JP2002142439A - リニアモータとその製造方法 - Google Patents

リニアモータとその製造方法

Info

Publication number
JP2002142439A
JP2002142439A JP2000342375A JP2000342375A JP2002142439A JP 2002142439 A JP2002142439 A JP 2002142439A JP 2000342375 A JP2000342375 A JP 2000342375A JP 2000342375 A JP2000342375 A JP 2000342375A JP 2002142439 A JP2002142439 A JP 2002142439A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mover
armature
linear motor
core
magnetic pole
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2000342375A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3945149B2 (ja
Inventor
Kouchiyuu Kin
金  弘中
Hiromitsu Kiyono
博光 清野
Ryoichi Naganuma
良一 長沼
Hiroshi Toyoda
浩 豊田
Koji Maki
牧  晃司
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP2000342375A priority Critical patent/JP3945149B2/ja
Priority to US09/796,618 priority patent/US6548920B2/en
Priority to TW090127434A priority patent/TW561670B/zh
Priority to DE60109636T priority patent/DE60109636T2/de
Priority to KR1020037006164A priority patent/KR100552646B1/ko
Priority to EP01979028A priority patent/EP1332543B1/en
Priority to CNB018182976A priority patent/CN100409547C/zh
Priority to PCT/JP2001/009689 priority patent/WO2002037651A2/en
Publication of JP2002142439A publication Critical patent/JP2002142439A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3945149B2 publication Critical patent/JP3945149B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/025Asynchronous motors
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/03Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
    • H02K41/031Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors of the permanent magnet type

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Linear Motors (AREA)
  • Iron Core Of Rotating Electric Machines (AREA)
  • Manufacture Of Motors, Generators (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】従来技術によるリニアモータは、電機子と可動
子間には漏れ磁束も多く、電流を多く流しても推力が小
さい問題点が多い。さらに、電機子と可動子の間に磁気
吸引力が一方向に働くため、可動子の支持機構に大きな
負担がかかり、構造に歪みが生じて様々な弊害を生じ
る。 【解決手段】磁性体で形成されたコアと該コアに巻回し
た巻線とを有する電機子と、該電機子と空隙を介して相
対移動可能に支持された可動子とを備えたリニアモータ
で、該可動子の移動方向に沿って所定ピッチでかつ可動
子を介して対向するように可動子の上下に設けられた磁
極歯と、これら磁極歯に隣接する磁極歯及び対向する磁
極歯が異極となるように励磁する巻線とを備え、可動
子,磁極歯,巻線によりリニアモータを構成し、前記巻
線を所定の制御回路に従って励磁することによって可動
子を相対的に往復移動させることを特徴とするリニアモ
ータ。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、リニアモータとそ
の製造方法に関するものである。
【0002】特に、電機子に一つのコイルを巻回して向
かい合う磁極歯が互い違いになる磁極を上部と下部2ヶ
所に有するリニアモータ及びその製造方法に関する。
【0003】
【従来の技術】従来のリニアモータは様々な構造のリニ
アモータが考えられている。しかし、従来のリニアモー
タは回転機を切り開いて直線駆動する構造のものが多く
用いられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来のリニアモータは
回転機を切り開いて直線駆動する構造のものであるた
め、電機子と可動子間の漏れ磁束が多く、励磁電流に対
するモータの推力が小さくモータ効率が悪い。さらに、
電機子と可動子の間に磁気吸引力が一方向に働くため、
可動子の支持機構に大きな負担がかかり、構造に歪みが
生じて様々な弊害を生じ実用化が困難であった。
【0005】本発明の一つの目的は、電機子と可動子間
を通る磁束の漏れを少なくして、電機子と可動子間に生
ずる一方向の磁気吸引力を小さくするリニアモータとそ
の製造方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】磁性体で形成されたコア
と該コアに巻回した巻線とを有する電機子と、該電機子
と空隙を介して相対移動可能に支持された可動子とを備
えたリニアモータで、該可動子の移動方向に沿って所定
ピッチでかつ可動子を介して対向するように可動子の上
下に設けられた磁極歯と、これら磁極歯に隣接する磁極
歯及び対向する磁極歯が異極となるように励磁する巻線
とを備え、可動子,磁極歯,巻線によりリニアモータを
構成し、前記巻線を所定の制御回路に従って励磁するこ
とによって可動子を相対的に往復移動させることを特徴
とするリニアモータ。
【0007】言い換えると、該リニアモータは電機子と
相対的に移動可能な可動子からなるリニアモータであっ
て、該リニアモータは更に前記電機子の一方の磁極に磁
気的に結合され、該可動子の移動方向に対し略垂直方向
に第1段及び第2段に分けて配列した一方の磁極歯列
と、前記可動子の他方の磁極に磁気的に結合され、該可
動子の移動方向に対し略垂直方向に第1段及び第2段に
分けて配列した他方の磁極配列とを有し、該一方に設け
た磁極配列の第1段の磁極歯と該他方に設けた磁極歯列
の第1段の磁極歯が該可動子の移動方向に対して交互に
配置され、該一方に設けた磁極配列の第2段の磁極歯と
該他方に設けた磁極歯列の第2段の磁極歯が該可動子の
移動方向に対して交互に配置され、該一方及び該他方の
第1段の磁極歯列と該一方及び該他方に設けた第2段の
磁極歯列の間に該可動子が配列された構成にすれば良
い。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を用いて説明する。また、図中において、同一符号
で示す構成要素は、同一物又は相当物である。
【0009】図1は本発明の一実施形態によるリニアモ
ータの基本構成図を示す。
【0010】図1(a)は、本発明の一実施形態による
リニアモータの基本構成であり、図2(b)は、それら
の基本構成を多極化にした概略の一例を示す。
【0011】図1(a)において、51は第一の対向部
を有するコアであり、52は第二の対向部を有するコア
である。前記コア51と前記コア52には上部と下部の
磁極が互い違いになるように構成されている。
【0012】ここで、前記コア51の上部磁極歯11a
と下部磁極歯21bを第一の対向部と定義し、前記コア
52の下部磁極歯12bと上部磁極歯22aを第二の対
向部と定義する。よって、(2n−1)番目のコアは第
一の対向部、(2n)番目のコアは第二の対向部になる
ように電機子を構成する(但し、n=1,2,3,…
…)。
【0013】また、図1(a)に示すように、前記コア
51と前記コア52には一つの巻線4が巻回されるが、
複数箇所に分割して巻回しても良い。
【0014】可動子6は前記コア51の第一の対向部に
挟持され、かつ、可動子が前記コア52の第二の対向部
に挟持され、電機子とは相対移動することを特徴とする
リニアモータである。ここに、電機子はコアと巻線4か
らなり、可動子は永久磁石,磁性体,非磁性体からな
る。
【0015】また、各対向部の上部磁極歯と下部磁極歯
の間に一定のギャップ8を設け、ギャップ8に前記可動
子を通すと、可動子が第一の対向部に挟持され、かつ、
可動子が前記第二の対向部に挟持された構造を形成す
る。上記により、本実施形態のリニアモータ各対向部の
上部磁極歯と下部磁極歯の間ギャップには磁束が上部と
下部の磁極歯間を交番して上下に流れる電機子を形成
し、ギャップを通して可動子が相対移動する構造にな
る。
【0016】図2に、本実施形態のリニアモータの磁束
が流れる概念と積層鋼板により組み立てられた概略図を
示す。
【0017】上記のような構成にすれば、図2(a)に
示すように電機子3の各対向部の上部磁極歯(11a,
22a)と下部磁極歯(21b,12b)の間のギャッ
プには磁束が上部と下部の磁極歯間を交番して上下に流
れる電機子3を形成し、ギャップを通して可動子6が相
対移動する構造になる。
【0018】また、本実施形態のリニアモータでは、可
動子6と上部磁極歯(11a,22a)に働く吸引力と可動
子6と下部磁極歯(21b,12b)に働く吸引力の大
きさはほぼ同じであり、かつ、吸引力が働く方向は反対
であるので、全体の吸引力は小さくなる。このため、可
動子6と電機子3の磁極歯間の吸引力を小さくすること
ができ、支持機構の負担を小さくできる。
【0019】図2(b)において、電機子3は積層鋼板
からなり、前記第一の対向部と第二の対向部が交互に複
数個配置された構造である。また、電機子3の巻線4が
配置されるコア部と可動子6が挟持される対向部を有す
る磁極部を積層鋼板により分割製作して組み立てること
を示す。
【0020】図3は本発明のリニアモータにおける配置
の実施形態概略図を示す。
【0021】ここで、図3では、電機子3を2個直列に
並べることを示す。A相,B相間には電気角90°の位
相差を持たせて巻線の励磁を切換えることで進行磁界が
発生し、可動子6が相対移動する。
【0022】本発明のリニアモータを複数個並列に配列
し、複数個の可動子を一体化しても同様である。
【0023】リニアモータの電機子3を複数個並べ、極
ピッチをPとするとき、隣り合う相異なる電機子3の磁
極歯とのピッチは(k・P+P/M){(k=0,1,
2,…),(M=2,3,4,…)}{ここに、kは隣
り合う電機子3の配置可能範囲で自由に選べる数、Mは
モータの相数}とする。
【0024】なお、本発明の実施形態として、1相,2
相リニアモータについて説明したが、3相,4相,5相
等の多相リニアモータとして利用することができる。
【0025】図19は本発明の電機子を3相配置する一
つの実施形態を示す。
【0026】図19において、下ハウジング120bに
各相の電機子ユニットが所定の間隔に収納されるように
凸部127を付けることによって、各相の電機子組み立
てが簡単になる。逆に、電機子ユニットに凸部を持たせ
前記下ハウジング120bに凹部又は溝を設けて同じ機
能を果たす。電機子コアは積層鋼板によるものでもむく
でも、モールドしたものでも良い。
【0027】図4は、前記平板状の可動子を円筒型可動
子にした実施形態を示す。
【0028】図4において、軸35に強磁性体36と非
磁性体37を交互に取り付けた組み合わせとする。ま
た、永久磁石を使用しても良い。また、図4は可動子の
形状に合わせて電機子のコア形状の自由度が高いことを
表している。
【0029】図5は、本発明の実施形態によるリニアモ
ータの断面図を示す。
【0030】図5において、支持機構14は電機子3側
に、支持機構15は可動子6側に設けられ相対移動する
可動子6を支持する機構である。よって、可動子6は、
支持機構14,15に支持されてトンネルを通るように
ギャップ8を通して相対移動する。
【0031】図6は本発明のリニアモータにおける他の
実施形態の断面図を示す。
【0032】図6において、図6(b)第2対向部52
は図6(a)第1対向部51を裏返したものであり、お
互いを重ねれば図6(c)のようになる。コアの内部に
は設けた複数の貫通穴101は第1対向部51と第2対
向部52を複数個積層した場合、重なった部分のお互い
の貫通穴が揃える位置に存在する。よって、貫通穴10
1のを有効に使って、ボルト,リベット等を用いてかし
めすれば良い。
【0033】図7は本発明のリニアモータにおける他の
実施形態の断面図を示す。
【0034】図7において、コアの基本形状は図6で示
したものと似ているが、複数の貫通穴101を設けるた
めにコアの外側にアーム102を出っ張らした構造であ
る。図6と同じく、図7(b)の第2対向部52は図7
(a)第1対向部51を裏返したものであり、お互いを
重ねれば図7(c)のようになる。複数の貫通穴101は
第1対向部51と第2対向部52を複数個積層した場
合、重なった部分のお互いの貫通穴が揃える位置に存在
する。
【0035】また、図6と図7で示した貫通穴を部分的
に組み合わせた構造でも良い。
【0036】図8と図9は本発明のリニアモータにおけ
る分割コアの実施形態の概略を示す。
【0037】図8において、図8(a)は可動子を挟む上
部磁極歯11aと下部磁極歯21bであり、図8(b)
は巻線の心に当るコア125であり、図8(c)はそれ
らを組み合わせたものを示す。
【0038】図9において、上部磁極歯11aと下部磁
極歯21bには間欠的に長が違うコア55a積層して、
コア125には凹部を持つように間欠的に長が違うコア
55b積層して、上部と下部のコアが接する部分に凹凸を
持たせる構造にして組み合わせた場合を示す。
【0039】上部と下部のコアが接する部分に凹凸を持
たせる場合、上下方向,左右方向にも押さえる構造にし
ても良いし、その一実施形態として図9(e)に示す。
【0040】また、分割した上部磁極歯11a,下部磁
極歯21b,コア125各々の積層鋼板のかしめの方法
の一つとして、図8(b)に示すように鋼板にへこみ1
30を持たせたものを積層させ最終的に圧力をかけてか
しめする方法もある。また、リベット,溶接,接着材等
でかしめても良い。
【0041】ここで、分割コアにおける巻線作業の長所
について述べる。前記電機子の巻線が配置されるコア部
と前記可動子が挟持される対向部を有する磁極部のコア
を一体化して製作したものに前記巻線4を配置する場
合、コア部の積厚方向に巻数分通す必要がある.しか
し、前記電機子の巻線が配置されるコア部と前記可動子
が挟持される対向部を有する磁極歯部のコアを分割して
製作すれば、巻線4は図15に示すように簡単に入れる
ことが出来る。
【0042】図10は本発明のリニアモータにおける電
機子の組み立て分解図を示す。
【0043】図10において、第1対向部51と第2対
向部52の間にダクト110を配置したものであり、貫
通穴101には固定具107を通してかしめする構造で
ある。ここに、固定具107はボルト,リベット,ピン
等を用いても良い。また、ダクト110には可動子6が
電機子に対して相対移動が自由自在になる構造にして、
更に、可動子の支持する軸受けの機能を持たせる。
【0044】図11は本発明のリニアモータにおけるダ
クト110の組み合わせを示す。
【0045】図11において、上部ダクト109と下部
ダクト108a、又は108bを組み合わせて、ダクト
110a,ダクト110bの形状にした一の実施形態を
示す。上部ダクト109は非磁性体にし、下部ダクト1
08a,108bは非磁性体、強磁性体どちらでも良
い。
【0046】図12から図15は本発明のリニアモータ
における分割コア他の実施形態を示す。
【0047】図12は図7で示したコアの基本形状を分
割コアにして積層鋼板にした他の実施形態を示す。
【0048】図12において、上下のコアを組み合わせ
る時には図9で示す方法は共通である。
【0049】図13は図12に示した積層鋼板を磁性体
のむくで作った場合の形状を示す。
【0050】図13において、貫通穴101はコア内側
に設けても良いし、又はアーム102を付けて貫通穴1
01を設けても良い。又、コア内部貫通穴101とアー
ム102に設けた貫通穴らは用途に合わせて、部分的に
組み合わせて使っても良い。上下コアの固定は図14に
示す固定具を用いるか、溶接,接着材等を用いる方法で
も良い。
【0051】図14は上部のコアと下部のコアに固定具
で噛み合わせた実施形態を示す。
【0052】図14において、上部コアには固定具10
5a,下部コアには穴150bを設けて噛み合わせる構
造にしたものである。ここに、固定具105aとしては
ボルト,ビス,ピン,リベット等を用いる。
【0053】図15は上部コアと下部コアに巻線4を組
み立てた本発明の他の実施形態を示す。
【0054】図15において、コア5は図5に示すコア
5と同じ構成要素であり、巻線4から発生する磁束のコ
アとして作用し、上部の磁極歯11aと下部磁極歯21
bの有効磁路にもなる。また、コア5の間に挟まってい
るダクト108は非磁性体でも磁性体でも良い。図15
(c)は固定具107を用いて図15(a)と図15
(b)の部分を組み合わせた一つの実施形態を示す。
【0055】図16は本発明のリニアモータにおける電
機子をモールド化した実施形態を示す。
【0056】図16は巻線と積層鋼板,むく等によるコ
アを分割して組み立てた電機子をモールドしたイメージ
を示す。電機子3は積層鋼板,巻線,支持機構(図示せ
ず)を含めてモールドしたものである。また、電機子3
は図3に示すように電機子を直列に配置して、A相,B
相の各々を個別にモールドしても良いし、多相を纏めて
モールドしても良い。また、電機子を並列に配置して、
A相,B相の各々を個別にモールドしても良いし、多相
を纏めてモールドしても良い。
【0057】電機子3の形状はコアの形状に合わせて、
角材状,円筒状等が可能であり、可動子6も同じく角材
状、図4に示すような円筒状等が可能である。
【0058】また、上記に述べた分割コアによる組み合
わせの実施形態以外でも、一部だけを採用する組み合わ
せによるものでも良い。各図で示すリニアモータの各々
の構成要素は図番に関係なく跨って組み合わせにしても
良いし、それらの組み合わせをモールドすることも可能
である。
【0059】図17は本発明のリニアモータにおいて、
上下のハウジングを用いて組み立てる一つの実施形態を
示す。
【0060】図17において、コア上部ハウジング12
0aと下部ハウジング120bは固定具121を用いて
組み立てしている。ここに、固定具121としては、ボ
ルト,リベット,ピン等でも良い。また、接着材,溶接
等による組み立ても可能である。
【0061】図17(a)は巻線がコアの左右に収納さ
れたものであり、図17(b)と図17(c)は巻線が
コアの上下に収納されたものの概略を示す。
【0062】図17(c)に示すように、上部ハウジン
グ120a片方だけ用いて、下部のコア125と固定さ
れたアーム126に固定具121を用いて組み立てるこ
とも可能である。
【0063】図18は本発明のリニアモータにおける可
動子製造の一つの実施形態を示す。
【0064】図18において、可動子6は支持機構15
と支持部材61からはしご型の枠に磁極を備えて一体化
することを示す。可動子6aは永久磁石付可動子を示
し、可動子6bはリラクタンス型可動子を示す。前記支
持機構15は図5に示す支持機構14と相対的に支持さ
れ往復移動する。
【0065】以上では、本発明のリニアモータは、前記
電機子が固定的に支持され、前記可動子が移動すること
について説明したが、前記可動子が固定的に支持され、
前記電機子が移動することも可能である。
【0066】以上説明したように、本発明の実施形態に
よれば、リニアモータは有効磁束の磁気回路の磁路が短
くなり、磁極歯の漏れ磁束を少なくすることにより、モ
ータ効率を良くし高出力化を可能にした。
【0067】また、本実施形態のリニアモータでは、可
動子6と上部磁極歯に働く吸引力と可動子と下部磁極歯
に働く吸引力の大きさは同じであり、かつ、吸引力が働
く方向は反対であるので、全体の吸引力は小さくなる。
このため、可動子6と電機子3の磁極歯間の吸引力を小
さくすることができ、支持機構の負担を小さくできる。
【0068】
【発明の効果】本発明によれば、例えば、電機子と可動
子間を通る磁束の漏れを少なくし、電機子と可動子間に
生ずる一方向の磁気吸引力を小さくできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のリニアモータの基本構成。
【図2】本発明のリニアモータの磁束流れと積層鋼板に
より構成した組み立て概略。
【図3】本発明のリニアモータにおける配置の実施形態
の概略。
【図4】本発明の可動子における他の実施形態。
【図5】本発明のリニアモータの断面図。
【図6】本発明のリニアモータにおける他の実施形態
(その1)の断面図。
【図7】本発明のリニアモータにおける他の実施形態
(その2)の断面図。
【図8】本発明の電機子における分割コアの他の実施形
態(その1)。
【図9】本発明の電機子における分割コアの他の実施形
態(その2)。
【図10】本発明の電機子の組み立て分解図。
【図11】本発明のリニアモータにおけるダクトの組み
合わせ。
【図12】本発明の電機子における分割コアの他の実施
形態(その3)。
【図13】本発明の電機子における分割コアの他の実施
形態(その4)。
【図14】本発明の電機子における分割コアの他の実施
形態(その5)。
【図15】本発明の電機子における分割コアの他の実施
形態(その6)。
【図16】本発明の電機子をモールド化した実施形態。
【図17】本発明のハウジングを用いて組み立てる実施
形態。
【図18】本発明の可動子製造の実施形態。
【図19】本発明のリニアモータにおける3相配置する
実施形態。
【符号の説明】
1,2…磁極、3…電機子、4…巻線(電機子側)、5
…コア、6…可動子、11a…磁極1の上部磁極歯、1
2b…磁極1の下部磁極歯、21b…磁極2の下部磁極
歯、22a…磁極2の上部磁極歯。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H02K 41/02 H02K 41/02 C (72)発明者 長沼 良一 茨城県日立市大みか町七丁目1番1号 株 式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 豊田 浩 茨城県日立市大みか町七丁目1番1号 株 式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 牧 晃司 茨城県日立市大みか町七丁目1番1号 株 式会社日立製作所日立研究所内 Fターム(参考) 5H002 AA02 AA09 AB01 AC03 AC06 AC07 5H615 AA01 BB01 PP01 PP02 PP06 PP12 QQ02 QQ19 SS05 SS16 SS18 SS19 SS20 SS44 5H641 BB06 BB14 BB18 BB19 GG02 GG03 GG04 GG06 GG11 HH02 HH03 HH04 HH05 HH07 HH10 HH12 HH13 HH14 HH16 HH20 JA02 JA09

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】磁性体で形成されたコアと該コアに巻回し
    た巻線とを有する電機子と、該電機子と空隙を介して相
    対移動可能に支持された可動子とを備えたリニアモータ
    で、該可動子の移動方向に沿って所定ピッチでかつ可動
    子を介して対向するように可動子の上下に設けられた磁
    極歯と、これら磁極歯の隣接する磁極歯及び対向する磁
    極歯が異極となるように励磁する巻線とを備え、可動
    子,磁極歯,巻線によりリニアモータを構成し、前記巻
    線を所定の制御回路に従って励磁することによって可動
    子を相対的に往復移動させることを特徴とするリニアモ
    ータ。
  2. 【請求項2】前記電機子と前記可動子からなるリニアモ
    ータの製造方法において、前記電機子と前記可動子との
    相対移動方向に対して上下方向または左右方向に前記電
    機子の磁性体を複数に分割製作し、前記電機子の巻線を
    コアの一部に収納し前記分割製作したコアとを一体化す
    るリニアモータの製造方法。
  3. 【請求項3】前記電機子と前記可動子からなるリニアモ
    ータの製造方法において、前記可動子は支持機構と支持
    部材からなるはしご型の枠に磁極を備えて一体化するリ
    ニアモータの製造方法。
  4. 【請求項4】請求項1から11において、前記リニアモ
    ータの前記電機子を複数個並べ、極ピッチをPとすると
    き、隣り合う相異なる電機子の磁極歯とのピッチを(k
    ・P+P/M){(k=0,1,2,…),(M=2,
    3,4,…)}{ここに、kは隣り合う電機子の配置可
    能範囲で自由に選べる数、Mはモータの相数}とするこ
    とを特徴とするリニアモータ。
  5. 【請求項5】前記リニアモータは前記電機子が固定的に
    支持され、前記可動子が移動することを特徴とするリニ
    アモータ。
  6. 【請求項6】前記リニアモータは前記可動子が固定的に
    支持され、前記電機子が移動することを特徴とするリニ
    アモータ。
JP2000342375A 2000-11-06 2000-11-06 リニアモータとその製造方法 Expired - Lifetime JP3945149B2 (ja)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000342375A JP3945149B2 (ja) 2000-11-06 2000-11-06 リニアモータとその製造方法
US09/796,618 US6548920B2 (en) 2000-11-06 2001-03-02 Linear motor and method of producing the same
TW090127434A TW561670B (en) 2000-11-06 2001-11-05 Linear motor and method of producing the same
KR1020037006164A KR100552646B1 (ko) 2000-11-06 2001-11-06 선형모터 및 그것을 제조하는 방법
DE60109636T DE60109636T2 (de) 2000-11-06 2001-11-06 Linearmotoren und verfahren zur herstellung
EP01979028A EP1332543B1 (en) 2000-11-06 2001-11-06 Linear motor and method of producing the same
CNB018182976A CN100409547C (zh) 2000-11-06 2001-11-06 线性电机以及它的制造方法
PCT/JP2001/009689 WO2002037651A2 (en) 2000-11-06 2001-11-06 Linear motor and method of producing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000342375A JP3945149B2 (ja) 2000-11-06 2000-11-06 リニアモータとその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002142439A true JP2002142439A (ja) 2002-05-17
JP3945149B2 JP3945149B2 (ja) 2007-07-18

Family

ID=18816945

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000342375A Expired - Lifetime JP3945149B2 (ja) 2000-11-06 2000-11-06 リニアモータとその製造方法

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6548920B2 (ja)
EP (1) EP1332543B1 (ja)
JP (1) JP3945149B2 (ja)
KR (1) KR100552646B1 (ja)
CN (1) CN100409547C (ja)
DE (1) DE60109636T2 (ja)
TW (1) TW561670B (ja)
WO (1) WO2002037651A2 (ja)

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6876108B2 (en) 2003-02-04 2005-04-05 Hitachi, Ltd. Linear motor, its controlling method, and XY table
JP2006197722A (ja) * 2005-01-13 2006-07-27 Toyo Mach & Metal Co Ltd 直線駆動装置
JP2007135278A (ja) * 2005-11-08 2007-05-31 Hitachi Via Mechanics Ltd リニアアクチュエータ及び案内装置
JP2008017571A (ja) * 2006-07-04 2008-01-24 Juki Corp リニアモータ及び部品搭載装置
JP2009543536A (ja) * 2006-07-12 2009-12-03 メシエードウティ ソシエテ アノニム 電磁機械のための能動素子、上記能動素子を製作する方法、及び、上記能動素子を有する電磁機械
WO2010058500A1 (ja) * 2008-11-18 2010-05-27 日立金属株式会社 可動子、電機子及びリニアモータ
WO2010084940A1 (ja) * 2009-01-23 2010-07-29 日立金属株式会社 可動子及びリニアモータ
US7777371B2 (en) * 2002-11-12 2010-08-17 Hitachi, Ltd. Linear drive apparatus having cores and coils which are positioned on opposite sides of the cores
WO2010103575A1 (ja) * 2009-03-13 2010-09-16 株式会社日立製作所 リニアモータ
WO2011154995A1 (ja) * 2010-06-09 2011-12-15 株式会社 日立製作所 リニアモータおよびそれを用いた位置決め装置
WO2011154996A1 (ja) * 2010-06-09 2011-12-15 株式会社 日立製作所 発電機およびそれを用いた発電装置
JP2013102695A (ja) * 2013-03-07 2013-05-23 Hitachi Ltd リニアモータ
WO2013124875A1 (ja) * 2012-02-20 2013-08-29 株式会社 日立製作所 リニアモータ
JP2013176269A (ja) * 2012-02-27 2013-09-05 Hitachi Metals Ltd リニアモータ
JP2014011235A (ja) * 2012-06-28 2014-01-20 Tokyo Institute Of Technology 電磁石形アクチュエータ及びこれを用いた平面モータ
JP2018033311A (ja) * 2012-10-24 2018-03-01 株式会社日立製作所 リニアモータ
KR20210008041A (ko) 2018-06-12 2021-01-20 캐논 가부시끼가이샤 리니어 모터, 반송장치, 및 생산장치

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3395155B2 (ja) * 1999-05-07 2003-04-07 株式会社日立製作所 リニアモータ及びその製造方法
JP3945148B2 (ja) * 2000-11-02 2007-07-18 株式会社日立製作所 Xyテーブル及びxyzテーブル
JP3758496B2 (ja) * 2000-11-06 2006-03-22 株式会社日立製作所 関節駆動装置
JP3996733B2 (ja) * 2000-11-06 2007-10-24 株式会社日立製作所 リニアモータ付電動工具
JP3744437B2 (ja) * 2002-02-20 2006-02-08 株式会社日立製作所 駆動装置
JP3826086B2 (ja) * 2002-08-29 2006-09-27 キヤノン株式会社 ステージ装置及びその駆動方法、露光装置並びにデバイス製造方法
JP4422957B2 (ja) * 2002-10-31 2010-03-03 キヤノン株式会社 位置決め装置
JP3872055B2 (ja) * 2003-06-20 2007-01-24 三菱電機株式会社 リニアモータの電機子
JP4089597B2 (ja) * 2003-11-18 2008-05-28 株式会社日立製作所 リニアモータ及びxyステージ
US20080061105A1 (en) * 2005-06-17 2008-03-13 Jonas Zachrisson Electrically Powered Tool
DE102006012736A1 (de) * 2006-03-17 2007-09-20 Siemens Ag Elektrische Maschine
EP3751704A1 (en) 2009-02-05 2020-12-16 Evr Motors Ltd. Electrical machine
JP5525408B2 (ja) * 2009-11-09 2014-06-18 山洋電気株式会社 電気機械装置
JP5477126B2 (ja) * 2010-04-07 2014-04-23 日立金属株式会社 リニアモータ
JP5372298B2 (ja) * 2011-06-22 2013-12-18 三菱電機株式会社 リニアモータ
JP6128206B2 (ja) * 2013-03-22 2017-05-24 日立金属株式会社 リニアモータ
TWI491145B (zh) * 2013-04-30 2015-07-01 Ghing Hsin Dien 電動機
WO2015040620A1 (en) 2013-09-18 2015-03-26 E.V.R. Motors Ltd. Multipole electrical machine
JP6864844B2 (ja) * 2015-07-20 2021-04-28 エムオーティーエックス リミテッド 横方向磁束リニアモータ
JPWO2017025998A1 (ja) * 2015-08-07 2018-03-01 株式会社日立製作所 リニアモータ及びリニアモータを備える機器
PL3451511T3 (pl) * 2016-04-25 2021-09-13 Yuzen Sustainable Energy Co., Ltd. Konstrukcja silnika elektrycznego
EP4055696B1 (en) 2019-11-07 2023-09-20 Hyperloop Technologies, Inc. Electrical windings for a low pressure environment

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4254350A (en) * 1979-07-12 1981-03-03 Miroshnichenko Vitaly T Asynchronous line-fed motor
US4945268A (en) * 1987-12-26 1990-07-31 Hitachi, Ltd. Permanent magnet type linear pulse motor
DE4413601A1 (de) * 1994-04-20 1996-05-23 Pasim Mikrosystemtechnik Gmbh Modulbaustein
JP3791082B2 (ja) 1996-12-04 2006-06-28 株式会社安川電機 リニアモータ

Cited By (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7777371B2 (en) * 2002-11-12 2010-08-17 Hitachi, Ltd. Linear drive apparatus having cores and coils which are positioned on opposite sides of the cores
US6876108B2 (en) 2003-02-04 2005-04-05 Hitachi, Ltd. Linear motor, its controlling method, and XY table
JP2006197722A (ja) * 2005-01-13 2006-07-27 Toyo Mach & Metal Co Ltd 直線駆動装置
JP2007135278A (ja) * 2005-11-08 2007-05-31 Hitachi Via Mechanics Ltd リニアアクチュエータ及び案内装置
JP4657894B2 (ja) * 2005-11-08 2011-03-23 日立ビアメカニクス株式会社 リニアアクチュエータ及び案内装置
JP2008017571A (ja) * 2006-07-04 2008-01-24 Juki Corp リニアモータ及び部品搭載装置
JP2009543536A (ja) * 2006-07-12 2009-12-03 メシエードウティ ソシエテ アノニム 電磁機械のための能動素子、上記能動素子を製作する方法、及び、上記能動素子を有する電磁機械
EP2360817A4 (en) * 2008-11-18 2017-05-17 Hitachi Metals, Ltd. Movable element, armature, and linear motor
WO2010058500A1 (ja) * 2008-11-18 2010-05-27 日立金属株式会社 可動子、電機子及びリニアモータ
KR101657276B1 (ko) * 2008-11-18 2016-09-13 히다찌긴조꾸가부시끼가이사 가동자, 전기자 및 리니어모터
KR20110084329A (ko) * 2008-11-18 2011-07-21 히다찌긴조꾸가부시끼가이사 가동자, 전기자 및 리니어모터
EP2360817A1 (en) * 2008-11-18 2011-08-24 Hitachi Metals, Ltd. Movable element, armature, and linear motor
JP5434917B2 (ja) * 2008-11-18 2014-03-05 日立金属株式会社 電機子及びリニアモータ
TWI472126B (zh) * 2008-11-18 2015-02-01 Hitachi Metals Ltd 電樞,以及線性馬達
US8884473B2 (en) 2008-11-18 2014-11-11 Hitachi Metals, Ltd. Mover, armature, and linear motor
US9071124B2 (en) 2009-01-23 2015-06-30 Hitachi Metals, Ltd. Mover and linear motor
US8723376B2 (en) 2009-01-23 2014-05-13 Hitachi Metals, Ltd. Mover and linear motor
WO2010084940A1 (ja) * 2009-01-23 2010-07-29 日立金属株式会社 可動子及びリニアモータ
JP5510338B2 (ja) * 2009-01-23 2014-06-04 日立金属株式会社 リニアモータ
JP5313333B2 (ja) * 2009-03-13 2013-10-09 株式会社日立製作所 リニアモータ
US8810082B2 (en) 2009-03-13 2014-08-19 Hitachi, Ltd. Linear motor
WO2010103575A1 (ja) * 2009-03-13 2010-09-16 株式会社日立製作所 リニアモータ
CN102326324A (zh) * 2009-03-13 2012-01-18 株式会社日立制作所 线性马达
WO2011154995A1 (ja) * 2010-06-09 2011-12-15 株式会社 日立製作所 リニアモータおよびそれを用いた位置決め装置
JP5796576B2 (ja) * 2010-06-09 2015-10-21 株式会社日立製作所 発電機およびそれを用いた発電装置
JPWO2011154996A1 (ja) * 2010-06-09 2013-08-01 株式会社日立製作所 発電機およびそれを用いた発電装置
JPWO2011154995A1 (ja) * 2010-06-09 2013-08-01 株式会社日立製作所 リニアモータおよびそれを用いた位置決め装置
US10218252B2 (en) 2010-06-09 2019-02-26 Hitachi, Ltd. Linear motor and positioning apparatus
US20130093264A1 (en) * 2010-06-09 2013-04-18 Hitachi Ltd Linear Motor and Positioning Apparatus
WO2011154996A1 (ja) * 2010-06-09 2011-12-15 株式会社 日立製作所 発電機およびそれを用いた発電装置
US20130088099A1 (en) * 2010-06-09 2013-04-11 Hitachi, Ltd. Generator and Electricity-Generating System
JP5796575B2 (ja) * 2010-06-09 2015-10-21 株式会社日立製作所 リニアモータおよびそれを用いた位置決め装置
WO2013124875A1 (ja) * 2012-02-20 2013-08-29 株式会社 日立製作所 リニアモータ
US10128732B2 (en) 2012-02-20 2018-11-13 Hitachi, Ltd. Linear motor
JP2013176269A (ja) * 2012-02-27 2013-09-05 Hitachi Metals Ltd リニアモータ
JP2014011235A (ja) * 2012-06-28 2014-01-20 Tokyo Institute Of Technology 電磁石形アクチュエータ及びこれを用いた平面モータ
JP2018033311A (ja) * 2012-10-24 2018-03-01 株式会社日立製作所 リニアモータ
JP2013102695A (ja) * 2013-03-07 2013-05-23 Hitachi Ltd リニアモータ
KR20210008041A (ko) 2018-06-12 2021-01-20 캐논 가부시끼가이샤 리니어 모터, 반송장치, 및 생산장치
US11843300B2 (en) 2018-06-12 2023-12-12 Canon Kabushiki Kaisha Linear motor, transport apparatus, and production apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
KR20040007414A (ko) 2004-01-24
WO2002037651A3 (en) 2002-08-01
EP1332543B1 (en) 2005-03-23
CN100409547C (zh) 2008-08-06
CN1473386A (zh) 2004-02-04
KR100552646B1 (ko) 2006-02-20
TW561670B (en) 2003-11-11
WO2002037651A2 (en) 2002-05-10
EP1332543A2 (en) 2003-08-06
JP3945149B2 (ja) 2007-07-18
US6548920B2 (en) 2003-04-15
DE60109636D1 (de) 2005-04-28
DE60109636T2 (de) 2006-03-09
US20020053835A1 (en) 2002-05-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2002142439A (ja) リニアモータとその製造方法
JP3395155B2 (ja) リニアモータ及びその製造方法
KR100743117B1 (ko) 리니어모터 및 그 구동시스템 및 그 제조방법
US6518681B2 (en) Motor utilizing basic factor and having generator function
JP2002138957A (ja) 流体搬送装置
JP2002142440A (ja) 電動機
WO2007116508A1 (ja) リニアモータ
JP2002144274A (ja) 関節駆動装置
JP2001095225A (ja) リニアモータ
JPH0823669A (ja) リニアアクチュエータ
JP3841021B2 (ja) 振動型リニアアクチュエータ
JP3906443B2 (ja) リニアモータ
JP4497986B2 (ja) クローポール型三相リニアモータ
JPH02246762A (ja) リニアモータ
JP2002112527A (ja) 直動型モータ
JP2003134791A (ja) 永久磁石形同期リニアモータ
JP3827671B2 (ja) リニアモータ
JP4458078B2 (ja) リニアモータ及びその制御方法
JP5953688B2 (ja) リニア駆動装置
JP2007520981A (ja) リニア振動アクチュエータの可動子
SU1504748A1 (ru) Линейный электродвигатель посто нного тока
JP2001327148A (ja) 電磁駆動モータ
JP2005039883A (ja) リニアモータ
JP2005057822A (ja) リニアモータ
JPS6225867A (ja) リニアステツピングモ−タ

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20041201

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20060418

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060627

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060828

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070320

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070402

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 3945149

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110420

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120420

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120420

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130420

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140420

Year of fee payment: 7

EXPY Cancellation because of completion of term