JPS61119675A - 被覆焼結合金及びその製造方法 - Google Patents
被覆焼結合金及びその製造方法Info
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- JPS61119675A JPS61119675A JP24019284A JP24019284A JPS61119675A JP S61119675 A JPS61119675 A JP S61119675A JP 24019284 A JP24019284 A JP 24019284A JP 24019284 A JP24019284 A JP 24019284A JP S61119675 A JPS61119675 A JP S61119675A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C14/021—Cleaning or etching treatments
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C16/0227—Pretreatment of the material to be coated by cleaning or etching
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分ｆｆ？）
本発明は、耐摩耗性、耐衝撃性及び耐剥離性にすぐれた
被覆焼結合金及びその製造方法に関する。
被覆焼結合金及びその製造方法に関する。
（従来の技術）
超硬合金又はサーメットからなる焼結合金基体の表面に
ＣＶＤ （化学蒸１着法）又はＰＶＤ （物理／Ｘ前着
法によって元素周期律表４ａ、５ａ。
ＣＶＤ （化学蒸１着法）又はＰＶＤ （物理／Ｘ前着
法によって元素周期律表４ａ、５ａ。
６ａ族金居の炭化物、窒化物、酸化物及びこれらの相互
固溶体並びに酸化アルミニウム、酸窒化アルミニウム、
酸度窒化アルミニウムの中の少なくとも１種の中層又は
２種以上からなる多重層の被覆層を形成してなる被覆焼
結合金は、多数の提案がだされ、実際に実用化されてい
るものもある。
固溶体並びに酸化アルミニウム、酸窒化アルミニウム、
酸度窒化アルミニウムの中の少なくとも１種の中層又は
２種以上からなる多重層の被覆層を形成してなる被覆焼
結合金は、多数の提案がだされ、実際に実用化されてい
るものもある。
さらに、現在も被覆焼結合金の被覆層、基体及び形状の
改良によりノＩ命向土の追究が行なわれている。
改良によりノＩ命向土の追究が行なわれている。
（発明が解決しょとする問題点）
被覆焼結合金は、被覆層を形成させる焼結合金基体の表
面状態が大別して２種類あり、その１つは焼結後の表面
状態である焼肌面に直接被覆層を形成させるものと、他
の１つは焼結後研削などの加工を施した表面に被８２層
を形成させるものである。この内、後者による被覆焼結
合金は、寸法精度がよく精密仕上を行なうための耐摩耗
用工具又は９Ｊ削用工具として好ましいものである。と
ころが焼結合金基体の研削面に被覆層を形成させた被覆
焼結合金であっても、特にＰＶＤによって基体の表面に
被覆層を形成させた被覆焼結合金は、被覆層の耐剥離性
が劣るために寿命が極端に短かったり、信頼性が低いと
いう問題がある。
面状態が大別して２種類あり、その１つは焼結後の表面
状態である焼肌面に直接被覆層を形成させるものと、他
の１つは焼結後研削などの加工を施した表面に被８２層
を形成させるものである。この内、後者による被覆焼結
合金は、寸法精度がよく精密仕上を行なうための耐摩耗
用工具又は９Ｊ削用工具として好ましいものである。と
ころが焼結合金基体の研削面に被覆層を形成させた被覆
焼結合金であっても、特にＰＶＤによって基体の表面に
被覆層を形成させた被覆焼結合金は、被覆層の耐剥離性
が劣るために寿命が極端に短かったり、信頼性が低いと
いう問題がある。
本発明は、上記のような問題点を解決したもので、具体
的には研削などの加工によって生じた基体表面の欠陥を
除去し、その基体の表面に被覆層を形成させてなる耐剥
離性、耐衝撃性及び耐摩耗性にすぐれた被覆焼結合金及
びその製造方法の提供を目的とする。
的には研削などの加工によって生じた基体表面の欠陥を
除去し、その基体の表面に被覆層を形成させてなる耐剥
離性、耐衝撃性及び耐摩耗性にすぐれた被覆焼結合金及
びその製造方法の提供を目的とする。
（問題点を解決するための手段）
一般に、ＰＶＤによって基体の表面に被覆層を形成させ
た被覆焼結合金はＣＶＤによるものに比較して強度低下
が小さいけれども被覆層の耐剥離性が劣るといわれてい
る。このように被′ＰＩ！層の耐２１雌性が劣るのは基
体と被覆層との密着性に間通があると考えられている。
た被覆焼結合金はＣＶＤによるものに比較して強度低下
が小さいけれども被覆層の耐剥離性が劣るといわれてい
る。このように被′ＰＩ！層の耐２１雌性が劣るのは基
体と被覆層との密着性に間通があると考えられている。
そこで本発明者らは、ＣＶＤ又はＰＶＤによる被覆方法
の相違が被覆焼結合金の基体と被覆層との密着性にどの
ように影響を及ぼしているのかを追究したところ、ＣＶ
Ｄによる被覆焼結合金もＰＶＤによる被覆焼結合金も共
に基体と被覆層との密着性にすぐれていることを究明す
ることができたものである９次に、何故基体と被覆層と
の密着性がすぐれているにもかかわらず、特にＰＶＤに
よる被覆焼結合金は被覆層の耐剥離性に劣るのかを追究
したところ、被覆層の′Ａ藻は基体と被覆層との境界面
から生じているのではなく、法体内部側から発生してい
る。この基体内部側から発生する被Ｙａ層の剥離の原因
は、被覆層の形成前に基体表面を研削などで加■するこ
とによって生じたものであることを確認することによっ
て本発明を完成するに至ったものである すなわち、本発明の被覆焼結合金は、元素周期律表４ａ
、５ａ、８ａｉ金属の炭化物、窒化物及びこれらの相互
固溶体の中の少なくとも１種の硬質相とＧｏ、Ｎｉ 、
Ｆｅ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｗの中の少なくともＩＭの結合相を
含有する焼結合金基体の加工面に元素周期律表４ａ、５
ａ、６ａ族金属の炭化物、窒化物、酸化物、硼化物、硼
化物。
の相違が被覆焼結合金の基体と被覆層との密着性にどの
ように影響を及ぼしているのかを追究したところ、ＣＶ
Ｄによる被覆焼結合金もＰＶＤによる被覆焼結合金も共
に基体と被覆層との密着性にすぐれていることを究明す
ることができたものである９次に、何故基体と被覆層と
の密着性がすぐれているにもかかわらず、特にＰＶＤに
よる被覆焼結合金は被覆層の耐剥離性に劣るのかを追究
したところ、被覆層の′Ａ藻は基体と被覆層との境界面
から生じているのではなく、法体内部側から発生してい
る。この基体内部側から発生する被Ｙａ層の剥離の原因
は、被覆層の形成前に基体表面を研削などで加■するこ
とによって生じたものであることを確認することによっ
て本発明を完成するに至ったものである すなわち、本発明の被覆焼結合金は、元素周期律表４ａ
、５ａ、８ａｉ金属の炭化物、窒化物及びこれらの相互
固溶体の中の少なくとも１種の硬質相とＧｏ、Ｎｉ 、
Ｆｅ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｗの中の少なくともＩＭの結合相を
含有する焼結合金基体の加工面に元素周期律表４ａ、５
ａ、６ａ族金属の炭化物、窒化物、酸化物、硼化物、硼
化物。
硫化物５及びこれらの相７Ｌ固溶体並びに酸化アルミニ
ウム、酸窒化アルミニウム、酸度窒化アルミニウムの中
の少なくとも１種の中層又は２種以とからなるた多重層
の被覆層をｆｆｊ成してなる被覆焼結合金において、前
記焼結合金基体と前記被ｒｉｉ層との境界部分の該焼結
合金基体側に該焼結合金基体の表面加工工程中で生じた
破壊硬質相粒子及び／又は埋設硬質相粒子を含んでない
ことを特徴とするするものである。
ウム、酸窒化アルミニウム、酸度窒化アルミニウムの中
の少なくとも１種の中層又は２種以とからなるた多重層
の被覆層をｆｆｊ成してなる被覆焼結合金において、前
記焼結合金基体と前記被ｒｉｉ層との境界部分の該焼結
合金基体側に該焼結合金基体の表面加工工程中で生じた
破壊硬質相粒子及び／又は埋設硬質相粒子を含んでない
ことを特徴とするするものである。
焼結合金基体の表面を研削などで加工した面には、基体
表面から約１〜５４ｍ深さに基体を構成している硬質相
１例えばＷＣ，ＴｆＣ。
表面から約１〜５４ｍ深さに基体を構成している硬質相
１例えばＷＣ，ＴｆＣ。
Ｔ１ＣＮ 、（Ｔｉ 、Ｗ）Ｃ、（Ｔｉ 、Ｗ）ＣＮ
。
。
（ＴＩ 、Ｔａ、Ｗ）Ｃ，（Ｔｉ 、Ｔａ、Ｗ）ＣＮな
どからなる硬質相結品粒子がクラックの入った破壊硬質
相粒子として存在したり、又は微細に破壊した硬質相粒
子が基体から１度脱落した後再度研削加工中に基体を構
成している結合相内に埋込まれて埋設硬質相粒子として
残存している。このような基体表面の破壊硬質相粒子及
び埋設硬質相粒子を除去して、基体の焼結工程で形成さ
れた状態の硬質相と結合相とからなる基体表面に被覆層
を形成すると基体と被覆層との密着性がすぐれ、しかも
被ｍｍの耐剥離性もすぐれた被覆焼結合金ｇ−になる。
どからなる硬質相結品粒子がクラックの入った破壊硬質
相粒子として存在したり、又は微細に破壊した硬質相粒
子が基体から１度脱落した後再度研削加工中に基体を構
成している結合相内に埋込まれて埋設硬質相粒子として
残存している。このような基体表面の破壊硬質相粒子及
び埋設硬質相粒子を除去して、基体の焼結工程で形成さ
れた状態の硬質相と結合相とからなる基体表面に被覆層
を形成すると基体と被覆層との密着性がすぐれ、しかも
被ｍｍの耐剥離性もすぐれた被覆焼結合金ｇ−になる。
本発明の被覆焼結合金の製造方法は、（ａ）元素周期律
表４ａ、５ａ、６ａ族金属の炭化物、窒化物及びこれら
の相互固溶体中の少なくとも１種の硬質相とＣｏ、Ｎｉ
、Ｆｅ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｗの中の少なくとも１種の結合相
を含有する焼結合金基体の表面を研削するなどで加工し
て寸法精度のすぐれた基体にする工程、（ｂ）研削など
の加工により、基体表面に生じた破壊硬質相粒子及び埋
設硬質相粒子を除去する工程、（ｅ）基体表面の破壊硬
質相粒子及び埋設硬質相粒子からなる欠陥を除去して、
焼結工程で形成された状態の硬質相と結合相からなる焼
結合金基体の表面に元素周期律表４ａ、５ａ、ａａ族金
属の炭化物１ｇ化物。
表４ａ、５ａ、６ａ族金属の炭化物、窒化物及びこれら
の相互固溶体中の少なくとも１種の硬質相とＣｏ、Ｎｉ
、Ｆｅ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｗの中の少なくとも１種の結合相
を含有する焼結合金基体の表面を研削するなどで加工し
て寸法精度のすぐれた基体にする工程、（ｂ）研削など
の加工により、基体表面に生じた破壊硬質相粒子及び埋
設硬質相粒子を除去する工程、（ｅ）基体表面の破壊硬
質相粒子及び埋設硬質相粒子からなる欠陥を除去して、
焼結工程で形成された状態の硬質相と結合相からなる焼
結合金基体の表面に元素周期律表４ａ、５ａ、ａａ族金
属の炭化物１ｇ化物。
酸化物、硼化物、硼化物、硫化物、及びこれらの相互固
溶体並びに酸化アルミニウム、酸窒化アルミニウム、酸
度窒化アルミニウムの中の少なくとも１種の単層又は２
Ｍ以上からなる多重層の被覆層を形成する工程、によっ
て作成することができる。これら（ＩＬ） 、 （
ｂ） 、 （ｃ）工程の内、（ａ）工程は作婁昨間
を含めた製造コストの問題から従来から行なわれている
ように＃１００−Ｓｔ３００の砥石による研削加工で基
体の寸法精度をだすことができる。（ｂ）工程は、砥粒
による研摩仕上げ（ラップ仕上げ）又は＄２０００程度
の砥石による研摩加工もしくはアルカリ溶液中で電気分
解して基体表面の硬質相を電解腐食することによって（
ａ）工程で生じた破壊硬質相粒子及び埋設硬質相粒子か
らなる欠陥を除去することができ°る。（ｃ）工程は従
来から行なわれているＣｖＤ、プラズマＣＶＤ 、スパ
ッター。イオンブレーティングなどによって基体表面に
被１２Ｍを作成することかでさるけれども特に、スパッ
ターやイオンブレーティングなどのＰｖＤで被覆層を形
成する場合、すなわち、比較的低温で被覆層を形成する
場合に効果が大さく現われるので望ましい。
溶体並びに酸化アルミニウム、酸窒化アルミニウム、酸
度窒化アルミニウムの中の少なくとも１種の単層又は２
Ｍ以上からなる多重層の被覆層を形成する工程、によっ
て作成することができる。これら（ＩＬ） 、 （
ｂ） 、 （ｃ）工程の内、（ａ）工程は作婁昨間
を含めた製造コストの問題から従来から行なわれている
ように＃１００−Ｓｔ３００の砥石による研削加工で基
体の寸法精度をだすことができる。（ｂ）工程は、砥粒
による研摩仕上げ（ラップ仕上げ）又は＄２０００程度
の砥石による研摩加工もしくはアルカリ溶液中で電気分
解して基体表面の硬質相を電解腐食することによって（
ａ）工程で生じた破壊硬質相粒子及び埋設硬質相粒子か
らなる欠陥を除去することができ°る。（ｃ）工程は従
来から行なわれているＣｖＤ、プラズマＣＶＤ 、スパ
ッター。イオンブレーティングなどによって基体表面に
被１２Ｍを作成することかでさるけれども特に、スパッ
ターやイオンブレーティングなどのＰｖＤで被覆層を形
成する場合、すなわち、比較的低温で被覆層を形成する
場合に効果が大さく現われるので望ましい。
（作用）
本発明の被覆焼結合金は、基体と被ｍｌ檜との境界部の
基体表面側に基体の構成成分である硬質相が研削加工な
どによって破壊されて破壊Ｆｉｊ質相粒子として存在し
たり、破壊して脱落した硬質相が再度基体の構成成分で
ある結合相内に破砕して微細になった硬質相として埋込
まれた埋設硬質相粒子として残存したりしてないために
破壊硬質相粒子又は埋設硬質相粒子からなる欠陥を起点
とする被覆層の２１ａがなく、しかも基体と被覆層との
密着性もすぐれているものである。特に、低温で処理す
る例えば、ＰＶＤで被覆層を形成した本発明の被覆焼結
合金の場合は、基体の強度低下を小さく押えて、しかも
基体と被覆層との密着性及び耐剥離性にもすぐれている
ために耐剥離性は勿論のこと耐衝撃性にもすぐれ、安定
した高性能が維持できる。
基体表面側に基体の構成成分である硬質相が研削加工な
どによって破壊されて破壊Ｆｉｊ質相粒子として存在し
たり、破壊して脱落した硬質相が再度基体の構成成分で
ある結合相内に破砕して微細になった硬質相として埋込
まれた埋設硬質相粒子として残存したりしてないために
破壊硬質相粒子又は埋設硬質相粒子からなる欠陥を起点
とする被覆層の２１ａがなく、しかも基体と被覆層との
密着性もすぐれているものである。特に、低温で処理す
る例えば、ＰＶＤで被覆層を形成した本発明の被覆焼結
合金の場合は、基体の強度低下を小さく押えて、しかも
基体と被覆層との密着性及び耐剥離性にもすぐれている
ために耐剥離性は勿論のこと耐衝撃性にもすぐれ、安定
した高性能が維持できる。
（実施例）
実施例１
（、ＩＳ規格ＫＩＯ相当の超硬合金で作成したミクロン
ドリル（ネジレ角３０°、先端角１２０’ 、刃先直径
Ｑ、５０φ■相当）からなる基体を＃３００のダイヤモ
ンド砥石て研削した後、水酸化カリウム（ＫＯＨ）１０
％溶液を電解液として、電圧５ｖ、電流０．５Ａ／ｃ＋
ｗ２の条件で電気分解することにより、研削した基体表
面を約２１Ｌｍｙｉ４食した０次いで、基体の腐食後の
面にイオンブレーティングでもって０．１μｍ厚さのＴ
ｉＣ内層とＯ，１４ｍ厚さのＴＩＮ外層からなる被覆層
を形成させて（基体温度５ＱＯ”Ｏに保持して）本発明
品ｌとした。
ドリル（ネジレ角３０°、先端角１２０’ 、刃先直径
Ｑ、５０φ■相当）からなる基体を＃３００のダイヤモ
ンド砥石て研削した後、水酸化カリウム（ＫＯＨ）１０
％溶液を電解液として、電圧５ｖ、電流０．５Ａ／ｃ＋
ｗ２の条件で電気分解することにより、研削した基体表
面を約２１Ｌｍｙｉ４食した０次いで、基体の腐食後の
面にイオンブレーティングでもって０．１μｍ厚さのＴ
ｉＣ内層とＯ，１４ｍ厚さのＴＩＮ外層からなる被覆層
を形成させて（基体温度５ＱＯ”Ｏに保持して）本発明
品ｌとした。
比較として、本発明品ｌと同じ基体でもって電解腐食の
工程を省いて、他の工程は本発明品ｌと同様にして被覆
層を形成させ、比較量ｌとした。
工程を省いて、他の工程は本発明品ｌと同様にして被覆
層を形成させ、比較量ｌとした。
この本発明品ｌと比較量ｌを用いて、被削材が銅板とエ
ポキシ板からなる多層基板（厚さ１．６ａｍ）を３枚重
ねて、切削速度２００ ｍｏｕｒｎ 、送り速度Ｏ，Ｏ
Ｓ■■／ｒｅマ、乾式で穴あけ加工試験を行なった結果
１本発明品１は、８５，０００個の穴あけ加工ができた
のに対し、比較量ｌは４０．０００個の穴あけ加工で寿
命になった。
ポキシ板からなる多層基板（厚さ１．６ａｍ）を３枚重
ねて、切削速度２００ ｍｏｕｒｎ 、送り速度Ｏ，Ｏ
Ｓ■■／ｒｅマ、乾式で穴あけ加工試験を行なった結果
１本発明品１は、８５，０００個の穴あけ加工ができた
のに対し、比較量ｌは４０．０００個の穴あけ加工で寿
命になった。
実施例２
ＣＩＳ規格Ｐ３０相当の超硬合金でなる５ＮＰＡ４３２
に仕上るための焼肌基体表面を＃２００ダイヤモンド砥
石で研削した後、更に基体表面を約５ｐｍ深さ迄５２ｏ
ｏｏダイヤモンド砥石で研摩し１次いで０−１ｇｍダイ
ヤモンド砥粒によりラップ仕上した。このようにして作
成したチップを５００℃に保持しながらイオンブレーテ
ィングにより基体表面に２ルｍ厚さのＴｉＮ被覆層を形
成させて本発明品２とした。
に仕上るための焼肌基体表面を＃２００ダイヤモンド砥
石で研削した後、更に基体表面を約５ｐｍ深さ迄５２ｏ
ｏｏダイヤモンド砥石で研摩し１次いで０−１ｇｍダイ
ヤモンド砥粒によりラップ仕上した。このようにして作
成したチップを５００℃に保持しながらイオンブレーテ
ィングにより基体表面に２ルｍ厚さのＴｉＮ被覆層を形
成させて本発明品２とした。
比較として１本発明品２と同じ基体の製造工程のもので
＃２０００ダイヤモンド研摩及びｌルｍダイヤモンド砥
粒によるラップ仕上げ工程を省いて、他の工程は本発明
品２と同様にして被覆層を形成させ、比較量２とした。
＃２０００ダイヤモンド研摩及びｌルｍダイヤモンド砥
粒によるラップ仕上げ工程を省いて、他の工程は本発明
品２と同様にして被覆層を形成させ、比較量２とした。
この本発明品２と比較量２を用いて、被削材が５４８Ｃ
（Ｉ（Ｂ２４０）、切削速度３０５１１ｎ 。
（Ｉ（Ｂ２４０）、切削速度３０５１１ｎ 。
送り速度０ 、１６ ａｍ／ｒ＠ｖ 、切込みＭｌ、５
ｍｓ、！；ｌＪ削時間５ｍ１ｎで旋削試験を行なった結
果、本発明品２は被覆層の剥離が生じてないのに対し、
比較量２はすくい面側で被覆層の剥離が生じていた。
ｍｓ、！；ｌＪ削時間５ｍ１ｎで旋削試験を行なった結
果、本発明品２は被覆層の剥離が生じてないのに対し、
比較量２はすくい面側で被覆層の剥離が生じていた。
尚１本発明品２と比較量２について、それぞれ基体と被
覆層との境界部近辺を走査型電子顕微鏡で観察した結果
、本発明品２の基体と被覆層との境界部の基体側には破
壊硬質相粒子及び埋設硬質相粒子が存在してなかったの
に対し、比較量２の基体と被覆層との境界部の基体側に
は破壊硬質相粒子及び埋設硬質相粒子が存在していた。
覆層との境界部近辺を走査型電子顕微鏡で観察した結果
、本発明品２の基体と被覆層との境界部の基体側には破
壊硬質相粒子及び埋設硬質相粒子が存在してなかったの
に対し、比較量２の基体と被覆層との境界部の基体側に
は破壊硬質相粒子及び埋設硬質相粒子が存在していた。
実施例３
ｗｃ−ｔｏ％Ｃｏ超硬合金で４ｘ８ｘ２５ｍｍ形状（Ｊ
ＩＳ規格抗折力試片）の基体＃４００ダイヤモンド砥石
で研削後、約５ルｍ深さ迄＃ｔｓｏｏダイヤモンド砥石
で研摩し、次いでＯ〜ｌｐｍダイヤモンド砥粒でもって
約１５Ｂｍ深さ迄ラップ仕上した。このようにして作成
したチップを５００℃に保持しながらイオンブレーティ
ングにより基体表面に２１Ｌｍ厚さのＴ ｉ ＣＮ被覆
層を形成させて本発明品３とした０本発明品３の内ラッ
プ仕上げ深さを約２〜３ｐｍとして、他は本発明品３と
同一条件によって作成して本発明品４とした。
ＩＳ規格抗折力試片）の基体＃４００ダイヤモンド砥石
で研削後、約５ルｍ深さ迄＃ｔｓｏｏダイヤモンド砥石
で研摩し、次いでＯ〜ｌｐｍダイヤモンド砥粒でもって
約１５Ｂｍ深さ迄ラップ仕上した。このようにして作成
したチップを５００℃に保持しながらイオンブレーティ
ングにより基体表面に２１Ｌｍ厚さのＴ ｉ ＣＮ被覆
層を形成させて本発明品３とした０本発明品３の内ラッ
プ仕上げ深さを約２〜３ｐｍとして、他は本発明品３と
同一条件によって作成して本発明品４とした。
比較用として、本発明品３の内、＃１５００ダイヤモン
ド砥石による研摩工程を省き、ラップ仕上げ深さを約１
〜２ｐｍとして、他は本発明品３と同一条件によって作
成して比較量３とした。同じく本発明品３の内、＃１５
００ダイヤモンド砥石による研摩工程及びθ〜Ｌｐｍダ
イヤモンド砥粒によるラップ化とげ工程を省いて、他は
本発明品３と同一条件によって作成して比較量４とした
。この本発明品３及び４と比較量３及び４を引掻さ硬さ
試験機に相当するスクラッチ試験機によって被ＷＩＭの
耐剥離性試験を行なった結果１本発明品３は、９に、の
荷盃迄被覆層Ｍｆａが生じなく。
ド砥石による研摩工程を省き、ラップ仕上げ深さを約１
〜２ｐｍとして、他は本発明品３と同一条件によって作
成して比較量３とした。同じく本発明品３の内、＃１５
００ダイヤモンド砥石による研摩工程及びθ〜Ｌｐｍダ
イヤモンド砥粒によるラップ化とげ工程を省いて、他は
本発明品３と同一条件によって作成して比較量４とした
。この本発明品３及び４と比較量３及び４を引掻さ硬さ
試験機に相当するスクラッチ試験機によって被ＷＩＭの
耐剥離性試験を行なった結果１本発明品３は、９に、の
荷盃迄被覆層Ｍｆａが生じなく。
本発明品４は７ｋｇの荷重比被覆層の剥離が生じなかっ
たのに対して、比較量３は、４ｋｇの荷重で被！！２層
の剥離が生じ、比較量４は、２ｋｇの荷重で被ｇ！層の
剥離が少し生じ３ｋｇのＲ重では大きく被覆層の剥離が
生じた。
たのに対して、比較量３は、４ｋｇの荷重で被！！２層
の剥離が生じ、比較量４は、２ｋｇの荷重で被ｇ！層の
剥離が少し生じ３ｋｇのＲ重では大きく被覆層の剥離が
生じた。
（効果）
以上の結果、本発明の焼結合金は、耐摩耗性は勿論のこ
と基体と被ＷＪ居との重着性にすぐれ、しかも基体と被
覆層この境界部の欠陥がなく耐剥離性にもすぐれている
ことから成る程度衝撃力が加わる用途、＠えば、旋削工
具は勿論のことプライス工具、エンドミル、ドリル、ミ
クロンドリルなどの穴あけ工具を含めた旋削用工具、又
１紙。
と基体と被ＷＪ居との重着性にすぐれ、しかも基体と被
覆層この境界部の欠陥がなく耐剥離性にもすぐれている
ことから成る程度衝撃力が加わる用途、＠えば、旋削工
具は勿論のことプライス工具、エンドミル、ドリル、ミ
クロンドリルなどの穴あけ工具を含めた旋削用工具、又
１紙。
テープ等の可断用スリッター及び耐食性部品を含めた耐
Ｐｌ耗用工具に応用でさる産業上有用な材料である。
Ｐｌ耗用工具に応用でさる産業上有用な材料である。
Claims (3)
- （１）元素周期律表４ａ、５ａ、６ａ族金属の炭化物、
窒化物及びこれらの相互固溶体の中の少なくとも１種の
硬質相とＣｏ、Ｎｉ、Ｆｅ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｗの中の少な
くとも１種の結合相を含有する焼結合金基体の加工面に
元素周期律表４ａ、５ａ、６ａ族金属の炭化物、窒化物
、酸化物、硼化物、ケイ化物、硫化物、及びこれらの相
互固溶体並びに酸化アルミニウム、酸窒化アルミニウム
、酸炭窒化アルミニウムの中の少なくとも１種の単層又
は２種以上からなる多重層の被覆層を形成してなる被覆
焼結合金において、前記焼結合金基体と前記被覆層との
境界部分の該焼結合金基体側に該焼結合金基体の表面加
工工程中で生じた破壊硬質相粒子及び／又は埋設硬質相
粒子を含んでないことを特徴とする被覆焼結合金。 - （２）次の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、の工程からなるこ
とを特徴とする被覆焼結合金の製造方法。 （ａ）、元素周期律表４ａ、５ａ、６ａ族金属の炭化物
、窒化物及びこれらの相互固溶体の中の少なくとも１種
の硬質相とＣｏ、Ｎｉ、Ｆｅ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｗの中の少
なくとも１種の結合相を含有する焼結合金基体の表面を
研削する工程、（ｂ）、前記（ａ）工程で生じた焼結合
金基体表面の破壊硬質相粒子及び埋設硬質相粒子を除去
する工程、 （ｃ）、焼結工程で形成された硬質相粒子と結合相から
なる焼結合金基体の表面に元素周期律表４ａ、５ａ、６
ａ族金属の炭化物、窒化物、酸化物、硼化物、ケイ化物
、硫化物、及びこれらの相互固溶体並びに酸化アルミニ
ウム、酸窒化アルミニウム、酸炭窒化アルミニウムの中
の少なくとも１種の単層又は２種以上からなる多重層の
被覆層を形成する工程、 - （３）上記（ｂ）工程が電気分解によって除去すること
を特徴とする特許請求の範囲第２項記載の被覆焼結合金
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24019284A JPS61119675A (ja) | 1984-11-14 | 1984-11-14 | 被覆焼結合金及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24019284A JPS61119675A (ja) | 1984-11-14 | 1984-11-14 | 被覆焼結合金及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61119675A true JPS61119675A (ja) | 1986-06-06 |
Family
ID=17055826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24019284A Pending JPS61119675A (ja) | 1984-11-14 | 1984-11-14 | 被覆焼結合金及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61119675A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5186434A (en) * | 1991-05-09 | 1993-02-16 | Masako Kiyohara | Fluid flow controller |
-
1984
- 1984-11-14 JP JP24019284A patent/JPS61119675A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5186434A (en) * | 1991-05-09 | 1993-02-16 | Masako Kiyohara | Fluid flow controller |
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