JP2005295708A - クローポール型三相リニアモータ - Google Patents

クローポール型三相リニアモータ Download PDF

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Abstract

【課題】 コンパクトなクローポール型三相リニアモータを得る。
【解決手段】 3種類の単位コア11,13,15を可動子3の移動方向に順次並べる。複数の単位コア11には、一対の磁極構成部の基部に第1及び第2の分割励磁巻線17a及び17bが巻装されたコの字形状を有している。また複数の単位コア13及び15は、連結部にそれぞれ励磁巻線19,21が巻装される6の字に似た形状を有している。
【選択図】図1

Description

本発明は、クローポール型三相リニアモータに関するものである。
特開2002−27729号公報の図1乃至図3には、複数のコア分割体を重ねてコアを構成し、コア分割体の巻線部を、巻回するコイルの厚み方向(リニアモータの移動方向と直交する方向)に位置を違えて構成したクローポール型のリニアモータの従来例が示されている。
特開2002−27729号公報 図1乃至図3
しかしながら、従来のクローポール型のリニアモータでは巻線部がコイルの厚み方向に長く形成されるために、この方向の寸法が大きくなり、結果的にリニアモータの電機子の寸法が大きくなる問題があった。また、電機子鉄心が界磁側を包み込む形状のため、界磁側を長くしすぎると撓んだり、剛性の低下を招く課題があった。
本発明の目的は、電機子を小型化することができるクローポール型三相リニアモータを提供することにある。
本発明の他の目的は、磁気吸引力およびコギングが少ないクローポール型三相リニアモータを提供することにある。
本発明の他の目的は、組み立て作業が簡単なクローポール型三相リニアモータを提供することにある。
本発明のクローポール型三層リニアモータは、永久磁石からなる複数の磁極がピッチτpで交互に極性が異なるように移動方向に並べられて構成された永久磁石磁極列を備えた可動子と、この永久磁石の着磁方向と一致する幅方向の両側から永久磁石磁極列を所定の間隙を間に介して挟むように配置された一対の磁極面を備え且つ移動方向にピッチ(2/3)τpで配置された複数の単位コアと、複数の単位コアのうち同相で励磁されるべき複数の単位コアに対して巻装された三相分の励磁巻線とを備えた固定子とを備えている。
本発明では、複数の単位コアとして3つのタイプの単位コアを用いる。第1のタイプの単位コアは、第一相の励磁巻線が巻装される第1の単位コアグループを構成する。第1のタイプの単位コアは、一対の磁極面を有して永久磁石磁極列の両側に配置され、移動方向及び幅方向の両方向と直交する直交方向に延びる一対の磁極構成部と、一対の磁極構成部の直交方向の一方の方向に位置する端部どうしを連結する連結部とを備えている。
第2のタイプの単位コアは、第二相の励磁巻線が巻装される第2の単位コアグループを構成する。第2のタイプの単位コアは一対の磁極面を有して直交方向に延びる一対の磁極構成部と、一対の磁極構成部の一方の磁極構成部に連結された第1の延長部と、一対の磁極構成部の他方の磁極構成部に連結された第2の延長部と、第1の延長部と第2の延長部とを連結する連結部とを有している。そして第1の延長部が一方の磁極構成部の直交方向における一方の方向側に位置する端部に連結されて永久磁石磁極列を越えて幅方向の一方の方向に延びている。また第2の延長部が他方の磁極構成部の直交方向における他方の方向に位置する端部に連結されて永久磁石磁極列から離れて幅方向の一方の方向に延びている。更に連結部が直交方向に延びて第1の延長部と第2の延長部における幅方向の一方の方向側に位置する端部どうしを連結する構造を有している。
第3のタイプの単位コアは、第三相の励磁巻線が巻装される第3の単位コアグループを構成している。第3のタイプの単位コアは第2の単位コアグループを構成する複数の単位コアと同じ構造を有している。第2のタイプの単位コアと異なるのは、第3のタイプの単位コアでは、その連結部が第2の単位コアグループを構成する複数の単位コアの連結部とは永久磁石磁極列を間にして幅方向の反対側に位置するように配置される点である。
本発明では、これら第1乃至第3のタイプの単位コアを、所定の順番に繰り返して移動方向に並ぶように配置する。第1のタイプの単位コアにおいては、連結部と永久磁石磁極列との間に第1の励磁巻線が位置するスペースが形成できるように一対の磁極構成部の長さを定める。そして第1の単位コアグループを構成する複数の第1のタイプの単位コアの連結部または該連結部に連結された一対の磁極構成部の基部を内包するように第1の励磁巻線を形成する。また第2の単位コアグループを構成する複数の第2のタイプの単位コアの連結部または該連結部に連結された一対の磁極構成部の基部を内包するように第2の励磁巻線を形成する。更に第3の単位コアグループを構成する複数の第3のタイプの単位コアの連結部または該連結部に連結された一対の磁極構成部の基部を内包するように第3の励磁巻線を形成する。このようにすれば3つの励磁巻線を異なる単位コアグループにそれぞれ形成することができ、固定子の寸法を従来よりもコンパクトにすることができる。
なお同相に励磁される単位コアグループを構成する複数の単位コアどうしのピッチを、2τp±[τp/(3n)](ここでnは1以上の整数)になるように各単位コアを配置するのが好ましい。このような配置にすると、コギング推力を小さくすることができる。また第1の励磁巻線を、複数の第1のタイプの単位コアのそれぞれの一方の磁極構成部の基部を内包する第1の分割励磁巻線と複数の単位コアのそれぞれの他方の磁極構成部の基部を内包する第2の分割励磁巻線とから構成してもよい。このようにすると、第1の励磁巻線の高さ寸法(巻線の巻回方向と直交する巻線幅寸法または第1のタイプの単位コアに巻装された状態では磁極構成部が延びる方向の寸法)を小さくすることができる。
各単位コアに巻装する励磁巻線をそれぞれ異なる位置に形成することが可能である。例えば、第2の励磁巻線を複数の第2のタイプの単位コアの連結部を内包するように形成し、第3の励磁巻線を複数の第3のタイプの単位コアの連結部を内包するように形成すれば、各励磁巻線が可動子の永久磁石の着磁方向と一致する方向及び対向する方向にそれぞれ形成されることになり、励磁巻線が一方向にだけ並べられることが無くなって、固定子の外形寸法を小さくすることができる。
各単位コアを固定するためにスペーサプレートを用いることができる。このスペーサプレートには、第1のタイプの単位コアの一対の磁極構成部の中間部と、第2のタイプ及び第3の単位コアの第1の延長部の一部または全部が嵌合される複数の貫通孔が移動方向に順次形成されている。第1乃至第3のタイプの単位コアはスぺーサプレートの複数の貫通孔に嵌合する。スペーサプレートのそれぞれの貫通孔内のコアに流れる磁束はプラスの磁束とマイナスの磁束とが互いに打ち消し合う作用が働いて、貫通孔の周囲に渦電流が発生することを防止することができる。そのため、スペーサプレートの材質には樹脂の他に非磁性金属を用いることができる。
またスぺーサプレートを可動ステージに対して取付けるようにすれば、モータの組み立てが容易になる。この場合スペーサプレートには可動ステージに対して取付るための取付け用穴を複数設けておけばよい。
なお第1のタイプの単位コアの中間部及び第2及び第3のタイプの単位コアの第1の延長部に、それぞれスぺーサプレートの表面または裏面と当接して各単位コアの位置決めをはかる突起部を一体に設けてもよい。このようにするとスペーサプレートの貫通孔に対して各単位コアを容易に位置決め固定することができる
また第1のタイプの単位コアの一対の磁極構成部を、その中間部よりも連結部側の対向スペースが広くなるような形状にしてもよい。このようにすると第1の励磁巻線を巻装するスペースが広くなるので巻線の高さ寸法(巻線幅寸法)を小さくすることができる。その結果、固定子の高さ方向の寸法(第1のタイプの単位コアの磁極構成部が延びる方向の寸法)を小さくすることができる。
第2のタイプの単位コア及び第3のタイプの単位コアが、第2の延長部と連結部との境界部分または連結部の中間領域に単位コアを二つの単位分割コアに分割することを許容する嵌め合い構造を備えていてもよい。このような嵌め合い構造を設けておくと、励磁巻線を予め用意しておき、各単位コアの二つの単位分割コアを嵌め合う前に励磁巻線を装着し、その後二つの単位分割コアを嵌め合わせて単位コアを構成することにより、励磁巻線を複数の単位コアに対して巻装するための作業が容易になり、結果として固定子の製造組み立てが容易になる。嵌め合い構造としては、凹凸嵌合構造により組み合わされる構造など公知の嵌め合わせ構造を用いることができる。この場合において、第2のタイプの単位コアの磁極構成部間に発生する磁気吸引力と垂直な方向に嵌め合わせる嵌め合わせ構造にすると、嵌め合わせ構造を設けてもコアの強度が弱くなることはない。
第1乃至第3のタイプの単位コアが、それぞれの連結部の中間領域に単位コアを二つの単位分割コアに分割することを許容する嵌め合い構造を備えていてもよい。この嵌め合い構造は、例えば、二つの単位分割コアにそれぞれ形成され、少なくとも二つの単位分割コアの分割面に向かって開口して互いに整合する二つのスリット溝と、二つの単位分割コアのそれぞれの分割面が互いに当接した状態において、二つのスリット溝に跨ってきつく嵌合されて二つの分割コアを結合する結合プレートとから構成することができる。このようにしても励磁巻線を予め用意しておき、各単位コアを構成する二つの単位分割コアを結合する際に、励磁巻線と複数の単位コアに対して簡単に巻装することができるので、固定子の製造組み立てが容易になる。また結合プレートを用いることにより嵌め合い構造部分における磁気抵抗を低くすることが可能となる。結合プレートの形状、大きさを、第1乃至第3のタイプの単位コアに共通なものとすれば、部品の共通化を図ることができて、製造コストを下げることができる。
本発明によれば、複数の励磁巻線を異なる方向に巻装することができるので、固定子の形状寸法がコンパクトなクローポール型三相リニアモータが得られる。
また、電機子は、界磁側を包み込まない構造にすることができるので、ストロークに限界がなく、高剛性のクローポール型三相リニアモータが得られる。
以下、図面を参照して本発明を実施するための最良の形態を説明する。図1は、本発明のクローポール型三相リニアモータの実施の形態の一例の斜視図である。図2(A)は、図1の実施の形態で用いる可動子の斜視図、図2(B)は可動子の平面図である。図3は固定子の組立工程を示す斜視図である。また図4は固定子を構成する単位コアの配置を示す図である。まず図1〜図4を用いてこの実施の形態のクローポール型三相リニアモータの構造を説明する。
本実施の形態のクローポール型三相リニアモータは、固定子1と固定子1に対して往復運動を行う可動子3とを備えている。なお、図1では、理解を容易にするため、リニアモータを構成する他の部材を省略して固定子1の主要部と可動子3とを示している。可動子3は移動方向に長く延びた枠体4の中に移動方向に延びる永久磁石磁極列5を備えている。永久磁石磁極列5は、その一方の側面にN極が現れるように着磁された複数の永久磁石7・・・と一方の側面にS極が現れるように着磁された複数の永久磁石9・・・とが磁極の極性が異なるように交互に並ぶように配置されて構成されている。隣り合う永久磁石7・・・と永久磁石9・・・とはピッチτpで配置されている。枠体4は非磁性材料あるいは磁性材料によって構成されている。永久磁石7と永久磁石9との間に締め付けネジ6をねじ込むことにより、枠体4の対向する一対のプレートを互いに引き寄せることにより、各永久磁石7及び9を枠体4内に位置決め固定している。また、ネジ6を枠体4の対向する一対のプレートを互いに引き寄せるものと、固定子をベースに固定するためのものと交互に構成してもよい。
固定子1を構成する複数の単位コア11,13及び15は、それぞれ、図3に示すように、複数の永久磁石7及び9の着磁方向と一致する幅方向の両側から永久磁石磁極列5を所定の間隙を間に介して挟むように配置された一対の磁極面37,39,49を備えている。固定子1は、可動子3の移動方向に所定のピッチで配置された複数の単位コア11,13,及び15と、複数の単位コア11,13及び15のうち同相で励磁されるべき複数の単位コア11,13,15に対して巻装されたV相(第一相)の第1の励磁巻線17、U相(第二相)の第2の励磁巻線19及びW相(第三相)の第3の励磁巻線21の三相分の励磁巻線とを備えている。第1の励磁巻線17は後で詳しく説明するように2つに分割して巻回されている。この例では、複数の単位コア11,13,15は互いに移動方向に2/3τpのピッチで配置されている。単位コア11は、V相(第一相)の第1の励磁巻線17が巻装される第1の単位コアグループ23を構成する単位コアである。単位コア13は、U相(第二相)の第2の励磁巻線19が巻装される第2の単位コアグループ25を構成する単位コアである。また単位コア15は、W相(第三相)の第3の励磁巻線21が巻装される第3の単位コアグループ27を構成する単位コアである。単位コア11,13及び15はそれぞれ、複数枚の電磁鋼板が積層されて構成されている。
単位コア11は可動子3の移動方向及び幅方向(永久磁石7及び9の着磁方向)の両方向と直交する直交方向(図3では上下方向)に延びる一対の磁極構成部29a,29bと、一対の磁極構成部29a,29bの直交方向の一方の方向に位置する端部(図3では上側端部)31,31どうしを連結する連結部35とを備えた、いわゆるコの字形状を有している。単位コア11の一対の磁極構成部29a,29bは一対の磁極面37,37を有しており、可動子3の永久磁石磁極列5の両側に配置されている。一対の磁極構成部29a,29bの長さは、連結部35と永久磁石磁極列5との間に第1の励磁巻線17a及び17bが位置し得るスペースが形成できるように定められている。
単位コア13は、一対の磁極面39,39を有して可動子3の移動方向及び幅方向の両方向と直交する直交方向に延びる一対の磁極構成部41a,41bを有している。単位コア13は、数字の6の字に似た形状を有している。一対の磁極構成部41a,41bの一方の磁極構成部41aには第1の延長部45が連結されている。一対の磁極構成部41a,41bの他方の磁極構成部41bには第2の延長部43が連結されている。第1の延長部45と第2の延長部43とは連結部47で連結されている。第1の延長部45は一方の磁極構成部41aの、前述の直交方向(図3の紙面上では上下方向)における一方の方向(上向方向)側に位置する端部(上側端部)に連結されて永久磁石磁極列5を越えて可動子3の幅方向の一方の方向に延びた構造を有している。第2の延長部43は、他方の磁極構成部41bの直交方向における他方の方向(図3の紙面上では下向方向)に位置する端部(下側端部)に連結され、永久磁石磁極列5から離れて幅方向の一方の方向に延びた構造を有している。連結部47は直交方向(図3の紙面上では上下方向)に延びて第1の延長部43と第2の延長部45における幅方向の一方の方向側に位置する端部どうしを連結する構造を有している。
単位コア15は、一対の磁極構成部51a及び51b、第1及び第2の延長部55及び53と連結部57とを備えて構成されており、第2の単位コアグループ25を構成する単位コア13と同じ構造を有している。単位コア15は、単位コア15の連結部57が第2の単位コアグループ25を構成する複数の単位コア13の連結部47とは永久磁石磁極列5を間にして幅方向の反対側に位置するように配置されている。第1乃至第3のタイプの単位コア11,13,15は、単位コア11,単位コア13、単位コア15、単位コア11、単位コア13、単位コア15、・・・というように所定の順番に繰り返して可動子3の移動方向に並ぶように配置されている。
図4に示すように、同相に励磁される単位コアグループ23,25,27どうしを配置する間隔xを、以下の関係にすることによりコギング推力を抑えることができる。
x=2τp±[τp/(3n)](ここでnは1以上の整数)。
例えばτpが16mm、nが3の場合単位コアどうしの間隔xは30.22mmあるいは33.78mmとなる。
第1の励磁巻線17は、複数の第1のタイプの単位コア11のそれぞれの一方の磁極構成部29bの基部を内包する第1の分割励磁巻線17aと複数の単位コア11のそれぞれの他方の磁極構成部29aの基部を内包する第2の分割励磁巻線17bとから構成されている。勿論第1の単位コアグループ23を構成する複数の第1のタイプの単位コア11の連結部35を内包するように1つの励磁巻線を設けて第1の励磁巻線としてもよい。また第2の励磁巻線19は、第2の単位コアグループ25を構成する複数の第2のタイプの単位コア13の連結部47の基部を内包するように形成されている。また、第3の励磁巻線21は、第3の単位コアグループ27を構成する複数の第3のタイプの単位コア15の連結部57の基部を内包するように形成されている。このように第1乃至第3の励磁巻線17,19,21をそれぞれの単位コアグループ23,25,27に対して形成すると、固定子1の大きさをコンパクトにすることができる。
本実施の形態では、各単位コアを配置する間隔を一定として固定するために、各単位コアを固定するスペーサプレート61を用いる。図5はスペーサプレート61の外観と単位コアとの関係を示す斜視図である。また、図6は固定子にスペーサプレート61を装着した場合のリニアモータの概略を示す図である。この例ではスペーサプレート61は樹脂で形成されているが、非磁性SUSなどの非磁性金属を用いて形成することもできる。スペーサプレート61は板状を呈しており、第1のタイプの単位コア11の一対の磁極構成部29,29の中間部が嵌合される3つの矩形状の貫通孔61aが形成されている。また、スペーサプレート61には、第2のタイプの単位コア13の第2の延長部45の一部が嵌合される3つの矩形状の貫通孔61bが形成されており、さらに第3のタイプの単位コア15の第2の延長部55の一部が嵌合される3つの矩形状の貫通孔61cが形成されている。これら貫通穴61a,61b及び61cは可動子3の移動方向に順次形成されている。スペーサプレート61の長辺側の周囲にはリニアモータの可動ステージ69に対してねじ止めで取り付けるために8つの取付用孔61d・・・が形成されている。
スペーサプレート61を用いる場合には、各単位コア11,13,15にスペーサプレート61の位置決めを容易にするために位置決め用の突起部73,75,77を設けることもできる。図7(A)は位置決め用の突起部73,75,77を一体に設けた場合の各単位コア11,13,15の正面図、図7(B)は各単位コア11,13,15の斜視図を示している。第1のタイプの単位コア11の一対の磁極構成部29,29の中間部には、スペーサプレート61の表面63に当接するように一対の突起部73,73が一体に設けられている。また第2のタイプの単位コア13の第1の延長部45には、スペーサプレート61の裏面65に当接する突起部75,75が形成されている。第3のタイプの単位コア15の第1の延長部55にはスペーサプレート61の裏面65に当接する突起部77,77が形成されている。それぞれの突起部の高さは約5mmである。
本発明のクローポール型三相リニアモータで用いる単位コアの形状は、種々変形が可能である。図8は第1の単位コアの形状を変化させた場合の固定子の概略を示す図である。図8に示した単位コア111の一対の磁極構成部129a,129bの対向スペースは、中間部よりも連結部側135の方が広い形状となっている。対向スペースが広がったことに伴って単位コア111の高さ寸法(図8の紙面で上下方向の寸法)は小さくなっている。このような形状にすることにより第1の分割励磁巻線117aと第2の分割励磁巻線117bとを低く巻装することができ、固定子をさらにコンパクトにすることができる。
本発明で用いる単位コアは単位分割コアを組合せて構成することもできる。図9(A)は図3で示した第2のタイプの単位コアを分割構造とした場合の斜視図である。第2のタイプの単位コア113及び第3のタイプの単位コア115は、図9に示すように第1の延長部143と連結部147との境界部分に単位コア113を二つの単位分割コア113a,113bに分割することを許容する嵌め合い構造79を備えている。嵌め合い構造79は、連結部147の第1の延長部143側に突出する嵌合用凸部81と、第1の延長部143の連結側に形成された被嵌合用凹部83とから構成されている。嵌合用凸部81は、延長部143側に向かうに従って幅寸法が大きくなる形状を有しており、被嵌合用凹部83は連結部147側に向かうに従って幅寸法が小さくなる溝から構成されている。図9(B)は嵌め合い構造の別の例を示している。図9(B)に示した嵌め合い構造85は、第1の延長部143の連結部147側に凸出する嵌合用凸部87と、連結部147の第1の延長部143側に形成された被嵌合用凹部89とから構成されている。嵌合用凸部87は連結部147側に向かうに従っても幅寸法がほぼ同じになるリブからなり、被嵌合用凹部89は第1の延長部143側に向かうに従っても幅寸法がほぼ同じになる溝から構成されている。このように第2のタイプの単位コア及び第3のタイプの単位コアをそれぞれ分割コアで構成することにより、励磁巻線を別に用意しておき分割コアの組立時に励磁巻線を複数の単位コアに対して装着することができ、固定子の組立作業が容易になる。なお、嵌め合い構造は連結部の中間領域に形成することもできる。
図10は図9に示した嵌め合い構造の別の例を説明するために用いる図である。図10に示す嵌め合い構造は第1乃至第3のタイプの単位コアに共通であり、連結部の中間領域に単位コアを二つの単位分割コアに分割することを許容するものである。ここで第2のタイプの単位コアを用いて嵌め合い構造を説明する。第2のタイプの単位コア213には連結部247の中間領域に嵌め合い構造91が形成されている。そして第2のタイプの単位コア213は嵌め合い構造91によって第1の単位分割コア213aと第2の単位分割コア213bとに分割されている。第1の単位分割コア213aの分割面247a(連結部247の端部)には、第2の単位分割コア213bの分割面247bに向かって開口したスリット溝247cが形成されている。また、第2の単位分割コア213bの分断面247b(連結部247の端部)には、第1の単位分割コア213aの分割面247aに向かって開口したスリット溝247dが形成されている。二つのスリット溝247cと247dとは互いに整合する位置に形成されている。二つの単位分割コア213aと213bとを結合する場合には分割コアどうしを結合させる結合プレート93を用いる。結合プレート93は板形状を有しており、電磁鋼板を所定の形状に打ち抜いたものを複数枚積層して構成されている。結合プレートの二つの長辺の一方の長辺の縁部93aには、スリット溝247aの底壁部に嵌合される嵌合凹部93cが形成されている。また結合プレート93の他方の長辺の縁部93bには、スリット溝247dの底壁部に嵌合される嵌合凹部93dが形成されている。これら嵌合用凹部93c及び93dは、分割コア213aと213bの位置決めを容易にすることで、スペーサプレート61への挿入の作業性を高めることができ、また、分割コア213aと213bの磁気飽和を防止する目的で設けられている。結合プレート93により、分割面247a,247bが互いに当接した状態では結合プレート93がスリット溝247c,247dに跨ってきつく嵌合される。
本発明のクローポール型三相リニアモータの実施の形態の主要部を示す斜視図である。 (A)は図1で用いる可動子の斜視図、(B)は可動子の平面図である。 固定子の組立工程を示す斜視図である。 固定子を構成する単位コアの配置を示す概略図である。 スペーサプレートの外観を示す斜視図である。 スペーサプレートを装着した場合のリニアモータの概略を示す図である。 (A)は位置決め用の突起部を設けた各単位コアの正面図、(B)は各単位コアの斜視図である。 第1の単位コアの形状を変化させた場合の固定子の概略を示す図である。 (A)は図3で示した第2のタイプの単位コアを分割構造とした場合の斜視図、(B)は嵌め合い構造の別の例の斜視図である。 図9に示した嵌め合い構造の別の例を説明するために用いる図である。
符号の説明
1 固定子
11 第1のタイプの単位コア
13 第2のタイプの単位コア
15 第3のタイプの単位コア
17 第1の励磁巻線
19 第2の励磁巻線
21 第3の励磁巻線
23 第1の単位コアグループ
25 第2の単位コアグループ
27 第3の単位コアグループ

Claims (10)

  1. 永久磁石からなる複数の磁極がピッチτpで交互に極性が異なるように移動方向に並べられて構成された永久磁石磁極列を備えた可動子と、
    前記永久磁石の着磁方向と一致する幅方向の両側から前記永久磁石磁極列を所定の間隙を間に介して挟むように配置された一対の磁極面を備え且つ前記移動方向にピッチ(2/3)τpで配置された複数の単位コアと、前記複数の単位コアのうち同相で励磁されるべき複数の単位コアに対して巻装された三相分の励磁巻線とを備えた固定子とを備え、
    第一相の励磁巻線が巻装される第1の単位コアグループを構成する複数の前記単位コアは、前記一対の磁極面を有して前記永久磁石磁極列の両側に配置され、前記移動方向及び前記幅方向の両方向と直交する直交方向に延びる一対の磁極構成部と、前記一対の磁極構成部の前記直交方向の一方の方向に位置する端部どうしを連結する連結部とを備えた第1のタイプの単位コアであり、
    第二相の励磁巻線が巻装される第2の単位コアグループを構成する複数の前記単位コアは、前記一対の磁極面を有して前記直交方向に延びる一対の磁極構成部と、前記一対の磁極構成部の一方の磁極構成部に連結された第1の延長部と、前記一対の磁極構成部の他方の磁極構成部に連結された第2の延長部と、前記第1の延長部と前記第2の延長部とを連結する連結部とを有しており、前記第1の延長部が前記一方の磁極構成部の前記直交方向における前記一方の方向側に位置する端部に連結されて前記永久磁石磁極列を越えて前記幅方向の一方の方向に延びており、前記第2の延長部が前記他方の磁極構成部の前記直交方向における他方の方向に位置する端部に連結されて前記永久磁石磁極列から離れて前記幅方向の前記一方の方向に延びており、前記連結部が前記直交方向に延びて前記第1の延長部と前記第2の延長部における前記幅方向の前記一方の方向側に位置する端部どうしを連結する構造を有する第2のタイプの単位コアであり、
    第三相の励磁巻線が巻装される第3の単位コアグループを構成する複数の前記単位コアは、前記第2の単位コアグループを構成する前記複数の単位コアと同じ構造を有しており、しかもその前記連結部が前記第2の単位コアグループを構成する前記複数の単位コアの前記連結部とは前記永久磁石磁極列を間にして前記幅方向の反対側に位置するように配置される第3のタイプの単位コアであり、
    前記第1乃至第3のタイプの単位コアが、所定の順番に繰り返して前記移動方向に並ぶように配置されており、
    前記第1のタイプの単位コアにおいては、前記連結部と前記永久磁石磁極列との間に前記第1の励磁巻線が位置するスペースが形成できるように前記一対の磁極構成部の長さが定められており、
    前記第1の単位コアグループを構成する複数の前記第1のタイプの単位コアの前記連結部または該連結部に連結された前記一対の磁極構成部の基部を内包するように前記第1の励磁巻線が形成されており、
    前記第2の単位コアグループを構成する複数の前記第2のタイプの単位コアの前記連結部または該連結部に連結された前記一対の磁極構成部の基部を内包するように前記第2の励磁巻線が形成されており、
    前記第3の単位コアグループを構成する複数の前記第3のタイプの単位コアの前記連結部または該連結部に連結された前記一対の磁極構成部の基部を内包するように前記第3の励磁巻線が形成されていることを特徴とするクローポール型三相リニアモータ。
  2. 同相に励磁される前記単位コアグループを構成する前記複数の単位コアどうしのピッチが、2τp±[τp/(3n)](ここでnは1以上の整数)である請求項1に記載のクローポール型三相リニアモータ。
  3. 前記第1の励磁巻線は、前記複数の第1のタイプの単位コアのそれぞれの一方の前記磁極構成部の前記基部を内包する第1の分割励磁巻線と前記複数の単位コアのそれぞれの他方の前記磁極構成部の前記基部を内包する第2の分割励磁巻線とから構成されている請求項1に記載のクローポール型三相リニアモータ。
  4. 前記第2の励磁巻線が、複数の前記第2のタイプの単位コアの前記連結部を内包するように形成されており、
    前記第3の励磁巻線が、複数の前記第3のタイプの単位コアの前記連結部を内包するように形成されている請求項3に記載のクローポール型三相リニアモータ。
  5. 前記第1のタイプの単位コアの前記一対の磁極構成部の中間部と、前記第2のタイプ及び第3の単位コアの前記第1の延長部の一部または全部が嵌合される複数の貫通孔が前記移動方向に順次形成されたスぺーサプレートを備え、
    前記第1乃至第3のタイプの単位コアが前記スぺーサプレートの前記複数の貫通孔に嵌合されていることを特徴とする請求項1に記載のクローポール型三相リニアモータ。
  6. 前記スぺーサプレートが可動ステージに対して取付けられている請求項5に記載のクローポール型三相リニアモータ。
  7. 前記第1のタイプの単位コアの前記中間部及び前記第2及び第3のタイプの単位コアの前記第1の延長部には、それぞれ前記スぺーサプレートの表面または裏面と当接して各単位コアの位置決めをはかる突起部が一体に設けられている請求項5に記載のクローポール型三相リニアモータ。
  8. 前記第1のタイプの単位コアの前記一対の磁極構成部は、前記中間部よりも前記連結部側の対向スペースが広くなるような形状を有している請求項5、6または7に記載のクローポール型三相リニアモータ。
  9. 前記第2のタイプの単位コア及び前記第3のタイプの単位コアは、前記第2の延長部と前記連結部との境界部分または前記連結部の中間領域に前記単位コアを二つの単位分割コアに分割することを許容する嵌め合い構造を備えている請求項1に記載のクローポール型三相リニアモータ。
  10. 前記第1乃至第3のタイプの単位コアは、前記連結部の中間領域に前記単位コアを二つの単位分割コアに分割することを許容する嵌め合い構造を備えており、
    前記嵌め合い構造は、前記二つの単位分割コアにそれぞれ形成され、少なくとも前記二つの単位分割コアの分割面に向かって開口して互いに整合する二つのスリット溝と、前記二つの分割コアのそれぞれの分割面が互いに当接した状態において、前記二つのスリット溝に跨ってきつく嵌合されて前記二つの分割コアを結合する結合プレートとから構成されている請求項9に記載のクローポール型三相リニアモータ。
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