WO2010058500A1 - 可動子、電機子及びリニアモータ - Google Patents

可動子、電機子及びリニアモータ Download PDF

Info

Publication number
WO2010058500A1
WO2010058500A1 PCT/JP2009/004060 JP2009004060W WO2010058500A1 WO 2010058500 A1 WO2010058500 A1 WO 2010058500A1 JP 2009004060 W JP2009004060 W JP 2009004060W WO 2010058500 A1 WO2010058500 A1 WO 2010058500A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
subunit
mover
opening
core
yoke
Prior art date
Application number
PCT/JP2009/004060
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
川上誠
Original Assignee
日立金属株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日立金属株式会社 filed Critical 日立金属株式会社
Priority to JP2010520355A priority Critical patent/JP5434917B2/ja
Priority to EP09827282.6A priority patent/EP2360817B1/en
Priority to US13/129,861 priority patent/US8884473B2/en
Publication of WO2010058500A1 publication Critical patent/WO2010058500A1/ja

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K1/00—Details of the magnetic circuit
    • H02K1/06—Details of the magnetic circuit characterised by the shape, form or construction
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
    • H02K41/031—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors of the permanent magnet type
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K1/00—Details of the magnetic circuit
    • H02K1/06—Details of the magnetic circuit characterised by the shape, form or construction
    • H02K1/12—Stationary parts of the magnetic circuit
    • H02K1/14—Stator cores with salient poles
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K1/00—Details of the magnetic circuit
    • H02K1/06—Details of the magnetic circuit characterised by the shape, form or construction
    • H02K1/12—Stationary parts of the magnetic circuit
    • H02K1/14—Stator cores with salient poles
    • H02K1/146—Stator cores with salient poles consisting of a generally annular yoke with salient poles
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K2201/00—Specific aspects not provided for in the other groups of this subclass relating to the magnetic circuits
    • H02K2201/06—Magnetic cores, or permanent magnets characterised by their skew
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K2207/00—Specific aspects not provided for in the other groups of this subclass relating to arrangements for handling mechanical energy
    • H02K2207/03—Tubular motors, i.e. rotary motors mounted inside a tube, e.g. for blinds
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K2213/00—Specific aspects, not otherwise provided for and not covered by codes H02K2201/00 - H02K2211/00
    • H02K2213/03—Machines characterised by numerical values, ranges, mathematical expressions or similar information
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K7/00—Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
    • H02K7/08—Structural association with bearings
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K7/00—Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
    • H02K7/08—Structural association with bearings
    • H02K7/09—Structural association with bearings with magnetic bearings

Definitions

  • the present invention relates to a mover having a plurality of plate-shaped permanent magnets, an armature through which the mover passes, and a linear motor formed by combining these mover and armature (stator).
  • a permanent magnet structure having a large number of plate-like permanent magnets is used as a mover
  • an armature having a current-carrying coil is used as a stator
  • a structure in which the mover is passed through a stator has various types of linear motors.
  • JP 2002-27731 A JP 2005-287185 A JP 2005-295708 A
  • linear motors have a faster response than ball screws, but because the mass of the mover is large, sufficient thrust can be secured, but the required response speed cannot be achieved.
  • the structure of the linear motor suitable for speeding up is a movable magnet type.
  • the magnetic pole pitch is large, the amount of magnetic flux that wraps around the yoke on the back of the magnet increases, and the volume of the yoke increases and the mover becomes heavy.
  • the magnetic pole pitch is reduced, the armature side winding structure becomes complicated, and it becomes difficult to realize a smaller and higher output linear motor.
  • weight reduction is further desired.
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a plate-like movable element that generates a large amount of magnetic flux and is lightweight.
  • Another object of the present invention is to provide an armature that does not have a complicated wire structure even when the magnetic pole pitch is small, and is less likely to cause magnetic saturation.
  • Still another object of the present invention is to provide a linear motor that has a structure in which magnetic saturation is unlikely to occur, can achieve high-speed response, and can increase the conversion efficiency of the motor to achieve high power density.
  • a first mover is a mover of a linear motor having a plurality of plate magnets, in which plate magnets and plate-like soft magnetic bodies are alternately stacked, and the plate magnets are stacked. It is characterized in that plate magnets magnetized in the longitudinal direction of the mover in the direction and plate magnets magnetized in the direction opposite to the longitudinal direction in the overlapping direction are alternately arranged.
  • a plate magnet magnetized in one direction of the overlapping direction (longitudinal direction), a soft magnetic material, a plate magnet magnetized in the other direction of the overlapping direction (longitudinal direction), soft It is composed of a magnetic material,.
  • the soft magnetic material inserted between two plate magnets whose magnetization directions differ from each other by 180 degrees has a function of changing the magnetic flux from the plate magnet in the thickness direction and is movable.
  • the magnetic circuit of the entire child is configured to generate magnetic flux in a direction perpendicular to the longitudinal direction (movement direction). Therefore, since this soft magnetic body acts as a return path of the magnetic flux, the magnetic flux leaking to the outside can be reduced.
  • the plate-like movable element of the present invention ensures a sufficient amount of magnetic flux even if it is lightweight.
  • the longitudinal direction of the mover means the moving direction of the mover
  • the width direction of the mover means the direction orthogonal to both the moving direction of the mover and the direction of the magnetic flux generated from the mover.
  • the thickness direction is a direction parallel to the direction of magnetic flux generated from the mover.
  • a first armature in an armature of a linear motor through which a plate-like mover passes, an opening through which the mover passes, and a yoke part arranged outside the opening, A first subunit made of a soft magnetic material having a core portion extending from the yoke portion in the thickness direction of the mover, an opening through which the mover passes, and an outer side of the opening And a plurality of cores of the first subunit, wherein the second subunits made of a soft magnetic material having a yoke portion and a core portion extending from the yoke portion in the width direction of the mover are alternately stacked. And / or a plurality of core portions of the second subunit are provided with a scribe line.
  • an opening through which the mover passes, a frame-shaped yoke disposed outside the opening, and a thickness extending from the yoke to the mover A first sub-unit having a core, an opening through which the mover passes, a frame-shaped yoke disposed outside the opening, and a core extending from the yoke in the width direction of the mover
  • the second subunits having the above are alternately stacked, and the winding lines are wound around the plurality of core portions of the first subunit and / or the plurality of core portions of the second subunit all together. Since the winding lines are collectively applied to the plurality of core portions of the subunits without separately forming the winding lines for each magnetic pole, the structure of the winding lines is simple and the size can be easily reduced.
  • the first armature according to the present invention is characterized in that the core portion of the second subunit is tapered from the middle toward the opening.
  • the core portion of the second subunit is tapered from the middle toward the opening, and the core portion of the first subunit and the core portion of the second subunit To reduce magnetic flux leakage. Also, since the yoke portion side of the core portion of the second subunit is not tapered and is wide, the magnetic flux passage toward the yoke portion is wide, so that magnetic saturation hardly occurs in that portion.
  • the first armature according to the present invention is characterized in that a soft magnetic spacer is sandwiched between the overlapping first subunit and second subunit so that the core portions do not contact each other. To do.
  • a frame-like spacer is provided between the first subunit and the second subunit. Therefore, non-contact (avoidance of magnetic short-circuit) between the core portion of the first subunit and the core portion of the second subunit is realized with a simple configuration.
  • plate magnets and plate-like soft magnetic bodies are alternately stacked, and the plate magnets are magnetized in the longitudinal direction of the mover in the stacking direction.
  • a movable element in which plate-like magnets magnetized in the direction opposite to the longitudinal direction of the overlapping direction are alternately arranged, a rectangular opening, a yoke disposed outside the opening, and the yoke
  • the second subunits made of a soft magnetic material having a core portion extending from the yoke portion in the width direction of the mover are alternately stacked, and the plurality of core portions of the first subunit and / or the first subunit are alternately stacked.
  • the first arm of the armature in which a plurality of core parts of two subunits are provided with a winding line Opening of the unit and
  • the first linear motor of the present invention has a configuration in which the movable element as described above is passed through the first armature as described above. Since the weight of the mover can be reduced, the response speed of the mover is increased. In addition, the wire structure in the armature is simple and the size can be reduced.
  • a second armature in an armature of a linear motor through which a plate-like mover passes, an opening through which the mover passes, a yoke part arranged outside the opening, A first subunit made of a soft magnetic material having a first core portion extending from the yoke portion to one side in the thickness direction of the mover and a second core portion extending in the width direction of the mover; And an opening through which the mover passes, a yoke disposed outside the opening, and a position symmetrical to the first core and the second core of the first subunit.
  • a second subunit made of a soft magnetic material having a first core portion and a second core portion extended from the portion, and a plurality of second of the first subunit and the second subunit.
  • an opening through which the mover passes a frame-shaped yoke part arranged outside the opening, and extending from the yoke part to one side in the thickness direction of the mover
  • a first subunit having a first core portion and a second core portion extending in the width direction of the mover, an opening through which the mover passes, and a frame-like shape disposed outside the opening
  • a yoke portion ; a first core portion extending from the yoke portion to the other side in the thickness direction of the mover; and a second core portion extending in the width direction of the mover.
  • the second subunits in point symmetry are alternately stacked, and a plurality of second core portions of the first subunit and the second subunit and / or a plurality of the first subunit and the second subunit.
  • a winding line is wound around the first core portion of the core.
  • the perforation line is applied to the plurality of core parts of the first subunit and the second sub-unit in a lump without individually perforating each magnetic pole, so the perforation structure is simple and the size can be easily reduced. is there.
  • the second core portion of the first subunit and the second subunit has a taper shape from the middle toward the opening, and the yoke portion side It is characterized by having a rib.
  • the second core portions of the first subunit and the second subunit are tapered from the middle toward the opening, and the second core portion and the second core portion
  • the overlap between the first subunit and the first subunit of the second subunit is reduced to reduce magnetic flux leakage.
  • a rib is provided on the yoke part side of the second core part of the first subunit and the second subunit. Therefore, since the magnetic flux path toward the yoke portion is wide, magnetic saturation hardly occurs in that portion.
  • the second armature according to the present invention includes a first core portion or a second core portion of the first subunit and the second subunit between the first subunit and the second subunit that overlap each other.
  • a spacer made of a soft magnetic material is interposed so as not to contact the first core portion or the second core portion.
  • a frame-like spacer is provided between the first subunit and the second subunit. Therefore, with a simple configuration, non-contact (avoidance of magnetic short-circuit) between the first core portion and the second core portion of the first subunit and the first core portion and the second core portion of the second subunit is realized.
  • the second linear motor according to the present invention has a plurality of plate magnets magnetized in the thickness direction, and the plate magnet is magnetized in one direction of the thickness direction and the thickness direction.
  • a movable element in which plate-like magnets magnetized in a direction opposite to the one direction are arranged in a rectangular shape, a yoke part arranged outside the opening part, and a yoke part
  • a first subunit made of a soft magnetic material having a first core portion extending in one thickness direction of the mover and a second core portion extending in the width direction of the mover; and a rectangular shape
  • the first opening is provided at a position symmetrical to the first core portion and the second core portion of the first subunit, and extends from the yoke portion.
  • a second subunit made of a soft magnetic material having a core portion and a second core portion is alternately stacked, and the first sub The first subunit of the armature, wherein a plurality of second core portions of the unit and the second subunit and / or a plurality of first core portions of the first subunit and the second subunit are provided with a winding line And an opening of the second subunit.
  • the second linear motor of the present invention a mover in which plate magnets magnetized in one direction in the thickness direction and plate magnets magnetized in the other direction in the thickness direction are alternately arranged,
  • the second armature as described above is penetrated. Since the weight of the mover can be reduced, the response speed of the mover is increased.
  • the wire structure in the armature is simple and the size can be reduced.
  • the second mover according to the present invention is a linear motor mover having a plurality of plate magnets, and each of the plurality of plate magnets magnetized in the thickness direction is made of a non-magnetic rectangular magnet holding spacer.
  • plate magnets magnetized in one direction of the thickness direction and plate magnets magnetized in the direction opposite to the one direction of the thickness direction alternately
  • the linear guide rail is provided in the frame body which is arrange
  • each of the plurality of plate magnets is bonded and held in each of the plurality of holes formed side by side in the magnet holding spacer made of non-magnetic material, on both sides in the width direction of the magnet holding spacer.
  • a linear guide rail is provided extending in the longitudinal direction. Therefore, since the mover can be pressed from the side with this linear guide rail, the mechanical strength of the mover is increased, and flexural vibration, resonance vibration, etc. can be suppressed, and high-speed linear motion without rattling is possible. Become.
  • the second mover according to the present invention is characterized in that the longitudinal direction of the plate magnet is skewed from the facing direction of the linear guide rail.
  • the longitudinal direction of the plate magnet is skewed by a predetermined angle from the facing direction of the linear guide rail. Therefore, when the mover is moved at a constant speed, the jerky movement (cogging) can be reduced.
  • a third armature of the present invention in the armature of the linear motor through which the plate-like mover passes, an opening through which the mover passes, and a yoke part arranged outside the opening, A first subunit made of a soft magnetic material having a core portion extending from the yoke portion to one side in the thickness direction of the mover, an opening through which the mover passes, and an outer side of the opening And a soft core having an auxiliary core portion extending from the yoke portion to one side in the thickness direction of the mover, and a core portion extending from the yoke portion to the other side in the thickness direction of the mover.
  • a fourth subunit made of a soft magnetic material having a core portion extending to the other side is stacked in this order, an opening through which the mover passes, a yoke portion disposed outside the opening,
  • the core portion of the first subunit, the auxiliary core portion of the second subunit, 3rd sub are collectively provided with a winding line, and the core portion of the second subunit and the auxiliary of the third subunit.
  • the core portion, the core portion of the fourth subunit, and the auxiliary core portion on the other side in the thickness direction of the mover of the spacer unit are collectively provided with a winding line.
  • the first subunit, the spacer unit, the second subunit, the spacer unit, the third subunit, the spacer unit, and the fourth subunit configured as described above are provided. They are stacked in this order, and the core part of the first subunit, the auxiliary core part of the second subunit, the core part of the third subunit, and the auxiliary core part on one side in the thickness direction of the mover of each spacer unit, The second subunit core part, the third subunit auxiliary core part, the fourth subunit core part, and the auxiliary core part on the other side in the thickness direction of the mover of each spacer unit are rolled together. The wire is wound.
  • the winding lines are applied in a lump instead of individually for each magnetic pole, the structure of the winding lines is simple and downsizing is easy. Moreover, since the 1st subunit and 4th subunit which one side of both the winding lines are not wound are arrange
  • the first subunit, the second subunit, the third subunit, the fourth subunit, and the spacer unit are the same in the thickness direction of the mover. It is divided by position.
  • the first to fourth subunits and the spacer unit are divided in the thickness direction. Therefore, it is possible to apply a winding line in a divided state, the winding process is easy, and an armature can be easily manufactured.
  • each of a plurality of plate magnets magnetized in the thickness direction has a thickness in each of a plurality of holes formed in parallel with a rectangular magnet holding spacer made of a non-magnetic material.
  • Plate magnets magnetized in one direction of the direction and plate magnets magnetized in the direction opposite to the one direction of the thickness direction are alternately arranged on both sides of the magnet holding spacer in the width direction.
  • a movable element having a linear guide rail provided on a frame extending in the longitudinal direction includes a rectangular opening, a yoke part arranged outside the opening, and a thickness direction of the movable element from the yoke part.
  • the first subunit made of a soft magnetic material having a core portion extended, a rectangular opening, a yoke portion arranged outside the opening, and one side in the thickness direction of the mover from the yoke portion
  • a spacer unit made of a magnetic material is connected to the first subunit and the second subunit.
  • the opening of the first subunit, the opening of the second subunit, the opening of the third subunit, the opening of the fourth subunit, and the spacer unit is characterized by being penetrated through the opening of the base plate.
  • the third linear motor of the present invention has a configuration in which the second armature as described above is passed through the third armature as described above. Since the weight of the mover can be reduced, the response speed of the mover is increased. In addition, the wire structure in the armature is simple and the size can be reduced. Also, since the circumference of each linear guide rail has the same polarity, even if magnetic linear guide rails are used, magnetic flux does not leak in the direction of the linear guide rails, resulting in a reduction in thrust. Absent.
  • the coils of the armature can be integrated, which is effective for space saving of the coil. There is a problem that the maximum thrust is reduced due to the large amount of magnetic flux.
  • the armature coils can be integrated into one package, and the leakage magnetic flux from the core portion is also small, so that the thrust is not reduced and the linear motor can be reduced in size and increased in output. There is an effect that it is possible to provide a linear motor that can achieve high efficiency and high thrust even with a small configuration.
  • FIG. 15 is a plan view showing a division pattern of first to fourth subunits and spacer units of an armature according to a modification of the third embodiment.
  • FIG. 1 is a plan view illustrating a configuration of a linear motor according to Embodiment 1.
  • FIG. 4 is a graph showing measurement results of thrust characteristics in the linear motor according to Example 1.
  • 6 is a plan view showing an armature material used for manufacturing an armature according to Example 2.
  • FIG. 6 is a plan view illustrating a configuration of a linear motor according to Embodiment 2.
  • 6 is a graph showing measurement results of thrust characteristics in a linear motor according to Example 2.
  • 6 is a plan view showing an armature material used for manufacturing an armature according to Example 3.
  • FIG. 6 is a plan view showing an armature material used for manufacturing an armature according to Example 3.
  • FIG. 6 is a plan view showing an armature material used for manufacturing an armature according to Example 3.
  • FIG. 6 is a plan view and a cross-sectional view illustrating a configuration of a linear motor according to a third embodiment.
  • 10 is a graph showing measurement results of thrust characteristics in a linear motor according to Example 3.
  • 10 is a graph showing measurement results of thrust characteristics in a linear motor according to Example 3.
  • FIG. 1 is a perspective view showing the configuration of the mover according to the first embodiment.
  • the mover 1 of the first embodiment has a configuration in which two types of flat magnets 2a and 2b and a flat soft magnetic body 3 are combined.
  • the flat magnet 2a, the soft magnetic body 3, and the flat magnet 2b and soft magnetic bodies 3,... are alternately bonded in this order.
  • white arrows indicate the magnetization directions of the flat magnets 2a and 2b.
  • the flat magnets 2a and 2b are both magnetized in the overlapping direction, that is, the moving direction of the mover 1 (longitudinal direction of the mover 1), but their magnetization directions are opposite to each other by 180 degrees.
  • a flat soft magnetic body 3 is inserted between the adjacent flat magnets 2a and 2b.
  • the soft magnetic body 3 plays a role of changing the direction of the magnetic flux from the flat magnets 2 a and 2 b in the thickness direction of the mover 1.
  • the movable element 1 has a magnetic circuit configuration that generates magnetic flux in a direction perpendicular to the longitudinal direction (movement direction).
  • FIGS. 2A to 2D are perspective views showing the configuration of the armature according to the first embodiment
  • FIGS. 2A to 2C are partial configuration diagrams thereof
  • FIG. 2D is an overall configuration diagram thereof.
  • the armature 4 has a configuration in which the first subunits 5 shown in FIG. 2A and the second subunits 6 shown in FIG. 2B are alternately arranged (see FIG. 2C).
  • the first subunit 5 is made of a soft magnetic material, and has an opening 5a through which the mover 1 passes, a yoke 5b serving as a frame disposed outside the opening 5a, and a yoke 5b.
  • the two core portions 5c, 5c have the same rectangular shape in plan view, and are provided at positions separated by 180 degrees with the opening 5a as the center.
  • the second subunit 6 is made of a soft magnetic material, and has an opening 6a through which the mover 1 passes, a yoke portion 6b as a frame disposed outside the opening 6a, and a yoke. It has two core parts 6c and 6c extended from the part 6b in the width direction of the needle
  • Each of the core portions 6c and 6c has a rectangular shape in which the base end portion on the yoke portion 6b side has a rectangular shape in plan view, and the tip end portion on the opening portion 6a side has a tapered shape that becomes narrower toward the center in plan view.
  • the tip portions of both core portions 6c, 6c are connected to each other.
  • first subunits 5 and second subunits 6 are alternately arranged and overlapped as shown in FIG. 2C.
  • the yoke portion 5b and the yoke portion 6b are in contact with each other, but the core portion 5c and the core portion 6c are not in contact with each other. There is a gap between them to avoid magnetic shorts.
  • Winding the winding wire 8a and penetrating through the common gap portions 7c and 7d of the first subunit 5 and the second subunit 6 and the other core portion 6c of the second subunit 6 (FIG. 2B, C Winding wire 8b is collectively wound around the left core portion 6c).
  • the two wire lines 8a and 8b are connected so that the energization directions of the wire 8a and the wire 8b are reversed (see FIG. 2D).
  • the white arrows in FIG. 2D indicate the energization directions on the winding lines 8a and 8b.
  • FIG. 3 is a perspective view showing the configuration of the linear motor 10 according to the first embodiment.
  • the armature 4 functions as a stator. Then, by applying a current in the reverse direction to the winding wires 8a and 8b, the mover 1 penetrating through the hollow portion 9 of the armature 4 performs a reciprocating linear motion with respect to the armature 4 (stator).
  • FIG. 4 is a cross-sectional view showing an energized state and a magnetomotive force in the armature 4 of the first embodiment.
  • “ ⁇ (flow from the back of the paper to the front)” and “ ⁇ (flow from the front to the back of the paper)” indicate the flow directions to the winding lines 8 a and 8 b.
  • the white arrow indicates the direction of the magnetomotive force applied to the core portions 5c and 6c by energization of the coil.
  • a magnetic field is generated in all the core portions 5c and 6c of the first subunit 5 and the second subunit 6 by applying a reverse current to the winding wire 8a and the winding wire 8b.
  • each subunit when the thickness of the core portion is made thinner than the thickness of the yoke portion so that both subunits are overlapped, the core portions of both subunits are not in contact with each other.
  • a spacer unit 11 made of a soft magnetic material consisting only of a frame-shaped yoke as shown in FIG. 5 between adjacent subunits the entire thickness of each subunit is made uniform. Also, it can be configured so that the core portions of both subunits do not contact each other.
  • the first subunit 5, the spacer unit 11, the second subunit 6, the spacer unit 11, In the armature 4 having such a configuration, the first subunit 5, the spacer unit 11, the second subunit 6, the spacer unit 11,.
  • the mover in the first embodiment as described above has a large amount of magnetic flux and is lightweight even if it is plate-shaped.
  • the armature according to the first embodiment does not have a complicated wire structure even when the magnetic pole pitch is small, and is less likely to become magnetically saturated.
  • the linear motor in the first embodiment has a structure that hardly causes magnetic saturation, high-speed response can be realized, and the conversion efficiency of the motor can be increased to achieve a small size and high output.
  • the core portion 6c of the second subunit 6 of the first embodiment is tapered from the middle toward the opening 6a because the core portion 5c of the first subunit 5 and the second subunit 6 are tapered. This is to reduce the area of the portion facing the core portion 6c. Since the first sub-unit 5 and the second sub-unit 6 are energized through common winding lines 8a and 8b, the polarity of the opening 5a and the polarity of the opening 6a are reversed as shown in FIG. . Therefore, since the leakage magnetic flux (total magnetic flux) that does not contribute to the output generated in the air layer is proportional to the facing area of the core portion, the leakage of magnetic flux from the core portion 5c to the core portion 6c should be reduced. The facing area between the core part 5c and the core part 6c is reduced.
  • the width of the base end portion on the yoke portion 6b side of the core portion 6c of the second subunit 6 is kept wide to suppress the occurrence of magnetic saturation in this portion.
  • the taper to form may be curvilinear.
  • gap part (notch part) in the 2nd subunit 6 was made into V shape as shown to FIG. 2B, other shapes, such as U shape, may be sufficient.
  • the winding lines 8a and 8b are collectively applied to the core portion 6c of the second subunit 6.
  • the winding lines are collectively applied to the core portion 5c of the first subunit 5. You may make it give. Moreover, you may make it give a winding line to both the core part 5c of the 1st subunit 5, and the core part 6c of the 2nd subunit 6. FIG.
  • a total of 10 flat magnets 2a, 2b and 10 soft magnetic bodies 3 are sequentially stacked one by one, but this is only an example.
  • the number may be any number.
  • two sets of the first subunit 5 and the second subunit 6 are alternately arranged, this is an example, and the number of sets may be an arbitrary number.
  • a single-phase linear motor (unit for one phase) has been described.
  • the above-described three armatures are set to a magnetic pole pitch ⁇ (n + 1/3) or
  • the magnetic pole pitch ⁇ (n + 2/3) (where n is an integer) may be arranged linearly at intervals, and the mover may be passed through them.
  • the integer n may be set in consideration of the space in which the line is accommodated.
  • FIG. 6 is a perspective view showing the configuration of the mover according to the second embodiment.
  • the mover 21 of the second embodiment has a configuration in which two types of flat magnets 22a and 22b are alternately combined.
  • white arrows indicate the magnetization directions of the flat magnets 22a and 22b.
  • the flat magnets 22a and 22b are both magnetized in the thickness direction, but their magnetization directions are opposite to each other by 180 degrees.
  • a spacer (not shown) is inserted between the adjacent flat magnets 22a and 22b.
  • FIGS. 7A to 7D are perspective views showing the configuration of the armature according to the second embodiment, in which FIGS. 7A to 7C are partial configuration diagrams thereof, and FIG. 7D is an overall configuration diagram thereof.
  • the armature 24 has a configuration in which the first subunits 25 shown in FIG. 7A and the second subunits 26 shown in FIG. 7B are alternately arranged (see FIG. 7C).
  • the first subunit 25 is made of a soft magnetic material, and has an opening 25a through which the movable element 21 penetrates, a yoke part 25b as a frame disposed outside the opening 25a, and a yoke part 25b.
  • the first core portion 25c extending in the thickness direction of the mover 21 from one side in the longitudinal direction, and the second core portions 25d and 25d extending in the width direction of the mover 21 from both sides in the width direction of the yoke portion 25b. And have.
  • the first core portion 25c has a rectangular shape in plan view.
  • Each of the second core portions 25d and 25d has a trapezoidal shape in a plan view in which the base end portion on the yoke portion 25b side has a rib 25e, and the tip end portion on the opening portion 25a side becomes narrower toward the center in the plan view. It has a trapezoidal shape that is tapered, and the tip portions of the second core portions 25d and 25d are connected to each other.
  • the second subunit 26 is formed of a soft magnetic material, and includes an opening 26a through which the movable element 21 passes, a yoke 26b as a frame disposed outside the opening 26a, and a yoke.
  • a first core portion 26c extending in the thickness direction of the mover 21 from one longitudinal direction side of the portion 26b, and a rib 26e extending in the width direction of the mover 21 from both sides in the width direction of the yoke portion 26b. 2 core portions 26d and 26d.
  • the second subunit 26 has a configuration in which the first subunit 25 is rotated 180 degrees, in other words, a configuration in which the top and bottom of the first subunit 25 are inverted.
  • the opening 26a, the yoke portion 26b, the first core The shape of the portion 26c and the second core portions 26d and 26d in plan view is a shape obtained by rotating the opening 25a, the yoke portion 25b, the first core portion 25c, and the second core portions 25d and 25d of the first subunit 25 by 180 degrees. It is.
  • the thickness of the core part is made thinner than the thickness of the yoke part in each of the first subunit 25 and the second subunit 26 and the both subunits 25 and 26 are overlapped, The core parts are prevented from contacting each other. Then, such first subunits 25 and second subunits 26 are alternately arranged and overlapped as shown in FIG. 7C.
  • the yoke portion 25b and the yoke portion 26b are in contact with each other, but the first core portion 25c, the second core portion 25d, and the first subunit
  • the core portion 26c and the second core portion 26d are not in contact with each other, and a gap exists between them to avoid a magnetic short circuit.
  • 26d (the second core portion 25d and the second core portion 26d on the right side of FIGS. 7A and 7B) are wound together with the winding wire 28a and a common gap between the first subunit 25 and the second subunit 26
  • the other second core portion 25d in the first subunit 25 and the other second core portion 26d in the second subunit 26 through the portions 27c and 27d (the second core portion 25d on the left side of FIGS.
  • the winding wire 28b is wound around the two core portions 26d).
  • Both the winding lines 28a and 28b are connected so that the energization directions of the winding lines 28a and 28b are reversed (see FIG. 7D).
  • White arrows in FIG. 7D indicate energization directions on the winding lines 28a and 28b.
  • FIG. 8 is a perspective view showing the configuration of the linear motor 30 according to the second embodiment.
  • the armature 24 functions as a stator. Then, by applying a current in the reverse direction to the winding wires 28a and 28b, the mover 21 penetrating through the hollow portion 29 of the armature 24 performs a reciprocating linear motion with respect to the armature 24 (stator).
  • FIGS. 9A and 9B are cross-sectional views showing the energized state and magnetomotive force in the armature 24 (first subunit 25, second subunit 26) of the second embodiment.
  • 9A and 9B “ ⁇ (flow from the back of the paper to the front)” and “ ⁇ (flow from the front to the back of the paper)” indicate the flow directions to the winding lines 28a and 28b.
  • the white arrow indicates the direction of the magnetomotive force applied to the first core portions 25c and 26c and the second core portions 25d and 26d by energization of the coil.
  • both subunits when the thickness of the core portion is made thinner than the thickness of the yoke portion so that both subunits are overlapped, the core portions of both subunits are not in contact with each other.
  • a spacer unit 31 consisting of only a frame-shaped yoke as shown in FIG. 10 between both adjacent subunits, both subunits can be made uniform in thickness. It can be configured so that the core portions of the two do not contact each other.
  • the first subunit 25 the spacer unit 31, the second subunit 26, the spacer unit 31,.
  • the mover in the second embodiment as described above has a large amount of magnetic flux and is lightweight even if it is plate-shaped.
  • the armature according to the second embodiment does not have a complicated wire structure even when the magnetic pole pitch is small, and is less likely to become magnetically saturated.
  • the linear motor in the second embodiment has a structure that hardly causes magnetic saturation, high-speed response can be realized, and the conversion efficiency of the motor can be increased to achieve a small size and high output.
  • the second core portion 25d of the first subunit 25 and the second core portion 26d of the second subunit 26 in the second embodiment are tapered, so that the second core portion 25d of the first subunit 25 is tapered.
  • the first core portion 26c of the second subunit 26, the second core portion 26d of the second subunit 26, and the first core portion 25c of the first subunit 25 are opposed to each other. is there. Since the leakage magnetic flux (total magnetic flux) that does not contribute to the output generated in the air layer is proportional to the facing area of the core portion, leakage of magnetic flux from the first core portion 25c, 26c to the second core portion 25d, 26d ( In order to reduce (slip), the area of the facing portion is reduced.
  • ribs 25e and 26e are provided at the base ends of the second core portions 25d and 26d on the yoke portions 25b and 26b side. This is because when the width of this portion is narrow, the magnetic flux passage from the first core portions 25c and 26c toward the yoke portions 25b and 26b becomes narrow and magnetic saturation is likely to occur.
  • the ribs 25e and 26e are provided to suppress the occurrence of magnetic saturation in this portion.
  • the taper to form may be curvilinear.
  • gap part (notch part) in the 1st subunit 25 and the 2nd subunit 26 was made into V shape as shown to FIG. 7A and B, other shapes, such as U shape, are used. It may be. Further, the shapes of the ribs 25e and 26e are not limited to those illustrated.
  • the tear lines 28a and 28b are collectively applied to the second core portions 25d and 26d of the first and second subunits 25 and 26.
  • the first core portion 25c and the first core portion 26c of the second subunit 26 may be collectively bundled.
  • the first core portions 25c and 26c and the second core portions 25d and 26d may be both marked.
  • a total of ten flat magnets 22a and 22b are sequentially stacked one by one, but this is only an example, and the number thereof may be any number.
  • two sets of the first subunit 25 and the second subunit 26 are alternately arranged, this is an example, and the number of sets may be an arbitrary number.
  • a single-phase linear motor (unit for one phase) has been described.
  • the above-described three armatures are set to a magnetic pole pitch ⁇ (n + 1/3) or
  • the magnetic pole pitch ⁇ (n + 2/3) (where n is an integer) may be arranged linearly at intervals, and the mover may be passed through them.
  • the integer n may be set in consideration of the space in which the line is accommodated.
  • FIG. 11 is a perspective view showing the entire configuration of the mover according to the third embodiment.
  • two types of flat magnets 42 a and 42 b are alternately arranged in a plurality of holes of a non-magnetic magnet holding spacer 43, and linear on both sides of the magnet holding spacer 43 in the width direction.
  • Guide rails 44 and 44 are provided.
  • FIG. 12A to 12D are perspective views showing a partial configuration of the mover 41.
  • FIG. FIG. 12A shows an arrangement example of two types of flat magnets 42a and 42b, and white arrows indicate the magnetization directions of the flat magnets 42a and 42b.
  • the flat magnets 42a and 42b are both magnetized in the thickness direction, but their magnetization directions are opposite to each other by 180 degrees.
  • FIG. 12B shows the magnet holding spacer 43.
  • the magnet holding spacer 43 has a flat rectangular parallelepiped shape as a whole, and a plurality of rectangular holes 43 a that are long in the width direction of the magnet holding spacer 43 are arranged in parallel in the longitudinal direction of the magnet holding spacer 43.
  • the opposing direction of the side frames 43b and 43b extending in the longitudinal direction on both sides in the width direction of the magnet holding spacer 43 and the longitudinal direction of the hole 43a do not coincide with each other and are shifted by several degrees.
  • the depth of the hole 43a is equal to the thickness of the flat magnets 42a and 42b, and the number of the holes 43a is equal to the total number of the flat magnets 42a and 42b.
  • each hole 43a of the magnet holding spacer 43 an adhesive is applied to the wall surface of each hole 43a of the magnet holding spacer 43, and the plate-like magnets 42a and 42b are alternately fitted into the holes 43a and fixed (see FIG. 12C).
  • the flat magnets 42a and 42b may be alternately arranged in the holes 43a, and an adhesive may be injected into the arrangement locations with a syringe or the like to fix them.
  • FIG. 12D shows the linear guide rails 44 and 44.
  • Each linear guide rail 44 has a long cylindrical shape as a whole, and a notch 44a is formed in a part of the peripheral surface of the linear guide rail 44 over the entire longitudinal direction. Then, by inserting the side frames 43b and 43b of the magnet holding spacer 43 into which the flat magnets 42a and 42b are fitted into the notches 44a and 44a of the linear guide rails 44 and 44, the movable as shown in FIG. A child 41 is produced.
  • FIGS. 14A to 14E and 15A and 15B are diagrams showing the structure of the armature according to the third embodiment, and FIGS. 14A to 14E are first to second armatures used in the armature 54 of the third embodiment.
  • FIG. 15A is a partial configuration diagram of the armature 54
  • FIG. 15B is an overall configuration diagram of the armature 54.
  • the first subunit 55 shown in FIG. 14A is made of a soft magnetic material, and includes an opening 55a through which the mover 41 passes, and a yoke portion 55b as a frame disposed outside the opening 55a. And a core portion 55c extending from the yoke portion 55b to one side in the thickness direction of the mover 41.
  • the core portion 55c has a trapezoidal shape in which the base end portion on the yoke portion 55b side has a rectangular shape in plan view, and the tip end portion on the opening portion 55a side becomes wider in the plan view.
  • the second subunit 56 shown in FIG. 14B is made of a soft magnetic material, and includes an opening 56a through which the mover 41 passes, and a yoke portion 56b as a frame disposed outside the opening 56a.
  • the auxiliary core portion 56c extends from the yoke portion 56b to one side in the thickness direction of the mover 41, and the core portion 56d extends from the yoke portion 56b to the other side in the thickness direction of the mover 41.
  • the core part 56d has the same shape as the core part 55c, the base end part on the yoke part 56b side has a rectangular shape in plan view, and the tip part on the opening part 56a side becomes wider toward the center in plan view. It has a trapezoidal shape.
  • the auxiliary core portion 56c has a shorter dimension than the core portion 56d, the base end portion on the yoke portion 56b side has a rectangular shape in plan view, and the width becomes narrower as the tip end portion on the opening portion 56a side approaches the center in plan view. It has a triangular shape.
  • the third subunit 57 shown in FIG. 14C is made of a soft magnetic material, and includes an opening 57a through which the mover 41 passes, and a yoke part 57b as a frame disposed outside the opening 57a.
  • the core portion 57c extends from the yoke portion 57b to one side in the thickness direction of the mover 41, and the auxiliary core portion 57d extends from the yoke portion 57b to the other side in the thickness direction of the mover 41.
  • the core portion 57c has the same shape as the core portion 55c, the base end portion on the yoke portion 57b side has a rectangular shape in plan view, and the tip end portion on the opening portion 57a side becomes wider toward the center in plan view.
  • the auxiliary core portion 57d has a shorter dimension than the core portion 57c, the base end portion on the yoke portion 57b side has a rectangular shape in plan view, and the width becomes narrower as the tip end portion on the opening portion 57a side approaches the center in plan view. It has a triangular shape.
  • the third subunit 57 is configured by rotating the second subunit 56 by 180 degrees.
  • the fourth subunit 58 shown in FIG. 14D is made of a soft magnetic material, and includes an opening 58a through which the mover 41 passes, and a yoke portion 58b as a frame disposed outside the opening 58a. And a core portion 58c extending from the yoke portion 58b to the other side in the thickness direction of the mover 41.
  • the core part 58c has the same shape as the core part 55c, and the core part 58c has a rectangular base end part on the yoke part 58b side in plan view and a tip part on the opening part 58a side in the center in plan view. It has a trapezoidal shape that becomes wider as you go.
  • the fourth subunit 58 is configured by rotating the first subunit 55 by 180 degrees.
  • a spacer unit 59 shown in FIG. 14E is made of a soft magnetic material, and includes an opening 59a through which the mover 41 passes, a yoke part 59b as a frame disposed outside the opening 59a, and a yoke And auxiliary core portions 59c and 59d extending from the portion 59b to both sides in the thickness direction of the mover 41.
  • the auxiliary core portions 59c and 59d have the same shape as the auxiliary core portion 56c and the auxiliary core portion 57d, the base end portion on the yoke portion 59b side is rectangular in plan view, and the distal end portion on the opening 59a side is flat. It has a triangular shape that becomes narrower toward the center.
  • the armature 54 includes a first subunit 55, a spacer unit 59, a second subunit 56, a spacer unit 59, a third subunit 57, a spacer unit 59, and a fourth subunit 58 in this order. It has a laminated structure (see FIG. 15A).
  • the armature 54 is configured by winding the winding wire 60b around the auxiliary core portion 59d on the other side in the thickness direction of the mover 41 (see FIG. 15B).
  • Both the winding lines 60a and 60b are connected so that the energization directions of the winding line 60a and the winding line 60b are reversed.
  • White arrow marks in FIG. 15B indicate the energization directions on the winding lines 60a and 60b.
  • FIG. 16 is a perspective view showing a configuration of a linear motor 70 according to the third embodiment.
  • the armature 54 functions as a stator. Then, by applying a current in the reverse direction to the winding wires 60a and 60b, the mover 41 penetrating through the hollow portion 61 of the armature 54 performs a reciprocating linear motion with respect to the armature 54 (stator).
  • a magnet holding spacer 43 storing a plurality of flat magnets 42a and 42b is supported by a linear guide rail 44 made of a magnetic material. Yes. Therefore, it is possible to increase the rigidity by giving the mover 41 high mechanical strength.
  • a magnetic material generally has a low bending strength and is likely to generate vibrations such as flexural vibration and resonance vibration.
  • the linear guide rail 44 is provided in the third embodiment, vibrations such as flexural vibration and resonance vibration can be suppressed even if the stroke becomes long. Therefore, even if it is moved at a high speed, a large vibration does not occur, and a stable high-speed linear movement without rattling can be realized.
  • the longitudinal direction of the flat magnets 42 a and 42 b is skewed about several degrees with respect to the opposing direction of the linear guide rails 44 and 44. Therefore, when the mover 41 is moved at a constant speed, the jerky movement (cogging) can be reduced, and a smooth high-speed linear motion can be realized.
  • the spacer unit 59 is provided with the auxiliary core portions 59c and 59d, and the gap between the same-polar cores is filled as much as possible to increase the cross-sectional area of the magnetic flux path to increase the magnetic flux. Thus, such magnetic saturation is prevented from occurring.
  • the first subunit 55 and the fourth subunit 58 that do not have the auxiliary core portion are arranged at both ends, respectively, so that the winding line 60a and the winding line 60b Can be made small. Accordingly, when the three-phase configuration is adopted, the total length can be shortened.
  • the first subunit 55, the second subunit 56, the third subunit 57, the fourth subunit 58, and the spacer unit 59 are respectively formed as three members at the same position in the thickness direction of the mover 41. It is divided.
  • FIGS. 17A to 17E are diagrams showing division patterns of the first to fourth subunits 55 to 58 and the spacer unit 59.
  • FIG. 17A, B, C, D, and E show division patterns of the first subunit 55, the second subunit 56, the third subunit 57, the fourth subunit 58, and the spacer unit 59, respectively. Each of these units is divided at the same position of the yoke portion.
  • the first subunit 55 is divided into an upper first member 551 including a core portion 55c, a central second member 552, and a lower third member 553.
  • the second subunit 56 includes an upper first member 561 including an auxiliary core portion 56c, a central second member 562, and a lower third member 563 including a core portion 56d. It is divided.
  • the third subunit 57 includes an upper first member 571 including the core portion 57c, a central second member 572, and a lower third member 573 including the auxiliary core portion 57d. It is divided. As shown in FIG.
  • the fourth subunit 58 is divided into an upper first member 581, a central second member 582, and a lower third member 583 including the core portion 58 c.
  • the spacer unit 59 is divided into an upper first member 591 including an auxiliary core portion 59c, a central second member 592, and a lower side 593 including an auxiliary core portion 59d. .
  • the first member 551 of the first subunit 55, the first member 591 of the spacer unit 59, the first member 561 of the second subunit 56, the first member 591 of the spacer unit 59, and the first of the third subunit 57 The member 571, the first member 591 of the spacer unit 59, and the first member 581 of the fourth subunit 58 are stacked in this order to obtain an upper first intermediate body 71 as shown in FIG. 18A.
  • the second member 552 of the first subunit 55, the second member 592 of the spacer unit 59, the second member 562 of the second subunit 56, the second member 592 of the spacer unit 59, and the second member of the third subunit 57 The member 572, the second member 592 of the spacer unit 59, and the second member 582 of the fourth subunit 58 are laminated in this order to obtain a second intermediate body 72 at the center as shown in FIG. 18B.
  • the third member 553 of the first subunit 55, the third member 593 of the spacer unit 59, the third member 563 of the second subunit 56, the third member 593 of the spacer unit 59, and the third member 57 of the third subunit 57 The member 573, the third member 593 of the spacer unit 59, and the third member 583 of the fourth subunit 58 are laminated in this order to obtain a lower third intermediate body 73 as shown in FIG. 18C.
  • the first to fourth subunits 55 to 58 and the spacer unit 59 are divided. Therefore, it is possible to apply the winding lines 60a and 60b in the divided state, and the winding process is easy, and the armature 54 can be easily manufactured.
  • the magnetic potential is the same, even if the magnetic potential is divided, the leakage of the magnetic flux is small, and the thrust characteristics are not adversely affected.
  • the above three armatures 54 are provided with a magnetic pole pitch ⁇ (n + 1/3). ) Or magnetic pole pitch ⁇ (n + 2/3) (where n is an integer), and is arranged in a straight line so that the movable element 41 penetrates them.
  • the three armatures 54 are connected and fixed by passing screws through holes provided in the units of the armatures 54.
  • the integer n may be set in consideration of the space in which the line is accommodated.
  • Example 1 corresponds to the above-described first embodiment.
  • a plate-like movable element 1 used for a linear motor a movable element including a permanent magnet having a shape as shown in FIG. 1 was produced.
  • a soft magnetic body 3 pole piece
  • a soft steel made by SPCC having a length of 50 mm, a width of 8 mm, and a thickness of 6 mm was produced by cutting.
  • an armature 4 was produced. 16 pieces of armature material having a shape as shown in FIG. 20A were cut out from a 0.5 mm-thick silicon steel sheet, and the 16 pieces thus cut out were stacked and bonded to produce a first subunit 5 having a thickness of 8 mm. (See FIG. 2A). Also, 16 pieces of armature material having a shape as shown in FIG. 20B are cut out from a 0.5 mm-thick silicon steel plate, and the 16 pieces thus cut out are stacked and bonded together to form a second subunit 6 having a thickness of 8 mm. It produced (refer FIG. 2B). Further, eight armature materials having a shape as shown in FIG. 20C were cut out from a 0.5 mm-thick silicon steel plate, and these eight cut-out pieces were stacked and bonded to produce a spacer unit 11 having a thickness of 4 mm. (See FIG. 5).
  • the units thus fabricated are stacked in the order of the first subunit 5, the spacer unit 11, the second subunit 6, the spacer unit 11, the first subunit 5, the spacer unit 11, and the second subunit 6.
  • a single-phase unit was constructed (see FIG. 2C, except that the spacer unit 11 is not shown).
  • the thickness of this single-phase unit is 44 mm.
  • a polyimide tape is spread on the gaps at the four corners where the winding lines for the armature core are to be secured, and on that While passing through a magnet wire having a diameter of 1.2 mm, it was wound 100 times in two places (see FIG. 2D). And it connected in series so that the direction of the current would be reversed when energized.
  • the mover 1 was inserted (see FIG. 3) and fixed to the test bench so that the mover 1 could move in the longitudinal direction without contacting the armature 4.
  • 21A and 21B show the configuration of the manufactured linear motor 10.
  • One end of a pair of drive coils wound on three armatures 4 was connected, and the other end was connected to a motor controller using a star connection that connected three-phase power supplies U, V, and W phases. Further, an optical linear scale was bonded to the tip of the mover 1 and a linear encoder was attached to the test bench fixed side so that the position of the mover 1 was read. The position signal detected by the linear encoder is output to the motor controller to control the position of the mover 1.
  • the horizontal axis of FIG. 22 is the effective value of the drive current per one armature phase ⁇ the number of coil turns.
  • the maximum thrust exceeded 450 N, and the mass of the mover was 0.9 kg, so the thrust / mover mass ratio was 500 N / kg.
  • the mass of the mover is about 2.5 kg, and the thrust / mover mass ratio is about 200 N / kg. Therefore, in the linear motor of the present invention, the mass of the mover can be reduced to about 2/5 in order to obtain the same thrust as compared with the conventional linear motor.
  • the present invention can provide a linear motor that is very effective for high-speed processing in a processing machine or the like.
  • Example 2 is an example corresponding to the second embodiment described above.
  • the plate-like movable element 21 used for the linear motor was produced as follows.
  • the magnetizing directions were arranged so that the magnetization direction alternated up and down in the thickness direction.
  • an aluminum spacer having a length of 50 mm, a width of 2 mm, and a thickness of 5 mm was inserted between adjacent magnets and bonded to the magnet to assemble the mover.
  • the manufactured mover 21 is composed of 30 plate-like magnets 22a and 22b and 29 spacers (not shown), and the size is 358 mm in length, 50 mm in width, and 5 mm in thickness.
  • an armature 24 was produced.
  • a 20-mm armature material having a shape as shown in FIG. 23A is cut from a 0.5 mm-thick silicon steel plate by wire cutting, and the 20 cut-out pieces are stacked and bonded together to form a first subunit having a thickness of 10 mm. 25 and the 2nd subunit 26 were produced (refer FIG. 7A and B).
  • four armature materials having a shape as shown in FIG. 23B were cut out from a 0.5 mm-thick silicon steel plate, and these four cut-out pieces were stacked and bonded to produce a spacer unit 31 having a thickness of 2 mm. (See FIG. 10).
  • the first subunit 25 and the second subunit 26 are merely in an upside-down relationship, and if one of them is rotated 180 degrees, it matches the other shape. Therefore, unlike the first embodiment, the first subunit 25 and the second subunit 26 can be manufactured using the same mold.
  • the units thus fabricated are stacked in the order of the first subunit 25, the spacer unit 31, the second subunit 26, the spacer unit 31, the first subunit 25, the spacer unit 31, and the second subunit 26.
  • a single-phase unit was constructed (see FIG. 7C, except that the spacer unit 31 is not shown).
  • the thickness of this single-phase unit is 46 mm.
  • a magnet wire having a diameter of 1.2 mm with a polyimide tape for insulation is passed through the gaps at the four corners while passing 2 The place was beaten 100 times (see FIG. 7D). And it connected in series so that the direction of the current would be reversed when energized.
  • FIG. 24 shows the configuration of the manufactured linear motor 30.
  • One end of a pair of drive coils wound around the three armatures 24 was connected, and the other end was connected to a motor controller with a star connection connecting the three-phase power supplies U, V, and W phases.
  • a motor controller with a star connection connecting the three-phase power supplies U, V, and W phases.
  • an optical linear scale was bonded to the tip of the mover 21 and a linear encoder was attached to the test bench fixed side so that the position of the mover 21 was read.
  • the position signal detected by the linear encoder is output to the motor controller to control the position of the mover 21.
  • the horizontal axis of FIG. 25 is the effective value of the drive current per armature phase ⁇ the number of turns of the coil.
  • the maximum thrust was 750 N, and the mass of the mover was 0.7 kg, so the thrust / mover mass ratio was 1070 N / kg.
  • This linear motor 30 has a thrust / mover mass ratio that is five times or more larger than that of a conventional linear motor of about 200 N / kg. Therefore, in the linear motor of the present invention, the mass of the mover can be reduced to about 1/5 in order to obtain the same thrust as compared with the conventional linear motor.
  • the present invention can provide a linear motor that is very effective for high-speed processing in a processing machine or the like.
  • Example 2 a larger thrust is obtained than in Example 1.
  • Example 1 first embodiment
  • Example 2 second embodiment
  • any configuration may be selected according to the use application and purpose of the linear motor.
  • Example 3 is an example corresponding to a modification of the above-described third embodiment.
  • an armature 54 was produced. After cutting 16 pieces of armature material having a planar shape as shown in FIGS. 14A and D from a 0.5 mm-thick silicon steel plate by wire cutting, these 16 pieces cut out and bonded together (thickness 8 mm) By dividing into three, three types of separation members in the first subunit 55 and the fourth subunit 58 were obtained (see FIGS. 17A and 17D). Examples of specific dimensions and shapes are shown in FIG. In FIG. 26, (x, y) represents the coordinate position (unit of length: mm) of each point when the center coordinate is (0, 0).
  • the first subunit 55 and the fourth subunit 58 only have an upside-down relationship, and if one of them is rotated 180 degrees, it matches the shape of the other. Therefore, the first subunit 55 and the fourth subunit 58 can be manufactured using the same mold.
  • FIGS. 17B and 17C show three types of separation members obtained in the second subunit 56 and the third subunit 57 (see FIGS. 17B and 17C).
  • FIG. (X, y) in FIG. 27 represents the coordinate position (unit of length: mm) of each point when the center coordinate is (0, 0).
  • the second subunit 56 and the third subunit 57 only have an upside-down relationship, and if one of them is rotated 180 degrees, it matches the shape of the other. Therefore, the second subunit 56 and the third subunit 57 can be manufactured using the same mold.
  • a first member 71 of each unit is stacked to form a first intermediate 71 (see FIG. 18A), a second member of each unit is stacked to form a second intermediate 72 (see FIG. 18B), and each unit The third member 73 was laminated to form the third intermediate 73 (see FIG. 18C).
  • a magnet wire having a diameter of 1.2 mm with a polyimide tape for insulation is attached to the core portion and the auxiliary core portion of the first intermediate body 71 in a lump 100 times and driven.
  • the same magnet wire was collectively wound 100 times on the core portion and the auxiliary core portion of the third intermediate 73 (see FIGS. 19A and 19B). And it connected in series so that the direction of the current would be reversed when energized.
  • the first intermediate body 71, the second intermediate body 72, and the third intermediate body 73 were assembled to produce the armature 54 (see FIG. 15B).
  • the mover 41 was inserted (see FIG. 16) and fixed to the test bench so that the mover 41 could move in the longitudinal direction without contacting the armature 54.
  • One end of a pair of drive coils wound around the three armatures 54 was connected, and the other end was connected to a motor controller with a star connection connecting the three-phase power supplies U, V, and W phases. Further, an optical linear scale was bonded to the tip of the mover 41, and a linear encoder was attached to the test bench fixed side so that the position of the mover 41 was read. The position signal detected by the linear encoder is output to the motor controller to control the position of the mover 41.
  • the thrust of the mover 41 was measured when the linear guide rail 44 was moved by hand without passing an electric current. At this time, thrust was measured by a method of pressing a force gauge against the mover 41. The measurement results are shown in FIG. According to the phase angle, the thrust was only changed by ⁇ 2.3 N, and it was confirmed that the mover 41 can move smoothly.
  • the thrust of the mover 41 was measured by changing the drive current applied to the drive coil. At this time, thrust was measured by a method of pressing a force gauge against the mover 41.
  • the measurement results are shown in FIG.
  • the horizontal axis of FIG. 31 is the effective value of the drive current per one armature phase ⁇ the number of coil turns.
  • a thrust proportional to the drive current is obtained.
  • the drive current is increased, the core is saturated and the thrust current ratio is reduced.
  • the reduction rate is less than 1 dB (11%) until the thrust is 320 N. It is suppressed.
  • the cogging can be reduced and the smooth high-speed linear motion can be realized by skewing the magnet shape with respect to the longitudinal direction of the mover.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Linear Motors (AREA)

Abstract

　長手方向の一方向に磁化されている板状磁石、軟質磁性体、長手方向の他方向に磁化されている板状磁石、軟質磁性体、…の順に交互に重ね合わせた構成をなす可動子１を、ヨーク部から可動子１の厚み方向に延在しているコア部を有する第１サブユニット５と、ヨーク部から可動子の幅方向に延在しているコア部を有する第２サブユニット６とを交互に配列した構成を有する電機子４に貫通させて、リニアモータ１０とする。第２サブユニット６のコア部に一括して捲き線８ａ，捲き線８ｂが巻回されている。

Description

可動子、電機子及びリニアモータ
　本発明は、複数の板状の永久磁石を有する可動子、可動子が貫通される電機子、及びこれらの可動子と電機子（固定子）とを組み合わせてなるリニアモータに関する。
　電子回路基板などの孔あけ機に用いるドリルの垂直移動装置、または、ピックアンドプレース（部品を掴んで所定の位置に置く）型ロボットにおける垂直移動機構などにあっては、高速な移動かつ高精度の位置決めが要求される。したがって、回転型モータの出力をボールねじにて平行運動（垂直運動）に変換するような従来の方法では、移動速度が遅いため、そのような要求を満たせない。
　そこで、このような垂直移動には、平行運動出力を直接に取り出し可能なリニアモータの利用が進められている。多数の板状の永久磁石を配設した永久磁石構造体を可動子とし、通電コイルを有する電機子を固定子として、固定子に可動子を貫通させた構成が、リニアモータとして種々のタイプのものが提案されている（例えば、特許文献１，２など）。可動子に磁石を用いた従来のリニアモータにおいて、電機子のコイルを各磁極に個別に巻く構成のものは、コイルの数が多くなって小型化が難しくなるとともに、漏れ磁束が多くなってリニアモータとしての効率が低下したり、小型高出力化が難しくなるという問題点がある。この問題点を解決するために、クローポール型（クローティース型）の電機子を用いたリニアモータが提案されている（例えば、特許文献３など）。
特開２００２－２７７３１号公報 特開２００５－２８７１８５号公報 特開２００５－２９５７０８号公報
  従来のリニアモータは、ボールねじに比べれば応答は速いが、可動子の質量が大きいために十分な推力は確保できるものの要求される水準の応答速度を実現できない。高速化に適したリニアモータの構造は可動磁石型であるが、磁極ピッチが大きいと磁石背面のヨークに回り込む磁束の量が多くなり、ヨークの体積が増して可動子が重くなる。一方、磁極ピッチを小さくした場合には、電機子側の捲き線構造が複雑になり、より小型で高出力なリニアモータを実現するのが困難となる。また、垂直移動の用途にあっては自重の影響を受けるため、軽量化がより一層望まれている。
　本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、発生する磁束の量が多くかつ軽量である板状の可動子を提供することを目的とする。
　本発明の他の目的は、磁極ピッチが小さくても捲き線構造が複雑にならず、また磁気飽和になりにくい電機子を提供することにある。
　本発明の更に他の目的は、磁気飽和が起こりにくい構造であり、高速な応答性を実現できてモータの変換効率を高めて高パワー密度化を図れるリニアモータを提供することにある。
　本発明に係る第１の可動子は、複数の板状磁石を有するリニアモータの可動子において、板状磁石と板状の軟質磁性体とを交互に重ねており、前記板状磁石は、重ね方向の可動子の長手方向に磁化した板状磁石と重ね方向の前記長手方向とは逆の方向に磁化した板状磁石とが交互に配されていることを特徴とする。
　本発明の第１の可動子にあっては、重ね方向（長手方向）の一方向に磁化した板状磁石、軟質磁性体、重ね方向（長手方向）の他方向に磁化した板状磁石、軟質磁性体、…の順に重ねて構成されている。このような構成にすることにより、互いに磁化方向が１８０度異なる２つの板状磁石間に挿入された軟質磁性体は、板状磁石からの磁束を厚さ方向に変える機能を担っており、可動子全体の磁気回路としては、長手方向（移動方向）に対して垂直な方向に磁束を発生させる構成である。したがって、この軟質磁性体が磁束の帰路として作用するため、外側に漏れる磁束を低減することができるので、本発明の板状の可動子は、軽量としても十分な磁束の量を確保する。なおここで、可動子の長手方向は可動子の移動方向をいい、可動子の幅方向は可動子の移動方向と可動子から発生する磁束方向との何れにも直交する方向をいい、可動子の厚み方向は可動子から発生する磁束方向に平行な方向をいう。
　本発明に係る第１の電機子は、板状の可動子が貫通されるリニアモータの電機子において、前記可動子が貫通される開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向に延設させたコア部とを有する軟質磁性体製の第１サブユニット、及び、前記可動子が貫通される開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の幅方向に延設させたコア部とを有する軟質磁性体製の第２サブユニットを交互に重ねてなり、前記第１サブユニットの複数のコア部及び／または前記第２サブユニットの複数のコア部に捲き線を施してあることを特徴とする。
　本発明の第１の電機子にあっては、可動子が貫通される開口部と、開口部の外側に配置した枠状のヨーク部と、ヨーク部から可動子の厚み方向に延設させたコア部とを有する第１サブユニットと、可動子が貫通される開口部と、開口部の外側に配置した枠状のヨーク部と、ヨーク部から可動子の幅方向に延設させたコア部とを有する第２サブユニットとを交互に重ねており、第１サブユニットの複数のコア部及び／または第２サブユニットの複数のコア部に一括して捲き線を巻回してある。各磁極毎に個別に捲き線を施さずに、サブユニットの複数のコア部に一括して捲き線を施すため、捲き線構造が簡単であり、小型化が容易である。
　本発明に係る第１の電機子は、前記第２サブユニットの前記コア部は、その中間から前記開口部に向かってテーパ状をなしていることを特徴とする。
　本発明の第１の電機子にあっては、第２サブユニットのコア部が中間から開口部に向かってテーパ状をなしており、第１サブユニットのコア部と第２サブユニットのコア部との重なりを少なくして磁束の漏れを低減させる。また、第２サブユニットのコア部のヨーク部側はテーパ状をなしておらずに幅広となっているため、ヨーク部に向かう磁束の通路が広いので、その部分で磁気飽和が起こりにくい。
　本発明に係る第１の電機子は、重なり合う前記第１サブユニットと前記第２サブユニットとの間に、コア部同士が接触しないように軟質磁性体製のスペーサを挟んでいることを特徴とする。
　本発明の第１の電機子にあっては、第１サブユニットと第２サブユニットとの間に枠状のスペーサを設けている。よって、簡単な構成により、第１サブユニットのコア部と第２サブユニットのコア部との非接触（磁気ショートの回避）を実現する。
　本発明に係る第１のリニアモータは、板状磁石と板状の軟質磁性体とを交互に重ねており、前記板状磁石は、重ね方向の可動子の長手方向に磁化した板状磁石と重ね方向の前記長手方向とは逆の方向に磁化した板状磁石とが交互に配されている可動子を、矩形状の開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向に延設させたコア部とを有する軟質磁性体製の第１サブユニット、及び、矩形状の開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の幅方向に延設させたコア部とを有する軟質磁性体製の第２サブユニットを交互に重ねてなり、前記第１サブユニットの複数のコア部及び／または前記第２サブユニットの複数のコア部に捲き線を施してある電機子の前記第１サブユニットの開口部及び前記第２サブユニットの開口部に貫通させてあることを特徴とする。
　本発明の第１のリニアモータにあっては、上述したような可動子を上述したような第１の電機子に貫通させた構成をなす。可動子の軽量化を図れるため、可動子の応答速度は速くなる。また、電機子における捲き線構造が簡単であって、小型化を図れる。
　本発明に係る第２の電機子は、板状の可動子が貫通されるリニアモータの電機子において、前記可動子が貫通される開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向一側に延設させた第１コア部及び前記可動子の幅方向に延設させた第２コア部とを有する軟質磁性体製の第１サブユニット、並びに、前記可動子が貫通される開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、前記第１サブユニットの第１コア部及び第２コア部と対称の位置に設けられ、前記ヨーク部から延設させた第１コア部及び第２コア部とを有する軟質磁性体製の第２サブユニットを交互に重ねてなり、前記第１サブユニット及び前記第２サブユニットの複数の第２コア部並びに／または前記第１サブユニット及び前記第２サブユニットの複数の第１コア部に捲き線を施してあることを特徴とする。
　本発明の第２の電機子にあっては、可動子が貫通される開口部と、開口部の外側に配置した枠状のヨーク部と、ヨーク部から可動子の厚み方向一側に延設させた第１コア部及び可動子の幅方向に延設させた第２コア部とを有する第１サブユニットと、可動子が貫通される開口部と、開口部の外側に配置した枠状のヨーク部と、ヨーク部から可動子の厚み方向他側に延設させた第１コア部及び可動子の幅方向に延設させた第２コア部とを有し、その形状が第１サブユニットと点対称の位置関係にある第２サブユニットとを交互に重ねており、第１サブユニット及び第２サブユニットの複数の第２コア部並びに／または第１サブユニット及び第２サブユニットの複数の第１コア部に一括して捲き線を巻回してある。各磁極毎に個別に捲き線を施さずに、第１サブユニット及び第２サブユニットの複数のコア部に一括して捲き線を施すため、捲き線構造が簡単であり、小型化が容易である。
　本発明に係る第２の電機子は、前記第１サブユニット及び前記第２サブユニットの第２コア部は、その中間から前記開口部に向かってテーパ状をなしており、その前記ヨーク部側にリブを有していることを特徴とする。
　本発明の第２の電機子にあっては、第１サブユニット及び第２サブユニットの第２コア部が中間から開口部に向かってテーパ状をなしており、これらの第２コア部と第１サブユニット及び第２サブユニットの第１コア部との重なりを少なくして磁束の漏れを低減させる。また、第１サブユニット及び第２サブユニットの第２コア部のヨーク部側に、リブを設けている。よって、ヨーク部に向かう磁束の通路が広いので、その部分で磁気飽和が起こりにくい。
　本発明に係る第２の電機子は、重なり合う前記第１サブユニットと前記第２サブユニットとの間に、前記第１サブユニットの第１コア部または第２コア部と前記第２サブユニットの第１コア部または第２コア部とが接触しないように軟質磁性体製のスペーサを挟んでいることを特徴とする。
　本発明の第２の電機子にあっては、第１サブユニットと第２サブユニットとの間に枠状のスペーサを設けている。よって、簡単な構成により、第１サブユニットの第１コア部及び第２コア部と第２サブユニットの第１コア部及び第２コア部との非接触（磁気ショートの回避）を実現する。
　本発明に係る第２のリニアモータは、厚さ方向に磁化した複数の板状磁石を有しており、前記板状磁石は、厚さ方向の一方向に磁化した板状磁石と厚さ方向の前記一方向とは逆の方向に磁化した板状磁石とが交互に配されている可動子を、矩形状の開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向一側に延設させた第１コア部及び前記可動子の幅方向に延設させた第２コア部とを有する軟質磁性体製の第１サブユニット、並びに、矩形状の開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、前記第１サブユニットの第１コア部及び第２コア部と対称の位置に設けられ、該ヨーク部から延設させた第１コア部及び第２コア部とを有する軟質磁性体製の第２サブユニットを交互に重ねてなり、前記第１サブユニット及び前記第２サブユニットの複数の第２コア部並びに／または前記第１サブユニット及び前記第２サブユニットの複数の第１コア部に捲き線を施してある電機子の前記第１サブユニットの開口部及び前記第２サブユニットの開口部に貫通させてあることを特徴とする。
　本発明の第２のリニアモータにあっては、厚さ方向の一方向に磁化した板状磁石と厚さ方向の他方向に磁化した板状磁石とが交互に配されている可動子を、上述したような第２の電機子に貫通させた構成をなす。可動子の軽量化を図れるため、可動子の応答速度は速くなる。また、電機子における捲き線構造が簡単であって、小型化を図れる。
　本発明に係る第２の可動子は、複数の板状磁石を有するリニアモータの可動子において、厚さ方向に磁化した複数の板状磁石それぞれが、非磁性体製の矩形状の磁石保持スペーサに並列的に形成した複数の孔それぞれに、厚さ方向の一方向に磁化した板状磁石と厚さ方向の前記一方向とは逆の方向に磁化した板状磁石とが交互となるように配置されており、前記磁石保持スペーサの幅方向両側で長手方向に延びる枠体にリニアガイドレールを設けてあることを特徴とする。
　本発明の第２の可動子にあっては、非磁性体製の磁石保持スペーサに並設形成した複数の孔それぞれに複数の板状磁石それぞれを接着保持し、磁石保持スペーサの幅方向両側で長手方向に延在させてリニアガイドレールを設けている。よって、このリニアガイドレールにて横方向から可動子を押えるので、可動子の機械的強度は高くなり、たわみ振動、共振振動などを抑制できて、がたつきがない高速な直線運動が可能となる。
　本発明に係る第２の可動子は、前記板状磁石の長手方向が、前記リニアガイドレールの対向方向よりスキューしていることを特徴とする。
　本発明の第２の可動子にあっては、板状磁石の長手方向がリニアガイドレールの対向方向より所定角度スキューしている。よって、一定速度で可動子を動かした場合に、ぎくしゃくした動き（コギング）を小さくできる。
　本発明に係る第３の電機子は、板状の可動子が貫通されるリニアモータの電機子において、前記可動子が貫通される開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向一側に延設させたコア部とを有する軟質磁性体製の第１サブユニット、前記可動子が貫通される開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向一側に延設させた補助コア部と、前記ヨーク部から前記可動子の厚み方向他側に延設させたコア部とを有する軟質磁性体製の第２サブユニット、前記可動子が貫通される開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向一側に延設させたコア部と、前記ヨーク部から前記可動子の厚み方向他側に延設させた補助コア部とを有する軟質磁性体製の第３サブユニット、及び、　前記可動子が貫通される開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向他側に延設させたコア部とを有する軟質磁性体製の第４サブユニットがこの順に重ねられ、前記可動子が貫通される開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向両側に延設させた補助コア部とを有する軟質磁性体製のスペーサユニットを、前記第１サブユニット及び前記第２サブユニットの間、前記第２サブユニット及び前記第３サブユニットの間、並びに、前記第３サブユニット及び前記第４サブユニットの間にそれぞれ設けており、前記第１サブユニットのコア部、前記第２サブユニットの補助コア部、前記第３サブユニットのコア部、及び、前記スペーサユニットの前記可動子の厚み方向一側の補助コア部に一括して捲き線を施してあり、前記第２サブユニットのコア部、前記第３サブユニットの補助コア部、前記第４サブユニットのコア部、及び、前記スペーサユニットの前記可動子の厚み方向他側の補助コア部に一括して捲き線を施してあることを特徴とする。
　本発明の第３の電機子にあっては、上記のような構成をなす第１サブユニット、スペーサユニット、第２サブユニット、スペーサユニット、第３サブユニット、スペーサユニット、及び第４サブユニットをこの順に重ねており、第１サブユニットのコア部、第２サブユニットの補助コア部、第３サブユニットのコア部、及び、各スペーサユニットの可動子の厚み方向一側の補助コア部と、第２サブユニットのコア部、第３サブユニットの補助コア部、第４サブユニットのコア部、及び、各スペーサユニットの可動子の厚み方向他側の補助コア部とに、それぞれ一括して捲き線を巻回してある。各磁極毎に個別に捲き線を施さずに、一括して捲き線を施すため、捲き線構造が簡単であり、小型化が容易である。また、両捲き線の一方が巻回されない第１サブユニットと第４サブユニットとを両端に配置しているため、捲き線の捲きスペースを小さくできる。
　本発明に係る第３の電機子は、前記第１サブユニット、前記第２サブユニット、前記第３サブユニット、前記第４サブユニット、及び前記スペーサユニットはそれぞれ、前記可動子の厚み方向に同じ位置で分割されていることを特徴とする。
　本発明の第３の電機子にあっては、第１～第４サブユニット及びスペーサユニットが厚み方向に分割されている。よって、分割した状態で捲き線を施すことができ、その捲き線処理は容易であって、電機子を簡単に作製することができる。
　本発明に係る第３のリニアモータは、厚さ方向に磁化した複数の板状磁石それぞれが、非磁性体製の矩形状の磁石保持スペーサに並列的に形成した複数の孔それぞれに、厚さ方向の一方向に磁化した板状磁石と厚さ方向の前記一方向とは逆の方向に磁化した板状磁石とが交互になるように配置されており、前記磁石保持スペーサの幅方向両側で長手方向に延びる枠体にリニアガイドレールを設けてある可動子を、矩形状の開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向一側に延設させたコア部とを有する軟質磁性体製の第１サブユニット、矩形状の開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向一側に延設させた補助コア部と、前記ヨーク部から前記可動子の厚み方向他側に延設させたコア部とを有する軟質磁性体製の第２サブユニット、矩形状の開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向一側に延設させたコア部と、前記ヨーク部から前記可動子の厚み方向他側に延設させた補助コア部とを有する軟質磁性体製の第３サブユニット、及び、矩形状の開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向他側に延設させたコア部とを有する軟質磁性体製の第４サブユニットがこの順に重ねられており、矩形状の開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向両側に延設させた補助コア部とを有する軟質磁性体製のスペーサユニットを、前記第１サブユニット及び前記第２サブユニットの間、前記第２サブユニット及び前記第３サブユニットの間、並びに、前記第３サブユニット及び前記第４サブユニットの間にそれぞれ設けており、前記第１サブユニットのコア部、前記第２サブユニットの補助コア部、前記第３サブユニットのコア部、及び、前記スペーサユニットの前記可動子の厚み方向一側の補助コア部に一括して捲き線を施してあり、前記第２サブユニットのコア部、前記第３サブユニットの補助コア部、前記第４サブユニットのコア部、及び、前記スペーサユニットの前記可動子の厚み方向他側の補助コア部に一括して捲き線を施してある電機子の前記第１サブユニットの開口部、前記第２サブユニットの開口部、前記第３サブユニットの開口部、前記第４サブユニットの開口部、及び前記スペーサユニットの開口部に貫通させてあることを特徴とする。
　本発明の第３のリニアモータにあっては、上述したような第２の可動子を上述したような第３の電機子に貫通させた構成をなす。可動子の軽量化を図れるため、可動子の応答速度は速くなる。また、電機子における捲き線構造が簡単であって、小型化を図れる。また、各リニアガイドレールの周囲はすべて同極となるので、磁性体製のリニアガイドレールを使用しても、リニアガイドレールの方向に磁束が漏れていくことはないため、推力の低下は生じない。
　特許文献３に記載されているようなクローポール型（クローティース型）の電機子を用いたリニアモータでは、電機子のコイルを一括化できるのでコイルの省スペース化には効果があるが、漏れ磁束が多いために最大推力が低下するという問題点がある。これに対して本発明では、電機子のコイルを一括化でき、しかもコア部からの漏れ磁束の発生も僅かであるため、推力の低下は起こらず、リニアモータの小型高出力化を改善できて、小型な構成であっても高効率で高推力を実現できるリニアモータを提供できるという効果がある。
第１実施の形態に係る可動子の構成を示す斜視図である。 第１実施の形態に係る電機子の構成を示す斜視図である。 第１実施の形態に係るリニアモータの構成を示す斜視図である。 第１実施の形態に係る電機子における通電状態と起磁力とを示す断面図である。 第１実施の形態に係る電機子に用いるスペーサユニットを示す斜視図である。 第２実施の形態に係る可動子の構成を示す斜視図である。 第２実施の形態に係る電機子の構成を示す斜視図である。 第２実施の形態に係るリニアモータの構成を示す斜視図である。 第２実施の形態に係る電機子における通電状態と起磁力とを示す断面図である。 第２実施の形態に係る電機子に用いるスペーサユニットを示す斜視図である。 第３実施の形態に係る可動子の全体構成を示す斜視図である。 第３実施の形態に係る可動子の部分構成を示す斜視図である。 第３実施の形態に係る可動子の部分構成の他の例を示す斜視図である。 第３実施の形態に係る電機子に使用する第１～第４サブユニット及びスペーサユニットの構成を示す斜視図である。 第３実施の形態に係る電機子の構成を示す斜視図である。 第３実施の形態に係るリニアモータの構成を示す斜視図である。 第３実施の形態の変形例に係る電機子の第１～第４サブユニット及びスペーサユニットの分割パターンを示す平面図である。 第３実施の形態の変形例に係る電機子の構成を示す斜視図である。 第３実施の形態の変形例に係る電機子の構成を示す斜視図である。 実施例１に係る電機子の作製に用いる電機子素材を示す平面図である。 実施例１に係るリニアモータの構成を示す平面図である。 実施例１に係るリニアモータにおける推力特性の測定結果を示すグラフである。 実施例２に係る電機子の作製に用いる電機子素材を示す平面図である。 実施例２に係るリニアモータの構成を示す平面図である。 実施例２に係るリニアモータにおける推力特性の測定結果を示すグラフである。 実施例３に係る電機子の作製に用いる電機子素材を示す平面図である。 実施例３に係る電機子の作製に用いる電機子素材を示す平面図である。 実施例３に係る電機子の作製に用いる電機子素材を示す平面図である。 実施例３に係るリニアモータの構成を示す平面図及び断面図である。 実施例３に係るリニアモータにおける推力特性の測定結果を示すグラフである。 実施例３に係るリニアモータにおける推力特性の測定結果を示すグラフである。
　以下、本発明をその実施の形態を示す図面に基づいて詳述する。
（第１実施の形態）
　図１は、第１実施の形態に係る可動子の構成を示す斜視図である。第１実施の形態の可動子１は、２種類の平板状磁石２ａ，２ｂと、平板状の軟質磁性体３とを組み合わせた構成であり、平板状磁石２ａ、軟質磁性体３、平板状磁石２ｂ、軟質磁性体３、…の順に交互に接着させた構成をなしている。
　図１において、白抜矢符は各平板状磁石２ａ，２ｂの磁化方向を示している。平板状磁石２ａ，２ｂは何れも、重ね方向、つまり可動子１の移動方向（可動子１の長手方向）に磁化されているが、それらの磁化の向きは互いに１８０度異なる逆向きである。そして、これらの隣り合う平板状磁石２ａと平板状磁石２ｂとの間には、平板状の軟質磁性体３が挿入されている。
　軟質磁性体３は、平板状磁石２ａ，２ｂからの磁束の向きを可動子１の厚さ方向に変更する役目を担っている。そして、この可動子１では、長手方向（移動方向）に対して垂直な方向に磁束を発生させる磁気回路構成となっている。
　図２Ａ－Ｄは、第１実施の形態に係る電機子の構成を示す斜視図であって、図２Ａ－Ｃはその部分構成図、図２Ｄはその全体構成図である。
　電機子４は、図２Ａに示す第１サブユニット５と、図２Ｂに示す第２サブユニット６とを交互に配列した構成を有している（図２Ｃ参照）。第１サブユニット５は、軟質磁性体にて形成されており、可動子１が貫通される開口部５ａと、開口部５ａの外側に配置された枠体としてのヨーク部５ｂと、ヨーク部５ｂから可動子１の厚み方向に開口部５ａに向けて延在している２つのコア部５ｃ，５ｃとを有する。２つのコア部５ｃ，５ｃは、平面視で同一の矩形状をなしており、開口部５ａを中心として１８０度離隔した位置に設けられている。
　また、第２サブユニット６は、軟質磁性体にて形成されており、可動子１が貫通される開口部６ａと、開口部６ａの外側に配置された枠体としてのヨーク部６ｂと、ヨーク部６ｂから可動子１の幅方向に延在している２つのコア部６ｃ，６ｃとを有する。各コア部６ｃ，６ｃは、ヨーク部６ｂ側の基端部が平面視で矩形状をなし、開口部６ａ側の先端部が平面視で中心に向かうにつれて幅狭となるテーパ状をなす四角形状をなしており、両コア部６ｃ，６ｃの先端部同士はつながっている。
　なお、第１サブユニット５、第２サブユニット６それぞれにおいてコア部の厚さをヨーク部の厚さより薄くして、両サブユニット５，６を重ね合わせた場合に、両サブユニット５，６のコア部同士が接触しないようにしている。そして、このような第１サブユニット５と第２サブユニット６とを、図２Ｃに示すように、交互に配列して重ねる。ここで、隣り合う第１サブユニット５及び第２サブユニット６において、それらのヨーク部５ｂとヨーク部６ｂとは接しているが、それらのコア部５ｃとコア部６ｃとは接しておらず、これらの間に空隙が存在していて磁気ショートを回避している。
　第１サブユニット５と第２サブユニット６との共通の隙間部分７ａ，７ｂを貫通して第２サブユニット６における一方のコア部６ｃ（図２Ｂ，Ｃの右側のコア部６ｃ）に一括して捲き線８ａを巻回するとともに、第１サブユニット５と第２サブユニット６との共通の隙間部分７ｃ，７ｄを貫通して第２サブユニット６における他方のコア部６ｃ（図２Ｂ，Ｃの左側のコア部６ｃ）に一括して捲き線８ｂを巻回する。そして、捲き線８ａと捲き線８ｂとの通電方向が逆になるように、両捲き線８ａ，８ｂを接続する（図２Ｄ参照）。図２Ｄにおける白抜矢符は、捲き線８ａ，捲き線８ｂでの通電方向を示している。
　そして、上述した図１に示す可動子１を、図２Ｄに示す電機子４の開口部５ａ，６ａが連なって形成される中空部９に貫通させることにより、第１実施の形態に係る単相駆動のリニアモータ（単相分のユニット）１０が構成される。図３は第１実施の形態に係るリニアモータ１０の構成を示す斜視図である。
　第１実施の形態のリニアモータの場合には、電機子４が固定子として機能する。そして、捲き線８ａ，８ｂに逆方向に電流を流すことにより、電機子４の中空部９に貫通された可動子１が電機子４（固定子）に対して往復直線運動を行う。
　図４は、第１実施の形態の電機子４における通電状態と起磁力とを示す断面図である。図４において、「●（紙面の裏から表への通流）」、「×（紙面の表から裏への通流）」は捲き線８ａ，捲き線８ｂへの通流方向を示しており、白抜矢符はコイル通電によってコア部５ｃ，６ｃに印加される起磁力の向きを示している。第１実施の形態では、捲き線８ａ，捲き線８ｂに逆向きの電流を流すことにより、第１サブユニット５，第２サブユニット６の全てのコア部５ｃ，６ｃに磁界が生じる。
　なお、上述した例では、各サブユニットにおいて、コア部の厚さをヨーク部の厚さより薄くして、両サブユニットを重ね合わせた場合に、両サブユニットのコア部同士が接触しないようにしているが、隣り合う両サブユニットの間に、図５に示すような枠状のヨークのみからなる軟質磁性体製のスペーサユニット１１を挿入することにより、各サブユニット全体を均一の厚さにしても、両サブユニットのコア部同士が接触しないように構成できる。
　このような構成の電機子４では、第１サブユニット５、スペーサユニット１１、第２サブユニット６、スペーサユニット１１、…の順に重ね合わされる。この例では、コア部の厚さをヨーク部の厚さより薄くする必要がなくて余分な加工処理が不要であり、全体が均一の厚さであるサブユニットを利用できるため、作製処理の簡素化を図れる。
　上述したような第１実施の形態における可動子は、板状であっても磁束の量が多くかつ軽量である。また、第１実施の形態における電機子は、磁極ピッチが小さくても捲き線構造が複雑にならず、また磁気飽和になりにくい。また、第１実施の形態におけるリニアモータは、磁気飽和を起こしにくい構造であるため、高速な応答性を実現できてモータの変換効率を高めて小型高出力化を図れる。
　第１実施の形態の第２サブユニット６のコア部６ｃが、その中間から開口部６ａに向けてテーパ状をなしているのは、第１サブユニット５のコア部５ｃと第２サブユニット６のコア部６ｃとが対向している部分の面積を少なくするためである。第１サブユニット５と第２サブユニット６とに対して共通の捲き線８ａ，８ｂで通電するため、図４にも示すように開口部５ａの極性と開口部６ａの極性とが逆になる。よって、空気層に発生する出力に寄与しない漏洩磁束（総磁束）はコア部の対向している面積に比例するため、コア部５ｃからコア部６ｃへの磁束の漏れ（わたり）を低減させるべく、コア部５ｃとコア部６ｃとの対向面積を少なくしている。
　但し、その第２サブユニット６のコア部６ｃのヨーク部６ｂ側の基端部にはテーパを形成せずに、その幅を広くしたままとしている。この理由は、この部分の幅が狭い場合には磁束の通路が狭くなって磁気飽和が起こり易いからである。第１実施の形態では、コア部６ｃのヨーク部６ｂ側の基端部の幅を広く保って、この部分での磁気飽和の発生を抑制している。
　なお、図示した例では直線状のテーパを形成しているが、形成するテーパは曲線状であっても良い。また、第２サブユニット６における空隙部（切欠き部）の平面視形状を図２Ｂに示したようにＶ字状としたが、Ｕ字状など、他の形状であっても良い。
　上述した第１実施の形態では、第２サブユニット６のコア部６ｃに一括して捲き線８ａ，８ｂを施すようにしたが、第１サブユニット５のコア部５ｃに一括して捲き線を施すようにしても良い。また、第１サブユニット５のコア部５ｃ及び第２サブユニット６のコア部６ｃの両方に捲き線を施すようにしても良い。
　また、上述した第１実施の形態では、各５個ずつ計１０個の平板状磁石２ａ，２ｂと１０個の軟質磁性体３とを順次重ねる構成としたが、これは一例であって、その個数は任意の数であって良い。また、第１サブユニット５，第２サブユニット６を交互に２組配列することとしたが、これは一例であって、その組数は任意の数であって良い。
　また、単相のリニアモータ（単相分のユニット）について説明したが、例えば３相駆動のリニアモータを構成する場合には、上記の電機子３個を、磁極ピッチ×（ｎ＋１／３）または磁極ピッチ×（ｎ＋２／３）（但し、ｎは整数）だけ間隔をあけて直線状に配置して、それらに可動子を貫通させるようにすれば良い。なお、この場合、捲き線が収まるスペースを考慮して整数ｎを設定すれば良い。
（第２実施の形態）
　図６は、第２実施の形態に係る可動子の構成を示す斜視図である。第２実施の形態の可動子２１は、２種類の平板状磁石２２ａ，２２ｂを交互に組み合わせた構成である。図６において、白抜矢符は各平板状磁石２２ａ，２２ｂの磁化方向を示している。平板状磁石２２ａ，２２ｂは何れも、厚さ方向に磁化されているが、それらの磁化の向きは互いに１８０度異なる逆向きである。なお、隣り合う平板状磁石２２ａ，２２ｂの間には、スペーサ（図示せず）が挿入されている。
　図７Ａ－Ｄは、第２実施の形態に係る電機子の構成を示す斜視図であって、図７Ａ－Ｃはその部分構成図、図７Ｄはその全体構成図である。
　電機子２４は、図７Ａに示す第１サブユニット２５と、図７Ｂに示す第２サブユニット２６とを交互に配列した構成を有している（図７Ｃ参照）。第１サブユニット２５は、軟質磁性体にて形成されており、可動子２１が貫通される開口部２５ａと、開口部２５ａの外側に配置された枠体としてのヨーク部２５ｂと、ヨーク部２５ｂの長手方向一側から可動子２１の厚み方向に延設させた第１コア部２５ｃと、ヨーク部２５ｂの幅方向両側から可動子２１の幅方向に延設させた第２コア部２５ｄ，２５ｄとを有する。
　第１コア部２５ｃは、平面視で矩形状をなしている。各第２コア部２５ｄ，２５ｄは、ヨーク部２５ｂ側の基端部がリブ２５ｅを有する平面視で台形状をなし、開口部２５ａ側の先端部が平面視で中心に向かうにつれて幅狭となるテーパ状をなす台形状をなしており、両第２コア部２５ｄ，２５ｄの先端部同士はつながっている。
　また、第２サブユニット２６は、軟質磁性体にて形成されており、可動子２１が貫通される開口部２６ａと、開口部２６ａの外側に配置された枠体としてのヨーク部２６ｂと、ヨーク部２６ｂの長手方向一側から可動子２１の厚み方向に延設させた第１コア部２６ｃと、ヨーク部２６ｂの幅方向両側から可動子２１の幅方向に延設させたリブ２６ｅを有する第２コア部２６ｄ，２６ｄとを有する。
　この第２サブユニット２６は、第１サブユニット２５を１８０度回転させた構成、言い換えると第１サブユニット２５の上下を倒立させた構成であり、その開口部２６ａ、ヨーク部２６ｂ、第１コア部２６ｃ及び第２コア部２６ｄ，２６ｄの平面視形状は、第１サブユニット２５の開口部２５ａ、ヨーク部２５ｂ、第１コア部２５ｃ及び第２コア部２５ｄ，２５ｄを１８０度回転させた形状である。
　なお、第１サブユニット２５、第２サブユニット２６それぞれにおいてコア部の厚さをヨーク部の厚さより薄くして、両サブユニット２５，２６を重ね合わせた場合に、両サブユニット２５，２６のコア部同士が接触しないようにしている。そして、このような第１サブユニット２５と第２サブユニット２６とを、図７Ｃに示すように、交互に配列して重ねる。ここで、隣り合う第１サブユニット２５及び第２サブユニット２６において、それらのヨーク部２５ｂとヨーク部２６ｂとは接しているが、それらの第１コア部２５ｃ及び第２コア部２５ｄと第１コア部２６ｃ及び第２コア部２６ｄとは接しておらず、これらの間に空隙が存在していて磁気ショートを回避している。
　第１サブユニット２５と第２サブユニット２６との共通の隙間部分２７ａ，２７ｂを貫通して第１サブユニット２５における一方の第２コア部２５ｄ及び第２サブユニット２６における一方の第２コア部２６ｄ（図７Ａ，Ｂの右側の第２コア部２５ｄ及び第２コア部２６ｄ）に一括して捲き線２８ａを巻回するとともに、第１サブユニット２５と第２サブユニット２６との共通の隙間部分２７ｃ，２７ｄを貫通して第１サブユニット２５における他方の第２コア部２５ｄ及び第２サブユニット２６における他方の第２コア部２６ｄ（図７Ａ，Ｂの左側の第２コア部２５ｄ及び第２コア部２６ｄ）に一括して捲き線２８ｂを巻回する。捲き線２８ａと捲き線２８ｂとの通電方向が逆になるように、両捲き線２８ａ，２８ｂを接続する（図７Ｄ参照）。図７Ｄにおける白抜矢符は、捲き線２８ａ，捲き線２８ｂでの通電方向を示している。
　そして、上述した図６に示す可動子２１を、図７Ｄに示す電機子２４の開口部２５ａ，２６ａが連なって形成される中空部２９に貫通させることにより、第２実施の形態に係る単相駆動のリニアモータ（単相分のユニット）３０が構成される。図８は第２実施の形態に係るリニアモータ３０の構成を示す斜視図である。
　第２実施の形態のリニアモータの場合には、電機子２４が固定子として機能する。そして、捲き線２８ａ，２８ｂに逆方向に電流を流すことにより、電機子２４の中空部２９に貫通された可動子２１が電機子２４（固定子）に対して往復直線運動を行う。
　図９Ａ，Ｂは、第２実施の形態の電機子２４（第１サブユニット２５，第２サブユニット２６）における通電状態と起磁力とを示す断面図である。図９Ａ，Ｂにおいて、「●（紙面の裏から表への通流）」、「×（紙面の表から裏への通流）」は捲き線２８ａ，捲き線２８ｂへの通流方向を示しており、白抜矢符はコイル通電によって第１コア部２５ｃ，２６ｃ及び第２コア部２５ｄ，２６ｄに印加される起磁力の向きを示している。
　第２実施の形態では、図９Ａ，Ｂに示すように、捲き線２８ａ，捲き線２８ｂに逆向きの電流を流した場合、第１サブユニット２５には可動子２１が貫通される開口部２５ａに可動子２１の厚さ方向の上向きに磁界が発生し、第２サブユニット２６には可動子２１が貫通される開口部２６ａに可動子２１の厚さ方向の下向きに磁界が発生する。よって、２つの捲き線２８ａ，捲き線２８ｂに通電することにより、第１サブユニット２５及び第２サブユニット２６の両方に起磁力が印加されるため、捲き線の構造を簡素化できる。
　なお、上述した例では、各サブユニットにおいて、コア部の厚さをヨーク部の厚さより薄くして、両サブユニットを重ね合わせた場合に、両サブユニットのコア部同士が接触しないようにしているが、隣り合う両サブユニットの間に、図１０に示すような枠状のヨークのみからなるスペーサユニット３１を挿入することにより、各サブユニット全体を均一の厚さにしても、両サブユニットのコア部同士が接触しないように構成できる。
　この構成の電機子２４では、第１サブユニット２５、スペーサユニット３１、第２サブユニット２６、スペーサユニット３１、…の順に重ね合わされる。この例では、コア部の厚さをヨーク部の厚さより薄くする必要がなくて余分な加工処理が不要であり、全体が均一の厚さであるサブユニットを利用できるため、作製処理の簡素化を図れる。
　上述したような第２実施の形態における可動子は、板状であっても磁束の量が多くかつ軽量である。また、第２実施の形態における電機子は、磁極ピッチが小さくても捲き線構造が複雑にならず、また磁気飽和になりにくい。また、第２実施の形態におけるリニアモータは、磁気飽和を起こしにくい構造であるため、高速な応答性を実現できてモータの変換効率を高めて小型高出力化を図れる。
　第２実施の形態の第１サブユニット２５の第２コア部２５ｄ及び第２サブユニット２６の第２コア部２６ｄがテーパ状をなしているのは、第１サブユニット２５の第２コア部２５ｄと第２サブユニット２６の第１コア部２６ｃ、第２サブユニット２６の第２コア部２６ｄと第１サブユニット２５の第１コア部２５ｃとが対向している部分の面積を少なくするためである。空気層に発生する出力に寄与しない漏洩磁束（総磁束）はコア部の対向している面積に比例するため、第１コア部２５ｃ，２６ｃから第２コア部２５ｄ，２６ｄへの磁束の漏れ（わたり）を低減させるべく、上記の対向している部分の面積を少なくしている。
　一方、第２コア部２５ｄ，２６ｄのヨーク部２５ｂ，２６ｂ側の基端部にはリブ２５ｅ，２６ｅを設けている。この理由は、この部分の幅が狭い場合には第１コア部２５ｃ，２６ｃからヨーク部２５ｂ，２６ｂに向かう磁束の通路が狭くなって磁気飽和が起こり易いからである。第２実施の形態では、リブ２５ｅ，２６ｅを設けて、この部分での磁気飽和の発生を抑制している。
　なお、図示した例では直線状のテーパを形成しているが、形成するテーパは曲線状であっても良い。また、第１サブユニット２５、第２サブユニット２６における空隙部（切欠き部）の平面視形状を図７Ａ，Ｂに示したようにＶ字状としたが、Ｕ字状など、他の形状であっても良い。また、リブ２５ｅ，２６ｅの形状も図示されているものに限定されない。
　上述した第２実施の形態では、第１，第２サブユニット２５，２６の第２コア部２５ｄ，２６ｄに一括して捲き線２８ａ，２８ｂを施すようにしたが、第１サブユニット２５の第１コア部２５ｃ及び第２サブユニット２６の第１コア部２６ｃに一括して捲き線を施すようにしても良い。また、第１コア部２５ｃ，２６ｃ及び第２コア部２５ｄ，２６ｄの両方に捲き線を施すようにしても良い。
　上述した第２実施の形態では、各５個ずつ計１０個の平板状磁石２２ａ，２２ｂを順次重ねる構成としたが、これは一例であって、その個数は任意の数であって良い。また、第１サブユニット２５，第２サブユニット２６を交互に２組配列することとしたが、これは一例であって、その組数は任意の数であって良い。
　また、単相のリニアモータ（単相分のユニット）について説明したが、例えば３相駆動のリニアモータを構成する場合には、上記の電機子３個を、磁極ピッチ×（ｎ＋１／３）または磁極ピッチ×（ｎ＋２／３）（但し、ｎは整数）だけ間隔をあけて直線状に配置して、それらに可動子を貫通させるようにすれば良い。なお、この場合、捲き線が収まるスペースを考慮して整数ｎを設定すれば良い。
（第３実施の形態）
　図１１は、第３実施の形態に係る可動子の全体構成を示す斜視図である。第３実施の形態の可動子４１は、非磁性体製の磁石保持スペーサ４３の複数の孔に２種類の平板状磁石４２ａ，４２ｂを交互に配置し、磁石保持スペーサ４３の幅方向両側にリニアガイドレール４４，４４を設けて構成されている。
　図１２Ａ－Ｄは、この可動子４１の部分構成を示す斜視図である。図１２Ａは、２種類の平板状磁石４２ａ，４２ｂの配置例を示しており、白抜矢符は各平板状磁石４２ａ，４２ｂの磁化方向を示している。平板状磁石４２ａ，４２ｂは何れも、厚さ方向に磁化されているが、それらの磁化の向きは互いに１８０度異なる逆向きである。
　図１２Ｂは、磁石保持スペーサ４３を示している。磁石保持スペーサ４３は、全体として偏平な直方体状をなしており、磁石保持スペーサ４３の幅方向に長寸をなす矩形状の複数の孔４３ａが磁石保持スペーサ４３の長手方向に並設されている。ここで、磁石保持スペーサ４３の幅方向両側の長手方向に延在する側枠４３ｂ，４３ｂの対向方向と、孔４３ａの長手方向とは一致しておらず、数度程度ずれている。この孔４３ａの深さは平板状磁石４２ａ，４２ｂの厚さに等しく、また、この孔４３ａの数は平板状磁石４２ａ，４２ｂの合計個数に等しい。
　そして、磁石保持スペーサ４３の各孔４３ａの壁面に接着剤を塗布しておき、平板状磁石４２ａ，４２ｂを交互に孔４３ａに嵌め込んで接着固定する（図１２Ｃ参照）。なお、これとは異なり、平板状磁石４２ａ，４２ｂを交互に孔４３ａに配置し、その配置箇所に注射器などで接着剤を注入して接着固定するようにしても良い。
　図１２Ｄは、リニアガイドレール４４，４４を示している。各リニアガイドレール４４は、全体として長尺の円柱状をなしており、その周面の一部にその長手方向全域にわたる切欠き４４ａが形成されている。そして、両リニアガイドレール４４，４４の切欠き４４ａ，４４ａに、平板状磁石４２ａ，４２ｂが嵌め込まれた磁石保持スペーサ４３の側枠４３ｂ，４３ｂを嵌入させることにより、図１１に示すような可動子４１を作製する。
　なお、磁石保持スペーサ４３の側枠４３ｂ，４３ｂをリニアガイドレール４４，４４の切欠き４４ａ，４４ａに嵌入させた後に（図１３参照）、平板状磁石４２ａ，４２ｂを交互に孔４３ａに接着固定するようにしても良い。
　図１４Ａ－Ｅ，図１５Ａ，Ｂは、第３実施の形態に係る電機子の構成を示す図であって、図１４Ａ－Ｅは第３実施の形態の電機子５４に使用する第１～第４サブユニット及びスペーサユニットの構成を示す図であり、図１５Ａは電機子５４の部分構成図、図１５Ｂは電機子５４の全体構成図である。
　図１４Ａに示す第１サブユニット５５は、軟質磁性体にて形成されており、可動子４１が貫通される開口部５５ａと、開口部５５ａの外側に配置された枠体としてのヨーク部５５ｂと、ヨーク部５５ｂから可動子４１の厚み方向一側に延設させたコア部５５ｃとを有する。コア部５５ｃは、ヨーク部５５ｂ側の基端部が平面視で矩形状をなし、開口部５５ａ側の先端部が平面視で中心に向かうにつれて幅広となる台形状をなしている。
　図１４Ｂに示す第２サブユニット５６は、軟質磁性体にて形成されており、可動子４１が貫通される開口部５６ａと、開口部５６ａの外側に配置された枠体としてのヨーク部５６ｂと、ヨーク部５６ｂから可動子４１の厚み方向一側に延設させた補助コア部５６ｃと、ヨーク部５６ｂから可動子４１の厚み方向他側に延設させたコア部５６ｄとを有する。コア部５６ｄは、前記コア部５５ｃと同形状であり、ヨーク部５６ｂ側の基端部が平面視で矩形状をなし、開口部５６ａ側の先端部が平面視で中心に向かうにつれて幅広となる台形状をなしている。補助コア部５６ｃは、コア部５６ｄに比べて寸法が短く、ヨーク部５６ｂ側の基端部が平面視で矩形状をなし、開口部５６ａ側の先端部が平面視で中心に向かうにつれて幅狭となる三角形状をなしている。
　図１４Ｃに示す第３サブユニット５７は、軟質磁性体にて形成されており、可動子４１が貫通される開口部５７ａと、開口部５７ａの外側に配置された枠体としてのヨーク部５７ｂと、ヨーク部５７ｂから可動子４１の厚み方向一側に延設させたコア部５７ｃと、ヨーク部５７ｂから可動子４１の厚み方向他側に延設させた補助コア部５７ｄとを有する。コア部５７ｃは、前記コア部５５ｃと同形状であり、ヨーク部５７ｂ側の基端部が平面視で矩形状をなし、開口部５７ａ側の先端部が平面視で中心に向かうにつれて幅広となる台形状をなしている。補助コア部５７ｄは、コア部５７ｃに比べて寸法が短く、ヨーク部５７ｂ側の基端部が平面視で矩形状をなし、開口部５７ａ側の先端部が平面視で中心に向かうにつれて幅狭となる三角形状をなしている。この第３サブユニット５７は、第２サブユニット５６を１８０度回転させた構成である。
　図１４Ｄに示す第４サブユニット５８は、軟質磁性体にて形成されており、可動子４１が貫通される開口部５８ａと、開口部５８ａの外側に配置された枠体としてのヨーク部５８ｂと、ヨーク部５８ｂから可動子４１の厚み方向他側に延設させたコア部５８ｃとを有する。コア部５８ｃは、前記コア部５５ｃと同形状であり、コア部５８ｃは、ヨーク部５８ｂ側の基端部が平面視で矩形状をなし、開口部５８ａ側の先端部が平面視で中心に向かうにつれて幅広となる台形状をなしている。この第４サブユニット５８は、第１サブユニット５５を１８０度回転させた構成である。
　図１４Ｅに示すスペーサユニット５９は、軟質磁性体にて形成されており、可動子４１が貫通される開口部５９ａと、開口部５９ａの外側に配置された枠体としてのヨーク部５９ｂと、ヨーク部５９ｂから可動子４１の厚み方向両側に延設させた補助コア部５９ｃ，５９ｄとを有する。補助コア部５９ｃ，５９ｄは、前記補助コア部５６ｃ及び補助コア部５７ｄと同形状であり、ヨーク部５９ｂ側の基端部が平面視で矩形状をなし、開口部５９ａ側の先端部が平面視で中心に向かうにつれて幅狭となる三角形状をなしている。
　第３実施の形態に係る電機子５４は、第１サブユニット５５、スペーサユニット５９、第２サブユニット５６、スペーサユニット５９、第３サブユニット５７、スペーサユニット５９、第４サブユニット５８をこの順に積層した構成を有している（図１５Ａ参照）。
　第１サブユニット５５のコア部５５ｃ、第２サブユニット５６の補助コア部５６ｃ、第３サブユニット５７のコア部５７ｃ、及び、スペーサユニット５９の可動子４１の厚み方向一側の補助コア部５９ｃに一括して捲き線６０ａを巻回するとともに、第２サブユニット５６のコア部５６ｄ、第３サブユニット５７の補助コア部５７ｄ、第４サブユニット５８のコア部５８ｃ、及び、スペーサユニット５９の可動子４１の厚み方向他側の補助コア部５９ｄに一括して捲き線６０ｂを巻回することにより、電機子５４は構成される（図１５Ｂ参照）。捲き線６０ａと捲き線６０ｂとの通電方向が逆になるように、両捲き線６０ａ，６０ｂを接続する。図１５Ｂにおける白抜矢符は、捲き線６０ａ，捲き線６０ｂでの通電方向を示している。
　そして、上述した図１１に示す可動子４１を、図１５Ｂに示す電機子５４の各ユニットの開口部が連なって形成される中空部６１に貫通させることにより、第３実施の形態に係る単相駆動のリニアモータ（単相分のユニット）７０が構成される。図１６は第３実施の形態に係るリニアモータ７０の構成を示す斜視図である。
　第３実施の形態のリニアモータ７０の場合には、電機子５４が固定子として機能する。そして、捲き線６０ａ，６０ｂに逆方向に電流を流すことにより、電機子５４の中空部６１に貫通された可動子４１が電機子５４（固定子）に対して往復直線運動を行う。
  第３実施の形態のリニアモータ７０（可動子４１）では、磁性体製のリニアガイドレール４４により、複数の平板状磁石４２ａ，４２ｂを格納した磁石保持スペーサ４３を横方向から押えて支持している。よって、可動子４１に高い機械的強度を持たせて、剛性を高めることができる。磁性体は、一般的に曲げ強度が弱く、たわみ振動、共振振動などの振動が発生し易い。しかしながら、第３実施の形態では、リニアガイドレール４４を設けているため、ストロークが長くなっても、これらのたわみ振動、共振振動などの振動を抑えることができる。したがって、高速移動させても大きな振動は生じず、がたつきがない安定した高速直線移動を実現できる。
　ところで、リニアガイドレール４４の材質として磁性材を使用した場合に、その磁性材によって磁束が漏れてリニアモータの推力が低下することが懸念される。しかしながら、第３実施の形態では、以下の理由によって、この懸念は解消されている。第３実施の形態の電機子５４では、上述した如きコア構成をなすようにしたので、各リニアガイドレール４４の周囲はすべて同極となる。つまり、一方のリニアガイドレール４４の周りがすべてＮ極となって、他方のリニアガイドレールの周りもすべてＮ極となる。したがって、各リニアガイドレール４４において磁気ポテンシャルの差がないため、リニアガイドレール４４を貫通する磁束はなく、この結果、リニアガイドレール４４を介して磁束が漏れることがなくて、推力の低下は生じない。第３実施の形態では、強度向上に貢献できる安価なステンレスなどの磁性材をリニアガイドレール４４に利用することができる。
  また、第３実施の形態の可動子４１では、平板状磁石４２ａ，４２ｂの長手方向が、リニアガイドレール４４，４４の対向方向に対して、数度程度スキューしている。よって、一定速度で可動子４１を動かした場合に、ぎくしゃくした動き（コギング）を小さくすることができて、滑らかな高速直線運動を実現できる。
　第３実施の形態にあっては、リニアガイドレール４４，４４が電機子５４を貫通するため、そのリニアガイドレール４４，４４を貫通させるための通路を、電機子５４を構成する各サブユニットに設ける必要があり、各サブユニットのコア機能をなす側部の面積が第２実施の形態に比べて減少する。そして、捲き線６０ａ，６０ｂが巻回されるコア部分が薄い場合には、磁気飽和が起こり易い。そこで、第３実施の形態では、スペーサユニット５９に補助コア部５９ｃ，５９ｄを設けて、同極のコアのすき間も出来るだけ埋めて磁束の経路の断面積を増加させて磁束を稼ぐように構成して、このような磁気飽和が生じないようにしている。
　第３実施の形態の電機子５４のコア構成ではその両端に、補助コア部を有さない第１サブユニット５５、第４サブユニット５８をそれぞれ配置しているため、捲き線６０ａ、捲き線６０ｂの捲きスペースを小さくできる。よって、３相構成とした場合に、その全長を短くすることが可能である。
　以下、第３実施の形態の変形例について説明する。この変形例では、第１サブユニット５５、第２サブユニット５６、第３サブユニット５７、第４サブユニット５８、及びスペーサユニット５９が、可動子４１の厚み方向の同じ位置でそれぞれ３つの部材に分割されている。
　図１７Ａ－Ｅは、これらの第１～第４サブユニット５５～５８及びスペーサユニット５９の分割パターンを示す図である。図１７Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅは、第１サブユニット５５、第２サブユニット５６、第３サブユニット５７、第４サブユニット５８、スペーサユニット５９のそれぞれの分割パターンを示している。これらの各ユニットはヨーク部の同じ位置で分割されている。
　第１サブユニット５５は、図１７Ａに示すように、コア部５５ｃを含む上側の第１部材５５１と、中央の第２部材５５２と、下側の第３部材５５３とに分割されている。第２サブユニット５６は、図１７Ｂに示すように、補助コア部５６ｃを含む上側の第１部材５６１と、中央の第２部材５６２と、コア部５６ｄを含む下側の第３部材５６３とに分割されている。第３サブユニット５７は、図１７Ｃに示すように、コア部５７ｃを含む上側の第１部材５７１と、中央の第２部材５７２と、補助コア部５７ｄを含む下側の第３部材５７３とに分割されている。第４サブユニット５８は、図１７Ｄに示すように、上側の第１部材５８１と、中央の第２部材５８２と、コア部５８ｃを含む下側の第３部材５８３とに分割されている。スペーサユニット５９は、図１７Ｅに示すように、補助コア部５９ｃを含む上側の第１部材５９１と、中央の第２部材５９２と、補助コア部５９ｄを含む下側の５９３とに分割されている。
　そして、第１サブユニット５５の第１部材５５１、スペーサユニット５９の第１部材５９１、第２サブユニット５６の第１部材５６１、スペーサユニット５９の第１部材５９１、第３サブユニット５７の第１部材５７１、スペーサユニット５９の第１部材５９１、及び第４サブユニット５８の第１部材５８１をこの順に積層させて、図１８Ａに示すような上側の第１中間体７１を得る。
　また、第１サブユニット５５の第２部材５５２、スペーサユニット５９の第２部材５９２、第２サブユニット５６の第２部材５６２、スペーサユニット５９の第２部材５９２、第３サブユニット５７の第２部材５７２、スペーサユニット５９の第２部材５９２、及び第４サブユニット５８の第２部材５８２をこの順に積層させて、図１８Ｂに示すような中央の第２中間体７２を得る。
　また、第１サブユニット５５の第３部材５５３、スペーサユニット５９の第３部材５９３、第２サブユニット５６の第３部材５６３、スペーサユニット５９の第３部材５９３、第３サブユニット５７の第３部材５７３、スペーサユニット５９の第３部材５９３、及び第４サブユニット５８の第３部材５８３をこの順に積層させて、図１８Ｃに示すような下側の第３中間体７３を得る。
　そして、図１９Ａ，Ｂに示すように、第１中間体７１のコア部及び補助コア部に一括して捲き線６０ａを巻回するとともに、第３中間体７３のコア部及び補助コア部に一括して捲き線６０ｂを巻回する。その後、第１中間体７１、第２中間体７２、及び第３中間体７３を組み付けて、図１５Ｂに示すような電機子５４を作製する。
　この変形例では、第１～第４サブユニット５５～５８及びスペーサユニット５９が分割されている。よって、分割した状態でそれぞれ捲き線６０ａ，捲き線６０ｂを施すことができ、その捲き線処理は容易であって、電機子５４を簡単に作製することが可能である。このような変形例にあっては、磁気ポテンシャルが同じであるので、分割したとしても、磁束の漏れは少ないため、推力特性に悪影響を及ぼさない。
　なお、単相のリニアモータ（単相分のユニット）について説明したが、例えば３相駆動のリニアモータを構成する場合には、上記の３個の電機子５４を、磁極ピッチ×（ｎ＋１／３）または磁極ピッチ×（ｎ＋２／３）（但し、ｎは整数）だけ間隔をあけて直線状に配置して、それらに可動子４１を貫通させるようにすれば良い。この際、各電機子５４のユニットに設けられた孔にビスを貫通させて、３個の電機子５４を連結固定する。なお、この場合、捲き線が収まるスペースを考慮して整数ｎを設定すれば良い。
（実施例）
　以下、本発明者が作製したリニアモータの具体的な構成と、作製したリニアモータの特性とについて説明する。
（実施例１）
  この実施例１は、前述した第１実施の形態に該当する例である。まず、リニアモータに用いる板状の可動子１として、図１に示すような形状の永久磁石を含んだ可動子を作製した。使用する平板状磁石２ａ，２ｂは、Ｎｄ－Ｆｅ－Ｂ系焼結磁石であって、最大エネルギー積：３７０ｋＪ／ｍ3 、残留磁束密度：Ｂｒ＝１．４Ｔのものを、長さ５０ｍｍ，幅４ｍｍ，厚さ６ｍｍの形状に切り出した。また、軟質磁性体３（ポールピース）として、軟鋼（ＳＰＣＣ製）で長さ５０ｍｍ，幅８ｍｍ，厚さ６ｍｍの形状のものを切削にて作製した。
　そして、これらの磁石３１個と軟質磁性体３０個とを準備し、平板状磁石２ａ、軟質磁性体３、平板状磁石２ｂ、軟質磁性体３、…の順に交互にエポキシ接着剤にて接着して、長さ３６４ｍｍ，幅５０ｍｍ，厚さ６ｍｍの板状の可動子１を作製した。平板状磁石２ａ、平板状磁石２ｂの磁化方向は接着した軟質磁性体３の方向に向いているが、その方向は互いに逆方向である（図１の白抜矢符参照）。軟質磁性体３は、平板状磁石２ａ，２ｂのＳ極同士、Ｎ極同士を合わせるようにして、平板状磁石２ａ，２ｂ間に挿入した。
　次に、電機子４を作製した。図２０Ａに示すような形状をなす電機子素材を０．５ｍｍ厚さの珪素鋼板から１６枚切り出し、切り出したこれらの１６枚を重ねて接着し、厚さ８ｍｍの第１サブユニット５を作製した（図２Ａ参照）。また、図２０Ｂに示すような形状をなす電機子素材を０．５ｍｍ厚さの珪素鋼板から１６枚切り出し、切り出したこれらの１６枚を重ねて接着し、厚さ８ｍｍの第２サブユニット６を作製した（図２Ｂ参照）。また、図２０Ｃに示すような形状をなす電機子素材を０．５ｍｍ厚さの珪素鋼板から８枚切り出し、切り出したこれらの８枚を重ねて接着し、厚さ４ｍｍのスペーサユニット１１を作製した（図５参照）。
　このようにして作製した各ユニットを、第１サブユニット５、スペーサユニット１１、第２サブユニット６、スペーサユニット１１、第１サブユニット５、スペーサユニット１１、第２サブユニット６の順に重ね合わせて、単相分のユニットを構成した（図２Ｃ参照、但しスペーサユニット１１は図示せず）。この単相分のユニットの厚さは４４ｍｍである。また、磁極ピッチは１２ｍｍ（＝８ｍｍ＋４ｍｍ）である。
　この単相分のユニットに対して、駆動コイルの捲き線８ａ，捲き線８ｂとして、四隅の隙間部分に、絶縁確保のため電機子コアの捲き線を施す部分にポリイミドテープを捲き、その上に直径１．２ｍｍのマグネットワイアを貫通させながら２箇所に１００回づつ捲きつけた（図２Ｄ参照）。そして、通電した場合に電流の向きが逆になるように直列に結線を行った。
　このようにして作製した電機子４を３個準備し、その３個の電機子４をそれぞれ２８ｍｍ（＝１２ｍｍ×（２＋１／３））だけ間隔をあけて直線状に並べ、中央の中空部に可動子１を挿入し（図３参照）、可動子１が電機子４に接触することなく長手方向に移動できるように、テストベンチに固定した。図２１Ａ，Ｂに、作製したリニアモータ１０の構成を示す。
　３個の電機子４に捲かれている一対の駆動コイルの一端をつなぎ合わせ、他端に３相電源Ｕ，Ｖ，Ｗ相を接続するスター結線にして、モータコントローラに接続した。また、可動子１先端部分に光学式リニアスケールを接着し、テストベンチ固定側にリニアエンコーダを取り付けて、可動子１の位置を読み取るようにした。また、リニアエンコーダで検出したこの位置信号を上記モータコントローラに出力して可動子１の位置を制御する構成とした。
　このように接続した後、駆動コイルに印加する駆動電流を変えて可動子１の推力を測定した。この際、フォースゲージを可動子１に押し付ける方法で推力を測定した。その測定結果を図２２に示す。図２２の横軸は、電機子１相当たりの駆動電流の実効値×コイルの捲き数である。
　図２２に示すように、最大推力は４５０Ｎを上回っており、可動子の質量が０．９ｋｇであったため、推力／可動子質量比は５００Ｎ／ｋｇとなった。最大推力が５００Ｎである従来のリニアモータでは、その可動子の質量が２．５ｋｇ程度であるため、その推力／可動子質量比は２００Ｎ／ｋｇ程度である。したがって、本発明のリニアモータでは、従来のリニアモータに比べて、同一の推力を得るために可動子の質量を２／５程度まで低減することができる。このように、本発明では、加工機などでの高速処理に非常に効果があるリニアモータを提供することができる。
（実施例２）
  この実施例２は、前述した第２実施の形態に該当する例である。まず、リニアモータに用いる板状の可動子２１を以下のようにして作製した。長さ５０ｍｍ，幅１０ｍｍ，厚さ５ｍｍの３０個のＮｄ－Ｆｅ－Ｂ系希土類磁石（残留磁束密度：Ｂｒ＝１．４Ｔ、最大エネルギー積：３８０ｋＪ／ｍ3 ）からなる平板状磁石２２ａ，２２ｂを、図６に示すように、磁化方向が厚さ方向で上下交互になるように配置した。また、隣り合う磁石と磁石との間に、長さ５０ｍｍ，幅２ｍｍ，厚さ５ｍｍのアルミニウム製のスペーサを１個ずつ挿入して磁石と接着させて、可動子を組み立てた。
　作製した可動子２１は、３０個の平板状磁石２２ａ，２２ｂと２９個のスペーサ（図示せず）とから構成されており、そのサイズは長さ３５８ｍｍ，幅５０ｍｍ，厚さ５ｍｍである。
　次に、電機子２４を作製した。図２３Ａに示すような形状をなす電機子素材を０．５ｍｍ厚さの珪素鋼板からワイアーカットにて２０枚切り出し、切り出したこれらの２０枚を重ねて接着し、厚さ１０ｍｍの第１サブユニット２５及び第２サブユニット２６を作製した（図７Ａ，Ｂ参照）。また、図２３Ｂに示すような形状をなす電機子素材を０．５ｍｍ厚さの珪素鋼板から４枚切り出し、切り出したこれらの４枚を重ねて接着し、厚さ２ｍｍのスペーサユニット３１を作製した（図１０参照）。
　第１サブユニット２５と第２サブユニット２６とは、上下を倒立させた関係をなしているだけであり、何れか一方を１８０度回転させれば他方の形状に一致する。よって、実施例１とは異なり、同一の金型を用いて第１サブユニット２５及び第２サブユニット２６を作製できる。
　このようにして作製した各ユニットを、第１サブユニット２５、スペーサユニット３１、第２サブユニット２６、スペーサユニット３１、第１サブユニット２５、スペーサユニット３１、第２サブユニット２６の順に重ね合わせて、単相分のユニットを構成した（図７Ｃ参照、但しスペーサユニット３１は図示せず）。この単相分のユニットの厚さは４６ｍｍである。また、磁極ピッチは１２ｍｍ（＝１０ｍｍ＋２ｍｍ）である。
　この単相分のユニットに対して、駆動コイルの捲き線２８ａ，捲き線２８ｂとして、四隅の隙間部分に、絶縁確保のためのポリイミドテープを捲いた直径１．２ｍｍのマグネットワイアを貫通させながら２箇所に１００回づつ捲きつけた（図７Ｄ参照）。そして、通電した場合に電流の向きが逆になるように直列に結線を行った。
　このようにして作製した電機子２４を３個準備し、その３個の電機子２４をそれぞれ２８ｍｍ（＝１２ｍｍ×（２＋１／３））だけ間隔をあけて直線状に並べ、中央の中空部に可動子２１を挿入し（図８参照）、可動子２１が電機子２４に接触することなく長手方向に移動できるように、テストベンチに固定した。図２４に、作製したリニアモータ３０の構成を示す。
　３個の電機子２４に捲かれている一対の駆動コイルの一端をつなぎ合わせ、他端に３相電源Ｕ，Ｖ，Ｗ相を接続するスター結線にして、モータコントローラに接続した。また、可動子２１先端部分に光学式リニアスケールを接着し、テストベンチ固定側にリニアエンコーダを取り付けて、可動子２１の位置を読み取るようにした。また、リニアエンコーダで検出したこの位置信号を上記モータコントローラに出力して可動子２１の位置を制御する構成とした。
　このように接続した後、駆動コイルに印加する駆動電流を変えて可動子２１の推力を測定した。この際、フォースゲージを可動子２１に押し付ける方法で推力を測定した。その測定結果を図２５に示す。図２５の横軸は、電機子１相当たりの駆動電流の実効値×コイルの捲き数である。
　図２５に示すように、最大推力は７５０Ｎを実現できており、可動子の質量が０．７ｋｇであったため、推力／可動子質量比は１０７０Ｎ／ｋｇとなった。このリニアモータ３０では、２００Ｎ／ｋｇ程度である従来のリニアモータに比べて、５倍以上の大きい推力／可動子質量比が得られている。したがって、本発明のリニアモータでは、従来のリニアモータに比べて、同一の推力を得るために可動子の質量を１／５程度まで低減することができる。このように、本発明では、加工機などでの高速処理に非常に効果があるリニアモータを提供することができる。
　実施例２では、実施例１に比べてより大きい推力が得られている。但し、実施例１（第１実施の形態）は、実施例２（第２実施の形態）に比べてより薄型化を図れる。よって、リニアモータの使用用途、使用目的に応じて、何れかの構成を選択すれば良い。
（実施例３）
  この実施例３は、前述した第３実施の形態の変形例に該当する例である。まず、リニアモータに用いる板状の可動子４１を以下のようにして作製した。長さ３８ｍｍ，幅８ｍｍ，厚さ４．５ｍｍの１０個のＮｄ－Ｆｅ－Ｂ系希土類磁石（残留磁束密度：Ｂｒ＝１．３９Ｔ）からなる平板状磁石４２ａ，４２ｂを、図１２に示すように、磁化方向が厚さ方向で上下交互になるように，磁石保持スペーサ４３の孔４３ａに配置して接着固定した。平板状磁石４２ａ，４２ｂのスキュー角は８°とした。そして、ＳＵＳ４３０からなる直径１２ｍｍの円柱状のリニアガイドレール４４，４４の切欠き４４ａ，４４ａに、磁石保持スペーサ４３の側枠４３ｂ，４３ｂを嵌入させることにより、可動子４１を作製した。
　次に、電機子５４を作製した。図１４Ａ及びＤに示すような平面形状をなす電機子素材を０．５ｍｍ厚さの珪素鋼板からワイアーカットにて１６枚切り出し、切り出したこれらの１６枚を重ねて接着した後（厚さ８ｍｍ）、３分割して、第１サブユニット５５及び第４サブユニット５８における３種類の分離部材を得た（図１７Ａ及びＤ参照）。具体的な寸法、形状の例を図２６に示す。図２６の（ｘ，ｙ）は、中心の座標を（０，０）とした場合の各点の座標位置 (長さの単位：ｍｍ）を表している。第１サブユニット５５と第４サブユニット５８とは、前述したように、上下を倒立させた関係をなしているだけであって、何れか一方を１８０度回転させれば他方の形状に一致するため、同一の金型を用いて第１サブユニット５５及び第４サブユニット５８を作製できる。
　また、図１４Ｂ及びＣに示すような平面形状をなす電機子素材を０．５ｍｍ厚さの珪素鋼板からワイアーカットにて１６枚切り出し、切り出したこれらの１６枚を重ねて接着した後（厚さ８ｍｍ）、３分割して、第２サブユニット５６及び第３サブユニット５７における３種類の分離部材を得た（図１７Ｂ及びＣ参照）。具体的な寸法、形状の例を図２７に示す。図２７の（ｘ，ｙ）は、中心の座標を（０，０）とした場合の各点の座標位置 (長さの単位：ｍｍ）を表している。第２サブユニット５６と第３サブユニット５７とは、前述したように、上下を倒立させた関係をなしているだけであって、何れか一方を１８０度回転させれば他方の形状に一致するため、同一の金型を用いて第２サブユニット５６及び第３サブユニット５７を作製できる。
　更に、図１４Ｅに示すような平面形状をなす電機子素材を０．５ｍｍ厚さの珪素鋼板からワイアーカットにて８枚切り出し、切り出したこれらの８枚を重ねて接着した後（厚さ４ｍｍ）、３分割して、スペ－サユニット５９における３種類の分離部材を得た（図１７Ｅ参照）。具体的な寸法、形状の例を図２８に示す。図２８の（ｘ，ｙ）は、中心の座標を（０，０）とした場合の各点の座標位置 (長さの単位：ｍｍ）を表している。
　各ユニットの第１部材を積層させて第１中間体７１を構成し（図１８Ａ参照）、各ユニットの第２部材を積層させて第２中間体７２を構成し（図１８Ｂ参照）、各ユニットの第３部材を積層させて第３中間体７３を構成した（図１８Ｃ参照）。これらの第１～第３中間体７１～７３の厚さは４４ｍｍ（＝８ｍｍ×４＋４ｍｍ×３）である。また、磁極ピッチは１２ｍｍ（＝１０ｍｍ＋２ｍｍ）である。
　駆動コイルの捲き線６０ａとして、絶縁確保のためのポリイミドテープを捲いた直径１．２ｍｍのマグネットワイアを、第１中間体７１のコア部及び補助コア部に一括して１００回捲きつけるとともに、駆動コイルの捲き線６０ｂとして、同じマグネットワイアを、第３中間体７３のコア部及び補助コア部に一括して１００回捲きつけた（図１９Ａ，Ｂ参照）。そして、通電した場合に電流の向きが逆になるように直列に結線を行った。これらの第１中間体７１、第２中間体７２、及び第３中間体７３を組み付けて、電機子５４を作製した（図１５Ｂ参照）。
　このようにして作製した電機子５４を３個準備し、その３個の電機子５４をそれぞれ２８ｍｍ（＝１２ｍｍ×（２＋１／３））だけ間隔をあけて直線状に並べ、中央の中空部に可動子４１を挿入し（図１６参照）、可動子４１が電機子５４に接触することなく長手方向に移動できるように、テストベンチに固定した。
　作製したリニアモータ７０の寸法、形状の単相分の例を図２９に示す。電機子５４の中空部の寸法は６．６ｍｍであって、平板状磁石４２ａ，４２ｂの厚さが４．５ｍｍであるため、電機子５４のコアと可動子４１の磁石との距離は１．０５ｍｍ（＝（６．６－４．５）ｍｍ÷２）となる。また、電機子５４において、駆動コイルとコアとの距離は２ｍｍである。
　３個の電機子５４に捲かれている一対の駆動コイルの一端をつなぎ合わせ、他端に３相電源Ｕ，Ｖ，Ｗ相を接続するスター結線にして、モータコントローラに接続した。また、可動子４１先端部分に光学式リニアスケールを接着し、テストベンチ固定側にリニアエンコーダを取り付けて、可動子４１の位置を読み取るようにした。また、リニアエンコーダで検出したこの位置信号を上記モータコントローラに出力して可動子４１の位置を制御する構成とした。
　このように接続した後、電流を流さないで、リニアガイドレール４４を手で動かした場合の可動子４１の推力を測定した。この際、フォースゲージを可動子４１に押し付ける方法で推力を測定した。その測定結果を図３０に示す。位相角に応じて推力は±２．３Ｎしか変動しておらず、可動子４１が滑らかに移動できることを確認できた。
　また、駆動コイルに印加する駆動電流を変えて可動子４１の推力を測定した。この際、フォースゲージを可動子４１に押し付ける方法で推力を測定した。その測定結果を図３１に示す。図３１の横軸は、電機子１相当たりの駆動電流の実効値×コイルの捲き数である。図３１に示すように、駆動電流に比例した推力が得られている。駆動電流を大きくしていった場合にはコアが飽和していくため、推力電流比は低下することになるが、図３１に示す例では、推力３２０Ｎまで１ｄＢ（１１％）未満の低下率に抑えられている。
　なお、第１実施の形態、第２実施の形態の可動子でも、磁石の形状が可動子長手方向に対してスキューすることで、コギングを小さくでき、滑らかな高速直線運動を実現できる。
　１，２１，４１　可動子
　２ａ，２ｂ，２２ａ，２２ｂ，４２ａ，４２ｂ　平板状磁石
３　軟質磁性体
　４，２４，５４　電機子
　５，２５，５５　第１サブユニット
　６，２６，５６　第２サブユニット
　５ａ，６ａ，２５ａ，２６ａ，５５ａ，５６ａ，５７ａ，５８ａ，５９ａ　開口部
　５ｂ，６ｂ，２５ｂ，２６ｂ，５５ｂ，５６ｂ，５７ｂ，５８ｂ，５９ｂ　ヨーク部
　５ｃ，６ｃ，５５ｃ，５６ｄ，５７ｃ，５８ｃ　コア部
　７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ，２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄ　隙間部分
  ８ａ，８ｂ，２８ａ，２８ｂ，６０ａ，６０ｂ　捲き線
　９，２９，６１　中空部
　１０，３０，７０　リニアモータ
　１１，３１，５９　スペーサユニット
  ２５ｃ，２６ｃ　第１コア部
  ２５ｄ，２６ｄ　第２コア部
  ２５ｅ，２６ｅ　リブ
　４３　磁石保持スペーサ
　４３ａ　孔
　４３ｂ　側枠
　４４　リニアガイドレール
　５７　第３サブユニット
　５８　第４サブユニット
　５６ｃ，５７ｄ，５９ｃ，５９ｄ　補助コア部
　５５１，５６１，５７１，５８１，５９１　第１部材
　５５２，５６２，５７２，５８２，５９２　第２部材
　５５３，５６３，５７３，５８３，５９３　第３部材
　７１　第１中間体
　７２　第２中間体
　７３　第３中間体

Claims (14)

  1. 　複数の板状磁石を有するリニアモータの可動子において、
    　板状磁石と板状の軟質磁性体とを交互に重ねており、前記板状磁石は、重ね方向の可動子の長手方向に磁化した板状磁石と重ね方向の前記長手方向とは逆の方向に磁化した板状磁石とが交互に配されていることを特徴とする可動子。
  2. 　板状の可動子が貫通されるリニアモータの電機子において、
    　前記可動子が貫通される開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向に延設させたコア部とを有する軟質磁性体製の第１サブユニット、及び、前記可動子が貫通される開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の幅方向に延設させたコア部とを有する軟質磁性体製の第２サブユニットを交互に重ねてなり、前記第１サブユニットの複数のコア部及び／または前記第２サブユニットの複数のコア部に捲き線を施してあることを特徴とする電機子。
  3. 　前記第２サブユニットの前記コア部は、その中間から前記開口部に向かってテーパ状をなしていることを特徴とする請求項２記載の電機子。
  4. 　重なり合う前記第１サブユニットと前記第２サブユニットとの間に、コア部同士が接触しないように軟質磁性体製のスペーサを挟んでいることを特徴とする請求項２または３記載の電機子。
  5. 　板状磁石と板状の軟質磁性体とを交互に重ねており、前記板状磁石は、重ね方向の可動子の長手方向に磁化した板状磁石と重ね方向の前記長手方向とは逆の方向に磁化した板状磁石とが交互に配されている可動子を、
    　矩形状の開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向に延設させたコア部とを有する軟質磁性体製の第１サブユニット、及び、矩形状の開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の幅方向に延設させたコア部とを有する軟質磁性体製の第２サブユニットを交互に重ねてなり、前記第１サブユニットの複数のコア部及び／または前記第２サブユニットの複数のコア部に捲き線を施してある電機子の前記第１サブユニットの開口部及び前記第２サブユニットの開口部に貫通させてあることを特徴とするリニアモータ。
  6. 　板状の可動子が貫通されるリニアモータの電機子において、
    　前記可動子が貫通される開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向一側に延設させた第１コア部及び前記可動子の幅方向に延設させた第２コア部とを有する軟質磁性体製の第１サブユニット、並びに、前記可動子が貫通される開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、前記第１サブユニットの第１コア部及び第２コア部と対称の位置に設けられ、前記ヨーク部から延設させた第１コア部及び第２コア部とを有する軟質磁性体製の第２サブユニットを交互に重ねてなり、前記第１サブユニット及び前記第２サブユニットの複数の第２コア部並びに／または前記第１サブユニット及び前記第２サブユニットの複数の第１コア部に捲き線を施してあることを特徴とする電機子。
  7. 　前記第１サブユニット及び前記第２サブユニットの第２コア部は、その中間から前記開口部に向かってテーパ状をなしており、その前記ヨーク部側にリブを有していることを特徴とする請求項６記載の電機子。
  8. 　重なり合う前記第１サブユニットと前記第２サブユニットとの間に、前記第１サブユニットの第１コア部または第２コア部と前記第２サブユニットの第１コア部または第２コア部とが接触しないように軟質磁性体製のスペーサを挟んでいることを特徴とする請求項６または７記載の電機子。
  9. 　厚さ方向に磁化した複数の板状磁石を有しており、前記板状磁石は、厚さ方向の一方向に磁化した板状磁石と厚さ方向の前記一方向とは逆の方向に磁化した板状磁石とが交互に配されている可動子を、
    　矩形状の開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向一側に延設させた第１コア部及び前記可動子の幅方向に延設させた第２コア部とを有する軟質磁性体製の第１サブユニット、並びに、矩形状の開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、前記第１サブユニットの第１コア部及び第２コア部と対称の位置に設けられ、該ヨーク部から延設させた第１コア部及び第２コア部とを有する軟質磁性体製の第２サブユニットを交互に重ねてなり、前記第１サブユニット及び前記第２サブユニットの複数の第２コア部並びに／または前記第１サブユニット及び前記第２サブユニットの複数の第１コア部に捲き線を施してある電機子の前記第１サブユニットの開口部及び前記第２サブユニットの開口部に貫通させてあることを特徴とするリニアモータ。
  10. 　複数の板状磁石を有するリニアモータの可動子において、
    　厚さ方向に磁化した複数の板状磁石それぞれが、非磁性体製の矩形状の磁石保持スペーサに並列的に形成した複数の孔それぞれに、厚さ方向の一方向に磁化した板状磁石と厚さ方向の前記一方向とは逆の方向に磁化した板状磁石とが交互となるように配置されており、前記磁石保持スペーサの幅方向両側で長手方向に延びる枠体にリニアガイドレールを設けてあることを特徴とする可動子。
  11. 　前記板状磁石の長手方向が、前記リニアガイドレールの対向方向よりスキューしていることを特徴とする請求項１０記載の可動子。
  12. 　板状の可動子が貫通されるリニアモータの電機子において、
    　前記可動子が貫通される開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向一側に延設させたコア部とを有する軟質磁性体製の第１サブユニット、
    　前記可動子が貫通される開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向一側に延設させた補助コア部と、前記ヨーク部から前記可動子の厚み方向他側に延設させたコア部とを有する軟質磁性体製の第２サブユニット、
    　前記可動子が貫通される開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向一側に延設させたコア部と、前記ヨーク部から前記可動子の厚み方向他側に延設させた補助コア部とを有する軟質磁性体製の第３サブユニット、及び、前記可動子が貫通される開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向他側に延設させたコア部とを有する軟質磁性体製の第４サブユニット
    　がこの順に重ねられ、
    　前記可動子が貫通される開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向両側に延設させた補助コア部とを有する軟質磁性体製のスペーサユニットを、前記第１サブユニット及び前記第２サブユニットの間、前記第２サブユニット及び前記第３サブユニットの間、並びに、前記第３サブユニット及び前記第４サブユニットの間にそれぞれ設けており、
    　前記第１サブユニットのコア部、前記第２サブユニットの補助コア部、前記第３サブユニットのコア部、及び、前記スペーサユニットの前記可動子の厚み方向一側の補助コア部に一括して捲き線を施してあり、前記第２サブユニットのコア部、前記第３サブユニットの補助コア部、前記第４サブユニットのコア部、及び、前記スペーサユニットの前記可動子の厚み方向他側の補助コア部に一括して捲き線を施してあることを特徴とする電機子。
  13. 　前記第１サブユニット、前記第２サブユニット、前記第３サブユニット、前記第４サブユニット、及び前記スペーサユニットはそれぞれ、前記可動子の厚み方向に同じ位置で分割されていることを特徴とする請求項１２記載の電機子。
  14. 　厚さ方向に磁化した複数の板状磁石それぞれが、非磁性体製の矩形状の磁石保持スペーサに並列的に形成した複数の孔それぞれに、厚さ方向の一方向に磁化した板状磁石と厚さ方向の前記一方向とは逆の方向に磁化した板状磁石とが交互になるように配置されており、前記磁石保持スペーサの幅方向両側で長手方向に延びる枠体にリニアガイドレールを設けてある可動子を、
    　矩形状の開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向一側に延設させたコア部とを有する軟質磁性体製の第１サブユニット、矩形状の開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向一側に延設させた補助コア部と、前記ヨーク部から前記可動子の厚み方向他側に延設させたコア部とを有する軟質磁性体製の第２サブユニット、矩形状の開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向一側に延設させたコア部と、前記ヨーク部から前記可動子の厚み方向他側に延設させた補助コア部とを有する軟質磁性体製の第３サブユニット、及び、矩形状の開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向他側に延設させたコア部とを有する軟質磁性体製の第４サブユニットがこの順に重ねられており、矩形状の開口部と、該開口部の外側に配置したヨーク部と、該ヨーク部から前記可動子の厚み方向両側に延設させた補助コア部とを有する軟質磁性体製のスペーサユニットを、前記第１サブユニット及び前記第２サブユニットの間、前記第２サブユニット及び前記第３サブユニットの間、並びに、前記第３サブユニット及び前記第４サブユニットの間にそれぞれ設けており、前記第１サブユニットのコア部、前記第２サブユニットの補助コア部、前記第３サブユニットのコア部、及び、前記スペーサユニットの前記可動子の厚み方向一側の補助コア部に一括して捲き線を施してあり、前記第２サブユニットのコア部、前記第３サブユニットの補助コア部、前記第４サブユニットのコア部、及び、前記スペーサユニットの前記可動子の厚み方向他側の補助コア部に一括して捲き線を施してある電機子の前記第１サブユニットの開口部、前記第２サブユニットの開口部、前記第３サブユニットの開口部、前記第４サブユニットの開口部、及び前記スペーサユニットの開口部に貫通させてあることを特徴とするリニアモータ。
PCT/JP2009/004060 2008-11-18 2009-08-24 可動子、電機子及びリニアモータ WO2010058500A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010520355A JP5434917B2 (ja) 2008-11-18 2009-08-24 電機子及びリニアモータ
EP09827282.6A EP2360817B1 (en) 2008-11-18 2009-08-24 Movable element, armature, and linear motor
US13/129,861 US8884473B2 (en) 2008-11-18 2009-08-24 Mover, armature, and linear motor

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008294782 2008-11-18
JP2008-294782 2008-11-18
JP2009101138 2009-04-17
JP2009-101138 2009-04-17

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2010058500A1 true WO2010058500A1 (ja) 2010-05-27

Family

ID=42197944

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2009/004060 WO2010058500A1 (ja) 2008-11-18 2009-08-24 可動子、電機子及びリニアモータ

Country Status (6)

Country Link
US (1) US8884473B2 (ja)
EP (1) EP2360817B1 (ja)
JP (1) JP5434917B2 (ja)
KR (1) KR101657276B1 (ja)
TW (1) TWI472126B (ja)
WO (1) WO2010058500A1 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013046502A (ja) * 2011-08-24 2013-03-04 Sinfonia Technology Co Ltd リニアモータ
US20130093264A1 (en) * 2010-06-09 2013-04-18 Hitachi Ltd Linear Motor and Positioning Apparatus
JP2014011235A (ja) * 2012-06-28 2014-01-20 Tokyo Institute Of Technology 電磁石形アクチュエータ及びこれを用いた平面モータ
JPWO2013122031A1 (ja) * 2012-02-16 2015-05-11 日立金属株式会社 リニアモータ
EP2712070A4 (en) * 2011-05-17 2016-03-23 Mitsubishi Heavy Ind Ltd LINEAR VERNIER MOTOR
JP2021517742A (ja) * 2018-04-16 2021-07-26 コベリ カンパニー リミテッド 磁石モジュールの製造方法

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI460966B (zh) * 2009-01-23 2014-11-11 Hitachi Metals Ltd Moving elements and linear motors
WO2014064785A1 (ja) * 2012-10-24 2014-05-01 株式会社日立製作所 リニアモータ及びリニアモータ駆動システム
DE102015111527A1 (de) * 2015-07-16 2017-01-19 Lofelt Gmbh Vibrierender Aktor
US10811950B2 (en) * 2015-08-07 2020-10-20 Hitachi, Ltd. Linear motor and device provided with linear motor
CN112874126B (zh) * 2021-03-04 2022-11-04 京东方科技集团股份有限公司 贴合治具和具有其的贴合装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04340352A (ja) * 1991-05-16 1992-11-26 Yaskawa Electric Corp 薄膜磁石モータの可動子の製造方法
JPH10327571A (ja) * 1997-05-23 1998-12-08 Nikon Corp リニアパルスモータ
JP2002027731A (ja) 2000-07-06 2002-01-25 Hitachi Kiden Kogyo Ltd リニアモータ
JP2002142439A (ja) * 2000-11-06 2002-05-17 Hitachi Ltd リニアモータとその製造方法
JP2005287185A (ja) 2004-03-30 2005-10-13 Hitachi Ltd リニアモータ
JP2005295708A (ja) 2004-03-31 2005-10-20 Sanyo Denki Co Ltd クローポール型三相リニアモータ
WO2007116506A1 (ja) * 2006-03-31 2007-10-18 Hitachi, Ltd. リニアモータ

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU580774B2 (en) * 1984-05-16 1989-02-02 Toyota Shatai Kabushiki Kaisha Moving coil type linear motor
US4810914A (en) * 1987-03-26 1989-03-07 International Business Machines Corporation Linear actuator with multiple closed loop flux paths essentially orthogonal to its axis
EP0580117A3 (en) 1992-07-20 1994-08-24 Tdk Corp Moving magnet-type actuator
JPH0644385A (ja) 1992-07-24 1994-02-18 Fujitsu Ltd Ｚバッファ制御回路
JP3483959B2 (ja) 1994-10-14 2004-01-06 Ｔｄｋ株式会社 磁石可動型リニアアクチュエータ及びポンプ
JP3395155B2 (ja) 1999-05-07 2003-04-07 株式会社日立製作所 リニアモータ及びその製造方法
JP2002095232A (ja) 2000-09-18 2002-03-29 Yaskawa Electric Corp リニアモータの電機子構造
JP3945142B2 (ja) * 2000-10-12 2007-07-18 株式会社日立製作所 リニアモータ及びその制御方法
JP3945150B2 (ja) * 2000-11-06 2007-07-18 株式会社日立製作所 リニアモータ
JP3861593B2 (ja) 2000-12-11 2006-12-20 株式会社日立製作所 リニアモータ
US6570273B2 (en) * 2001-01-08 2003-05-27 Nikon Corporation Electric linear motor
JP3846781B2 (ja) * 2002-02-18 2006-11-15 株式会社日立製作所 リニアアクチュエータ
JP3744437B2 (ja) * 2002-02-20 2006-02-08 株式会社日立製作所 駆動装置
JP3855914B2 (ja) * 2002-11-12 2006-12-13 株式会社日立製作所 直線駆動装置
JP3872055B2 (ja) * 2003-06-20 2007-01-24 三菱電機株式会社 リニアモータの電機子
JP2005039883A (ja) 2003-07-15 2005-02-10 Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd リニアモータ
JP4089597B2 (ja) * 2003-11-18 2008-05-28 株式会社日立製作所 リニアモータ及びｘｙステージ
JP2006115665A (ja) 2004-10-18 2006-04-27 Toyo Mach & Metal Co Ltd 直線駆動装置
JP2006197722A (ja) 2005-01-13 2006-07-27 Toyo Mach & Metal Co Ltd 直線駆動装置
JP2006320035A (ja) 2005-05-10 2006-11-24 Hitachi Ltd リニアモータ
JP2007312575A (ja) * 2006-05-22 2007-11-29 Toyo Mach & Metal Co Ltd 直線駆動装置
JPWO2008047461A1 (ja) 2006-10-20 2010-02-18 株式会社日立製作所 リニアモータ
JPWO2008117345A1 (ja) * 2007-02-23 2010-07-08 株式会社日立製作所 リニアモータ及びその制御方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04340352A (ja) * 1991-05-16 1992-11-26 Yaskawa Electric Corp 薄膜磁石モータの可動子の製造方法
JPH10327571A (ja) * 1997-05-23 1998-12-08 Nikon Corp リニアパルスモータ
JP2002027731A (ja) 2000-07-06 2002-01-25 Hitachi Kiden Kogyo Ltd リニアモータ
JP2002142439A (ja) * 2000-11-06 2002-05-17 Hitachi Ltd リニアモータとその製造方法
JP2005287185A (ja) 2004-03-30 2005-10-13 Hitachi Ltd リニアモータ
JP2005295708A (ja) 2004-03-31 2005-10-20 Sanyo Denki Co Ltd クローポール型三相リニアモータ
WO2007116506A1 (ja) * 2006-03-31 2007-10-18 Hitachi, Ltd. リニアモータ

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP2360817A4

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20130093264A1 (en) * 2010-06-09 2013-04-18 Hitachi Ltd Linear Motor and Positioning Apparatus
US10218252B2 (en) * 2010-06-09 2019-02-26 Hitachi, Ltd. Linear motor and positioning apparatus
EP2712070A4 (en) * 2011-05-17 2016-03-23 Mitsubishi Heavy Ind Ltd LINEAR VERNIER MOTOR
US10128731B2 (en) 2011-05-17 2018-11-13 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Linear vernier motor
JP2013046502A (ja) * 2011-08-24 2013-03-04 Sinfonia Technology Co Ltd リニアモータ
JPWO2013122031A1 (ja) * 2012-02-16 2015-05-11 日立金属株式会社 リニアモータ
JP2014011235A (ja) * 2012-06-28 2014-01-20 Tokyo Institute Of Technology 電磁石形アクチュエータ及びこれを用いた平面モータ
JP2021517742A (ja) * 2018-04-16 2021-07-26 コベリ カンパニー リミテッド 磁石モジュールの製造方法
JP7149406B2 (ja) 2018-04-16 2022-10-06 コベリ カンパニー リミテッド 磁石モジュールの製造方法及び磁石モジュール
US11735342B2 (en) 2018-04-16 2023-08-22 Kovery Co., Ltd. Method for manufacturing magnet module

Also Published As

Publication number Publication date
EP2360817B1 (en) 2018-10-24
US20110221283A1 (en) 2011-09-15
EP2360817A1 (en) 2011-08-24
KR20110084329A (ko) 2011-07-21
EP2360817A4 (en) 2017-05-17
US8884473B2 (en) 2014-11-11
KR101657276B1 (ko) 2016-09-13
JP5434917B2 (ja) 2014-03-05
TWI472126B (zh) 2015-02-01
JPWO2010058500A1 (ja) 2012-04-19
TW201021370A (en) 2010-06-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5434917B2 (ja) 電機子及びリニアモータ
JP5370313B2 (ja) リニアモータ
JP5991326B2 (ja) リニアモータ
JP5510338B2 (ja) リニアモータ
JP2010063201A (ja) リニアモータ
JP2014504129A (ja) リニアモータ
JPWO2011154995A1 (ja) リニアモータおよびそれを用いた位置決め装置
JP5511713B2 (ja) リニアモータ
JP2004364374A (ja) リニアモータ
JP5589507B2 (ja) リニア駆動装置の可動子及び固定子
JP5327701B2 (ja) リニアモータ
JP2001119919A (ja) リニアモータ
JP2010098880A (ja) 円筒形リニアモータ
JP6036221B2 (ja) リニアモータ
JP5540482B2 (ja) アクチュエータ
JP2002101636A (ja) リニアモータ
JP4352439B2 (ja) リニアモータ
JP2013176299A (ja) リニアモータ
JP2017118803A (ja) リニアモータ及び電機子
JP2006174700A (ja) リニアモータ
JP6631102B2 (ja) 回転電機
WO2015146874A1 (ja) アクチュエータ、可動子及び電機子
JP2013176269A (ja) リニアモータ
JP2004140954A (ja) リニアモータ
JP2011217535A (ja) リニア駆動装置の可動子及びリニア駆動装置

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2010520355

Country of ref document: JP

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 09827282

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 13129861

Country of ref document: US

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2009827282

Country of ref document: EP

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20117013715

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A