JPS5944794B2 - 高分子フイルムの成極方法 - Google Patents

高分子フイルムの成極方法

Info

Publication number
JPS5944794B2
JPS5944794B2 JP50031152A JP3115275A JPS5944794B2 JP S5944794 B2 JPS5944794 B2 JP S5944794B2 JP 50031152 A JP50031152 A JP 50031152A JP 3115275 A JP3115275 A JP 3115275A JP S5944794 B2 JPS5944794 B2 JP S5944794B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
electrodes
electrode
polarization
polymer film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP50031152A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS51107496A (en
Inventor
真とも 吉川
徹 佐々木
収二 寺崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kureha Corp
Original Assignee
Kureha Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kureha Corp filed Critical Kureha Corp
Priority to JP50031152A priority Critical patent/JPS5944794B2/ja
Priority to CA247,750A priority patent/CA1042385A/en
Priority to NL7602721.A priority patent/NL167279C/xx
Priority to SU762335158A priority patent/SU623533A3/ru
Priority to GB10401/76A priority patent/GB1533593A/en
Priority to DE19762611047 priority patent/DE2611047C3/de
Priority to US05/667,311 priority patent/US4047998A/en
Priority to FR7607749A priority patent/FR2305030A1/fr
Publication of JPS51107496A publication Critical patent/JPS51107496A/ja
Publication of JPS5944794B2 publication Critical patent/JPS5944794B2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01Manufacture or treatment
    • H10N30/09Forming piezoelectric or electrostrictive materials
    • H10N30/098Forming organic materials
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G7/00Capacitors in which the capacitance is varied by non-mechanical means; Processes of their manufacture
    • H01G7/02Electrets, i.e. having a permanently-polarised dielectric
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G7/00Capacitors in which the capacitance is varied by non-mechanical means; Processes of their manufacture
    • H01G7/02Electrets, i.e. having a permanently-polarised dielectric
    • H01G7/021Electrets, i.e. having a permanently-polarised dielectric having an organic dielectric
    • H01G7/023Electrets, i.e. having a permanently-polarised dielectric having an organic dielectric of macromolecular compounds
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01Manufacture or treatment
    • H10N30/04Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning
    • H10N30/045Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning by polarising
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/85Piezoelectric or electrostrictive active materials
    • H10N30/857Macromolecular compositions
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49226Electret making

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Conductive Materials (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は高分子フィルムの両面に金属薄膜が被着された
金属化フィルムの両面の金属膜を電極として直流電界を
作用させ電極を行なうに際し、該被電極フィルムの少な
くとも片面の電極が複数個の互いに独立した非連続の電
極より成る場合に、電極時における短絡による被電極フ
ィルムの損失をできるだけ少なくして効果的に電極を行
なう方法に関するものである。
伊暁ばポリフッ化ビニリデン、ポリフッ化ビニル、ポリ
塩化ビニル、ナイロン11などの極性の大きい高分子成
形物を電極することにより圧電性および焦電性の大きい
成形物が得られることが知られており、これらの圧電性
を利用して例えば電気音響変換器、振動測定器、圧電ス
イッチ、心音計、脈はく計その他の用途が提案されてお
り、また焦電的性質を利用したものとして赤外線感知器
、温度変化の測定装置、火災報知器、焦電スイッチなど
が提案されている。
これらの電気的装置に使用する場合は多くフィルム状の
圧電若しくは焦電体が使用されるが(以下圧電体等と記
す)’、必らずフィルムの両面に電極が付される必要が
ある。
この場合両極間に比較的高い電圧が与えられる用途の場
合、例えばフィルムの厚みが6〜50ミクロンと極めて
薄く、両極間に30V以上の電圧が印加される場合は側
縁部ギリギリまで両面の電極が被着されているとその端
部で沿面放電を起したり、端面で両極が短絡し素子が使
用できなくなる場合がある。この両極間の放電を避ける
ためにはフィルムの片面若しくは両面の電極の周囲に電
極のない所謂マージン部を設け、両面の電極間隔を電気
的に分離する必要がある。一方圧電体等を製造する場合
、個々に使用される大きさの素子を別々に作成すること
は極めて非能率であるので、大面積のフィルムの両面に
金属薄膜電極が被着されたものを一度に電極し、この大
面積の電極フィルムより個々の素子を切り取る方法が好
ましい。
この場合大面積のフィルムに被着された電極力漣続した
ものより切り取つた素子は側縁部ぎりぎりまで金属皮膜
で覆われているのでマージン部を必要とする場合はその
部分だけの電極を例洸ば薬品で溶解するなどの操作によ
り除去せねばならず、極めて面倒である。そこで大面積
のフィルムに予めマージン部を考慮した間隔を設けて複
数個の電極を被着させておき、これを一度に電極を行な
つた後個々の素子を切り取ることが考えられる。また圧
電体または焦電体を用いたフイルム型キーボードスイツ
チや座標入力装置も提案されて卦り、この場合はキーの
各座標に生じた圧電若しくは焦電変化を分離して入力す
るためフイルムの片面若しくは両面の電極はスポツト状
または線状等の個々に独立したもの複数個より成る。
上述した如く1枚のフイルムの片面若しくは両面に独立
した電極が多数被着されたフイルムを成極する場合、個
々の独立した電極に通電する必要があるが、個々の独立
電極に一々電気配線を行なうことは大きな手間を要する
ので最も簡単に各電極に通電する方法として各独立電極
の複数個若しくは全部と面接触する大面積の電極を接触
させ、この大面積の電極を通して通電する方法が好まし
X,rしかしこのような大面積の電源電極を使用する場
合において次の如き問項が生じ即ち圧電体等の製造にお
いて他の条件が同じならば一般に電圧の高い程圧電率お
よび焦電率は高くなり、また成極中フイルムの性質(特
に結晶形、結晶化度)があまり変らない範囲では一般に
成極温度が高い程圧電率卦よび焦電率は高くなることが
知られている。
しかし一般にフイルムの絶縁抵抗は高温になると低下し
、付与し得る電界強度も低下するので電圧と成極温度と
の相関に卦いて最適条件を選ぶ必要がある。いずれにし
ても高度の圧電性または焦電性を得たい場合にはフイル
ムの成極温度における絶縁破壊電圧に近い高電圧下で成
極する必要がある。
例えば銅や鉄の板の如き剛性の電極と薄いフイルムとを
全面均一に密着させることは厄介であり、ややもすれば
所々にエアギヤツプを生じ易い。成極の場合電極とフイ
ルムとの間にエアギヤツプが存在すると、空気の絶縁破
壊電圧は被成極フイルムのそれよりも低いので、エアギ
ヤツプ部分でコロナ放電を生じ、そのため薄いフイルム
にピンホールを生ずる恐れがある。また高分子フイルム
の両面に薄膜電極が被着したフイルムの両極に電圧を付
加した場合、若しフイルムの絶縁抵抗が破れて短絡した
としても電極が薄い場合は短絡した部分の周囲の電極が
蒸発して再び両極間の絶縁が回復する所謂自己回復が生
じ、フイルムは大きな損傷なしに成極を継続することが
できるが、電極が厚く容易に蒸発除去され難い場合には
このような自己回復は整めず、短絡後の成極は不可能と
なる。本発明者等は高分子フイルムの成極に関する研究
を長年継続して行なつた結果、上述した成極時に生ずる
種々の問題点を見出し、更に深く研究を進めて本発明に
到達したものである。本発明は高分子フイルムの両面に
被着された金属薄膜電極の少なくとも片方が複数個の互
いに独立した非連続の電極より構成されたものを成極す
る場合、非連続の電極面に別の金属薄膜が略々片面全面
に被着されたフイルム(以下成極用フイルムと称す)を
重ね合せ電極とし、この成極用フイルムの金属薄膜面を
密着させ、全面被着金属薄膜を通じて被成極フイルムの
各独立電極に通電し成極を行なうようにしたものである
本発明において成極用フイルムの略全面に金属薄膜が被
着されているというのは例えば被成極フイルムの非連続
電極が付された面の裏面全面に電極が被着されている場
合沿面放電を避けるため成極用フイルムの金属被着面の
周囲にマージン部を設けることが必要な場合がある。
まずこのマージン部の電極被着は行なわれな〜・。更に
また成極時は被成極フイルムは両面を金属薄膜で挾まベ
コンデンサを形成しているので、両面の電極面積が大き
くなればそのコンデンサ容量も大きくなる。若し成極中
にフイルムの薄い箇所とか導電性不純物を含有する箇所
がある場合、あるいは前述したコロナ放電などの原因に
より局部的に絶縁破壊する場合コンデンサ容量が大きい
と両面の電極間に蓄えられた電気は一度にこの絶縁破廐
箇所より放電し絶縁破壊部を拡大するのみならず、大き
な事故を誘発する恐れもある。また更に本発明を用いて
長尺フイルムの連続成極を行なう場合、被成極フイルム
と成極用フイルムとは通常二枚が合せられてロールより
引き出され、また場合によつては二枚が合せられたまま
再びロールに巻き取られるが、若し成極用フイルム側に
プラスの電源が接続される場合、電極がすべて連続して
いれば原反ロールから成極され巻取られたロールまです
べて高電圧電界が付加され、作業上の危険も大きい。そ
こでこの場合には成極用フイルムは所々で導電膜被着さ
れない絶縁された帯状部で金属薄膜を区切る必要がある
。また広巾のフイルムでは巾方向にも絶縁帯を設ける場
合もある。従つて略全面と言うのはこれらマージン部お
よび絶縁帯部を除いた全面という意味である。周被成極
フイルム裏面にマージン部のある場合には成極用フイル
ムにはマージン部は省略でき、また成極用フイルムがマ
イナスのアース電極となる場合には、被成極フイルムの
プラス電極となる側に絶縁帯を設け局所的通電を順次行
なえばよい。ロールコアに巻付けたままパツチ式に通電
する場合はその必要はない。被蒸着フイルムの電極卦よ
び成極用フイルムの金属薄膜は、例えば蒸着、メツキ等
の薄膜被覆方法によりフイルムに被着される。また金属
の材質は例えば金、白金、銀、銅、ニツケル、鉄、クロ
ム、アルミニウム、錫、タングステン等の通常蒸着もし
くはメツキ電極として使用し得る材料を使用することが
できる。また成極用フイルムに使用するフイルムは成極
温度に耐える材料であれば、例えばポリエチレン、ポリ
プロピレン、ポリ塩化ビニリデン、塩化ビニリデン一塩
化ビニル共重合体、ナイロン、ポリエステル、ポリカー
ボネート、ポリフツ化ビニル、ポリ塩化ビニル等、一般
にフイルム状で得られる任意の高分子フイルムを使用す
ることができる。またその厚みは柔軟なフイルムの場合
は500μ程度のものまで使用することができるが、あ
まり厚くなると被成極フイルムとはなれ易くなるので、
通常は3乃至200μの厚さが適当である。
本発明によれば被成極フイルムと成極用フイルムとは共
に薄いフイルムであるので、全面完全に密着させること
ができ、成極中に卦けるエアギヤツプによる放電破壊の
恐れも少なく、また被成極フイルムが成極中に絶縁破壊
しても成極用フイルムの薄膜電極が容易に蒸発して自己
回復することにより被害を最少に止めて高収率で成極を
行なうことができる。次に実施例によつて本発明方法を
更に説明する。附図に示された幅150m1厚み9μで
あるポリフツ化ビニリデンフイルム1の両面に真空蒸着
法によつてアルミニウムを被着させた蒸着フイルムを得
た。
このアルミニウム蒸着の形態について片面は両端10T
vnのマスキング部3を残して全面に蒸着2し、片面に
は横方向60rms縦方向90能の長方形の蒸着部を絶
縁間隔を10mVC.して横方向2列に形成し、縦方向
蒸着素子2′間の絶縁間隙4も10Tmにして多数形成
した。蒸着膜(ハ)厚みは電子顕微鏡による観察では5
00乃至550人の範囲であつこの圧電性金属化フイル
ムの絶縁間隙を付けた全面に厚み9μでアルミニウム蒸
着厚み500乃至550Aのポリエステル蒸着フイルム
5の蒸着面6を重ね合せ、外径150Trmの絶縁コア
に上記長方形の圧電素子を100枚製潰するべく10m
捲きつけた。
ポリエステル蒸着フイルムと圧電性蒸着フイルムの間お
よび圧電性蒸着フイルムの全面蒸着面側に縦40wrm
s横30w1nで厚み7μの錫箔を密着させて電極端子
となし、120℃乾熱中で800Vの直流電圧を15分
間印加し、その後電圧印加のまま室温に冷却する成極を
行なつた。電圧印加状態で度々絶縁破壊を起したが、自
己回復することによつて短絡することなく、商品的品質
の長方形の圧電フイルム素子が75枚圧電定数D3lが
8.2×10−7C,g8s.e.s.u3の値で得ら
れ塙25枚相当の不良品は絶縁破壊部が径3wm乃至1
0TVnの孔になつて自己回復したものであるが、同時
にポリエステル蒸着膜も自己回復していることが観察さ
れた。
本発明方法の適用により周囲に絶縁間隙を持つ任意形状
に両面蒸着された金属化圧電フイルム素子が能率よく成
極ができ、音響変換素子、電気一機械変換素子等に容易
に使用することが可能になつて工業的な利用価値は高い
【図面の簡単な説明】
附図は本発明実施例の態様を示す斜視図である。 1・・・被成極フイルム、2,2′・・・電極、3・・
・マスキング部、4・・・絶縁間隙、5・・・成極用フ
イルム、6・・・成極用電極。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 両面に金属薄膜電極が被着された高分子フィルムの
    一方若しくは両方の電極が複数個の互いに独立した非連
    続の電極より構成されたものを成極する方法において、
    高分子フィルムの片面略々全面に金属薄膜が被着された
    別の高分子フィルムの金属面を該被成極フィルムの非連
    続電極面に密着させ、全面被着金属薄膜を通して被成極
    フィルムの個々の独立電極に通電し成極を行なうことを
    特徴とする高分子フィルムの成極方法。
JP50031152A 1975-03-17 1975-03-17 高分子フイルムの成極方法 Expired JPS5944794B2 (ja)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP50031152A JPS5944794B2 (ja) 1975-03-17 1975-03-17 高分子フイルムの成極方法
CA247,750A CA1042385A (en) 1975-03-17 1976-03-12 Method of polarizing a high molecular film
NL7602721.A NL167279C (nl) 1975-03-17 1976-03-16 Werkwijze voor het polariseren van een foelie van thermoplastisch materiaal.
SU762335158A SU623533A3 (ru) 1975-03-17 1976-03-16 Способ пол ризации пленки из термопластичной смолы
GB10401/76A GB1533593A (en) 1975-03-17 1976-03-16 Method of polarizing a thermoplastic resin film
DE19762611047 DE2611047C3 (de) 1975-03-17 1976-03-16 Verfahren zum Polarisieren eines Thermoplastfilms
US05/667,311 US4047998A (en) 1975-03-17 1976-03-16 Method of polarizing a thermoplastic resin film
FR7607749A FR2305030A1 (fr) 1975-03-17 1976-03-17 Procede de polarisation d'une pellicule de resine thermoplastique

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP50031152A JPS5944794B2 (ja) 1975-03-17 1975-03-17 高分子フイルムの成極方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS51107496A JPS51107496A (en) 1976-09-24
JPS5944794B2 true JPS5944794B2 (ja) 1984-11-01

Family

ID=12323455

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP50031152A Expired JPS5944794B2 (ja) 1975-03-17 1975-03-17 高分子フイルムの成極方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US4047998A (ja)
JP (1) JPS5944794B2 (ja)
CA (1) CA1042385A (ja)
FR (1) FR2305030A1 (ja)
GB (1) GB1533593A (ja)
NL (1) NL167279C (ja)
SU (1) SU623533A3 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01147291U (ja) * 1988-03-29 1989-10-11

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4193287A (en) * 1978-03-30 1980-03-18 Fairchild Camera And Instrument Corporation Technique for applying polarizer material to liquid-crystal displays
JPS5512508A (en) * 1978-07-10 1980-01-29 Kureha Chem Ind Co Ltd Information recording sheet
GB2045522B (en) * 1979-04-03 1983-03-16 Standard Telephones Cables Ltd Piezo-electric film manufacture
US4291244A (en) * 1979-09-04 1981-09-22 Union Carbide Corporation Electrets
US4291245A (en) * 1979-09-04 1981-09-22 Union Carbide Corporation Electrets
US4365283A (en) * 1980-10-16 1982-12-21 Pennwalt Corporation Corona discharge poling process
US4392178A (en) * 1980-10-16 1983-07-05 Pennwalt Corporation Apparatus for the rapid continuous corona poling of polymeric films
JPS57114221A (en) * 1981-01-07 1982-07-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Metallized film capacitor
US4344810A (en) * 1981-03-16 1982-08-17 Gte Products Corporation Apparatus for making tape transducer
GB8325861D0 (en) * 1983-09-28 1983-11-02 Syrinx Presicion Instr Ltd Force transducer
JPH0653151A (ja) * 1992-06-03 1994-02-25 Showa Shell Sekiyu Kk アモルファスシリコン薄膜およびそれを応用した太陽電池
FR2700220B1 (fr) * 1993-01-06 1995-02-17 Saint Louis Inst Procédé pour polariser au moins une zone d'une feuille de matériau ferroélectrique, et procédé pour réaliser un élément polarisé pour capteur piézoélectrique ou pyroélectrique.
JPH07263991A (ja) * 1994-03-18 1995-10-13 Fujitsu Ltd 導電性接着樹脂を用いた直列共振デバイスの製造方法
US5574794A (en) * 1995-01-19 1996-11-12 Earmark, Inc. Microphone assembly for adhesive attachment to a vibratory surface
US6022595A (en) * 1996-02-01 2000-02-08 Rensselaer Polytechnic Institute Increase of deposition rate of vapor deposited polymer by electric field
WO2008052541A1 (en) * 2006-11-03 2008-05-08 Danfoss A/S A capacitive transducer with cutting areas
WO2012033914A1 (en) * 2010-09-09 2012-03-15 Battelle Memorial Institute Heating a short section of tape or wire to a controlled temperature

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL143362B (nl) * 1968-07-10 1974-09-16 Tno Werkwijze voor het formeren van een eenzijdig gemetalliseerde elektreetfoelie, alsmede zulk een elektreetfoelie geformeerd volgens deze werkwijze.
NL146969B (nl) * 1969-11-12 1975-08-15 Tno Verbetering van werkwijze voor het formeren van een eenzijdig gemetalliseerde elektreetfoelie.
US3894243A (en) * 1974-06-06 1975-07-08 Us Navy Polymeric transducer array

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01147291U (ja) * 1988-03-29 1989-10-11

Also Published As

Publication number Publication date
FR2305030B1 (ja) 1979-04-06
CA1042385A (en) 1978-11-14
JPS51107496A (en) 1976-09-24
GB1533593A (en) 1978-11-29
US4047998A (en) 1977-09-13
DE2611047A1 (de) 1976-09-30
NL167279C (nl) 1981-11-16
FR2305030A1 (fr) 1976-10-15
NL7602721A (nl) 1976-09-21
DE2611047B2 (de) 1977-06-08
SU623533A3 (ru) 1978-09-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5944794B2 (ja) 高分子フイルムの成極方法
JPS5818787B2 (ja) コウブンシフイルムデンキソシ ノ セイゾウホウホウ
US4049859A (en) Metallized film
US3943614A (en) Method of polarizing high molecular weight films
US4627138A (en) Method of making piezoelectric/pyroelectric elements
US4620262A (en) Pyroelectric energy converter element comprising vinylidene fluoride-trifluoroethylene copolymer
KR100880306B1 (ko) 압전 소자의 제조 방법
US5695860A (en) Resonant tag and method of manufacturing the same
US5844770A (en) Capacitor structures with dielectric coated conductive substrates
JPH04169995A (ja) 共振タグ及びその製造方法
JPS606220B2 (ja) ポリ弗化ビニリデンもしくは弗化ビニリデン共重合体の延伸薄膜製造法
JP3093849B2 (ja) 可撓性積層圧電素子
JP2011181554A (ja) 分極処理方法、および分極処理装置
JPWO2019078053A1 (ja) 圧電デバイス及びその製造方法
EP0119706B1 (en) Improved polarizing of material
JPS6051279B2 (ja) 熱可塑性樹脂圧電性焦電性フイルムの成極方法
EP0637190A2 (en) Diaphragm for a capacitance type loudspeaker
EP0755035B1 (en) Resonant tag and method of manufacturing the same
JPS58134485A (ja) 分極による無しわ圧電フイルムの製造方法
EP0014043A1 (en) Piezo-electric film manufacture and transducer
JP3012456B2 (ja) 可変コンデンサ
JPS5812729B2 (ja) 圧電効果を有するエレクトレット装置及びその製法
JPH0191412A (ja) 高分子圧電フィルムの製造方法
JP2001332956A (ja) 薄膜圧電素子基板
US4381534A (en) Process and arrangement for the polarization of shaped objects made from polymers