JPS63199071A - バッチ式真空ロウ付け装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は真空ロウ付け装置に関し、特に加熱時に油等を
放散するような被ロウ付け物のロウ付けに用いられる真
空ロウ付け装置に関する。

〔従来の技術及びその問題点〕

ある種の被ロウ付け物を真空槽内で加熱すると、その表
面に付着している油が放散し、真空槽内部を汚染するば
かシか、油拡散ポンプの性能を劣化させるため高真空（
例えば１０　　Ｔｏｒｒ程度）にまで排気することが困
難である。そこで、このような被ロウ付け物をロウ付け
するに先立って、その表面に付着している油を除去すべ
く洗浄しているが、完全に除去することはコスト、時間
、公害（有機溶材を用いるため）等の問題で非常に困難
である。

そこで従来は大容量の拡散ポンプを必要としたが、それ
でも被ロウ付け物からの油でこのポンプの性能が劣化し
、高真空を保持することは困難であった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は上記問題に鑑みてなされ、被ロウ付け物の洗浄
を行わずとも真空槽内を従来よシ小容量の高真空排気ポ
ンプで容易に高真空（１０Ｔｏｒｒ程度）にすることが
できる真空ロウ付け装置を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、比較的高い真空度に排気するための第１排
気系に接続される第１排気口と、比較的低い真空度に排
気するための第２排気系に接続される第２排気口とを有
する真空槽；前記第１排気口と前記第２排気口との間に
開閉自在に設けられ前記真空槽の内空間を二つの領域に
画成するゲート手段；前記両領域のうち少なくとも前記
第２排気口側の領域を加熱するための加熱手段；前記第
２排気系内に設けられたオイルトラップから成シ。

前記ゲート手段を閉じた状態で前記第２排気口側の領域
内に被ロウ付け物を配設し、前記加熱手段によシ該被ロ
ウ付け物を加熱しながら、前記第２排気系を作動させ、
前記被ロウ付け物から放散する油分等を前記第２排気口
を介して前記オイルトラップ内に導入し、前記被ロウ付
け物から油分等の放散が殆んどなくなった後に、前記ゲ
ート手段を開放し、かつ前記第１排気系を作動させるこ
とによυ前記真空槽内を更に高真空にして前記被ロウ付
け物のロウ付けを行うようＫしたことを特徴とする真空
ロウ付け装置によって達成される。

〔作　用〕

被ロウ付け物から放散される油等は第２排気系内のオイ
ルトラップに効率良くトラップされる。

高真空にするための第１排気系内に油等が侵入する恐れ
は殆んどなくなる。これによシ高真空排気ポンプを従来
より小容量とし、しかも真空槽内を容易に高真空に保持
することができる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例による真空ロウ付け装置について
図面を参照して説明する。

図において、真空槽（１）は全体として円筒形状を呈し
１、その右端開口は蓋体（２）忙より気密に閉じられて
いる。これは点線で示す如く必要に応じて開放自在であ
る。真空槽（１）は周壁部に第１排気口（３）、第２排
気口（４）、及び不活性ガス導入口（５）が形成され、
左端壁部には第２の不活性ガス導入口（６）及び乾燥空
気導入口（７）が形成されている。

真空槽（１）内にはゲート（８）が配設され、観音開き
となりておシ、２つのゲート部（ａａＸｓｂ）から成り
、点線で示すように開かれるようになっている。ゲ−）
　（８）によシ真空槽（１）内空間は加熱領域ＡとＭＷ
　）ラップ領域Ｂとに画成され、加熱領域大の真空槽（
１）周囲には誘導加熱コイル（９）が巻装されている。

すなわち１本実施例は外熱式とされている。

ゲート部（８ｍ）（８ｂ）には、それぞれ電気ヒータ（
１０ｍ）（１０ｂ）が装着され、更に蓋体（２）にも電
気ヒータσηが装着されている。ロウ付け時には加熱領
域Ａ内に被ロウ付け物（２）が配置されるようになりて
いる。

Ｍ２排気口（４ンは図示するように、ゲート（８）より
右方、すなわち加熱領域Ａ内にあるが、管路（至）が接
続され、これには順次、電磁バルブ（ロ）、オイルトラ
ップ（至）、電磁バルブμｓが設けられておシ、更に管
路＠を介してＭｆ　）ラップ兼ダストフィルタ（至）、
メカニカルブースタαＩ（７）及びａ−夕ンり真空ポン
プ（２１１が接続されている。なお、管路＠及び電磁バ
ルブαぐにも電気ヒータのが装着されている。

第１排気口（３）はゲート（８）よシ左方、すなわちＭ
ｆトラップ領領域円内あるが、これには管路儲が接続さ
れ、これに並列にＭｆ　）ラップ（２４ｍ）（２４ｂ）
　、電磁バルブ（２５す（２５す、水冷バクフル（２６
ａ）（２６ｂ）、拡散ポンプ（２７す（２７ｂ）　、電
磁バルブ（３０ｍ）（３０り及びオイルトラップ（３１
す（３１ｂ）が接続され、更にこれらに共通して上述の
管路αηを介してＭＹ　）ラップ兼ダストフィルタ（至
）、メカニカルブースタＱＱＱＱ及びａ−タリ真空ポン
プＩ２１１が接続されている。なお、拡散ポンプ（２７
ａ）（２７ｂ）の下流側は更に電磁バルブ（２８ａ）（
２８ｂ）を介してａ−タリ真空ポンプ［有］が接続され
ていゐ。

不活性ガス導入口（５）　Ｋは流量計Ｃ３２及び電磁バ
ルブ時が接続され、これらを介して不活性ガスＧ１が導
入されるようになっている。また端壁部の第２の不活性
ガス導入口（６）には流量計図及び電磁バルブ（至）が
接続され、これらを介して不活性ガス偽が導入されるよ
うＫなっている。不活性ガスＧ１％Ｇ！は向一種であっ
てもよい。乾燥空気導入口（７）には１！磁パルプ（至
）を介して乾燥空気Ｇ、が導入されるがこれは、真空槽
（１）内を乾燥する際に使用されるもので、通常は、電
磁バルブ艶は閉じたま＼とされる。七の他、６η關はそ
れぞれ圧力計、安全弁を表わしている。

本発明の実施例による真空ロウ材は装置は以上のように
構成されるが、次にこの作用について説明する。

まず、真空槽（１）の蓋体（２）が点線で示すように開
放され、被ロウ付け物（２）が図示する如く加熱領域Ａ
内に配置される。内方のゲート（３）は図示の如く閉じ
たｔ−である。誘導加熱コイ／Ｉ／（９）　Ｋ−交流が
通電され、真空槽（１）の加熱領域λに対応する部分が
誘導加熱される。また、電気ヒータ（ｘＯａ）（ｌｏｂ
）、東■にも通電され、それぞれゲート（８）、蓋体（
２）、管路に）及びパルプ（ロ）を加熱する＠パルプα
４）が開かれ、メカニカルブースタ叫翰及びロータリ真
空ポンプＱυが駆動される。なお、このとき拡散ポンプ
（ｚ７ｍ）（ｚ７ｂ）は駆動されない。また、バルブ時
が開かれて不活性ガスＧ１が不活性ガス導入口（５）よ
シ真空槽（１）内へ導入され、ロータリ真空ポンプ１２
１１の排気作用により矢印Ｃ方向に流れる。なお１図示
省略したが、不活性ガス導入口（５）Ｋ接続して真空槽
（１）内には環状のノズル体が配設され、この多数のノ
ズル孔から不活性ガスＧ１が矢印で示す如く噴出される
ようになりている。

ロータリ真空ポンプ（２１１では、真空槽（１）内は比
較的低真空度で排気され（いわゆる粗引き）、他方、被
ロウ付け物（ロ）は加熱温度の上昇と共に表面から油な
どの付着物ｅが矢印で示す如く放散する。これらは不活
性ガスによシ効率良く第２排気口（４）へと導かれ、こ
＼から管路（至）、電磁バルブα尋を通りてオイルトラ
ップ（ト）内にトラップされる。なお、真空槽（１）の
端壁部Ｏ第２の不活性ガス導入口（６）からも不活性ガ
スへか矢印ｄで示す方向く導入され、これはゲート（８
）のすき関（完全気密構成ではない）を通って加熱領域
入内に侵入する。このガスの流速は第１の不活性ガス導
入口（５）からのガスの流速ないが、これらＣがＭＷ　
）ラップ領域Ｂ内に侵入するのを抑制する。

油などの付着物ｅが殆んど被ロウ付け物（２）から放散
されなくなると、ゲート（３）は点線で示す如く開放さ
れる。そして今や拡散ポンプ（２７す（２７ｂ）が駆動
開始される。また、第２の不活性ガス導入口（６）から
のガス導入はバルブ時を閉じることＫよって停止される
。、なお、ロータリ真空ポンプＱυは駆動したま＼でも
よい。

被ロウ付け物四は真空槽（１）内が高真空（ＩＱ　Ｔｏ
ｒｒ程度まで）に排気されると共にロウ付けが行われる
。この際、ロウ材から放出するＭｆなどはＭＷ　）ラッ
プ領域Ｂでトラップされる。

本実施例は以上のような作用を行うのであるが・次のよ
うな効果を奏するものである。

すなわち、低真空状態（粗引き）で加熱して被ロウ付け
物（６）から放散する油などを第２排気口（４）を介し
てオイルトラップ（至）にトラップさせ、殆んど油など
が放散しなくなってから拡散ポンプ（２７ａ）（２７ｂ
）を駆動し、真空槽（１）内を高真空にして被ロウ付け
物のロウ付け作業を行うようにしたので、拡散ポンプ（
２７ｇ＋）（２７ｂ）を含む高真空排気系内に被ロウ付
け物から放散する油などが殆んど侵入することがない。

従りて、拡散ポンプなどの高真空排気系の構成部材が油
などで汚染されることがなくなシ、従来のような劣化が
防止される。

また、ヒータ（１０ｍ）（ｔＯｂ）σル器の加熱によシ
ゲート（８）、蓋体（２）、管路（至）、電磁バルブ（
ロ）Ｋも油などが付着せず、更に真空槽（１）及びこれ
に付属する部材の汚染も防止される。

以上により常に拡散ポンプ（２７ｍ）（２７ｂ）を含む
高真空排気系によシ容易に高真空を得ることができ、ま
た拡散ポンプ（２７１ン（２７ｂ）も従来よシ小谷量化
することかできる。

以上、本発明の実施例九ついて説明したが、勿論、本発
明はこれに限定されることなく本発明の技術的思想に基
づいて種々の変形が可能である。

例えば、以上の実施例では、第２の不活性ガス導入口（
６）及び乾燥空気導入口（７）を設けたが、これらは省
略してもよい。

また、真空槽（１）内にＭＷ　トラップ領域Ｂを設けた
が、これを省略し、ゲート（８ンは単に第１排気口（３
）側と第２排気口（４）側とを画成するだけであるよう
にしてもよい。

また以上の実施例では誘導加熱コイル（９）を用い。

いわゆる外熱式としたが、これに代え加熱系を真空槽内
に配設する、いわゆる内熱式に本発明が適用されてもよ
い。

また以上の実施例では、被ロウ付け物のいわゆるバッチ
式処理方式が説明されたが、本発明は連続式の真空ロウ
付け装置にも適用可能である。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明の真空ロウ付け装置によれば、
高真空排気系、特に、拡散ポンプの劣化を防止し、高真
空を容易に得ることができる。また、拡散ポンプの容量
を従来よシ小さくすることができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例による真空ロウ付け装置の配管系
統と共に示す側断面図である。 なお図において、

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. （１）比較的高い真空度に排気するための第１排気系に
   接続される第１排気口と、比較的低い真空度に排気する
   ための第２排気系に接続される第２排気口とを有する真
   空槽；前記第１排気口と前記第２排気口との間に開閉自
   在に設けられ、前記真空槽の内空間を二つの領域に画成
   するゲート手段；前記両領域のうち少なくとも前記第２
   排気口側の領域を加熱するための加熱手段；前記第２排
   気系内に設けられたオイルトラップから成り、前記ゲー
   ト手段を閉じた状態で前記第２排気口側の領域内に被ロ
   ウ付け物を配設し、前記加熱手段により該被ロウ付け物
   を加熱しながら、前記第２排気系を作動させ、前記被ロ
   ウ付け物から放散する油分等を前記第２排気口を介して
   前記オイルトラップ内に導入し、前記被ロウ付け物から
   油分等の放散が殆んどなくなった後に、前記ゲート手段
   を開放し、かつ前記第１排気系を作動させることにより
   前記真空槽内を更に高真空にして前記被ロウ付け物のロ
   ウ付けを行うようにしたことを特徴とする真空ロウ付け
   装置。
2. （２）前記加熱手段の加熱温度を、前記第１排気系の作
   動と共にか、その後に更に高い所定温度にまで上昇させ
   るようにした前記第１項に記載の真空ロウ付け装置。
3. （３）前記ゲート手段を加熱する第２の加熱手段を設け
   た前記第１項に記載の真空ロウ付け装置。
4. （４）前記被ロウ付け物から油分等を放散しているとき
   に前記第２排気口側の領域に不活性ガスを導入し、この
   流れにより前記第２排気口へと前記放散油分等を強制的
   に導くようにした前記第１項に記載の真空ロウ付け装置
   。
5. （５）前記被ロウ付け物のロウ付け時に、前記真空槽内
   に不活性ガスを導入し、この流れにより前記被ロウ付け
   物から放散されるロウ材成分が前記第２排気口側の領域
   から前記第１排気口側の領域に向って流れるようにした
   前記第１項に記載の真空ロウ付け装置。
6. （６）前記第１排気側の領域をロウ材の金属成分をトラ
   ップする領域とした前記第５項に記載の真空ロウ付け装
   置。
7. （７）前記第１排気系は拡散ポンプを含む前記第１項に
   記載の真空ロウ付け装置。