JPH0250071A - 真空オーブン装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は真空オーブン装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の真空オーブン装置は被処理物に水分が付着した状
態で真空乾燥を行っていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の真空オーブン装置は、被処理物に水分が
付着した状態で真空乾燥を行っていたため、真空乾燥に
より発生した水蒸気が真空ポンプに取り込まれ、真空ポ
ンプのオイルが劣化し真空ポンプが故障するという欠点
がある。

本発明の目的は前記課題を解決した真空オーブン装置を
提供することにある。

〔発明の従来技術に対する相違点〕

上述した従来の真空オーブン装置に対し、本発明は被処
理物に付着した水分を完全に除去した後に真空乾燥を行
うという相違点を有する。

〔課題を解決するための手段〕

前記目的を達成するため、本発明は被処理物を真空乾燥
する真空オーブンにおいて、真空乾燥前に被処理物に付
着した水分を除去する加熱機構を有するものである。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図により説明する。

（実施例１） 第１図（ａ）は本発明の実施例１を示す正面断面図、（
ｂ）は同側面断面図である０本発明の真空オーブン装置
は温風ヒータ３で温風を作り、オーブン室１内に温風４
を送る！ＩＩｉ造になっており、オーブン室１内に置か
れた被処理物に付着した水分が熱により水蒸気として排
気するものである。その水蒸気を排気するためにオーブ
ン室１内の上部に局所排気バルブ７を有し、真空排気前
に発生する水蒸気を局所排気バルブ７より排気する。４
は温風、５は扉、９は部品乗せ台、１０はヒータ、１１
は温風制御板である。オーブン室１内は水蒸気の発生を
検知する湿度センサ６により室内の湿度を検知し、湿度
が０％近くなると自動的に温風ヒータ３を０ＦＦＬ、温
風遮断弁２を閉じ、局所排気バルブ７を閉じ、真空排気
弁８を開け、オーブン室内を真空引きし真空乾燥を開始
する。

（実施例２） 第２図（ａ）は本発明の実施例２を示す正面断面図、（
ｂ）は同側面断面図である。この実施例では真空排気前
にオーブン内の被処理物の水分除去を行う方法として、
オーブン室１の側面から温風４を送り込むものであり、
局所排気バルブ７を対称側面に有している。真空乾燥前
に温風遮断弁２を開け、温風４を送り局所排気バルブ７
より温風を排気しオーブン室１内にある被処理物の温風
乾燥を行う、この実施例では部品乗せ台９の側方より温
風を吹き出すため、各部品乗せ台９に均等に温風があた
り各々の段の被処理物を均一に乾燥できるという利点が
ある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は真空乾燥前に被処理物に付
着した水分を除去する加熱ａｍを設けることにより、真
空乾燥時に真空ポンプへの水分混入がなくなり、真空ポ
ンプの故障率を低減できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は本発明の実施例１を示す正面断面図、（
ｂ）は同側面断面図、第２図（ａ）は本発明の実施例２
を示す正面断面図、（ｂ）は同側面断面図である。 １・・・オーブン室　　　　２・・・温風遮断弁３・・
・温風ヒータ　　　　４・・・温風５・・・扉　　　　
　　　　６・・・湿度センサ７・・・局所排気バルブ　
　８・・・真空排気バルブ９・・・部品乗せ台　　　　
１０・・・ヒータ１１・・・温風制御板

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）被処理物を真空乾燥する真空オーブンにおいて、
   真空乾燥前に被処理物に付着した水分を除去する加熱機
   構を有することを特徴とする真空オーブン。