JPH05325275A - 記録再生装置 - Google Patents

記録再生装置

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JPH05325275A
JPH05325275A JP4127013A JP12701392A JPH05325275A JP H05325275 A JPH05325275 A JP H05325275A JP 4127013 A JP4127013 A JP 4127013A JP 12701392 A JP12701392 A JP 12701392A JP H05325275 A JPH05325275 A JP H05325275A
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scanning
recording
fuzzy
signal
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JP4127013A
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Shunichi Shito
俊一 紫藤
Kunihiro Sakai
邦裕 酒井
Takahiro Oguchi
高広 小口
Akihiko Yamano
明彦 山野
Katsunori Hatanaka
勝則 畑中
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Canon Inc
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 トラック溝検出誤差を軽減し、安定したフィ
ードバック系により高精度な情報の記録・再生・消去、
またはそれらの2種以上の組み合わせからなる記録再生
を高速に行うことのできる記録再生装置を提供するこ
と。 【構成】 探針と記録媒体を平行に走査する走査機構
と、前記走査機構による平行走査時に探針と記録媒体と
の間に流れるトンネル電流値から得られる微細信号を検
出する検出手段と、前記検出手段による検出信号の変化
から、前記記録媒体上に形成されたトラック溝に対する
探針の位置を検出し、これによるフィードバック制御に
より走査領域を移動するトラッキング機構とを具備する
記録再生装置であって、前記トラッキング機構は、フィ
ードバック量をファジー推論によって算出するためのフ
ァジー演算部を備えていることを特徴とする記録再生装
置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、探針と試料とを接近さ
せることによって生じる物理現象を利用し、媒体上に設
けたトラック溝に沿って、情報を記録し、再生、あるい
は消去することのできる記録再生装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、探針と試料とを接近させ、そのと
きに生じる物理現象(トンネル現象等)を利用して物質
表面および表面近傍の電子構造を直接観察できる走査型
トンネル顕微鏡(以後STMと略す)が開発され[G.Bi
nning et al.,Helvetica Physica Acta, 55,726(198
2)]、単結晶、非晶質を問わず実空間像を高い分解能で
測定できるようになった。またSTMは、媒体に対して
電流による損傷を与えずに低電力で観測できる利点をも
有し、さらには超高真空中のみならず大気中、溶液中で
も動作し種々の材料に対して用いることができ、学術的
あるいは研究分野での広範囲な応用が期待されている。
【0003】また、産業分野においても、近年、原子あ
るいは分子サイズの空間分解能を有する原理に着目し、
特開昭63−161552号公報および特開昭63−1
61553号公報媒体に開示されているように、媒体に
記録層(例えば、π電子系有機化合物やカルコゲン化合
物類の薄膜層等)を用いることによる記録再生装置への
応用、実用化が精力的に進められている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】係る記録再生装置にお
いては、探針を試料面と平行に掃引しながら、何らかの
電気的な方法によって試料媒体の表面に情報を記録し、
探針と試料との接近によって生じる物理現象(トンネル
電流等)を測定することによって記録された情報を再生
することが主たる目的である。
【0005】このような場合、情報の記録・再生をスム
ーズに行なうためには、試料上に、ある規則性を持って
情報を並べることが必要である。つまり、トラッキング
用の溝(以下、トラック溝と称す)に沿って情報を書き
込み、また、読み出すことが望ましい。
【0006】しかしながら、上記のように構成される記
録再生装置においては、トラック溝の検出が、探針と試
料の接近によって生じるトンネル電流などのノイズに埋
もれやすい微弱な信号を用いて行なわれるために、トラ
ック溝の検出に誤差が生じてしまう。トラック溝の検出
に誤差が生じると、トラック溝に沿って書き込まれる情
報および読み出される情報の信頼性も当然低下してしま
う。
【0007】この検出誤差は、速い走査を行う場合には
増大するものであるため、高速に走査を行うことができ
ず、記録再生に時間がかかるという問題点がある。
【0008】本発明は、上述したような従来の技術が有
する問題点に鑑みてなされたものであって、トラック溝
検出誤差を軽減し、安定したフィードバック系により高
精度な情報の記録・再生・消去、またはそれらの2種以
上の組み合わせからなる記録再生を高速に行うことので
きる記録再生装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の記録再生装置
は、探針と記録媒体を平行に走査する走査機構と、前記
走査機構による平行走査時に探針と記録媒体との間に流
れるトンネル電流値から得られる微細信号を検出する検
出手段と、前記検出手段による検出信号の変化から、前
記記録媒体上に形成されたトラック溝に対する探針の位
置を検出し、これによるフィードバック制御により走査
領域を移動させるトラッキング機構とを具備する記録再
生装置であって、前記トラッキング機構は、フィードバ
ック量をファジー推論によって算出するためのファジー
演算部を備えている。
【0010】この場合、トラッキング機構にて行われる
ファジー推論が、所定の規準電圧値と検出信号との差で
ある第1の差信号と、該第1の差信号と前回のフィード
バック制御の際に求められた差信号との差である第2の
差信号から行われるものであり、ファジー演算部にはこ
れらの差信号を記憶するためのバッファメモリが設けら
れるものとしてもよい。
【0011】
【作用】最近、制御の分野ではあいまいさを取り入れた
ファジー制御がその有用性から脚光を浴びている。ファ
ジー制御では事象を2値化によって割り切ることなく、
事象のあいまいさを取り込んだきめ細かな制御が可能と
なるもので、プロセス制御や家電製品等、様々な領域で
その実績が評価され、なお現在でもその用途の拡大が続
いている。
【0012】本発明はこのような特徴を持つファジー制
御によってトラッキング制御を行うことにより、きめ細
かな制御を可能としたものである。
【0013】ファジー演算が第1の差信号および第2の
差信号によって行われる場合には、前回のフィードバッ
クを踏まえたトラッキング制御が可能となるために、ト
ラック溝を確認するための検出エッジの誤差を信号が検
出される時間変化より見積られ、それに応じてファジー
演算部によってフィードバック量が算出される。
【0014】
【実施例】
(実施例1)次に、本発明の実施例について図面を参照
して説明する。
【0015】図1は本発明の一実施例の構成を示すブロ
ック図である。
【0016】本実施例は、半導体プロセスにより形成さ
れたトラック溝を持つAu電極を試料とする記録再生装
置を示すものである。まず、図1のブロック図における
各部の動作の説明から行なう。
【0017】探針101と試料102との間にはバイア
ス回路105により所定の電圧が印加されている。位置
制御機構であるZ方向位置制御部104は探針101の
Z方向(図面上下方向)の位置制御を行うもので、探針
101と試料102の間に上記のバイアス電圧によって
流れるトンネル電流を検出し、この値が一定となるよう
に両者間の距離を制御している。また、試料面に平行な
方向の走査を行う走査機構は、Y方向走査制御回路10
7、X方向走査制御回路108によって構成されてお
り、走査はこれらによってXYステージ103を動かす
ことにより行なわれる。
【0018】上記のバイアス電圧によって両者間を流れ
るトンネル電流はZ方向位置制御部104の他に、試料
102の記録内容を画像信号として出力する画像信号生
成部110、情報抽出部109、そして検出手段である
コンパレータ106へ送られる。
【0019】画像信号生成部110は、送られてきたト
ンネル電流信号より、試料102の表面状態に基づいた
画像データを生成してモニタ111に出力し、該モニタ
111は該画像データが示す画像を表示する。
【0020】情報抽出部109は、送られてきたトンネ
ル電流信号から、試料102に記録されている情報をデ
ジタルもしくはアナログ値で取り出す部分である。コン
パレータ106は、走査領域がトラック溝のエッジ部分
であることを示す予め設定されたリファレンス電流値V
refと測定電流値とを比較し、測定電流値がリファレン
ス電流値Vrefよりも小さくなったとき、すなわち、ト
ラック溝のエッジが検出されたときに、このことを示す
所定の幅と高さのパルス信号をホールド回路部112へ
送出する。
【0021】本実施例におけるXY方向の走査は、XY
ステージ103のY方向およびX方向のそれぞれについ
て複数取り付けられた圧電素子(不図示)に、Y方向走
査制御回路107およびX方向走査制御回路108がそ
れぞれ出力する走査電圧を印加することによって行なわ
れる。
【0022】X方向走査制御回路108が出力する走査
電圧は、コンパレータ106が出力するパルス信号のタ
イミング(トラック溝のエッジ検出のタイミング)によ
りホールド回路部112によってホールドされ、次段の
ファジー演算部113に送られる。ファジー演算部11
3は、該ホールドデータをトラッキングデータとして処
理してフィードバック量を算出するもので、ファジー演
算部113で算出されたフィードバック量はオフセット
生成部114へ送出される。オフセット生成部114で
は送られてくるフィードバック量からオフセット値を生
成し、X方向走査制御回路108が出力する走査電圧に
加える形でX方向にステージを駆動する圧電体に印加す
る。
【0023】本実施例においてはこれらのホールド回路
部112、ファジー演算部113およびオフセット生成
部114によりトラッキング機構が構成されている。
【0024】次に、ファジー演算部113の動作につい
て図2を参照して説明する。
【0025】図2は図1中のファジー演算部113の回
路構成を詳細に示す回路ブロック図である。
【0026】ファジー演算部113は図示されるよう
に、A/D変換器201、差信号生成部202、バッフ
ァメモリ203、トラッキングのリファレンス位置を電
圧値にて示す信号を出力するリファレンス位置設定回路
204、ファジー推論部205、推論ルール記憶部20
6、メンバシップ関数記憶部207、ゲイン調整回路2
08およびD/A変換器209より構成されている。
【0027】ホールド回路部112の出力はA/D変換
器201によってデジタル値に変換された後に以下のよ
うに数値演算される。
【0028】まず、差信号生成部202において、リフ
ァレンス位置設定回路204の出力信号との差信号e
(第1の差信号)を求めこれをバッファメモリ203に
記憶させるとともに、バッファメモリ203に保存され
ている前回の差信号eと今回の差信号eとの差である第
2の差信号e′を求め、ファジー推論部205へそれぞ
れ出力する。
【0029】ファジー推論部205では入力された各差
信号を、推論ルール記憶部206に記憶されている推論
ルールおよびメンバシップ関数記憶部207に記憶され
ているメンバシップ関数にあてはめてファジー推論を行
なう。ファジー推論によって得られた結果はゲイン調整
回路208に出力されて所定のゲインαをかけられた後
に、D/A変換器209によってアナログ電圧値に変換
されてオフセット生成部114へ出力される。
【0030】本実施例では図3に示すようなメンバシッ
プ関数を設定した。
【0031】図3(a)は差信号eおよび出力dに対し
て設定されたメンバシップ関数を示す図であり、図3
(b)は差信号e′に対して設定されたメンバシップ関
数を示す図である。
【0032】ここでトラッキングノイズの原因として
は、(1)温度・振動等によるドリフト、(2)エッジ
形状のばらつき、(3)Z方向フィードバックのばらつ
き、以上の3つが主に考えられる。しかしながら上記の
各場合の差信号e,e′をみると、原因(1)について
は走査周期に比べ時間的にゆっくりとしたドリフトであ
るために差信号eは小さく一定であり、差信号e′はほ
とんど生じない。原因(2)の場合には半導体プロセス
等の技術を用いて作成した溝を持つ試料電極基板では差
信号e′は不定となるが、差信号eは小さく、せいぜい
0.5nm程度のばらつきであるために原因(1)の場
合と余り大きな差はなく差信号e′はほとんど生じな
い。ところが原因(3)の場合には差信号e,e′の両
方について全く不定であり、その大きさも様々であるた
めに、これらが特に大きなものである場合にはトラッキ
ングのフィードバック系に影響を与え、不安定性の原因
となっている。以上の傾向を踏まえ、以下のような推論
ルールを設定した。
【0033】
【表1】 なお、NBはNegative Big,PBはPositive Big,NS
はNegative Small,PSはPositive Smallの略で、それ
ぞれ負の方向に大、正の方向に大、負の方向に小、正の
方向に小であることを示す。また、ZO′はゼロ近傍で
あることを意味し、
【0034】
【外1】 はゼロ近傍以外であることを意味する。
【0035】推論としては、例えばMAX−MIN合成
法を用い、非ファジー化(デファジフィケーション)に
は重心法を用いてdを算出した。
【0036】以下に本実施例の動作結果を示す。試料
は、ガラス基板上に形成されたAu薄膜上に半導体プロ
セスによって2μmのラインアンドスペースでトラッキ
ング溝を形成したものを用いた。溝の深さは約30n
m、溝の長さは30μmであった。また、走査は幅1μ
m、長さ10μmで、500Hzの速さで行なった。
【0037】まず、上記のようなファジー演算部113
のかわりに、差信号e′に所定のゲインαを単にかけた
ものでフィードバック制御を行なった場合について説明
する。
【0038】トラッキング精度はおよそ20nmとな
り、また、ゲインαが小さい場合でもフィードバックの
不安定性によって発振が見られた。半導体プロセスによ
って作られたトラック溝のエッジ形状の揺らぎ幅は、た
かだか数Åであることが電子顕微鏡などを用いた観察に
より明らかになっており、その値に比べると極めて悪い
精度であることが分かる。
【0039】そこでファジー演算部113を付加し、制
御したところ、揺らぎがおよそ0.1nmとなり、溝構
造に起因する揺らぎの大きさと同程度となり、トラッキ
ング精度が非常に向上したことを確認した。
【0040】このように本実施例の記録再生装置におい
ては、トラック溝を確認するための検出エッジの誤差を
信号が検出される時間変化より見積り、それに応じてフ
ァジー演算部によってフィードバック量を算出する機構
を有しており、それによって、トラック溝位置検出誤差
によるフィードバック系の発振等を抑え、トラッキング
制御の安定化を実現しながら、高速に探針を走査し、情
報の書き込み、読み出し、消去が可能となっている。
【0041】(実施例2)次に、この記録再生装置を使
用し、特開昭63−161552号公報および特開昭6
3−161553号公報に開示されている記録媒体であ
るAu電極上に積層されたSOAZ・ラングミュアーブ
ロジェット(LB)膜(2層膜)を試料として用い、記
録、再生および消去を行なった実施例を示す。
【0042】Au電極には実施例1で示した試料と同様
に半導体プロセスを用いて、トラック溝が形成されてい
る。この構成を用いて、XY方向に探針を1μmの幅、
10μmの長さで走査しながら、図1のブロック図に示
す構成の装置を用いてトラッキングを行ないながら、バ
イアス回路105によりバイアス電圧として波高値−6
Vおよび+1.5Vの連続したパルス波を重畳した電圧
を試料・探針間に印加することで電気的な情報の書き込
みを行なった。さらに得られるトンネル電流データか
ら、データ抽出を行ない記録情報の読み出しを複数回数
繰り返し行なった。この結果、記録情報と再生情報が一
致していることを確かめた。また、トンネル電流を画像
処理した結果から、繰り返し再生時に各画像データが誤
差わずかに0.1nmの精度で一致していることも確認
された。また加えて、試料上の記録を行なった領域に探
針が接近した時点で波高値3Vのパルス電圧をバイアス
電圧に重畳する走査を行なったところ、再生されるトン
ネル電流像及び抽出情報から、記録された情報が消去さ
れたことを確認した。
【0043】なお、上記の各実施例例では物理情報とし
てトンネル電流を測定する記録再生装置について述べた
が、それ以外に原子間力、容量、磁束や磁力などの微小
信号を用いた系においても同様に適用できる。また、デ
ジタル系のファジー制御を用いているが、より高速演算
が可能とされるアナログ演算回路を用いても良い。さら
に、メンバシップ関数として3角型を、また推論法とし
てMAX−MIN重心法を用いているが、この機構はメ
ンバシップ関数および推論ルールの定義内容や推論方法
に何ら制約を与えるものではない。例えば、メンバシッ
プ関数、推論ルールを変更することによって、アクチュ
エータである圧電体の特性(ヒステリシス・クリープ
等)を考慮した制御等にも対応できる。
【0044】
【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するような効果を奏する。
【0045】トラック溝エッジ検出誤差を高速、かつ、
簡単に抑制することができ、高精度な情報の記録・再生
・消去を高速に行うことができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の構成を示すブロック図であ
る。
【図2】図1中のファジー演算部113の回路構成を詳
細に示す回路ブロック図である。
【図3】(a)は差信号eおよび出力dに対して設定さ
れたメンバシップ関数を示す図、(b)は差信号e′に
対して設定されたメンバシップ関数を示す図である。
【符号の説明】
101 探針 102 試料 103 XYステージ 104 Z方向制御部 105 バイアス回路 106 コンパレータ 107 Y方向走査制御回路 108 X方向走査制御回路 109 情報抽出部 110 画像信号生成部 111 モニタ 112 ホールド回路部 113 ファジー演算部 114 オフセット生成部 201 A/D変換器 202 差信号生成部 203 バッファメモリ 204 リファレンス位置設定回路 205 ファジー推論部 206 推論ルール記憶部 207 メンバシップ関数記憶部 208 ゲイン調整回路 209 D/A変換器
フロントページの続き (72)発明者 山野 明彦 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 畑中 勝則 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 探針と記録媒体を平行に走査する走査機
    構と、 前記走査機構による平行走査時に探針と記録媒体との間
    に流れるトンネル電流値から得られる微細信号を検出す
    る検出手段と、 前記検出手段による検出信号の変化から、前記記録媒体
    上に形成されたトラック溝に対する探針の位置を検出
    し、これによるフィードバック制御により走査領域を移
    動するトラッキング機構とを具備する記録再生装置であ
    って、 前記トラッキング機構は、フィードバック量をファジー
    推論によって算出するためのファジー演算部を備えてい
    ることを特徴とする記録再生装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の記録再生装置において、 トラッキング機構にて行われるファジー推論が、所定の
    規準電圧値と検出信号との差である第1の差信号と、該
    第1の差信号と前回のフィードバック制御の際に求めら
    れた差信号との差である第2の差信号から行われるもの
    であり、ファジー演算部にはこれらの差信号を記憶する
    ためのバッファメモリが設けられていることを特徴とす
    る記録再生装置。
JP4127013A 1992-05-20 1992-05-20 記録再生装置 Pending JPH05325275A (ja)

Priority Applications (2)

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JP4127013A JPH05325275A (ja) 1992-05-20 1992-05-20 記録再生装置
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1986000065A1 (en) * 1984-06-11 1986-01-03 Research Cottrell, Inc. Process for treating flue gas with alkali injection and electron beam
JP2002173091A (ja) * 2000-12-08 2002-06-18 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 二浮体相対位置保持装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3579205B2 (ja) * 1996-08-06 2004-10-20 株式会社ルネサステクノロジ 半導体記憶装置、半導体装置、データ処理装置及びコンピュータシステム

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2556492B2 (ja) * 1986-12-24 1996-11-20 キヤノン株式会社 再生装置及び再生法
JP2556491B2 (ja) * 1986-12-24 1996-11-20 キヤノン株式会社 記録装置及び記録法
EP0398334B1 (en) * 1989-05-17 1994-09-21 Canon Kabushiki Kaisha Position detecting apparatus
US5287432A (en) * 1989-09-16 1994-02-15 Sony Corporation Method and apparatus for effecting fuzzy control
JP2996748B2 (ja) * 1990-02-09 2000-01-11 キヤノン株式会社 位置ずれ検出装置および方法
JP3104249B2 (ja) * 1990-10-17 2000-10-30 オムロン株式会社 フィードバック制御装置
JP2783672B2 (ja) * 1990-11-13 1998-08-06 キヤノン株式会社 情報記録及び/又は再生方法と情報記録及び/又は再生装置
JP2744359B2 (ja) * 1991-04-24 1998-04-28 キヤノン株式会社 情報再生及び/又は情報記録装置
JP2930447B2 (ja) * 1991-05-15 1999-08-03 キヤノン株式会社 情報処理装置
CA2080251C (en) * 1991-10-15 1997-12-02 Shunichi Shido Information processing apparatus with tracking mechanism
DK0554479T3 (da) * 1992-02-04 1997-11-03 Siemens Ag Fremgangsmåde til regulering af tekniske processer med flere regulatorer
US5270880A (en) * 1992-04-10 1993-12-14 International Business Machines Corporation Predictive read-write inhibit decision using fuzzy logic

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1986000065A1 (en) * 1984-06-11 1986-01-03 Research Cottrell, Inc. Process for treating flue gas with alkali injection and electron beam
DE3490720C2 (de) * 1984-06-11 1988-04-14 Cottrell Res Inc Verfahren zur Behandlung von Rauchgas mit einer Alkaliinjektion und einem Elektronenstrahl
JP2002173091A (ja) * 2000-12-08 2002-06-18 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 二浮体相対位置保持装置
JP4633919B2 (ja) * 2000-12-08 2011-02-16 三菱重工業株式会社 二浮体相対位置保持装置

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