JPH05345611A - ナノサイズのαアルミナ粒子とその製造方法 - Google Patents

ナノサイズのαアルミナ粒子とその製造方法

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JPH05345611A JP5040754A JP4075493A JPH05345611A JP H05345611 A JPH05345611 A JP H05345611A JP 5040754 A JP5040754 A JP 5040754A JP 4075493 A JP4075493 A JP 4075493A JP H05345611 A JPH05345611 A JP H05345611A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ゾルゲル法の種晶、セラミック成形体の原
料、高い品質の研磨材等に好適な粒子径が微細で均一な
αアルミナ粒子、及びその製造方法を提供する。 【構成】 ベーマイトの粒子の周囲にバリヤを形成する
物質をベーマイトがアルミナに転移する温度よりも低い
温度においてベーマイトのゲルに分散させ、該物質をベ
ーマイトからαアルミナが形成した後に粒子径の成長を
抑制するに充分な量で混和し、ゲルを乾燥し、約20〜50
nmの一次の粒子径の弱い凝集の形態において少なくとも
大部分のアルミナがα相に転移する温度でゲルを焼成す
る工程を含んで製造する。アルミナは微結晶質のαアル
ミナで、 BET表面積は少なくとも50m2/g、少なくとも95
％の粒子が約20〜50nmの径にあり、一次粒子径が100nm
以上の粒子は５％以下である。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はαアルミナ粉末に関す
る。詳しくは、個数平均粒子径が50nm（ナノメーター）
以下（単に「ナノサイズ」と称す）のαアルミナ粉末、
及びその粉末の製造方法に関する。この粒子を議論する
において、特に断りがない限り、粒子幅は粒子の最長寸
法に直角な方向の最大寸法の個数平均値を示すものと理
解されたい。この測定法は透過型電子顕微鏡(JEOL 2000
SX型装置) の使用に基づく。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】αアル
ミナはアルミナの最も硬くてち密な形態であり、他の形
態のアルミナまたはアルミナ水和物を高温に加熱して製
造される。このため、このアルミナの形態は研磨材やセ
ラミックへの用途に最も適している。αアルミナは通常
電融法によって製造され、アルミナ水和物を約2000℃以
上に加熱し、次に冷却し粉砕する。この高温の加熱によ
ってαアルミナの結晶が数μm の大きさに成長し、互い
に焼結して極めて硬い物質が生成する。この方法によっ
て生成した密度と硬度が高いアルミナ粒子を粉砕する工
程は、極めて困難である。微粒子が要求される場合に、
概して数μm かそれ以下の微粒子を得るためには、焼結
結合を壊す必要があり、結晶粒子そのものを粉砕するこ
とさえも必要である。これは当然ながら、多大なエネル
ギー消費を要する極めて困難な操作である。焼結結合を
壊すことは、特に焼結が実質的に理論密度まで進んだと
きは極めて困難であるが、結晶粒子そのものを破壊する
ことはなおさら困難である。
【０００３】最近になってゾルゲル法、特には種晶ゾル
ゲル(seeded sol-gel)法が開発され、結晶粒子の大きさ
が0.1 ミクロンのオーダーの微結晶構造（しばしばミク
ロ結晶子と称される）のアルミナの生産を可能にしてい
る。この種晶法は核になることができる種晶粒子を混和
し、比較的低温度でベーマイト（αアルミナ１水和物）
をαアルミナ相に転移させる。結晶形状と格子定数に関
する種晶粒子の性質は、核形成を有効にし論理的にαア
ルミナそのものが選択されるように、目的とする物質に
できるだけ近くすべきである。
【０００４】１μm 以下の大きさのαアルミナのミクロ
結晶子を含む粒子形態のアルミナ相が生成すると、実質
的に直ちに、粒子が互いに接触する箇所で互いに焼結す
る傾向が生じる。この傾向は温度が高くなると促進され
る。αアルミナ相が形成する温度を低く保持することに
よって粒子が互いに焼結する度合いが抑えられ、一次粒
子の大きさまでの粉砕が多少容易になる。
【０００５】米国特許第 4657754号に Bauerらが、乾燥
した種晶ゾルゲル法のアルミナを焼成し、焼成の間に過
度の焼結や粒成長が生じないように配慮しながら、少な
くとも一部をαアルミナ相に転移させ、次に乾燥した生
成物を粉砕してアルミナ粒子の粉末とすることを開示し
ている。このことは、わずかな焼結が起きたであろうこ
とを示している。ここで粉砕は、一次粒子ではなく少数
の焼結結合を壊すためだけに必要であろう。転移を完全
にするための焼成は、既に粉末状となった生成物に対し
て行うことができる。しかしながら、この焼成は依然と
して困難で費用のかかる操作であり、生成物のαアルミ
ナの一次粒子の大きさ(100nm) によって本質的に制限さ
れる。
【０００６】当然ながら、微細な種晶粒子を使用するこ
とによって微細な結晶子を得ることができる。種晶粒子
の大きさが 0.1μm のオーダーであれば、得られる生成
物は約１μm かそれより若干小さい結晶径を有するであ
ろう。微細な結晶を得るためには、微細な種晶を使用す
る必要がある。従って、種晶ゾルゲルのアルミナのミク
ロ結晶子径を小さくし、この技術より得ることができる
最適な生成物を産出するためには、ナノサイズのαアル
ミナ種晶粒子が必要であることは明らかである。
【０００７】微細なαアルミナ粉末を使用することは、
セラミック成形体を製造する上でも重要である。この方
法においては、微細なアルミナ粉末を粒子が互いに焼結
して強固な成形体を形成するまで加熱する。焼結は、例
えば熱間静水圧プレス(HIP)法により、加圧下で所望の
形状に圧縮した粉末を加熱するか、簡便に冷間で加圧
し、所望の形状に成形した粉末を加熱することによって
行うことができる。粉末粒子が微細な程、焼結プロセス
が容易なことは言うまでもない。このように、この分野
でも粉末はできるだけ微細であることが要求されてい
る。
【０００８】セラミック成形体や砥粒を形成する素材と
しての用途に加え、微細なαアルミナ粉末はポリシング
材やラッピング材に広く使用されている。このラッピン
グの用途においては、粉末粒子径が微細で均一な程、よ
り良好な仕上を得ることができる。また、微細なαアル
ミナ粉末は、種々の磁気テープや磁気カードの材料の磨
耗特性を改良するために使用されている。このような用
途の殆どにおいて、特に均一と微細が望ましい場合は、
ナノサイズのαアルミナ粉末は極めて望ましい商品であ
ろう。
【０００９】ナノサイズのアルミナのこの他の重要な市
場としては、高温触媒操作に使用する触媒担体の配合物
がある。ベーマイトゲルを処理し、セラミック成形体の
製品を生産するための問題の一つは、ベーマイトの粒子
が多孔質であるためにゲルを約65wt% の密度を超える固
形物にすることができないことにある。このため、乾燥
過程で多量の水を飛散させる必要がある。また、ベーマ
イトに結合した水（αアルミナ１水和物より）を除去し
た結果として更に収縮するだけでなく、中間的なγ相
（この相にベーマイトはまず転移する）から最終的なα
相への相転移もまた収縮を伴う。従って、ベーマイトか
ら直接セラミック製品を成形加工することは、水の減量
を比較的容易に許容することができ、収縮を制御できる
薄めの目的物についてのみ実際的である。
【００１０】極めて微細な形状のαアルミナをゲルの形
態にすることができるとすれば、ゲルから目的物を形成
し、相転移に伴うであろう体積変化を考慮せずに、次に
ゲルに含まれる水のみを除去するために目的物を焼成す
ることが可能であろう。ナノサイズのαアルミナ粉末の
製造は、この目標を実行可能な提案にするものと思われ
る。
【００１１】従って、粉砕操作のための多大なエネルギ
ー消費を伴わずに極めて微細なαアルミナ粉末を製造す
る技術の開発が必要とされており、その技術は製品の広
範囲な新しい潜在的用途を開拓すると思われる。本発明
は、広範囲の用途に非常に有用な極めて微細なαアルミ
ナを製造するに適する方法を提供する。この方法は従来
技術よりもかなり経済的であり、現在入手できる多くの
銘柄と価格の製品よりも極めて微細な製品を提供する。
【００１２】また本発明は、粒子径がナノメーターの範
囲で極めて均一な、広範囲な潜在的用途を有するαアル
ミナを提供する。
【００１３】
【課題を解決するための手段及び作用効果】本発明の方
法は、ベーマイト粒子の周囲にバリヤを形成する物質を
ベーマイトがαアルミナに転移する温度よりも低い温度
でベーマイトのゲルに分散させ、該物質はバリヤを形成
し加熱してベーマイトからαアルミナを形成した後の粒
子径の成長を抑制するに充分な量で混和し、乾燥し、少
なくとも大部分のアルミナが約20〜50nm径の一次粒子の
弱い凝集体の形態のα相に転移する温度でゲルを焼成す
る工程を含んで構成される。
【００１４】ここで弱い凝集とは、比較的容易に粉砕さ
れて約50nm未満の幅を有する一次粒子を回収できる程度
を意味する。焼成は粒子の有意な成長あるいは過度の焼
結（当然ながら、不可能ではないが一次粒子に分離する
ことを著しく困難にする）を起こす温度で行うべきでな
い。実際には、バリヤ層はこの生成物の焼結を約1400℃
かそれ以上の高温のみで生じさせ、焼成温度は通常約13
00℃が採用される。
【００１５】バリヤ物質はゲルの中のベーマイトの粒子
の周囲に非常に薄い層を形成し、アルミナが粒子の境界
を渡って移動することをこの層が抑制し、よって粒子が
α相に転移するときの粒成長を防止、または少なくとも
実質的に抑制するものと考えられる。従って、結果とし
て最初のベーマイトゲルの粒子径のオーダーのαアルミ
ナ粒子が形成する。バリヤ物質は一般にガラスである。
【００１６】バリヤ物質を形成する好ましいガラスは、
最も一般的にはシリカであるが、上記のような挙動をす
ることができるこの他のガラス形成物質も本発明の範囲
に含まれる。これにはホウケイ酸塩等のようなホウ素含
有物質を含むことができる。ここでの説明のために、最
も容易に入手でき、手軽に使用できるシリカを基本とし
た物質を主に強調するものとする。
【００１７】シリカをバリヤ物質として使用した場合、
混和する量は、ゲルの中のアルミナの重量に対して重量
で好ましくは約0.5 〜5%である。一般に、成分間の分散
の親密性を最大限にするようにベーマイトのゾルまたは
ゲルにシリカを分散することが好ましい。ベーマイトは
分散粒子径が数10nmかそれ以下のオーダーの、現状で入
手できるいずれのベーマイトでもよいが、或る商業製品
に特徴的な分散が困難な凝集がなく、最も均一で微細な
粒子径のベーマイトが好ましいことは言うまでもない。
【００１８】シリカはベーマイト粒子の表面と相互作用
し、恐らくガラスを形成することによって、ベーマイト
のαアルミナへの転移と次のα粒子の成長を遅くするよ
うに思われる。この粒成長抑制メカニズムは温度を低く
保つ理由は殆どない。従って、温度を高くすることによ
ってα結晶の大きさに悪影響を及ぼすことなく、早い速
度の転移を得ることができる。
【００１９】シリカをベーマイトゾルに添加して得られ
るゾル混合物をゲル化することは、これによって完全で
均一な分散が達成できるため、本発明の重要で好ましい
特徴である。更に、シリカは本質的にコロイドの大きさ
のベーマイト粒子に付着し、粒子が更に成長することを
実質的に抑制する。このようにして、均一性が高く極め
て粒子径が小さい粉末が得られることを確実にすること
ができる。
【００２０】αアルミナへの転移が生じたとき、粒子は
一次粒子が約50nmかそれ以下の弱い凝集物の形態である
が、この粒子は走査型電子顕微鏡において、一連の棒状
またはクラスターの凝集物、あるいは中には一次粒子か
らなる単位の粗い網状構造の形態を有するように観察さ
れることがある。この弱い凝集物は、例えば湿式または
乾式粉砕（ミリング）によって、比較的容易に個々の粒
子に破壊される。結晶の境界にシリカ含有バリヤ層が形
成され、αアルミナの一次粒子間の焼結結合の形成を抑
制するために凝集物は比較的容易に破壊される。この結
果生成物の個数平均粒子幅は約50nm未満となる。湿式粉
砕工程においては、αアルミナの表面の加水分解によっ
て、アルミナ３水和物のような少量のアルミナ水和物が
形成することがしばしばある。このような水和物は、当
然ながら焼成によってαアルミナに戻ることができる
が、本明細書においては、このような表面が変質したα
アルミナと未変質のαアルミナとを区別していない。
【００２１】本発明の方法は、新規で微細で粒子径が均
一なαアルミナ粒子を生成する。粉砕して高い BET表面
積とした従来技術のαアルミナは、広い範囲の粒子径か
らなることが知られており、しばしば二つの分布が観察
される。ここで本発明においては、 BET表面積が少なく
とも50m2/g、好ましくは少なくとも100m2/g であり、粉
末の少なくとも80重量％、全アルミナ相の少なくとも95
重量％が微結晶質のαアルミナであり、少なくとも95％
の粒子が約20〜50nmの幅にあり、一次粒子幅が100nm 以
上の粒子は５％未満である微細なアルミナ粉末を提供す
る。この大粒子の割合はウルトラミクロトームによって
作成したサンプルを透過型電子顕微鏡解析によって測定
し、粒子が占める全視野の中で100nm 以上の一次粒子幅
の粒子が占めるパーセントで評価する。粉末の重量の残
部には主としてバリヤ物質が関係するが、上記のように
バリヤ物質はαアルミナへの転移の間の粒成長及び／又
は焼結を抑制するあらゆる物質であってよい。バリヤが
ムライトのようなシリカ含有材料の場合、全重量の15重
量％もの量となることがある。しかしながら通常は、上
記の好ましい少量のシリカのゾルにおいて操作され、α
アルミナは粉末の約95重量％である。
【００２２】また、最終粉末中の上記の20％までの非ア
ルミナは、部分的に、ベーマイトとαアルミナの中間
相、例えばγアルミナであることができる。シリカの存
在量は、添加量が多過ぎるとアルミナ本体と反応する傾
向が生じ、得られる生成物の多くがムライトまたは他の
シリカ含有相といった比較的利用性がない化学組成にな
ることがあるため、慎重に制御すべきである。一方、少
な過ぎるとα粒子の成長を抑える効果がないことがあ
る。実際には、ゲルの固形分の約 0.5〜８重量％、好ま
しくは約１〜５重量％をシリカとすべきことが知られて
いる。一般的に、得られる生成物中のシリカ含有相の量
は、約20重量％以下が好ましく、より好ましくは約10重
量％以下、更に好ましくは約５重量％以下にあるべきで
ある。
【００２３】シリカはコロイド状シリカ、反応条件下で
このコロイドまたはゾルを遊離し、アルミナ粒子の周囲
にガラス層を形成することができるシリカのゾルまたは
シリカ化合物の形態で添加することができる。シリカ化
合物はテトラエチルオルトシリケートのようなオルガノ
シラン、及び特定の金属ケイ酸塩を含むことができる。
一般に、アルカリ金属ケイ酸塩は好ましくない。ゾルの
中のシリカの形態は、大部分がベーマイトの粒子径（即
ち、数nmのオーダー）と少なくとも同等、好ましくはそ
れより小さくあるべきである。
【００２４】シリカをゾルの形態でベーマイトのゾルに
添加することで、シリカの最も均一で有効な分散を確実
にし、シリカの使用量を最小限にできる。ゲルは仮焼の
前に低温で乾燥することができ、仮焼は一般に約 700℃
の温度で数時間行う。仮焼によってゲル中の水が飛散
し、ガラス状の表面バリヤの形成が促進され、ベーマイ
トのγアルミナ相への転移が始まる。ここで、仮焼工程
は所望により高温または低温の他の条件で行うことがで
き、あるいは全く省略することもできる。
【００２５】乾燥したゲルの焼成は、αアルミナへの実
質的に完全な相転移をもたらすことができる全ての条件
で行うことができる。一般に、種晶のないベーマイトは
約1100〜1300℃の温度でα相に転移することができ、転
移が達成される時間は温度が高くなるにつれて短くな
る。本発明において、好ましい焼成温度は約1200〜1400
℃であり、この温度での所要時間は、シリカが存在する
ために普通の類似アルミナよりも若干長いことがある。
この温度範囲の下限においては、焼成に40時間もの時間
を要すことがあり、この温度範囲の上限においては１分
間で足ることがある。粒子が凝集を形成する傾向を最小
限にするには、約1200〜1300℃といった低めの範囲で操
作することが好ましい。この温度範囲において、過剰な
量の強固な結合（弱い結合の逆）や凝集がなく、望まし
い程度のαアルミナへの転移に達するには約１分間〜40
時間が必要である。
【００２６】焼成においては、焼成時間が非常に重要で
ある。焼成温度への昇温速度が遅いとその焼成温度にお
いて短い時間が要求されることがあり、この昇温速度は
しばしば用いる装置によって決まる。一般に、回転炉は
所望の温度に達するに必要な時間がかなり短く、一方箱
型炉は、かなり長い時間を要することがある。このた
め、制御と再現性のために回転炉がしばしば好まれるこ
とがある。また、サンプルの量が多いと、少ないときよ
りも全体が均一な温度に達する時間が長いであろう。従
って、実際に用いられる温度と時間のスケジュールは上
記の考察を配慮しながら状況によって決めることができ
る。
【００２７】微粉砕は、湿式または乾式ボールミル等の
ような微粉砕機を使用して、従来法で行うことができ
る。あるいは、凝集の中の粒子の境界に位置するムライ
トまたはその他のアルミノケイ酸塩相存在を、微粉砕を
容易にするために利用することができる。この相は一般
にαアルミナとは異なる熱膨張特性を有し、生成物を高
温と低温の中を循環させて膨張応力を発生させることに
より、この境界相を破断することがしばしば可能であ
る。この応力は、時にはそれ自身で微粉砕を起こすに足
ることがある。また、生成物を熱水処理や塩基または酸
で処理することによって、このシリカを含有する境界を
化学的応力に供することもできる。しかしながらより一
般的には、この熱的または化学的微粉砕は、次に粉末を
個数平均粒子径が50nm以下に完全に破壊する或る種の物
理的微粉砕が必要とされるであろう。
【００２８】本発明の方法によって得られる極めて微細
な粒子の大きさは、50m2/g以上、大半は 120m2/g以上の
大きな表面積、及び 100nm以上の一次粒子径を有する粒
子が約５重量％以下といった粒子径分布を兼ね備える点
において特徴があると考えられる。微粉砕は典型的に低
純度のαアルミナ媒体を使用して行われるため、観察さ
れる全ての100nm 以上の粒子はベーマイトの転移によっ
て得られるαアルミナによるものではなく、媒体の磨耗
に由来するように考えられる。これに対し、αアルミナ
の大粒子を粉砕して得た生成物は、非常に広い粒子径分
布と多数の100nm 以上の粒子とを典型的に有する。
【００２９】
【実施例】次の例によって本発明を更に説明するが、本
発明の範囲はこれに限定されるものではない。例１（比較例） 商業的なサブミクロンのαアルミナ粉末(Alcoa社 A-16S
G を100Lb)を、1700Lbの水と低純度のアルミナ粉砕媒体
である 1/2インチのDiamonite を入れたSwecoM-80微粉
砕機で50時間微粉砕し、 BET表面積が66m2/gの生成物を
得た。これは算術平均粒子径で22.7nmに相当する。微粉
砕を更に50時間継続し、 BET表面積が124m2/g の生成物
を得た。これは算術平均粒子径で12.5nmに相当する。生
成物を透過型電子顕微鏡で観察し、粒子径が 100〜200n
m の単結晶αアルミナ粒子が重量割合において支配的に
存在することが示された（図２参照）。
【００３０】例２ 547Lb の水に含まれる132Lb のCondea社のPural-SBベー
マイト(Malvern 4700C装置を用いた光子相関分光分析法
(photon correlation spectroscopy) により測定した粒
子径の範囲は30〜100nm)のゾルに、5.93Lbのコロイド状
シリカ (33％のシリカを含むNyacol 2034 DI) をドープ
した。シリカ粒子の表示径は 3nmであった。このゾルに
36Lbの硝酸（22重量％の酸を含む）を添加してゲル化さ
せた。得られたゲルを 195℃で乾燥し、次いで -50メッ
シュの大きさに粉砕した。次に、粉砕した生成物を回転
炉で3.5Lb/h の速度で焼成した。1300℃の炉温度での平
均滞留時間は約10分間とした。焼成した粉末のシリカ含
有量は1.95重量％、 BET表面積は20m2/gであり、Ｘ線回
折法による解析では、アルミナの中間相は確認されなか
った。透過型電子顕微鏡によって約20〜50nmの粒子幅の
αアルミナの凝集粒子が観察された（図３）。
【００３１】このαアルミナ粉末の100Lb を比較用の例
１で使用したと同じ微粉砕機に1700Lbの水と一緒に入
れ、50時間微粉砕した。粉砕後の BET表面積は120m2/g
であり、更に続けて10時間粉砕して得た生成物の BET表
面積は133m2/g であった。この生成物を透過型電子顕微
鏡によって観察したところ（図１）、実質的に全ての粒
子が20〜50nmの範囲の粒子幅を有し、100nm 以上の粒子
は実質的に存在しなかった。
【００３２】従って、本発明の生成物は従来技術の生成
物よりも粒子径がはるかに均一であり、また極めて短時
間で生成されたことが確認できる。例３ 例２の方法と実質的に同様にして、シリカ含有量がそれ
ぞれ 1.5重量％と3.0重量％の、シリカをドープしたベ
ーマイトゲルを生成した。 1.5重量％のシリカのゲルを
1240℃で、 1.5重量％のシリカのゲルを1260℃で、それ
ぞれ10時間箱型炉で焼成し、Ｘ線回折法による解析で実
質的に完全にα相に転移した生成物を得た。いずれの形
態も、粒子径が約20〜50nmの粒子の凝集体であった。粉
末10Lbと水200Lb をSweco M-45微粉砕機に入れ、これら
の凝集を機械的に破壊した。比較のため、同じ微粉砕機
にAlcoa 社A-16SGのαアルミナ粉末を10Lb投入し、同じ
く微粉砕した。それぞれの粉末が BET表面積で110m2/g
に到達するまでの時間を測定した。結果を次に示す。
【００３３】 本発明によれば、この表面積に達する粉砕時間が短いこ
とに加え、生成物の粒子の均一性が格段に優れることが
分かる。
【００３４】このようなナノサイズのαアルミナ粉末の
用途には、微細で均一な研磨材、種晶ゾルゲル法におけ
るベーマイトからαアルミナに転移するための種晶があ
る。またここで、ナノサイズのαアルミナを用い、おそ
らく界面活性剤、ゲル化剤、またはバインダー等を利用
して、成形可能な（例、押出し）水性分散体（αゲルと
呼ばれる）を形成し、この分散系をセラミック成形体に
直接注型することができる。また、このαゲルをフィラ
メントに押出し成形することができ、例えば金属複合材
の強化材、あるいは切断してフィラメント状の研磨材
や、粉砕して従来の研磨材にも使用することができる。
【００３５】またこれらの適用の全てにおいて、ベーマ
イトゾルに少量のマグネシア、ジルコニア、チタニア、
稀土類金属酸化物、あるいはこれらの酸化物の前駆体を
添加して得られるαアルミナ粉末に特定の改良された物
性を付与することができる。添付の図面はウルトラミク
ロトームで作成した試験片の透過型電子顕微鏡写真であ
り、従来技術のαアルミナ粉末を微粉砕することによっ
て製造したαアルミナと比較して本発明の長所を示す。
【００３６】図１は本発明による粉末の粒子構造を示
す。50nm以上の幅の粒子は殆どなく、極めて均一な20〜
50nmの幅の粒子からなることが観察される。部分的に弱
い凝集が観られるが、個々の粒子構造は明瞭に観ること
ができる。図２は現状で入手できる最良のアルミナ微粉
末(Alcoa社 A-16SG)を、従来法で BET比表面積が124m2/
g に微粉砕した粉末の粒子構造を示す。部分的に極めて
微細な粒子と、径が100nm 以上の大部分の粒子との二つ
の分布を有することが観察される。この広い粒子径分布
は、粉末を要求度の高い研磨材用途に使用した場合には
不満足な結果となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による粉末の粒子構造を示す電子顕微鏡
写真である。
【図２】従来法による粉末の粒子構造を示す電子顕微鏡
写真である。
【図３】微粉砕して粒子を分離する（図１）前の、シリ
カを被覆したベーマイトを焼成して得た弱い凝集の生成
物の粒子構造を示す電子顕微鏡写真である。
【図４】図１の高倍率の粒子構造を示す電子顕微鏡写真
である。
【図５】図２の高倍率の粒子構造を示す電子顕微鏡写真
である。

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ベーマイト粒子の周囲にバリヤを形成す
    る物質をベーマイトがαアルミナに転移する温度よりも
    低い温度でベーマイトのゲルに分散させ、該物質はバリ
    ヤを形成し加熱してベーマイトからαアルミナを形成し
    た後の粒子径の成長を抑制するに充分な量で混和し、乾
    燥し、少なくとも大部分のアルミナが約20〜50nm径の一
    次粒子の弱い凝集体の形態のα相に転移する温度でゲル
    を焼成する工程を含んでなるαアルミナ粒子の製造方
    法。
  2. 【請求項２】 ベーマイトのゲルにゲルの固形分の約
    0.5〜５重量％でシリカを分散し、得られたゲルをαア
    ルミナへの転移を実質的に完了するに充分であるが凝集
    物が高く焼結するに不充分な温度と時間で焼成する請求
    項１記載の方法。
  3. 【請求項３】 請求項１にしたがった方法によって生成
    した弱い凝集物を微粉砕し、個数平均粒子幅が約50nm未
    満のαアルミナ粒子を得る工程を含んでなるナノサイズ
    のαアルミナ粒子の製造方法。
  4. 【請求項４】 請求項２にしたがった方法によって生成
    した弱い凝集物を微粉砕し、個数平均粒子幅が約50nm未
    満のαアルミナ粒子を得る工程を含んでなるナノサイズ
    のαアルミナ粒子の製造方法。
  5. 【請求項５】 シリカの添加量がゲルの固形分の約１〜
    ３重量％である請求項２記載の方法。
  6. 【請求項６】 シリカをコロイド状で添加する請求項２
    記載の方法。
  7. 【請求項７】 Ｘ線回折法によってアルミナ中間相が実
    質的に存在しないことが示されるまで全てのアルミナが
    αアルミナ相へ転移することを保証する温度と時間でゲ
    ルを焼成する請求項１記載の方法。
  8. 【請求項８】 微粉砕を振動ミルで行う請求項３記載の
    方法。
  9. 【請求項９】 BET表面積が少なくとも50m2/gであり、
    粉末の少なくとも80重量％、全アルミナ相の少なくとも
    95重量％が微結晶質のαアルミナであり、少なくとも95
    ％の粒子が約20〜50nmの幅にあり、一次粒子径が100nm
    以上の粒子は５％以下であるアルミナ微粉末。
  10. 【請求項１０】 αアルミナ粒子の周囲にバリヤを形成
    する二次相を粉末の約１〜20重量％で更に含む請求項９
    記載の微粉末。
  11. 【請求項１１】 αアルミナ粒子の周囲のバリヤの形態
    のシリカ含有相を前記アルミナ微粉末の約１〜３重量％
    のシリカを提供するに充分な量で更に含む請求項９記載
    の微粉末。
  12. 【請求項１２】 液体分散媒中の請求項９の粉末を含ん
    でなる研磨用スラリー。
  13. 【請求項１３】 液体分散媒中の請求項１０の粉末を含
    んでなる研磨用スラリー。
  14. 【請求項１４】 請求項９のαアルミナの種晶をベーマ
    イトのゾルに分散し、次いで種晶混合物をゲル化し、乾
    燥し、焼成してαアルミナを形成する工程を含んでなる
    種晶ゾルゲル法によるαアルミナの製造方法。
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