JP2705431B2 - 真空装置のベーキング方法 - Google Patents
真空装置のベーキング方法Info
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- JP2705431B2 JP2705431B2 JP3357492A JP3357492A JP2705431B2 JP 2705431 B2 JP2705431 B2 JP 2705431B2 JP 3357492 A JP3357492 A JP 3357492A JP 3357492 A JP3357492 A JP 3357492A JP 2705431 B2 JP2705431 B2 JP 2705431B2
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- vacuum
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は真空装置のベーキング方
法に関するものである。
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】極、超高真空用の装置では、装置材料表
面に付着しているＨ2 Ｏ、Ｈ2 、ＣＯ、Ｎ2 等の気体分
子を容器表面から脱離させると共に、材料内部の吸蔵ガ
ス量を低減させる必要がある。そうでないと、極、超高
真空状態が実現できない。そのために、予め真空装置を
加熱しながら真空排気して材料表面、内部のガスを放出
する手段としてベーキングという方法がある。
面に付着しているＨ2 Ｏ、Ｈ2 、ＣＯ、Ｎ2 等の気体分
子を容器表面から脱離させると共に、材料内部の吸蔵ガ
ス量を低減させる必要がある。そうでないと、極、超高
真空状態が実現できない。そのために、予め真空装置を
加熱しながら真空排気して材料表面、内部のガスを放出
する手段としてベーキングという方法がある。
【０００３】従来、経験的にベーキング温度（容器の加
熱温度）は２００℃以上としなければ極、超高真空を実
現できないとされ、一挙に２００℃以上に真空装置を加
熱している。ベーキング時間は約７２時間程度を要して
いる。
熱温度）は２００℃以上としなければ極、超高真空を実
現できないとされ、一挙に２００℃以上に真空装置を加
熱している。ベーキング時間は約７２時間程度を要して
いる。
【０００４】具体的には、図３に示す装置構成で、図４
に示すような処理がなされている。真空装置１に、加熱
用のヒータコイル４が巻回されている。そして、温度セ
ンサ６ａからの信号を受ける温度調節計６により、ヒー
タ電源５を制御している。一方、真空装置１に真空ポン
プ２が接続されている。そして、真空ゲージ３ａからの
真空度はモニタ３により監視されている。
に示すような処理がなされている。真空装置１に、加熱
用のヒータコイル４が巻回されている。そして、温度セ
ンサ６ａからの信号を受ける温度調節計６により、ヒー
タ電源５を制御している。一方、真空装置１に真空ポン
プ２が接続されている。そして、真空ゲージ３ａからの
真空度はモニタ３により監視されている。
【０００５】常温時、ベーキング前、真空装置１を真空
ポンプ２により排気して１×１０-6〜１×１０-7トール
程度の圧力となるように、真空排気装置は計画されてい
る。以後、排気を継続する。加熱設定温度を２３０℃と
して、一挙に昇温加熱し、設定温度に到達後は、その温
度を維持するように加熱を継続する。
ポンプ２により排気して１×１０-6〜１×１０-7トール
程度の圧力となるように、真空排気装置は計画されてい
る。以後、排気を継続する。加熱設定温度を２３０℃と
して、一挙に昇温加熱し、設定温度に到達後は、その温
度を維持するように加熱を継続する。
【０００６】この際、ベーキング時の圧力上限は特に制
御しておらず、モニタで確認を行うだけであるが、経験
的に１×１０-3〜１×１０-4トール程度の真空状態とな
っている。以上のようなベーキング１サイクルの圧力、
温度、時間の履歴が図４に示されている。ベーキングに
要する時間は約７２時間である。
御しておらず、モニタで確認を行うだけであるが、経験
的に１×１０-3〜１×１０-4トール程度の真空状態とな
っている。以上のようなベーキング１サイクルの圧力、
温度、時間の履歴が図４に示されている。ベーキングに
要する時間は約７２時間である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来のベーキン
グ方法には次のような問題がある。
グ方法には次のような問題がある。
【０００８】１）ベーキング温度が２００℃以上と高い
ため、しばしばベーキング時及び冷却時に連結フランジ
部で熱収縮が生じ、真空リークが発生し、工事期間の延
長を余儀なくされる。 ２）７２時間以上の長時間ベーキングするため、ベーキ
ング時のモニタ、点検にかなりの労力が必要である。 ３）近年、真空装置の内部に駆動部や、熱の影響を受け
やすい内部品が装着されるケースが増え、２００℃以上
の高温でベーキングできない場合がある。
ため、しばしばベーキング時及び冷却時に連結フランジ
部で熱収縮が生じ、真空リークが発生し、工事期間の延
長を余儀なくされる。 ２）７２時間以上の長時間ベーキングするため、ベーキ
ング時のモニタ、点検にかなりの労力が必要である。 ３）近年、真空装置の内部に駆動部や、熱の影響を受け
やすい内部品が装着されるケースが増え、２００℃以上
の高温でベーキングできない場合がある。
【０００９】４）一挙に２００℃以上まで装置を加熱す
ると、装置内の圧力は一時的に１×１０-4トール前後ま
で上昇する。この場合、一度真空装置の表面から脱離さ
れたガスは装置表面に再付着をおこしやすく、装置の外
になかなか排気されにくい。このため、十分なベーキン
グ効果が得られない。 本発明は、上記のような問題点を解消できるようにした
真空装置のベーキング方法を提供することを課題とする
ものである。
ると、装置内の圧力は一時的に１×１０-4トール前後ま
で上昇する。この場合、一度真空装置の表面から脱離さ
れたガスは装置表面に再付着をおこしやすく、装置の外
になかなか排気されにくい。このため、十分なベーキン
グ効果が得られない。 本発明は、上記のような問題点を解消できるようにした
真空装置のベーキング方法を提供することを課題とする
ものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の真空装置のベー
キング方法は、比較的低温で、ベーキングを開始し、ベ
ーキング時の真空装置の圧力上限が、脱離されたガスが
装置表面に再付着し易い圧力に達したら、一旦、ベーキ
ング加熱を停止するか、またはその時の温度に維持し、
時間の経過と共に真空度が低下したら、再びベーキング
加熱を開始する操作を繰返すことを特徴とするものであ
る。
キング方法は、比較的低温で、ベーキングを開始し、ベ
ーキング時の真空装置の圧力上限が、脱離されたガスが
装置表面に再付着し易い圧力に達したら、一旦、ベーキ
ング加熱を停止するか、またはその時の温度に維持し、
時間の経過と共に真空度が低下したら、再びベーキング
加熱を開始する操作を繰返すことを特徴とするものであ
る。
【００１１】
【作用】ベーキング時の真空圧力上限を押さえて加熱す
る。すなわち、一度に大量のガスが真空装置内に放出さ
れないため、再付着の影響が少なく、装置表面から出た
ガスが排気され易くなる。こうして、比較的低温、例え
ば２００℃以下で、比較的短時間、例えば２４時間程度
で十分なベーキング効果が得られる。
る。すなわち、一度に大量のガスが真空装置内に放出さ
れないため、再付着の影響が少なく、装置表面から出た
ガスが排気され易くなる。こうして、比較的低温、例え
ば２００℃以下で、比較的短時間、例えば２４時間程度
で十分なベーキング効果が得られる。
【００１２】
【実施例】本発明方法を実施するため装置構成の一例を
図１に示す。
図１に示す。
【００１３】真空装置１に、加熱用のヒータコイル４が
巻回されている。そして、温度センサ６ａからの信号を
受ける温度調節計６からの信号がヒータ電力制御器１２
に入力され、ヒータ電源５を制御するようになってい
る。
巻回されている。そして、温度センサ６ａからの信号を
受ける温度調節計６からの信号がヒータ電力制御器１２
に入力され、ヒータ電源５を制御するようになってい
る。
【００１４】一方、真空装置１に真空ポンプ２が接続さ
れている。そして、真空ゲージ３ａからの信号を受ける
真空計コントローラ１１からの信号がヒータ電力制御器
１２に入力され、ヒータ電源５を制御するようになって
いる。ベーキング方法の具体例を図２により説明する。
常温で、真空装置１を真空ポンプ２により排気して１×
１０-6〜１×１０-7トール程度の真空状態とする。以
後、排気を継続する。
れている。そして、真空ゲージ３ａからの信号を受ける
真空計コントローラ１１からの信号がヒータ電力制御器
１２に入力され、ヒータ電源５を制御するようになって
いる。ベーキング方法の具体例を図２により説明する。
常温で、真空装置１を真空ポンプ２により排気して１×
１０-6〜１×１０-7トール程度の真空状態とする。以
後、排気を継続する。
【００１５】真空計コントローラ１１により、圧力上限
を、脱離されたガスが装置表面に再付着しにくい、５×
１０-5トールに設定する。この圧力上限を越えると、再
付着が起こりやすいためである。
を、脱離されたガスが装置表面に再付着しにくい、５×
１０-5トールに設定する。この圧力上限を越えると、再
付着が起こりやすいためである。
【００１６】加熱を開始し、ガスが放出され、設定圧力
に達すると、真空コントローラ１１からの信号で、ヒー
タ電力制御器１２が、その時の温度を維持するようにヒ
ータの加熱制御を行う。その時の加熱温度は１００℃で
あった。加熱温度を一定に制御する代わりにヒータ電源
をオフとしてもよい。
に達すると、真空コントローラ１１からの信号で、ヒー
タ電力制御器１２が、その時の温度を維持するようにヒ
ータの加熱制御を行う。その時の加熱温度は１００℃で
あった。加熱温度を一定に制御する代わりにヒータ電源
をオフとしてもよい。
【００１７】こうして、ガス放出が抑制され、真空ポン
プ２による排気が進んで、装置内圧力が８×１０-6トー
ルまで低下したら、再度昇温を開始し、再度設定圧力に
到達したら、加熱温度を一定に保つ。この時の加熱温度
は１２０℃であった。
プ２による排気が進んで、装置内圧力が８×１０-6トー
ルまで低下したら、再度昇温を開始し、再度設定圧力に
到達したら、加熱温度を一定に保つ。この時の加熱温度
は１２０℃であった。
【００１８】通常、同様な操作を数回繰り返す。この例
では、３段階の加熱を行い３度目の加熱温度は１５０℃
である。この温度に所定時間保持後、ヒータをオフにし
て、常温まで自然冷却する。この時の真空度は、１×１
０-10 トールであった。また、この場合、ベーキングに
要した時間は２４時間であった。
では、３段階の加熱を行い３度目の加熱温度は１５０℃
である。この温度に所定時間保持後、ヒータをオフにし
て、常温まで自然冷却する。この時の真空度は、１×１
０-10 トールであった。また、この場合、ベーキングに
要した時間は２４時間であった。
【００１９】この場合のベーキング後の真空装置からの
放出ガス量を、図４に示す従来方法で行った場合と比較
したところ、ほぼ同等の結果が得られた。すなわち、単
に加熱温度を上げて長時間ベーキングしても、良好なベ
ーキング効果が得られないが、本発明方法によれば、２
００℃以下の加熱温度で、しかも、従来の１／３の時間
で、従来方法と同等の効果が得られることが明らかにな
った。
放出ガス量を、図４に示す従来方法で行った場合と比較
したところ、ほぼ同等の結果が得られた。すなわち、単
に加熱温度を上げて長時間ベーキングしても、良好なベ
ーキング効果が得られないが、本発明方法によれば、２
００℃以下の加熱温度で、しかも、従来の１／３の時間
で、従来方法と同等の効果が得られることが明らかにな
った。
【００２０】なお、上記実施例では、再加熱の開始を真
空計コントローラからの信号により自動的に行っている
が、再加熱時点を真空コントローラの真空度表示により
作業員が判断して行ってもよい。また、タイマー等によ
り、所定時間経過後、再加熱を開始するようにしてもよ
い。
空計コントローラからの信号により自動的に行っている
が、再加熱時点を真空コントローラの真空度表示により
作業員が判断して行ってもよい。また、タイマー等によ
り、所定時間経過後、再加熱を開始するようにしてもよ
い。
【００２１】
【発明の効果】本発明の真空装置のベーキング方法は上
記のようなもので、ベーキング時の圧力上限を押さえて
加熱する。すなわち、一度に大量のガスが真空装置内に
放出されないため、再付着の影響が少なく、装置表面か
ら出たガスが排気され易くなる。こうして、比較的低
温、例えば２００℃以下で、比較的短時間、例えば２４
時間程度で十分なベーキング効果が得られる。
記のようなもので、ベーキング時の圧力上限を押さえて
加熱する。すなわち、一度に大量のガスが真空装置内に
放出されないため、再付着の影響が少なく、装置表面か
ら出たガスが排気され易くなる。こうして、比較的低
温、例えば２００℃以下で、比較的短時間、例えば２４
時間程度で十分なベーキング効果が得られる。
【００２２】これにより、極、超高真空用の装置を製作
する際のトラブルの低減がはかられ、真空装置の工事コ
ストを低減できる。また、熱の影響を受けやすい真空装
置にも適用可能であり、真空装置の設計上のメリットを
もたらす。
する際のトラブルの低減がはかられ、真空装置の工事コ
ストを低減できる。また、熱の影響を受けやすい真空装
置にも適用可能であり、真空装置の設計上のメリットを
もたらす。
【図１】本発明方法を実施するための装置構成の一例を
示す説明図。
示す説明図。
【図２】本発明のベーキング方法の１サイクルの圧力、
温度の履歴説明図。
温度の履歴説明図。
【図３】従来のベーキング方法を実施するための装置構
成の一例を示す説明図。
成の一例を示す説明図。
【図４】従来のベーキング方法の１サイクルの圧力、温
度の履歴説明図。
度の履歴説明図。
Claims (2)
- 【請求項１】 比較的低温で、ベーキングを開始し、ベ
ーキング時の真空装置の圧力上限が、脱離されたガスが
装置表面に再付着し易い圧力に達したら、一旦、ベーキ
ング加熱を停止するか、またはその時の温度に維持し、
時間の経過と共に真空度が低下したら、再びベーキング
加熱を開始する操作を繰返すことを特徴とする真空装置
のベーキング方法。 - 【請求項２】 ベーキング時の真空装置圧力上限が５×
１０-5トール以下である請求項１に記載のベーキング方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3357492A JP2705431B2 (ja) | 1992-02-20 | 1992-02-20 | 真空装置のベーキング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3357492A JP2705431B2 (ja) | 1992-02-20 | 1992-02-20 | 真空装置のベーキング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05228354A JPH05228354A (ja) | 1993-09-07 |
| JP2705431B2 true JP2705431B2 (ja) | 1998-01-28 |
Family
ID=12390309
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3357492A Expired - Fee Related JP2705431B2 (ja) | 1992-02-20 | 1992-02-20 | 真空装置のベーキング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2705431B2 (ja) |
-
1992
- 1992-02-20 JP JP3357492A patent/JP2705431B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05228354A (ja) | 1993-09-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |