって、図中におけるY軸方向の動きが規制されている。そして、可動子2の回転ローラと接触する部分には、可動子2の摩耗を防止するためのカバー22−1及びカバー23−1がそれぞれ設けられている(特許文献1)。
それぞれの回転ローラは、後述するブロックによって保持されている。そして、可動子2、回転ローラ71−1、回転ローラ71−2、回転ローラ71−3、回転ローラ71−4及びブロックで案内装置が構成される。
固定子3及び固定子4は、可動子2を挟む対向部を磁極とする電磁石であり、それぞれの対向部間の磁力線(例えば、磁力線101及び磁力線102)の方向が交互となるように配置されている。固定子の材質は、高透磁率の金属材料である。
固定子3及び固定子4の対向部間で発生する磁力線と、可動子2に設けられた永久磁石の発生する磁力線との相互作用によって、可動子2には駆動力が発生し、可動子2はZ軸方向に往復運動する。
図5は、リニアアクチュエータの平面図である。図5に示すように、リニアアクチュエータ1は、可動子2と、固定子3及び固定子4が交互に4つ並ぶことによって形成される固定子ユニット3−m(m=1〜n)と、ブロック5−m(m=1〜n+1)と、を有している。図5の場合、固定子3と固定子4との間に、固定子間での磁束の漏れを防ぐために、固定子と同じ形状で固定子よりも厚みの薄い樹脂製のスペーサ7が挿入されている。
以下、隣接する固定子間にスペーサ7が挿入されている場合も固定子ユニット3−m(m=1〜n)と言うことにする。固定子ユニット3−mは、ブロック5−mに挟まれるようにしてブロック5−mに固定されている。ブロック5−mは、それぞれ取り付け台8に固定されている。
ここで、従来より知られた案内装置を用いたリニアアクチュエータの可動子と固定子の位置関係について図6を参照して説明する。図6は、図5におけるリニアアクチュエータ1のA−A端面図である。図6に示すように、可動子2は、板状部215と、板状部215の両端に、軸線がZ軸方向と互いに平行となるように接続された一対の円柱状部211及び円柱状部212と、を有している。
特開2003−244925号公報
しかしながら、このようなリニアアクチュエータの案内装置においては、可動子のZ軸方向の両端にそれぞれリニアガイドを設ける等、特別な機構を設けなければ、可動子が、X軸方向に移動することを規制することができない。
本発明の目的は、特別な機構を設けることなく、可動子のY軸方向の動きを規制すると同時に、可動子がX軸方向に移動することを規制することである。
本発明のリニアアクチュエータは、可動方向に複数の永久磁石を磁極が交互となるように配置した板状部と、前記板状部の両端に、軸線が前記可動方向と互いに平行となるように接続された一対の円柱状部と、を有する可動子と、前記可動子を挟む対向部を有する固定子を、前記対向部間の磁力線の方向が交互となるように複数並べた固定子ユニットと、前記円柱状部をそれぞれ支持する軸受と、前記軸受を保持し、前記可動子を通過させる貫通孔を内部に有するブロックと、を有し、前記固定子ユニットが前記ブロックに挟まれることによって前記ブロックに固定され、かつ、前記可動子が前記ブロックに支持されることによって形成されるリニアアクチュエータにおいて、前記軸受は、円筒の軸線方向の一部が切断された形状であるC型軸受であり、前記貫通孔は、前記C型軸受の外径と同じ直径であり、かつ、中心間距離が前記一対の円柱状部の軸線間距離と同じである円筒状部と、前記円筒状部とそれぞれ繋がる前記可動子の通過部とからなることを特徴とする。
このように可動子の円柱状部をC型軸受と貫通孔の円筒状部でX、Y両方向から取り囲むことにより、可動子のX、Y方向への移動を規制することができる。
本発明によれば、特別な機構を設けることなく、可動子のY軸方向の動きを規制すると同時に、可動子がX軸方向に移動することを規制することが可能となる。
以下、本発明のリニアアクチュエータについて図面に基づいて説明する。図1は、本発明に係るリニアアクチュエータの平面図である。本発明に係るリニアアクチュエータの構成要素のうち、従来のリニアアクチュエータと同一または同等のものについては、同一の符号を付けることにする。
図1に示すように、リニアアクチュエータ1は、固定子ユニット3−m(m=1〜n)がブロック5−m(m=1〜n+1)に挟まれた状態で可動子2がそれぞれのブロックに支持されることによって形成される。
次に、本発明に係るリニアアクチュエータのブロックについて図2を参照して説明する。図2は、図1におけるリニアアクチュエータ1のB−B断面図である。図2に示すように、軸受は、円筒の軸線方向の一部が切断された形状であるC型軸受531、532である。ブロック5には、可動子2を通過させるための貫通孔51が設けられている。
貫通孔51は、直径がC型軸受の外径と同じ直径(C型軸受の製造元によって指定されたC型軸受を保持するための直径)であり、かつ、中心間距離が一対の円柱状部211及び円柱状部212の軸線間距離と同じである一対の円筒状部と、一対の円筒状部とそれぞれ繋がる可動子2の通過部とからなる。可動子2の通過部は、図2においては、長辺の間隔がC型軸受の外径よりも小さい長方形であるが、可動子2が通過できるのであればどのような形状でもよい。
貫通孔51の円筒状部によって、C型軸受531及びC型軸受532が保持されている。C型軸受531及びC型軸受532の内径は、円柱状部211及び円柱状部212の外径と同じである。C型軸受531及びC型軸受532は、円柱状部211及び円柱状部212をそれぞれ支持している。
C型軸受531及びC型軸受532が貫通孔内で回転し、板状部215に接触すると、C型軸受の内径側端部が破損してしまう場合がある。よって、貫通孔51の上下左右には、C型軸受531及びC型軸受532の貫通孔内での回転を防ぐための回転止め525、回転止め526、回転止め527及び回転止め528がそれぞれ設けられている。
このように本発明に係る案内装置においては、C型軸受で円柱状部材を支持するので、従来の案内装置に比べ特別な機構を設けることなく、可動子のY軸方向の動きを規制すると同時に、可動子がX軸方向に移動することを規制することができる。
また、C型軸受の内周面全体で円柱状部材を支持しているので、従来の案内装置よりも可動子の摩耗を小さくすることができる。
次に、図3を参照して図2とは貫通孔51の形状の異なるブロックについて説明する。図3は、図2に示したブロックとは貫通孔51の形状の異なるブロックのZ軸と垂直な方向の断面図である。
ブロック5の製作誤差によっては、ブロック5に形成される円筒状部の中心間距離が、一対の円柱状部211及び円柱状部212の軸線間距離と異なってしまう場合がある。この場合には、ブロック5毎に、軸受間隔が異なってしまう。このような場合においても軸受間隔のずれを補正することによって可動子と軸受との摩擦をほぼ一定にし、可動子をスムーズに移動させるのが好ましい。
そのため、図3に示すように、軸線が円柱状部212の設計上の軸線と同軸で、Y軸方向の幅がC型軸受の外径と同じ、かつ方向が円柱状部211と円柱状部212の軸線を結ぶ方向と平行な平行部を持つ溝穴(ここでは小判型の穴)としてある。そして、上記平行部は、円柱状部211と円柱状部212の軸線間距離の許容誤差と貫通孔51のC型軸受を保持させるための一対の円筒状穴の軸線間距離の許容誤差を吸収できる長さに形成されており、C型軸受532は円柱状部212の位置に合わせてX軸方向に移動できるように構成されている。従って、図3に示すように、通常、C型軸受532の左右には隙間541と隙間542が形成される。C型軸受の球は、C型形状の内周面に保持されているので、このようにC型軸受の左右に隙間ができても、隙間に落ちてしまうことはない。
このように、C型軸受532の左右に隙間が形成されるのであれば、貫通孔51の円柱状部212の側を、小判形状以外の形状、例えば、長方形状とすることもできる。
可動子2が貫通孔51に挿入されると、C型軸受532は、円柱状部212と係合することによって、図中左右方向に移動する。C型軸受531とC型軸受532との間隔が設計値よりも大きい場合には、C型軸受532は隙間541が小さくなる方向に移動する。C型軸受531とC型軸受532との間隔が設計値よりも小さい場合には、C型軸受532は隙間542が小さくなる方向に移動する。
この場合には、C型軸受の移動に合わせて、C型軸受532が貫通孔内で回転しないように、回転止め527及び回転止め528の位置を調整すればよい。
本発明に係るリニアアクチュエータの平面図である。 図1におけるリニアアクチュエータ1のB−B断面図である。 図2とは貫通孔51の形状の異なるブロックのZ軸と垂直な方向の断面図である。 従来のリニアアクチュエータの概略図である。 従来のリニアアクチュエータの平面図である。 図5におけるリニアアクチュエータ1のA−A端面図である。
符号の説明
5 ブロック
8 取り付け台
51 貫通孔
211 円柱状部
212 円柱状部
215 板状部
525 回転止め
526 回転止め
527 回転止め
528 回転止め
531 C型軸受
532 C型軸受

Claims (3)

  1. 可動方向に複数の永久磁石を磁極が交互となるように配置した板状部と、前記板状部の両端に、軸線が前記可動方向と互いに平行となるように接続された一対の円柱状部と、を有する可動子と、
    前記可動子を挟む対向部を有する固定子を、前記対向部間の磁力線の方向が交互となるように複数並べた固定子ユニットと、
    前記円柱状部をそれぞれ支持する軸受と、
    前記軸受を保持し、前記可動子を通過させる貫通孔を内部に有するブロックと、を有し、
    前記固定子ユニットが前記ブロックに挟まれることによって前記ブロックに固定され、かつ、前記可動子が前記ブロックに支持されることによって形成されるリニアアクチュエータにおいて、
    前記軸受は、円筒の軸線方向の一部が切断された形状であるC型軸受であり、
    前記貫通孔は、前記C型軸受の外径と同じ直径であり、かつ、中心間距離が前記一対の円柱状部の軸線間距離と同じである円筒状部と、前記円筒状部とそれぞれ繋がる前記可動子の通過部とからなる
    ことを特徴とするリニアアクチュエータ。
  2. 板状部と、前記板状部の両端に、軸線が前記可動方向と互いに平行となるように接続された一対の円柱状部と、を有する可動子と、
    前記円柱状部をそれぞれ支持する軸受と、
    前記軸受を保持し、前記可動子を通過させる貫通孔を内部に有するブロックと、を有する案内装置において、
    前記軸受は、円筒の軸線方向の一部が切断された形状であるC型軸受であり、
    前記貫通孔は、前記C型軸受の外径と同じ直径であり、かつ、中心間距離が前記一対の円柱状部の軸線間距離と同じである円筒状部と、前記円筒状部とそれぞれ繋がる前記可動子の通過部とからなる
    ことを特徴とする案内装置。
  3. 請求項2に記載の案内装置において、
    前記円筒状部の一方は、前記円筒状部の他方を基準にして、保持される前記C型軸受が一対の前記円柱状部の軸線を結ぶ方向にのみ移動を許容する溝穴である
    ことを特徴とする案内装置。
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60180368U (ja) * 1984-05-02 1985-11-30 アルプス電気株式会社 平行送り機構
JPS62233058A (ja) * 1986-03-21 1987-10-13 フエスト カ−ゲ− リニアモ−タ
JPH0484825U (ja) * 1990-11-29 1992-07-23
JPH07274474A (ja) * 1994-03-29 1995-10-20 Nec Gumma Ltd リニアパルスモータの可動子案内機構
JP2002089555A (ja) * 2000-09-18 2002-03-27 Thk Co Ltd 転がり案内装置及びその製造方法並びに転がり案内装置を含む駆動装置
JP2002142439A (ja) * 2000-11-06 2002-05-17 Hitachi Ltd リニアモータとその製造方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60180368U (ja) * 1984-05-02 1985-11-30 アルプス電気株式会社 平行送り機構
JPS62233058A (ja) * 1986-03-21 1987-10-13 フエスト カ−ゲ− リニアモ−タ
JPH0484825U (ja) * 1990-11-29 1992-07-23
JPH07274474A (ja) * 1994-03-29 1995-10-20 Nec Gumma Ltd リニアパルスモータの可動子案内機構
JP2002089555A (ja) * 2000-09-18 2002-03-27 Thk Co Ltd 転がり案内装置及びその製造方法並びに転がり案内装置を含む駆動装置
JP2002142439A (ja) * 2000-11-06 2002-05-17 Hitachi Ltd リニアモータとその製造方法

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