JPH0468072B2 - - Google Patents
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- JPH0468072B2 JPH0468072B2 JP62031816A JP3181687A JPH0468072B2 JP H0468072 B2 JPH0468072 B2 JP H0468072B2 JP 62031816 A JP62031816 A JP 62031816A JP 3181687 A JP3181687 A JP 3181687A JP H0468072 B2 JPH0468072 B2 JP H0468072B2
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K1/00—Soldering, e.g. brazing, or unsoldering
- B23K1/008—Soldering within a furnace
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はバツチ式真空ロウ付け装置に関し、特
にアルミニウム合金製のエバポレータやオイルク
ーラ、ラジエータ等の自動車用熱交換器や産業用
熱交換器等の真空ロウ付けに用いられるバツチ式
真空ロウ付け装置に関する。
にアルミニウム合金製のエバポレータやオイルク
ーラ、ラジエータ等の自動車用熱交換器や産業用
熱交換器等の真空ロウ付けに用いられるバツチ式
真空ロウ付け装置に関する。
近年アルミニウム合金製品のロウ付けに真空ロ
ウ付け装置が使用されるようになつたが、アルミ
ニウムの真空ロウ付けは圧力（10-5Torr程度）
や温度（600℃前後）等の真空槽内におけるロウ
付け条件が充分に満足されないと製品の不良を生
ずることになるため、種々の改良がなされてい
る。とりわけ、生産の効率化を計り、ランニング
コストを低減させるために仕込室、予熱室、脱脂
室、ロウ付け室、取出室等から成る多室構造のイ
ンライン式真空ロウ付け装置が多く用いられてい
る。またそのほとんどが均熱性や熱応答性の良さ
から真空槽内に抵抗加熱ヒータとヒータの熱を反
射させ、断熱作用を発揮するレフレクターを設け
た内熱式を採用している。
ウ付け装置が使用されるようになつたが、アルミ
ニウムの真空ロウ付けは圧力（10-5Torr程度）
や温度（600℃前後）等の真空槽内におけるロウ
付け条件が充分に満足されないと製品の不良を生
ずることになるため、種々の改良がなされてい
る。とりわけ、生産の効率化を計り、ランニング
コストを低減させるために仕込室、予熱室、脱脂
室、ロウ付け室、取出室等から成る多室構造のイ
ンライン式真空ロウ付け装置が多く用いられてい
る。またそのほとんどが均熱性や熱応答性の良さ
から真空槽内に抵抗加熱ヒータとヒータの熱を反
射させ、断熱作用を発揮するレフレクターを設け
た内熱式を採用している。
ところで、製品の多品種化により最近では一室
で脱脂、ロウ付けを行なうバツチ式の真空ロウ付
け装置が見直されてきており、多品種大量生産を
目的とした大型のバツチ式真空ロウ付け装置を複
数台設置する方向に変わつてきている。
で脱脂、ロウ付けを行なうバツチ式の真空ロウ付
け装置が見直されてきており、多品種大量生産を
目的とした大型のバツチ式真空ロウ付け装置を複
数台設置する方向に変わつてきている。
しかし、従来のバツチ式真空ロウ付け装置はイ
ンライン式と同じように内熱式であるため、真空
槽内にヒータ、電極、碍子などからなる加熱系及
びレフレクターが配設されており、このため槽内
表面積が大きくなり、装置全体を大型化するとと
もに放出ガス源となり、槽内を高真空に排気する
のに長時間を要する。また、被ロウ付け物には通
常その加工工程で使用する潤滑油が付着している
ため、被ロウ付け物をロウ付けに先立つて真空槽
内で加熱脱脂する必要があり、その際にその表面
に付着している油が放散し、真空槽内部に汚染さ
せるばかりか、ロウ付けの際に油拡散ポンプの性
能を劣化させるため高真空（例えば10-5Torr程
度）にまで排気することが困難である。そこで、
このような被ロウ付け物をロウ付けするに先立つ
て、その表面に付着している油を除去すべく洗浄
しているが、完全に除去することは、コスト、時
間、公害（有機溶材を用いるため）等の問題で非
常に困難である。そこで従来は大容量の拡散ポン
プを必要としたが、それでも被ロウ付け物からの
油で、このポンプの性能が劣化し、高真空を保持
することは困難であつた。
ンライン式と同じように内熱式であるため、真空
槽内にヒータ、電極、碍子などからなる加熱系及
びレフレクターが配設されており、このため槽内
表面積が大きくなり、装置全体を大型化するとと
もに放出ガス源となり、槽内を高真空に排気する
のに長時間を要する。また、被ロウ付け物には通
常その加工工程で使用する潤滑油が付着している
ため、被ロウ付け物をロウ付けに先立つて真空槽
内で加熱脱脂する必要があり、その際にその表面
に付着している油が放散し、真空槽内部に汚染さ
せるばかりか、ロウ付けの際に油拡散ポンプの性
能を劣化させるため高真空（例えば10-5Torr程
度）にまで排気することが困難である。そこで、
このような被ロウ付け物をロウ付けするに先立つ
て、その表面に付着している油を除去すべく洗浄
しているが、完全に除去することは、コスト、時
間、公害（有機溶材を用いるため）等の問題で非
常に困難である。そこで従来は大容量の拡散ポン
プを必要としたが、それでも被ロウ付け物からの
油で、このポンプの性能が劣化し、高真空を保持
することは困難であつた。
更に、従来のバツチ式真空ロウ付け装置では、
レフレクターにより断熱する他に槽の外周を冷却
水で冷却しており、槽内部に比較的低温となる部
分が生じ、この部分、例えば電極部、槽内壁、槽
内壁に隣接したレフレクターなどに被ロウ付け物
から放出される様々なガス、油などやロウ材から
放出されるMgなどの蒸発金属が付着し、真空排
気の際の放出ガス増加や絶縁の劣化などの問題が
発生するため定期的に槽内を分解清掃する必要が
ある。
レフレクターにより断熱する他に槽の外周を冷却
水で冷却しており、槽内部に比較的低温となる部
分が生じ、この部分、例えば電極部、槽内壁、槽
内壁に隣接したレフレクターなどに被ロウ付け物
から放出される様々なガス、油などやロウ材から
放出されるMgなどの蒸発金属が付着し、真空排
気の際の放出ガス増加や絶縁の劣化などの問題が
発生するため定期的に槽内を分解清掃する必要が
ある。
本発明は上記問題点を解消し、被ロウ付け物の
洗浄を行なわずとも真空槽内でロウ付けに先立つ
て加熱脱脂でき、かつロウ付けの際に真空槽内を
従来より小容量の高真空排気ポンプで容易に高真
空（10-5Torr程度）にすることができ、また真
空槽内に低温領域（Mgトラツプ領域）を形成し
てロウ材から放出されるMgなどの蒸発金属をト
ラツプできるようにし、真空槽内を長期間清浄な
ロウ付け雰囲気に維持できるバツチ式真空ロウ付
け装置を提供することを目的とする。
洗浄を行なわずとも真空槽内でロウ付けに先立つ
て加熱脱脂でき、かつロウ付けの際に真空槽内を
従来より小容量の高真空排気ポンプで容易に高真
空（10-5Torr程度）にすることができ、また真
空槽内に低温領域（Mgトラツプ領域）を形成し
てロウ材から放出されるMgなどの蒸発金属をト
ラツプできるようにし、真空槽内を長期間清浄な
ロウ付け雰囲気に維持できるバツチ式真空ロウ付
け装置を提供することを目的とする。
上記目的は、真空槽内でロウ材を装着した被ロ
ウ付け物を加熱することにより、該被ロウ付け物
を脱脂し、ロウ付けするようにしたバツチ式真空
ロウ付け装置において、前記真空槽内に開閉可能
なゲートを設けることによつて前記真空槽を加熱
領域とMgトラツプ領域とに画成し、前記加熱領
域の端部に蓋体を設け、前記加熱領域の周壁部の
ゲート近傍にオイルトラツプと粗引き用真空ポン
プとから成る第１排気系を接続した第１排気口を
設けると共に前記周壁部の蓋体近傍に不活性ガス
供給手段を接続した不活性ガス導入口を設け、前
記Mgトラツプ領域の端部近傍にMgトラツプと
拡散ポンプを備えた高真空排気ポンプとから成る
第２排気系を接続した第２排気口を設け、更に前
記加熱領域の外壁部周囲に加熱手段を巻装し、前
記第１排気口と前記オイルトラツプとの管路に第
１のヒータを設けたことを特徴とするバツチ式真
空ロウ付け装置によつて達成される。
ウ付け物を加熱することにより、該被ロウ付け物
を脱脂し、ロウ付けするようにしたバツチ式真空
ロウ付け装置において、前記真空槽内に開閉可能
なゲートを設けることによつて前記真空槽を加熱
領域とMgトラツプ領域とに画成し、前記加熱領
域の端部に蓋体を設け、前記加熱領域の周壁部の
ゲート近傍にオイルトラツプと粗引き用真空ポン
プとから成る第１排気系を接続した第１排気口を
設けると共に前記周壁部の蓋体近傍に不活性ガス
供給手段を接続した不活性ガス導入口を設け、前
記Mgトラツプ領域の端部近傍にMgトラツプと
拡散ポンプを備えた高真空排気ポンプとから成る
第２排気系を接続した第２排気口を設け、更に前
記加熱領域の外壁部周囲に加熱手段を巻装し、前
記第１排気口と前記オイルトラツプとの管路に第
１のヒータを設けたことを特徴とするバツチ式真
空ロウ付け装置によつて達成される。
真空槽をゲートによつて加熱領域とMgトラツ
プ領域とに画成できるようにし、各領域にそれぞ
れ排気系を接続した排気口を設け、加熱領域の外
壁部周囲に加熱手段を巻装したため、加熱領域の
真空槽自体が加熱され、被ロウ付け物はその輻射
熱で加熱される。そのため予熱・脱脂時にはゲー
トを閉鎖して第１排気系で排気を行なうことによ
り、被ロウ付け物から放散される油等は真空槽内
に付着することなく、不活性ガスに運ばれて、第
１排気系内のオイルトラツプに効率良くトラツプ
され、Mgトラツプ領域内及び第２排気系内に侵
入する恐れもなくなる。
プ領域とに画成できるようにし、各領域にそれぞ
れ排気系を接続した排気口を設け、加熱領域の外
壁部周囲に加熱手段を巻装したため、加熱領域の
真空槽自体が加熱され、被ロウ付け物はその輻射
熱で加熱される。そのため予熱・脱脂時にはゲー
トを閉鎖して第１排気系で排気を行なうことによ
り、被ロウ付け物から放散される油等は真空槽内
に付着することなく、不活性ガスに運ばれて、第
１排気系内のオイルトラツプに効率良くトラツプ
され、Mgトラツプ領域内及び第２排気系内に侵
入する恐れもなくなる。
またロウ付け時にはゲートを開放して排気系を
第２排気系に切り換えることにより、被ロウ付け
物のロウ材から蒸発するMg蒸発等は加熱領域に
付着することなく、Mgトラツプ領域である低温
領域に効率良くトラツプされる。
第２排気系に切り換えることにより、被ロウ付け
物のロウ材から蒸発するMg蒸発等は加熱領域に
付着することなく、Mgトラツプ領域である低温
領域に効率良くトラツプされる。
以下、本発明の実施例によるバツチ式真空ロウ
付け装置について図面を参照して説明する。
付け装置について図面を参照して説明する。
図において、真空槽１は全体として円筒形状を
呈し、その右端開口は蓋体２により気密に閉じら
れている。これは点線で示す如く必要に応じて開
閉自在である。真空槽１は周壁部に第１排気口
４、第２排気口３、及び不活性ガス導入口５が設
けられ、左端壁部には乾燥空気導入口７が設けら
れている。
呈し、その右端開口は蓋体２により気密に閉じら
れている。これは点線で示す如く必要に応じて開
閉自在である。真空槽１は周壁部に第１排気口
４、第２排気口３、及び不活性ガス導入口５が設
けられ、左端壁部には乾燥空気導入口７が設けら
れている。
真空槽１内にはゲート８が配設され、観音開き
となつており、２つのゲート部８ａ，８ｂからな
り、点線で示すように開かれるようになつてい
る。ゲート８により真空槽１内空間は加熱領域Ａ
とMgトラツプ領域Ｂとに画成され、加熱領域Ａ
の真空槽１周囲には誘導加熱コイル９が巻装され
ている。すなわち、本実施例は外熱式とされてい
る。また、Mgトラツプ領域Ｂ内の端部近傍に設
けられた第２排気口３近傍にはMgトラツプ（図
示せず）が設けられている。
となつており、２つのゲート部８ａ，８ｂからな
り、点線で示すように開かれるようになつてい
る。ゲート８により真空槽１内空間は加熱領域Ａ
とMgトラツプ領域Ｂとに画成され、加熱領域Ａ
の真空槽１周囲には誘導加熱コイル９が巻装され
ている。すなわち、本実施例は外熱式とされてい
る。また、Mgトラツプ領域Ｂ内の端部近傍に設
けられた第２排気口３近傍にはMgトラツプ（図
示せず）が設けられている。
なおゲート８は完全気密構造でなくてもよい
が、その場合には真空槽１の左端壁部に第２の不
活性ガス導入口６が設けられる。
が、その場合には真空槽１の左端壁部に第２の不
活性ガス導入口６が設けられる。
ゲート部８ａ，８ｂには、それぞれ電気ヒータ
１０ａ，１０ｂが装着され、更に蓋体２にも電気
ヒータ１１が装着されている。ロウ付け時には加
熱領域Ａ内に被ロウ付け物１２が配置されるよう
になつている。
１０ａ，１０ｂが装着され、更に蓋体２にも電気
ヒータ１１が装着されている。ロウ付け時には加
熱領域Ａ内に被ロウ付け物１２が配置されるよう
になつている。
第１排気口４は図示するように、ゲート８より
右方、すなわち加熱領域Ａ内にあるが、管路１３
が接続され、これには順次、電磁バルブ１４、オ
イルトラツプ１５、電磁バルブ１６が設けられて
おり、更に管路１７を介してMgトラツプ兼ダス
トフイルタ１８、メカニカルブースタポンプ１
９，２０及びロータリ真空ポンプ２１が接続され
ている。なお、管路１３及び電磁バルブ１４にも
電気ヒータ２２が装着されている。
右方、すなわち加熱領域Ａ内にあるが、管路１３
が接続され、これには順次、電磁バルブ１４、オ
イルトラツプ１５、電磁バルブ１６が設けられて
おり、更に管路１７を介してMgトラツプ兼ダス
トフイルタ１８、メカニカルブースタポンプ１
９，２０及びロータリ真空ポンプ２１が接続され
ている。なお、管路１３及び電磁バルブ１４にも
電気ヒータ２２が装着されている。
第２排気口３はゲート８より左方、すなわち
Mgトラツプ領域Ｂ内にあるが、これには管路２
３が接続され、これに並列にMgトラツプ２４
ａ，２４ｂ、電磁バルブ２５ａ，２５ｂ、水冷バ
ツフル２６ａ，２６ｂ、拡散ポンプ２７ａ，２７
ｂ、電磁バルブ３０ａ，３０ｂ及びオイルトラツ
プ３１ａ，３１ｂが接続され、更にこれらに共通
して上述の管路１７を介してMgトラツプ兼ダス
トフイルタ１８、メカニカルブースタポンプ１
９，２０及びロータリ真空ポンプ２１が接続され
ている。なお、拡散ポンプ２７ａ，２７ｂの下流
側は更に電磁バルブ２８ａ，２８ｂを介してロー
タリ真空ポンプ２９が接続されている。
Mgトラツプ領域Ｂ内にあるが、これには管路２
３が接続され、これに並列にMgトラツプ２４
ａ，２４ｂ、電磁バルブ２５ａ，２５ｂ、水冷バ
ツフル２６ａ，２６ｂ、拡散ポンプ２７ａ，２７
ｂ、電磁バルブ３０ａ，３０ｂ及びオイルトラツ
プ３１ａ，３１ｂが接続され、更にこれらに共通
して上述の管路１７を介してMgトラツプ兼ダス
トフイルタ１８、メカニカルブースタポンプ１
９，２０及びロータリ真空ポンプ２１が接続され
ている。なお、拡散ポンプ２７ａ，２７ｂの下流
側は更に電磁バルブ２８ａ，２８ｂを介してロー
タリ真空ポンプ２９が接続されている。
不活性ガス導入口５には流量計３２及び電磁バ
ルブ３３が接続され、これらを介して不活性ガス
G1が導入されるようになつている。また第２の
不活性ガス導入口６には流量計３４及び電磁バル
ブ３５が接続され、これらを介して不活性ガス
G2が導入されるようになつている。不活性ガス
G1，G2は同一種であつてもよい。乾燥空気導入
口７には電磁バルブ３６を介して乾燥空気G3が
導入されるが、これは、真空槽１内を大気圧に戻
す際に使用されるもので、通常は、電磁バルブ３
６は閉じたままとされる。その他、３７，３８は
それぞれ圧力計、安全弁を表している。
ルブ３３が接続され、これらを介して不活性ガス
G1が導入されるようになつている。また第２の
不活性ガス導入口６には流量計３４及び電磁バル
ブ３５が接続され、これらを介して不活性ガス
G2が導入されるようになつている。不活性ガス
G1，G2は同一種であつてもよい。乾燥空気導入
口７には電磁バルブ３６を介して乾燥空気G3が
導入されるが、これは、真空槽１内を大気圧に戻
す際に使用されるもので、通常は、電磁バルブ３
６は閉じたままとされる。その他、３７，３８は
それぞれ圧力計、安全弁を表している。
本発明の実施例によるバツチ式真空ロウ付け装
置は以上のように構成されるが、次にこの作用に
ついて図面を参照して説明する。
置は以上のように構成されるが、次にこの作用に
ついて図面を参照して説明する。
まず、真空槽１の蓋体２が点線で示すように開
放され、予めロウ材を装着したAl合金製ラジエ
ータ等の被ロウ付け物１２が図示する如く加熱領
域Ａ内に配置される。内方のゲート８は図示の如
く閉じたままである。誘導加熱コイル９に交流が
通電され、真空槽１の加熱領域Ａに対応する部分
が誘導加熱される。また、電気ヒータ１０ａ，１
０ｂ，１１，２２にも通電され、それぞれゲート
８、蓋体２、管路１３及びバルブ１４を加熱す
る。
放され、予めロウ材を装着したAl合金製ラジエ
ータ等の被ロウ付け物１２が図示する如く加熱領
域Ａ内に配置される。内方のゲート８は図示の如
く閉じたままである。誘導加熱コイル９に交流が
通電され、真空槽１の加熱領域Ａに対応する部分
が誘導加熱される。また、電気ヒータ１０ａ，１
０ｂ，１１，２２にも通電され、それぞれゲート
８、蓋体２、管路１３及びバルブ１４を加熱す
る。
バルブ１４が開かれ、メカニカルブースタポン
プ１９，２０及びロータリ真空ポンプ２１が駆動
される。なお、この時バルブ２５ａ，２５ｂが閉
じられ、拡散ポンプ２７ａ，２７ｂは駆動されな
い。また、バルブ３３が開かれて、不活性ガス
G1が不活性ガス導入口５より真空槽１内へ導入
され、ロータリ真空ポンプ２１の排気作用により
矢印ｃ方向に流れる。なお、図示省略したが、不
活性ガス導入口５に接続して真空槽１内には環状
のノズル体が配設され、この多数のノズル孔から
不活性ガスG1が矢印で示す如く噴出されるよう
になつている。
プ１９，２０及びロータリ真空ポンプ２１が駆動
される。なお、この時バルブ２５ａ，２５ｂが閉
じられ、拡散ポンプ２７ａ，２７ｂは駆動されな
い。また、バルブ３３が開かれて、不活性ガス
G1が不活性ガス導入口５より真空槽１内へ導入
され、ロータリ真空ポンプ２１の排気作用により
矢印ｃ方向に流れる。なお、図示省略したが、不
活性ガス導入口５に接続して真空槽１内には環状
のノズル体が配設され、この多数のノズル孔から
不活性ガスG1が矢印で示す如く噴出されるよう
になつている。
ロータリ真空ポンプ２１では、真空槽１内は比
較的低真空度で排気され（いわゆる粗引き）、他
方、被ロウ付け物１２は加熱温度の上昇（約400
℃）と共に表面から油などの付着物ｅが矢印で示
す如く放散する。これらは不活性ガスG1により
効率よく第１排気口４へと導かれ、ここから管路
１３、電磁バルブ１４を通つてオイルトラツプ１
５内にトラツプされる。なお、ゲート８が完全気
密構造でない場合には、真空槽１の端壁部の第２
の不活性ガス導入口６からも不活性ガスG2が矢
印ｄで示す方向に導入され、これはゲート８のす
き間を通つて加熱領域Ａ内に侵入する。このガス
の流速は第１の不活性ガス導入口５からのガスの
流速より小さいので被ロウ付け物１２が放散する
油などの付着物ｅの第１排気口４への流れを妨げ
ることはないが、これらｅがMgトラツプ領域Ｂ
内に侵入するのを抑制する。
較的低真空度で排気され（いわゆる粗引き）、他
方、被ロウ付け物１２は加熱温度の上昇（約400
℃）と共に表面から油などの付着物ｅが矢印で示
す如く放散する。これらは不活性ガスG1により
効率よく第１排気口４へと導かれ、ここから管路
１３、電磁バルブ１４を通つてオイルトラツプ１
５内にトラツプされる。なお、ゲート８が完全気
密構造でない場合には、真空槽１の端壁部の第２
の不活性ガス導入口６からも不活性ガスG2が矢
印ｄで示す方向に導入され、これはゲート８のす
き間を通つて加熱領域Ａ内に侵入する。このガス
の流速は第１の不活性ガス導入口５からのガスの
流速より小さいので被ロウ付け物１２が放散する
油などの付着物ｅの第１排気口４への流れを妨げ
ることはないが、これらｅがMgトラツプ領域Ｂ
内に侵入するのを抑制する。
油などの付着物ｅがほとんど被ロウ付け物１２
から放散されなくなると、不活性ガスの導入が止
められ、ゲート８は点線で示す如く開放される。
そして、バルブ１４が閉じられ、バルブ２５ａ，
２５ｂが開かれて拡散ポンプ２７ａ，２７ｂが駆
動開始される。なお、ロータリ真空ポンプ２１は
駆動したままでよい。
から放散されなくなると、不活性ガスの導入が止
められ、ゲート８は点線で示す如く開放される。
そして、バルブ１４が閉じられ、バルブ２５ａ，
２５ｂが開かれて拡散ポンプ２７ａ，２７ｂが駆
動開始される。なお、ロータリ真空ポンプ２１は
駆動したままでよい。
被ロウ付け物１２は真空槽１内が高真空
（10-5Torr程度まで）に排気され、加熱温度が更
に上昇（約600℃以上）するとともにロウ付けが
行なわれる。この際、ロウ材から放出するMgな
どはMgトラツプ領域Ｂに設けたMgトラツプで
トラツプされ、除去しきれなかつたものはMgト
ラツプ２４ａ，２４ｂでトラツプされる。
（10-5Torr程度まで）に排気され、加熱温度が更
に上昇（約600℃以上）するとともにロウ付けが
行なわれる。この際、ロウ材から放出するMgな
どはMgトラツプ領域Ｂに設けたMgトラツプで
トラツプされ、除去しきれなかつたものはMgト
ラツプ２４ａ，２４ｂでトラツプされる。
本実施例は以上のような作用を行なうのである
が、次のような効果を奏するものである。
が、次のような効果を奏するものである。
すなわち、低真空状態（粗引き）で加熱して被
ロウ付け物１２から放散する油などを第１排気口
４を介してオイルトラツプ１５にトラツプさせ、
ほとんど油などが放散しなくなつてから拡散ポン
プ２７ａ，２７ｂを駆動し、真空槽１内を高真空
にして被ロウ付け物のロウ付け作業を行なえるよ
うにしたので、拡散ポンプ２７ａ，２７ｂを含む
高真空排気系内に被ロウ付け物から放散する油な
どがほとんど侵入することがない。従つて拡散ポ
ンプなどの高真空排気系の構成部材が油などで汚
染されることがなくなり、従来のような劣化が防
止される。
ロウ付け物１２から放散する油などを第１排気口
４を介してオイルトラツプ１５にトラツプさせ、
ほとんど油などが放散しなくなつてから拡散ポン
プ２７ａ，２７ｂを駆動し、真空槽１内を高真空
にして被ロウ付け物のロウ付け作業を行なえるよ
うにしたので、拡散ポンプ２７ａ，２７ｂを含む
高真空排気系内に被ロウ付け物から放散する油な
どがほとんど侵入することがない。従つて拡散ポ
ンプなどの高真空排気系の構成部材が油などで汚
染されることがなくなり、従来のような劣化が防
止される。
また、外熱式で真空槽自体が加熱され、ヒータ
１０ａ，１０ｂ，１１，１２によりゲート８、蓋
体２、管路１３、電磁バルブ１４も加熱されるた
め、脱脂された油やロウ材から放出されるMgな
どが真空槽１及びこれに付属する部材に付着せ
ず、汚染も防止される。
１０ａ，１０ｂ，１１，１２によりゲート８、蓋
体２、管路１３、電磁バルブ１４も加熱されるた
め、脱脂された油やロウ材から放出されるMgな
どが真空槽１及びこれに付属する部材に付着せ
ず、汚染も防止される。
以上により常に拡散ポンプ２７ａ，２７ｂを含
む高真空排気系により容易に高真空を得ることが
でき、また拡散ポンプ２７ａ，２７ｂも従来より
小容量化することができる。
む高真空排気系により容易に高真空を得ることが
でき、また拡散ポンプ２７ａ，２７ｂも従来より
小容量化することができる。
以上、本発明の実施例について説明したが、勿
論、本発明はこれに限定されることなく本発明の
技術的思想に基いて種々の変形が可能である。
論、本発明はこれに限定されることなく本発明の
技術的思想に基いて種々の変形が可能である。
例えば、以上の実施例では、乾燥空気導入口７
及びMgトラツプ２４ａ，２４ｂを設けたが、こ
れらは省略してもよい。
及びMgトラツプ２４ａ，２４ｂを設けたが、こ
れらは省略してもよい。
また、ゲート８は単に第１排気口４側と第２排
気口３側とを画成するだけであるようにしてもよ
い。
気口３側とを画成するだけであるようにしてもよ
い。
また以上の実施例では誘導加熱コイル９を用い
たが、これに代え、抵抗加熱ヒータを用いてもよ
い。
たが、これに代え、抵抗加熱ヒータを用いてもよ
い。
以上述べたように本発明のバツチ式真空ロウ付
け装置によれば、外熱式にするとともに、予熱・
脱脂の際の排気口とロウ付けの際の排気口を別々
に設け、その間をゲートで仕切れるようにしたの
で、清浄なロウ付け雰囲気が得られ、製品の歩留
りが向上する。また、高真空排気系、特に、拡散
ポンプ性能の劣化を防止し、高真空を容易に得る
ことができ、拡散ポンプの容量を従来より小さく
することができる。
け装置によれば、外熱式にするとともに、予熱・
脱脂の際の排気口とロウ付けの際の排気口を別々
に設け、その間をゲートで仕切れるようにしたの
で、清浄なロウ付け雰囲気が得られ、製品の歩留
りが向上する。また、高真空排気系、特に、拡散
ポンプ性能の劣化を防止し、高真空を容易に得る
ことができ、拡散ポンプの容量を従来より小さく
することができる。
図面は本発明の実施例によるバツチ式真空ロウ
付け装置の配管系統と共に示す側断面図である。 なお、図において、１……真空槽、３……第２
排気口、４……第１排気口、８……ゲート、９…
…誘導加熱コイル、１５……オイルトラツプ、１
９，２０……メカニカルブースタポンプ、２１…
…ロータリ真空ポンプ、２７ａ，２７ｂ……拡散
ポンプ、Ａ……加熱領域、Ｂ……Mgトラツプ領
域。
付け装置の配管系統と共に示す側断面図である。 なお、図において、１……真空槽、３……第２
排気口、４……第１排気口、８……ゲート、９…
…誘導加熱コイル、１５……オイルトラツプ、１
９，２０……メカニカルブースタポンプ、２１…
…ロータリ真空ポンプ、２７ａ，２７ｂ……拡散
ポンプ、Ａ……加熱領域、Ｂ……Mgトラツプ領
域。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 真空槽内でロウ材を装着した被ロウ付け物を
加熱することにより、該被ロウ付け物を脱脂し、
ロウ付けするようにしたバツチ式真空ロウ付け装
置において、前記真空槽内に開閉可能なゲートを
設けることによつて前記真空槽を加熱領域とMg
トラツプ領域とに画成し、前記加熱領域の端部に
蓋体を設け、前記加熱領域の周壁部のゲート近傍
にオイルトラツプと粗引き用真空ポンプとから成
る第１排気系を接続した第１排気口を設けると共
に前記周壁部の蓋体近傍に不活性ガス供給手段を
接続した不活性ガス導入口を設け、前記Mgトラ
ツプ領域の端部近傍にMgトラツプと拡散ポンプ
を備えた高真空排気ポンプとから成る第２排気系
を接続した第２排気口を設け、更に前記加熱領域
の外壁部周囲に加熱手段を巻装し、前記第１排気
口と前記オイルトラツプとの管路に第１のヒータ
を設けたことを特徴とするバツチ式真空ロウ付け
装置。 ２ 前記ゲートを加熱する第２のヒータを設けた
請求項１に記載のバツチ式真空ロウ付け装置。 ３ 前記ゲートを閉鎖時にもガス的には完全密封
されない構造とし、前記Mgトラツプ領域の端部
近傍に第２の不活性ガス供給手段を接続した第２
の不活性ガス導入口を設けた請求項１に記載のバ
ツチ式真空ロウ付け装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3181687A JPS63199071A (ja) | 1987-02-14 | 1987-02-14 | バッチ式真空ロウ付け装置 |
| US07/155,288 US4874918A (en) | 1987-02-14 | 1988-02-12 | Vacuum brazing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3181687A JPS63199071A (ja) | 1987-02-14 | 1987-02-14 | バッチ式真空ロウ付け装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63199071A JPS63199071A (ja) | 1988-08-17 |
| JPH0468072B2 true JPH0468072B2 (ja) | 1992-10-30 |
Family
ID=12341616
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3181687A Granted JPS63199071A (ja) | 1987-02-14 | 1987-02-14 | バッチ式真空ロウ付け装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63199071A (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02155563A (ja) * | 1988-12-07 | 1990-06-14 | Ulvac Corp | 連続式真空ろう付装置 |
| JP2686798B2 (ja) * | 1988-12-07 | 1997-12-08 | 日本真空技術株式会社 | 連続式真空ろう付装置 |
| JPH04305360A (ja) * | 1990-12-28 | 1992-10-28 | Nippon Steel Corp | Ａｌを含有する耐熱鋼の真空ロウ付け炉運転方法 |
| KR100246031B1 (ko) * | 1993-02-12 | 2000-04-01 | 오카메 히로무 | 알루미늄 진공 브레이징로 및 알루미늄 진공 브레이징 방법 |
| US8444041B2 (en) * | 2011-04-08 | 2013-05-21 | Lincoln Global, Inc. | Brazing system and method |
| EP3045253A1 (de) * | 2015-01-19 | 2016-07-20 | PVA Industrial Vacuum Systems GmbH | Vorrichtung und Verfahren zum Entbindern von Lotpasten im Vakuum-Lötofen |
| DE102016104684A1 (de) * | 2016-03-14 | 2017-09-14 | Iva Schmetz Gmbh | Verfahren und Vakuumofen zum Verbinden von Bauelementen durch Hartlöten |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5718987A (en) * | 1980-07-11 | 1982-01-30 | Oriental Yeast Co Ltd | Carrier for enzyme immobilization |
-
1987
- 1987-02-14 JP JP3181687A patent/JPS63199071A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5718987A (en) * | 1980-07-11 | 1982-01-30 | Oriental Yeast Co Ltd | Carrier for enzyme immobilization |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63199071A (ja) | 1988-08-17 |
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