JPH10122751A - 雰囲気保持型熱処理炉装置 - Google Patents
雰囲気保持型熱処理炉装置Info
- Publication number
- JPH10122751A JPH10122751A JP27787296A JP27787296A JPH10122751A JP H10122751 A JPH10122751 A JP H10122751A JP 27787296 A JP27787296 A JP 27787296A JP 27787296 A JP27787296 A JP 27787296A JP H10122751 A JPH10122751 A JP H10122751A
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- JP
- Japan
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- chamber
- sample
- vacuum
- heat treatment
- pass box
- Prior art date
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- Pending
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- Furnace Details (AREA)
- Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 この発明は、作業性がよく、しかも設置面積
が少なくすむ雰囲気保持型熱処理炉装置を提供すること
をその目的とする。 【解決手段】 内部に加熱用ヒーター２を備えた真空チ
ャンバー１と、この真空チャンバー１を所定の真空度に
排気する真空ポンプ１２及びターボ分子ポンプ４と、真
空チャンバー１の下方部にゲートバルブ９を介して接続
されたパスボックス１０と、このパスボックス１０を所
定の真空度に排気する真空ポンプ１２と、熱処理中はチ
ャンバー１まで上昇し且つ試料の出し入れ時にはパスボ
ックス１０内まで下降する試料台２０と、試料台２０を
上下に移動させるエアシリンダ１９と、を備えてなる。
が少なくすむ雰囲気保持型熱処理炉装置を提供すること
をその目的とする。 【解決手段】 内部に加熱用ヒーター２を備えた真空チ
ャンバー１と、この真空チャンバー１を所定の真空度に
排気する真空ポンプ１２及びターボ分子ポンプ４と、真
空チャンバー１の下方部にゲートバルブ９を介して接続
されたパスボックス１０と、このパスボックス１０を所
定の真空度に排気する真空ポンプ１２と、熱処理中はチ
ャンバー１まで上昇し且つ試料の出し入れ時にはパスボ
ックス１０内まで下降する試料台２０と、試料台２０を
上下に移動させるエアシリンダ１９と、を備えてなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、金属・セラミッ
ク材料等の焼結及び焼鈍等の熱処理に使用される雰囲気
保持型熱処理炉装置に関し、特に高真空並びに高純度ア
ルゴン（Ａｒ）雰囲気で材料の熱処理が行える雰囲気保
持型熱処理炉装置に関するものである。
ク材料等の焼結及び焼鈍等の熱処理に使用される雰囲気
保持型熱処理炉装置に関し、特に高真空並びに高純度ア
ルゴン（Ａｒ）雰囲気で材料の熱処理が行える雰囲気保
持型熱処理炉装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】真空熱処理は、加熱中に有害な雰囲気と
の接触が全くないので、高品質な熱処理ができるため、
需要が増え、用途が多様化している。
の接触が全くないので、高品質な熱処理ができるため、
需要が増え、用途が多様化している。
【０００３】従来の真空熱処理を行う真空熱処理炉装置
は、図４に示すような構成になっている。真空チャンバ
ー３１内にヒータ３２、冷却層が配置されており、この
チャンバー３１は真空ポンプ３３及び油拡散ポンプ３４
により所定の真空度に排気される。上記真空ポンプ３３
及び油拡散ポンプ３４の間には自動リーク弁３５が設け
られている。また、チャンバー３１内にはバルブ３６を
介してアルゴン（Ａｒ）などの超純度ガスが導入され、
そして、このガスはバルブ３７から排出される。
は、図４に示すような構成になっている。真空チャンバ
ー３１内にヒータ３２、冷却層が配置されており、この
チャンバー３１は真空ポンプ３３及び油拡散ポンプ３４
により所定の真空度に排気される。上記真空ポンプ３３
及び油拡散ポンプ３４の間には自動リーク弁３５が設け
られている。また、チャンバー３１内にはバルブ３６を
介してアルゴン（Ａｒ）などの超純度ガスが導入され、
そして、このガスはバルブ３７から排出される。
【０００４】チャンバー３１の横方向には、シャッター
３８及び空圧弁３９を介して試料仕込み室４０が設けら
れており、この試料仕込み室４０は真空ポンプ４１によ
り排気される。
３８及び空圧弁３９を介して試料仕込み室４０が設けら
れており、この試料仕込み室４０は真空ポンプ４１によ
り排気される。
【０００５】この装置を用いて、熱処理を行う場合に
は、まず、シャッター３８及び空圧弁３９を閉じてチャ
ンバー３２と試料仕込み室４０を分離した後、チャンバ
ー３１を真空ポンプ３３及び油拡散ポンプ３４により所
定の真空度まで排気する。そして、チャンバー３２と試
料仕込み室４０とを分離した状態で、試料仕込み室４０
の蓋を開けて試料を試料仕込み室４０内に入れ、蓋を閉
じる。その後、試料仕込み室４０を真空ポンプ４１によ
り排気する。試料仕込み室４０が所定の真空度に達した
状態で、チャンバー３１のシャッター３８及び空圧弁３
９を開き、試料取り出し棒４２により、試料をチャンバ
ー３１内まで送り込み、試料取り出し棒４２を試料から
外してシャッター３８及び空圧弁３９を閉じて試料仕込
み室４０とチャンバー３１を分離する。必要に応じてチ
ャンバー３１内には、アルゴン（Ａｒ）などの不活性ガ
スが導入されている。そして、試料を所定温度により熱
処理を施して焼き入れ、焼鈍などを行う。
は、まず、シャッター３８及び空圧弁３９を閉じてチャ
ンバー３２と試料仕込み室４０を分離した後、チャンバ
ー３１を真空ポンプ３３及び油拡散ポンプ３４により所
定の真空度まで排気する。そして、チャンバー３２と試
料仕込み室４０とを分離した状態で、試料仕込み室４０
の蓋を開けて試料を試料仕込み室４０内に入れ、蓋を閉
じる。その後、試料仕込み室４０を真空ポンプ４１によ
り排気する。試料仕込み室４０が所定の真空度に達した
状態で、チャンバー３１のシャッター３８及び空圧弁３
９を開き、試料取り出し棒４２により、試料をチャンバ
ー３１内まで送り込み、試料取り出し棒４２を試料から
外してシャッター３８及び空圧弁３９を閉じて試料仕込
み室４０とチャンバー３１を分離する。必要に応じてチ
ャンバー３１内には、アルゴン（Ａｒ）などの不活性ガ
スが導入されている。そして、試料を所定温度により熱
処理を施して焼き入れ、焼鈍などを行う。
【０００６】熱処理が終了した試料を取り出す場合に
は、チャンバー３１のシャッター３８及び空圧弁３９を
開き、試料取り出し棒４２により、試料を試料仕込み室
４２まで引き出す。このとき、試料仕込み室４０内は所
定の真空度に保たれている。そして、シャッター３８及
び空圧弁３９を閉じて試料仕込み室４０とチャンバー３
１を分離した後、試料仕込み室４０の蓋を開け、試料を
取り出す。
は、チャンバー３１のシャッター３８及び空圧弁３９を
開き、試料取り出し棒４２により、試料を試料仕込み室
４２まで引き出す。このとき、試料仕込み室４０内は所
定の真空度に保たれている。そして、シャッター３８及
び空圧弁３９を閉じて試料仕込み室４０とチャンバー３
１を分離した後、試料仕込み室４０の蓋を開け、試料を
取り出す。
【０００７】このように、試料を試料仕込み室４０を介
して、チャンバー３１内へ出し入れすることで、、チャ
ンバー３１内の雰囲気を崩すことなく作業が行えるの
で、チャンバー３１内の高真空の到達時間が短くでき、
連続作業の効率を上げることができる。
して、チャンバー３１内へ出し入れすることで、、チャ
ンバー３１内の雰囲気を崩すことなく作業が行えるの
で、チャンバー３１内の高真空の到達時間が短くでき、
連続作業の効率を上げることができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の熱処理炉装置においては、試料取り出し棒４２を用
いて、チャンバー３１内への試料の出し入れを行う必要
があるため、試料を試料取り出し棒４２にひっかける作
業が煩わしく、作業性が悪いという難点があった。
来の熱処理炉装置においては、試料取り出し棒４２を用
いて、チャンバー３１内への試料の出し入れを行う必要
があるため、試料を試料取り出し棒４２にひっかける作
業が煩わしく、作業性が悪いという難点があった。
【０００９】また、チャンバ３１ーの横方向に試料仕込
み室４０を設け、試料を横方向に出し入れするように構
成されているので、熱処理炉装置は、横方向に面積を多
くとる必要があり、広い設置スペースを要するという難
点もあった。
み室４０を設け、試料を横方向に出し入れするように構
成されているので、熱処理炉装置は、横方向に面積を多
くとる必要があり、広い設置スペースを要するという難
点もあった。
【００１０】この発明は、上述した従来の問題点に鑑み
なされたものにして、作業性がよく、しかも設置面積が
少なくすむ雰囲気保持型熱処理炉装置を提供することを
その目的とする。
なされたものにして、作業性がよく、しかも設置面積が
少なくすむ雰囲気保持型熱処理炉装置を提供することを
その目的とする。
【課題を解決するための手段】この発明の雰囲気保持型
熱処理炉装置は、内部に加熱用ヒーターを備えた真空チ
ャンバーと、この真空チャンバーを所定の真空度に排気
する排気手段と、上記真空チャンバーの下方部に上記チ
ャンバーと連通または分離するシャッター手段を介して
接続されたパスボックスと、このパスボックスを所定の
真空度に排気する排気手段と、熱処理中は上記チャンバ
ーまで上昇し且つ試料の出し入れ時にはパスボックス内
まで下降する試料台と、上記試料台を上下に移動させる
移動手段と、を備えてなる。
熱処理炉装置は、内部に加熱用ヒーターを備えた真空チ
ャンバーと、この真空チャンバーを所定の真空度に排気
する排気手段と、上記真空チャンバーの下方部に上記チ
ャンバーと連通または分離するシャッター手段を介して
接続されたパスボックスと、このパスボックスを所定の
真空度に排気する排気手段と、熱処理中は上記チャンバ
ーまで上昇し且つ試料の出し入れ時にはパスボックス内
まで下降する試料台と、上記試料台を上下に移動させる
移動手段と、を備えてなる。
【００１１】上記したチャンバー内には、加熱用ヒータ
ー等が配置されており、空気の流れが悪いので、チャン
バー内の雰囲気を崩すと、同じ雰囲気に戻すまで時間が
かかる。これに対して、パスボックス内には、試料台以
外は空気の流れを阻害するするものを設けていないの
で、空気の流れがよく、真空度などの雰囲気を壊して
も、所定の雰囲気にすぐに戻すことができる。そこで、
試料の装置外部への出し入れ時には、パスボックスとチ
ャンバーを分離した状態で行い、パスボックスが所定の
雰囲気に達した状態で、試料をチャンバー内に出し入れ
するように構成することで、チャンバー内の雰囲気を崩
すことなく作業が行え、高真空の到達時間が短くでき、
連続作業の効率を上げることができる。
ー等が配置されており、空気の流れが悪いので、チャン
バー内の雰囲気を崩すと、同じ雰囲気に戻すまで時間が
かかる。これに対して、パスボックス内には、試料台以
外は空気の流れを阻害するするものを設けていないの
で、空気の流れがよく、真空度などの雰囲気を壊して
も、所定の雰囲気にすぐに戻すことができる。そこで、
試料の装置外部への出し入れ時には、パスボックスとチ
ャンバーを分離した状態で行い、パスボックスが所定の
雰囲気に達した状態で、試料をチャンバー内に出し入れ
するように構成することで、チャンバー内の雰囲気を崩
すことなく作業が行え、高真空の到達時間が短くでき、
連続作業の効率を上げることができる。
【００１２】また、この発明は、試料台へ試料を乗せた
り、また試料を取り外したりすることで、試料をチャン
バー内に出し入れできるので、熟練者でなくても簡単に
作業が行え、作業性が向上する。
り、また試料を取り外したりすることで、試料をチャン
バー内に出し入れできるので、熟練者でなくても簡単に
作業が行え、作業性が向上する。
【００１３】さらに、チャンバーの下方部にパスボック
スが配置されているので、設置スペースが小さくでき
る。
スが配置されているので、設置スペースが小さくでき
る。
【００１４】また、この発明は、試料台の下方部にチャ
ンバー内の熱の放熱を防止する断熱材を設けるように構
成するとよい。
ンバー内の熱の放熱を防止する断熱材を設けるように構
成するとよい。
【００１５】上記断熱材により、熱処理中のチャンバー
内の熱がパスボックスに逃げないように構成すること
で、ヒーターの発熱を無駄にすることが少なくなる。
内の熱がパスボックスに逃げないように構成すること
で、ヒーターの発熱を無駄にすることが少なくなる。
【００１６】
【実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図面を参
照して説明する。この発明の実施の形態においては、熱
処理炉として電気炉を用いている。
照して説明する。この発明の実施の形態においては、熱
処理炉として電気炉を用いている。
【００１７】図１及び図２は、この発明の雰囲気保持型
電気炉装置を示す一部を破断した正面図であり、図１は
待機状態、図２は熱処理状態を示す。図３は、この発明
の雰囲気保持型熱処理炉装置の配管構成図である。
電気炉装置を示す一部を破断した正面図であり、図１は
待機状態、図２は熱処理状態を示す。図３は、この発明
の雰囲気保持型熱処理炉装置の配管構成図である。
【００１８】高真空電気炉チャンバー１内には、加熱用
タングステンメッシュヒーター２が設けられており、こ
のヒーター２により試料に熱処理が施される。チャンバ
ー１内の温度は温度センサー３により測定される。チャ
ンバー１にはメインバルブ１１を介してターボ分子ポン
プ４が接続されており、このターボ分子ポンプ４により
チャンバー１内が所定の真空度に排気される。チャンバ
ー１の前面部には横開き式のドア５が取り付けられ、チ
ャンバー１内の清掃、ヒータ−２等の点検の際には、こ
のドア５を開いて行う。このドア５は複数のねじ式ノブ
６により気密性を保って閉じられる。ターボ分子ポンプ
４の配管系には、さらに真空ポンプ７が設けられてお
り、この真空ポンプ７により、チャンバー１内は、所定
の真空度まで荒引きされる。
タングステンメッシュヒーター２が設けられており、こ
のヒーター２により試料に熱処理が施される。チャンバ
ー１内の温度は温度センサー３により測定される。チャ
ンバー１にはメインバルブ１１を介してターボ分子ポン
プ４が接続されており、このターボ分子ポンプ４により
チャンバー１内が所定の真空度に排気される。チャンバ
ー１の前面部には横開き式のドア５が取り付けられ、チ
ャンバー１内の清掃、ヒータ−２等の点検の際には、こ
のドア５を開いて行う。このドア５は複数のねじ式ノブ
６により気密性を保って閉じられる。ターボ分子ポンプ
４の配管系には、さらに真空ポンプ７が設けられてお
り、この真空ポンプ７により、チャンバー１内は、所定
の真空度まで荒引きされる。
【００１９】また、ドア５にはのぞき窓７が設けられて
おり、熱処理中に内部の試料が観察できるようになって
いる。
おり、熱処理中に内部の試料が観察できるようになって
いる。
【００２０】上記チャンバー１内は、バルブ１３、１４
を介してアルゴン（Ａｒ）などの不活性ガスが供給でき
るように構成されている。
を介してアルゴン（Ａｒ）などの不活性ガスが供給でき
るように構成されている。
【００２１】このチャンバー１の下方部にはシャッター
を内蔵した空圧用ゲートバルブ９を介して試料仕込み用
のパスボックス１０が設けられている。すなわち、チャ
ンバー１とパスボックス１０はゲートバルブ９とシャッ
タを開けることにより連通する。
を内蔵した空圧用ゲートバルブ９を介して試料仕込み用
のパスボックス１０が設けられている。すなわち、チャ
ンバー１とパスボックス１０はゲートバルブ９とシャッ
タを開けることにより連通する。
【００２２】このパスボックス１０には、バルブ１５を
介して真空ポンプ１２が接続されており、この真空ポン
プ１２によりパスボックス１０内が所定の真空度に排気
される。また、パスボックス１０内にもバルブ１６を介
してアルゴン（Ａｒ）などの不活性ガスが供給できるよ
うに構成されている。
介して真空ポンプ１２が接続されており、この真空ポン
プ１２によりパスボックス１０内が所定の真空度に排気
される。また、パスボックス１０内にもバルブ１６を介
してアルゴン（Ａｒ）などの不活性ガスが供給できるよ
うに構成されている。
【００２３】上記したパスボックス１０の前面部には横
開きのドア１７が設けられており、このドア１７はねじ
式ノブ１８により、気密的に密閉される。このドア１７
を開いて、試料の出し入れを行う。
開きのドア１７が設けられており、このドア１７はねじ
式ノブ１８により、気密的に密閉される。このドア１７
を開いて、試料の出し入れを行う。
【００２４】パスボックス１０内部には、エアシリンダ
１９により上下に移動可能に構成された試料台２０が設
けられており、この試料台２０は、熱処理を行う場合に
は、シャッター、ゲートバルブ９を越して、チャンバー
１内まで上昇する。すなわち、熱処理中は、チャンバー
１の内に試料台２０が位置することになる。試料台２０
とエアシリンダ１９とをつなぐロッド２１には、タグス
テン薄板とモリブデン薄板とを交互に配置した断熱材２
２が設けられている。この断熱材２２は、熱処理中にチ
ャンバー１の底板部分近傍の位置になるように、エアシ
リンダ１９のロッド２１に固定されており、熱処理中の
チャンバー１内の熱がパスボックス１０に逃げないよう
に構成されている。
１９により上下に移動可能に構成された試料台２０が設
けられており、この試料台２０は、熱処理を行う場合に
は、シャッター、ゲートバルブ９を越して、チャンバー
１内まで上昇する。すなわち、熱処理中は、チャンバー
１の内に試料台２０が位置することになる。試料台２０
とエアシリンダ１９とをつなぐロッド２１には、タグス
テン薄板とモリブデン薄板とを交互に配置した断熱材２
２が設けられている。この断熱材２２は、熱処理中にチ
ャンバー１の底板部分近傍の位置になるように、エアシ
リンダ１９のロッド２１に固定されており、熱処理中の
チャンバー１内の熱がパスボックス１０に逃げないよう
に構成されている。
【００２５】上記エアシリンダー１９はベース台２２内
に設けられており、このベース台２２の上方にパスボッ
クス１０、チャンバー１が縦一列状に配置される。
に設けられており、このベース台２２の上方にパスボッ
クス１０、チャンバー１が縦一列状に配置される。
【００２６】この装置を用いて、熱処理を行う場合に
は、まず、シャッター及びゲートバルブ９を閉じ、チャ
ンバー１とパスボックス１０とを分離し、チャンバー１
を真空ポンプ１２により所定の真空度まで排気し、さら
にターボ分子ポンプ４により排気する。このとき、チャ
ンバー１内をさらにアルゴン（Ａｒ）ガスなどの不活性
ガスと置換してもよい。その後、パスボックス１０のド
ア１７を開けて試料を試料台２０の上に載せ、ドア１７
を閉じ、パスボックス１０を真空ポンプ１２により排気
する。このとき、パスボックス１０内もアルゴン（Ａ
ｒ）ガスなどの不活性ガスで置換してもよい。
は、まず、シャッター及びゲートバルブ９を閉じ、チャ
ンバー１とパスボックス１０とを分離し、チャンバー１
を真空ポンプ１２により所定の真空度まで排気し、さら
にターボ分子ポンプ４により排気する。このとき、チャ
ンバー１内をさらにアルゴン（Ａｒ）ガスなどの不活性
ガスと置換してもよい。その後、パスボックス１０のド
ア１７を開けて試料を試料台２０の上に載せ、ドア１７
を閉じ、パスボックス１０を真空ポンプ１２により排気
する。このとき、パスボックス１０内もアルゴン（Ａ
ｒ）ガスなどの不活性ガスで置換してもよい。
【００２７】パスボックス１０が所定の真空度に達した
状態で、チャンバーのシャッター及びゲートバルブ９を
開き、エアシリンダ１９を動作させて、図２に示すよう
に、試料を試料台２０とともに上昇させ、チャンバー１
内に配置する。このとき、ロッド２１に設けられた断熱
材２２がチャンバー１の底板部分近傍に位置している。
そして、試料を所定温度にて熱処理を施して焼き入れ、
焼鈍などを行う。このとき、チャンバー１内の圧力等を
マノメータ２３により測定し、ターボ分子ポンプ４、ガ
スバルブ等を制御し、チャンバー１内を所定の圧力等に
制御している。
状態で、チャンバーのシャッター及びゲートバルブ９を
開き、エアシリンダ１９を動作させて、図２に示すよう
に、試料を試料台２０とともに上昇させ、チャンバー１
内に配置する。このとき、ロッド２１に設けられた断熱
材２２がチャンバー１の底板部分近傍に位置している。
そして、試料を所定温度にて熱処理を施して焼き入れ、
焼鈍などを行う。このとき、チャンバー１内の圧力等を
マノメータ２３により測定し、ターボ分子ポンプ４、ガ
スバルブ等を制御し、チャンバー１内を所定の圧力等に
制御している。
【００２８】熱処理が終了した試料を取り出す場合に
は、エアシリンダ１９を動作させ、試料台２０を下降さ
せ、パスボックス１０内に試料を移動させる。そして、
チャンバー１のシャッター及びゲートバルブ９を閉じ、
チャンバー１とパスボックス１０とを分離する。その
後、パスボックス１０のドア１７を開け、試料台２０上
の試料を取り出す。
は、エアシリンダ１９を動作させ、試料台２０を下降さ
せ、パスボックス１０内に試料を移動させる。そして、
チャンバー１のシャッター及びゲートバルブ９を閉じ、
チャンバー１とパスボックス１０とを分離する。その
後、パスボックス１０のドア１７を開け、試料台２０上
の試料を取り出す。
【００２９】上記したチャンバー１内には、ヒーター２
等が配置されており、空気の流れが悪いので、チャンバ
ー１内の雰囲気を崩すと、同じ雰囲気に戻すまで時間が
かかる。これに対して、パスボックス１０内には、試料
台２０以外は空気の流れを阻害するするものを設けてい
ないので、空気の流れがよく、真空度などの雰囲気を壊
しても、所定の雰囲気にすぐに戻すことができる。そこ
で、この発明の装置は、試料の装置外部への出し入れ時
には、パスボックス１０とチャンバー１を分離した状態
で行い、パスボックス１０が所定の雰囲気に達した状態
で、試料をチャンバー１内に出し入れするように構成し
ている。このため、この発明装置では、チャンバー１内
の雰囲気を崩すことなく作業が行えるので、高真空の到
達時間が短くでき、連続作業の効率を上げることができ
る。
等が配置されており、空気の流れが悪いので、チャンバ
ー１内の雰囲気を崩すと、同じ雰囲気に戻すまで時間が
かかる。これに対して、パスボックス１０内には、試料
台２０以外は空気の流れを阻害するするものを設けてい
ないので、空気の流れがよく、真空度などの雰囲気を壊
しても、所定の雰囲気にすぐに戻すことができる。そこ
で、この発明の装置は、試料の装置外部への出し入れ時
には、パスボックス１０とチャンバー１を分離した状態
で行い、パスボックス１０が所定の雰囲気に達した状態
で、試料をチャンバー１内に出し入れするように構成し
ている。このため、この発明装置では、チャンバー１内
の雰囲気を崩すことなく作業が行えるので、高真空の到
達時間が短くでき、連続作業の効率を上げることができ
る。
【００３０】また、試料の取り出しは、パスボックス１
０のドア１７を大きく開け、試料台２０へ試料を乗せた
り、また試料を取り外したりすればよく、熟練者でなく
ても簡単に作業が行え、作業性が向上する。さらに、ベ
ース台２２上にパスボックス１０及びチャンバー１が縦
一列状に配置されているので、設置スペースが小さくで
きる。
０のドア１７を大きく開け、試料台２０へ試料を乗せた
り、また試料を取り外したりすればよく、熟練者でなく
ても簡単に作業が行え、作業性が向上する。さらに、ベ
ース台２２上にパスボックス１０及びチャンバー１が縦
一列状に配置されているので、設置スペースが小さくで
きる。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、作業性が良く、省スペースの雰囲気保持型熱処理炉
装置を提供することができる。
ば、作業性が良く、省スペースの雰囲気保持型熱処理炉
装置を提供することができる。
【図１】この発明の雰囲気保持型電気炉装置を示す一部
を破断した正面図であり、待機状態を示す。
を破断した正面図であり、待機状態を示す。
【図２】この発明の雰囲気保持型電気炉装置を示す一部
を破断した正面図であり、熱処理状態を示す。
を破断した正面図であり、熱処理状態を示す。
【図３】この発明の雰囲気保持型電気炉装置の配管構成
図である。
図である。
【図４】従来の熱処理炉装置を示す構成図である。
１ チャンバー ２ ヒーター ４ ターボ分子ポンプ ９ ゲートバルブ １０ パスボックス １２ 真空ポンプ １９ エアシリンダ ２０ 試料台 ２１ ロッド ２２ 断熱材
Claims (2)
- 【請求項１】 内部に加熱用比ヒーターを備えた真空チ
ャンバーと、この真空チャンバーを所定の真空度に排気
する排気手段と、上記真空チャンバーの下方部に上記チ
ャンバーと連通または分離するシャッター手段を介して
接続されたパスボックスと、このパスボックスを所定の
真空度に排気する排気手段と、熱処理中は上記チャンバ
ーまで上昇し且つ試料の出し入れ時にはパスボックス内
まで下降する試料台と、上記試料台を上下に移動させる
移動手段と、を備えてなる雰囲気保持型熱処理炉装置。 - 【請求項２】 上記試料台の下方部にチャンバー内の熱
の放熱を防止する断熱材が設けられていることを特徴と
する請求項１に記載の雰囲気保持型熱処理炉装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27787296A JPH10122751A (ja) | 1996-10-21 | 1996-10-21 | 雰囲気保持型熱処理炉装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27787296A JPH10122751A (ja) | 1996-10-21 | 1996-10-21 | 雰囲気保持型熱処理炉装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10122751A true JPH10122751A (ja) | 1998-05-15 |
Family
ID=17589467
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27787296A Pending JPH10122751A (ja) | 1996-10-21 | 1996-10-21 | 雰囲気保持型熱処理炉装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10122751A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107152869A (zh) * | 2017-06-06 | 2017-09-12 | 宝鸡新高真空炉业有限公司 | 2600℃下氢气环境、真空环境自动连续转换烧结工艺及设备 |
-
1996
- 1996-10-21 JP JP27787296A patent/JPH10122751A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107152869A (zh) * | 2017-06-06 | 2017-09-12 | 宝鸡新高真空炉业有限公司 | 2600℃下氢气环境、真空环境自动连续转换烧结工艺及设备 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040730 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070213 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070410 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070724 |