JP5407871B2 - 有機圧電材料、その製造方法、それを用いた超音波振動子及び超音波探触子 - Google Patents

Description

本発明は、ポリウレアとマクロモノマー用いて形成された樹脂組成物、有機圧電材料、その製造方法、それを用いた超音波振動子及び超音波探触子に関する。

詳しくは、例えば、マイクロホン、スピーカー用の振動板等の音響機器、各種熱センサー、圧力センサー、赤外性検出器等の測定機器、超音波探蝕子、遺伝子やタンパク等の変異を高感度に検出する振動センサー等、熱や機械刺激を電気エネルギーに変換するために用いることができる圧電性や焦電性を持つ有機圧電材料に関する。

圧焦電体としては、水晶、ＬｉＮｂＯ₃、ＬｉＴａＯ₃、ＫＮｂＯ₃などの単結晶、ＺｎＯ、ＡｌＮなどの薄膜、Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ₃系などの焼結体を分極処理した、いわゆる無機圧電材料が広く利用されている。しかしながら、これら無機材質の圧電材料は、弾性スティフネスが高く、機械的損失係数が高い、密度が高く誘電率も高いなどの特徴を持っている。

一方でポリフッ化ビニリデン（以下「ＰＶＤＦ」と略す。）、ポリシアノビニリデン（以下「ＰＶＤＣＮ」と略す。）等の有機圧電材料も開発されている（特許文献１参照）。この有機圧電材料は、薄膜化、大面積化等の加工性に優れ、任意の形状、形態の物が作ることができ、弾性率が低い、誘電率が低い等の特徴を持つため、センサーとしての使用を考えたときに、高感度な検出を可能とする特徴を持っている。一方で有機圧電材料は、耐熱性が低く高い温度ではその圧焦電特性を失うほか、弾性スティフネスなどの物性も大きく減じるため使用できる温度域に限界があった。

このような限界に対して、ウレア結合から構成されるポリウレア樹脂組成物は、ウレア結の双極子モーメントが大きく、樹脂としての温度特性に優れるため、有機圧電材料として種々の検討が行われてきた。例えば、４，４’−ジフェニルメタンジイソシアネート（ＭＤＩ）のようなジイソシアネート化合物と４，４’−ジアミノジフェニルメタン（ＭＤＡ）のようなジアミン化合物を同時に蒸発させてポリ尿素膜を形成する、いわゆる蒸着重合法が開示されている（特許文献２及び特許文献３参照）。しかしながら、これらに記載されている蒸着重合法で作製するポリウレア樹脂組成物は、生成するオリゴマー又は高分子量体の分子量が不均一であるため、分極処理を施しながら高分子量化を行った場合、配向が十分でない状態でポリウレア樹脂組成物が形成される。このため、ウレア結合の双極子モーメントを十分に活用できず、有機圧電材料としては、更なる改善が求められていた。

一方、溶液重合法で重合度の高いポリウレア樹脂組成物を合成した場合、生成した樹脂組成物は弾性率が低く、強固な樹脂となってしまうため、膜物性や取り扱い性の改善が求められていた。
特開平６−２１６４２２号公報 特開平２−２８４４８５号公報 特開平５−３１１３９９号公報

本発明は、上記問題・状況に鑑みてなされたものであり、その解決課題は、優れた圧電性を有する有機圧電体膜を形成するための樹脂組成物及び有機圧電材料とその製造方法を提供することである。また、当該樹脂組成物又は有機圧電材料を用いて形成された有機圧電体膜を用いた超音波振動子及び超音波探触子を提供することである。

本発明に係る上記課題は、下記の手段により解決される。

１．ウレア結合、ウレタン結合、エステル結合、エーテル結合又はアミド結合から選ばれる少なくとも２種の結合を有するマクロモノマーとポリウレアの重合反応により形成されたことを特徴とする有機圧電材料。

２．前記ポリウレアが、芳香族縮環構造を有することを特徴とする前記１に記載の有機圧電材料。

３．前記マクロモノマーが、芳香族縮環構造を有することを特徴とする前記１又は２に記載の有機圧電材料。

４．前記マクロモノマーの化学構造において、末端がイソシアナート基であることを特徴とする前記１から３のいずれか一項に記載の有機圧電材料。

５．前記マクロモノマーの化学構造において、末端が活性水素を有する基であることを特徴とする前記１から３のいずれか一項に記載の有機圧電材料。

６．前記１〜５のいずれか一項に記載の有機圧電材料の製造方法であって、ウレア結合、ウレタン結合、エステル結合、エーテル結合又はアミド結合から選ばれる少なくとも２つの結合を有するマクロモノマーとポリウレアを重合させることを特徴とする有機圧電材料の製造方法。

７．前記１から５のいずれか一項に記載の有機圧電材料の製造方法であって、前記マクロモノマーとポリウレアを基板上に塗布した後、加熱により重合させることを特徴とする有機圧電材料の製造方法。

８．前記１から５のいずれか一項に記載の有機圧電材料の製造方法であって、前記マクロモノマーとポリウレアの重合反応により形成された樹脂を含有するポリウレア樹脂組成物を基板上に塗布することを特徴とする有機圧電材料の製造方法。

９．前記１から５のいずれか一項に記載の有機圧電材料を用いたことを特徴とする超音波振動子。

１０．超音波送信用振動子と超音波受信用振動子を具備する超音波探触子であって、前記１から５のいずれか一項に記載の有機圧電材料を用いた超音波振動子を超音波受信用振動子として具備したことを特徴とする超音波探触子。

本発明の上記手段により、優れた圧電性を有する有機圧電体膜を形成するための樹脂組成物及び有機圧電材料とその製造方法を提供することである。また、当該樹脂組成物又は有機圧電材料を用いて形成された有機圧電体膜を用いた超音波振動子及び超音波探触子を提供することである。

超音波医用画像診断装置の主要部の構成を示す概念図

符号の説明

１ 受信用圧電材料（膜）
２ 支持体
３ 送信用圧電材料（膜）
４ バッキング層
５ 電極
６ 音響レンズ

本発明のポリウレア樹脂組成物及び有機圧電材料は、ウレア結合、ウレタン結合、エステル結合、エーテル結合又はアミド結合から選ばれる少なくとも２種の結合を有するマクロモノマーとポリウレアの重合反応により形成された樹脂を含有する樹脂組成物又は有機圧電材料であることを特徴とする。この特徴は、請求の範囲第１項から第１１項に係る発明に共通する技術的特徴である。

なお、本願において、「マクロモノマー」とは、分子鎖の末端の少なくとも一箇所に、イソシアネート基、活性水素を有する基等の重合可能な官能基を有し、ウレア結合、ウレタン結合、エステル結合、エーテル結合及びアミド結合から選ばれる２種以上の結合を有する化合物のことをいう。

本発明の実施態様としては、前記ポリウレアが、芳香族縮環構造を有する態様であることが好ましい。また、前記マクロモノマーが、芳香族縮環構造を有する態様であることが好ましい。更に、当該マクロモノマーの化学構造において、末端がイソシアナート基であること、又は末端が活性水素を有する基であることが好ましい。

本発明の有機圧電材料の製造方法としては、ウレア結合、ウレタン結合、エステル結合、エーテル結合又はアミド結合から選ばれる少なくとも２つの結合を有するマクロモノマーとポリウレアを重合させる製造方法であることが好ましい。また、当該製造方法において、前記マクロモノマーとポリウレアを基板上に塗布した後、加熱により重合させる方法であること、又は前記マクロモノマーとポリウレアの重合反応により形成された樹脂を含有する樹脂組成物を基板上に塗布する方法であることが好ましい。

なお、本発明の有機圧電材料は、有機圧電体膜として、超音波振動子に好適に用いることができる。更には、超音波送信用振動子と超音波受信用振動子を具備する超音波探触子において、当該超音波振動子を超音波受信用振動子として好適に用いることができる。

以下、本発明とその構成要素、及び本発明を実施するための最良の形態・態様等について詳細な説明をする。

（ポリウレア）
本発明の有機圧電材料に使用するポリウレアは、ポリイソシアネートとポリアミンを重縮合させることにより得ることができる。

又、ポリアミンを原料として用い、特開昭６１−２０３１２９号公報及び特開昭６１−２０３１３０号公報に記載の方法でポリウレアを合成しても良い。

原料となるポリイソシアネートは、例えば、１，３−ビス（イソシアナトメチル）シクロヘキサン、ジイソシアン酸イソホロン、トリメチレンジイソシアネート、テトラメチレンジイソシアネート、ペンタメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、１，３−シクロペンタンジイソシアネート、９Ｈ−フルオレン−２，７−ジイソシアネート、９Ｈ−フルオレン−９−オン−２，７−ジイソシアネート、４，４’−ジフェニルメタンジイソシアナート、１，３−フェニレン ジイソシアナート、トリレン−２，４−ジイソシアナート、トリレン−２，６−ジイソシアナート、１，３−ビス（イソシアナトメチル）シクロヘキサン、２，２−ビス（４−イソシアナトフェニル）ヘキサフルオロプロパン、１，５−ジイソシアナトナフタレン等が挙げられる。

原料となるポリアミンとしては、例えば、２，７−ジアミノ−９Ｈ−フルオレン、３，６−ジアミノアクリジン、アクリフラビン、アクリジンイエロー、２，２−ビス（４−アミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン、４，４’−ジアミノベンゾフェノン、ビス（４−アミノフェニル） スルホン、４，４’−ジアミノジフェニルエーテル、ビス（４−アミノフェニル） スルフィド、１，１−ビス（４−アミノフェニル）シクロヘキサン、４，４’−ジアミノジフェニルメタン、３，３’−ジアミノジフェニルメタン、３，３’−ジアミノベンゾフェノン、４，４’−ジアミノ−３，３’−ジメチルジフェニルメタン、４−（フェニルジアゼニル）ベンゼン−１，３−ジアミン、１，５−ジアミノナフタレン、１，３−フェニレンジアミン、２，４−ジアミノトルエン、２，６−ジアミノトルエン、１，８−ジアミノナフタレン、１，３−ジアミノプロパン、１，３−ジアミノペンタン、２，２−ジメチル−１，３−プロパンジアミン、１，５−ジアミノペンタン、２−メチル−１，５−ジアミノペンタン、１，７−ジアミノヘプタン、Ｎ，Ｎ−ビス（３−アミノプロピル）メチルアミン、１，３−ジアミノ−２−プロパノール、ジエチレン グリコール ビス（３−アミノプロピル） エーテル、ｍ−キシリレンジアミン、テトラエチレンペンタミン、１，３−ビス（アミノメチル）シクロヘキサン、ベンゾグアナミン、２，４−ジアミノ−１，３，５−トリアジン、２，４−ジアミノ−６−メチル−１，３，５−トリアジン、６−クロロ−２，４−ジアミノピリミジン、２−クロロ−４，６−ジアミノ−１，３，５−トリアジン等が挙げられる。これらのポリアミンにホスゲン又はトリホスゲンを反応させて、ポリイソシアネートを合成し、原料として用いても良い。

ポリイソシアネートとポリアミンとの反応は、溶液重合、蒸着重合又は無溶媒下で重合を行っても良いが、溶液重合又は無溶媒下での重合が好ましい。

ポリイソシアネートとポリアミンの重合において、重合時のモル比が等モルの場合、重合度が高くなり、溶媒への溶解性が著しく低下するため、マクロモノマーとの反応が十分に進行しなくなる場合がある。このため、ポリアミン又はポリイソシアネートのどちらか一方が過剰な系で反応を行うことが好ましく、他方の原料に対して、一方が１．５倍モル〜１０倍モルが好ましく、更に好ましくは２．０倍モル〜５倍モルである。この時、原料として、過剰なポリイソシアネートを用いた場合は、主な末端基がイソシアネート基であるポリウレアを得ることができる。一方、原料として、過剰なポリアミンを用いた場合は、主な末端基がアミノ基であるポリウレアを得ることができる。

反応に用いる溶媒は、目的のポリウレアが高極性であることと、重合を効率的に進行させるため、高極性溶媒を用いる必要がある。例えば、ＤＭＦ（Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド）、ＤＭＡｃ（Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド）、ＤＭＳＯ（ジメチルスルホキシド）、ＮＭＰ（Ｎ−メチルピロリドン）等の高極性非プロトン溶媒を選択することが好ましいが、反応基質及び目的物が良好に溶解しさえすればシクロヘキサン、ペンタン、ヘキサン等の脂肪族炭化水素類、ベンゼン、トルエン、クロロベンゼン等の芳香族炭化水素類、ＴＨＦ（テトラヒドロフラン）、ジエチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル等のエーテル類、アセトン、メチルエチルケトン、４−メチル−２−ペンタノン等のケトン類、プロピオン酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル類などの溶媒であってもよく、これらを混合して用いてもよい。

重合温度は、反応が進行する温度であれば、如何なる温度でも構わないが、好ましくは−５０℃〜５０℃であり、更に好ましくは−２０℃〜３０℃であり、特に好ましくは−２０℃〜１５℃である。

ポリウレアは単離精製を行っても良く、反応溶液をそのままマクロモノマーと反応させても良い。好ましくは、再沈で単離精製を行う方法である。

ポリウレアの再沈精製は、如何なる手段を用いても良いが、反応液を貧溶媒に滴下して析出させる方法又は反応液に貧溶媒を添加して析出させる方法が好ましい。貧溶媒とは、ポリウレアが溶解しない溶媒であれば、如何なる溶媒でも構わないが、シクロヘキサン、ペンタン、ヘキサン等の脂肪族炭化水素類、ベンゼン、トルエン、クロロベンゼン等の芳香族炭化水素類、ジエチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル等のエーテル類、プロピオン酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル類、メタノール、エタノール、プロパノール等のアルコール類を挙げることができる。

ポリウレアの分子量は、マクロモノマーと反応させるため、溶媒への溶解性を考慮すると５００以上２００，０００以下が好ましく、１，０００以上１００，０００以下が更に好ましい。又、ポリウレアは、分子量分布を有していても良く、分子量分布は１．０〜７．０が好ましく、１．０〜６．０が更に好ましい。分子量とは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（以下、ＧＰＣと称す）の測定によって得られる重量平均分子量のことである。

以下に、ポリウレアの具体例を挙げるが、本発明はこれに限定されない。

（マクロモノマー）
本発明に係るマクロモノマーは、ウレア結合、ウレタン結合、エステル結合、エーテル結合又はアミド結合から選ばれる少なくとも２種の結合を有していることを特徴とする。

好ましくは、ウレア結合、ウレタン結合、エステル結合又はエーテル結合から選ばれる少なくとも２種の結合を有している場合である。更に好ましくは、ウレア結合、ウレタン結合又はエーテル結合から選ばれる少なくとも２種の結合を有する場合である。

本発明に係るマクロモノマーは、反応性基を有するモノマーを逐次縮合させることにより、双極子モーメントを有する複数の結合及び連結基を導入することができるため、従来では困難だった樹脂組成物の溶解性や剛直性の調整が原料の選択により可能となる。又、マクロモノマーを原料とすることで、残モノマーの影響を排除できるため、圧電材料としての耐熱性及び圧電特性を著しく向上させることができる。

各結合について、以下、詳細に説明する。

〈ウレア結合〉
一般に、「ウレア結合」は、一般式：−ＮＲ₁ＣＯＮＲ₂−で表される。本願においては、Ｒ₁及びＲ₂は、各々独立に水素原子又は炭素数１〜１０のアルキル基（メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基等）を表し、好ましくは、水素原子又は炭素数５以下のアルキル基である。

ウレア結合は、如何なる手段を用いて形成されても良いが、イソシアネートとアミンとの反応で得ることができる。又、１，３−ビス（２−アミノエチル）ウレア、１，３−ビス（２−ヒドロキシエチル）ウレア、１，３−ビス（２−ヒドロキシプロピル）ウレア等の様に、末端にヒドロキシル基又はアミノ基を有するアルキル基で置換されたウレア化合物を原料としてマクロモノマーを合成しても良い。

原料として使用するイソシアネートは、分子内にイソシアネート基を２つ以上有するポリイソシアネートであれば特に構わないが、ジイソシアネートが好ましい。

ポリイソシアネートとして、例えば、１，３−ビス（イソシアナトメチル）シクロヘキサン、ジイソシアン酸イソホロン、トリメチレンジイソシアネート、テトラメチレンジイソシアネート、ペンタメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、１，３−シクロペンタンジイソシアネート、９Ｈ−フルオレン−２，７−ジイソシアネート、９Ｈ−フルオレン−９−オン−２，７−ジイソシアネート、４，４’−ジフェニルメタンジイソシアナート、１，３−フェニレン ジイソシアナート、トリレン−２，４−ジイソシアナート、トリレン−２，６−ジイソシアナート、１，３−ビス（イソシアナトメチル）シクロヘキサン、２，２−ビス（４−イソシアナトフェニル）ヘキサフルオロプロパン、１，５−ジイソシアナトナフタレン等が挙げられる。

原料として使用するアミンは、分子内にアミノ基を２つ以上有するポリアミンが好ましく、ジアミンが最も好ましい。ポリアミンとして、例えば、２，７−ジアミノ−９Ｈ−フルオレン、３，６−ジアミノアクリジン、アクリフラビン、アクリジンイエロー、２，２−ビス（４−アミノフェニル）ヘキサフルオロプロパン、４，４’−ジアミノベンゾフェノン、ビス（４−アミノフェニル） スルホン、４，４’−ジアミノジフェニルエーテル、ビス（４−アミノフェニル） スルフィド、１，１−ビス（４−アミノフェニル）シクロヘキサン、４，４’−ジアミノジフェニルメタン、３，３’−ジアミノジフェニルメタン、３，３’−ジアミノベンゾフェノン、４，４’−ジアミノ−３，３’−ジメチルジフェニルメタン、４−（フェニルジアゼニル）ベンゼン−１，３−ジアミン、１，５−ジアミノナフタレン、１，３−フェニレンジアミン、２，４−ジアミノトルエン、２，６−ジアミノトルエン、１，８−ジアミノナフタレン、１，３−ジアミノプロパン、１，３−ジアミノペンタン、２，２−ジメチル−１，３−プロパンジアミン、１，５−ジアミノペンタン、２−メチル−１，５−ジアミノペンタン、１，７−ジアミノヘプタン、Ｎ，Ｎ−ビス（３−アミノプロピル）メチルアミン、１，３−ジアミノ−２−プロパノール、ジエチレン グリコール ビス（３−アミノプロピル） エーテル、ｍ−キシリレンジアミン、テトラエチレンペンタミン、１，３−ビス（アミノメチル）シクロヘキサン、ベンゾグアナミン、２，４−ジアミノ−１，３，５−トリアジン、２，４−ジアミノ−６−メチル−１，３，５−トリアジン、６−クロロ−２，４−ジアミノピリミジン、２−クロロ−４，６−ジアミノ−１，３，５−トリアジン等が挙げられる。これらのポリアミンにホスゲン又はトリホスゲンを反応させて、ポリイソシアネートを合成し、マクロモノマーの原料として用いても良い。

〈ウレタン結合〉
本願において、「ウレタン結合」は、一般式：−ＯＣＯＮＲ₁−で表される。ここで、Ｒ₁は、水素原子又は炭素数１〜１０のアルキル基（メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基等）を表し、好ましくは、水素原子又は炭素数５以下のアルキル基であり、更に好ましくは、水素原子又はメチル基である。

ウレタン結合は、如何なる手段を用いて形成されても良いが、イソシアネートとヒドロキシル基との反応で得ることができる。

原料として用いるイソシアネートは、分子内にイソシアネート基を２つ以上有するポリイソシアネートが好ましく、ジイソシアネートが更に好ましい。ポリイソシアネートとしては、前記ウレア結合で挙げたポリイソシアネートを挙げることができる。

原料として用いるヒドロキシル基を有する化合物としては、ポリオール、アミノアルコール、アミノフェノール、アルキルアミノフェノール等を挙げることができるが、好ましくはポリオール又はアミノアルコールである。

ポリオールは、分子内に少なくとも２つ以上のヒドロキシル基を有する化合物であり、好ましくはジオールである。又、分子内にエステル結合又はエーテル結合を有していても良い。ポリオールとして、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、１，４−ブタンジオール、１，５−ペンタンジオール、１，６−ヘキサンジオール、ネオペンチルグリコール、ポリエチレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、ペンタエリスリトール、３−メチル−１，５−ペンタンジオール、ポリ（エチレンアジペート）、ポリ（ジエチレンアジペート）、ポリ（プロピレンアジペート）、ポリ（テトラメチレンアジペート）、ポリ（ヘキサメチレンアジペート）、ポリ（ネオペンチレンアジペート）等を挙げることができる。

アミノアルコールは、分子内にアミノ基とヒドロキシル基を有する化合物であり、更に分子内にエーテル結合を有していても良い。アミノアルコールとして、例えば、アミノエタノール、３−アミノ−１−プロパノール、２−（２−アミノエトキシ）エタノール、２−アミノ−１，３−プロパンジオール、２−アミノ−２−メチル−１，３−プロパンジオール、１，３−ジアミノ−２−プロパノール等を挙げることができる。

〈アミド結合〉
一般に、「アミド結合」は、一般式：−ＣＯＮＲ₁−で表される。本願においては、Ｒ₁は、水素原子又は炭素数１〜１０のアルキル基（メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基等）を表し、好ましくは、水素原子又は炭素数５以下のアルキル基であり、更に好ましくは、水素原子又はメチル基である。

アミド結合は、如何なる手段を用いて形成されても良いが、酸クロライドとアミンとの反応で得ることが出来る。

原料として用いる酸クロライドは、２つ以上の酸クロライドを有する化合物が好ましく、ポリカルボン酸を原料として塩化チオニル、オキシ塩化リン、三塩化リン等を反応させて合成しても良い。２つ以上の酸クロライドを有する化合物として、例えば、塩化イソフタロイル、塩化テレフタロイル、トリメリイルクロライド、塩化スクシニル、塩化マロニル、グルタル酸クロライド、塩化スベロイル、塩化アゼラオイル、塩化アジポイル、塩化セバコイル等を挙げることができる。

原料として使用するアミンは、分子内にアミノ基を２つ以上有するポリアミンが好ましく、ジアミンが最も好ましい。ポリアミンとしては、前記ウレア結合で挙げたポリアミンを挙げることができる。

〈エステル結合〉
本願において、「エステル結合」は、一般式：−ＣＯ₂−で表される。

エステル結合は、如何なる手段を用いて形成されても良いが、酸クロライドとポリオールとの反応で得ることができる。

原料として用いる酸クロライドは、２つ以上の酸クロライドを有する化合物が好ましく、酸クロライドとしては、前記アミド結合で挙げた酸クロライドを挙げることができる。

原料として使用するポリオールは、分子内にヒドロキシル基を２つ以上有するポリオールが好ましく、ジオールが最も好ましい。ポリオールとしては、前記ウレタン結合で挙げたポリオールを挙げることができる。

マクロモノマーは、分子量として３５０〜１０，０００を有するが、逐次合成の段階で２量体や３量体が生成するため、分子量分布を有していても良い。分子量とは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（以下、ＧＰＣと称す）の測定によって得られる重量平均分子量であり、好ましくは４００〜５０００であり、更に好ましくは４００〜３０００である。分子量分布は、１．０〜６．０が好ましく、更に好ましくは１．０〜４．０であり、特に好ましくは１．０〜３．０である。

なお、分子量及び分子量分布の測定は、下記の方法・条件等に準拠して行うことができる。

溶媒 ：３０ｍＭ ＬｉＢｒ ｉｎ Ｎ−メチルピロリドン
装置 ：ＨＬＣ−８２２０ＧＰＣ（東ソー（株）製）
カラム ：ＴＳＫｇｅｌ ＳｕｐｅｒＡＷＭ−Ｈ×２本（東ソー（株）製）
カラム温度：４０℃
試料濃度 ：１．０ｇ／Ｌ
注入量 ：４０μｌ
流量 ：０．５ｍｌ／ｍｉｎ
校正曲線 ：標準ポリスチレン：ＰＳ−１（Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｌａｂｏｒａｔｏｒｉｅｓ社製）Ｍｗ＝５８０〜２，５６０，０００までの９サンプルによる校正曲線を使用した。

本発明においては、マクロモノマーは、ポリウレアと反応させることにより圧電特性を有する樹脂組成物が得られるため、マクロモノマー末端の少なくとも一方が、イソシアナート基又は活性水素を有する基であることが好ましい。活性水素を有する基としては、アミノ基、ヒドロキシル基、カルボキシル基、イミノ基又はチオール基が挙げられるが、好ましくは、アミノ基、ヒドロキシル基又はカルボキシル基であり、更に好ましくは、アミノ基又はヒドロキシル基である。

（マクロモノマーの合成）
マクロモノマーは、活性水素を有する化合物を出発原料とし、ポリイソシアネートと活性水素を有する化合物を交互に縮合させていく方法、ポリイソシアネートを出発原料とし、活性水素を有する化合物とポリイソシアネートを交互に縮合させていく方法で合成することができる。

活性水素を有する化合物は、前述で挙げた、末端にヒドロキシル基又はアミノ基を有するアルキル基で置換されたウレア化合物、ポリアミン、ポリオール、アミノアルコール、アミノフェノール、アルキルアミノフェノール等が挙げられる。出発原料としては、末端にヒドロキシル基又はアミノ基を有するアルキル基で置換されたウレア化合物又はポリアミンが好ましく、芳香族縮環構造を有するポリアミンが更に好ましい。交互に縮合させていく工程に用いる場合は、アミノアルコール又はポリオールが好ましい。

ポリイソシアネートを出発原料とした場合、出発原料としては、芳香族縮環構造を有するポリイソシアネートが好ましい。活性水素を有する化合物と縮合させて、末端に活性水素を有する化合物合成しても良く、特開平５−１１５８４１号公報に記載の方法で、ジアミンを形成させても良い。

ポリイソシアネートと活性水素を有する化合物の反応において、末端の少なくとも一方をイソシアネート基とする場合、ポリイソシアネートは活性水素を有する化合物に対する使用量は、１倍モル〜１０倍モルが好ましく、更に好ましくは１倍モル〜５倍モルであり、更に好ましくは１〜３倍モルである。

ポリイソシアネートと活性水素を有する化合物の反応において、末端の少なくとも一方を活性水素とする場合、活性水素を有する化合物はポリイソシアネートに対する使用量は、１倍モル〜１０倍モルが好ましく、更に好ましくは１倍モル〜５倍モルであり、更に好ましくは１〜３倍モルである。

縮合させる反応温度は、できるだけ低い方が好ましく、−４０〜６０℃、好ましくは−２０〜３０℃であり、より好ましくは−１０〜１０℃である。また、反応温度は、反応開始から終了まで一定の温度で行なってもよく、初期に低温で行ないその後、温度上げてもよい。

反応に用いる溶媒は、目的の樹脂組成物が高極性であることと、重合を効率的に進行させるため、高極性溶媒を用いる必要がある。例えば、ＤＭＦ（Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド）、ＤＭＡｃ（Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド）、ＤＭＳＯ（ジメチルスルホキシド）、ＮＭＰ（Ｎ−メチルピロリドン）等の高極性非プロトン溶媒を選択することが好ましいが、反応基質及び目的物が良好に溶解しさえすればシクロヘキサン、ペンタン、ヘキサン等の脂肪族炭化水素類、ベンゼン、トルエン、クロロベンゼン等の芳香族炭化水素類、ＴＨＦ（テトラヒドロフラン）、ジエチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル等のエーテル類、アセトン、メチルエチルケトン、４−メチル−２−ペンタノン等のケトン類、プロピオン酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル類などの溶媒であってもよく、これらを混合して用いてもよい。

ウレタン結合生成を効率よく進行させるため、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラメチル−１，３−ブタンジアミン、トリエチルアミン、トリブチルアミンなどの三級アルキルアミン類、１，４−ジアザビシクロ［２．２．２］オクタン、１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］ウンデ−７−エンなどの縮環アミン類、ＤＢＴＬ、テトラブチルスズ、トリブチルスズ酢酸エステルなどのアルキルスズ類等、公知のウレタン結合生成触媒を用いることができる。

触媒の使用量は、効率のよい反応及び反応操作を考慮して、モノマー基質に対して０．１〜３０ｍｏｌ％用いるのが好ましい。

マクロモノマーは単離精製を行っても良く、反応溶液をそのままポリウレアと反応させても良い。好ましくは、再結晶又は再沈で単離精製を行う方法である。

マクロモノマーの再沈の方法は、特に限定されないが、マクロモノマーを良溶媒に溶解した後、貧溶媒に滴下して析出させる方法が好ましい。

ここで言う「良溶媒」とは、マクロモノマーが溶解する溶媒であれば、如何なる溶媒でも構わないが、好ましくは極性溶媒であり、具体的には、ＤＭＦ（Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド）、ＤＭＡｃ（Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド）、ＤＭＳＯ（ジメチルスルホキシド）、ＮＭＰ（Ｎ−メチルピロリドン）等の高極性非プロトン溶媒を挙げることができる。

又、「貧溶媒」とは、マクロモノマーが溶解しない溶媒であれば、如何なる溶媒でも構わないが、シクロヘキサン、ペンタン、ヘキサン等の脂肪族炭化水素類、ベンゼン、トルエン、クロロベンゼン等の芳香族炭化水素類、ジエチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル等のエーテル類、プロピオン酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル類、メタノール、エタノール、プロパノール等のアルコール類を挙げることができる。

以下に、マクロモノマーの具他例を挙げるが、本発明はこれに限定されない。

（マクロモノマーの合成例）
〈合成例１：マクロモノマー（Ｍ−１７）の合成〉
窒素雰囲気下、９Ｈ−フルオレン−２，７−ジイソシアネート５．０ｇをＴＨＦ５０ｍｌに溶解し、０℃でＴＨＦ３０ｍｌに溶解した３−アミノプロパノール３．２ｇをゆっくりと滴下した。滴下終了後、０℃で１時間攪拌し、溶液（Ａ）を得た。

１，３−フェニレンジイソシアネート１３．０ｇをＴＨＦ６５ｍｌに溶解し、反応溶液を７０℃に加温しながら、溶液（Ａ）を滴下した。滴下終了後、７０℃で５時間攪拌した後、反応液の溶媒量を減圧下で３／２まで濃縮した。残渣に酢酸エチル−ヘプタンの混合液を加えて攪拌し、デカントで上澄みを除去し、減圧乾燥させることにより、マクロモノマー（Ｍ−１７）を１２．５ｇ得た。ＧＰＣ測定による重量平均分子量は７５０であり、分子量分布は２．０であった。

〈合成例２：マクロモノマー（Ｍ−２０）の合成〉
窒素雰囲気下、９Ｈ−フルオレン−２，７−ジイソシアネート５．０ｇをＴＨＦ５０ｍｌに溶解し、室温でＴＨＦ３０ｍｌに溶解した２−（２−アミノエトキシ）エタノール１０．０ｇをゆっくりと滴下した。滴下終了後、室温で３時間攪拌した。残渣を濃縮後、再結晶を行うことにより、マクロモノマー（Ｍ−３５）を９．２ｇ得た。１Ｈ−ＮＭＲにより、目的物であることを確認した。

〈合成例３：マクロモノマー（Ｍ−２７：ｎ＝２）の合成〉
窒素雰囲気下、ジエチレングリコール２０．０ｇをジメチルスルホキシド１００ｍｌに溶解し、反応溶液を７０℃に加温した。７０℃を維持したまま、合成例１で得られたマクロモノマー（Ｍ−１７）５．０ｇをジメチルスルホキシド５０ｍｌに溶解した溶液をゆっくり滴下した。滴下終了後、７０℃で２時間、８０℃で２時間攪拌した後、反応液の溶媒量を減圧下で３／２まで濃縮した。残渣に酢酸エチル−ヘプタンの混合液を加えて攪拌し、デカントで上澄みを除去し、減圧乾燥させることにより、マクロモノマー（Ｍ−２７）を５．５ｇ得た。ＧＰＣ測定による重量平均分子量は９５０であり、分子量分布は２．６であった。

（芳香族縮環構造）
樹脂組成物の配向性を向上させるために、ポリウレア又はマクロモノマーの部分構造として、少なくとも１つの芳香族縮環構造を有することが好ましい。芳香族縮環構造としては、例えば、ナフタレン構造、キノリン構造、アントラセン構造、フェナンスレン構造、ピレン構造、トリフェニレン構造、ペリレン構造、フルオランテン構造、インダセン構造、アセナフチレン構造、フルオレン構造、フルオレン−９−オン構造、カルバゾール構造、テトラフェニレン構造、及び、これらの構造にさらに縮環した構造（例えば、アクリジン構造、ベンゾアントラセン構造、ベンゾピレン構造、ペンタセン構造、コロネン構造、クリセン構造等）等が挙げられる。

好ましい芳香族縮環構造としては、下記一般式（１）〜（４）の構造が挙げられる。

一般式（１）において、Ｒ₁₁及びＲ₁₂は、各々独立に水素原子、又は置換基を表し、置換基としては、例えば炭素数１〜２５のアルキル基（メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基等）、シクロアルキル基（シクロヘキシル基、シクロペンチル基等）、アリール基（フェニル基等）、複素環基（ピリジル基、チアゾリル基、オキサゾリル基、イミダゾリル基、フリル基、ピロリル基、ピラジニル基、ピリミジニル基、ピリダジニル基、セレナゾリル基、スリホラニル基、ピペリジニル基、ピラゾリル基、テトラゾリル基等）、アルコキシ基（メトキシ基、エトキシ基、プロピルオキシ基、ペンチルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基等）、アリールオキシ基（フェノキシ基等）、アシルオキシ基（アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基等）、アルコキシカルボニル基（メチルオキシカルボニル基、エチルオキシカルボニル基、ブチルオキシカルボニル基等）、アリールオキシカルボニル基（フェニルオキシカルボニル基等）、スルホンアミド基（メタンスルホンアミド基、エタンスルホンアミド基、ブタンスルホンアミド基、ヘキサンスルホンアミド基、シクロヘキサンスルホンアミド基、ベンゼンスルホンアミド基等）、カルバモイル基（アミノカルボニル基、メチルアミノカルボニル基、ジメチルアミノカルボニル基、プロピルアミノカルボニル基、ペンチルアミノカルボニル基、シクロヘキシルアミノカルボニル基、フェニルアミノカルボニル基、２−ピリジルアミノカルボニル基等）、カルボキシル基、ヒドロキシル基等を挙げることができる。好ましくは、水素原子、ヒドロキシル基、カルボキシル基、アルコキシ基、アシルオキシ基又はアルキル基であり、更に好ましくは、水素原子、アルキル基、ヒドロキシル基又アシルオキシ基であり、特に好ましくは水素原子又はアルキル基である。

なお、アスタリスク（＊）は、結合点を表す。

一般式（２）において、Ｘ₂は、酸素原子、Ｎ−Ｒ₂₃、Ｃ−Ｒ₂₄を表し、Ｒ₂₃としては、水素原子、ヒドロキシル基、アルコキシ基、アルキル基、アミノ基を表し、好ましくはヒドロキシル基又はアルコキシ基である。Ｒ₂₄は、アルキル基、アリール基又は複素環基を表すが、好ましくはアルキル基又はアリール基であり、特に好ましくは、アルキル基である。

なお、アスタリスク（＊）は、結合点を表す。

一般式（３）において、Ｘ₃は、窒素原子又はＮ⁺−Ｒ₃₃を表し、Ｒ₃₃は、アルキル基又はアリール基を表す。Ｘ₃がＮ⁺の場合は、電荷を中和するためのカウンターイオンを有していても良く、カウンターイオンとしては、Ｃｌ^-、Ｂｒ^-、Ｉ^-、ＢＦ₄ ^-等が挙げられる。

なお、アスタリスク（＊）は、結合点を表す。

一般式（４）において、アスタリスク（＊）は、結合点を表す。

これらの芳香族縮環構造は、置換基を有しても良く、置換基としては、ハロゲン原子、炭素数１〜２５のアルキル基（メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基等）、ハロゲン化アルキル基（トリフルオロメチル基、パーフルオロオクチル基等）、シクロアルキル基（シクロヘキシル基、シクロペンチル基等）、アルキニル基（プロパルギル基等）、グリシジル基、アクリレート基、メタクリレート基、アリール基（フェニル基等）、複素環基（ピリジル基、チアゾリル基、オキサゾリル基、イミダゾリル基、フリル基、ピロリル基、ピラジニル基、ピリミジニル基、ピリダジニル基、セレナゾリル基、スリホラニル基、ピペリジニル基、ピラゾリル基、テトラゾリル基等）、ハロゲン原子（塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子、フッ素原子等）、アルコキシ基（メトキシ基、エトキシ基、プロピルオキシ基、ペンチルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基等）、アリールオキシ基（フェノキシ基等）、アルコキシカルボニル基（メチルオキシカルボニル基、エチルオキシカルボニル基、ブチルオキシカルボニル基等）、アリールオキシカルボニル基（フェニルオキシカルボニル基等）、スルホンアミド基（メタンスルホンアミド基、エタンスルホンアミド基、ブタンスルホンアミド基、ヘキサンスルホンアミド基、シクロヘキサンスルホンアミド基、ベンゼンスルホンアミド基等）、スルファモイル基（アミノスルホニル基、メチルアミノスルホニル基、ジメチルアミノスルホニル基、ブチルアミノスルホニル基、ヘキシルアミノスルホニル基、シクロヘキシルアミノスルホニル基、フェニルアミノスルホニル基、２−ピリジルアミノスルホニル基等）、ウレタン基（メチルウレイド基、エチルウレイド基、ペンチルウレイド基、シクロヘキシルウレイド基、フェニルウレイド基、２−ピリジルウレイド基等）、アシル基（アセチル基、プロピオニル基、ブタノイル基、ヘキサノイル基、シクロヘキサノイル基、ベンゾイル基、ピリジノイル基等）、カルバモイル基（アミノカルボニル基、メチルアミノカルボニル基、ジメチルアミノカルボニル基、プロピルアミノカルボニル基、ペンチルアミノカルボニル基、シクロヘキシルアミノカルボニル基、フェニルアミノカルボニル基、２−ピリジルアミノカルボニル基等）、アミド基（アセトアミド基、プロピオンアミド基、ブタンアミド基、ヘキサンアミド基、ベンズアミド基等）、スルホニル基（メチルスルホニル基、エチルスルホニル基、ブチルスルホニル基、シクロヘキシルスルホニル基、フェニルスルホニル基、２−ピリジルスルホニル基等）、アミノ基（アミノ基、エチルアミノ基、ジメチルアミノ基、ブチルアミノ基、シクロペンチルアミノ基、アニリノ基、２−ピリジルアミノ基等）、シアノ基、カルボキシル基、ヒドロキシル基等を挙げることができる。又これらの基は更にこれらの基で置換されていてもよい。又、置換基が複数ある場合、同じでも異なっていても良く、互いに結合して縮環構造を形成しても良い。好ましくは、水素原子、ハロゲン原子、アミド基、アルキル基又はアリール基であり、更に好ましくは、水素原子、ハロゲン原子、アミド基又はアルキル基であり、特に好ましくは水素原子、ハロゲン原子又はアルキル基である。

以下に、好ましい芳香族縮環構造の具他例を挙げるが、本発明はこれに限定されない。

（有機圧電材料）
本発明の有機圧電材料は、ウレア結合、ウレタン結合、エステル結合、エーテル結合又はアミド結合から選ばれる少なくとも２種の結合を有するマクロモノマーとポリウレアの重合反応により形成された樹脂を含有するポリウレア樹脂組成物を用いて膜を形成することにより、或いは、当該樹脂組成物の膜に対して更に分極処理を施すことにより、有機圧電体膜を形成することができる。

有機圧電体膜は、当該圧電体膜に応力が加わると、それに比例して当該圧電体膜の両端面に反対符号の電荷が現れる、すなわち電気分極という現象を生じ、逆に該圧電材料を伝場に入れる（電界を加える）ことで、それに比例した歪みを生じるという性質（圧電性能）を有する。特に本発明の有機圧電材料よりなる有機圧電体膜にあっては、高分子の主鎖や側鎖の双極子モーメントの配向凍結による分極により大きな圧電効果が生じる。

一方、当該圧電体膜にエネルギー（熱）が加わると、それに対応して当該圧電体膜内部の自発分極の大きさが変化する。このとき、当該圧電体膜表面に自発分極を中和するように存在する表面電荷は、上記自発分極ほどにすばやくエネルギー変化に対応できないことから、短時間の間ではあるが、圧電体膜表面には自発分極の変化分だけ電荷が存在することになる。このエネルギー変化に伴う電気の発生を焦電性というが、特に本発明の有機圧電材料よりなる有機圧電体膜にあっては、高分子の主鎖や側鎖の双極子モーメントの配向凍結による分極により大きな焦電性能が生じる。

（樹脂組成物の形成方法）
本発明に係るポリウレア樹脂組成物は、ウレア結合、ウレタン結合、エステル結合、エーテル結合又はアミド結合から選ばれる少なくとも２種の結合を有するマクロモノマーとポリウレアの重合反応により形成された樹脂を含有する樹脂組成物として調製することができる。なお、この樹脂組成物には、目的に応じて当該樹脂以外の添加剤を含有させても良い。

ポリウレアの末端がイソシアネート基の場合は、末端に活性水素を有するマクロモノマーを用いて重合させることができ、ポリウレアの末端が活性水素を有する場合は、末端にイソシアネート基を有するマクロモノマーを用いて重合させることができる。

重合にかかる温度は、ポリウレアとマクロモノマーが反応する温度であれば如何なる温度でも構わないが、−５０〜２５０℃であることが好ましく、より好ましくは、−５０〜２００℃である。

ポリウレアとマクロモノマーの重合は、溶媒存在下又は無溶媒下で重合を行っても良い。

重合に用いる溶媒は、前述のマクロモノマーで記載した溶媒を選択することが出来るが、ＤＭＦ（Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド）、ＤＭＡｃ（Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド）、ＤＭＳＯ（ジメチルスルホキシド）、ＮＭＰ（Ｎ−メチルピロリドン）等の高極性非プロトン溶媒を選択することが好ましい。

樹脂組成物は単離精製を行っても良く、反応溶液をそのまま用いて塗布を行い、膜を形成しても良い。好ましくは、再沈で単離精製を行う方法である。

樹脂組成物の再沈精製は、如何なる手段を用いても良いが、反応液を貧溶媒に滴下して析出させる方法又は反応液に貧溶媒を添加して析出させる方法が好ましい。

「貧溶媒」とは、マクロモノマーが溶解しない溶媒であれば、如何なる溶媒でも構わないが、シクロヘキサン、ペンタン、ヘキサン等の脂肪族炭化水素類、ベンゼン、トルエン、クロロベンゼン等の芳香族炭化水素類、ジエチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル等のエーテル類、プロピオン酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル類、メタノール、エタノール、プロパノール等のアルコール類を挙げることができる。

（有機圧電体膜の形成方法）
有機圧電体膜の形成は、塗布によって膜を形成する方法が好ましい。塗布方法として、例えば、スピンコート法、ソルベントキャスト法、メルトキャスト法、ロールコート法、フローコート法、プリント法、ディップコート法、バーコート法等が挙げられる。

塗布により膜を形成する方法では、重合した樹脂組成物を用いても良く、ポリウレア及びマクロモノマーを塗布した後、加熱による重合を行っても良い。

塗布により基板上に形成された膜は、加熱又は減圧条件下で溶媒を完全に留去されても良く、ポリウレア及びマクロモノマーを塗布した場合は、所定量の溶媒を除去した後、更に温度を変化させて、溶媒の留去と重合を同時に行っても良い。

又、本発明においては、形成された膜に後述する分極処理を行う方法が好ましく、ポリウレア及びマクロモノマーを塗布した場合には、重合後に分極処理を行っても良く、重合と同時に分極処理を行っても良い。特に好ましくは、加熱による重合と分極処理を同時に行う方法である。

加熱による重合と分極処理を同時に行う場合の温度は、−５０〜２５０℃であることが好ましく、より好ましくは−５０〜２００℃である。前述の温度範囲で、温度変化させる方法も好ましい。

（分極処理）
本発明に係る分極処理における分極処理方法としては、従来公知の種々の方法が適用され得る。

例えば、コロナ放電処理法による場合には、コロナ放電処理は、市販の高電圧電源と電極からなる装置を使用して処理することができる。

放電条件は、機器や処理環境により異なるので適宜条件を選択することが好ましいが、高電圧電源の電圧としては−１〜−２０ｋＶ、電流としては１〜８０ｍＡ、電極間距離としては、１〜１０ｃｍが好ましく、印加電圧は、０．５〜２．０ＭＶ／ｍであることが好ましい。

電極としては、従来から用いられている針状電極、線状電極（ワイヤー電極）、網状電極が好ましいが、本発明ではこれらに限定されるものではない。

またコロナ放電中に加熱を行うので、本発明により作製した基板が接触している電極の下部に絶縁体を介して、ヒーターを設置する必要がある。

なお、本発明において前記原料溶液の溶媒が残留している状態で、分極処理としてコロナ放電処理をする場合には、引火爆発などの危険性を避けるために溶媒の揮発成分が除去されるように十分換気しながら行うことが安全上必要である。

（基板）
基板としては、本発明に係る有機圧電体膜の用途・使用方法等により基板の選択は異なる。ポリイミド、ポリアミド、ポリイミドアミド、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）、ポリカーボネート樹脂、シクロオレフィンポリマーのようなプラスチック板又はフィルムでもよいし、これらの素材の表面をアルミニウム、金、銅、マグネシウム、珪素等で覆ったものでもよい。またアルミニウム、金、銅、マグネシウム、珪素単体、希土類のハロゲン化物の単結晶の板又はフィルムでもかまわない。

更に複層圧電素子の上に形成してもよい。圧電素子を積相する複層の使用方法においては、セラミック圧電素子の上に本発明の有機圧電体膜を電極を介して、重畳層する方法がある。セラミック圧電素子としては、ＰＺＴが使用されているが、近年は鉛を含まないものが推奨されている。ＰＺＴは、Ｐｂ（Ｚｒ１−ＸＴｉＸ）Ｏ₃（０．４７≦ｎ≦１）の式の範囲以内であることが好ましく、脱鉛としては、天然又は人工の水晶、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ₃）、ニオブサンタンタル酸カリウム［Ｋ（Ｔａ，Ｎｂ）Ｏ₃］、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ₃）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ₃）、又はチタン酸ストロンチウム（ＳｒＴｉＯ₃）等である。各種セラミック材料はその使用性能において組成を適宜選択することができる。

（超音波振動子）
本発明に係る超音波振動子は、本発明のポリウレア樹脂組成物又は有機圧電材料を用いて形成した有機圧電体膜を用いたことを特徴とする。当該超音波振動子は、超音波送信用振動子と超音波送信用振動子を具備する超音波医用画像診断装置用探触子（プローブ）に用いられる超音波受信用振動子とすることが好ましい。

なお、一般に、超音波振動子は膜状の圧電材料からなる層（又は膜）（「圧電膜」、「圧電体膜」、又は「圧電体層」ともいう。）を挟んで一対の電極を配設して構成され、複数の振動子を例えば１次元配列して超音波探触子が構成される。

そして、複数の振動子が配列された長軸方向の所定数の振動子を口径として設定し、その口径に属する複数の振動子を駆動して被検体内の計測部位に超音波ビームを収束させて照射すると共に、その口径に属する複数の振動子により被検体から発する超音波の反射エコー等を受信して電気信号に変換する機能を有している。

以下、本発明に係る超音波受信用振動子と超音波送信用振動子それぞれについて詳細に説明する。

〈超音波受信用振動子〉
本発明に係る超音波受信用振動子は、超音波医用画像診断装置用探触子に用いられる振動子であって、それを構成する圧電材料として、本発明の有機圧電材料を用いて形成した有機圧電体膜を用いたことを特徴とする。

なお、超音波受信用振動子に用いる有機圧電材料ないし有機圧電体膜は、厚み共振周波数における比誘電率が１０〜５０であることが好ましい。比誘電率の調整は、当該有機圧電材料を構成する化合物が有するＣＦ₂基、ＣＮ基のような極性官能基の数量、組成、重合度等の調整、及び上記の分極処理によって行うことができる。

〈超音波送信用振動子〉
本発明に係る超音波送信用振動子は、上記受信用振動子との関係で適切な比誘電率を有する圧電体材料により構成されることが好ましい。また、耐熱性・耐電圧性に優れた圧電材料を用いることが好ましい。

超音波送信用振動子構成用材料としては、公知の種々の有機圧電材料及び無機圧電材料を用いることができる。

有機圧電材料としては、上記超音波受信用振動子構成用有機圧電材料と同様の高分子材料を用いることできる。

無機材料としては、水晶、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ₃）、ニオブ酸タンタル酸カリウム［Ｋ（Ｔａ，Ｎｂ）Ｏ₃］、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ₃）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ₃）、又はチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸ストロンチウム（ＳｒＴｉＯ₃）、チタン酸バリウムストロンチウム（ＢＳＴ）等を用いることができる。
尚、ＰＺＴはＰｂ（Ｚｒ₁−_nＴｉ_n）Ｏ₃（０．４７≦ｎ≦１）が好ましい。

〈電極〉
本発明に係る圧電（体）振動子は、圧電体膜（層）の両面上又は片面上に電極を形成し、その圧電体膜を分極処理することによって作製されるものである。当該電極は、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、銀（Ａｇ）、パラジウム（Ｐｄ）、銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、スズ（Ｓｎ）などを主体とした電極材料を用いて形成する。

電極の形成に際しては、まず、チタン（Ｔｉ）やクロム（Ｃｒ）などの下地金属をスパッタ法により０．０２〜１．０μｍの厚さに形成した後、上記金属元素を主体とする金属及びそれらの合金からなる金属材料、さらには必要に応じ一部絶縁材料をスパッタ法、その他の適当な方法で１〜１０μｍの厚さに形成する。これらの電極形成はスパッタ法以外でも微粉末の金属粉末と低融点ガラスを混合した導電ペーストをスクリーン印刷やディッピング法、溶射法で形成することもできる。

さらに、圧電体膜の両面に形成した電極間に、所定の電圧を供給し、圧電体膜を分極することで圧電素子が得られる。

（超音波探触子）
本発明に係る超音波探触子は、超音波送信用振動子と超音波受信用振動子を具備する超音波画像診断装置用探触子（プローブ）であり、受信用振動子として、本発明に係る上記超音波受信用振動子を用いることを特徴とする。

本発明においては、超音波の送受信の両方をひとつの振動子で担ってもよいが、より好ましくは、送信用と受信用で振動子は分けて探触子内に構成される。

送信用振動子を構成する圧電材料としては、従来公知のセラミックス無機圧電材料でも、有機圧電材料でもよい。

本発明に係る超音波探触子においては、送信用振動子の上もしくは並列に本発明の超音波受信用振動子を配置することができる。

より好ましい実施形態としては、超音波送信用振動子の上に本発明の超音波受信用振動子を積層する構造が良く、その際には、本発明の超音波受信用振動子は他の高分子材料（支持体として上記の比誘電率が比較的低い高分子（樹脂）フィルム、例えば、ポリエステルフィルム）の上に添合した形で送信用振動子の上に積層してもよい。その際の受信用振動子と他の高分子材料と合わせた膜厚は、探触子の設計上好ましい受信周波数帯域に合わせることが好ましい。実用的な超音波医用画像診断装置および生体情報収集に現実的な周波数帯から鑑みると、その膜厚は、４０〜１５０μｍであることが好ましい。

なお、当該探触子には、バッキング層、音響整合層、音響レンズなどを設けても良い。また、多数の圧電材料を有する振動子を２次元に並べた探触子とすることもできる。複数の２次元配列した探触子を順次走査して、画像化するスキャナーとして構成させることもできる。

（超音波医用画像診断装置）
本発明に係る上記超音波探触子は、種々の態様の超音波診断装置に用いることができる。例えば、図１に示すような超音波医用画像診断装置において好適に使用することができる。

図１は、本発明の実施形態の超音波医用画像診断装置の主要部の構成を示す概念図である。この超音波医用画像診断装置は、患者などの被検体に対して超音波を送信し、被検体で反射した超音波をエコー信号として受信する圧電体振動子が配列されている超音波探触子（プローブ）を備えている。また当該超音波探触子に電気信号を供給して超音波を発生させるとともに、当該超音波探触子の各圧電体振動子が受信したエコー信号を受信する送受信回路と、送受信回路の送受信制御を行う送受信制御回路を備えている。

更に、送受信回路が受信したエコー信号を被検体の超音波画像データに変換する画像データ変換回路を備えている。また当該画像データ変換回路によって変換された超音波画像データでモニタを制御して表示する表示制御回路と、超音波医用画像診断装置全体の制御を行う制御回路を備えている。

制御回路には、送受信制御回路、画像データ変換回路、表示制御回路が接続されており、制御回路はこれら各部の動作を制御している。そして、超音波探触子の各圧電体振動子に電気信号を印加して被検体に対して超音波を送信し、被検体内部で音響インピーダンスの不整合によって生じる反射波を超音波探触子で受信する。

上記のような超音波診断装置によれば、本発明の圧電特性及び耐熱性に優れかつ高周波・広帯域に適した超音波受信用振動子の特徴を生かして、従来技術と比較して画質とその再現・安定性が向上した超音波像を得ることができる。

以下、実施例を挙げて本発明を説明するが、本発明はこれらに限定されない。

（実施例１）：末端にアミノ基を有するポリウレアの合成（１）
ジアミン０．０８５モル、炭酸アンモニウム０．０８５モル及びトリフェニルホスフィン０．１７５モルをピリジン５００ｍｌに加え攪拌した。反応溶液を７０℃に昇温し、ヘキサクロロエタン０．１７５モルを添加後、７０℃のまま２４時間攪拌を行った。反応溶液を、メタノール−アセトン１：１の混合溶媒に添加し、析出物をろ取した。析出物を水、メタノールで順次洗浄し、減圧乾燥を行うことにより、末端にアミノ基を有するポリウレアを得た。

得られたポリウレアと使用したジアミンを下記に示す。

〈ＰＵ−１２〉
重量平均分子量１２，０００、分子量分布４．２
ジアミン（２，７−ジアミノ−９Ｈ−フルオレン）
〈ＰＵ−１９〉
重量平均分子量６，７００、分子量分布２．４
ジアミン（２−クロロ−４，６−ジアミノ−１，３，５−トリアジン）
本実施例において、重量平均分子量（Ｍｎ）及び分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）は下記の要領で、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により算出した。測定条件は以下の通りである。

溶媒 ：３０ｍＭＬｉＢｒ ｉｎ Ｎ−メチルピロリドン
装置 ：ＨＬＣ−８２２０ＧＰＣ（東ソー（株）製）
カラム ：ＴＳＫｇｅｌ ＳｕｐｅｒＡＷＭ−Ｈ×２本（東ソー（株）製）
カラム温度：４０℃
試料濃度 ：１．０ｇ／Ｌ
注入量 ：４０μｌ
流量 ：０．５ｍｌ／ｍｉｎ
校正曲線 ：標準ポリスチレン：ＰＳ−１（Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｌａｂｏｒａｔｏｒｉｅｓ社製）Ｍｗ＝５８０〜２，５６０，０００までの９サンプルによる校正曲線を使用した。

（実施例２）：末端にアミノ基を有するポリウレアの合成（２）
窒素雰囲気下、ジイソシアネートを１０倍量のＮＭＰに溶解し、０℃に冷却した。ジイソシアネートの２倍モルのジアミンを１０倍量のＮＭＰに溶解し、反応溶液に添加した。０℃で１時間攪拌した後、反応溶液を室温まで戻し、更に３時間攪拌を行った。反応溶液を酢酸エチル−ヘプタンに滴下し、上澄みをデカントで取り除いた。残渣を酢酸エチルで洗浄することにより、末端にアミノ基を有するポリウレアを得た。得られたポリウレアと使用した原料を下記に示す。

〈ＰＵ−１８〉
重量平均分子量２２，０００、分子量分布３．４
ジイソシアネート（９Ｈ−フルオレン−２，７−ジイソシアネート）
ジアミン（２，２−ジメチル−１，３−プロパンジアミン）
〈ＰＵ−５４〉
重量平均分子量１５，０００、分子量分布２．９
ジイソシアネート（１，３−ビス（イソシアナトメチル）シクロヘキサン）
ジアミン（Ｎ−メチル−１，３−プロパンジアミン）
（実施例３）：末端にイソシアネート基を有するポリウレアの合成
窒素雰囲気下、ジアミンを１０倍量のＮＭＰに溶解し、０℃に冷却した。ジアミンの２倍モルのジイソシアネートを１０倍量のＮＭＰに溶解し、反応溶液に添加した。０℃で１時間攪拌した後、反応溶液を室温まで戻し、更に３時間攪拌を行った。反応溶液を酢酸エチル−ヘプタンに滴下し、上澄みをデカントで取り除いた。残渣を酢酸エチルで洗浄することにより、末端にイソシアネート基を有するポリウレアを得た。得られたポリウレアと使用した原料を下記に示す。

〈ＰＵ−１〉
重量平均分子量２７，０００、分子量分布３．７
ジイソシアネート（１，３−フェニレンジイソシアネート）
ジアミン（Ｎ，Ｎ‘−ジメチル−１，３−プロパンジアミン）
〈ＰＵ−２６〉
重量平均分子量１０，０００、分子量分布３．１
ジイソシアネート（１，３−ジイソシアネートシクロヘキサン）
ジアミン（２−クロロ−４，６−ジアミノ−１，３，５−トリアジン）
〈ＰＵ−５７〉
重量平均分子量１８，０００、分子量分布３．３
ジイソシアネート（１，３−ビス（イソシアナトメチル）シクロヘキサン）
ジアミン（２，２−ジメチル−１，３−プロパンジアミン）
（実施例４）：樹脂組成物膜の作製（１）
窒素雰囲気下、ポリウレアをＮＭＰに溶解し、反応液を０℃に冷却した。ポリウレアの重量平均分子量に対して当モルのマクロモノマーをＮＭＰに溶解し、反応液に添加した。添加後、０℃で１時間攪拌した後、内温を徐々に７０℃まで昇温し、更に３時間攪拌を行った。得られた反応液をメタノールに滴下し、上澄みをデカンで除去し、真空乾燥させることにより、樹脂組成物−１〜７を得た。重量平均分子量及び分子量分布は、ＧＰＣの測定を上記と同様に行い、ポリスチレン換算で求めた。

これらの得られた樹脂組成物を、あらかじめ表面にアルミ蒸着済みの２５μｍのポリイミドフィルムに、１％の重合度５００のポリビニルアルコールのメタノール溶液を乾燥膜圧が０．１μｍに成るように塗布乾燥を行った基盤上に、乾燥膜圧が７μｍになるように塗布乾燥を行った。次に、このようにして樹脂組成物の膜が形成された基板の表面にアルミ電極を蒸着で取り付けたあとで、高圧電源装置ＨＡＲＢ−２０Ｒ６０（松定プレシジョン（株）製）を用いて、１００ＭＶ／ｍの電場を印加した状態で、１５０℃まで５℃／ｍｉｎの割合で上昇し、１５０℃で１５分間保持したあとで電圧は印加したままで室温まで徐冷し、ポーリング処理を施し樹脂組成物膜−１〜７を作製した。なお、当該樹脂組成物膜は電極を具備しているので超音波振動子と使用可能のものである。以下同様。

（実施例５）：樹脂組成物膜の作製（２）
窒素雰囲気下、ポリウレアをＮＭＰに室温で溶解した。ＮＭＰに溶解したマクロモノマーを添加した後、反応溶液を８０℃まで昇温し、３時間攪拌を行った。

得られた反応溶液を、あらかじめ表面にアルミ蒸着済みの２５μｍのポリイミドフィルムに、１％の重合度５００のポリビニルアルコールのメタノール溶液を乾燥膜圧が０．１μｍに成るように塗布乾燥を行った基盤上に、乾燥膜圧が７μｍになるように塗布を行った。塗布物の溶媒を減圧条件下で除去し、高圧電源装置ＨＡＲＢ−２０Ｒ６０（松定プレシジョン（株）製）を用いて、１００ＭＶ／ｍの電場を印加した状態で、１５０℃まで５℃／ｍｉｎの割合で上昇し、１５０℃で１５分間保持したあとで電圧は印加したままで室温まで徐冷し、ポーリング処理を施した。樹脂組成物の膜が形成された基板の表面にアルミ電極を蒸着で取り付け、樹脂組成物膜−８、９を作製した。

（比較例１）：比較樹脂組成物膜−１の作製
実施例４の樹脂組成物膜−５で使用したマクロモノマーと同じ原料である、９Ｈ−フルオレン−２，７−ジイソシアネート及び２−（２−アミノエトキシ）エタノールを１：２のモル比で使用し、以下の操作を行った。

窒素雰囲気下、ポリウレア（ＰＵ−１）をＮＭＰに溶解し、反応液を０℃に冷却した。ＰＵ−１の重量平均分子量に対して当モルの９Ｈ−フルオレン−２，７−ジイソシアネート、２倍モルの２−（２−アミノエトキシ）エタノールを夫々ＮＭＰに溶解し、反応液へ同時に添加した。添加後、０℃で１時間攪拌した後、内温を徐々に７０℃まで昇温し、更に３時間攪拌を行った。ＮＭＰに不溶な成分をろ過で除いた後、反応液をメタノールに滴下し、上澄みをデカンで除去した。残渣を真空乾燥させることにより、比較樹脂組成物−１を得た。重量平均分子量及び分子量分布は、ＧＰＣの測定を上記と同様に行い、ポリスチレン換算で求めた。

得られた樹脂組成物を、あらかじめ表面にアルミ蒸着済みの２５μｍのポリイミドフィルムに、１％の重合度５００のポリビニルアルコールのメタノール溶液を乾燥膜圧が０．１μｍに成るように塗布乾燥を行った基盤上に、乾燥膜圧が７μｍになるように塗布乾燥を行った。次に、このようにして樹脂組成物の膜が形成された基板の表面にアルミ電極を蒸着で取り付けたあとで、高圧電源装置ＨＡＲＢ−２０Ｒ６０（松定プレシジョン（株）製）を用いて、１００ＭＶ／ｍの電場を印加した状態で、１５０℃まで５℃／ｍｉｎの割合で上昇し、１５０℃で１５分間保持したあとで電圧は印加したままで室温まで徐冷し、ポーリング処理を施し比較樹脂組成物膜−１を作製した。

（比較例２）：比較樹脂組成物膜−２の作製
マクロモノマーとして、分子量２，０００のポリエチレングリコール（ＰＥＧ２，０００）を使用し、実施例４と同様の操作で比較樹脂組成膜−２を作製した。

（比較例３）：比較樹脂組成物膜−３の作製
窒素雰囲気下、二塩化テレフタロイルをＮＭＰに溶解させ、反応液を０℃に冷却した。二塩化テレフタロイルと当モルの３，５−ジアミノ安息香酸を溶解したＮＭＰを加え、反応液を室温まで戻して１時間攪拌した。更に同量の二塩化テレフタロイルをＮＭＰに溶解して添加し、１５分間攪拌を行うことにより、末端基が酸ハライドを有するポリアミド（Ａ）のＮＭＰ溶液を得た。

ポリアミド（Ａ）のＮＭＰ溶液を０℃に冷却し、ＮＭＰに溶解したマクロモノマー（Ｍ−３８）を添加した。添加後、０℃で１時間攪拌した後、内温を徐々に７０℃まで昇温し、更に３時間攪拌を行った。得られた反応液をメタノールに滴下し、上澄みをデカンで除去し、真空乾燥させることにより、比較樹脂組成物−３を得た。

得られた樹脂組成物を、あらかじめ表面にアルミ蒸着済みの２５μｍのポリイミドフィルムに、１％の重合度５００のポリビニルアルコールのメタノール溶液を乾燥膜圧が０．１μｍに成るように塗布乾燥を行った基盤上に、乾燥膜圧が７μｍになるように塗布乾燥を行った。次に、このようにして樹脂組成物の膜が形成された基板の表面にアルミ電極を蒸着で取り付けたあとで、高圧電源装置ＨＡＲＢ−２０Ｒ６０（松定プレシジョン（株）製）を用いて、１００ＭＶ／ｍの電場を印加した状態で、１５０℃まで５℃／ｍｉｎの割合で上昇し、１５０℃で１５分間保持したあとで電圧は印加したままで室温まで徐冷し、ポーリング処理を施し比較樹脂組成物膜−３を作製した。

（比較例４）：比較樹脂組成物膜−４の作製
実施例３のポリウレア（ＰＵ−５７）に使用した２，２−ジメチル−１，３−プロパンジアミンの代わりに２，２−ジメチル−１，３−プロパンジオールを用いた以外は、同様の操作を行い、末端にイソシアネート基を有するポリウレタン（Ａ）を得た。

得られたポリウレタン（Ａ）をポリウレアの代わりとして使用し、実施例４と同様の操作により比較樹脂組成物膜−４を得た。

（実施例６）：樹脂組成物膜の評価
得られた上記各種樹脂組成物膜を超音波振動子として、共振法にて圧電性の評価を室温と、１００℃まで加熱した状態で行った。その結果を表１に示す。なお圧電特性は、ＰＶＤＦ膜の室温で測定した時の値を１００％とした相対値として示す。

（実施例７）
得られた上記各種樹脂組成物膜のうちの一部樹脂組成物膜について、２ｃｍ平方に切り出し、焦電性を、摂氏−１００度から１５０度まで温度が可変の温度槽にセットし温度上昇率を変えて発生する電荷を微小電流計により観測し焦電率を測定した。なお焦電率は、ＰＶＤＦ膜の値を１００％として相対値で示した。

上記測定結果等をまとめて表１及び表２に示す。

表２に示した結果から明らかなように、本発明の、ポリウレアとマクロモノマー用いて形成された樹脂組成物より形成された有機圧電体膜の圧電特性及び焦電性は、比較例に比べ優れていることが分かる。

（実施例８）
（超音波探触子の作製と評価）
〈送信用圧電材料の作製〉
成分原料であるＣａＣＯ₃、Ｌａ₂Ｏ₃、Ｂｉ₂Ｏ₃とＴｉＯ₂、及び副成分原料であるＭｎＯを準備し、成分原料については、成分の最終組成が（Ｃａ₀．₉₇Ｌａ₀．₀₃）Ｂｉ₄．₀₁Ｔｉ₄Ｏ₁₅となるように秤量した。次に、純水を添加し、純水中でジルコニア製メディアを入れたボールミルにて８時間混合し、十分に乾燥を行い、混合粉体を得た。得られた混合粉体を、仮成形し、空気中、８００℃で２時間仮焼を行い仮焼物を作製した。次に、得られた仮焼物に純水を添加し、純水中でジルコニア製メディアを入れたボールミルにて微粉砕を行い、乾燥することにより圧電セラミックス原料粉末を作製した。微粉砕においては、微粉砕を行う時間および粉砕条件を変えることにより、それぞれ粒子径１００ｎｍの圧電セラミックス原料粉末を得た。それぞれ粒子径の異なる各圧電セラミックス原料粉末にバインダーとして純水を６質量％添加し、プレス成形して、厚み１００μｍの板状仮成形体とし、この板状仮成形体を真空パックした後、２３５ＭＰａの圧力でプレスにより成形した。次に、上記の成形体を焼成した。最終焼結体の厚さは２０μｍの焼結体を得た。なお、焼成温度は、それぞれ１１００℃であった。１．５×Ｅｃ（ＭＶ／ｍ）以上の電界を１分間印加して分極処理を施した。

〈受信用積層振動子の作製〉
前記実施例１において作製した有機圧電体膜と厚さ５０μｍのポリエステルフィルムをエポキシ系接着剤にて貼り合わせた積層振動子を作製した。その後、上記と同様に分極処理をした。

次に、常法に従って、上記の送信用圧電材料の上に受信用積層振動子を積層し、かつバッキング層と音響整合層を設置し超音波探触子を試作した。

なお、比較例として、上記受信用積層振動子の代わりに、ポリフッ化ビニリデン共重合体のフィルム（有機圧電体膜）のみを用いた受信用積層振動子を上記受信用積層振動子に積層した以外、上記超音波探触子と同様の探触子を作製した。

次いで、上記２種の超音波探触子について受信感度と絶縁破壊強度の測定をして評価した。

なお、受信感度については、５ＭＨｚの基本周波数ｆ₁を発信させ、受信２次高調波ｆ₂として１０ＭＨｚ、３次高調波として１５ＭＨｚ、４次高調波として２０ＭＨｚの受信相対感度を求めた。受信相対感度は、ソノーラメディカルシステム社（Ｓｏｎｏｒａ Ｍｅｄｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍ，Ｉｎｃ：２０２１Ｍｉｌｌｅｒ Ｄｒｉｖｅ Ｌｏｎｇｍｏｎｔ，Ｃｏｌｏｒａｄｏ（０５０１ ＵＳＡ））の音響強度測定システムＭｏｄｅｌ８０５（１〜５０ＭＨｚ）を使用した。

絶縁破壊強度の測定は、負荷電力Ｐを５倍にして、１０時間試験した後、負荷電力を基準に戻して、相対受信感度を評価した。感度の低下が負荷試験前の１％以内のときを良、１％を超え１０％未満を可、１０％以上を不良として評価した。

上記評価において、本発明に係る受信用圧電（体）積層振動子を具備した超音波探触子は、比較例に対して約１．２倍の相対受信感度を有しており、かつ絶縁破壊強度は良好であることを確認した。すなわち、本発明の超音波受信用振動子は、図１に示したような超音波医用画像診断装置に用いる探触子にも好適に使用できることが確認された。

Claims (10)

1. ウレア結合、ウレタン結合、エステル結合、エーテル結合又はアミド結合から選ばれる少なくとも２種の結合を有するマクロモノマーとポリウレアの重合反応により形成されたことを特徴とする有機圧電材料。
2. 前記ポリウレアが、芳香族縮環構造を有することを特徴とする請求項１に記載の有機圧電材料。
3. 前記マクロモノマーが、芳香族縮環構造を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の有機圧電材料。
4. 前記マクロモノマーの化学構造において、末端がイソシアナート基であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の有機圧電材料。
5. 前記マクロモノマーの化学構造において、末端が活性水素を有する基であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の有機圧電材料。
6. 請求項１〜５のいずれか一項に記載の有機圧電材料の製造方法であって、ウレア結合、ウレタン結合、エステル結合、エーテル結合又はアミド結合から選ばれる少なくとも２つの結合を有するマクロモノマーとポリウレアを重合させることを特徴とする有機圧電材料の製造方法。
7. 請求項１〜５のいずれか一項に記載の有機圧電材料の製造方法であって、前記マクロモノマーとポリウレアを基板上に塗布した後、加熱により重合させることを特徴とする有機圧電材料の製造方法。
8. 請求項１〜５のいずれか一項に記載の有機圧電材料の製造方法であって、前記マクロモノマーとポリウレアの重合反応により形成された樹脂を含有するポリウレア樹脂組成物を基板上に塗布することを特徴とする有機圧電材料の製造方法。
9. 請求項１〜５のいずれか一項に記載の有機圧電材料を用いたことを特徴とする超音波振動子。
10. 超音波送信用振動子と超音波受信用振動子を具備する超音波探触子であって、請求項１〜５のいずれか一項に記載の有機圧電材料を用いた超音波振動子を超音波受信用振動子として具備したことを特徴とする超音波探触子。