JPH0526357A - 流体制御器 - Google Patents

流体制御器

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JPH0526357A
JPH0526357A JP3133450A JP13345091A JPH0526357A JP H0526357 A JPH0526357 A JP H0526357A JP 3133450 A JP3133450 A JP 3133450A JP 13345091 A JP13345091 A JP 13345091A JP H0526357 A JPH0526357 A JP H0526357A
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    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 金属製ダイヤフラムが繰返して変形されても
早期に破損しない様にする。 【構成】 固定部材と締付部材との間に周縁が挾持固定
されて複数枚のものが重合された金属製ダイヤフラムの
各間に摺動円滑材を設け、これらの摺動を円滑にする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば化学装置や機械
装置等の流体管路に使用される流体制御器に係り、とり
わけ金属製ダイヤフラムを用いたものの改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の流体制御器としては、例
えば特開昭６３−７２９８４号公報に記載されたものが
知られている。当該流体制御器は、基本的には、固定部
材と、固定部材に対して締付可能に設けられた締付部材
と、固定部材と締付部材との間に周縁が挾持固定されて
複数枚のものが重合された金属製ダイヤフラムと、から
構成されている。而して、この様なものは、流体の制御
の為に、金属製ダイヤフラムが繰返して変形される。と
ころが、この様なものは、複数枚の金属製ダイヤフラム
が単に重合されていただけであったので、これらが繰返
して変形されると、隣接するもの同志が摺動して接触摩
擦に依り摩耗したり焼付いたりし、早期に破損する難点
があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、叙上の問題
点に鑑み、これを解決する為に創案されたもので、その
目的とする処は、金属製ダイヤフラムが繰返して変形さ
れても早期に破損しない様にした流体制御器を提供する
にある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の流体制御器は、
基本的には、固定部材と、固定部材に対して締付可能に
設けられた締付部材と、固定部材と締付部材との間に周
縁が挾持固定されて複数枚のものが重合された金属製ダ
イヤフラムと、各金属製ダイヤフラムの間に設けられて
これらの摺動を円滑にする摺動円滑材と、から構成した
事に特徴が存する。
【０００５】
【作用】金属製ダイヤフラムは、周縁が固定部材と締付
部材との間に挾持固定されている。流体の制御の為に、
金属製ダイヤフラムが変形されると、隣接するもの同志
が摺動するが、これらの間には摺動円滑材が設けられて
いるので、当該摺動が円滑に行なわれる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面に基づいて説
明する。図１は、本発明の第一実施例に係る流体制御器
を示す縦断側面図。図２は、図１の要部拡大縦断側面図
である。流体制御器１は、固定部材２、締付部材３、金
属製ダイヤフラム４、摺動円滑材５とからその主要部が
構成されている。固定部材２は、流体制御器１の基体を
為すもので、この例では、ボディにしてある。ボディ２
は、略十字状を呈して居り、左側には入口６が、右側に
は出口７が、上側内部には上方が開放した段付の凹室８
が夫々形成されていると共に、入口６と凹室８の底部中
程とは流入路９で、凹室８の底部右側と出口７とは流出
路１０で夫々連通され、流入路９の凹室８に臨む箇所つ
まり凹室８の底部中程には上向きのシート１１が設けて
ある。締付部材３は、固定部材２に対して締付可能に設
けられたもので、この例では、ボンネットにしてある。
ボンネット３は、凹室８の大径部に嵌入されてボディ２
の上部に螺着されるボンネットナット１２に依りボディ
２の上部に取付けられる。金属製ダイヤフラム４は、固
定部材２と締付部材３との間に周縁が挾持固定されて複
数枚のものが重合されたもので、この例では、シート１
１に直接当座する直接型にしてあり、厚さが略０．１〜
０．２ｍｍ、外径が略２５〜３０ｍｍφの円板状でニッ
ケル合金製のものを３〜４枚重合して構成している。而
して、金属製ダイヤフラム４は、凹室８の大径部に収め
られてこの上に嵌入されるボンネット３に依りその外周
が気密状態で挾持固定され、作動機構１３に依り作動さ
れる。作動機構１３は、この例では、気体作動型且つ逆
作動型にしてあり、ボンネット３に昇降可能に設けられ
たステム１４と、これの下部に設けられて金属製ダイヤ
フラム４に当合するダイヤフラム押え１５と、ボンネッ
ト３とステム１４との間に介装されてステム１４を常時
下動するバネ１６と、ボンネット３の上部に取付けられ
て空気等の気体圧に依りステム１４を上動させる気体圧
アクチェータ１７とから構成されている。気体圧アクチ
ェータ１７は、アクチェータボディ１８、アクチェータ
キャップ１９、ピストン２０、カウンタープレート２
１、気体給排口２２等から成っている。摺動円滑材５
は、各金属製ダイヤフラム４の間に設けられてこれらの
摺動を円滑にするもので、この例では、各金属製ダイヤ
フラム４の間に介設されたグリス等の潤滑油２３にして
あり、金属製ダイヤフラム４の接触面に塗布してある。
次に、この様な構成に基づいて作用を述解する。図１
は、閉状態を示して居り、入口６からの流体がシート１
１の部分で閉止されている。この時、バネ１６の弾力に
依りステム１４並びにダイヤフラム押え１５が下動さ
れ、金属製ダイヤフラム４の中程が下方に変形されてシ
ート１１に当座されている。この様な状態から、気体圧
アクチェータ１７に圧力気体を供給すると、バネ１６の
弾力に抗してステム１４並びにダイヤフラム押え１５が
上動され、金属製ダイヤフラム４が自身の弾力並びに入
口６からの流体に依り上方に変形されてシート１１から
離座する。従って、入口６からの流体は、流入路９→凹
室８→流出路１０→出口７に通流して開状態になる。逆
に、開状態から、気体圧アクチェータ１７への圧力気体
の供給を停止すると、前述とは逆に図１に示す閉状態に
戻る。金属製ダイヤフラム４は、周縁がボディ２とボン
ネット３との間に気密状態で挾持固定されているので、
凹室６に達した流体が外部に漏洩する事がない。流体の
制御の為に、金属製ダイヤフラム４が繰返して変形され
ると、隣接するもの同志が摺動しようとするが、これら
の間には潤滑油２３が介設されているので、摺動が円滑
に行なわれる。この為、隣接する金属製ダイヤフラム４
が接触摩擦に依り摩耗したり焼付いたりして早期に破損
する事がない。実験結果に依れば、寿命を１．５〜２倍
に延伸できた。
【０００７】次に、本発明の第二実施例を図３に基づい
て説明する。第二実施例は、摺動円滑材５を各金属製ダ
イヤフラム３に付設された銀鍍金等の鍍金層２４にした
点、が第一実施例と異なる。第二実施例では、鍍金層２
４は、各金属製ダイヤフラム３の表裏両面に付設してい
る。
【０００８】尚、固定部材２と締付部材３は、先の実施
例では、ボディとボンネットであったが、これに限ら
ず、例えば実開昭６１−１１９６７５号公報に記載され
たものの様に、アクチェータボディとアクチェータキャ
ップでも良い。金属製ダイヤフラム３は、先の実施例で
は、シートに直接当座する直接型であったが、これに限
らず、例えば特開昭６３−７２９８４号公報に記載され
たものの様に、シートに当座するディスクを備えた間接
型でも良い。摺動円滑材５は、先の実施例では、潤滑油
２３や鍍金層２４であったが、これらに限定される事は
ない。作動機構１３は、先の実施例では、気体作動型で
あったが、これに限らず、例えば他の作動型や手動型で
も良い。作動機構１３は、先の実施例では、逆作動型で
あったが、これに限らず、例えば正作動型でも良い。
【０００９】
【発明の効果】以上、既述した如く、本発明に依れば、
次の様な優れた効果を奏する事ができる。 （１） 固定部材、締付部材、金属製ダイヤフラム、摺
動円滑材とで構成し、とりわけ摺動円滑材を設けたの
で、金属製ダイヤフラムが繰返して変形されても早期に
破損する事がなく、寿命を大幅に延伸できる。 （２） 摺動円滑材を設けるだけであるので、コストが
余り掛からず、既存のものにも容易に適用できる。 （３） 摺動円滑材が潤滑油や鍍金層の場合には、金属
製ダイヤフラムの防錆にも寄与させる事ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一実施例に係る流体制御器を示す縦
断側面図。
【図２】図１の要部拡大縦断側面図。
【図２】本発明の第二実施例に係る流体制御器を示す要
部拡大縦断側面図。
【符号の説明】
１ 流体制御器 ２ 固定部材 ３ 締付部材 ４ 金属製ダイヤフラム ５ 摺動円滑材
【手続補正書】
【提出日】平成４年９月８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一実施例に係る流体制御器を示す縦
断側面図。
【図２】図１の要部拡大縦断側面図。
【図３】本発明の第二実施例に係る流体制御器を示す要
部拡大縦断側面図。
【符号の説明】 １ 流体制御器 ２ 固定部材 ３ 締付部材 ４ 金属製ダイヤフラム ５ 摺動円滑材

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 固定部材と、固定部材に対して締付可能
    に設けられた締付部材と、固定部材と締付部材との間に
    周縁が挾持固定されて複数枚のものが重合された金属製
    ダイヤフラムと、各金属製ダイヤフラムの間に設けられ
    てこれらの摺動を円滑にする摺動円滑材と、から構成し
    た事を特徴とする流体制御器。
  2. 【請求項２】 摺動円滑材を、各金属製ダイヤフラムの
    間に介設された潤滑油にした事を特徴とする請求項１記
    載の流体制御器。
  3. 【請求項３】 摺動円滑材を、各金属製ダイヤフラムに
    付設された鍍金層にした事を特徴とする請求項１記載の
    流体制御器。
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EP92302500A EP0512674B1 (en) 1991-05-09 1992-03-24 Fluid flow controller
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CA002065589A CA2065589C (en) 1991-05-09 1992-04-08 Fluid flow controller
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