JPH0533044A - 真空炉 - Google Patents
真空炉Info
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- JPH0533044A JPH0533044A JP3210234A JP21023491A JPH0533044A JP H0533044 A JPH0533044 A JP H0533044A JP 3210234 A JP3210234 A JP 3210234A JP 21023491 A JP21023491 A JP 21023491A JP H0533044 A JPH0533044 A JP H0533044A
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- JP
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- pump
- furnace shell
- vacuum
- furnace
- turbo molecular
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高真空状態での熱処理を可能とする真空炉を
提供し、熱処理の品質を向上させる。 【構成】 耐圧性の炉殻１内に光輝金属板５によって処
理室４を区画形成し、該処理室内にメインヒータ１０を
設けると共に、ターボ分子ポンプ１３をその吸気口１２
を下向として炉殻１内に連通させ、該ターボ分子ポンプ
１３の排出側にバックアップポンプ１５を設け、さらに
該ターボ分子ポンプ１３を迂回して炉殻１内をバックア
ップポンプ１５により排気させるバイパス管１６を配設
してなる。
提供し、熱処理の品質を向上させる。 【構成】 耐圧性の炉殻１内に光輝金属板５によって処
理室４を区画形成し、該処理室内にメインヒータ１０を
設けると共に、ターボ分子ポンプ１３をその吸気口１２
を下向として炉殻１内に連通させ、該ターボ分子ポンプ
１３の排出側にバックアップポンプ１５を設け、さらに
該ターボ分子ポンプ１３を迂回して炉殻１内をバックア
ップポンプ１５により排気させるバイパス管１６を配設
してなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空炉、特に高真空状
態での熱処理を可能とした真空炉に関するものである。
態での熱処理を可能とした真空炉に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】金属の熱処理に使用される真空炉では真
空ポンプとして従来から一般にディヒュージョンポンプ
を使用しており、このディヒュージョンポンプを使用し
た場合の炉内真空度は１０ー6Ｔorr 程度が限度であっ
た。
空ポンプとして従来から一般にディヒュージョンポンプ
を使用しており、このディヒュージョンポンプを使用し
た場合の炉内真空度は１０ー6Ｔorr 程度が限度であっ
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一方、殊に今日では、
処理品の品質を向上（酸化防止，着色防止等）させるた
めに真空度を高め高真空での熱処理が可能な真空炉が必
要となって来ている。しかし上記ディヒュージョンポン
プでは満足できる真空度が得られないので、一部では半
導体製造装置に一般に使用されているクライオポンプを
真空炉に使用したこともあった。しかし、クライオポン
プは油分を極端にきらうので、切削油等の油分が付着し
ているおそれがある雑品を熱処理する一般の真空炉には
不向であった。
処理品の品質を向上（酸化防止，着色防止等）させるた
めに真空度を高め高真空での熱処理が可能な真空炉が必
要となって来ている。しかし上記ディヒュージョンポン
プでは満足できる真空度が得られないので、一部では半
導体製造装置に一般に使用されているクライオポンプを
真空炉に使用したこともあった。しかし、クライオポン
プは油分を極端にきらうので、切削油等の油分が付着し
ているおそれがある雑品を熱処理する一般の真空炉には
不向であった。
【０００４】また、ターボ分子ポンプは高真空を可能と
するものであるが、炉内の断熱用ファィバ等から分離し
た浮遊ゴミや処理品のカケラ等を吸収することによって
損傷し易いという問題があった。
するものであるが、炉内の断熱用ファィバ等から分離し
た浮遊ゴミや処理品のカケラ等を吸収することによって
損傷し易いという問題があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の真空炉は上記課
題を解決しようとするもので、耐圧性の炉殻内に光輝金
属板によって処理室を区画形成し、外処理室内にメイン
モータを設けると共に、ターボ分子ポンプをその吸気口
を下向として炉殻内に連通させ、該ターボ分子ポンプの
排出側にバックアップポンプを設け、さらに該ターボ分
子ポンプを迂回して炉殻内をバックアップポンプにより
排気させるバイパス管を配設してなることを特徴とする
ものである。
題を解決しようとするもので、耐圧性の炉殻内に光輝金
属板によって処理室を区画形成し、外処理室内にメイン
モータを設けると共に、ターボ分子ポンプをその吸気口
を下向として炉殻内に連通させ、該ターボ分子ポンプの
排出側にバックアップポンプを設け、さらに該ターボ分
子ポンプを迂回して炉殻内をバックアップポンプにより
排気させるバイパス管を配設してなることを特徴とする
ものである。
【０００６】なお、この真空炉において炉殻内面を不銹
材で鏡面状に仕上すること、処理室と炉殻との間にベー
キング用ヒータを配設すること、および真空パージ用前
室を付設することは、本発明のさらなる特徴である。
材で鏡面状に仕上すること、処理室と炉殻との間にベー
キング用ヒータを配設すること、および真空パージ用前
室を付設することは、本発明のさらなる特徴である。
【０００７】
【作用】先ずバイパス管を通して炉殻内のガスをバック
アップポンプにより排出させ、その後バイパス管を閉じ
ターボ分子ポンプにより炉殻内の残留ガスを排出させる
ことによりターボ分子ポンプを損傷させるおそれなく炉
殻内を高真空にできる。また、光輝金属板により処理室
を形成することで、断熱性を落すことなく炉内が清浄に
保たれ浮遊ゴミの発生が少なくできると共に、ターボ分
子ポンプの吸気口を下向にすることで浮遊ゴミがターボ
分子ポンプ内に入るのを一層効果的に防止できる。
アップポンプにより排出させ、その後バイパス管を閉じ
ターボ分子ポンプにより炉殻内の残留ガスを排出させる
ことによりターボ分子ポンプを損傷させるおそれなく炉
殻内を高真空にできる。また、光輝金属板により処理室
を形成することで、断熱性を落すことなく炉内が清浄に
保たれ浮遊ゴミの発生が少なくできると共に、ターボ分
子ポンプの吸気口を下向にすることで浮遊ゴミがターボ
分子ポンプ内に入るのを一層効果的に防止できる。
【０００８】また、炉殻内面をステンレス等の銹びない
材料で鏡面状に仕上することで真空度がさらに良くなり
断熱性も向上する。
材料で鏡面状に仕上することで真空度がさらに良くなり
断熱性も向上する。
【０００９】アイドルタイムにベーキング用ヒータに通
電することにより処理室と炉殻との間が加熱され、その
間に存る水分や油分等の付着物を気化，蒸発させること
ができるので、真空度をさらに向上させることができ
る。また、真空パージ用前室を付設することによって、
処理品装入に伴う外気の侵入が可及的に防止され、真空
度向上につながる。
電することにより処理室と炉殻との間が加熱され、その
間に存る水分や油分等の付着物を気化，蒸発させること
ができるので、真空度をさらに向上させることができ
る。また、真空パージ用前室を付設することによって、
処理品装入に伴う外気の侵入が可及的に防止され、真空
度向上につながる。
【００１０】
【実施例】次に本発明の一実施例を図と共に説明する。
円筒状の炉殻１は外壁１ａと内壁１ｂとによりなる耐圧
性の二重壁構造で、その壁間２に冷却水が通水される。
３は該炉殻１を水平に支持している支脚を示す。内壁１
ｂはステンレス鋼，モリブデン鋼のような銹びるおそれ
がなく、光沢のある不銹材料で形成され、内面は鏡面状
に仕上られる。
円筒状の炉殻１は外壁１ａと内壁１ｂとによりなる耐圧
性の二重壁構造で、その壁間２に冷却水が通水される。
３は該炉殻１を水平に支持している支脚を示す。内壁１
ｂはステンレス鋼，モリブデン鋼のような銹びるおそれ
がなく、光沢のある不銹材料で形成され、内面は鏡面状
に仕上られる。
【００１１】４は炉殻１内に区画形成された円筒状の処
理室で、該処理室４を構成する材料は、前記内壁１ｂと
同様ステンレス鋼，モリブデン鋼のような銹びるおそれ
のない光輝金属板で、この光輝金属板５を図２に示した
ように複数枚その各板間に間隙６が存するようにスペー
サ７を介在させて重合させてなる。
理室で、該処理室４を構成する材料は、前記内壁１ｂと
同様ステンレス鋼，モリブデン鋼のような銹びるおそれ
のない光輝金属板で、この光輝金属板５を図２に示した
ように複数枚その各板間に間隙６が存するようにスペー
サ７を介在させて重合させてなる。
【００１２】８は処理室４内のテーブル９上に配置され
た処理品を示し、該処理室４内には該処理品８を囲むよ
うにメインヒータ１０が設けられている。また、２６は
炉殻１の内面に沿って設けられたベーキング用ヒータ
で、該ベーキング用ヒータ２６を通電することによって
処理品８の外側と炉殻１の内側との間を加熱しその間に
存る水分や油分を気化，蒸発させることができるように
している。
た処理品を示し、該処理室４内には該処理品８を囲むよ
うにメインヒータ１０が設けられている。また、２６は
炉殻１の内面に沿って設けられたベーキング用ヒータ
で、該ベーキング用ヒータ２６を通電することによって
処理品８の外側と炉殻１の内側との間を加熱しその間に
存る水分や油分を気化，蒸発させることができるように
している。
【００１３】１１は炉殻１内と連通する排気管で、該排
気管１１には吸気口１２を下向としてターボ分子ポンプ
１３を連結する。１４は該吸気口１２に設けられたバル
ブを示す。１５は該ターボ分子ポンプ１３の排出側に設
けたロータリーポンプ等のバックアップポンプで、該バ
ックアップポンプ１５の吸引側にはターボ分子ポンプ１
３を迂回するバイパス管１６が分枝状に設けられ、該バ
イパス管１６にはバルブ１７が設けられる。
気管１１には吸気口１２を下向としてターボ分子ポンプ
１３を連結する。１４は該吸気口１２に設けられたバル
ブを示す。１５は該ターボ分子ポンプ１３の排出側に設
けたロータリーポンプ等のバックアップポンプで、該バ
ックアップポンプ１５の吸引側にはターボ分子ポンプ１
３を迂回するバイパス管１６が分枝状に設けられ、該バ
イパス管１６にはバルブ１７が設けられる。
【００１４】なお、１８は炉殻１に隣接して設けられた
真空パージ用前室で、該前室１８と炉殻１とは気密に閉
塞し得る耐圧性の仕切扉１９，２０により仕切されてい
ると共に、該仕切扉１９の内面には処理室４の開口端を
閉塞し得るように該処理室４と同様の光輝金属板により
成形された蓋板２１が設けられている。そして該仕切扉
１９，２０，蓋板２１はシリンダ２３の作動により上方
に吊り上げられ処理品装入口を開口できるようにしてい
る。２４は前室１８の装入口を気密に閉塞し得るように
設けられた耐圧性の装入扉、２５はその吊上用シリンダ
である。
真空パージ用前室で、該前室１８と炉殻１とは気密に閉
塞し得る耐圧性の仕切扉１９，２０により仕切されてい
ると共に、該仕切扉１９の内面には処理室４の開口端を
閉塞し得るように該処理室４と同様の光輝金属板により
成形された蓋板２１が設けられている。そして該仕切扉
１９，２０，蓋板２１はシリンダ２３の作動により上方
に吊り上げられ処理品装入口を開口できるようにしてい
る。２４は前室１８の装入口を気密に閉塞し得るように
設けられた耐圧性の装入扉、２５はその吊上用シリンダ
である。
【００１５】このように構成された真空炉では、装入扉
２４を開けて処理品８を先ず前室１８内に装入し、装入
扉２４，仕切扉１９，２０を閉じて該前室１８内の空気
を真空ポンプ（図示せず）により排出した後、仕切扉１
９，２０，蓋板２１を開いて該処理品８を処理室４内に
移送し、仕切扉１９，２０，蓋板２１を閉じることによ
り、炉殻１内になるべく外気が侵入しないようにする。
２４を開けて処理品８を先ず前室１８内に装入し、装入
扉２４，仕切扉１９，２０を閉じて該前室１８内の空気
を真空ポンプ（図示せず）により排出した後、仕切扉１
９，２０，蓋板２１を開いて該処理品８を処理室４内に
移送し、仕切扉１９，２０，蓋板２１を閉じることによ
り、炉殻１内になるべく外気が侵入しないようにする。
【００１６】そしてバルブ１４を閉、バルブ１７を開と
してバックアップポンプ１５を駆動し炉殻１内のガスを
排気管１１，バイパス管１６を通して排出することによ
り炉殻１内を０．１〜１Ｔorr 程度まで減圧させる。な
おバックアップポンプ１５としては油分，水分或いは微
細なゴミ等に比較的強いロータリーポンプ等が使用さ
れ、上記一次減圧の際にこれらはバイパス管１６を通し
て該バックアップポンプ１５に吸引される。
してバックアップポンプ１５を駆動し炉殻１内のガスを
排気管１１，バイパス管１６を通して排出することによ
り炉殻１内を０．１〜１Ｔorr 程度まで減圧させる。な
おバックアップポンプ１５としては油分，水分或いは微
細なゴミ等に比較的強いロータリーポンプ等が使用さ
れ、上記一次減圧の際にこれらはバイパス管１６を通し
て該バックアップポンプ１５に吸引される。
【００１７】その後、バルブ１７を閉じバルブ１４を開
けてターボ分子ポンプ１３およびバックアップポンプ１
５を駆動することにより炉殻１内の残留ガスを該ターボ
分子ポンプ１３によりさらに吸引排出することにより炉
殻１内を高真空にする。その吸引時は上記一次減圧の際
と相違し吸引ガスがすでに気薄化し粘性がなくなってい
るために炉殻１内からゴミ等の異物が吸引されるおそれ
は殆んどなく、しかもターボ分子ポンプ１３はその吸気
口が下向に設定されているので、重力に反してゴミ等が
吸引されるおそれは皆無にできる。
けてターボ分子ポンプ１３およびバックアップポンプ１
５を駆動することにより炉殻１内の残留ガスを該ターボ
分子ポンプ１３によりさらに吸引排出することにより炉
殻１内を高真空にする。その吸引時は上記一次減圧の際
と相違し吸引ガスがすでに気薄化し粘性がなくなってい
るために炉殻１内からゴミ等の異物が吸引されるおそれ
は殆んどなく、しかもターボ分子ポンプ１３はその吸気
口が下向に設定されているので、重力に反してゴミ等が
吸引されるおそれは皆無にできる。
【００１８】また、処理室４は光輝金属板５を重合させ
てなるので、従来の例えばセラミックファイバー製の断
熱材のように使用中に材料が解れることなく微細なゴミ
を生じさせるおそれがないので炉殻１内を常に清浄に保
つことができると共に、その表面は光輝状で輻射熱を反
射するので高い断熱性を有する。
てなるので、従来の例えばセラミックファイバー製の断
熱材のように使用中に材料が解れることなく微細なゴミ
を生じさせるおそれがないので炉殻１内を常に清浄に保
つことができると共に、その表面は光輝状で輻射熱を反
射するので高い断熱性を有する。
【００１９】また、炉殻１内面は不銹材料で鏡面状に仕
上することにより処理室４の外面より放射される輻射熱
を反射し漏熱を防ぐ。このため処理室４内の処理品８は
メインヒータ１０を熱源とし高真空の基で高温度に加熱
できる。なお、使用の前後等にベーキング用ヒータ２６
を通電しその周囲の水分，油分等を気化，蒸発させて炉
殻１外に排出させておくことにより、炉殻内の清浄度を
さらに向上させることができ、熱処理に好影響を与え
る。
上することにより処理室４の外面より放射される輻射熱
を反射し漏熱を防ぐ。このため処理室４内の処理品８は
メインヒータ１０を熱源とし高真空の基で高温度に加熱
できる。なお、使用の前後等にベーキング用ヒータ２６
を通電しその周囲の水分，油分等を気化，蒸発させて炉
殻１外に排出させておくことにより、炉殻内の清浄度を
さらに向上させることができ、熱処理に好影響を与え
る。
【００２０】
【発明の効果】このように本発明の真空炉は、ターボ分
子ポンプとバックアップポンプとを併用することにより
高真空が容易に達成でき、熱処理の品質を向上させ得る
有益なものである。
子ポンプとバックアップポンプとを併用することにより
高真空が容易に達成でき、熱処理の品質を向上させ得る
有益なものである。
【図１】本発明に係る真空炉の横断面図。
【図２】図１の部分拡大図。
【図３】真空炉全体の側面概略図。
１ 炉殻
４ 処理室
５ 光輝金属板
６ 間隙
８ 処理品
１０ メインヒータ
１１ 排気管
１２ 吸気口
１３ ターボ分子ポンプ
１４ バルブ
１５ バックアップポンプ
１６ バイパス管
１７ バルブ
１８ 前室
２６ ベーキング用ヒータ
Claims (4)
- 【請求項１】 耐圧性の炉殻内に光輝金属板によって処
理室を区画形成し、該処理室内にメインヒータを設ける
と共に、ターボ分子ポンプをその吸気口を下向として炉
殻内に連通させ、該ターボ分子ポンプの排出側にバック
アップポンプを設け、さらに該ターボ分子ポンプを迂回
して炉殻内をバックアップポンプにより排気させるバイ
パス管を配設してなることを特徴とする真空炉。 - 【請求項２】 炉殻内面を不銹材料で鏡面状に仕上して
なる請求項１に記載の真空炉。 - 【請求項３】 処理室と炉殻との間にベーキング用ヒー
タを配設してなる請求項１または２に記載の真空炉。 - 【請求項４】 真空パージ用前室を付設してなる請求項
１乃至３に記載の真空炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03210234A JP3077285B2 (ja) | 1991-07-26 | 1991-07-26 | 真空式金属熱処理炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03210234A JP3077285B2 (ja) | 1991-07-26 | 1991-07-26 | 真空式金属熱処理炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0533044A true JPH0533044A (ja) | 1993-02-09 |
| JP3077285B2 JP3077285B2 (ja) | 2000-08-14 |
Family
ID=16586010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03210234A Expired - Fee Related JP3077285B2 (ja) | 1991-07-26 | 1991-07-26 | 真空式金属熱処理炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3077285B2 (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6578435B2 (en) | 1999-11-23 | 2003-06-17 | Nt International, Inc. | Chemically inert flow control with non-contaminating body |
| USRE38300E1 (en) | 1995-10-03 | 2003-11-11 | Nt International, Inc. | Non-fluid conducting pressure module having non-contaminating body and isolation member |
| US6948373B2 (en) | 2003-06-20 | 2005-09-27 | Surpass Industry Co., Ltd. | Inline pressure sensor |
| KR100738298B1 (ko) * | 2003-07-02 | 2007-07-12 | 유니챰 가부시키가이샤 | 일회용의 팬츠형 착용 물품 |
| CN100354589C (zh) * | 2003-11-24 | 2007-12-12 | 深圳大学 | 真空熔炼炉 |
| AU2003207283B2 (en) * | 2002-02-08 | 2008-09-04 | Uni-Charm Co., Ltd. | Pants-type disposable wearing article |
| AU2003239602B2 (en) * | 2002-01-31 | 2008-09-25 | Uni-Charm Co., Ltd. | Underpants-type disposable wearing article |
| US7896625B2 (en) | 2002-12-17 | 2011-03-01 | Edwards Limited | Vacuum pumping system and method of operating a vacuum pumping arrangement |
| JPWO2016158029A1 (ja) * | 2015-04-02 | 2017-07-20 | 株式会社Ihi | 熱処理装置 |
| CN107557883A (zh) * | 2017-08-24 | 2018-01-09 | 江苏金斗重工有限公司 | 环保节能真空清洗炉 |
| CN107881306A (zh) * | 2017-11-24 | 2018-04-06 | 北京七星华创磁电科技有限公司 | 一种压力控制系统及控制方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2372904A4 (en) | 2008-12-25 | 2012-07-04 | Nec Corp | POWER AMPLIFICATION DEVICE |
Citations (3)
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| JPS63141893U (ja) * | 1987-03-10 | 1988-09-19 | ||
| JPH0267472A (ja) * | 1988-09-02 | 1990-03-07 | Nippon Soken Inc | 真空装置の圧力制御方法 |
-
1991
- 1991-07-26 JP JP03210234A patent/JP3077285B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| KR100738298B1 (ko) * | 2003-07-02 | 2007-07-12 | 유니챰 가부시키가이샤 | 일회용의 팬츠형 착용 물품 |
| CN100354589C (zh) * | 2003-11-24 | 2007-12-12 | 深圳大学 | 真空熔炼炉 |
| JPWO2016158029A1 (ja) * | 2015-04-02 | 2017-07-20 | 株式会社Ihi | 熱処理装置 |
| CN107557883A (zh) * | 2017-08-24 | 2018-01-09 | 江苏金斗重工有限公司 | 环保节能真空清洗炉 |
| CN107881306A (zh) * | 2017-11-24 | 2018-04-06 | 北京七星华创磁电科技有限公司 | 一种压力控制系统及控制方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3077285B2 (ja) | 2000-08-14 |
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