JPH05311399A - 有機焦電圧電体の形成方法 - Google Patents
有機焦電圧電体の形成方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 耐熱性、絶縁性に優れた焦電圧電性を有する
高分子膜を基板上に簡単に形成する方法。 【構成】 基板と、該基板前方に配置された電極との間
に高電界を印加しながら真空中で２種以上の高分子膜の
原料モノマーを蒸発させ、基板上で蒸着重合中の高分子
膜に分極処理を施して焦電圧電性を有する高分子膜を形
成する方法。
高分子膜を基板上に簡単に形成する方法。 【構成】 基板と、該基板前方に配置された電極との間
に高電界を印加しながら真空中で２種以上の高分子膜の
原料モノマーを蒸発させ、基板上で蒸着重合中の高分子
膜に分極処理を施して焦電圧電性を有する高分子膜を形
成する方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、赤外線センサー、圧力
センサー、超音波トランスジュサー、非線形光学材料等
にその焦電性や圧電性を利用して用いる有機焦電圧電体
の形成方法に関する。
センサー、超音波トランスジュサー、非線形光学材料等
にその焦電性や圧電性を利用して用いる有機焦電圧電体
の形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、基板上に積層状に配設された例え
ばアルミニウムから成る対向電極間に分極処理（ポーリ
ング処理ともいう）が施されたポリ尿素から成るポリマ
ー膜を介在させた有機焦電圧電体の製造方法としては、
真空中で、基板上に下部電極、ポリ尿素膜、上部電極の
順に積層して積層体に形成し、或いは更にこの積層工程
を複数回行なって多層構造の積層体に形成する。
ばアルミニウムから成る対向電極間に分極処理（ポーリ
ング処理ともいう）が施されたポリ尿素から成るポリマ
ー膜を介在させた有機焦電圧電体の製造方法としては、
真空中で、基板上に下部電極、ポリ尿素膜、上部電極の
順に積層して積層体に形成し、或いは更にこの積層工程
を複数回行なって多層構造の積層体に形成する。
【０００３】そして、該積層体を大気中、或いは例えば
窒素ガス雰囲気中でポリマー膜の上下の電極間に例えば
１００ＭＶ／ｍの電界を印加した状態で室温からガラス
転移点以上の温度まで昇温し、一定時間該温度をを保持
した後、室温まで降温してポリマー膜に分極処理を施す
方法、或いは基板（導電性を付与してある）上にポリマ
ー膜を成膜後、大気中、或いは例えば窒素ガス雰囲気中
で基板と針間に例えば１０ＫＶ／ｃｍの電界を印加した
状態で室温からガラス転移点以上の温度まで昇温し、一
定時間該温度を保持した後、室温まで降温してポリマー
膜に分極処理を施すコロナポーリング法が知られてい
る。
窒素ガス雰囲気中でポリマー膜の上下の電極間に例えば
１００ＭＶ／ｍの電界を印加した状態で室温からガラス
転移点以上の温度まで昇温し、一定時間該温度をを保持
した後、室温まで降温してポリマー膜に分極処理を施す
方法、或いは基板（導電性を付与してある）上にポリマ
ー膜を成膜後、大気中、或いは例えば窒素ガス雰囲気中
で基板と針間に例えば１０ＫＶ／ｃｍの電界を印加した
状態で室温からガラス転移点以上の温度まで昇温し、一
定時間該温度を保持した後、室温まで降温してポリマー
膜に分極処理を施すコロナポーリング法が知られてい
る。
【０００４】また、ポリマー膜の出発原料としてポリフ
ッ化ビニリデン系の高分子材料を用い、該高分子材料を
真空中で所定温度に加温された金属製基板またはＡｕ、
Ａｌ等を蒸着したガラス基板（導電性を付与してある）
と針状または網状電極の間に例えば１０ＫＶ／ｃｍの電
界を印加した状態で該高分子原料を蒸発させて、基板上
に蒸着して直接ポリマー膜を形成する方法（電場アシス
トまたは電場中蒸着法）が知られている。
ッ化ビニリデン系の高分子材料を用い、該高分子材料を
真空中で所定温度に加温された金属製基板またはＡｕ、
Ａｌ等を蒸着したガラス基板（導電性を付与してある）
と針状または網状電極の間に例えば１０ＫＶ／ｃｍの電
界を印加した状態で該高分子原料を蒸発させて、基板上
に蒸着して直接ポリマー膜を形成する方法（電場アシス
トまたは電場中蒸着法）が知られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記方
法のうち、分極処理を施す方法の場合は、真空中で基板
上に下部電極、ポリマー膜、上部電極の順に積層して積
層体に形成、或いは更にみの積層工程を複数回行なって
多層構造の積層体に形成した後、真空室から電極とポリ
マー膜の積層体を一旦取り出した後、ポリマー膜に分極
処理を施すため、一つの基板上に複数のポリマー膜を複
数の対向電極間に介在させて配設された積層体を製造す
る際、夫々の電極の全てから引出し電極を配線した後、
ポリマー膜に一度に分極処理を施すため、複数のポリマ
ー膜のうちのいずれか１層が引出し電極の配線時に導電
した場合には全てのポリマー膜に分極処理を施すことが
出来ないという問題があり、また、ポリマー膜への導電
を防止するために複数のポリマー膜に対してその膜形成
毎に分極処理を施す場合は、ポリマー膜への分極処理に
長時間要して生産性が低いという問題がある。
法のうち、分極処理を施す方法の場合は、真空中で基板
上に下部電極、ポリマー膜、上部電極の順に積層して積
層体に形成、或いは更にみの積層工程を複数回行なって
多層構造の積層体に形成した後、真空室から電極とポリ
マー膜の積層体を一旦取り出した後、ポリマー膜に分極
処理を施すため、一つの基板上に複数のポリマー膜を複
数の対向電極間に介在させて配設された積層体を製造す
る際、夫々の電極の全てから引出し電極を配線した後、
ポリマー膜に一度に分極処理を施すため、複数のポリマ
ー膜のうちのいずれか１層が引出し電極の配線時に導電
した場合には全てのポリマー膜に分極処理を施すことが
出来ないという問題があり、また、ポリマー膜への導電
を防止するために複数のポリマー膜に対してその膜形成
毎に分極処理を施す場合は、ポリマー膜への分極処理に
長時間要して生産性が低いという問題がある。
【０００６】また、前記方法のうち、コロナポーリング
法の場合は、前記方法と異なり、一度に全てのポリマー
膜に分極処理を施すことが出来るが、成膜後に真空室か
ら積層体を取り出し、これに分極処理を施した後、最外
側のポリマー膜上に上部電極を蒸着等の手段により取付
けなければならないため、分極処理工程の前後にポリマ
ー膜に粉塵が付着しやすく、粉塵が付着した焦電圧電体
はポリマー膜に絶縁破壊を起こしやすく、有機焦電圧電
体の製品の歩留まりが低下するという問題がある。
法の場合は、前記方法と異なり、一度に全てのポリマー
膜に分極処理を施すことが出来るが、成膜後に真空室か
ら積層体を取り出し、これに分極処理を施した後、最外
側のポリマー膜上に上部電極を蒸着等の手段により取付
けなければならないため、分極処理工程の前後にポリマ
ー膜に粉塵が付着しやすく、粉塵が付着した焦電圧電体
はポリマー膜に絶縁破壊を起こしやすく、有機焦電圧電
体の製品の歩留まりが低下するという問題がある。
【０００７】また、前記方法のうち、電場中蒸着法の場
合は、基板上に形成されたポリマー膜は焦電圧電性は有
するものの耐熱性、絶縁性が低く、焦電圧電体としての
実用性に問題がある。
合は、基板上に形成されたポリマー膜は焦電圧電性は有
するものの耐熱性、絶縁性が低く、焦電圧電体としての
実用性に問題がある。
【０００８】本発明はかかる問題点を解消し、耐熱性、
絶縁性に優れた焦電圧電性を有する高分子膜を極めて簡
単に基板上に形成することが出来る有機焦電圧電体の形
成方法を提供することを目的とする。
絶縁性に優れた焦電圧電性を有する高分子膜を極めて簡
単に基板上に形成することが出来る有機焦電圧電体の形
成方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の有機焦電圧電体
の形成方法は、基板上に積層状に配設された対向電極間
に分極処理された高分子膜を介在させた有機焦電圧電体
の形成方法において、基板前方に配置された針状、線
状、或いは網状の電極と、基板との間に高電界を印加し
ながら真空中で２種以上の高分子膜の原料モノマーを蒸
発させ、基板上で蒸着重合させて分極処理された高分子
膜を形成することを特徴とする。また、前記高分子膜を
ポリ尿素としてもよいし、またはポリアミドとしてもよ
い。
の形成方法は、基板上に積層状に配設された対向電極間
に分極処理された高分子膜を介在させた有機焦電圧電体
の形成方法において、基板前方に配置された針状、線
状、或いは網状の電極と、基板との間に高電界を印加し
ながら真空中で２種以上の高分子膜の原料モノマーを蒸
発させ、基板上で蒸着重合させて分極処理された高分子
膜を形成することを特徴とする。また、前記高分子膜を
ポリ尿素としてもよいし、またはポリアミドとしてもよ
い。
【００１０】
【作用】真空中で２種以上の高分子膜の原料モノマーを
蒸発させると、原料モノマーの蒸気が基板上に蒸着し、
重合により基板上に高分子膜が形成される。その際、高
電界がない場合は基板上に形成される高分子膜となるポ
リ尿素、ポリアミド中の双極子（ポリ尿素の場合は尿素
結合、ポリアミドの場合はアミド結合）は任意の方向を
向いているために形成された高分子膜に分極処理が必要
である。
蒸発させると、原料モノマーの蒸気が基板上に蒸着し、
重合により基板上に高分子膜が形成される。その際、高
電界がない場合は基板上に形成される高分子膜となるポ
リ尿素、ポリアミド中の双極子（ポリ尿素の場合は尿素
結合、ポリアミドの場合はアミド結合）は任意の方向を
向いているために形成された高分子膜に分極処理が必要
である。
【００１１】本発明では基板上への高分子膜の原料モノ
マーの蒸着重合時に高電界が存在するから、蒸着重合と
同時に形成される高分子膜に双極子の配向が起こり、そ
の結果、形成された高分子膜に焦電圧電性が生じる。
マーの蒸着重合時に高電界が存在するから、蒸着重合と
同時に形成される高分子膜に双極子の配向が起こり、そ
の結果、形成された高分子膜に焦電圧電性が生じる。
【００１２】
【実施例】以下添付図面にしたがって本発明の実施例に
ついて説明する。図１は本発明方法を実施する装置の１
例を示すもので、図中、１は真空処理室を示す。該真空
処理室１内を外部の真空ポンプその他の真空排気系２に
接続すると共に、真空処理室１内の上方に焦電圧電体の
蒸着膜を形成せしめるべき基板３を２本のレールから成
る基板ホルダー４に保持するようにした。
ついて説明する。図１は本発明方法を実施する装置の１
例を示すもので、図中、１は真空処理室を示す。該真空
処理室１内を外部の真空ポンプその他の真空排気系２に
接続すると共に、真空処理室１内の上方に焦電圧電体の
蒸着膜を形成せしめるべき基板３を２本のレールから成
る基板ホルダー４に保持するようにした。
【００１３】また、真空処理室１内の下方に前記基板３
に対向させて焦電圧電体の高分子膜の一方の原料モノマ
ーＡ（ポリ尿素の場合はジアミン、ポリアミドの場合は
ジアミン）、および他方の原料モノマーＢ（ポリ尿素の
場合はジイソシアナート、ポリアミドの場合はジクロラ
イト）をその周囲に巻回したヒーター５で夫々所定温度
に加熱し、蒸発させるためのガラス製、或いは銅製容器
から成る蒸発源６，６を配設した。
に対向させて焦電圧電体の高分子膜の一方の原料モノマ
ーＡ（ポリ尿素の場合はジアミン、ポリアミドの場合は
ジアミン）、および他方の原料モノマーＢ（ポリ尿素の
場合はジイソシアナート、ポリアミドの場合はジクロラ
イト）をその周囲に巻回したヒーター５で夫々所定温度
に加熱し、蒸発させるためのガラス製、或いは銅製容器
から成る蒸発源６，６を配設した。
【００１４】また、基板３の前面に基板３より３〜１０
ｍｍ程度の間隔を存してタンタル製或いはチタン製の針
状の電極７を配設し、該電極７と基板ホルダー４を電源
８を介して接続した。そして、基板ホルダー４に保持さ
れた基板３と電極７との間に３〜１０ＫＶの電圧を印加
して両者３，７間に高電界を生じせしめ、基板３上に前
記蒸発源６で加熱され蒸発する原料モノマーＡ，Ｂの蒸
気の蒸着、重合中に分極処理を施して双極子が一定方向
に配向された高分子膜の有機焦電圧電体を得るようにし
た。
ｍｍ程度の間隔を存してタンタル製或いはチタン製の針
状の電極７を配設し、該電極７と基板ホルダー４を電源
８を介して接続した。そして、基板ホルダー４に保持さ
れた基板３と電極７との間に３〜１０ＫＶの電圧を印加
して両者３，７間に高電界を生じせしめ、基板３上に前
記蒸発源６で加熱され蒸発する原料モノマーＡ，Ｂの蒸
気の蒸着、重合中に分極処理を施して双極子が一定方向
に配向された高分子膜の有機焦電圧電体を得るようにし
た。
【００１５】図中、９は基板３と両蒸発源６の間に介在
されるシャッター、１０は両蒸発源６の間に設けた仕切
板を示す。
されるシャッター、１０は両蒸発源６の間に設けた仕切
板を示す。
【００１６】尚、図示例装置では電極７は針状とした
が、本発明ではこれに限定されるものではなく、電極７
を線状或いは網状としてもよい。
が、本発明ではこれに限定されるものではなく、電極７
を線状或いは網状としてもよい。
【００１７】次に前記図示装置を用いて、本発明方法の
有機焦電圧電体の形成方法の具体的実施例を説明する。
有機焦電圧電体の形成方法の具体的実施例を説明する。
【００１８】実施例１ 本実施例では基板３は５０ｍｍ角、厚さ０．２ｍｍのＴ
ｉ箔を用い、基板３と電極（針状）７との間隔を１０ｍ
ｍとし、両者３，７間に６００ＫＶ／ｍの電圧を加えて
６ＫＶの電界を印加するようにした。
ｉ箔を用い、基板３と電極（針状）７との間隔を１０ｍ
ｍとし、両者３，７間に６００ＫＶ／ｍの電圧を加えて
６ＫＶの電界を印加するようにした。
【００１９】先ず、真空処理室１内の一方の蒸発源６に
高分子膜の一方の原料モノマーＡとして１，９−ジアミ
ノノナンを、他方の蒸発源６に高分子膜の他方の原料モ
ノマーＢとして１，９−ジイソシアナートノナンを夫々
充填し、シャッター９を閉じた状態で真空処理室１内の
圧力を真空排気系２により１×１０- 6Torrに設定し
た。次に、１，９−ジアミノノナンを蒸発源６で３０±
０．５℃に、また、１，９−ジイソシアナートノナンを
蒸発源６で５０±０．５℃に夫々加熱した。
高分子膜の一方の原料モノマーＡとして１，９−ジアミ
ノノナンを、他方の蒸発源６に高分子膜の他方の原料モ
ノマーＢとして１，９−ジイソシアナートノナンを夫々
充填し、シャッター９を閉じた状態で真空処理室１内の
圧力を真空排気系２により１×１０- 6Torrに設定し
た。次に、１，９−ジアミノノナンを蒸発源６で３０±
０．５℃に、また、１，９−ジイソシアナートノナンを
蒸発源６で５０±０．５℃に夫々加熱した。
【００２０】次いで、原料モノマーＡおよび原料モノマ
ーＢが所定温度に達した時点で、シャッター９を開き、
原料モノマーＡ，Ｂを３０Å／ｍｉｎの析出速度で蒸発
させて基板３上に蒸着させると共に、前記電界を印加し
ながら蒸着物に重付加を起こさせて厚さ５０００Åのポ
リ尿素膜を形成した。
ーＢが所定温度に達した時点で、シャッター９を開き、
原料モノマーＡ，Ｂを３０Å／ｍｉｎの析出速度で蒸発
させて基板３上に蒸着させると共に、前記電界を印加し
ながら蒸着物に重付加を起こさせて厚さ５０００Åのポ
リ尿素膜を形成した。
【００２１】尚、原料モノマーＡ，Ｂは化学量論的にポ
リ尿素膜が形成されるように蒸発量の調整によって１：
１のモル比で蒸発するようにした。また、原料モノマー
Ａ，Ｂの蒸発時における真空処理室１内の圧力は２×１
０- 5Torrとした。また、ポリ尿素膜形成中は、真空処
理室１を冷却水で冷却し＋１０℃に維持した。その際の
基板３の温度は＋５℃であった。
リ尿素膜が形成されるように蒸発量の調整によって１：
１のモル比で蒸発するようにした。また、原料モノマー
Ａ，Ｂの蒸発時における真空処理室１内の圧力は２×１
０- 5Torrとした。また、ポリ尿素膜形成中は、真空処
理室１を冷却水で冷却し＋１０℃に維持した。その際の
基板３の温度は＋５℃であった。
【００２２】ポリ尿素膜を形成後、該ポリ尿素膜上に電
子ビーム蒸着法でアルミニウムを蒸着（厚さ５００Å）
してこれを上部電極とした。そして、Ｔｉ（基板３）お
よびアルミニウム電極から夫々リード線を引き出し、焦
電性を調べたところ、１．０×１０- 5Ｃ／ｍ2Ｋの焦電
率を示しており、１００℃まで安定した特性が得られて
実用的に何ら問題がないことが確認された。 実施例２ 本実施例では基板３は５０ｍｍ角、厚さ０．２ｍｍのＴ
ｉ箔を用い、基板３と電極（針状）７との間隔を１０ｍ
ｍとし、両者３，７間に６００ＫＶ／ｍの電圧を加えて
６ＫＶの電界を印加するようにした。
子ビーム蒸着法でアルミニウムを蒸着（厚さ５００Å）
してこれを上部電極とした。そして、Ｔｉ（基板３）お
よびアルミニウム電極から夫々リード線を引き出し、焦
電性を調べたところ、１．０×１０- 5Ｃ／ｍ2Ｋの焦電
率を示しており、１００℃まで安定した特性が得られて
実用的に何ら問題がないことが確認された。 実施例２ 本実施例では基板３は５０ｍｍ角、厚さ０．２ｍｍのＴ
ｉ箔を用い、基板３と電極（針状）７との間隔を１０ｍ
ｍとし、両者３，７間に６００ＫＶ／ｍの電圧を加えて
６ＫＶの電界を印加するようにした。
【００２３】先ず、真空処理室１内の一方の蒸発源６に
高分子膜の一方の原料モノマーＡとして１，９−ジアミ
ノノナンを、他方の蒸発源６に高分子膜の他方の原料モ
ノマーＢとして１，９−ジクロライドノナンを夫々充填
し、シャッター９を閉じた状態で真空処理室１内の圧力
を真空排気系２により１×１０- 6Torrに設定した。次
に、１，９−ジアミノノナンを蒸発源６で３０±０．５
℃に、また、１，９−ジクロライドノナンを蒸発源６で
２５±０．５℃に夫々加熱した。
高分子膜の一方の原料モノマーＡとして１，９−ジアミ
ノノナンを、他方の蒸発源６に高分子膜の他方の原料モ
ノマーＢとして１，９−ジクロライドノナンを夫々充填
し、シャッター９を閉じた状態で真空処理室１内の圧力
を真空排気系２により１×１０- 6Torrに設定した。次
に、１，９−ジアミノノナンを蒸発源６で３０±０．５
℃に、また、１，９−ジクロライドノナンを蒸発源６で
２５±０．５℃に夫々加熱した。
【００２４】次いで、原料モノマーＡおよび原料モノマ
ーＢが所定温度に達した時点で、シャッター９を開き、
原料モノマーＡ，Ｂを２０Å／ｍｉｎの蒸発量で蒸発さ
せて基板３上に蒸着させると共に、前記電界を印加しな
がら蒸着物に重縮合を起こさせて厚さ５０００Åのポリ
アミド膜を形成した。
ーＢが所定温度に達した時点で、シャッター９を開き、
原料モノマーＡ，Ｂを２０Å／ｍｉｎの蒸発量で蒸発さ
せて基板３上に蒸着させると共に、前記電界を印加しな
がら蒸着物に重縮合を起こさせて厚さ５０００Åのポリ
アミド膜を形成した。
【００２５】尚、原料モノマーＡ，Ｂは化学量論的にポ
リ尿素膜が形成されるように蒸発量の調整によって１：
１のモル比で蒸発するようにした。また、原料モノマー
Ａ，Ｂの蒸発時における真空処理室１内の圧力は４×１
０- 5Torrとした。ポリアミド形成中は、真空処理室１
を冷却水で冷却し＋１０℃に維持した。その際の基板３
の温度は＋５℃であった。
リ尿素膜が形成されるように蒸発量の調整によって１：
１のモル比で蒸発するようにした。また、原料モノマー
Ａ，Ｂの蒸発時における真空処理室１内の圧力は４×１
０- 5Torrとした。ポリアミド形成中は、真空処理室１
を冷却水で冷却し＋１０℃に維持した。その際の基板３
の温度は＋５℃であった。
【００２６】ポリアミド膜を形成後、該ポリアミド膜上
に電子ビーム蒸着法でアルミニウムを蒸着（厚さ５００
Å）してこれを上部電極とした。そして、Ｔｉ（基板
３）およびアルミニウム電極から夫々リード線を引き出
し、焦電性を調べたところ、０．５×１０- 5Ｃ／ｍ2Ｋ
の焦電率を示しており、１００℃まで安定した特性が得
られて実用的に何ら問題がないことが確認された。
に電子ビーム蒸着法でアルミニウムを蒸着（厚さ５００
Å）してこれを上部電極とした。そして、Ｔｉ（基板
３）およびアルミニウム電極から夫々リード線を引き出
し、焦電性を調べたところ、０．５×１０- 5Ｃ／ｍ2Ｋ
の焦電率を示しており、１００℃まで安定した特性が得
られて実用的に何ら問題がないことが確認された。
【００２７】
【発明の効果】このように本発明法によるときは、基板
上への高分子膜の原料モノマーの蒸着、重合を高電界の
存在下で行うようにしたので、蒸着重合と同時に形成さ
れる高分子膜に双極子の配向が起こって耐熱性、絶縁性
に優れた焦電圧電性を有する高分子膜を容易にかつ効率
よく形成することが出来る効果がある。
上への高分子膜の原料モノマーの蒸着、重合を高電界の
存在下で行うようにしたので、蒸着重合と同時に形成さ
れる高分子膜に双極子の配向が起こって耐熱性、絶縁性
に優れた焦電圧電性を有する高分子膜を容易にかつ効率
よく形成することが出来る効果がある。
【図１】 本発明有機焦電圧電体の形成方法を実施する
ための装置の１例の説明線図。
ための装置の１例の説明線図。
１ 真空処理室、 ３ 基板、 ７ 電極。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｊ 5/02 Ｐ 8909−2Ｇ Ｈ０１Ｌ 37/02 9276−4Ｍ
Claims (3)
- 【請求項１】 基板上に積層状に配設された対向電極間
に分極処理された高分子膜を介在させた有機焦電圧電体
の形成方法において、基板前方に配置された針状、線
状、或いは網状の電極と、基板との間に高電界を印加し
ながら真空中で２種以上の高分子膜の原料モノマーを蒸
発させ、基板上で蒸着重合させて分極処理された高分子
膜を形成することを特徴とする有機焦電圧電体の形成方
法。 - 【請求項２】 前記高分子膜がジアミンとジイソシアナ
ートからの重付加によるポリ尿素であることを特徴とす
る請求項第１項に記載の有機焦電圧電体の形成方法。 - 【請求項３】 前記高分子膜がジアミンとジクロライト
からの重縮合によるポリアミドであることを特徴とする
請求項第１項に記載の有機焦電圧電体の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11921292A JPH05311399A (ja) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | 有機焦電圧電体の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11921292A JPH05311399A (ja) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | 有機焦電圧電体の形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05311399A true JPH05311399A (ja) | 1993-11-22 |
Family
ID=14755720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11921292A Pending JPH05311399A (ja) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | 有機焦電圧電体の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05311399A (ja) |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007111092A1 (ja) | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 透明バリア性シートおよび透明バリア性シートの製造方法 |
| WO2007111076A1 (ja) | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | 透明バリア性シートおよび透明バリア性シートの製造方法 |
| WO2007129643A1 (ja) * | 2006-05-09 | 2007-11-15 | Japan Advanced Institute Of Science And Technology | 有機半導体材料を用いた電界効果トランジスタおよびその製造方法 |
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| JP2008019301A (ja) * | 2006-07-11 | 2008-01-31 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | 圧電性合成樹脂膜の形成方法 |
| WO2008129925A1 (ja) * | 2007-04-16 | 2008-10-30 | Ulvac, Inc. | ポリユリア膜及びその成膜方法 |
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| US8840559B2 (en) | 2008-03-14 | 2014-09-23 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Organic piezoelectric material, ultrasonic oscillator using the material, method for manufacturing the ultrasonic oscillator, ultrasonic probe, and ultrasonic medical diagnostic imaging device |
| US8968591B2 (en) | 2009-05-25 | 2015-03-03 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Organic piezoelectric material, ultrasound transducer, ultrasound probe, and ultrasound medical diagnostic imaging system |
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| WO2017069221A1 (ja) * | 2015-10-22 | 2017-04-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 膜形成装置及び膜形成方法 |
-
1992
- 1992-05-12 JP JP11921292A patent/JPH05311399A/ja active Pending
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| WO2017069221A1 (ja) * | 2015-10-22 | 2017-04-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 膜形成装置及び膜形成方法 |
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